JPH09189673A - 湿度センサ - Google Patents
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- JPH09189673A JPH09189673A JP384896A JP384896A JPH09189673A JP H09189673 A JPH09189673 A JP H09189673A JP 384896 A JP384896 A JP 384896A JP 384896 A JP384896 A JP 384896A JP H09189673 A JPH09189673 A JP H09189673A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 感湿性、感湿応答性、再現性、繰り返し耐久
性に優れ、容易かつ安価に製造可能な高分子複合膜より
なる湿度センサを提供する。 【解決手段】 ポリ(o−フェニレンジアミン)とポリ
ビニルアルコールとの複合膜を備えてなる湿度センサ。 【効果】 ポリ(o−フェニレンジアミン)/ポリビニ
ルアルコール複合膜の電気伝導度は湿度変化に対応して
直線的に大きく変化し、この電気伝導度の変化は、湿度
上昇時と下降時とで殆ど差がなく、ヒステリシスは見ら
れない。高湿条件と低湿条件を繰り返し経験しても再現
性良く良好な感湿性を示す。感湿性、感湿応答性、再現
性、繰り返し耐久性に優れ、容易かつ安価に製造可能な
湿度センサが提供される。
性に優れ、容易かつ安価に製造可能な高分子複合膜より
なる湿度センサを提供する。 【解決手段】 ポリ(o−フェニレンジアミン)とポリ
ビニルアルコールとの複合膜を備えてなる湿度センサ。 【効果】 ポリ(o−フェニレンジアミン)/ポリビニ
ルアルコール複合膜の電気伝導度は湿度変化に対応して
直線的に大きく変化し、この電気伝導度の変化は、湿度
上昇時と下降時とで殆ど差がなく、ヒステリシスは見ら
れない。高湿条件と低湿条件を繰り返し経験しても再現
性良く良好な感湿性を示す。感湿性、感湿応答性、再現
性、繰り返し耐久性に優れ、容易かつ安価に製造可能な
湿度センサが提供される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は湿度センサに係り、
特に、高分子複合膜よりなる感湿性、感湿応答性、再現
性、耐久性に優れた湿度センサに関する。
特に、高分子複合膜よりなる感湿性、感湿応答性、再現
性、耐久性に優れた湿度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】ルームエアコン、除湿機などの家庭電気
製品やビル空調では湿度制御によって快適な環境が得ら
れ、また、電子部品製造業、繊維工業及び農業の分野な
どでは、品質向上に適する湿度範囲があることから、安
定な湿度制御が重要視され、この湿度制御のためにより
信頼性の高い湿度センサが要求されている。
製品やビル空調では湿度制御によって快適な環境が得ら
れ、また、電子部品製造業、繊維工業及び農業の分野な
どでは、品質向上に適する湿度範囲があることから、安
定な湿度制御が重要視され、この湿度制御のためにより
信頼性の高い湿度センサが要求されている。
【0003】従来提供されている湿度センサは大別し
て、伸縮式,乾湿球式,電気抵抗式,静電容量式,露点
式,電磁波吸収式があるが、これらのうち、電気信号が
得られてマイクロプロセッサとの接続が容易である、小
形軽量化が図れ、構造簡単であるなどの特徴を備える電
気抵抗式のものが注目を集めている。
て、伸縮式,乾湿球式,電気抵抗式,静電容量式,露点
式,電磁波吸収式があるが、これらのうち、電気信号が
得られてマイクロプロセッサとの接続が容易である、小
形軽量化が図れ、構造簡単であるなどの特徴を備える電
気抵抗式のものが注目を集めている。
【0004】電気抵抗式湿度センサとしては、古くから
電解質,有機高分子,半導体,金属酸化物など各種の感
湿材が開発されているが、長期安定性が期待される点
で、高分子電解質を感湿膜とする湿度センサの検討が行
われている。
電解質,有機高分子,半導体,金属酸化物など各種の感
湿材が開発されているが、長期安定性が期待される点
で、高分子電解質を感湿膜とする湿度センサの検討が行
われている。
【0005】具体的には、ポリビニルアルコールとポリ
アクリル酸ソーダ等の電解質を含む感湿材(特開昭58
−171657号公報)、更にこれにセルロース誘導体
を配合したもの(特開昭59−94053号公報)、ポ
リイミド膜からなる感湿材(特開平6−148122号
公報)等が提案されている。また、ポリアニリンの感湿
性についても、報告がなされている(Synth. Met., 18,
311,(1987))。
アクリル酸ソーダ等の電解質を含む感湿材(特開昭58
−171657号公報)、更にこれにセルロース誘導体
を配合したもの(特開昭59−94053号公報)、ポ
リイミド膜からなる感湿材(特開平6−148122号
公報)等が提案されている。また、ポリアニリンの感湿
性についても、報告がなされている(Synth. Met., 18,
311,(1987))。
【0006】なお、ポリ(o−フェニレンジアミン)多
孔質膜を利用した分子選択素子又はイオンセンサ、pH
センサが提案されているが(特開昭63−281138
号公報)、ポリビニルアルコールとの複合化、更には、
電気抵抗式湿度センサへの応用については記載がない。
孔質膜を利用した分子選択素子又はイオンセンサ、pH
センサが提案されているが(特開昭63−281138
号公報)、ポリビニルアルコールとの複合化、更には、
電気抵抗式湿度センサへの応用については記載がない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】電気抵抗式湿度センサ
としては、次のような特性が要求される。
としては、次のような特性が要求される。
【0008】 高感度であること。即ち、湿度変化に
対して、抵抗(又は電気伝導度)が大きく変化するこ
と。 応答性に優れること。即ち、湿度の変化に対して追
従性が良く、湿度が上昇したときの抵抗(又は電気伝導
度)変化と湿度が低下したときの抵抗(又は電気伝導
度)変化とで差が殆どなく、ヒステリシスが見られない
こと。 再現性、耐久性に優れること。即ち、高湿条件と低
湿条件とを繰り返し経験しても、抵抗(又は電気伝導
度)の再現性が良く、繰り返し使用に十分に耐え得るこ
と。
対して、抵抗(又は電気伝導度)が大きく変化するこ
と。 応答性に優れること。即ち、湿度の変化に対して追
従性が良く、湿度が上昇したときの抵抗(又は電気伝導
度)変化と湿度が低下したときの抵抗(又は電気伝導
度)変化とで差が殆どなく、ヒステリシスが見られない
こと。 再現性、耐久性に優れること。即ち、高湿条件と低
湿条件とを繰り返し経験しても、抵抗(又は電気伝導
度)の再現性が良く、繰り返し使用に十分に耐え得るこ
と。
【0009】また、工業製品であることから、製造が容
易で安価に製造可能であることが要求されており、より
一層高感度で応答性、再現性、耐久性に優れ、しかも容
易かつ安価に製造可能な湿度センサが求められている。
易で安価に製造可能であることが要求されており、より
一層高感度で応答性、再現性、耐久性に優れ、しかも容
易かつ安価に製造可能な湿度センサが求められている。
【0010】本発明は上記従来の実情に鑑みてなされた
ものであって、感湿性、感湿応答性、再現性、繰り返し
耐久性に優れ、容易かつ安価に製造可能な高分子複合膜
よりなる湿度センサを提供することを目的とする。
ものであって、感湿性、感湿応答性、再現性、繰り返し
耐久性に優れ、容易かつ安価に製造可能な高分子複合膜
よりなる湿度センサを提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の湿度センサは、
ポリ(o−フェニレンジアミン)とポリビニルアルコー
ルとの複合膜を備えてなることを特徴とする。
ポリ(o−フェニレンジアミン)とポリビニルアルコー
ルとの複合膜を備えてなることを特徴とする。
【0012】電気化学的に得られたポリo−フェニレン
ジアミン(PoPD)は幾つかの有機溶媒に可溶であ
り、特にジメチルスルホキシド(DMSO)に易溶であ
る。本発明者らは、PoPD/DMSO飽和溶液とポリ
ビニルアルコール(PVA)/DMSO溶液から調製し
たPoPD/PVA複合膜の電気伝導度は、PoPDが
約0.1体積%をしきい値とするパーコレーション挙動
を示し、また、PoPD/PVA複合膜の電気伝導度は
湿度変化に対応して直線的に大きく変化すること、この
電気伝導度の変化は、湿度上昇時と下降時とで殆ど差が
なく、ヒステリシスは見られないこと、また、高湿条件
と低湿条件を繰り返し経験しても再現性良く良好な感湿
性を示すことを確認した。
ジアミン(PoPD)は幾つかの有機溶媒に可溶であ
り、特にジメチルスルホキシド(DMSO)に易溶であ
る。本発明者らは、PoPD/DMSO飽和溶液とポリ
ビニルアルコール(PVA)/DMSO溶液から調製し
たPoPD/PVA複合膜の電気伝導度は、PoPDが
約0.1体積%をしきい値とするパーコレーション挙動
を示し、また、PoPD/PVA複合膜の電気伝導度は
湿度変化に対応して直線的に大きく変化すること、この
電気伝導度の変化は、湿度上昇時と下降時とで殆ど差が
なく、ヒステリシスは見られないこと、また、高湿条件
と低湿条件を繰り返し経験しても再現性良く良好な感湿
性を示すことを確認した。
【0013】本発明によれば、感湿性、感湿応答性、再
現性、繰り返し耐久性に優れ、容易かつ安価に製造可能
な湿度センサが提供される。
現性、繰り返し耐久性に優れ、容易かつ安価に製造可能
な湿度センサが提供される。
【0014】なお、本発明に係るPoPD/PVA複合
膜では、後掲の実施例1の結果からも明らかなように、
約10%から約100%の湿度変化に対して電気伝導度
は2.5×10-5から3.5×10-1S・cm-1と、4
オーダーも変化している。
膜では、後掲の実施例1の結果からも明らかなように、
約10%から約100%の湿度変化に対して電気伝導度
は2.5×10-5から3.5×10-1S・cm-1と、4
オーダーも変化している。
【0015】これに対して、従来感湿性が報告されてい
るポリアニリンの電気伝導度は、ポリマー固相と水移動
層間のプロトン交換によるものであるとされている。こ
のポリアニリンの電気伝導度は、4×10-5〜1×10
-4Ω-1cm-1の範囲で直線性を示し、本発明のPoPD
/PVA複合膜に比較してかなり狭い領域である。
るポリアニリンの電気伝導度は、ポリマー固相と水移動
層間のプロトン交換によるものであるとされている。こ
のポリアニリンの電気伝導度は、4×10-5〜1×10
-4Ω-1cm-1の範囲で直線性を示し、本発明のPoPD
/PVA複合膜に比較してかなり狭い領域である。
【0016】従って、本発明のPoPD/PVA複合膜
の10-5〜10-1S・cm-1の電気伝導度変化をプロト
ン交換で説明するのは困難であり、むしろ、次のような
酸−塩基反応がPoPDとPVA間で起こっていると推
定される。
の10-5〜10-1S・cm-1の電気伝導度変化をプロト
ン交換で説明するのは困難であり、むしろ、次のような
酸−塩基反応がPoPDとPVA間で起こっていると推
定される。
【0017】
【化1】
【0018】実際、本発明のPoPD/PVA複合膜を
ホルマール化し、PVAの−OH濃度を減少させると、
電気伝導度は1.7%以下になるという、上記機構と矛
盾しない結果が得られる。
ホルマール化し、PVAの−OH濃度を減少させると、
電気伝導度は1.7%以下になるという、上記機構と矛
盾しない結果が得られる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。
【0020】まず、本発明の湿度センサを構成するPo
PD/PVA複合膜の製造方法について説明する。
PD/PVA複合膜の製造方法について説明する。
【0021】本発明のPoPD/PVA複合膜の製造に
当っては、まず、o−フェニレンジアミンモノマーを重
合させてPoPDを製造する。PoPDは、0.05〜
0.5M程度の硫酸溶液中に0.01〜0.1mM程度
入れて、−0.2〜+0.8V(対SCE)の電位範囲
の電位走査で電気化学的に製造することができる。
当っては、まず、o−フェニレンジアミンモノマーを重
合させてPoPDを製造する。PoPDは、0.05〜
0.5M程度の硫酸溶液中に0.01〜0.1mM程度
入れて、−0.2〜+0.8V(対SCE)の電位範囲
の電位走査で電気化学的に製造することができる。
【0022】このPoPDをDMSOに、1.0重量%
以上、好ましくは約1.55重量%の飽和濃度に溶解さ
せてPoPD/DMSO溶液を調製する。
以上、好ましくは約1.55重量%の飽和濃度に溶解さ
せてPoPD/DMSO溶液を調製する。
【0023】別にPVAを1.8〜10重量%濃度でD
MSOに溶解させてPVA/DMSO溶液を調製する。
MSOに溶解させてPVA/DMSO溶液を調製する。
【0024】これらPoPD/DMSO溶液とPVA/
DMSO溶液を所定割合で撹拌混合し、真空乾燥するこ
とによりPoPD/PVA複合膜を得ることができる。
DMSO溶液を所定割合で撹拌混合し、真空乾燥するこ
とによりPoPD/PVA複合膜を得ることができる。
【0025】このPoPD/PVA複合膜は、後掲の実
験例1の結果から明らかなように、PoPDとPVAと
が化学的に結合したものではなく、単に混合状態で複合
されたものである。
験例1の結果から明らかなように、PoPDとPVAと
が化学的に結合したものではなく、単に混合状態で複合
されたものである。
【0026】本発明において、PoPD/PVA複合膜
中のPoPDとPVAとの割合は、PoPD20〜90
重量%に対してPVA80〜10重量%であることが好
ましい。この範囲よりもPoPDが多いと導電性の湿度
依存性が低下し、逆にPVAが多いと導電性が損なわ
れ、いずれも良好な感湿性が得られない。
中のPoPDとPVAとの割合は、PoPD20〜90
重量%に対してPVA80〜10重量%であることが好
ましい。この範囲よりもPoPDが多いと導電性の湿度
依存性が低下し、逆にPVAが多いと導電性が損なわ
れ、いずれも良好な感湿性が得られない。
【0027】なお、PoPD及びPVAの重量と体積と
の関係は、各々、図4,5に示す通りであり、PoPD
はPVAに比べて著しく高比重であることがわかる。
の関係は、各々、図4,5に示す通りであり、PoPD
はPVAに比べて著しく高比重であることがわかる。
【0028】従って、上記PoPD20〜90重量%と
いう含有量は、体積含有量にして、0.24〜1.08
体積%の小容量であるが、後掲の実験例2の結果からも
明らかなように、PoPDはPVAをマトリックスとし
て極めて分散性良く混合され、均質性の高いPoPD/
PVA複合膜を得ることができる。
いう含有量は、体積含有量にして、0.24〜1.08
体積%の小容量であるが、後掲の実験例2の結果からも
明らかなように、PoPDはPVAをマトリックスとし
て極めて分散性良く混合され、均質性の高いPoPD/
PVA複合膜を得ることができる。
【0029】本発明の湿度センサは、常法に従って、絶
縁基板上に形成された電極上にPoPD/PVA複合膜
を成膜し、この上に上部電極を形成することにより容易
にかつ安価に製造することができる。
縁基板上に形成された電極上にPoPD/PVA複合膜
を成膜し、この上に上部電極を形成することにより容易
にかつ安価に製造することができる。
【0030】なお、PoPD/PVA複合膜の膜厚は電
導度には影響しないが、作成上の簡便さの点から0.0
1〜10μm程度であることが好ましい。
導度には影響しないが、作成上の簡便さの点から0.0
1〜10μm程度であることが好ましい。
【0031】
【実施例】以下に製造例、実験例及び実施例を挙げて本
発明をより具体的に説明する。
発明をより具体的に説明する。
【0032】なお、実験例及び実施例におけるPoPD
/PVA複合膜の湿度変化に対する電気伝導度の測定は
次のようにして行った。
/PVA複合膜の湿度変化に対する電気伝導度の測定は
次のようにして行った。
【0033】即ち、PoPD/PVA複合膜を白金くし
形電極にキャストし、恒温セル内の試料台に固定して湿
度変化に対する電気伝導度(σ)の変化を二端子法で測
定した。測定セル中の温度は、飽和塩類の水蒸気圧を用
いる湿度定法で調整し、恒湿セルは恒温水槽に入れ、2
0℃に保った。セル内の温度はデジタル温湿度計で測定
した。また、電気伝導度はHA-501G Potentiostat/Galva
nostat(北斗電工)を用いてin situで測定し
た。
形電極にキャストし、恒温セル内の試料台に固定して湿
度変化に対する電気伝導度(σ)の変化を二端子法で測
定した。測定セル中の温度は、飽和塩類の水蒸気圧を用
いる湿度定法で調整し、恒湿セルは恒温水槽に入れ、2
0℃に保った。セル内の温度はデジタル温湿度計で測定
した。また、電気伝導度はHA-501G Potentiostat/Galva
nostat(北斗電工)を用いてin situで測定し
た。
【0034】製造例1 50mMのo−フェニレンジアミンモノマーを含む0.
1M硫酸溶液中で、白金電極を用いて−0.2〜+0.
8V(vs.SEC)の電位範囲で電位走査を繰り返す
ことによって、PoPDを合成した。このPoPDをD
MSOに1.55重量%の飽和状態に溶解し、6.0重
量%PVA/DMSO溶液と、PoPD/DMSO溶
液:PVA/DMSO溶液=0.2:0.8(1:4
比)の割合で撹拌混合し真空乾燥の後、膜厚0.01μ
mのPoPD/PVA複合膜(PoPD体積含有量:
0.2体積%,PoPD重量含有量:19.4重量%,
PVA重量含有量:80.6重量%)を得た。
1M硫酸溶液中で、白金電極を用いて−0.2〜+0.
8V(vs.SEC)の電位範囲で電位走査を繰り返す
ことによって、PoPDを合成した。このPoPDをD
MSOに1.55重量%の飽和状態に溶解し、6.0重
量%PVA/DMSO溶液と、PoPD/DMSO溶
液:PVA/DMSO溶液=0.2:0.8(1:4
比)の割合で撹拌混合し真空乾燥の後、膜厚0.01μ
mのPoPD/PVA複合膜(PoPD体積含有量:
0.2体積%,PoPD重量含有量:19.4重量%,
PVA重量含有量:80.6重量%)を得た。
【0035】実験例1 PVA,PoPD及び製造例1で得られたPoPD/P
VA複合膜の各々について、FT-IR-8100M(島津製作
所)及びUV−2000(島津製作所)を用いて、紫外
可視吸収スペクトル及びUVスペクトルを測定した。
VA複合膜の各々について、FT-IR-8100M(島津製作
所)及びUV−2000(島津製作所)を用いて、紫外
可視吸収スペクトル及びUVスペクトルを測定した。
【0036】その結果、いずれのスペクトルでも、Po
PD/PVA複合膜の吸収スペクトルはPVAとPoP
Dの吸収の和として観測され、それ以外の新たな吸収は
観測されなかったことから、PoPD/PVA複合膜
は、化学結合を伴って生じたものではなく、単にPVA
とPoPDとの混合によるものであることが推定され
た。
PD/PVA複合膜の吸収スペクトルはPVAとPoP
Dの吸収の和として観測され、それ以外の新たな吸収は
観測されなかったことから、PoPD/PVA複合膜
は、化学結合を伴って生じたものではなく、単にPVA
とPoPDとの混合によるものであることが推定され
た。
【0037】実験例2 製造例1と同様にして、PoPD濃度の異なるPoPD
/PVA複合膜を製造し、各々、湿度40%と85%の
場合の電気伝導度を測定し、結果を図3に示した。
/PVA複合膜を製造し、各々、湿度40%と85%の
場合の電気伝導度を測定し、結果を図3に示した。
【0038】図3より次のことが明らかである。
【0039】即ち、PoPD/PVA複合膜の電気伝導
度は、複合膜中のPoPDの存在が約0.1体積%をし
きい値として急激に増大している。約0.5体積%でP
oPDのみの電気伝導度と同等の電気伝導度を得ること
ができた。これは、パーコレーション転位と呼ばれる挙
動であり、絶縁性マトリックスポリマー(PVA)中
で、0.1体積%の存在でPoPDが導電経路を構築し
ているためである。つまり、絶縁性マトリックス中にお
いて導電性物質の体積要素が、ある値に達したとき、導
電性クラスターによる導電連鎖の形成確率が急激に大き
くなるためである。
度は、複合膜中のPoPDの存在が約0.1体積%をし
きい値として急激に増大している。約0.5体積%でP
oPDのみの電気伝導度と同等の電気伝導度を得ること
ができた。これは、パーコレーション転位と呼ばれる挙
動であり、絶縁性マトリックスポリマー(PVA)中
で、0.1体積%の存在でPoPDが導電経路を構築し
ているためである。つまり、絶縁性マトリックス中にお
いて導電性物質の体積要素が、ある値に達したとき、導
電性クラスターによる導電連鎖の形成確率が急激に大き
くなるためである。
【0040】一般に、パーコレーションしきい値は約5
体積%であるが、ここで得られた値は0.1体積%であ
るのでかなり小さい。これは、PoPDが複合体中によ
く分散し、PoPDとPVAが極限まで混合されている
ためと考えられる。
体積%であるが、ここで得られた値は0.1体積%であ
るのでかなり小さい。これは、PoPDが複合体中によ
く分散し、PoPDとPVAが極限まで混合されている
ためと考えられる。
【0041】実施例1 製造1で得られたPoPD/PVA複合膜について、異
なる湿度雰囲気に対する電気伝導度の変化を測定し、結
果を図1に示した。
なる湿度雰囲気に対する電気伝導度の変化を測定し、結
果を図1に示した。
【0042】図1から明らかなように、σの対数値は湿
度と良好な直線関係にある。この図には、雰囲気の湿度
を上昇させた場合(●)と下降させた場合(○)の結果
が示されているが、両者の差は殆どなくヒステリシスは
見られない。また、このPoPD/PVA複合膜は、約
10%から100%近くまでの湿度変化に対して電気伝
導度が2.5×10-5から3.5×10-1S・cm-1ま
で4オーダーも変化しており、感湿性が著しく良好であ
ることがわかる。
度と良好な直線関係にある。この図には、雰囲気の湿度
を上昇させた場合(●)と下降させた場合(○)の結果
が示されているが、両者の差は殆どなくヒステリシスは
見られない。また、このPoPD/PVA複合膜は、約
10%から100%近くまでの湿度変化に対して電気伝
導度が2.5×10-5から3.5×10-1S・cm-1ま
で4オーダーも変化しており、感湿性が著しく良好であ
ることがわかる。
【0043】図2は、湿度92%の高湿条件と湿度0%
の低湿条件とを繰り返した場合のPoPD/PVA複合
膜の電気伝導度の変化をプロットしたものである。
の低湿条件とを繰り返した場合のPoPD/PVA複合
膜の電気伝導度の変化をプロットしたものである。
【0044】図2より、本発明のPoPD/PVA複合
膜は、再現性、繰り返し耐久性に優れ、長期にわたり良
好な感湿性を示すことがわかる。
膜は、再現性、繰り返し耐久性に優れ、長期にわたり良
好な感湿性を示すことがわかる。
【0045】なお、図2には、ホルマール化したPoP
D/PVA複合膜について同様にして測定を行った結果
を併記した。即ち、本発明のPoPD/PVA複合膜の
導電機構を知る目的でPoPD/PVA複合膜のホルマ
ール化を行い、電気伝導度を測定した。ホルマール化浴
は、蒸留水、硫酸、無水硫酸ナトリウム、ホルムアルデ
ヒドを順次混合して調製した。このホルマール化浴を恒
温水槽中に置き、PoPD/PVA複合膜を入れ、10
分間静置した後、浴温を次第に上昇させ、60℃に2時
間保った。その後、PoPD/PVA複合膜を取り出
し、蒸留水で十分洗浄した後、乾燥してホルマール化複
合膜とし、同様に電気伝導度を測定した。
D/PVA複合膜について同様にして測定を行った結果
を併記した。即ち、本発明のPoPD/PVA複合膜の
導電機構を知る目的でPoPD/PVA複合膜のホルマ
ール化を行い、電気伝導度を測定した。ホルマール化浴
は、蒸留水、硫酸、無水硫酸ナトリウム、ホルムアルデ
ヒドを順次混合して調製した。このホルマール化浴を恒
温水槽中に置き、PoPD/PVA複合膜を入れ、10
分間静置した後、浴温を次第に上昇させ、60℃に2時
間保った。その後、PoPD/PVA複合膜を取り出
し、蒸留水で十分洗浄した後、乾燥してホルマール化複
合膜とし、同様に電気伝導度を測定した。
【0046】図2より、このホルマール化複合膜は、電
気伝導度の変化が小さく、前述の如く、本発明のPoP
D/PVA複合膜では、PVAの−OH濃度が要因とな
って電気伝導度変化が生じていることが明らかである。
気伝導度の変化が小さく、前述の如く、本発明のPoP
D/PVA複合膜では、PVAの−OH濃度が要因とな
って電気伝導度変化が生じていることが明らかである。
【0047】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、感
湿性、感湿応答性、再現性、繰り返し耐久性に優れ、容
易かつ安価に製造可能な湿度センサが提供される。
湿性、感湿応答性、再現性、繰り返し耐久性に優れ、容
易かつ安価に製造可能な湿度センサが提供される。
【図1】実施例1で得られたPoPD/PVA複合膜の
湿度に対する電気伝導度変化を示すグラフである。
湿度に対する電気伝導度変化を示すグラフである。
【図2】実施例1で得られたPoPD/PVA複合膜の
再現性を示すグラフである。
再現性を示すグラフである。
【図3】実験例2で得られたPoPD/PVA複合膜の
PoPD含有量と電気伝導度との関係を示すグラフであ
る。
PoPD含有量と電気伝導度との関係を示すグラフであ
る。
【図4】PoPDの重量と体積との関係を示すグラフで
ある。
ある。
【図5】PVAの重量と体積との関係を示すグラフであ
る。
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 ポリ(o−フェニレンジアミン)とポリ
ビニルアルコールとの複合膜を備えてなる湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP384896A JPH09189673A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP384896A JPH09189673A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09189673A true JPH09189673A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11568614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP384896A Pending JPH09189673A (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09189673A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006214858A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 水蒸気センサおよび製造方法、水蒸気測定装置、蒸散量測定方法 |
| US8008660B2 (en) | 2007-12-18 | 2011-08-30 | Seiko Epson Corporation | Display apparatus and electrophoretic display apparatus |
-
1996
- 1996-01-12 JP JP384896A patent/JPH09189673A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006214858A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 水蒸気センサおよび製造方法、水蒸気測定装置、蒸散量測定方法 |
| US8008660B2 (en) | 2007-12-18 | 2011-08-30 | Seiko Epson Corporation | Display apparatus and electrophoretic display apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030527 |