JPH09184930A

JPH09184930A - 非接触式光プローブおよびその製造方法、およびそのプローブを用いた光記録再生装置若しくは走査型近接場顕微鏡

Info

Publication number: JPH09184930A
Application number: JP8000807A
Authority: JP
Inventors: Hisao Osawa; 日佐雄大澤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1996-01-08
Filing date: 1996-01-08
Publication date: 1997-07-15

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明の目的は、光の波長に比べ微小な開口
部を有した近接場顕微鏡用プローブまたは光記録再生用
ヘッドにおいて、強い光強度を有したプローブまたはヘ
ッドを提供することにある。【解決手段】一端が非常に微小な開口径を有し、光を
透過する物質で形成された中空の管１と、中空の管１の
外面に形成され、中空の管１の内部を伝搬する光を内面
で反射する反射膜２と、中空の管１の内部に有し、光が
透過し中空の管１を形成する物質よりも高い屈折率を有
する物質で形成された導波路部３とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高密度光記録再生
装置、および走査型近接場顕微鏡に関し好適な非接触式
光プローブに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、生物学や半導体デバイス開発など
広い分野において、非接触、非破壊の高分解能顕微鏡の
重要性が高まっている。従来使用されてきた光学顕微鏡
は、非接触、非破壊という面では優れた特性を持ってい
たが、決増光学系を用いるという原理上、回折限界によ
る分解能の制限のため使用範囲が限られてきた。

【０００３】これらの問題を解決し、しかも試料の光学
的な性質が高い分解能で得られる技術に走査型近接場顕
微鏡がある。この走査型近接場顕微鏡としては、特開昭
５９−１２１３１０号の公報で詳しく説明されている。
この走査型近接場顕微鏡の基本原理は、非測定物を照射
すべく光源から放射された照明光の波長よりも小さい開
口によって被測定物の表面を走査し、試料表面の表面形
状、試料表面の光学的特性等を測定するもので、開口を
被測定物から開口径よりも短い距離において走査するこ
とから、走査型近接場顕微鏡と呼ばれている。

【０００４】波動の理論からすれば、通常の光学顕微鏡
の分解能はλ／２程度で制約されるため可視光領域では
２００〜３００ｎｍが限度とされている。しかし、上述
のような波長より小さい微小な開口に光を導くと、通常
の光の用に自由空間を広がることはできないが、開口付
近にしみだす光電場が存在する。この光電場は消滅波
（エバネッセント波）と呼ばれるもので、これで測定表
面を照射することで高分解能な光学的測定を可能として
いる。

【０００５】図３は、このような走査型近接場顕微鏡の
従来例を示すものである。これを概略説明すると、図示
されていない除振装置上に設けられた基台３１が設けら
れており、基台３１上に設けられたステージ３３は、図
示されていない駆動装置によってＸ，Ｙ方向にそれぞれ
独立に移動制御されるようなっている。また、このステ
ージ３３上には、被測定物３４が載置できるようになっ
ている。また、基台３１には支柱３２が備えられてお
り、この支柱３２の先端アーム部３５に垂直調節装置３
６が設けられている。この垂直調節装置３６には、光源
およびプローブ３８が取り付けられている。このプロー
ブには微小な開口３７が設けられており、試料表面に微
小な開口３７からの光電場を照射する。そして、試料表
面で反射した光をセンサー３９で受光する。センサー３
９に入射した光は光ファイバー３９１によって光検出器
３９２に導かれ、電気信号に変換される。

【０００６】この様な装置で試料表面上の各点における
この光強度を測定し、これを表示装置等で再構成すれ
ば、試料表面の光学的な状態を高い分解能で得ることが
できる。一方、前述のような走査型近接場顕微鏡を応用
して、光記録媒体上へ高密度情報記録再生を行う提案
が、米国特許明細書第４，６８４，２０６号でなされて
いる。

【０００７】図４は、上述の走査型近接場顕微鏡を応用
した光記録媒体情報記録再生装置の一例を示した図であ
る。図３で示したような微小な開口３７を有したプロー
ブが光記録媒体４１上につるされている。この光記録媒
体４１は従来の光記録媒体と同様に円盤状の形状を有し
ており、図示されていない回転駆動手段によって回転可
能とされている。そして、光源およびプローブ３８はア
ーム４２に取り付けられており、このアーム４２は矢印
４３の向きに移動可能となっている。微小な開口３７と
光記録媒体４１との距離は、光源の発する光の波長より
も近い位置に制御されている。

【０００８】光記録媒体４１が回転する一方、開口３７
が光記録媒体の直径方向に移動可能であるため、光記録
媒体４１上の所望の一点に微小な開口３７を位置付ける
ことが可能であり、このときに光源を発光させれば、光
記録を行うことができる。ところで、上述の走査型近接
場顕微鏡の分解能、及びこれを応用した光記録再生装置
の記録単位の大きさは、微小な開口３７の直径にほぼ等
しいことが知られており、走査型近接場顕微鏡の分解
能、光記録再生装置の記録密度を高めるためには、微小
な開口３７の直径を小さくすることが必要である。

【０００９】ところで、従来の微小な開口を有したプロ
ーブの例を図５に示す。この図５に示したプローブは、
ピラミッド型の透明な結晶５１の下端には所望の開口半
径と同程度またはそれよりも小さい曲率半径ｒｃを持つ
切子面により形成される鋭い先端を持っており、結晶５
１の表面には光源からの光に対し十分不透明となる厚さ
を持つ金属被膜５２が成膜されている。

【００１０】このプローブの先端部の形成法としては、
最初に所望の形状を有した結晶５１の金属被膜５２を被
覆し、結晶の先端部に被覆された金属被膜５２を除去
し、所望の分解能程度の領域にわたって結晶５１を露呈
する。このとき結晶５１のうち露呈した部分及びその周
辺の金属被膜のごく薄い部分が微小な開口３７となる。
また、この様な透明な結晶５１の代わりに先端をテーパ
ー状に加工した光ファイバーが用いられることもある。

【００１１】また、他の一例として、図６に示すように
先端を細くした中空のガラス管（マイクロピペット）６
１を用いるようなものもある（米国特許明細書第４，９
１７，４６２号）。そして、遮光のための金属被覆６２
を成膜してある。この様に中空のガラス管を用いたこと
により開口３７を形成する工程が必要なくなるという長
所がある。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところが、以上の２つ
の手法による開口には以下のような問題点がある。ま
ず、透明な結晶を用いてプローブを製作する場合、微小
な開口部を形成する際に、鋭い先端が形成された結晶体
に微小な開口部を設ける方法が確立されていない。

【００１３】たとえば、結晶体の先端部において被覆さ
れた金属被膜を除去する方法として、イオン切削により
その先端部の一部を切り落とす方法や、先端部をガラス
板などに衝突させてや先端部の一部を結晶体と共に除去
する方法が提案されているが、この手法ではプローブ先
端部の開口径を制御することは大変困難であるうえ、開
口径の小さいものが得られにくいという問題点がある。

【００１４】また一方、マイクロピペットを用いてプロ
ーブを形成されたものは、マイクロピペット内部は中空
であるため、光はほとんどが屈折率の高いマイクロピペ
ットを形成しているガラスに伝搬してしまう。マイクロ
ピペットの外周を覆っている金属被膜は反射率１００％
を有していないため、金属被膜に光が反射する度に光が
減衰してしまう。

【００１５】特に開口部付近はガラスピペットの径がだ
んだんと小さくなる形状を有しているため、光の金属被
膜による反射回数が多くなるため、開口部に到達する光
はかなり減衰された状態になる。よって、開口部に到達
する光強度が僅かになってしまうため、開口部からの光
電場を用いた物理的作用を利用する装置とって、その強
度不十分になってしまう。

【００１６】以上のように、本発明の目的は、光の波長
に比べ微小な開口部を有した近接場顕微鏡用プローブま
たは光記録再生用ヘッドにおいて、強い光強度を有した
プローブまたはヘッドを提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第１の形態では、一端が非常に微小な開口
径を有し、光を透過する物質で形成された中空の管と、
中空の管の外面に形成され、中空の管の内部を伝搬する
光を内面で反射させる反射膜と、中空の管の内部に有
し、その光が透過し中空の管を形成する物質よりも高い
屈折率を有する物質で形成された導波路部とを備えた。

【００１８】また、本発明の第２の形態では、開口径
は、使用光源が発する波長よりも小さい開口径であるこ
ととした。本発明の第３の形態では、中空の管を形成し
光を透過する物質は、ガラス素材であることとした。ま
た、本発明の第４の形態では、導波路部は液体状の物質
を硬化させて形成したこととした。

【００１９】また、本発明の第５の形態では、導波路部
は、イマージョンオイルまたはエポキシ系接着剤で形成
されていることとした。また、本発明の第６の形態で
は、反射膜は、金属材料で形成されていることとした。
本発明での第７の形態では、一端が非常に微小な開口径
を有し光を透過する物質で形成された中空の管の一端
を、光を透過し中空の管を形成する物質よりも高い屈折
率を有し経時的に硬化する液体状の透明の導波路部形成
物質に浸し、導波路部形成物質を毛細管現象により一端
から前記中空の管の内部に導入し、中空の管の内部に導
入された導波路部形成物質を硬化させて非接触式光プロ
ーブを製造することとした。

【００２０】更に本発明の第８の形態では、先の本発明
の第７の形態について、導波路部形成物質は、イマージ
ョンオイルまたはエポキシ系接着剤であることとした。
本発明の第９の形態では、光源と、一端が非常に微小な
開口径を有し、光が透過する物質で形成された中空の管
と、中空の管の外面に形成されその中空の管の内部を伝
搬する光を内面で反射させる反射膜と、中空の管の内部
に有し、光が透過し中空の管を形成する物質よりも高い
屈折率を有する物質で形成された導波路部とを備え、他
端の開口部から光源の光を入射して、一端から記録媒体
へ記録または読みとりのための光電場を照射する非接触
式光プローブと、一端から記録媒体へ光電場が照射さ
れ、記録媒体から放射された光を受光して電気信号に変
換する光検出部とを備えたこととした。

【００２１】また、本発明の第１０の形態では、本発明
の第９の形態に更に、導波路部は、粘性の高い液体状の
物質を硬化させて形成したこととした。また、本発明の
第１１の形態では、本発明の第１０の形態に、更に導波
路部は、イマージョンオイルまたはエポキシ系接着剤で
形成されていることとした。また、本発明の第１２の形
態では、先の本発明の第９の形態に更に、非接触式光プ
ローブを複数個有したこととした。

【００２２】また、本発明の第１３の形態では、先の本
発明の第９の形態で更に、非接触式光プローブを支持
し、前記プローブを駆動することのできる駆動手段を備
えたこととした。また、本発明の第１４の形態では、光
源と、一端が非常に微小な開口径を有し、光が透過する
物質で形成された中空の管と、その中空の管の外面に形
成され、その中空の管の内部を伝搬する光を内面で反射
させる反射膜と、中空の管の内部に有し、光が透過し中
空の管を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で
形成された導波路部とを備え、他端の開口部から光源の
光を入射して、一端から被測定物に光電場を照射する非
接触式光プローブと、一端から被測定物へ光電場が照射
され、被測定物から放射された光を受光して電気信号に
変換する光検出部と、非接触式光プローブと被測定物と
を相対的に走査する走査手段とを備えたこととした。

【００２３】また、更に本発明の第１５の形態では、本
発明の第１４の形態での開口径について、使用光源が発
する波長よりも小さい開口系であることとした。また、
更に本発明の第１６の形態では、本発明の第１４の形態
での中空の管をする光が透過する物質について、ガラス
素材であることとした。また、更に本発明の第１７の形
態では、導波路部について、液体状の物質を硬化させて
形成したこととした。

【００２４】また、更に本発明の第１８の形態では、導
波路部については、イマージョンオイルまたはエポキシ
系接着剤で形成されていることとした。また、更に本発
明の第１９の形態では、反射膜は、金属物質で形成され
ていることとした。

【００２５】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態例を挙げ
て更に詳しく本発明を説明する。しかし、本発明はここ
で説明する実施の形態に限られるものではない。最初に
図１を用いて本発明の実施の第１の形態を説明する。と
ころで、この図１は、本発明の実施の第１の形態の非接
触式光プローブを示した図である。

【００２６】このプローブは、ガラスで出来た中空のマ
イクロピペット１に外側を光の反射率が高い物質である
金属で被覆し、金属被覆２を形成している。この金属被
覆２は、スパッタリング法または真空蒸着法によりマイ
クロピペット１を被覆している。また、被覆する箇所と
しては、マイクロピペット１の外側の表面と、マイクロ
ピペット１の開口部７側の端面にも金属被覆２を施して
いる。この様に開口部のマイクロピペット１の端面に金
属被覆を施すことで、このプローブを用いた近接場光学
顕微鏡に用いた場合、この顕微鏡の横分解能を高くする
ことが出来る。また、マイクロピペット１の開口部７は
光源として使用する波長よりもその直径が小さい形状を
有している。

【００２７】また、本発明の実施の第１の形態では、こ
のマイクロピペット１の内部に、屈折率が少なくとも空
気より大きい透明な物質を充填して、中心導波路３を形
成している。特に本発明の実施の第１の形態では、マイ
クロピペット１を構成しているガラスよりも屈折率の大
きい物質であるエポキシ系接着剤（屈折率：１．６以
上）を充填した。また、他の物質として屈折率１．５〜
１．６のエマージョンオイルなどを充填することでも良
い。

【００２８】この様に一端の開口部７が使用光源が発す
る波長よりも小さい開口径を有したマイクロピペット１
を用い、その外側に金属被覆２を施して、マイクロピペ
ット１の内部には、中心導波路３としてエポキシ系接着
剤を充填したプローブを製作した。従来用いていた中空
のマイクロピペットを用いたプローブでは、マイクロピ
ペット１のガラスの部分の屈折率が一番高いため、開口
部７の反対側の端から入射した光はほとんどマイクロピ
ペット１のガラス部中を伝搬してしまった。そのため、
その光は全てが開口部へ到達することができず、開口部
近傍の端面に被覆されている金属被膜２によって再び光
源の方向へ逆戻りする光が発生し、効率よく光を開口部
に到達させることができなかった。

【００２９】しかしながら、上記のようにマイクロピペ
ット１の内部に空気よりも高い屈折率を有する透明な物
質を封入することで、光電場のほとんどを中心導波路３
中にとじこめることができるようになったので、効率良
く光源からの光を開口部に到達させることが出来た。よ
って、この本発明の実施の第１の形態でのプローブを用
いることで、開口部から発生する光電場（エバネッセン
ト波）の強度を強くすることが出来た。

【００３０】次に、本発明の実施の第１の形態であるプ
ローブを製造する実施の形態を本発明の実施の第２の形
態として説明する。本発明の実施の第２の形態であるプ
ローブの製造方法は、以下に示す手順で製作した。最初
に、プローブを形成するマイクロピペットを製作するた
めに、パイレックスガラスや石英ガラスなどで出来た中
空のガラス管の一部を加熱し、軸方向に引っ張る。この
方法は、通常のマイクロピペットの作製法であるが、中
空のガラス管の一部に加熱するときの加熱温度および軸
方向に引っ張るときの力を調節して、開口部が所望の微
小の開口径を備えているマイクロピペットを得ることが
できる。

【００３１】マイクロピペットが完成したら、次に真空
蒸着装置に作製したマイクロピペットを載置して、マイ
クロピペットの外周を金属被覆するための工程に入る。
この工程では、被覆する金属素材を蒸発源に載置し、こ
の金属素材を溶融・蒸発させて、マイクロピペットの外
周に金属被覆を形成した。この時、蒸発した金属素材が
マイクロピペットの開口部を塞がないようにするため、
蒸発した金属が飛散して行く方向に対して、マイクロピ
ペットの軸方向がほぼ直交するように配置した、更にマ
イクロピペットの微小な開口径を有した開口部側を蒸発
源に近くなるように設置するとマイクロピペットの微小
な開口径を有する開口部がふさがり難くなる。

【００３２】金属被覆されたマイクロピペットが完成し
たら、次に中心導波路を形成する行程を行う。微小な開
口径を有する開口部を充填液に浸す。そして、充填液を
マイクロピペットの中空の内部に導入する導入方法は、
毛細管現象を利用して導入する。このマイクロピペット
は微小な開口径を有する開口部を持っているため、この
毛細管現象が発生しやすい。従って、微小な開口径を有
する開口部を充填液に浸すことによって、簡単にマイク
ロピペットの中空の内部に導入することができる。

【００３３】ところで、この充填液については、光源の
発する光の波長域に置いて透明な物質であれば、多少な
りとも効果はあるが、本発明の実施の第２の形態では、
マイクロピペットの材質よりも大きい屈折率を有するエ
ポキシ系接着剤（屈折率が１．５以上）を用いた。ま
た、このプローブの使用中に充填液が開口部からしみ出
すのを防ぐため、充填液としては何らかの方法で硬化で
きる物質が好ましく、その点で本発明の実施の第２の形
態では、エポキシ系接着剤を用いた。また、他に挙げら
れる充填液としては、光を照射することによって硬化す
る物質、加熱することで硬化する物質、または液だれが
起きにくいイマージョンオイルなどを用いることでも構
わない。

【００３４】また、充填液として用いたエポキシ系接着
剤が大きい粘性を持っていて毛細管現象が起こりにくい
場合があるときは、マイクロピペット及び充填液を摂氏
５０〜７０度に加熱し、粘性を小さくして作業を行えば
良い。次に、用いた充填液が硬化可能な場合は、所定の
方法で中心導波路に導入された充填液を硬化する工程を
行う。

【００３５】本発明の実施の第２の形態では、摂氏８０
〜１００度の温度で加熱して硬化を行う。この様にし
て、このプローブを使用中に液だれの発生を阻止するこ
とができた。以上の本発明の実施の第２形態で製作され
たプローブ及び本発明の実施の第１の形態のプローブで
は、開口部から発生する光電場の強度大きくすることが
できた。

【００３６】以上のプローブでは、微小な開口径を有す
る開口部とは反対側から光を導入した場合、一端に微小
な開口径を有した開口部を有した中空のマイクロピペッ
トを金属被覆しただけのプローブに比べ、更に屈折率
１．６の透明なエポキシ系接着剤を充填し加熱硬化させ
たプローブは、強い光電場を発生させることができた。
従って、このプローブを走査型近接場顕微鏡のプローブ
として用いることで、Ｓ／Ｎ比の高い走査型近接場顕微
鏡が得られるようになった。

【００３７】この様にＳ／Ｎ比の高い走査型近接場顕微
鏡を用いることで、観測点１点当たりの観測短縮をさせ
ることができ、高速で試料表面を観察することができる
ようになった。次に、上記本発明の実施の第１の形態お
よび本発明の実施の第２の形態で作製されたプローブを
用いた光記録再生装置を本発明の実施の第３の形態とし
て説明する。

【００３８】本発明の実施の第３の形態である光記録再
生装置を図２に示す。この光記録再生装置は、Ｌ字型の
形状を有した支持台２１に固定された図示していないモ
ーターによりターンテーブル２２を回転している。この
ターンテーブル２２は光記録媒体２３を載置できるよう
になっており、このターンテーブル２２が回転すること
により光記録媒体２３も回転することができる。また、
この支持台２１には、図２に示すようにプローブ２７を
支持するＸ軸アーム２５が固定されている。このＸ軸ア
ーム２５は、光記録媒体２３の直径方向に伸縮すること
ができる。このＸ軸アーム２５を駆動することでプロー
ブを光記録媒体２３の任意の場所に移動することが出来
る。

【００３９】ところで、このＸ軸アームには、プローブ
２７を支持しかつプローブ２７の光記録媒体２３に対し
て垂直方向に駆動するための垂直調節機構２６が固定さ
れている。この垂直調節機構２６を駆動することによっ
て、プローブの先端と光記録媒体との距離を調節するこ
とができる。また、この垂直調整機構２６には、受光素
子支持部材２９が固定されており、この受光素子支持部
材２９にはフォトディテクター２８が固定されている。
また、このフォトディテクター２８の入射面には図示さ
れていない光学系が備えられており、この光学系も垂直
調整機構２６に固定されている。またプローブ２７につ
いては、本発明の実施の第１の形態の比接触式プローブ
を用いた。このプローブは、微小な開口径を有した開口
部を光記録媒体２３側になるように固定されている。ま
た、その開口部とは他端側には光ファイバーが接続され
ている。この光ファイバーは発光手段２４に接続されて
いる。この発光手段２４は、半導体レーザーと光変調器
から構成され、発光手段制御手段２３０によって駆動・
制御されている。

【００４０】ところで、光記録媒体から放出された光
は、フォトディテクター２８で受光されて電気信号に変
えられ、コンパレーター（比較器）２３１に入力され
る。このコンパレーター２３１でフォトディテクター２
８からの信号を２値化し、デジタル信号に変換して制御
手段２３３に入力される。また、Ｘ軸アーム２５および
垂直調整機構の制御は駆動制御手段２３２によって制御
されている。また、駆動制御手段２３２から制御手段２
３３へは、プローブの光記録媒体に対する現在位置を示
す信号を出力する。そして、制御手段ではコンパレータ
ー２３１から出力された光記録媒体２３２から放出され
た光に関する信号によって、光記録媒体に記録された信
号が入力され、また駆動制御手段２３２からの位置に関
する信号と共に、光記録媒体に記録された信号を読み出
しバッハァ２３４に出力する。

【００４１】また、光記録媒体に記録時は、図示されて
いない入力手段で記録したい情報が制御手段２３３に入
力される。そして、制御手段２３３からは駆動制御手段
２３２へ所望の記録される光記録媒体の位置に関する信
号が出力され、また制御手段２３３から発光手段制御手
段２３０でプローブ２８へ入射される光の変調が行われ
る。そしてプローブ２８の位置に応じて、微小な開口径
を有する開口部から変調された光電場が発生し、光記録
媒体に記録される。

【００４２】ところで、光記録媒体の記録再生時には常
に制御手段２３３によって図示されていないターンテー
ブルを駆動するモーターを制御している。以上のような
光記録再生装置では、使用したプローブの分解能が非常
に高いため高密度で記録再生を行うことが出来、かつ強
い強度を発するため、光記録媒体へ必要な記録するため
の光量および光記録媒体から読みとるための光量が非常
に短時間で稼ぐことが出来、非常に短時間で記録再生が
可能となった。

【００４３】

【発明の効果】本発明では、以上に説明した様に、高屈
折率物質を内部に封入したことで、開口径の大小によら
ず高い強度を発生する非接触式プローブができた。この
様に強度が大きくなるため、このプローブによる分解能
を向上することが出来、かつこのプローブを用いた装置
の作業時間を短縮することが出来た。特に、光記録再生
装置に用いることで非常に高分解能でかつ読み込みまた
は書き込み時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】：本発明の実施の第１形態の非接触式プローブ
を示した図である。

【図２】：本発明の実施の第３の形態の光記録再生装置
を示した図である。

【図３】：従来の非接触式光プローブを用いた走査型近
接場顕微鏡の概略図である。

【図４】：従来の非接触式光プローブを用いた光記録再
生装置を示した図である。

【図５】：従来の非接触式光プローブを示した図であ
る。

【図６】：従来の非接触式光プローブを示した図であ
る。

【符号の説明】

１マイクロピペット２金属被膜３中心導波路７開口部２１支持台２２ターンテーブル２７非接触式光プローブ２８受光手段２４発光手段２５Ｘ軸アーム２６垂直調整機構２３０発光手段制御手段２３１コンパレーター２３２駆動装置制御手段２３３制御手段２３６垂直調整機構３１基台３２支柱３３ステージ３４被測定物３５先端アーム部３６垂直調整機構３７開口３８プローブ３９センサー３９１光ファイバー３９２光検出器４１光記憶媒体４２アーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ１１Ｂ 7/22 Ｇ１１Ｂ 7/22

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一端が非常に微小な開口径を有し、光を
透過する物質で形成された中空の管と、前記中空の管の外面に形成され、前記中空の管の内部を
伝搬する光を内面で反射する反射膜と、前記中空の管の内部に有し、光が透過し前記中空の管を
形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で形成され
た導波路部とを備えたことを特徴とする非接触式光プロ
ーブ
【請求項２】前記開口径は、使用光源が発する波長よ
りも小さい開口系であることを特徴とする請求項１記載
の非接触式光プローブ
【請求項３】前記中空の管を形成し光を透過する物質
は、ガラス素材であることを特徴とする請求項１記載の
非接触式光プローブ
【請求項４】前記導波路部は、液体状の物質を硬化さ
せて形成したことを特徴とする請求項１、２または３記
載の非接触式プローブ
【請求項５】前記導波路部は、イマージョンオイルま
たはエポキシ系接着剤で形成されていることを特徴とす
る請求項４記載の非接触式光プローブ
【請求項６】前記反射膜は、金属材料で形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載の非接触式光プローブ
【請求項７】一端が非常に微小な開口径を有し光を透
過する物質で形成された中空の管の前記一端を、光が透
過し前記中空の管を形成する物質よりも高い屈折率を有
し経時的に硬化する液体状の透明の導波路部形成物質に
浸し、前記導波路部形成物質を毛細管現象により前記一端から
前記中空の管の内部に導入し、前記中空の管の内部に導入された前記導波路部形成物質
を硬化させて非接触式光プローブを製造することを特徴
とする非接触式光プローブの製造方法
【請求項８】前記導波路部形成物質は、イマージョン
オイルまたはエポキシ系接着剤であることを特徴とする
請求項７記載の非接触式光プローブの製造方法
【請求項９】光源と、一端が非常に微小な開口径を有し、光を透過する物質で
形成された中空の管と、前記中空の管の外面に形成さ
れ、前記中空の管の内部を伝搬する光を内面で反射させ
る反射膜と、前記中空の管の内部で、光が透過し前記中
空の管を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で
形成された導波路部とを備え、他端の開口部から光源の
光を入射して、前記一端から記録媒体へ記録または読み
とりのための光電場を照射する非接触式光プローブと、前記一端から前記記録媒体へ前記光電場が照射され、前
記記録媒体から放射された光を受光して電気信号に変換
する光検出部とを備えたことを特徴とする光記録再生装
置
【請求項１０】前記導波路部は、液体状の物質を硬化
させて形成したことを特徴とする請求項９記載の光記録
再生装置
【請求項１１】前記導波路部は、イマージョンオイル
またはエポキシ系接着剤で形成されていることを特徴と
する請求項１０記載の光記録再生装置
【請求項１２】前記非接触式光プローブを支持し、前
記プローブを駆動することのできる駆動手段を備えたこ
とを特徴とする請求項９記載の光記録再生装置
【請求項１３】光源と、一端が非常に微小な開口径を有し、光を透過する物質で
形成された中空の管と、前記中空の管の外面に形成さ
れ、前記中空の管の内部を伝搬する光を内面で反射させ
る反射膜と、前記中空の管の内部で光が透過し前記中空
の管を形成する物質よりも高い屈折率を有する物質で形
成された導波路部とを備え、他端の開口部から光源の光
を入射して、前記一端から被測定物に光電場を照射する
非接触式光プローブと、前記一端から前記被測定物へ前記光電場が照射され、前
記被測定物から放射された光を受光して電気信号に変換
する光検出部と、前記非接触式光プローブと前記被測定物とを相対的に走
査する走査手段とを備えたことを特徴とする走査型近接
場顕微鏡
【請求項１４】前記開口径は、使用光源が発する波長
よりも小さい開口系であることを特徴とする請求項１３
記載の走査型近接場顕微鏡
【請求項１５】前記中空の管を形成し光を透過する物
質は、ガラス素材であることを特徴とする請求項１３記
載の走査型近接場顕微鏡
【請求項１６】前記導波路部は、液体状の物質を硬化
させて形成したことを特徴とする請求項１３、１４また
は１５記載の走査型近接場顕微鏡
【請求項１７】前記導波路部は、イマージョンオイル
またはエポキシ系接着剤で形成されていることを特徴と
する請求項１６記載の走査型近接場顕微鏡
【請求項１８】前記反射膜は、金属物質で形成されて
いることを特徴とする請求項１３記載の走査型近接場顕
微鏡