JPH09193138A - ワイヤ式切断加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤ式切断加工装置において、被切断部材
の切断角度を調整するとともに、切断時における切断角
度等のずれが生じにくくすることを課題とする。 【解決手段】 複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
をワイヤ走行装置によって所定速度で走行させながら、
支持機構に支持された被切断部材を押付装置によって上
記ワイヤに相対的に押し付けて被切断部材を切断加工す
るワイヤ式切断加工装置であって、支持機構は、固定部
と、被切断部材を保持する可動部と、可動部を水平面に
沿って回転させる水平成分調整機構と、可動部を垂直面
に沿って回転させる垂直成分調整機構とを備え、垂直成
分調整機構は、固定部に下方に向けて形成された固定側
円弧面に、固定側円弧面に沿って可動部に形成された可
動側円弧面を合わせた状態で、可動部を固定側円弧面の
円弧方向に摺動させて回転させるものである技術が採用
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料や磁性
材料、あるいはセラミックス等の高硬度脆性材料をワイ
ヤによって切断するためのワイヤ式切断加工装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤ式切断加工装置は、複数の溝ロー
ラの間に張設されたワイヤをワイヤ走行装置によって一
定方向に所定速度で走行させながら、被切断部材を押付
装置によって上記ワイヤに押し付けるとともに被切断部
材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給して被切断部
材を切断加工するもの、および、ワイヤを交互に逆方向
に走行させて切断加工するものが知られている。

【０００３】例えば、図８に示すように、従来のワイヤ
式切断加工装置１は、装置フレーム２に、ワイヤ走行装
置３と押付装置４と加工液供給装置５等とを搭載して構
成されている。

【０００４】前記ワイヤ走行装置３は、例えば、図示し
ないサーボモータ等の駆動モータによってそれぞれ個々
に回転させられる一対のリール、張力保持機構、張力検
出機構、切断機構７および走行量検出機構等を備えてお
り、ワイヤ８を一方のリールから上記種々の機構を経て
他方のリールまで送る際に、両リールによるワイヤ８の
走行方向と走行量を交互に変えて走行させるようになっ
ている。

【０００５】上記ワイヤ走行装置３を構成する各機構の
内、切断機構７は、互いに平行かつ水平に逆三角形状に
配設された３個の溝ローラ７ａ，７ｂ，７ｃと、下の溝
ローラ７ａを回転させる切断走行用の駆動モータ７ｄを
備えている。ワイヤ８は、各溝ローラ７ａ，７ｂ，７ｃ
に所定の間隔で形成された複数の溝に平行に巻き付けら
れている。上の２個の溝ローラ７ｂ，７ｃ間のワイヤ８
は、水平に張られており、その中央付近に後述する押付
装置４によって被切断部材として例えば、シリコン等の
半導体単結晶のインゴット９を押し付けて切断加工する
切断加工域Ａが形成されるようになっている。

【０００６】前記押付装置４は、インゴット９を支持す
る支持機構１０と、該支持機構１０を上下させるボール
ネジ等よりなる移動機構１１と、該移動機構１１を作動
させるサーボモータ等の移動用駆動モータ１２とワイヤ
８に対するインゴット９の押付力（反力）を検出するロ
ードセル等の押付力検出器１３と、移動用駆動モータ１
２の回転数から支持機構１０の移動量を検出するロータ
リエンコーダ等の移動量検出器１４とを備えている。

【０００７】この押付装置４は、インゴット９を支持機
構１０に支持してこれを切断機構７の溝ローラ７ｂ，７
ｃの間にワイヤ８に垂直に押し付けるものであり、押付
力検出器１３の検出信号によって、ワイヤ８に対するイ
ンゴット９の押付力が一定に保たれるように、移動用駆
動モータ１２によるインゴット９の押付移動速度を調整
するようになっている。

【０００８】前記加工液供給装置５は、例えば、砥粒を
含む加工液Ｌを貯留する加工液タンク（図示略）と、該
加工液タンクから加工液Ｌを汲み上げるポンプ（図示
略）と、該ポンプから供給される加工液Ｌをワイヤ８上
に散布する供給口としての一対の加工液供給ノズル１
５，１６と、ワイヤ８から落下した削りかすを含む加工
液Ｌを回収する回収装置（図示略）等とを具備してい
る。

【０００９】上記ワイヤ式切断加工装置１によりインゴ
ット９を切断加工するには、ワイヤ走行装置３を作動さ
せてワイヤ８を相互方向に走行させるとともに、加工液
供給装置５のポンプを作動させて、加工液タンク内の砥
粒を含む加工液Ｌを各加工液供給ノズル１５，１６から
散布する。この状態で、押付装置４を作動させてインゴ
ット９を下降させ、水平方向に往復走行させられている
ワイヤ８に上方から押し付けると、加工液Ｌが付着した
ワイヤ８によってインゴット９が切断される。

【００１０】ところで、前記インゴット９は、インゴッ
ト９の外形上の軸（以下、インゴット軸という）とシリ
コン等の結晶軸とがずれている場合があり、インゴット
９を切断する際には、インゴット軸ではなく結晶軸を基
準にしなければならない。すなわち、結晶軸に対して直
角に、または顧客の要望により前記直角に対して、例え
ば−１゜や＋１゜だけオフセットした角度で切断する必
要がある。

【００１１】このため、支持機構１０には、インゴット
９の切断角度を調整するために該インゴット９とワイヤ
８との角度を微調整する機構が設けられ、該機構にはワ
イヤ８に対するインゴット９の角度の水平成分を調整す
る水平成分調整機構と垂直成分を調整する垂直成分調整
機構とが備えられている。

【００１２】すなわち、インゴット９を支持機構１０に
取り付ける際に、まずインゴット９をインゴット軸に合
わせて取り付け、Ｘ線測定により該インゴット軸の結晶
軸に対する角度を割り出した後に、水平成分調整機構お
よび垂直成分調整機構によって前述した要望される角度
にインゴット９の角度を微調整する。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ワイヤ式切断加工装置には、以下のような課題が残され
ている。従来のインゴット９の切断角度を調整する機構
のうち、垂直成分調整機構は、インゴット９を保持する
部材の上部に水平状態に固定された支持シャフトを所定
量回転させることにより、インゴット９を回転させてワ
イヤ８に対するインゴット９の角度の垂直成分を微調整
している。しかしながら、前記押付装置４によって、調
整されたインゴット９が傾斜した状態でワイヤ８に押し
付けられ切断される場合には、インゴット９の下端側と
上端側とに加わる押付力の差により、支持シャフトを回
転させようとする強い回転モーメントが生じてしまい、
インゴット９の切断角度や切断位置等にずれが生じるお
それがあった。

【００１４】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
ので、被切断部材の切断角度を調整するとともに、切断
時における切断角度等のずれが生じにくい高精度なワイ
ヤ式切断加工装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、請求項
１記載のワイヤ式切断加工装置では、複数の溝ローラの
間に張設されたワイヤをワイヤ走行装置によって所定速
度で走行させながら、支持機構に支持された被切断部材
を押付装置によって上記ワイヤに相対的に押し付けて被
切断部材を切断加工するワイヤ式切断加工装置であっ
て、前記支持機構は、前記被切断部材を保持する可動部
と、該可動部を水平面に沿って回転させ前記ワイヤに対
する被切断部材の角度の水平成分を調整する水平成分調
整機構と、前記可動部を垂直面に沿って回転させ前記ワ
イヤに対する被切断部材の角度の垂直成分を調整する垂
直成分調整機構とを備え、該垂直成分調整機構は、下方
に向けた固定側円弧面を有する固定部に、前記可動部を
前記固定側円弧面に沿って形成された可動側円弧面を固
定側円弧面に合わせた状態で支持し、該可動部を前記固
定側円弧面の円弧方向に摺動させて回転させるものであ
る技術が採用される。

【００１６】このワイヤ式切断加工装置では、固定部の
固定側円弧面に可動部の可動側円弧面を合わせ該可動部
を摺動させて回転させる垂直成分調整機構を備えている
ので、被切断部材を傾斜させた状態でワイヤに押し付け
ても、被切断部材に加わる押付力は、可動側円弧面から
固定側円弧面全体に伝達され、押付力が分散されること
から、可動部を回転させようとする回転モーメントが低
減されて、被切断部材の切断角度や切断位置等にずれが
生じ難くなる。

【００１７】請求項２記載のワイヤ式切断加工装置で
は、請求項１記載のワイヤ式切断加工装置において、前
記可動部は、その両側に上面が前記可動側円弧面とされ
た円弧状の鍔部が平行状態にそれぞれ設けられるととも
に、前記固定部と鍔部の下部に配された支持部材とに鍔
部が挟持されて固定部に取り付けられ、前記円弧方向
は、前記ワイヤの走行方向に交差する方向に設定されて
いる技術が採用される。

【００１８】このワイヤ式切断加工装置では、上面が可
動側円弧面とされた円弧状の鍔部が可動部の両側に形成
され、円弧方向をワイヤの走行方向に交差する方向に設
定しているので、切断時にワイヤの走行によって生じる
可動部を回転させようとする力を上記両側の鍔部で分散
することにより、前記走行方向における切断位置のずれ
が抑制される。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の一形態を図
１から図７を参照しながら説明する。なお、本形態にお
いて図８に示した従来例と同様の部分については同一の
符号を配して説明を簡略化する。

【００２０】本形態に係るワイヤ式切断加工装置は、従
来例で説明したワイヤ式切断加工装置１において支持機
構１０の代わりに、支持シャフトを用いずにワイヤ８に
対するインゴット９の角度の垂直成分を調整する垂直成
分調整機構を備えた支持機構２１が設けられたものであ
る。

【００２１】前記支持機構２１は、図１および図２に示
すように、移動機構１１の下端に固定されたガイド部２
２と、該ガイド部２２の下部に固定された水平固定部２
３と、該水平固定部２３の下部に水平面に沿って回転可
能に支持された水平可動部２４（固定部）と、該水平可
動部２４の下部に垂直面に沿って回転可能に支持されイ
ンゴット９を保持する垂直可動部２５（可動部）とを備
えている。

【００２２】前記ガイド部２２は、移動機構１１の下端
に固定されたガイド部材２６と、該ガイド部材２６の周
囲を覆って配されたジャバラ部材２７とを備えている。
前記ガイド部材２６は、装置フレーム２の上部に形成さ
れた貫通孔２ａに上下可能に挿通され、また、前記ジャ
バラ部材２７は、上端および下端が装置フレーム２の上
部および前記水平固定部２３の上部にそれぞれ密封状態
に固定されている。

【００２３】前記水平固定部２３は、ガイド部材２６の
下端に固定され、図３および図４に示すように、中心か
ら離間した側部を水平に貫通するシャフト貫通孔３０ａ
が形成された上部ハウジング３０と、前記シャフト貫通
孔３０ａに回転可能に挿通された水平調整用シャフト３
１とを備えている。前記シャフト貫通孔３０ａの中間部
分には、上部ハウジング３０の上下に貫通した長孔部３
０ｂが形成されている。

【００２４】前記水平調整用シャフト３１は、基端部３
１ａが上部ハウジング３０側面に回り止め部材３２によ
って支持されるとともに、前記長孔部３０ｂに位置する
部分に雄螺子部３１ｂが形成され、該雄螺子部３１ｂに
は水平調整用シャフト３１の回転によって軸方向に進退
する水平用雌螺子部材３３が螺着されている。該水平用
雌螺子部材３３は、図４に示すように、下部に垂直方向
を軸として回転可能に取り付けられた水平用ローラ３４
を備えている。

【００２５】前記水平可動部２４は、上部ハウジング３
０の中央の貫通孔３０ｃに下方から上部突出部３５ａが
はめ込まれるとともに水平面に沿って回転可能に配され
た中間ハウジング３５と、該中間ハウジング３５の中心
を水平に貫通するシャフト用貫通孔３５ａに回転可能に
挿通された垂直調整用シャフト３６とを備えている。

【００２６】前記中間ハウジング３５は、上部突出部３
５ａの上部にキャップ部材３７が配されるとともに螺子
止めされて上部ハウジング３０に支持されている。ま
た、中間ハウジング３５には、前記長孔部３０ｂ下方に
前記水平用ローラ３４が内部に配されるローラ支持孔３
８が形成され、該ローラ支持孔３８には、水平用ローラ
３４を挟持状態に位置決めして支持する２つのブロック
３９が固定されている。

【００２７】前記中間ハウジング３５の中央部分には、
下方に開口する凹部４０が形成されている。さらに、中
間ハウジング３５の両側には、図４に示すように、下方
に向けた固定側円弧面Ｘがそれぞれ形成されている。

【００２８】前記垂直調整用シャフト３６は、基端部３
６ａが中間ハウジング３５側面に回り止め部材４１によ
って支持されるとともに、前記凹部４０に位置する部分
に雄螺子部３６ｂが形成され、該雄螺子部３６ｂには垂
直調整用シャフト３６の回転によって軸方向に進退する
垂直用雌螺子部材４２が螺着されている。該垂直用雌螺
子部材４２は、図５に示すように、左右に垂直調整用シ
ャフト３６に直交かつ水平の軸線を有して回転可能に取
り付けられた２つの垂直用ローラ４３を備えている。

【００２９】前記垂直可動部２５は、中間ハウジング３
５の下部に垂直面に沿って回転可能に支持された可動部
材４５と、該可動部材４５の下部に固定されインゴット
９を保持する保持部４６とを備えている。前記可動部材
４５は、図２、図５および図６に示すように、両側に円
弧状の鍔部４５ａがそれぞれ形成され、これら鍔部４５
ａの上面が固定側円弧面Ｘに沿って形成された可動側円
弧面Ｙとされるとともに、該可動側円弧面Ｙを固定側円
弧面Ｘに合わせた状態とし、中央部分を中間ハウジング
３５の凹部４０に配している。

【００３０】また、可動部材４５は、中間ハウジング３
５と鍔部４５ａの下部に配された下部ハウジング５０
（支持部材）とに鍔部４５ａが挟持状態とされ、鍔部４
５ａの円弧方向にそれぞれ２つづつ形成された長孔部４
５ｂとこれら長孔部４５ｂの下方に形成された下部ハウ
ジング５０の貫通孔５０ａと該貫通孔５０ａに配された
皿バネ５１とを上下に貫通する螺子部材５２によって中
間ハウジング３５に押圧状態に支持されている。前記下
部ハウジング５０は、鍔部４５ａと接する上面が鍔部４
５ａに沿って形成された円弧面とされている。なお、可
動側円弧面Ｙおよび固定側円弧面Ｘの円弧方向は、前記
ワイヤ８の走行方向に交差する方向に設定されている。

【００３１】また、可動部材４５は、図５に示すよう
に、中央部分に前記シャフト貫通孔３５ａの軸線方向お
よび該軸線方向に直交する方向に合わせて形成された十
字孔４５ｃを有している。該十字孔４５ｃの前記軸線方
向に位置する部分に前記垂直調整用シャフト３６が位置
するように配されているとともに、十字孔４５ｃの前記
軸線方向に直交する方向には、前記垂直用ローラ４３が
配されている。さらに、これら垂直用ローラ４３の前記
軸線方向における両側には、これら垂直用ローラ４３を
挟持状態に位置決めして支持するブロック５３が各垂直
用ローラ４３に２つづつ十字孔４５ｃ側部に固定されて
いる。

【００３２】前記水平可動部２４と垂直可動部２５との
外側には、図１に示すように、これらを覆うカバー５４
が固定され、前記水平調整用シャフト３１および垂直調
整用シャフト３６の基端部３１ａ，３６ａ外方に位置す
る前記カバー５４の内側部分には、開閉可能な扉部５４
ａが設けられている。

【００３３】なお、本形態では、図３および図６に示す
ように、前記水平調整用シャフト３１および垂直調整用
シャフト３６の回転によるインゴット９の水平面および
垂直面に沿った回転可能な角度範囲は、それぞれ−４゜
〜−４゜に設定されている。

【００３４】前記保持部４６は、前記可動部材４５の両
側下部に雄螺子部材５５によって固定されたワークホル
ダーブロック５６と、これらワークホルダーブロック５
６の外端部に固定されたＬ字状のワークホルダー５７
と、これらワークホルダー５７の外側部に固定されたガ
イド板５８とを備えている。

【００３５】前記インゴット９は、図７の（ａ）（ｂ）
に示すように、所定長さに予め切断され、上部にカーボ
ン部材６０が長さ方向に沿って接着剤により固定される
とともに、該カーボン部材６０の上部には、インゴット
９より長くその両側に突出状態に配された固定用角棒６
１が固定されている。切断加工の際に、インゴット９
は、前記固定用角棒６１の両端部を前記ワークホルダー
５７に架けるとともに、両端部に形成された貫通孔６１
ａに挿通される螺子部材によって螺子止めされ保持部４
６にセットされる。

【００３６】次に、本形態のワイヤ式切断加工装置にお
けるワイヤ８に対するインゴット９の切断角度の調整方
法を〔結晶軸検査工程〕〔水平成分調整工程〕および
〔垂直成分調整工程〕に分けて説明する。

【００３７】〔結晶軸検査工程〕前記インゴット９を、
インゴット軸をワイヤ８に直交する方向に合わせて保持
部４６に取り付ける。この後、Ｘ線測定によりインゴッ
ト軸の結晶軸に対する角度を割り出し、要望される角度
で切断するために微調整するインゴット９の角度の水平
成分および垂直成分を算出する。

【００３８】〔水平成分調整工程〕前記扉部５４ａを開
き、水平調整用シャフト３１の基端部３１ａにシャフト
回転用の工具を接続して、上記算出された水平成分に相
当する所定量だけ水平調整用シャフト３１を回転させ
る。このとき、雄螺子部３１ｂに螺着された水平用雌螺
子部材３３が水平調整用シャフト３１の軸方向に所定量
移動するとともに、水平用雌螺子部材３３下部の水平用
ローラ３４が中間ハウジング３５のブロック３９を前記
移動方向に押す。

【００３９】したがって、回転可能に支持された中間ハ
ウジング３５は、水平用ローラ３４によって水平面に沿
って前記移動方向に所定量回転させられるとともに、保
持部４６に固定されたインゴット９の角度の水平成分が
所定角度だけ微調整される。すなわち、上部ハウジング
３０、水平調整用シャフト３１、水平用雌螺子部材３３
等は、ワイヤ８に対するインゴット９の角度の水平成分
を調整する水平成分調整機構として機能する。

【００４０】〔垂直成分調整工程〕水平成分調整工程と
同様に、前記扉部５４ａを開き、垂直調整用シャフト３
６の基端部３６ａにシャフト回転用の工具を接続して、
上記算出された垂直成分に相当する所定量だけ垂直調整
用シャフト３６を回転させる。このとき、雄螺子部３６
ｂに螺着された垂直用雌螺子部材４２が垂直調整用シャ
フト３６の軸方向に所定量移動するとともに、垂直用雌
螺子部材４２両側のいずれかの垂直用ローラ４３が可動
部材４５のブロック５３を前記移動方向に押す。

【００４１】したがって、垂直用ローラ４３によって押
された可動部材４５は、固定側円弧面Ｘに可動側円弧面
Ｙが摺動して垂直面に沿って所定量回転させられるとと
もに、保持部４６に固定されたインゴット９の角度の垂
直成分が所定角度だけ微調整される。すなわち、中間ハ
ウジング３５、垂直調整用シャフト３６、垂直用雌螺子
部材４２および可動部材４５等は、ワイヤ８に対するイ
ンゴット９の角度の垂直成分を調整する垂直成分調整機
構として機能する。

【００４２】本形態のワイヤ式切断加工装置では、上部
ハウジング３０の固定側円弧面Ｘに可動部材４５の可動
側円弧面Ｙを合わせて可動部材４５を摺動させて回転さ
せる垂直成分調整機構を備えているので、インゴット９
を傾斜させた状態でワイヤ８に押し付けても、インゴッ
ト９に加わる押付力は、可動側円弧面Ｙから固定側円弧
面Ｘ全体に伝達され、押付力が分散されることから、可
動部材４５を回転させようとする回転モーメントが低減
されて、インゴット９の切断角度や切断位置等にずれが
生じ難くなる。

【００４３】また、上面が可動側円弧面Ｙとされた円弧
状の鍔部４５ａが可動部材４５の両側に形成され、円弧
方向をワイヤ８の走行方向に交差する方向に設定してい
るので、切断時にワイヤ８の走行によって生じる可動部
材４５を回転させようとする力を上記両側の鍔部４５ａ
で分散することにより、前記走行方向における切断位置
のずれが抑制される。

【００４４】なお、本発明は、次のような実施形態をも
含むものである。 （１）本形態では、被切断部材のインゴット９を支持し
た支持機構２１を、押付装置４に接続して移動させるこ
とによりワイヤ８に押し付けたが、ワイヤ走行装置を被
切断部材側に移動させてワイヤを押し付けて切断加工を
行っても構わない。 （２）水平調整用シャフト３１および垂直調整用シャフ
ト３６を手動で回転させることによって被切断部材の切
断角度を微調整したが、水平調整用シャフト３１および
垂直調整用シャフト３６に、例えばサーボモータ等を接
続して自動的に所定量回転させて調整を行ってもよい。 （３）被切断部材として半導体単結晶のインゴット９に
適用したが、他の被切断部材に適用しても構わない。例
えば、セラミックス等の脆性材料に用いてもよい。

【００４５】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果を奏する。 （１）請求項１記載のワイヤ式切断加工装置によれば、
固定部の固定側円弧面に可動部の可動側円弧面を合わせ
該可動部を摺動させて回転させる垂直成分調整機構を備
えているので、被切断部材に加わる押付力は、可動側円
弧面から固定側円弧面全体に伝達されて分散され、可動
部への回転モーメントを低減することから、被切断部材
の切断角度や切断位置等のずれが抑制され、高い切断加
工精度を得ることができる。

【００４６】（２）請求項２記載のワイヤ式切断加工装
置によれば、上面が可動側円弧面とされた円弧状の鍔部
が可動部の両側に形成され、円弧方向をワイヤの走行方
向に交差する方向に設定しているので、切断時にワイヤ
の走行によって生じる可動部を回転させようとする力を
上記両側の鍔部で分散することにより、前記走行方向に
おける切断位置のずれが抑制され、切断加工精度をさら
に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の一形態を
示す支持機構の縦断面図である。

【図２】図１のＢ−Ｂ矢視断面図である。

【図３】図２のＣ−Ｃ矢視断面図である。

【図４】図２のＤ−Ｄ矢視断面図である。

【図５】図２のＥ−Ｅ矢視図である。

【図６】図５のＦ−Ｆ矢視断面図である。

【図７】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の一形態に
おけるインゴットの取付状態を示す断面図である。

【図８】本発明に係るワイヤ式切断加工装置の一形態に
おける従来例の正面図である。

【符号の説明】

３ ワイヤ走行装置 ４ 押付装置 ５ 加工液供給装置 ７ａ，７ｂ，７ｃ 溝ローラ ８ ワイヤ ９ インゴット（被切断部材） ２１ 支持機構 ２４ 水平可動部（固定部） ２５ 垂直可動部（可動部） ３１ 水平調整用シャフト ３３ 水平用雌螺子部材 ３４ 水平用ローラ ３５ 中間ハウジング ３６ 垂直調整用シャフト ４２ 垂直用雌螺子部材 ４３ 垂直用ローラ ４５ 可動部材 ４６ 保持部 ５０ 下部ハウジング ５７ ワークホルダー Ｘ 固定側円弧面 Ｙ 可動側円弧面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 敦 埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号 ソニ ックシティビル21階 三菱マテリアル株式 会社生野製作所大宮事務所内 (72)発明者 内田 高広 埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号 ソニ ックシティビル21階 三菱マテリアル株式 会社生野製作所大宮事務所内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
   をワイヤ走行装置によって所定速度で走行させながら、
   支持機構に支持された被切断部材を押付装置によって上
   記ワイヤに相対的に押し付けて被切断部材を切断加工す
   るワイヤ式切断加工装置であって、 前記支持機構は、前記被切断部材を保持する可動部と、
   該可動部を水平面に沿って回転させ前記ワイヤに対する
   被切断部材の角度の水平成分を調整する水平成分調整機
   構と、前記可動部を垂直面に沿って回転させ前記ワイヤ
   に対する被切断部材の角度の垂直成分を調整する垂直成
   分調整機構とを備え、 該垂直成分調整機構は、下方に向けた固定側円弧面を有
   する固定部に、前記可動部を前記固定側円弧面に沿って
   形成された可動側円弧面を固定側円弧面に合わせた状態
   で支持し、該可動部を前記固定側円弧面の円弧方向に摺
   動させて回転させるものであることを特徴とするワイヤ
   式切断加工装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のワイヤ式切断加工装置に
   おいて、 前記可動部は、その両側に上面が前記可動側円弧面とさ
   れた円弧状の鍔部がそれぞれ設けられるとともに、前記
   固定部と鍔部の下部に配された支持部材とに鍔部が挟持
   されて固定部に取り付けられ、 前記円弧方向は、前記ワイヤの走行方向に交差する方向
   に設定されていることを特徴とするワイヤ式切断加工装
   置。