JPH09192985A - リニアサーボ加工機 - Google Patents
リニアサーボ加工機Info
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- JPH09192985A JPH09192985A JP1026696A JP1026696A JPH09192985A JP H09192985 A JPH09192985 A JP H09192985A JP 1026696 A JP1026696 A JP 1026696A JP 1026696 A JP1026696 A JP 1026696A JP H09192985 A JPH09192985 A JP H09192985A
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- processing machine
- linear servo
- rotary encoder
- linear
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 リニアサーボ加工機において、可動側部材の
位置検出に関し、検出ストロークに限界が無く高精度で
高剛性に検出できる加工機を得ること。 【解決手段】 リニアサーボ加工機において、加工機の
取付台３の取付板９に設けられたロータリーエンコーダ
８と、ロータリーエンコーダ８と回転軸が回転可能に接
続されたピニオン７と、取付台３が相対移動するリニア
ガイドレール５に設けられピニオン７と螺合されたラッ
ク６とを有し、ピニオン７の回転に応じて出力されるロ
ータリーエンコーダ８の出力パルスに基づき、取付台３
のリニアガイドレール５に対する位置検出を行なうよう
にしたものである。
位置検出に関し、検出ストロークに限界が無く高精度で
高剛性に検出できる加工機を得ること。 【解決手段】 リニアサーボ加工機において、加工機の
取付台３の取付板９に設けられたロータリーエンコーダ
８と、ロータリーエンコーダ８と回転軸が回転可能に接
続されたピニオン７と、取付台３が相対移動するリニア
ガイドレール５に設けられピニオン７と螺合されたラッ
ク６とを有し、ピニオン７の回転に応じて出力されるロ
ータリーエンコーダ８の出力パルスに基づき、取付台３
のリニアガイドレール５に対する位置検出を行なうよう
にしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、リニアサーボモ
ータを使用した大型加工機、例えばレーザ加工機やマシ
ニングセンター等のリニアサーボ加工機に関するもので
ある。
ータを使用した大型加工機、例えばレーザ加工機やマシ
ニングセンター等のリニアサーボ加工機に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】リニアサーボ加工機においては、加工機
の各可動軸にリニアサーボモータを駆動源として配置
し、何らかの方法で例えばリニアスケールなどを用いて
可動部の位置を検出し、ＮＣ装置等の制御装置で位置制
御を行っている。
の各可動軸にリニアサーボモータを駆動源として配置
し、何らかの方法で例えばリニアスケールなどを用いて
可動部の位置を検出し、ＮＣ装置等の制御装置で位置制
御を行っている。
【０００３】従来のリニアサーボ加工機として、例えば
特開平５ー２６９６８４に示されたリニアモータを使用
した産業ロボット装置がある。この中ではリニアモータ
の位置検出方法で条体（タイミングベルトなど）とロー
タリーエンコーダを使用した事例が開示されている。ま
た特開平２ー２４６７０５において、ローラ等の回転体
とこれに連動するパルスエンコーダとを設け、リニアモ
ータの位置検出及び速度制御する事例が開示されてい
る。更に移動体の両側面にリニアモータを２台配置した
事例も開示されている。
特開平５ー２６９６８４に示されたリニアモータを使用
した産業ロボット装置がある。この中ではリニアモータ
の位置検出方法で条体（タイミングベルトなど）とロー
タリーエンコーダを使用した事例が開示されている。ま
た特開平２ー２４６７０５において、ローラ等の回転体
とこれに連動するパルスエンコーダとを設け、リニアモ
ータの位置検出及び速度制御する事例が開示されてい
る。更に移動体の両側面にリニアモータを２台配置した
事例も開示されている。
【０００４】図１１にリニアサーボモータを使用した加
工機の外観図を示す。２２はＸ軸用リニアサーボモータ
の一次側コイル、２３は一次側コイル２２に固定された
Ｚ軸部分取付台、２５はＸ軸用リニアガイドレールのレ
ール部分である。２１はＸ軸用クロスビーム部分であ
り、上記リニアガイドレールのレール部分２５が取り付
けられている。リニアガイドレールのガイドブロック２
４はＺ軸部分取付台２３に固定されている。２６はＸ軸
用リニアサーボモータの二次側マグネット部分である。
２７はＹ軸用リニアサーボモータの一次側コイルであ
り、クロスビーム部分２１の両側下部に固定されてい
る。２８はＹ軸用リニアガイドレールのレール部分、３
０はＹ軸用リニアサーボモータの二次側マグネット部分
である。これらは前記クロスビーム部分の両サイドにあ
る。２０は、前記ガイドレールのレール部分及び、Ｙ軸
用リニアサーボモータの二次側マグネット部分を固定す
る架台部分である
工機の外観図を示す。２２はＸ軸用リニアサーボモータ
の一次側コイル、２３は一次側コイル２２に固定された
Ｚ軸部分取付台、２５はＸ軸用リニアガイドレールのレ
ール部分である。２１はＸ軸用クロスビーム部分であ
り、上記リニアガイドレールのレール部分２５が取り付
けられている。リニアガイドレールのガイドブロック２
４はＺ軸部分取付台２３に固定されている。２６はＸ軸
用リニアサーボモータの二次側マグネット部分である。
２７はＹ軸用リニアサーボモータの一次側コイルであ
り、クロスビーム部分２１の両側下部に固定されてい
る。２８はＹ軸用リニアガイドレールのレール部分、３
０はＹ軸用リニアサーボモータの二次側マグネット部分
である。これらは前記クロスビーム部分の両サイドにあ
る。２０は、前記ガイドレールのレール部分及び、Ｙ軸
用リニアサーボモータの二次側マグネット部分を固定す
る架台部分である
【０００５】図１２は、上記クロスビーム部分２１の構
造図である。クロスビームは引抜材構造であり、１７は
クロスビームを構成するロの字状のフレーム、３４はロ
の字状のフレーム１７内の横方向に配置された補強板で
ある。
造図である。クロスビームは引抜材構造であり、１７は
クロスビームを構成するロの字状のフレーム、３４はロ
の字状のフレーム１７内の横方向に配置された補強板で
ある。
【０００６】次に上述のようなリニアサーボ加工機の動
作について説明する。リニアサーボモータの一次側コイ
ル２２及び２７に制御装置（図示せず）から移動指令を
あたえる。Ｚ軸部分取付台２３、及びＸ，Ｙ軸部分を構
成するところが所定の移動経路を移動する。位置検出は
それそれの移動経路に沿って設置されたリニアスケール
などで検出する。或いはあるいは上述の開示例のように
移動経路に沿って張設した条体と移動台側に取り付けら
れたロータリーエンコーダによって位置検出する。位置
検出した信号を制御装置にフィードバックして位置制御
を行なうものである。
作について説明する。リニアサーボモータの一次側コイ
ル２２及び２７に制御装置（図示せず）から移動指令を
あたえる。Ｚ軸部分取付台２３、及びＸ，Ｙ軸部分を構
成するところが所定の移動経路を移動する。位置検出は
それそれの移動経路に沿って設置されたリニアスケール
などで検出する。或いはあるいは上述の開示例のように
移動経路に沿って張設した条体と移動台側に取り付けら
れたロータリーエンコーダによって位置検出する。位置
検出した信号を制御装置にフィードバックして位置制御
を行なうものである。
【０００７】次にクロスビームの作用について説明す
る。クロスビームはＸ，Ｚ軸部分の重量を支持し、また
Ｙ軸移動加減速時に発生するの衝撃荷重を支える物であ
る。
る。クロスビームはＸ，Ｚ軸部分の重量を支持し、また
Ｙ軸移動加減速時に発生するの衝撃荷重を支える物であ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のリ
ニアサーボ加工機では、リニアスケールを使用していた
ので製作ストロークに限界があり、大型加工機には、使
用できなかった。
ニアサーボ加工機では、リニアスケールを使用していた
ので製作ストロークに限界があり、大型加工機には、使
用できなかった。
【０００９】また張設した条体とロータリーエンコーダ
では、サーボ剛性が弱くなり、大型加工機では高速高加
速度高精度に使用することができなかった。
では、サーボ剛性が弱くなり、大型加工機では高速高加
速度高精度に使用することができなかった。
【００１０】また従来のクロスビームの引抜材構造では
せん断力に弱く、固有値が低くなりサーボ剛性が低く、
加減速時また可動時に共振が発生して高速高加速度で運
転できない問題点があった。
せん断力に弱く、固有値が低くなりサーボ剛性が低く、
加減速時また可動時に共振が発生して高速高加速度で運
転できない問題点があった。
【００１１】また、図１１のように、リニアサーボモー
タ２台をクロスビーム両端下部に設置した場合、リニア
サーボモータの一次側コイルと二次側マグネットの間に
磁気吸引力が働いて、クロスビームに曲げ応力が作用
し、剛性が低くなり可動時共振が発生して高速高加速度
高精度で運転できない、という問題点があった。
タ２台をクロスビーム両端下部に設置した場合、リニア
サーボモータの一次側コイルと二次側マグネットの間に
磁気吸引力が働いて、クロスビームに曲げ応力が作用
し、剛性が低くなり可動時共振が発生して高速高加速度
高精度で運転できない、という問題点があった。
【００１２】さらに、特開平２ー２４６７０５に開示さ
れるような回転体とこれに連動するパルスエンコーダで
は高速になると滑りが発生することがあり、移動体の位
置を高精度に検出することができなかった。
れるような回転体とこれに連動するパルスエンコーダで
は高速になると滑りが発生することがあり、移動体の位
置を高精度に検出することができなかった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明に係るリニアサ
ーボ加工機は、加工機の第１の部材に設けられたロータ
リーエンコーダと、このロータリーエンコーダと回転軸
が回転可能に接続されたピニオンと、上記第１の部材に
対し相対移動する上記加工機の第２の部材に設けられ上
記ピニオンと螺合されたラックとを有し、上記ピニオン
の回転に応じて出力される上記ロータリーエンコーダの
出力パルスに基づき上記第１の部材と上記第２の部材と
の相対位置検出を行なうようにしたものである。
ーボ加工機は、加工機の第１の部材に設けられたロータ
リーエンコーダと、このロータリーエンコーダと回転軸
が回転可能に接続されたピニオンと、上記第１の部材に
対し相対移動する上記加工機の第２の部材に設けられ上
記ピニオンと螺合されたラックとを有し、上記ピニオン
の回転に応じて出力される上記ロータリーエンコーダの
出力パルスに基づき上記第１の部材と上記第２の部材と
の相対位置検出を行なうようにしたものである。
【００１４】また、ロータリーエンコーダが設けられた
第１の部材は可動側部材であり、ラックが設けられた第
２の部材は固定側部材であるものである。
第１の部材は可動側部材であり、ラックが設けられた第
２の部材は固定側部材であるものである。
【００１５】また、加工機の固定側部材に回転可能に設
けられたボールネジ軸と、上記加工機の可動側部材に設
けられ上記ボールネジ軸と螺合されたボールネジナット
と、上記ボールネジ軸と回転可能に接続したロータリー
エンコーダとを有し、上記ボールネジ軸の回転に応じて
出力される上記ロータリーエンコーダの出力パルスに基
づき上記可動側部材の位置検出を行なうようにしたもの
である。
けられたボールネジ軸と、上記加工機の可動側部材に設
けられ上記ボールネジ軸と螺合されたボールネジナット
と、上記ボールネジ軸と回転可能に接続したロータリー
エンコーダとを有し、上記ボールネジ軸の回転に応じて
出力される上記ロータリーエンコーダの出力パルスに基
づき上記可動側部材の位置検出を行なうようにしたもの
である。
【００１６】また、ロの字状の断面のクロスビームの両
角部分より斜めに補強部材を設けた引抜材構造のクロス
ビームを備えたものである。
角部分より斜めに補強部材を設けた引抜材構造のクロス
ビームを備えたものである。
【００１７】また、クロスビームの両側面側にリニアサ
ーボモータの１次側を有し、２台のリニアサーボモータ
の２次側を固定側架台部分に設けたものである。
ーボモータの１次側を有し、２台のリニアサーボモータ
の２次側を固定側架台部分に設けたものである。
【００１８】
実施の形態１．以下、この発明の第１の実施の形態を図
に基づいて説明する。図１は第１の実施の形態によるリ
ニアサーボモータを使用した加工機の位置検出方法を示
す側面図であり、図２は図１の平面図である。図におい
て１はリニアサーボモータの一次側コイル部分、２は上
記リニアサーボモータの二次側マグネット部分である。
１，２によってリニアサーボモータを構成し、リニアサ
ーボモータの一次側コイル部分１に制御装置より指令を
与えると移動経路に沿って往復直線運動を行う。３はリ
ニアサーボモータの一次側コイル部分１と移動経路に沿
って取り付けられたリニアガイドのガイドブロック４に
固定された第１の部材としての取付台である。５はリニ
アガイドのレール部分であって、リニアサーボモータの
両側に移動経路に沿って設置されている。このリニアガ
イドレール５が第２の部材に相当するものである。６は
ラックであり、リニアガイドレール５の外側に取り付け
られ、ピニオン７とかみ合っている。ピニオン７はロー
タリーエンコーダ８の出力軸に取り付けられ、取付台３
が移動経路に沿って移動するとラック６にかみ合ったピ
ニオン７が回転し取付台３の位置をロータリーエンコー
ダ８で正確に検出し、制御装置にフィードバックする。
９はロータリーエンコーダ８を取付台３に固定する取付
板である。この装置は後述する図６，８で示されるＸ，
Ｙ軸どちらにでも使用できる。
に基づいて説明する。図１は第１の実施の形態によるリ
ニアサーボモータを使用した加工機の位置検出方法を示
す側面図であり、図２は図１の平面図である。図におい
て１はリニアサーボモータの一次側コイル部分、２は上
記リニアサーボモータの二次側マグネット部分である。
１，２によってリニアサーボモータを構成し、リニアサ
ーボモータの一次側コイル部分１に制御装置より指令を
与えると移動経路に沿って往復直線運動を行う。３はリ
ニアサーボモータの一次側コイル部分１と移動経路に沿
って取り付けられたリニアガイドのガイドブロック４に
固定された第１の部材としての取付台である。５はリニ
アガイドのレール部分であって、リニアサーボモータの
両側に移動経路に沿って設置されている。このリニアガ
イドレール５が第２の部材に相当するものである。６は
ラックであり、リニアガイドレール５の外側に取り付け
られ、ピニオン７とかみ合っている。ピニオン７はロー
タリーエンコーダ８の出力軸に取り付けられ、取付台３
が移動経路に沿って移動するとラック６にかみ合ったピ
ニオン７が回転し取付台３の位置をロータリーエンコー
ダ８で正確に検出し、制御装置にフィードバックする。
９はロータリーエンコーダ８を取付台３に固定する取付
板である。この装置は後述する図６，８で示されるＸ，
Ｙ軸どちらにでも使用できる。
【００１９】実施の形態２．図３は第２の実施の形態に
よるリニアサーボモータを使用した加工機の位置検出方
法を示す正面図であり、図４は図３の平面図である。図
において１０はボールネジのネジ軸部分であって、リニ
アガイドレール５の外側に取り付けられ軸受部１３，１
４に回転可能に支持されている。１１はボールネジのナ
ット部分であり取付台３に固定された固定ブロック１２
に回転しないように固定されている。１５はボールネジ
軸１０とロータリーエンコーダ８とを連結するカップリ
ングであり１６はロータリーエンコーダ８を固定するブ
ラケットである。取付台３が移動経路に沿って直線往復
運動をすると、ボールネジナット１１も移動し、その移
動に応じてボールネジ軸１０を回転させ、ロータリーエ
ンコーダ８も同期して回転し、取付台３の位置をメカ的
なバックラシュ用の調整機構を不要とし正確に検出し、
制御装置にフィードバックする。この装置は後述する図
６，８で示されるＸ，Ｙ軸どちらにでも使用できる。
よるリニアサーボモータを使用した加工機の位置検出方
法を示す正面図であり、図４は図３の平面図である。図
において１０はボールネジのネジ軸部分であって、リニ
アガイドレール５の外側に取り付けられ軸受部１３，１
４に回転可能に支持されている。１１はボールネジのナ
ット部分であり取付台３に固定された固定ブロック１２
に回転しないように固定されている。１５はボールネジ
軸１０とロータリーエンコーダ８とを連結するカップリ
ングであり１６はロータリーエンコーダ８を固定するブ
ラケットである。取付台３が移動経路に沿って直線往復
運動をすると、ボールネジナット１１も移動し、その移
動に応じてボールネジ軸１０を回転させ、ロータリーエ
ンコーダ８も同期して回転し、取付台３の位置をメカ的
なバックラシュ用の調整機構を不要とし正確に検出し、
制御装置にフィードバックする。この装置は後述する図
６，８で示されるＸ，Ｙ軸どちらにでも使用できる。
【００２０】実施の形態３．図５は第３の実施の形態に
よるリニアサーボモータに使用される加工機の引抜材構
造のクロスビームの構造図である。１７はクロスビーム
を構成するロの字状のフレーム、１８はロの字状のフレ
ーム１７の両角部より斜めに補強された補強板、１９は
補強板１８の合わせ部分から水平にフレーム側面に延ば
された補強板である。１７，１８，１９により軽量高剛
性なクロスビームを構成する。
よるリニアサーボモータに使用される加工機の引抜材構
造のクロスビームの構造図である。１７はクロスビーム
を構成するロの字状のフレーム、１８はロの字状のフレ
ーム１７の両角部より斜めに補強された補強板、１９は
補強板１８の合わせ部分から水平にフレーム側面に延ば
された補強板である。１７，１８，１９により軽量高剛
性なクロスビームを構成する。
【００２１】実施の形態４．図６は第４の実施の形態に
よるリニアサーボモータを使用した加工機の構造図であ
る。同一符号については説明を省略する。２０は架台部
分である。架台部分２０の両側面より飛び出した取付面
に、リニアサーボモータの二次側マグネット部分３１，
リニアガイドレール２８が取り付けられている。２１は
第３の実施の形態で説明したＸ軸用クロスビームであ
る。Ｘ軸用クロスビーム２１の両側面に、リニアサーボ
モータの一次側コイル部分２７とリニアガイドブロック
２９が取り付けられている。３１はレーザ加工ヘッド３
２を取り付ける加工ヘッド取付版である．加工ヘッド取
付版３１はＺ軸方向に上下するようになっている。図６
においては実施の形態のひとつとしてレーザ加工機の場
合で説明したが、その他の実施の形態として図７に、マ
シニングセンター等の加工機の場合について説明する。
同一符号については説明を省略する。３３はマシニング
センター等の主軸モータなどから構成される加工ヘッド
部分である。前記加工ヘッド部分はＺ軸方向に上下す
る。尚、図６の場合も図７の場合においても加工ヘッド
がクロスビームの前面側についているが、加工ヘッドを
クロスビームの反対側あるいはクロスビームの前後両面
に取り付けても可能である。図８にはＸ軸クロスビーム
２１を構成する断面図を示す。同一符号については説明
を省略する。
よるリニアサーボモータを使用した加工機の構造図であ
る。同一符号については説明を省略する。２０は架台部
分である。架台部分２０の両側面より飛び出した取付面
に、リニアサーボモータの二次側マグネット部分３１，
リニアガイドレール２８が取り付けられている。２１は
第３の実施の形態で説明したＸ軸用クロスビームであ
る。Ｘ軸用クロスビーム２１の両側面に、リニアサーボ
モータの一次側コイル部分２７とリニアガイドブロック
２９が取り付けられている。３１はレーザ加工ヘッド３
２を取り付ける加工ヘッド取付版である．加工ヘッド取
付版３１はＺ軸方向に上下するようになっている。図６
においては実施の形態のひとつとしてレーザ加工機の場
合で説明したが、その他の実施の形態として図７に、マ
シニングセンター等の加工機の場合について説明する。
同一符号については説明を省略する。３３はマシニング
センター等の主軸モータなどから構成される加工ヘッド
部分である。前記加工ヘッド部分はＺ軸方向に上下す
る。尚、図６の場合も図７の場合においても加工ヘッド
がクロスビームの前面側についているが、加工ヘッドを
クロスビームの反対側あるいはクロスビームの前後両面
に取り付けても可能である。図８にはＸ軸クロスビーム
２１を構成する断面図を示す。同一符号については説明
を省略する。
【００２２】なお図９には、本実施の形態によるもので
の固有値解析、図１０には、従来方式での固有値解析結
果を示す。境界条件としては、クロスビームの両端をフ
リーとして解析した。またクロスビームの重量、更にＺ
軸部分の重量として１００kgを、クロスビームのセンタ
ーからＹ＝２４０mm,Ｚ＝−６０mmの位置に負荷した。
解析結果からも明らかなように、同程度の重量のクロス
ビームにおいて、一次の固有値が従来方式では５１Ｈｚ
であるのに対し、本発明のそれは１０６Ｈｚに上がって
いる。
の固有値解析、図１０には、従来方式での固有値解析結
果を示す。境界条件としては、クロスビームの両端をフ
リーとして解析した。またクロスビームの重量、更にＺ
軸部分の重量として１００kgを、クロスビームのセンタ
ーからＹ＝２４０mm,Ｚ＝−６０mmの位置に負荷した。
解析結果からも明らかなように、同程度の重量のクロス
ビームにおいて、一次の固有値が従来方式では５１Ｈｚ
であるのに対し、本発明のそれは１０６Ｈｚに上がって
いる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明により明らかなように、本発
明のリニアサーボ加工機によれば以下の効果を有するも
のである。
明のリニアサーボ加工機によれば以下の効果を有するも
のである。
【００２４】リニアサーボ加工機における可動側部材の
位置を、ラックとピニオンとの相対移動をロータリーエ
ンコーダで検出することにより、サーボ剛性の高く、高
速高精度な位置検出が可能となる。
位置を、ラックとピニオンとの相対移動をロータリーエ
ンコーダで検出することにより、サーボ剛性の高く、高
速高精度な位置検出が可能となる。
【００２５】また、ロータリーエンコーダが設けられた
第１の部材を可動側部材とし、ラックが設けられた第２
の部材を固定側部材としたことにより、長手方向にスペ
ースが必要なラックが移動をせず固定されており、省ス
ペース化を図ることができる。
第１の部材を可動側部材とし、ラックが設けられた第２
の部材を固定側部材としたことにより、長手方向にスペ
ースが必要なラックが移動をせず固定されており、省ス
ペース化を図ることができる。
【００２６】また、リニアサーボモータの可動部の位置
をボールネジで構成してロータリーエンコーダで検出す
ることにより、サーボ剛性の高く、高速高精度な位置検
出が可能となる。
をボールネジで構成してロータリーエンコーダで検出す
ることにより、サーボ剛性の高く、高速高精度な位置検
出が可能となる。
【００２７】また、リニアサーボモータで駆動される大
型加工機において、ロの字状の引抜材構造のクロスビー
ムに斜めの補強部材を有することにより、せん断力に強
く、軽量高剛性なクロスビームを可能とするとともに、
共振もなくさらに高精度な位置検出を可能とする。
型加工機において、ロの字状の引抜材構造のクロスビー
ムに斜めの補強部材を有することにより、せん断力に強
く、軽量高剛性なクロスビームを可能とするとともに、
共振もなくさらに高精度な位置検出を可能とする。
【００２８】また、クロスビームの両側面側にリニアサ
ーボモータを２台配置しているため、リニアサーボモー
タに発生する磁気吸引力をクロスビームに曲げ応力では
なく引張り応力で作用する。可動部分であるクロスビー
ムが高剛性となり、可動時の共振を防止することが可能
となる。またＺ軸部分の構造をクロスビームの前面及び
後面または両面に容易に取り付けることが可能である。
さらにクロスビームそのものが軽量であり、共振もなく
高精度な位置検出を可能とする。
ーボモータを２台配置しているため、リニアサーボモー
タに発生する磁気吸引力をクロスビームに曲げ応力では
なく引張り応力で作用する。可動部分であるクロスビー
ムが高剛性となり、可動時の共振を防止することが可能
となる。またＺ軸部分の構造をクロスビームの前面及び
後面または両面に容易に取り付けることが可能である。
さらにクロスビームそのものが軽量であり、共振もなく
高精度な位置検出を可能とする。
【図１】 この発明の第１の実施の形態によるリニアサ
ーボ加工機の位置検出方法を示す側面図である。
ーボ加工機の位置検出方法を示す側面図である。
【図２】 この発明の第１の実施の形態によるリニアサ
ーボ加工機の位置検出方法を示す平面図である。
ーボ加工機の位置検出方法を示す平面図である。
【図３】 この発明の第２の実施の形態によるリニアサ
ーボ加工機の位置検出方法を示す正面図である。
ーボ加工機の位置検出方法を示す正面図である。
【図４】 この発明の第２の実施の形態によるリニアサ
ーボ加工機の位置検出方法を示す平面図である。
ーボ加工機の位置検出方法を示す平面図である。
【図５】 この発明の第３の実施の形態によるリニアサ
ーボ加工機のクロスビーム構造を示す構造図である。
ーボ加工機のクロスビーム構造を示す構造図である。
【図６】 この発明の第４の実施の形態によるリニアサ
ーボ加工機の構造を示す構造図である。
ーボ加工機の構造を示す構造図である。
【図７】 この発明の第４の実施の形態によるリニアサ
ーボ加工機の構造を示す構造図である。
ーボ加工機の構造を示す構造図である。
【図８】 この発明の第４の実施の形態によるクロスビ
ームの断面図である。
ームの断面図である。
【図９】 この発明によるクロスビームの構造解析結果
である。
である。
【図１０】 従来のクロスビームの構造解析結果であ
る。
る。
【図１１】 従来のリニアサーボ加工機の構造を示す構
造図である。
造図である。
【図１２】 従来のリニアサーボ加工機のクロスビーム
構造を示す構造図である。
構造を示す構造図である。
１ リニアサーボモータの一次側コイル部分 ２ リニアサーボモータの二次側マグネット部分 ３ 取付台 ４ リニアガイドブロック ５ リニアガイドレール ６ ラック ７ ピニオン ８ ロータリーエンコーダ ９ 取付板 １０ ボールネジのネジ軸 １１ ボールネジのナット部分 １２ 固定ブロック １３，１４ 軸受部 １５ カップリング １６ ブラケット １７ ロの字状のフレーム １８，１９ 補強板 ２０ 架台部分 ２１ Ｘ軸用クロスビーム部分 ２２ Ｘ軸リニアサーボモータの一次側コイル部分 ２３ Ｚ軸部分取付台 ２４ Ｘ軸用リニアガイドブロック ２５ Ｘ軸用リニアガイドレール ２６ Ｘ軸用リニアサーボモータの二次側マグネット部
分 ２７ Ｙ軸用リニアサーボモータの一次側コイル部分 ２８ Ｙ軸用リニアガイドレール ２９ Ｙ軸用リニアガイドブロック ３０ Ｙ軸用リニアサーボモータの二次側マグネット部 ３１ 加工ヘッド取付版 ３２ レーザ用加工ヘッド ３３ マシニングセンター等の加工ヘッド部分 ３４ 補強板
分 ２７ Ｙ軸用リニアサーボモータの一次側コイル部分 ２８ Ｙ軸用リニアガイドレール ２９ Ｙ軸用リニアガイドブロック ３０ Ｙ軸用リニアサーボモータの二次側マグネット部 ３１ 加工ヘッド取付版 ３２ レーザ用加工ヘッド ３３ マシニングセンター等の加工ヘッド部分 ３４ 補強板
Claims (5)
- 【請求項１】 加工機の第１の部材に設けられたロータ
リーエンコーダと、このロータリーエンコーダと回転軸
が回転可能に接続されたピニオンと、上記第１の部材に
対し相対移動する上記加工機の第２の部材に設けられ上
記ピニオンと螺合されたラックとを有し、上記ピニオン
の回転に応じて出力される上記ロータリーエンコーダの
出力パルスに基づき上記第１の部材と上記第２の部材と
の相対位置検出を行なうようにしたことを特徴とするリ
ニアサーボ加工機。 - 【請求項２】 ロータリーエンコーダが設けられた第１
の部材は可動側部材であり、ラックが設けられた第２の
部材は固定側部材であることを特徴とする請求項１に記
載のリニアサーボ加工機。 - 【請求項３】 加工機の固定側部材に回転可能に設けら
れたボールネジ軸と、上記加工機の可動側部材に設けら
れ上記ボールネジ軸と螺合されたボールネジナットと、
上記ボールネジ軸と回転可能に接続したロータリーエン
コーダとを有し、上記ボールネジ軸の回転に応じて出力
される上記ロータリーエンコーダの出力パルスに基づき
上記可動側部材の位置検出を行なうようにしたことを特
徴とするリニアサーボ加工機。 - 【請求項４】 ロの字状の断面のクロスビームの両角部
分より斜めに補強部材を設けた引抜材構造のクロスビー
ムを備えたことを特徴とするリニアサーボ加工機。 - 【請求項５】 クロスビームの両側面側にリニアサーボ
モータの１次側を有し、２台のリニアサーボモータの２
次側を固定側架台部分に設けたことを特徴とするリニア
サーボ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1026696A JPH09192985A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | リニアサーボ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1026696A JPH09192985A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | リニアサーボ加工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09192985A true JPH09192985A (ja) | 1997-07-29 |
Family
ID=11745521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1026696A Pending JPH09192985A (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | リニアサーボ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09192985A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106705923A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-05-24 | 深圳市维度科技有限公司 | 光纤连接器端面角度测量装置 |
-
1996
- 1996-01-24 JP JP1026696A patent/JPH09192985A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106705923A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-05-24 | 深圳市维度科技有限公司 | 光纤连接器端面角度测量装置 |
| CN106705923B (zh) * | 2016-12-29 | 2019-01-11 | 深圳市维度科技有限公司 | 光纤连接器端面角度测量装置 |
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