JPH09193057A - 搬送ロボット - Google Patents
搬送ロボットInfo
- Publication number
- JPH09193057A JPH09193057A JP8009433A JP943396A JPH09193057A JP H09193057 A JPH09193057 A JP H09193057A JP 8009433 A JP8009433 A JP 8009433A JP 943396 A JP943396 A JP 943396A JP H09193057 A JPH09193057 A JP H09193057A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boss
- collar
- arm
- flat belt
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/02—Program-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Program-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/10—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/104—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with cables, chains or ribbons
- B25J9/1045—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with cables, chains or ribbons comprising tensioning means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/10—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/105—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements using eccentric means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18832—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including flexible drive connector [e.g., belt, chain, strand, etc.]
- Y10T74/18848—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including flexible drive connector [e.g., belt, chain, strand, etc.] with pulley
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/19—Gearing
- Y10T74/1956—Adjustable
- Y10T74/19565—Relative movable axes
- Y10T74/19575—Automatic control
- Y10T74/1958—Parallel shafts
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20323—Robotic arm including flaccid drive element
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】振動のない滑らかな動作が可能であると共に、
駆動ベルトのテンション調整作業の行いやすい搬送ロボ
ットを提供する。 【解決手段】搬送ロボット１０は基台１４、第１及び第
２中間アーム１６、１８及び先端アーム２２を有する。
第１中間アーム１６の駆動シャフト４８及び従動シャフ
ト６８には夫々第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂが固
定され、この間に平ベルト７４が掛渡される。各プーリ
７２Ａ、７２Ｂは内側のボス７６と、外側のカラー７８
とを有し、ボス７６に偏心リング８８が装着される。平
ベルト７４は、各プーリ７２Ａ、７２Ｂのカラー７８の
外周を周回すると共に、カラー７８の側面開口８４を通
してカラー７８内に導入され、偏心リング８８の外周を
周回する。ボス７６に対して偏心リング８８を回転方向
に位置調整することにより平ベルト７４のテンションを
調整する。
駆動ベルトのテンション調整作業の行いやすい搬送ロボ
ットを提供する。 【解決手段】搬送ロボット１０は基台１４、第１及び第
２中間アーム１６、１８及び先端アーム２２を有する。
第１中間アーム１６の駆動シャフト４８及び従動シャフ
ト６８には夫々第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂが固
定され、この間に平ベルト７４が掛渡される。各プーリ
７２Ａ、７２Ｂは内側のボス７６と、外側のカラー７８
とを有し、ボス７６に偏心リング８８が装着される。平
ベルト７４は、各プーリ７２Ａ、７２Ｂのカラー７８の
外周を周回すると共に、カラー７８の側面開口８４を通
してカラー７８内に導入され、偏心リング８８の外周を
周回する。ボス７６に対して偏心リング８８を回転方向
に位置調整することにより平ベルト７４のテンションを
調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は搬送ロボットに関
し、特に半導体ウェハやＬＣＤ基板等の被処理体をクリ
ーンな雰囲気内で取扱うことが必要な半導体プロセスに
最適な搬送ロボットに関する。
し、特に半導体ウェハやＬＣＤ基板等の被処理体をクリ
ーンな雰囲気内で取扱うことが必要な半導体プロセスに
最適な搬送ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハやＬＣＤ基板等の被処理体
を、ＣＶＤ装置、拡散装置、レジスト塗布装置等々の処
理装置内で搬送するため、或いはこれら装置に対して搬
送するため、搬送ロボットが使用される。この種の搬送
ロボットには、正確な動作を行うことやクリーンな環境
を維持することが要求される。
を、ＣＶＤ装置、拡散装置、レジスト塗布装置等々の処
理装置内で搬送するため、或いはこれら装置に対して搬
送するため、搬送ロボットが使用される。この種の搬送
ロボットには、正確な動作を行うことやクリーンな環境
を維持することが要求される。
【０００３】この種の搬送ロボットの代表的なものは、
被処理体に接触する先端アームと、先端アームと基台と
を繋ぐ少なくとも１つの中間アームとを組合わせた多関
節アーム構造を有する。基台内の駆動モータからの駆動
力は、中間アーム内の駆動シャフトから従動シャフトへ
の動力の伝達を介して先端アームに伝達される。中間ア
ーム内における駆動シャフトから従動シャフトへの動力
の伝達には、タイミングベルトが通常使用される。即
ち、駆動シャフト及び従動シャフトの夫々にタイミング
プーリが固定され、これらプーリ間にタイミングベルト
が掛渡される。また、タイミングベルトのテンションを
調整するため、駆動シャフトと従動シャフトとの間に
は、少なくとも１つのテンションローラが配設される。
テンションローラは、タイミングベルトの側面に対する
接触圧を変更し得るように、位置調整可能となってい
る。
被処理体に接触する先端アームと、先端アームと基台と
を繋ぐ少なくとも１つの中間アームとを組合わせた多関
節アーム構造を有する。基台内の駆動モータからの駆動
力は、中間アーム内の駆動シャフトから従動シャフトへ
の動力の伝達を介して先端アームに伝達される。中間ア
ーム内における駆動シャフトから従動シャフトへの動力
の伝達には、タイミングベルトが通常使用される。即
ち、駆動シャフト及び従動シャフトの夫々にタイミング
プーリが固定され、これらプーリ間にタイミングベルト
が掛渡される。また、タイミングベルトのテンションを
調整するため、駆動シャフトと従動シャフトとの間に
は、少なくとも１つのテンションローラが配設される。
テンションローラは、タイミングベルトの側面に対する
接触圧を変更し得るように、位置調整可能となってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】タイミングベルトとタ
イミングプーリとの係合は、歯どうしの噛合いであるた
め、必然的に僅かではあるがバックラッシュを伴う。こ
のため、各噛合いの開始時及び終了時に歯どうしの相互
干渉により僅かな振動が生じる。同様なバックラッシュ
による振動はまた、基台内においても、駆動モータから
中間アームの駆動軸へ動力を伝達するためのギア間で生
じる。多関節アーム構造は、基台から先端アームまでが
長手なものとなるため、基台や中間アーム内の僅かな振
動は増幅されて先端アーム上に被処理体に伝達される。
イミングプーリとの係合は、歯どうしの噛合いであるた
め、必然的に僅かではあるがバックラッシュを伴う。こ
のため、各噛合いの開始時及び終了時に歯どうしの相互
干渉により僅かな振動が生じる。同様なバックラッシュ
による振動はまた、基台内においても、駆動モータから
中間アームの駆動軸へ動力を伝達するためのギア間で生
じる。多関節アーム構造は、基台から先端アームまでが
長手なものとなるため、基台や中間アーム内の僅かな振
動は増幅されて先端アーム上に被処理体に伝達される。
【０００５】先端アーム上で被処理体が振動すると、先
端アーム上で被処理体が位置ずれを起こしたり、先端ア
ームと被処理体との間の摩擦により塵埃を発生させる原
因となる。被処理体の位置ずれは搬送時のトラブルを招
き、塵埃の発生は歩留まりを低下させる要因となる。こ
れらの問題に対応するため、通常、搬送ロボットの動作
速度を低下させ、振動の発生を抑制している。しかしこ
の対応策はスループットの低下を伴うこととなる。
端アーム上で被処理体が位置ずれを起こしたり、先端ア
ームと被処理体との間の摩擦により塵埃を発生させる原
因となる。被処理体の位置ずれは搬送時のトラブルを招
き、塵埃の発生は歩留まりを低下させる要因となる。こ
れらの問題に対応するため、通常、搬送ロボットの動作
速度を低下させ、振動の発生を抑制している。しかしこ
の対応策はスループットの低下を伴うこととなる。
【０００６】被処理体の振動は、先端アームに被処理体
を固定するためのバキュームチャックを使用できない減
圧雰囲気（所謂真空雰囲気）内において特に問題とな
る。例えば、プロセスチャンバとその前段に配設される
ロードロックチャンバとの間の被処理体の搬送は真空雰
囲気内において行う必要がある。プロセスチャンバやロ
ードロックチャンバ内で塵埃を発生させると、プロセス
チャンバの雰囲気を直接汚染することとなる。
を固定するためのバキュームチャックを使用できない減
圧雰囲気（所謂真空雰囲気）内において特に問題とな
る。例えば、プロセスチャンバとその前段に配設される
ロードロックチャンバとの間の被処理体の搬送は真空雰
囲気内において行う必要がある。プロセスチャンバやロ
ードロックチャンバ内で塵埃を発生させると、プロセス
チャンバの雰囲気を直接汚染することとなる。
【０００７】また、別の問題として、中間アーム内のタ
イミングベルトのテンション調整に伴う問題がある。タ
イミングベルトは経時的に延びるため、定期的にテンシ
ョン調整を行う必要がある。上述の如くテンションの調
整機構は駆動シャフトと従動シャフトとの間に配設され
るため、調整作業に際しては、十分な作業スペースを確
保するため、駆動シャフトとから従動シャフトに亘る上
蓋全体を開放する必要がある。この際、従動シャフトが
上蓋を貫通する部分に配設される磁性流体シールが破壊
される。このため、調整作業には手間が掛かるだけでな
く、無意味な追加費用も掛かることとなる。
イミングベルトのテンション調整に伴う問題がある。タ
イミングベルトは経時的に延びるため、定期的にテンシ
ョン調整を行う必要がある。上述の如くテンションの調
整機構は駆動シャフトと従動シャフトとの間に配設され
るため、調整作業に際しては、十分な作業スペースを確
保するため、駆動シャフトとから従動シャフトに亘る上
蓋全体を開放する必要がある。この際、従動シャフトが
上蓋を貫通する部分に配設される磁性流体シールが破壊
される。このため、調整作業には手間が掛かるだけでな
く、無意味な追加費用も掛かることとなる。
【０００８】本発明は上述のような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、振動のない滑らかな動作が可能である
と共に、駆動ベルトのテンション調整作業の行いやすい
搬送ロボットを提供することを目的とする。
れたものであり、振動のない滑らかな動作が可能である
と共に、駆動ベルトのテンション調整作業の行いやすい
搬送ロボットを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の視点は、
駆動源からの動力を受ける駆動シャフトに接続された第
１アームと、前記駆動シャフトの動力を受ける従動シャ
フトを介して前記第１アームに接続された第２アーム
と、を具備する搬送ロボットであって、前記駆動シャフ
ト及び従動シャフトに夫々取付けられた第１プーリ及び
第２プーリと、前記第１プーリは前記駆動シャフトに固
定される内側のボスと、間隔をあけて前記ボスを包囲す
ると共に側面開口を有する外側のカラーとを具備するこ
とと、前記カラー内で前記ボスに対して回転方向に位置
調整可能に固定される偏心リングと、前記第１及び第２
プーリ間に掛渡された平ベルトと、前記平ベルトは、前
記カラーの外周を周回すると共に、前記側面開口を通し
て前記カラー内に導入され、前記カラー内において前記
偏心リングの外周を周回することと、を更に具備し、前
記ボスに対して前記偏心リングを回転方向に位置調整す
ることにより前記平ベルトのテンションが調整可能であ
ることを特徴とする。
駆動源からの動力を受ける駆動シャフトに接続された第
１アームと、前記駆動シャフトの動力を受ける従動シャ
フトを介して前記第１アームに接続された第２アーム
と、を具備する搬送ロボットであって、前記駆動シャフ
ト及び従動シャフトに夫々取付けられた第１プーリ及び
第２プーリと、前記第１プーリは前記駆動シャフトに固
定される内側のボスと、間隔をあけて前記ボスを包囲す
ると共に側面開口を有する外側のカラーとを具備するこ
とと、前記カラー内で前記ボスに対して回転方向に位置
調整可能に固定される偏心リングと、前記第１及び第２
プーリ間に掛渡された平ベルトと、前記平ベルトは、前
記カラーの外周を周回すると共に、前記側面開口を通し
て前記カラー内に導入され、前記カラー内において前記
偏心リングの外周を周回することと、を更に具備し、前
記ボスに対して前記偏心リングを回転方向に位置調整す
ることにより前記平ベルトのテンションが調整可能であ
ることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態に係
る、半導体ウェハ用搬送ロボット１０を示す斜視図であ
る。搬送ロボット１０は取付用フランジ１２を有する基
台１４を具備し、この上に第１及び第２中間アーム１
６、１８及び先端アーム２２が順に接続される。基台１
４及びアーム１６、１８、２２は、互いに回転可能に連
結され、多関節アーム構造が構成される。先端アーム２
２の端部には、真空吸着によりウェハを先端アーム２２
上に固定するためのバキュウームチャックの開口２４が
配設される。
る、半導体ウェハ用搬送ロボット１０を示す斜視図であ
る。搬送ロボット１０は取付用フランジ１２を有する基
台１４を具備し、この上に第１及び第２中間アーム１
６、１８及び先端アーム２２が順に接続される。基台１
４及びアーム１６、１８、２２は、互いに回転可能に連
結され、多関節アーム構造が構成される。先端アーム２
２の端部には、真空吸着によりウェハを先端アーム２２
上に固定するためのバキュウームチャックの開口２４が
配設される。
【００１１】先端アーム２２は図２図示の先端アーム２
２Ｍのように変更することができる。図２において、先
端アーム２２Ｍは図１図示の先端アーム２２よりも幅が
広く、その上に複数、例えば４つの支持パッド２６が配
設される。ウェハは支持パッド２６上に載置された状態
で、先端アーム２２に支持される。この変更例は、例え
ば、真空雰囲気のように、バキュウームチャックが使用
できない条件において使用される。この様に、ウェハが
先端アーム２２に固定されていない場合、ウェハ搬送時
の振動が特に問題となる。
２Ｍのように変更することができる。図２において、先
端アーム２２Ｍは図１図示の先端アーム２２よりも幅が
広く、その上に複数、例えば４つの支持パッド２６が配
設される。ウェハは支持パッド２６上に載置された状態
で、先端アーム２２に支持される。この変更例は、例え
ば、真空雰囲気のように、バキュウームチャックが使用
できない条件において使用される。この様に、ウェハが
先端アーム２２に固定されていない場合、ウェハ搬送時
の振動が特に問題となる。
【００１２】図３は基台１４内に配設された駆動機構を
示す部分断面正面図であり、図４及び図５は夫々同駆動
機構の平面図及び部分断面側面図である。基台１４のケ
ーシング１５内には駆動機構を支持するためのベースプ
レート３２が水平に固定される。ベースプレート３２に
はシャフト３４が垂直に固定され、ここに双方向モータ
４２を支持するスイングアーム３６が枢支される。スイ
ングアーム３６はシャフト３４に装着されるボス３７
と、ボス３７の上部から水平方向に延在するアームプレ
ート３９とを具備する。
示す部分断面正面図であり、図４及び図５は夫々同駆動
機構の平面図及び部分断面側面図である。基台１４のケ
ーシング１５内には駆動機構を支持するためのベースプ
レート３２が水平に固定される。ベースプレート３２に
はシャフト３４が垂直に固定され、ここに双方向モータ
４２を支持するスイングアーム３６が枢支される。スイ
ングアーム３６はシャフト３４に装着されるボス３７
と、ボス３７の上部から水平方向に延在するアームプレ
ート３９とを具備する。
【００１３】ボス３７はシャフト３４に対応して上下に
軸受け３８を内蔵する。上側の軸受け３８の上面に接触
するように、シャフト３４の頂部にはフランジ３５が形
成される。また、下側の軸受け３８の下面に接触するよ
うに、シャフト３４にはストッパリング４０が配設され
る。即ち、上下の軸受け３８は、フランジ３５及びスト
ッパリング４０と係合し、スイングアーム３６のラジア
ル及びスラスト軸受けとして機能すると共に、スイング
アーム３６の上下方向の位置ずれを阻止する。ストッパ
リング４０は埋め込み捩子４１を介してシャフト３４に
着脱自在に固定される。
軸受け３８を内蔵する。上側の軸受け３８の上面に接触
するように、シャフト３４の頂部にはフランジ３５が形
成される。また、下側の軸受け３８の下面に接触するよ
うに、シャフト３４にはストッパリング４０が配設され
る。即ち、上下の軸受け３８は、フランジ３５及びスト
ッパリング４０と係合し、スイングアーム３６のラジア
ル及びスラスト軸受けとして機能すると共に、スイング
アーム３６の上下方向の位置ずれを阻止する。ストッパ
リング４０は埋め込み捩子４１を介してシャフト３４に
着脱自在に固定される。
【００１４】スイングアーム３６のアームプレート３９
の下面には、出力シャフト４３が垂直上向となるように
双方向モータ４２が固定される。出力シャフト４３には
ピニオン４４が固定され、これは大径ギア４６と噛合す
る。大径ギア４６の回転軸シャフト４８は垂直に配向さ
れ、その下部がシリンダ５２に枢支される。シリンダ５
２はベースプレート３２に形成された開口に嵌込まれ、
捩子５５を介してベースプレート３２に着脱自在に固定
される。
の下面には、出力シャフト４３が垂直上向となるように
双方向モータ４２が固定される。出力シャフト４３には
ピニオン４４が固定され、これは大径ギア４６と噛合す
る。大径ギア４６の回転軸シャフト４８は垂直に配向さ
れ、その下部がシリンダ５２に枢支される。シリンダ５
２はベースプレート３２に形成された開口に嵌込まれ、
捩子５５を介してベースプレート３２に着脱自在に固定
される。
【００１５】シリンダ５２はシャフト４８に対応して上
下に軸受け５４を内蔵する。上側の軸受け５４の上面に
接触するように、シャフト４８にはフランジ４９が形成
される。また、ベースプレート３２の裏面側で、下側の
軸受け５４の下面に接触するように、シャフト４８には
ストッパリング５６が配設される。即ち、上下の軸受け
５４は、フランジ４９及びストッパリング５６と係合
し、シャフト４８のラジアル及びスラスト軸受けとして
機能すると共に、シャフト４８の上下方向の位置ずれを
阻止する。ストッパリング５６は埋め込み捩子５７を介
してシャフト４８に着脱自在に固定される。
下に軸受け５４を内蔵する。上側の軸受け５４の上面に
接触するように、シャフト４８にはフランジ４９が形成
される。また、ベースプレート３２の裏面側で、下側の
軸受け５４の下面に接触するように、シャフト４８には
ストッパリング５６が配設される。即ち、上下の軸受け
５４は、フランジ４９及びストッパリング５６と係合
し、シャフト４８のラジアル及びスラスト軸受けとして
機能すると共に、シャフト４８の上下方向の位置ずれを
阻止する。ストッパリング５６は埋め込み捩子５７を介
してシャフト４８に着脱自在に固定される。
【００１６】スイングアーム３６のボス３７の側部に
は、棒状のスプリング掛け６２が水平に固定される。こ
れに対してベースプレート３２にも棒状のスプリング掛
け６６が垂直に固定される。スプリング掛け６２、６６
の先端部は互いに対向し、この間に引張りスプリング６
４が懸架される。スプリング６４により、図中矢印Ａ１
方向の旋回力がスイングアーム３６に付与される。即
ち、スプリング６４によりピニオン４４が大径ギア４６
に対して付勢され、これによりピニオン４４と大径ギア
４６との間のバックラッシュが防止される。なお、本実
施の形態ではスプリング６４として引張りスプリングが
使用されるが、スプリング掛け６２の位置を変えれば、
圧縮スプリングを代わりに使用することもできる。
は、棒状のスプリング掛け６２が水平に固定される。こ
れに対してベースプレート３２にも棒状のスプリング掛
け６６が垂直に固定される。スプリング掛け６２、６６
の先端部は互いに対向し、この間に引張りスプリング６
４が懸架される。スプリング６４により、図中矢印Ａ１
方向の旋回力がスイングアーム３６に付与される。即
ち、スプリング６４によりピニオン４４が大径ギア４６
に対して付勢され、これによりピニオン４４と大径ギア
４６との間のバックラッシュが防止される。なお、本実
施の形態ではスプリング６４として引張りスプリングが
使用されるが、スプリング掛け６２の位置を変えれば、
圧縮スプリングを代わりに使用することもできる。
【００１７】大径ギア４６の回転軸であるシャフト４８
の上部は、基台１４のケーシング１５の天板を貫通し、
第１中間アーム１６に接続される。シャフト４８の動力
は、第１中間アーム１６から更に第２中間アーム１８を
介して先端アーム２に伝達される。第１及び第２中間ア
ーム１６、１８は実質的に同じ構造を有する。このた
め、以下では、第１中間アーム１６を例に挙げて説明す
る。
の上部は、基台１４のケーシング１５の天板を貫通し、
第１中間アーム１６に接続される。シャフト４８の動力
は、第１中間アーム１６から更に第２中間アーム１８を
介して先端アーム２に伝達される。第１及び第２中間ア
ーム１６、１８は実質的に同じ構造を有する。このた
め、以下では、第１中間アーム１６を例に挙げて説明す
る。
【００１８】図６は第１中間アーム１６の内部を示す図
７のXI−XI線に沿った断面図、図７は図６のXII −XII
線に沿った断面を含む第１及び第２中間アーム１６、１
８の側面図である。
７のXI−XI線に沿った断面図、図７は図６のXII −XII
線に沿った断面を含む第１及び第２中間アーム１６、１
８の側面図である。
【００１９】第１中間アーム１６内において、シャフト
４８は駆動シャフトとして機能し、また、第１及び第２
中間アーム１６、１８を接続する垂直シャフト６８が従
動シャフトとして機能する。シャフト４８、６８には夫
々第１プーリ７２Ａ及び第２プーリ７２Ｂが固定され、
この間に平ベルト７４が掛渡される。
４８は駆動シャフトとして機能し、また、第１及び第２
中間アーム１６、１８を接続する垂直シャフト６８が従
動シャフトとして機能する。シャフト４８、６８には夫
々第１プーリ７２Ａ及び第２プーリ７２Ｂが固定され、
この間に平ベルト７４が掛渡される。
【００２０】本実施の形態において、第１及び第２プー
リ７２Ａ、７２Ｂは実質的に同一の構造を有する。従っ
て、以下では、第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの各
部分に共通の符号を付してこれらを一括して説明する。
リ７２Ａ、７２Ｂは実質的に同一の構造を有する。従っ
て、以下では、第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの各
部分に共通の符号を付してこれらを一括して説明する。
【００２１】プーリ７２Ａ、７２Ｂは、同心円状に且つ
一体的に形成された内側のボス７６と、外側のカラー７
８とを具備する。ボス７６とカラー７８との間には環状
スペース８２が形成される。プーリ７２Ａ、７２Ｂは、
ボス７６に内蔵された埋め込み捩子７７を介してシャフ
ト４８（６８）着脱自在に固定される。カラー７８の外
周面には、平ベルト７４の形状に対応した、底が平坦で
且つ浅い溝８０が形成される。カラー７８にはまた、平
ベルト７４を環状スペース８２内に導入するためのスリ
ット即ち側面開口８４が形成される。側面開口８４の両
側となるカラー７８の対向端部には平ベルト７４を案内
するためのピン８６が配設される。
一体的に形成された内側のボス７６と、外側のカラー７
８とを具備する。ボス７６とカラー７８との間には環状
スペース８２が形成される。プーリ７２Ａ、７２Ｂは、
ボス７６に内蔵された埋め込み捩子７７を介してシャフ
ト４８（６８）着脱自在に固定される。カラー７８の外
周面には、平ベルト７４の形状に対応した、底が平坦で
且つ浅い溝８０が形成される。カラー７８にはまた、平
ベルト７４を環状スペース８２内に導入するためのスリ
ット即ち側面開口８４が形成される。側面開口８４の両
側となるカラー７８の対向端部には平ベルト７４を案内
するためのピン８６が配設される。
【００２２】環状スペース８２内に十分な間隙が残るよ
うに、ボス７６に偏心リング８８が嵌着される。偏心リ
ング８８は、ボス７６を挿通するための取付け開口９２
に対して偏心した平坦な外周面９４を有する。偏心リン
グ８８は埋め込み捩子８９を介してボス７６に対して回
転方向に位置調整可能に固定される。
うに、ボス７６に偏心リング８８が嵌着される。偏心リ
ング８８は、ボス７６を挿通するための取付け開口９２
に対して偏心した平坦な外周面９４を有する。偏心リン
グ８８は埋め込み捩子８９を介してボス７６に対して回
転方向に位置調整可能に固定される。
【００２３】平ベルト７４は、第１及び第２プーリ７２
Ａ、７２Ｂのカラー７８の外周を周回すると共に、側面
開口８４を通して環状スペース８２内に導入され、偏心
リング８８の外周を周回するように配置される。環状ス
ペース８２内において、平ベルト７４は、ベルト固定部
材９６を介して、第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂ及
び偏心リング８８に対して固定接続される。より具体的
には、偏心リング８８の最大肉厚部の側面には溝９５が
形成され、これに対して、ベルト固定部材９６には突起
９７が形成される。平ベルト７４が溝９５と突起９７と
の間に挟まれるように、ベルト固定部材９６が環状スペ
ース８２内に挿入されると、ベルト固定部材９６の両側
部がカラー７８の内面に当接し、平ベルト７４が固定さ
れる。
Ａ、７２Ｂのカラー７８の外周を周回すると共に、側面
開口８４を通して環状スペース８２内に導入され、偏心
リング８８の外周を周回するように配置される。環状ス
ペース８２内において、平ベルト７４は、ベルト固定部
材９６を介して、第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂ及
び偏心リング８８に対して固定接続される。より具体的
には、偏心リング８８の最大肉厚部の側面には溝９５が
形成され、これに対して、ベルト固定部材９６には突起
９７が形成される。平ベルト７４が溝９５と突起９７と
の間に挟まれるように、ベルト固定部材９６が環状スペ
ース８２内に挿入されると、ベルト固定部材９６の両側
部がカラー７８の内面に当接し、平ベルト７４が固定さ
れる。
【００２４】第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂに近接
して、夫々１対のベルト案内ローラ９８が配設される。
案内ローラ９８は、第１中間アーム１６のケーシング１
７の底板１０２に固定された垂直ピン９９に枢支され
る。各案内ローラ９８は、概ね平ベルト７４の厚さの分
だけカラー７８の外面から離間する。案内ローラ９８の
且つ対は、駆動シャフト４８及び従動シャフト６８の中
心を結ぶ線を軸として対象に配置され、且つその離間距
離はスリット即ち側面開口８４より幾分大きい程度のも
のとなっている。従って、平ベルト７４は、第１及び第
２プーリ７２Ａ、７２Ｂ間において、シャフト４８、６
８の中心を結ぶ線に沿って絞られた状態で案内される。
して、夫々１対のベルト案内ローラ９８が配設される。
案内ローラ９８は、第１中間アーム１６のケーシング１
７の底板１０２に固定された垂直ピン９９に枢支され
る。各案内ローラ９８は、概ね平ベルト７４の厚さの分
だけカラー７８の外面から離間する。案内ローラ９８の
且つ対は、駆動シャフト４８及び従動シャフト６８の中
心を結ぶ線を軸として対象に配置され、且つその離間距
離はスリット即ち側面開口８４より幾分大きい程度のも
のとなっている。従って、平ベルト７４は、第１及び第
２プーリ７２Ａ、７２Ｂ間において、シャフト４８、６
８の中心を結ぶ線に沿って絞られた状態で案内される。
【００２５】第１中間アーム１６のケーシング１７は、
捩子１０３を介して固定された底板１０２及びカバー１
０４を具備する。カバー１０４の頂部には、第１プーリ
７２Ａのみに対応して開口１０６が形成される。開口１
０６は捩子１０９を介してカバー１０４に着脱自在に固
定される上蓋１０８によって閉鎖される。
捩子１０３を介して固定された底板１０２及びカバー１
０４を具備する。カバー１０４の頂部には、第１プーリ
７２Ａのみに対応して開口１０６が形成される。開口１
０６は捩子１０９を介してカバー１０４に着脱自在に固
定される上蓋１０８によって閉鎖される。
【００２６】上記構成の搬送ロボット１０おいては、最
初の組立て時における平ベルト７４のテンションの調整
は、底板１０２からカバー１０４を取外した状態で行
う。そして、第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの夫々
の偏心リング８８をボス７６に固定していない状態で、
平ベルト７４を案内ローラ９８の各対間に通すと共に、
カラー７８及び偏心リング８８の外周に掛ける。次に、
第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの夫々の偏心リング
８８を回転させ、平ベルト７４のテンションを所定の状
態とし、偏心リング８８をボスに固定する。更に、ベル
ト固定部材９６を環状スペース８２内に挿入し、平ベル
ト７４を第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂ及び偏心リ
ング８８に対して固定接続する。
初の組立て時における平ベルト７４のテンションの調整
は、底板１０２からカバー１０４を取外した状態で行
う。そして、第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの夫々
の偏心リング８８をボス７６に固定していない状態で、
平ベルト７４を案内ローラ９８の各対間に通すと共に、
カラー７８及び偏心リング８８の外周に掛ける。次に、
第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの夫々の偏心リング
８８を回転させ、平ベルト７４のテンションを所定の状
態とし、偏心リング８８をボスに固定する。更に、ベル
ト固定部材９６を環状スペース８２内に挿入し、平ベル
ト７４を第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂ及び偏心リ
ング８８に対して固定接続する。
【００２７】搬送ロボット１０を組立てた後の平ベルト
７４のテンションの調整は、カバー１０４の上蓋１０８
のみを開けて行う。そして、第１プーリ７２Ａのベルト
固定部材９６を取外して、平ベルト７４を第１プーリ７
２Ａから解放する。次に、埋め込み捩子８９を緩めて偏
心リング８８の固定を解き、偏心リング８８を回転さ
せ、平ベルト７４のテンションを調整する。調整後、偏
心リング８８をボスに固定すると共に、ベルト固定部材
９６を環状スペース８２内に挿入し、平ベルト７４を第
１プーリ７２Ａ及び偏心リング８８に対して固定接続す
る。この様にすれば、従動シャフト６８がカバー１０４
を貫通する部分に配設されることとなる磁性流体シール
が破壊されないため、調整作業に掛かる手間及び費用を
低減することが可能となる。
７４のテンションの調整は、カバー１０４の上蓋１０８
のみを開けて行う。そして、第１プーリ７２Ａのベルト
固定部材９６を取外して、平ベルト７４を第１プーリ７
２Ａから解放する。次に、埋め込み捩子８９を緩めて偏
心リング８８の固定を解き、偏心リング８８を回転さ
せ、平ベルト７４のテンションを調整する。調整後、偏
心リング８８をボスに固定すると共に、ベルト固定部材
９６を環状スペース８２内に挿入し、平ベルト７４を第
１プーリ７２Ａ及び偏心リング８８に対して固定接続す
る。この様にすれば、従動シャフト６８がカバー１０４
を貫通する部分に配設されることとなる磁性流体シール
が破壊されないため、調整作業に掛かる手間及び費用を
低減することが可能となる。
【００２８】上記構成の搬送ロボット１０おいては、タ
イミングベルトに代え、平ベルト７４を使用し、更に、
駆動モータ４２のピニオン４４を大径ギア４６に対して
スプリング６４により付勢することにより、ギア歯間で
のバックラッシュの発生を阻止している。このため、搬
送ロボット１０は高速でも振動のない滑らかな動作を行
うことができる。即ち、振動に起因する塵埃の発生を未
然に防止し、プロセスの歩留まりを向上させるだけでな
く、スループットも向上させることが可能となる。
イミングベルトに代え、平ベルト７４を使用し、更に、
駆動モータ４２のピニオン４４を大径ギア４６に対して
スプリング６４により付勢することにより、ギア歯間で
のバックラッシュの発生を阻止している。このため、搬
送ロボット１０は高速でも振動のない滑らかな動作を行
うことができる。即ち、振動に起因する塵埃の発生を未
然に防止し、プロセスの歩留まりを向上させるだけでな
く、スループットも向上させることが可能となる。
【００２９】本実施の形態に係る搬送ロボット１０と、
対応する機能を有する従来の搬送ロボットとの性能比較
試験を行った。その結果、搬送ロボット１０は、従来の
搬送ロボットの３倍の速度で動作させても、振動は従来
の搬送ロボットよりも小さいことが確認された。
対応する機能を有する従来の搬送ロボットとの性能比較
試験を行った。その結果、搬送ロボット１０は、従来の
搬送ロボットの３倍の速度で動作させても、振動は従来
の搬送ロボットよりも小さいことが確認された。
【００３０】また、平ベルト７４のテンション調整機構
が、第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの内部にあるた
め、中間アーム１６、１８を細くすることができると共
に、各プーリの回転角度を広くとることができる。各プ
ーリの回転角度は搬送ロボットの作業可能な角度範囲を
意味するものであり、この種の搬送ロボットにおいては
重要な条件となる。
が、第１及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの内部にあるた
め、中間アーム１６、１８を細くすることができると共
に、各プーリの回転角度を広くとることができる。各プ
ーリの回転角度は搬送ロボットの作業可能な角度範囲を
意味するものであり、この種の搬送ロボットにおいては
重要な条件となる。
【００３１】なお、上述の実施の形態においては、第１
及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの両者が実質的に同じ構
造を有するが、少なくとも駆動シャフト４８の第１プー
リ７２Ａがベルトテンション調整機能を供えていれば、
本発明の効果を得ることができる。
及び第２プーリ７２Ａ、７２Ｂの両者が実質的に同じ構
造を有するが、少なくとも駆動シャフト４８の第１プー
リ７２Ａがベルトテンション調整機能を供えていれば、
本発明の効果を得ることができる。
【００３２】また、上述の実施の形態においては、半導
体ウェハを被処理基板として構成されているが、搬送ロ
ボット１０は、先端アーム２２の形状を変更するだけ
で、ＬＣＤ基板、ＣＤディスク、フロッピディスク等、
種々の基板の処理に適用することが可能となる。
体ウェハを被処理基板として構成されているが、搬送ロ
ボット１０は、先端アーム２２の形状を変更するだけ
で、ＬＣＤ基板、ＣＤディスク、フロッピディスク等、
種々の基板の処理に適用することが可能となる。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、振動のない滑らかな動
作が可能であると共に、駆動ベルトのテンション調整作
業の行いやすい搬送ロボットを提供することができる。
作が可能であると共に、駆動ベルトのテンション調整作
業の行いやすい搬送ロボットを提供することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る半導体ウェハ用搬送
ロボットを示す斜視図。
ロボットを示す斜視図。
【図２】先端アームの変更例を示す平面図。
【図３】図１図示の搬送ロボットの基台内に配設された
駆動機構を示す部分断面正面図。
駆動機構を示す部分断面正面図。
【図４】図３図示の駆動機構の平面図。
【図５】図３図示の駆動機構の部分断面側面図。
【図６】図１図示の搬送ロボットの第１中間アームの内
部を示す、図７のXI−XI線に沿った断面図。
部を示す、図７のXI−XI線に沿った断面図。
【図７】図６のXII −XII 線に沿った断面を含む、図１
図示の搬送ロボットの第１及び第２中間アームを示す側
面図。
図示の搬送ロボットの第１及び第２中間アームを示す側
面図。
１０…搬送ロボット、１４…基台、１６…第１中間アー
ム、１８…第２中間アーム、２２…先端アーム、３２…
ベースプレート、３６…スイングアーム、４２…双方向
モータ、４４…ピニオン、４６…大径ギア、４８…駆動
シャフト、６４…引張りスプリング、６８…従動シャフ
ト、７２Ａ、７２Ｂ…プーリ、７４…平ベルト、７６…
ボス、７８…カラー、８４…側面開口、８８…偏心リン
グ、９６…ベルト固定部材、９８…案内ローラ。
ム、１８…第２中間アーム、２２…先端アーム、３２…
ベースプレート、３６…スイングアーム、４２…双方向
モータ、４４…ピニオン、４６…大径ギア、４８…駆動
シャフト、６４…引張りスプリング、６８…従動シャフ
ト、７２Ａ、７２Ｂ…プーリ、７４…平ベルト、７６…
ボス、７８…カラー、８４…側面開口、８８…偏心リン
グ、９６…ベルト固定部材、９８…案内ローラ。
Claims (1)
- 【請求項１】駆動源からの動力を受ける駆動シャフトに
接続された第１アームと、前記駆動シャフトの動力を受
ける従動シャフトを介して前記第１アームに接続された
第２アームと、を具備する搬送ロボットであって、 前記駆動シャフト及び従動シャフトに夫々取付けられた
第１プーリ及び第２プーリと、前記第１プーリは前記駆
動シャフトに固定される内側のボスと、間隔をあけて前
記ボスを包囲すると共に側面開口を有する外側のカラー
とを具備することと、 前記カラー内で前記ボスに対して回転方向に位置調整可
能に固定される偏心リングと、 前記第１及び第２プーリ間に掛渡された平ベルトと、前
記平ベルトは、前記カラーの外周を周回すると共に、前
記側面開口を通して前記カラー内に導入され、前記カラ
ー内において前記偏心リングの外周を周回することと、
を更に具備し、前記ボスに対して前記偏心リングを回転
方向に位置調整することにより前記平ベルトのテンショ
ンが調整可能であることを特徴とする搬送ロボット。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00943396A JP3693731B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 搬送ロボット |
| TW086100687A TW354277B (en) | 1996-01-23 | 1997-01-22 | Transfer robot |
| KR1019970001933A KR970058857A (ko) | 1996-01-23 | 1997-01-23 | 반송 로봇 |
| US08/787,174 US5816770A (en) | 1996-01-23 | 1997-01-23 | Transfer robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00943396A JP3693731B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 搬送ロボット |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15972996A Division JPH09193058A (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 搬送ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09193057A true JPH09193057A (ja) | 1997-07-29 |
| JP3693731B2 JP3693731B2 (ja) | 2005-09-07 |
Family
ID=11720200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00943396A Expired - Lifetime JP3693731B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 搬送ロボット |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5816770A (ja) |
| JP (1) | JP3693731B2 (ja) |
| KR (1) | KR970058857A (ja) |
| TW (1) | TW354277B (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8303576B2 (en) | 1998-02-24 | 2012-11-06 | Hansen Medical, Inc. | Interchangeable surgical instrument |
| US7901399B2 (en) | 1998-02-24 | 2011-03-08 | Hansen Medical, Inc. | Interchangeable surgical instrument |
| US7758569B2 (en) * | 1998-02-24 | 2010-07-20 | Hansen Medical, Inc. | Interchangeable surgical instrument |
| NL1010446C2 (nl) * | 1998-11-02 | 2000-05-03 | Exact Dynamics B V | Manipulator. |
| US7331967B2 (en) | 2002-09-09 | 2008-02-19 | Hansen Medical, Inc. | Surgical instrument coupling mechanism |
| EP1610927A2 (fr) * | 2002-12-13 | 2006-01-04 | Recif | Dispositif permettant la prehension d'une plaque de semi-conducteur a travers une ouverture de transfert, utilisant l'obturateur de l'ouverture |
| KR100997143B1 (ko) * | 2008-06-30 | 2010-11-30 | 삼성전자주식회사 | 구동장치 및 이를 가지는 로봇 |
| WO2010075404A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-07-01 | Mako Surgical Corp. | End effector with release actuator |
| CN102109029B (zh) * | 2009-12-28 | 2014-03-26 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 减速机构 |
| WO2016161449A1 (en) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | The Regents Of The University Of Michigan | Tension management apparatus for cable-driven transmission |
| US12594069B2 (en) | 2015-10-02 | 2026-04-07 | Livsmed, Inc. | Handle assembly providing unlimited roll |
| US11896255B2 (en) | 2015-10-05 | 2024-02-13 | Flexdex, Inc. | End-effector jaw closure transmission systems for remote access tools |
| JP2018531694A (ja) | 2015-10-05 | 2018-11-01 | フレックスデックス, インク.Flexdex, Inc. | 円滑に関節屈曲するマルチクラスタジョイントを有する医療デバイス |
| WO2017147607A1 (en) | 2016-02-25 | 2017-08-31 | Flexdex, Inc. | Parallel kinematic apparatuses |
| CN106048551A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-10-26 | 沈阳大学 | 真空镀膜机工件托架 |
| US11000948B2 (en) * | 2018-05-29 | 2021-05-11 | General Electric Company | Robotic arm assembly |
| DE102018128587B4 (de) * | 2018-11-14 | 2024-10-24 | Kuka Deutschland Gmbh | Riementrieb mit Spanneinrichtung |
| KR20230018456A (ko) | 2020-06-02 | 2023-02-07 | 플렉스덱스 인코포레이티드 | 수술 도구 및 조립체 |
| US12220126B2 (en) | 2020-07-28 | 2025-02-11 | Cilag Gmbh International | Surgical instruments with double pivot articulation joint arrangements |
| USD1105427S1 (en) | 2023-04-14 | 2025-12-09 | Flexdex, Inc. | Handheld laparoscopic surgical instrument |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4728252A (en) * | 1986-08-22 | 1988-03-01 | Lam Research Corporation | Wafer transport mechanism |
| US5159848A (en) * | 1991-05-02 | 1992-11-03 | Calcomp Inc. | Self-adjusting motor mount for drive motors of a pen plotter |
-
1996
- 1996-01-23 JP JP00943396A patent/JP3693731B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-01-22 TW TW086100687A patent/TW354277B/zh active
- 1997-01-23 KR KR1019970001933A patent/KR970058857A/ko not_active Withdrawn
- 1997-01-23 US US08/787,174 patent/US5816770A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970058857A (ko) | 1997-08-12 |
| US5816770A (en) | 1998-10-06 |
| JP3693731B2 (ja) | 2005-09-07 |
| TW354277B (en) | 1999-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3693731B2 (ja) | 搬送ロボット | |
| KR0158215B1 (ko) | 반송장치 | |
| KR101477366B1 (ko) | 구동장치 및 반송 장치 | |
| WO2007080986A1 (ja) | 冷却循環通路を備えた基板搬送用ロボットの駆動装置 | |
| KR101095246B1 (ko) | 연마 장치 | |
| USRE37731E1 (en) | Two-armed transfer robot | |
| JPS61144462A (ja) | 産業用ロボツトの駆動装置 | |
| CN112108893A (zh) | 倾斜旋转工作台装置 | |
| JPH09193058A (ja) | 搬送ロボット | |
| US6206767B1 (en) | Planetary gear system parallel planer | |
| EP1172182B1 (en) | Traction drive speed reducer and conveyance apparatus using traction drive speed reducer | |
| JPH10193287A (ja) | 閉リンクロボット装置 | |
| JP4294228B2 (ja) | ポリッシング装置の回転駆動装置 | |
| US5921560A (en) | Direct drive rotational motor with axial vacuum | |
| KR100288085B1 (ko) | 기판 반송용 스칼라형 로보트 | |
| JP2004084920A (ja) | 真空用歯車装置 | |
| TWI840052B (zh) | 基板搬送機器人 | |
| JP3091427B2 (ja) | ウェーハ研磨装置 | |
| JP2773448B2 (ja) | 産業用ロボットの手首機構 | |
| TWI881640B (zh) | 基板搬送機器人 | |
| JP2004216493A (ja) | 研磨装置 | |
| JPH0258059B2 (ja) | ||
| JPH11265921A (ja) | 薄型基板搬送ロボット | |
| JPH04111734A (ja) | 精密回転テーブル | |
| JPH057148B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040805 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040831 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041129 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050531 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050622 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080701 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080701 Year of fee payment: 3 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080701 Year of fee payment: 3 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080701 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080701 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090701 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100701 Year of fee payment: 5 |