JPH09189849A - 顕微鏡用焦点検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、周辺システムに対する焦点検出手段
での合焦精度を保証する光像の波長域の制限を大幅に拡
大できる顕微鏡用焦点検出装置を提供する。 【解決手段】透過用光源３または落射用光源４により照
明される試料Ｓの光像の一部を対物レンズ５より結合レ
ンズ１０２を有する結像光学系によりイメージセンサ１
０３上に投影して試料像の光強度分布に対応する出力信
号を得るとともに、この出力信号をアナログ信号処理回
路１１、評価関数演算器１２により所定の評価関数に従
って演算処理し、ここで得られる合焦度評価値に基づい
て試料Ｓに対する結像光学系の焦点状態を検出するよう
にした焦点検出器１０に対し、この焦点検出器１０と異
なる結像光学系を有する周辺システムとして写真システ
ム９を設けていて、この写真システム９に対する焦点検
出器１０での光路長を同焦調整ユニット１０１の平行平
板プリズム２０を移動させることで変化させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡に用いられ
る焦点検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、顕微鏡には、試料の観察像を写真
撮影したり、あるいはテレビ（ＴＶ）画面により観察可
能にしたものがあるが、このような写真撮影やＴＶ観察
を可能にしたものでは、顕微鏡本体の対物レンズとして
低倍対物レンズを用いたような場合、ピント合わせが難
しいといわれている。

【０００３】その理由として低倍対物レンズを用いる
と、対物レンズの試料側でＮＡ（開口数）が小さいた
め、被写界深度が深くなり、接眼レンズを通して観察像
を見ながら焦点合わせを行うと、目によるピント補正機
能も加わって、焦点が外れていても焦点が合っている様
に見えることがあり、一方、対物レンズの像側では焦点
深度が浅くなって焦点のずれが目立ってしまうなどの点
が挙げられる。

【０００４】このために、このような低倍対物レンズを
採用した顕微鏡では、焦点を検出するための顕微鏡用の
焦点検出装置が重要なアプリケーションの一つと考えら
れている。

【０００５】特開昭６１−１４３７１０号公報は、この
ような顕微鏡用焦点検出装置の一例を示すもので、高低
差のある試料表面に対しても速やかに焦点合わせを行う
ことができるようになっている。

【０００６】一方、顕微鏡を使用して生体組織や生物細
胞を観察するような場合、これら生体組織や生物細胞を
蛍光染色し、この状態で観察を行う蛍光観察が行われて
いる。この場合、これら生体組織や生物細胞からは、赤
外光による光像が発生する。ところが、このような赤外
光による光像を写真撮影やテレビ観察するような場合、
肉眼でピント合わせを行うことは不可能であり、このこ
とからも顕微鏡用の焦点検出装置が必要になっている。
このように顕微鏡に用いられる焦点検出装置では、一般
用途を含めると可視光から可視外までの焦点検出が可能
であることが必要がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際の
問題として、写真撮影やＴＶ観察を可能にしたもので
は、写真撮影装置とＴＶカメラ装置と焦点検出装置のそ
れぞれの結像光学系の色補正不足により色収差が生じる
ため、ピント精度を確保するのが難くなるという問題が
あった。

【０００８】図７は、ある写真システムにおける光像の
波長に対するピント位置の変化を示したモデルで、縦軸
に結像光学系のピント位置、横軸に光像の波長を示して
いる。この場合、図からも明らかなように、結像光学系
の色収差により、基準位置に対するピント位置が変化し
ていることがわかる。

【０００９】また、図８は、図７に示したモデルａに、
ＡＦ（オートフォーカス）システムの波長に対するピン
ト位置の変化を示したモデルｂを破線で書き加えたもの
で、この場合、同図に示すようにＡＦシステムと写真シ
ステムの結像光学系が異なるため、ＡＦシステムと写真
システムの光像の波長に対するピント位置の変化曲線は
一致していない。

【００１０】このような場合、写真システムとＡＦシス
テムの合焦精度保証範囲ｃは、焦点深度を考慮して、例
えば同焦ずれが±１．０［ｍｍ］まで許容されるとする
と、４６０〜６００［ｎｍ］の波長の範囲でＡＦの合焦
精度が保証されることになるが、４６０［ｎｍ］以下ま
たは６００［ｎｍ］以上では、両者の曲線の間隔が±
１．０［ｍｍ］を超えるため、ＡＦの合焦精度は保証で
きない。すなわちＡＦによる写真は４６０［ｎｍ］以下
または６００［ｎｍ］以上の範囲では、いわゆるピンぼ
けになってしまう。

【００１１】このようにＡＦシステムと写真システムを
組み合わせた場合、システムの結像光学系が異なるた
め、上述の理由により合焦精度の保証条件として必ず波
長の制限が存在することになり、このことから、色収差
によるピントずれを生じる波長域では、本来のＡＦの目
的性能を発揮できないという問題があった。

【００１２】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、写真システムなどの周辺システムに対する焦点検出
手段での合焦精度を保証する光像の波長域の制限を大幅
に拡大できる顕微鏡用焦点検出装置を提供することを目
的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
標本の観察光像を受光手段に結像する結像光学系を有し
前記受光手段の出力に対する合焦度評価値に基づいて前
記標本に対する前記結像光学系の焦点状態を検出する焦
点検出手段と、この焦点検出手段の結像光学系と異なる
結合光学系を有する周辺システムと、この周辺システム
に対する前記焦点検出手段の光路長あるいは色収差補正
量を決定する手段により構成している。

【００１４】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、周辺システムに対する前記焦点検出手段の光路長
あるいは色収差補正量は、標本像の波長に基づいて決定
している。

【００１５】請求項３記載の発明は、標本の観察光像を
受光手段に結像する結像光学系を有し前記受光手段の出
力に対する合焦度評価値に基づいて前記標本に対する前
記結像光学系の焦点状態を検出する焦点検出手段と、こ
の焦点検出手段の結像光学系と異なる結合光学系を有す
る周辺システムと、前記焦点検出手段の合焦度合に応じ
て前記結像光学系あるいは前記標本側の少なくとも一方
を駆動して合焦点サーチを行うサーボ手段と、前記標本
像の波長によりオフセット量を決定する手段と、前記サ
ーボ手段による合焦点サーチにより前記焦点検出手段が
合焦と判断した位置に対して前記決定されたオフセット
量だけ前記結像光学系あるいは前記標本の少なくとも一
方を駆動する手段とにより構成している。

【００１６】この結果、請求項１記載の発明によれば、
焦点検出手段と結像光学系が異なる周辺システムに対
し、色収差補正不足によって生じる光像の波長に関する
焦点検出手段と周辺システムのピントずれを補正するこ
とが可能となり、光像の波長によらず周辺システムに対
する焦点検出手段での合焦精度を確保することができ
る。

【００１７】また、請求項２記載の発明によれば、焦点
検出手段と結像光学系が異なる周辺システムに対し、色
収差補正不足によって生じる光像の波長に関する焦点検
出手段と周辺システムのピントずれを、標本像の波長に
基づいて自動的に補正することが可能となる。

【００１８】また、請求項３記載の発明によれば、焦点
検出手段と結像光学系が異なる周辺システムに対し、色
収差補正不足によって生じる光像の波長に関する焦点検
出手段と周辺システムのピントずれを、焦点検出手段が
合焦と判断した位置から一定のオフセット量だけさらに
駆動させることにより補正することが可能となる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明の顕微鏡用焦点検
出装置を落射／透過観察用写真顕微鏡に適用した例を示
している。

【００２０】図において、１は顕微鏡本体で、この顕微
鏡本体１には、ステージ２を設けている。このステージ
２は、観察標本である試料Ｓを載置するとともに、光軸
方向に上下方向に移動可能にしている。

【００２１】また、ステージ２の下方部には、透過検鏡
の際の透過用光源３を、ステージ２の上方部には、落射
蛍光検鏡の際の落射用光源４をそれぞれ配置し、透過検
鏡の際は、透過用光源３からの光束を試料Ｓを透過させ
対物レンズ５を通して観察光像を得、また、落射蛍光検
鏡の際は、落射用光源４からの光束を試料Ｓで反射させ
対物レンズ５を通して観察光像を得るようにしている。

【００２２】また、対物レンズ５を通過した光束を投光
管６のキューブレンズ７に与え、さらにキューブレンズ
７を通過した光束の一部を接眼レンズ８に与えるととも
に、写真システム９および焦点検出器１０に与えるよう
にしている。

【００２３】ここで、キューブレンズ７は、落射蛍光検
鏡の際に励起光の波長を選択可能にしたものである。ま
た、写真システム９は、結像レンズ９１を有し、対物レ
ンズ５からの観察光像を結像レンズ９１を介してフィル
ム面に結像させるようにしている。また、焦点検出器１
０は、同焦調整ユニット１０１および結像レンズ１０
２、イメージセンサ１０３を有し、対物レンズ５からの
観察光像を結像レンズ１０２を介してイメージセンサ１
０３に結像させるようにしている。

【００２４】同焦調整ユニット１０１は、焦点検出器１
０が合焦と判断するステージ位置において写真システム
９の試料Ｓの写真ピントが合うように、焦点検出器８が
合焦と判断するステージ位置を調整するもので、その詳
細は後述する。また、イメージセンサ１０３は、投影さ
れた光像の入射光量と蓄積時間に応じた電圧に相当する
アナログ信号を出力するようにしている。

【００２５】イメージセンサ１０３には、アナログ信号
処理回路１１を接続し、このアナログ信号処理回路１１
に評価関数演算器１２を接続するとともに、ＣＰＵ１３
を接続している。

【００２６】アナログ信号処理回路１１は、イメージセ
ンサ１０３からのアナログ信号を増幅するとともに、フ
ィルタ処理等のアナログ処理を実行する。また、評価関
数演算器１２は、アナログ信号処理回路１１で処理され
たアナログ信号を取り込み、所定の評価関数に基づい
て、試料Ｓの合焦度を示すデフォーカス量を算出し、そ
のデフォーカス信号をＣＰＵ１３へ送信するようにして
いる。

【００２７】ＣＰＵ１３は、イメージセンサ１０３の出
力するアナログ信号をアナログ信号処理回路１１のレン
ジに適合させるための制御を行うとともに、評価関数演
算器１２からのデフォーカス信号に基づいて試料Ｓを合
焦とするようなステージ２の移動量および移動方向の信
号をステージ駆動装置１４に送信するようにしている。
このステージ駆動装置１４は、ＣＰＵ１３からの移動量
および移動方向の信号に基づいてステージ２を上下方向
に移動させ、合焦調整を行うものである。

【００２８】また、ＣＰＵ１３は、外部コントローラ１
５、キューブ駆動・検出器１６、カメラコントローラ１
７を接続していて、外部コントローラ１５からの制御開
始スイッチにより、上述の合焦検出制御の他に、励起光
キューブ駆動・検出器１６によるキューブ駆動制御や、
カメラコントローラ１７により写真システム９のカメラ
露出制御などを行うようにしている。

【００２９】図２は、上述した同焦調整ユニット１０１
の細部構成を示している。この場合、同焦調整ユニット
１０１は、材質の異なるくさび型のプリズム２１、２２
を上下に重ね一体化することで平行平板プリズム２０を
形成しており、このような平行平板プリズム２０を支持
枠２３中に支持するとともに、この支持枠２３中を図示
矢印方向に平行移動可能にしている。

【００３０】また、支持枠２３は、側壁２３１を有し、
この側壁２３１にネジ部２４を介して操作軸２５を貫通
して設けていて、この操作軸２５の摘み２５１を回して
軸先端の支持枠２１中での突出量を変えることにより、
平行平板プリズム２０の支持枠２３中での図示矢印方向
の移動量を調整できるようにしている。

【００３１】なお、支持枠２３の底面には、対物レンズ
５からの光像が通過する穴部２３２を形成し、また、側
壁２３１上には、平行平板プリズム２０を上部から押さ
えるための押え板２６を設けている。

【００３２】従って、摘み２５１を回して、平行平板プ
リズム２０に対する入射光の光軸を、例えばａまたはｂ
の位置に設定すれば、材質の異なる２枚のくさび型のプ
リズム２１、２２の厚さの割合から、平行平板プリズム
２０を通過する光路長の割合が変化することで、写真シ
ステム９の光路長に対する焦点検出器１０の光路長を可
変できるので、これにより写真システム９での試料Ｓの
写真ピントを合うようにして焦点検出器８が合焦と判断
するステージ位置を調整できることになる。

【００３３】なお、操作軸２５を回す摘み２５１または
その近傍には、摘み２５１の回転量を示す目盛（図示せ
ず）が設けられていて、この目盛により平行平板プリズ
ム２０の移動量を確認できるようになっている。

【００３４】この場合、同焦調整ユニット１０１を手動
で調整するには、試料Ｓの光像、つまり標本像の波長に
基づいて、この摘み２５１を頼りに調整量を求める。標
本像の波長は、キューブレンズ７の種類によってほぼ決
まっているので、これに基づいて調整するようになる。
また、波長が分からない時は、周知の方法により像の分
光特性を調べ、その結果に基づいて調整するようにな
る。

【００３５】使用する写真システム９に合わせて予め試
料Ｓの光像の波長と摘み２５１の回転量の関係を調べて
おき、前述の目盛として光像の波長を記載するようにす
れば、さらに操作し易いものが得られる。

【００３６】一方、同焦調整ユニット１０１を自動的に
調整するには、例えば摘み２５１のモータなどの駆動源
を接続して駆動するようになる。この場合、外部コント
ローラ１５より使用するキューブレンズ７の情報や標本
像の波長情報などをＣＰＵ１３に入力し、この情報に基
づいてＣＰＵ１３が上述した駆動源に対して制御量を指
令するようになる。

【００３７】なお、使用するキューブレンズ７の情報
は、キューブ駆動検出器１６からＣＰＵ１３に送られる
ものを使用してもよい。次に、このように構成した第１
の実施の形態の動作を図３に示すフローチャートにより
説明する。

【００３８】まず、ステップ３０１で、検鏡者が既知の
標本波長から同焦調整ユニット１０１を設定する。この
場合の同焦調整ユニット１０１の設定方法は、具体的に
は、図４に示すように行われる。この場合、同図
（ａ）、（ｂ）は、同焦調整ユニット１０１によるカメ
ラに対するＡＦの光路長を変化させたモデルであり、上
述した図７と同様にして、縦軸にピント位置、横軸に標
本の波長を示している。また、これらの図中の実線は写
真システムａ、破線はＡＦシステムｂの入射波長に対す
るピント位置を示している。次に、同図（ｂ）は同図
（ａ）のＡＦシステムｂのピント位置曲線をｙ軸方向に
光路長を変えることにより移動させたものである。つま
り、ＡＦシステムの光路長を変化させることにより、ピ
ント位置許容を１．０［ｍｍ］とした場合、合焦精度保
証範囲ｃ´、ｃ´´となり、同図（ａ）と比較して図中
(i)で示した約４２５〜４５５［ｎｍ］と、図中（ii）
で示した約６００〜６５０［ｎｍ］の範囲での合焦精度
保証が可能となる。すなわち顕鏡者か上述の(i) と（i
i）のＡＦを用いて写真撮影または観察を行う際には同
焦調整ユニット１０１を所定の値に設定する。

【００３９】このようにして顕鏡者が同焦ユニット１０
１を所定の値に設定した後、外部コントローラ１５から
の信号によりステップ３０２でＡＦを開始すると、ステ
ップ３０３で、イメージセンサ１０３からのアナログ画
像信号を読み込み、ステップ３０４で、イメージセンサ
１０３のアナログ信号がアナログ信号処理回路１１のレ
ンジに適合しているかチェックする。

【００４０】ここで、レンジが適合していない場合に
は、レンジが適合するまでイメージセンサ１０３の蓄積
時間を制御する。一方、レンジが適合している場合に
は、ステップ３０５で、イメージセンサ１０３の信号よ
り所定の評価関数に伴い合焦度を示すデフォーカス量を
演算する。そして、ステップ３０６で、算出されたデフ
ォーカス量から合焦判定を行い、合焦していないと判定
した場合は、ステップ３０７で、デフォーカス量に応じ
たステージ駆動を行うとともに、ステップ３０３に戻っ
て、ステージ駆動を含めた一連の動作を合焦と判定され
るまで繰返し、ステップ３０６で、合焦と判定するのを
待って、ステップ３０８に進み制御を終了する。

【００４１】従って、このようにすれば、透過用光源３
または落射用光源４により照明される試料Ｓの光像の少
なくとも一部分を対物レンズ５より結合レンズ１０２を
有する結像光学系によりイメージセンサ１０３上に投影
して試料像の光強度分布に対応する出力信号を得るとと
もに、これら出力信号をアナログ信号処理回路１１、評
価関数演算器１２により所定の評価関数に従って演算処
理し、ここで得られる合焦度評価値に基づいて試料Ｓに
対する結像光学系の焦点状態を検出するようにした焦点
検出器１０に対し、この焦点検出器１０と異なる結像光
学系を有する周辺システムとして写真システム９を設け
ていて、この写真システム９に対する焦点検出器１０で
の光路長を同焦調整ユニット１０１の平行平板プリズム
２０を移動させることで変化させるようにしているの
で、色収差補正不足によって生じる光像の波長に関する
焦点検出器１０と写真システム９のピントずれを補正す
ることが可能となり、光像の波長によらず写真システム
９に対する焦点検出器１０での合焦精度を確保すること
ができる。

【００４２】なお、上述の実施の形態では、同焦調整ユ
ニット１０１による合焦精度保証範囲の設定を光路長を
可変することによって行うようにしているが、これをイ
メージセンサ１０３自体を動かしたり、波長別の色収差
補正レンズを用いても同様の効果を得ることができる。

【００４３】また、上述の実施の形態では、同焦調整ユ
ニット１０１の平行平板プリズム２０の摘み２５１を回
転することで調整量を求めるようにしたが、図２と同一
部分には同符号を付して示す図５に示すように摘み２５
１をクリック機構を有する押し込み・引き出し式に構成
してもよい。この場合、摘み２５１を有する操作軸２５
に複数のクリック溝２５２を設け、これらクリック溝２
５２を係合するボールプランジャ２７を支持枠２１側に
設けている。このようにすれば、観察する頻度の多い像
の波長に応じて位置にそれぞれクリック溝２５２を設け
ておけば、さらに調整を簡単にできる。 （第２の実施の形態）次に、本発明の第２の実施の形態
を説明する。この場合、第２の実施の形態での顕微鏡用
焦点検出装置の概略的構成については、第１の実施の形
態の図１で述べたものと同様なので、同図を援用するも
のとし、ここでの説明は省略する。

【００４４】そして、このように構成した第２の実施の
形態の特徴である被写体の波長による合焦精度保証方法
について図６に示すフローチャートにより説明する。ま
ず、ステップ６０１で、外部コントローラ１５からの信
号により、ＡＦを開始する。すると、ステップ６０２
で、イメージセンサ１０３からのアナログ画像信号を読
み込み、ステップ６０３で、イメージセンサ１０３のア
ナログ信号がアナログ信号処理回路１１のレンジに適合
しているかチェックする。

【００４５】ここで、レンジが適合していない場合に
は、レンジが適合するまでイメージセンサ１０３の蓄積
時間を制御する。一方、レンジが適合している場合に
は、ステップ６０４で、イメージセンサ１０３の信号よ
り所定の評価関数に従い合焦度を示すデフォーカス量を
演算する。そして、ステップ６０５で、算出されたデフ
ォーカス量から合焦判定を行い、合焦していないと判定
した場合は、ステップ６０６で、デフォーカス量に応じ
たステージ駆動を行うとともに、ステップ６０２に戻っ
て、ステージ駆動を含めた一連の動作を合焦と判定され
るまで繰り返す。

【００４６】一方、合焦と判定すると、ステップ６０７
で、励起キューブ情報から、あるいは被写体の波長を直
接検出し、ステップ６０８で、被写体の波長によるピン
ト位置ずれ量を検出し、さらにステップ６０９で、算出
したオフセット量分だけステージを駆動して、ステップ
６１０に進んで制御が終了する。

【００４７】従って、このようにすれば、被写体Ｓを載
置するステージ２を焦点検出器１０による合焦度合を示
す合焦信号に基づいてサーボ系により合焦点サーチを行
い、合焦と判断したステージ２の上下方向位置に対して
試料像の波長により決定したオフセット量により強制的
にステージ２を駆動するようになるので、色収差補正不
足によって生じる光像の波長に関する焦点検出器１０と
写真システム９のピントずれを合焦と判断した位置から
一定のオフセット量だけさらに駆動させることにより補
正することが可能となり、光像の波長によらず写真シス
テム９に対する焦点検出器１０での合焦精度を確保する
こともでき、さらに、同焦調整ユニットの様な特殊なユ
ニットを必要とすることもなくなり、さらに低コスト化
を実現できる。

【００４８】なお、上述した実施の形態では、波長によ
るピントずれ量のステージ強制駆動を合焦制御の後に行
っているが、これを評価関数の要素とすれば強制駆動動
作を省略しても目的を達成することが可能となる。ま
た、上述の実施の形態では、合焦制御をステージ駆動で
行っているが、これをレンズ駆動による制御としても同
様の効果を得られる。

【００４９】以上、実施例に基づいて説明したが、本発
明中には以下の発明も含まれる。 （１）請求項１記載の顕微鏡用焦点検出装置において、
周辺システムに対する焦点検出手段の光路長あるいは色
収差補正量の決定は、標本に照明光を照射する照明光学
系の情報として励起光キューブまたはフィルタの情報に
よって行う。

【００５０】このようにすれば、色収差補正不足によっ
て生じる光像の波長に関する焦点検出手段と周辺システ
ムのピントずれを、照明光学系の情報から自動的に補正
することができる。

【００５１】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、写真
システムなどの周辺システムに対して焦点検出手段での
合焦精度を保証する光像の波長域の制限を大幅に拡大で
き、合う焦精度の高い焦点検出を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施の形態の概略構成を示す図。

【図２】第１の実施の形態に用いられる同焦調整ユニッ
トの概略構成を示す図。

【図３】第１の実施の形態の動作を説明するためのフロ
ーチャート。

【図４】第１の実施の形態での同焦調整ユニットの設定
方法を説明するための図。

【図５】第１の実施の形態に用いられる同焦調整ユニッ
トの他例の概略構成を示す図。

【図６】本発明の第２の実施の形態の動作を説明するた
めのフローチャート。

【図７】従来の写真システムの光像の波長に対するピン
ト位置の変化を示したモデルの図。

【図８】図７に示すモデルにＡＦシステムの波長に対す
るピント位置の変化を示したモデルを書き加えた図。

【符号の説明】 １…顕微鏡本体、 ２…ステージ、 ３…透過用光源、 ４…落射用光源、 ５…対物レンズ、 ６…投光管、 ７…キューブレンズ、 ８…接眼レンズ、 ９…写真システム、 ９１…結合レンズ、 １０…焦点検出器、 １０１…同焦調整ユニット、 １０２…結像レンズ、 １０３…イメージセンサ、 １１…アナログ信号処理回路、 １２…評価関数演算器、 １３…ＣＰＵ、 １４…ステージ駆動装置、 １５…外部コントローラ、 １６…キューブ駆動・検出器、 １７…カメラコントローラ、 ２０…平行平板プリズム、 ２１、２２…くさび型プリズ、 ２３…支持枠、 ２３１…側壁、 ２３２…穴部、 ２４…ネジ部、 ２５…操作軸、 ２５１…摘み、 ２５２…クリック溝、 ２６…押え板、 ２７…ボールプランジャ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 標本の観察光像を受光手段に結像する結
   像光学系を有し前記受光手段の出力に対する合焦度評価
   値に基づいて前記標本に対する前記結像光学系の焦点状
   態を検出する焦点検出手段と、 この焦点検出手段の結像光学系と異なる結合光学系を有
   する周辺システムと、 この周辺システムに対する前記焦点検出手段の光路長あ
   るいは色収差補正量を決定する手段とを具備したことを
   特徴とする顕微鏡用焦点検出装置。
2. 【請求項２】 周辺システムに対する前記焦点検出手段
   の光路長あるいは色収差補正量は、標本像の波長に基づ
   いて決定することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡用
   焦点検出装置。
3. 【請求項３】 標本の観察光像を受光手段に結像する結
   像光学系を有し前記受光手段の出力に対する合焦度評価
   値に基づいて前記標本に対する前記結像光学系の焦点状
   態を検出する焦点検出手段と、 この焦点検出手段の結像光学系と異なる結合光学系を有
   する周辺システムと、 前記焦点検出手段の合焦度合に応じて前記結像光学系あ
   るいは前記標本側の少なくとも一方を駆動して合焦点サ
   ーチを行うサーボ手段と、 前記標本像の波長によりオフセット量を決定する手段
   と、 前記サーボ手段による合焦点サーチにより前記焦点検出
   手段が合焦と判断した位置に対して前記決定されたオフ
   セット量だけ前記結像光学系あるいは前記標本の少なく
   とも一方を駆動する手段とを具備したことを特徴とする
   顕微鏡用焦点検出装置。