JPH09189521A - 寸法測定方法およびその装置 - Google Patents

寸法測定方法およびその装置

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JPH09189521A
JPH09189521A JP382096A JP382096A JPH09189521A JP H09189521 A JPH09189521 A JP H09189521A JP 382096 A JP382096 A JP 382096A JP 382096 A JP382096 A JP 382096A JP H09189521 A JPH09189521 A JP H09189521A
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JP
Japan
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image
cursors
cursor
dimension
measurement object
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JP382096A
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English (en)
Inventor
Toshikazu Yamauchi
俊和 山内
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Oki Electric Industry Co Ltd
Miyazaki Oki Electric Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Miyazaki Oki Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 画像表示された測定対象物像の両端に、カー
ソルを合わせて測定対象物の寸法を算出する際に、カー
ソルの位置合わせを容易にするとともに測定精度を向上
させることを課題としている。 【解決手段】 寸法測定のために表示されたカーソル
7,8の線上に、線幅の広い幅広部9〜12を設け、該
幅広部9〜12の中央を、測定対象物像6の像端に合わ
せて寸法測定を行う。あるいは、2本1組としたカーソ
ルを2組設け、測定対象物像の両端にカーソルの組をそ
れぞれ移動させ、カーソルの組の中央に測定対象物の像
端がくるように位置合わせを行い、一方のカーソル1
3,14の組の中央と他方のカーソル15,16の組の
中央との距離値を用いて寸法を算出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、寸法測定方法およ
び寸法測定装置に係り、特に、手動操作による測定時の
測定作業性を向上させた寸法測定方法およびその装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来の測定方法では、まず、測定対象物
を顕微鏡にて拡大し、CRT画面上にその拡大像を映
す。このCRT画面上には予め左右に可動な2本の線が
上下方向に引いてあり、これをカーソルと称する。オペ
レータは、画面上の像の寸法測定箇所の両端に対して、
2本のカーソルの位置を各々合わせ込む。
【0003】ここで、この2本のカーソルの間隔を装置
内部で計算処理し、測定対象物の寸法とする。この時、
カーソルを測定位置へ合わせる操作については手動式の
場合、画面上に映し出された測定対象物像を見ながら、
装置の操作部等を使ってカーソルを動かし、視覚的に像
の端へ重ね合わせる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】カーソルを像の端へ合
わせる場合、その像端の真上にカーソルを重ね合わせな
ければならない。しかしながら、このカーソルは細い点
線等によりなり、約1mm程度の幅を持っており、これ
が画面の上下を通して設けてあるため、そのカーソルを
像端に合わせる際に、該カーソル下にその像端は隠れて
しまい、正しくカーソルが像端上に乗っているかどうか
判別が困難である。
【0005】このようなカーソルは視覚的に不便であ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、画像表示され
た測定対象物像の両端に線状のカーソルを合わせ、両カ
ーソル間の距離値を用いて測定対象物の寸法を算出する
寸法測定方法およびその装置において、カーソルの線上
に設けられた線幅の広い幅広部の中央を、測定対象物の
像端に合わせて寸法測定を行うこと、あるいは、2本1
組としたカーソルを2組設け、測定対象物像の両端にカ
ーソルの組をそれぞれ移動させ、カーソルの組の中央に
測定対象物の像端がくるように位置合わせを行い、一方
のカーソルの組の中央と他方のカーソルの組の中央との
距離値を用いて寸法を算出することを特徴としている。
【0007】
【発明の実施の形態】以下に図を用いて本発明の実施の
形態について説明する。 第1の実施の形態 図1は本実施の形態を示す説明図であり、図2は寸法測
定装置の簡略ブロック図である。
【0008】この図2に従って、本実施の形態の寸法測
定装置1の構成を説明する。2は顕微鏡等による撮像手
段であり、測定対象物を撮像してその像に対応した信号
を出力する。3は表示手段であり、例えばCRTや液晶
等のディスプレイによりなり、測定対象物の像、後述す
るカーソルおよび各種情報を画像表示する。4は操作手
段であり、例えばトラックボールその他のポインティン
グデバイスおよびキーボード等からなり、オペレータの
操作を受け入れる。5は前記各手段を制御して機能させ
る制御手段である。
【0009】上記構成の寸法測定装置1を動作させる場
合、まず、撮像手段2によって寸法測定の対象である測
定対象物を撮像する。その撮像手段2は、得られた像に
対応する信号を制御手段5に送る。この制御手段5はそ
の信号を基に測定対象物像を表示手段3の画面上に表示
させる。なお、後述するカーソルも表示手段3に表示さ
せることになる。
【0010】オペレータは、表示手段3を見ながら、カ
ーソルを動かすべく操作手段4を操作する。制御手段5
は操作手段4から出力された操作内容に対応させて表示
手段3に表示されたカーソルを移動させる。なお、オペ
レータは適宜操作手段4を操作して測定対象物像を調整
することができる。オペレータがカーソルを測定対象物
像の両端に合わせ込んだ後、制御手段5は両カーソルの
位置からカーソル間隔を算出し、該カーソル間隔および
撮像倍率等の情報に基づいて求める寸法すなわち測定対
象物両端間の寸法を算出する。
【0011】制御手段5はその算出結果を表示手段3に
表示したり、図示しない記録手段やプリンタその他に出
力する。本実施の形態は、表示手段3に表示するカーソ
ルに、幅広部を設けることを特徴としており、これにつ
いて以下詳述する。図1は、測定対象物像6と本実施の
形態のカーソル7,8を、表示手段3に表示したところ
を示している。この図1に示すように、カーソル7,8
は画面上の例えば上下方向に引かれた状態で表示され、
操作手段4を操作することにより、この図の例では左右
方向に移動可能となっている。
【0012】カーソル7は線状であるが、部分的に幅が
広くなって幅広部9および幅広部10を形成している。
カーソル7の細線部分は例えば破線とし、幅広部9,1
0との間に隙間があくようにしておくとよい。幅広部
9,10はカーソル7の長さ方向の中心線によりそれぞ
れ正しく2分割されるようにしておく。カーソル8も同
様に、幅広部11および幅広部12を有する。
【0013】幅広部9〜12は、測定対象物像6の像端
のラインと対比させた場合に、後述するような位置決め
のために最適な幅とする。例えばこの幅を3.0mm程
度とする。また、幅広部9〜12の図の上下方向の長さ
についても、位置決めの際に最適な設定とする必要があ
り、そのためには幅広部9〜12の横幅が視覚的に強調
されるようにする。例えば、前記幅広部9〜12の上下
方向の長さを10.0mm程度としておくとよい。
【0014】前記の幅広部9と幅広部10は、カーソル
7の長さ方向すなわちこの例では上下方向に可動とし、
該幅広部9,10の間隔を自由に設定可能にしておき、
オペレータが操作手段4を操作することにより、任意の
位置に設定できるようにしておく。同様に、幅広部11
と幅広部12も上下方向に可動とし、該幅広部11,1
2の間隔を自由に設定可能とする。
【0015】このように、幅広部9,10はカーソル7
上を上下動可能であるが、このカーソル7との左右方向
の相対的な位置関係は固定されている。カーソル7が動
作する場合にも、常にそのカーソル7との相対的な位置
関係が固定された状態でともに動作するようにしてお
く。幅広部11,12とカーソル8との関係も同様であ
る。すなわち、幅広部9〜12は単独では左右方向に動
作しないものである。
【0016】さらに、上記幅広部9〜12の上下動は、
上部同志、下部同志が連動するものとする。すなわち、
幅広部9および幅広部11が1組となって同時に同じ量
だけ上下動し、幅広部10および幅広部12が1組とな
って同時に同じ量だけ上下動する。なお、カーソル7,
8の幅広部9〜12以外の細線部分は図のような破線に
限らず、幅広部9〜12との間に隙間を設けておけばど
の様な線種としてもよい。
【0017】測定を行う場合、まず、画面上に映し出さ
れた測定対象物像6の両端に、左右のカーソル7,8を
それぞれ位置合わせする。この位置合わせは、具体的に
は、まずカーソル7,8を像端におおまかにあわせてお
き、さらに、幅広部9〜12がすべて像端の真上に位置
して像端のラインによって二等分されるように合わせ込
む。その際、カーソル7,8の細線部分と幅広部9〜1
2との隙間から像端を視認できるので、その像端のライ
ンと幅広部9〜12とを視認しながら詳細に合わせ込む
ことができる。
【0018】また、前述のように、上部側の幅広部9,
11は組となって連動し、下部側の幅広部10,12も
組となって連動するようにしてあるので、像6の大きさ
および形状等の状態に合わせて適宜上下に動かして設定
する。その結果、カーソルの幅広部9〜12が、全ての
位置において像端のラインで二等分されるようになれ
ば、その状態でカーソル7,8の位置合わせが完了した
ことになる。
【0019】そして、制御手段5は、この2本のカーソ
ル7,8の位置からカーソル間隔を算出し、そのカーソ
ル間隔および撮像・倍率の情報等から寸法を算出する。
上述のように本実施の形態では、カーソル7,8に幅広
部9〜12を設けたことにより、測定対象物像6の像端
ラインの真上にカーソルを合わせ込む作業を、視覚的効
果をもって容易かつ正確に行うことが可能となる。
【0020】また、各カーソルに複数の幅広部を設けた
ことにより、測定対象物像6自体の画面内での鉛直性を
確認することができ、より正確な測定が可能となる。例
えば測定対象物像6の鉛直性が悪い場合、オペレータは
操作手段4を操作してその像6が鉛直となるように補正
することができる。さらに、幅広部9〜12をカーソル
7,8の長さ方向に移動可能としたことにより、測定対
象物像6の大きさや形状等の状態に関わらず、最適な位
置に幅広部9〜12を設定して正確な測定を行うことが
可能となる。
【0021】第2の実施の形態 図2は寸法測定装置の簡略ブロック図、図3は本実施の
形態を示す説明図を示しており、まず図2に従って、本
実施の形態の寸法測定装置1の構成を説明する。2は顕
微鏡等による撮像手段であり、測定対象物を撮像してそ
の像に対応した信号を出力する。3は表示手段であり、
例えばCRTや液晶等のディスプレイによりなり、測定
対象物の像、後述するカーソルおよび各種情報を画像表
示する。4は操作手段であり、例えばトラックボールそ
の他のポインティングデバイスおよびキーボード等から
なり、オペレータの操作を受け入れる。5は前記各手段
を制御して機能させる制御手段である。
【0022】上記構成の寸法測定装置1を動作させる場
合、まず、撮像手段2によって寸法測定の対象である測
定対象物を撮像する。その撮像手段2は、得られた像に
対応する信号を制御手段5に送る。この制御手段5はそ
の信号を基に測定対象物像を表示手段3の画面上に表示
させる。なお、後述するカーソルも表示手段3に表示さ
せることになる。
【0023】オペレータは、表示手段3を見ながら、カ
ーソルを動かすべく操作手段4を操作する。制御手段5
は操作手段4から出力された操作内容に対応させて表示
手段3に表示されたカーソルを移動させる。なお、オペ
レータは適宜操作手段4を操作して測定対象物像を調整
することができる。オペレータがカーソルを測定対象物
像の両端に合わせ込んだ後、制御手段5はカーソルの位
置および撮像倍率等の情報に基づき、求める寸法すなわ
ち測定対象物両端間の寸法を算出する。
【0024】制御手段5はその算出結果を表示手段3に
表示したり、図示しない記録手段やプリンタその他に出
力する。本実施の形態は、表示手段3に表示するカーソ
ルを2本1組で2組設け、各組のカーソルを測定対象物
像の像端にそれぞれ対応させ、各組のカーソルの中央に
像端のラインがくるように位置合わせを行うことを特徴
としており、これについて以下詳述する。
【0025】図3は、測定対象物像6と本実施の形態の
カーソル13〜16を、表示手段3に表示したところを
示している。カーソル13〜16は、画面上の例えば上
下方向に引かれた状態で表示され、操作手段4を操作す
ることにより、この図の例では左右方向に移動可能とな
っている。また、本実施の形態は、前記の4本のカーソ
ルを2本1組で2組として用い、1組を左用に、もう1
組を右用に配することを特徴としている。すなわち、カ
ーソル13およびカーソル14の組を図における左用と
し、カーソル15およびカーソル16を右用として用い
るということである。
【0026】図の例では、上記カーソル13〜16を実
線として説明しているが、点線、破線または鎖線等どの
ようなものとしてもよい。そして、上記カーソル13〜
16自体の幅は、細めのものとする。これは例えば1.
0mm以下程度としておくとよい。本実施の形態の位置
合わせの際には、1組のカーソルの中央に、測定対象物
像6の像端のラインがくるようにするので、このカーソ
ル間隔はそのような位置合わせに最適となるように設定
しておく必要がある。例えば、カーソル13およびカー
ソル14の間隔、カーソル15およびカーソル16の間
隔を、標準状態ではそれぞれ3.0mm程度としておく
とよい。
【0027】前記各組のカーソル間隔は、固定した状態
で用いることもできるが、その間隔を可変として用いる
こともできることとする。測定対象物像6の像端ががた
がたしている等、直線性が悪い場合や、あるいは画像の
見え方の状態に応じて、上記カーソル間隔を標準状態よ
りも広くしたり狭くしたりして最適な間隔に設定して用
いる。すなわち、カーソル13とカーソル14の間隔、
カーソル15とカーソル16の間隔を、各々単独に調整
できるものとする。
【0028】カーソル13,14間隔の調整の際には、
例えば、カーソル13を基準にカーソル14を動かすこ
ととするか、あるいはカーソル13を基準にカーソル1
4を動かすこととするとよい。カーソル15,16間隔
の調整も同様である。前記のように間隔調整したカーソ
ルの各組を測定対象物像6の像端に合わせ込む時は、前
記のカーソル間隔を保った状態で、各組単位で移動させ
ることになる。
【0029】測定を行う場合、画面上に映し出された測
定対象物像6の両端に、カーソル13,14の組とカー
ソル15,16の組をそれぞれ合わせるが、まずおおま
かに、カーソル13およびカーソル14の間に測定対象
物像6の左端が納まるように、カーソル15およびカー
ソル16の間に測定対象物像6の右端が納まるように位
置合わせを行っておく。
【0030】ここで、測定対象物像6の像端の直線性が
良い場合は、カーソル13,14の間隔およびカーソル
15,16の間隔を固定した状態としておく。そして、
より正確にカーソル13,14の組の中央に左の像端の
ラインがくるように、カーソル15,16の組の中央に
右の像端のラインがくるように、位置合わせを行う。測
定対象物像6の形状の直線性が良くない等の場合は、カ
ーソル間隔を上述の固定式ではなく可変式として測定を
行う。おおまかな位置合わせの後、カーソル13,14
の組の幅を標準状態から広くするかあるいは狭くして、
最適な間隔に調節する。そして、その間隔を保った状態
で、測定対象物像6の像端がカーソル13,14の組の
中央にくるように詳細に合わせ込みを行う。カーソル1
5,16の組についても同様に実行する。
【0031】このカーソル13,14の間隔と、カーソ
ル15,16の間隔は一致する必要はなく、各々の像端
の状態に適した幅とすればよい。カーソルの合わせ込み
が完了すると、制御手段5は、カーソル13,14の中
央とカーソル15,16の中央との距離値を算出し、該
距離値および撮像・倍率の情報等から測定対象物の寸法
を算出する。
【0032】上述のように本実施の形態では、カーソル
を左右各々2本1とし、そのカーソルの組の中央に像端
がくるように位置決めを行うので、カーソル合わせが視
覚的に容易かつ正確に実行可能となる。また、左右のカ
ーソルの組は、カーソル同志の間隔を固定あるいは可変
として位置合わせを行うので、像端形状の状態に関わら
ず、常に正確な測定を実行可能となる。
【0033】なお、上述の第1および第2の実施の形態
では、鉛直方向に映し出された測定対象物像の左右両端
に、長さ方向を鉛直方向としたカーソルを対応させて測
定を行うこととして説明したが、これに限定されること
なく、カーソル同志が測定対象物像の方向性に合わせて
常に平行を保つように動作することとしておけば、これ
ら測定対象物像およびカーソルをどの様な方向に配した
としても、同様に本発明を適用可能である。
【0034】また、上述の第1および第2の実施の形態
では、画面上に測定対象物の像を映し出してその画面上
のカーソルを用いて位置合わせを行う寸法測定装置を用
いた例を挙げて説明しているが、顕微鏡の接眼レンズ部
に直接カーソルを設置して測定する方式の寸法測定装置
にも適応可能である。
【0035】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、カーソルに
設けた幅広部の中央に測定対象物像の像端を合わせるこ
と、あるいは2本1組で構成したカーソルの中央に測定
対象物像の像端を合わせるとにより、そのカーソルの合
わせ込み作業が視覚的に明確な条件下で、容易かつ正確
に実行可能となり、寸法測定の信頼性を高めるとともに
作業者の違い等による測定誤差を極めて微小なものに抑
えることが可能となる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態を示す説明図
【図2】寸法測定装置の簡略ブロック図
【図3】第2の実施の形態を示す説明図
【符号の説明】
1 寸法測定装置 2 撮像手段 3 表示手段 4 操作手段 5 制御手段 6 測定対象物像 7,8 カーソル 9,10,11,12 幅広部 13,14,15,16 カーソル

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 画像表示された測定対象物像の両端に線
    状のカーソルを合わせ、両カーソル間の距離値を用いて
    測定対象物の寸法を算出する寸法測定方法において、 カーソルの線上に設けた線幅の広い幅広部の中央を、測
    定対象物像の像端に合わせて寸法測定を行うことを特徴
    とする寸法測定方法。
  2. 【請求項2】 画像表示された測定対象物像の両端に線
    状のカーソルを合わせ、両カーソル間の距離値を用いて
    測定対象物の寸法を算出する寸法測定方法において、 2本1組としたカーソルを2組設け、測定対象物像の両
    端に前記カーソルの組をそれぞれ移動させる際に、カー
    ソルの組の中央に測定対象物像の像端がくるように位置
    合わせを行い、 一方のカーソルの組の中央と他方のカーソルの組の中央
    との距離値を用いて寸法を算出することを特徴とする寸
    法測定方法。
  3. 【請求項3】 測定対象物を任意の倍率に変換して撮像
    する撮像手段と、その測定対象物像および線状のカーソ
    ルを画像表示する表示手段と、オペレータの操作を受け
    入れる操作手段と、前記の各手段を制御する制御手段を
    有し、 測定対象物像の像端に合わせた両カーソル間の距離値を
    用いて測定対象物の寸法を算出する寸法測定装置におい
    て、 カーソルの線上に線幅の広い幅広部を形成したことを特
    徴とする寸法測定装置。
  4. 【請求項4】 請求項3において、各カーソル上に複数
    の幅広部を同数設け、各幅広部をそれぞれ他のカーソル
    上の幅広部と対応させ、 相対応する幅広部の組を連動させ、同一カーソル上の幅
    広部同志の間隔を測定対象物像の状態に合わせて調整し
    て寸法測定を行うことを特徴とする寸法測定装置。
  5. 【請求項5】 測定対象物を任意の倍率に変換して撮像
    する撮像手段と、その測定対象物像および線状のカーソ
    ルを画像表示する表示手段と、オペレータの操作を受け
    入れる操作手段と、前記の各手段を制御する制御手段を
    有し、 測定対象物像の像端に合わせた両カーソル間の距離値を
    用いて測定対象物の寸法を算出する寸法測定装置におい
    て、 測定対象物像の像端に対応させた2本1組のカーソルを
    2組設けたことを特徴とする寸法測定装置。
  6. 【請求項6】 請求項5において、組となるカーソル同
    志の間隔を可変とし、測定対象物像端の状態に合わせて
    カーソルの間隔を調整して寸法測定を行うことを特徴と
    する寸法測定装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109211131A (zh) * 2018-11-16 2019-01-15 北京和众视野科技有限公司 一种皮革表面涂层厚度与皮革厚度的测量方法
CN115876050A (zh) * 2022-05-09 2023-03-31 住华科技股份有限公司 量测装置、应用其的光学膜制程量测设备及量测方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109211131A (zh) * 2018-11-16 2019-01-15 北京和众视野科技有限公司 一种皮革表面涂层厚度与皮革厚度的测量方法
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