JPH09196426A - エアクリーンルームおよびその制御方法 - Google Patents
エアクリーンルームおよびその制御方法Info
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- JPH09196426A JPH09196426A JP8341838A JP34183896A JPH09196426A JP H09196426 A JPH09196426 A JP H09196426A JP 8341838 A JP8341838 A JP 8341838A JP 34183896 A JP34183896 A JP 34183896A JP H09196426 A JPH09196426 A JP H09196426A
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- Japan
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- clean room
- air clean
- air
- rotating
- disk
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Prevention Of Fouling (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業者の行為に依存することなくシャワの効
率を向上でき効率よいシャワが行えるエアクリーンルー
ムおよびその制御方法を提供する。 【解決手段】 エアクリーンルーム２０の底面１３に回
転ディスク１８を回転可能に装着し、複数のディスク排
出孔１８ａと底面排出孔１３ａとを備え、回転ディスク
１８上に作業者が搭乗したか否かを感知する感知装置を
設け、この感知情報により空気を噴射する噴射装置と、
回転ディスク１８を回転させる回転装置とを具備すると
ともに、動作方法を入力する設定入力手段と、この設定
入力手段に入力された情報に基づき回転ディスク１８と
噴射孔１２とを駆動させる動作手段と、回転ディスク１
８の駆動状況を検知し制御部に出力する検知出力手段
と、この検知出力手段から制御部に出力された動作終了
情報に基づき回転ディスク１８と噴射孔１２とを同時に
停止させる停止手段とを具備する。
率を向上でき効率よいシャワが行えるエアクリーンルー
ムおよびその制御方法を提供する。 【解決手段】 エアクリーンルーム２０の底面１３に回
転ディスク１８を回転可能に装着し、複数のディスク排
出孔１８ａと底面排出孔１３ａとを備え、回転ディスク
１８上に作業者が搭乗したか否かを感知する感知装置を
設け、この感知情報により空気を噴射する噴射装置と、
回転ディスク１８を回転させる回転装置とを具備すると
ともに、動作方法を入力する設定入力手段と、この設定
入力手段に入力された情報に基づき回転ディスク１８と
噴射孔１２とを駆動させる動作手段と、回転ディスク１
８の駆動状況を検知し制御部に出力する検知出力手段
と、この検知出力手段から制御部に出力された動作終了
情報に基づき回転ディスク１８と噴射孔１２とを同時に
停止させる停止手段とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エアクリーンルー
ムおよびその制御方法に係り、より詳しくはエアクリー
ンルームの底部に回転する回転ディスクを具備したエア
クリーンルームおよびその制御方法に関する。
ムおよびその制御方法に係り、より詳しくはエアクリー
ンルームの底部に回転する回転ディスクを具備したエア
クリーンルームおよびその制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工程では、作業者に付
着した汚染物質により製品が汚染されてしまうため、作
業者が作業場内に入る際に空気を噴射させることにより
パーティクル等の塵埃粒子を強制除去し作業場内に入室
する。このように、作業者が作業場内に入る際にパーテ
ィクル等の塵埃粒子を強制除去することにより製品への
汚染を防止するエアクリーンルームがよく知られてい
る。この種のエアクリーンルームとしては、実開昭６４
−４１０３７号公報に記載がある。
着した汚染物質により製品が汚染されてしまうため、作
業者が作業場内に入る際に空気を噴射させることにより
パーティクル等の塵埃粒子を強制除去し作業場内に入室
する。このように、作業者が作業場内に入る際にパーテ
ィクル等の塵埃粒子を強制除去することにより製品への
汚染を防止するエアクリーンルームがよく知られてい
る。この種のエアクリーンルームとしては、実開昭６４
−４１０３７号公報に記載がある。
【０００３】図２は従来のエアクリーンルームの主要部
を示した構成図である。図２に示すように、本発明の実
施形態によるエアクリーンルーム１０は、略箱状の本体
１を作業場の入口（図示せず）に設置し、本体１を介し
て作業場に入室するよう設けてある。図２に示す本体１
の対向する前面と後面とに出入口が設けてあり、この出
入口の後面には作業者が外部からエアクリーンルーム１
０内に入室する入室ドア５を設けてある。また、前面に
はエアクリーンルーム１０内から退室し作業場に入室す
る退室ドア（図示せず）を設けてある。入室ドア５と退
室ドア（図示せず）とは、出入口を左右にスライドし自
動開閉する構造を有している。また、エアクリーンルー
ム１０には、図２に示すように対向する左右側面と上面
とに空気を噴射する複数個の噴射孔２が設けてある。エ
アクリーンルーム１０内の底面３には、噴射孔２から噴
射された空気により作業者の体から離脱したパーティク
ルを排出する複数個の底面排出孔３ａが設けてある。
を示した構成図である。図２に示すように、本発明の実
施形態によるエアクリーンルーム１０は、略箱状の本体
１を作業場の入口（図示せず）に設置し、本体１を介し
て作業場に入室するよう設けてある。図２に示す本体１
の対向する前面と後面とに出入口が設けてあり、この出
入口の後面には作業者が外部からエアクリーンルーム１
０内に入室する入室ドア５を設けてある。また、前面に
はエアクリーンルーム１０内から退室し作業場に入室す
る退室ドア（図示せず）を設けてある。入室ドア５と退
室ドア（図示せず）とは、出入口を左右にスライドし自
動開閉する構造を有している。また、エアクリーンルー
ム１０には、図２に示すように対向する左右側面と上面
とに空気を噴射する複数個の噴射孔２が設けてある。エ
アクリーンルーム１０内の底面３には、噴射孔２から噴
射された空気により作業者の体から離脱したパーティク
ルを排出する複数個の底面排出孔３ａが設けてある。
【０００４】このような構成による従来のエアクリーン
ルームを使用する場合、作業者が作業場に入室する際に
入室ドア５を介してエアクリーンルーム内に入室する。
このとき作業者が入室すると入室ドア５は自動的に閉じ
てしまう。このように入室ドア５は、自動的に開閉する
ように設けてある。入室ドア５が閉じた後、噴射孔２か
ら作業者に空気を噴射される。このとき作業者の体から
パーティクル等の塵埃が離脱して底面３に設けた排出孔
３ａを通して排出される。空気の噴射によりパーティク
ル等を除去した後、作業者は退室ドア（図示せず）を通
して作業場に入室する。このように従来半導体製造工程
では、作業者が作業場に入る際に空気を噴射させパーテ
ィクル等の塵埃を強制的に除去し作業場に入室すること
により製品への汚染を防止していた。
ルームを使用する場合、作業者が作業場に入室する際に
入室ドア５を介してエアクリーンルーム内に入室する。
このとき作業者が入室すると入室ドア５は自動的に閉じ
てしまう。このように入室ドア５は、自動的に開閉する
ように設けてある。入室ドア５が閉じた後、噴射孔２か
ら作業者に空気を噴射される。このとき作業者の体から
パーティクル等の塵埃が離脱して底面３に設けた排出孔
３ａを通して排出される。空気の噴射によりパーティク
ル等を除去した後、作業者は退室ドア（図示せず）を通
して作業場に入室する。このように従来半導体製造工程
では、作業者が作業場に入る際に空気を噴射させパーテ
ィクル等の塵埃を強制的に除去し作業場に入室すること
により製品への汚染を防止していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来のエアクリ
ーンルームでは、ルーム内に入室した大部分の作業者は
静止した状態でシャワを行うためパーティクルを完全に
除去することができない不具合があった。また、シャワ
を実行する際にシャワの効率を高めるため作業者に能動
的に行為するように義務付けているが、全ての作業者に
強制すことは困難であるという不具合がある。さらに、
パーティクルを完全に除去しきれていない作業者が工場
内に入室することで、ウェーハが汚染され製造工程に支
障をきたし生産効率を低下してしまう不具合があった。
本発明は、このような従来技術の問題を解決し、作業者
の行為に依存することなくシャワの効率を向上でき効率
よいシャワを行えるエアクリーンルームおよびその制御
方法を提供することを目的とする。
ーンルームでは、ルーム内に入室した大部分の作業者は
静止した状態でシャワを行うためパーティクルを完全に
除去することができない不具合があった。また、シャワ
を実行する際にシャワの効率を高めるため作業者に能動
的に行為するように義務付けているが、全ての作業者に
強制すことは困難であるという不具合がある。さらに、
パーティクルを完全に除去しきれていない作業者が工場
内に入室することで、ウェーハが汚染され製造工程に支
障をきたし生産効率を低下してしまう不具合があった。
本発明は、このような従来技術の問題を解決し、作業者
の行為に依存することなくシャワの効率を向上でき効率
よいシャワを行えるエアクリーンルームおよびその制御
方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために、エアクリーンルームの底面に回転可能な
回転ディスクを復数設け、この回転ディスク上に作業者
が搭乗したか否かを感知する感知部を備え、この感知部
で感知された信号により駆動し回転ディスクを回転させ
る回転装置を具備し、この回転装置の駆動と同時に空気
を噴射する噴射装置を設けるとともに、この噴射装置の
作動によって離脱したパーティクルを排出する複数個の
排出孔とにより構成する。一方、本発明によるエアクリ
ーンルームの制御方法は、モータの回転数およびその作
動方法（手動／自動）を入力し制御部に出力する設定入
力手段と、この設定入力手段により入力された情報に基
づいて空気を噴射する噴射工程および回転ディスク１８
をモータにより回転させる回転工程とを同時に制御し駆
動させる動作手段と、この動作手段によって駆動される
モータの作動状態を検知し制御部に出力する検知手段
と、この検知手段によって出力された情報に基づいて制
御部で回転工程と噴射工程とを同時に停止させる停止手
段とによりなる。
決するために、エアクリーンルームの底面に回転可能な
回転ディスクを復数設け、この回転ディスク上に作業者
が搭乗したか否かを感知する感知部を備え、この感知部
で感知された信号により駆動し回転ディスクを回転させ
る回転装置を具備し、この回転装置の駆動と同時に空気
を噴射する噴射装置を設けるとともに、この噴射装置の
作動によって離脱したパーティクルを排出する複数個の
排出孔とにより構成する。一方、本発明によるエアクリ
ーンルームの制御方法は、モータの回転数およびその作
動方法（手動／自動）を入力し制御部に出力する設定入
力手段と、この設定入力手段により入力された情報に基
づいて空気を噴射する噴射工程および回転ディスク１８
をモータにより回転させる回転工程とを同時に制御し駆
動させる動作手段と、この動作手段によって駆動される
モータの作動状態を検知し制御部に出力する検知手段
と、この検知手段によって出力された情報に基づいて制
御部で回転工程と噴射工程とを同時に停止させる停止手
段とによりなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明の
実施形態によるエアクリーンルームおよびその制御方法
を詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態によるエ
アクリーンルームの主要部を示した構成図である。図１
に示すように、本発明の実施形態によるエアクリーンル
ーム２０は、略箱状の本体１１を作業場の入口（図示せ
ず）に設置し、本体１１を介して作業場に入室するよう
設けてある。
実施形態によるエアクリーンルームおよびその制御方法
を詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態によるエ
アクリーンルームの主要部を示した構成図である。図１
に示すように、本発明の実施形態によるエアクリーンル
ーム２０は、略箱状の本体１１を作業場の入口（図示せ
ず）に設置し、本体１１を介して作業場に入室するよう
設けてある。
【０００８】図１に示す本体１１の対向する前面と後面
とに出入口が設けてあり、この出入口の後面には作業者
が外部からエアクリーンルーム２０内に入室する入室ド
ア１５を設けてある。また、前面にはエアクリーンルー
ム２０内から退室し作業場に入室する退室ドア（図示せ
ず）を設けてある。入室ドア１５と退室ドア（図示せ
ず）とは、出入口を左右にスライドし自動開閉する構造
を有している。また、エアクリーンルーム２０には、図
１に示すように対向する左右側面と上面とに空気を噴射
する複数個の噴射孔１２が設けてある。エアクリーンル
ーム２０内の底面１３には、噴射孔１２から噴射された
空気により作業者の体から離脱したパーティクルを排出
する複数個の底面排出孔１３ａが設けてある。
とに出入口が設けてあり、この出入口の後面には作業者
が外部からエアクリーンルーム２０内に入室する入室ド
ア１５を設けてある。また、前面にはエアクリーンルー
ム２０内から退室し作業場に入室する退室ドア（図示せ
ず）を設けてある。入室ドア１５と退室ドア（図示せ
ず）とは、出入口を左右にスライドし自動開閉する構造
を有している。また、エアクリーンルーム２０には、図
１に示すように対向する左右側面と上面とに空気を噴射
する複数個の噴射孔１２が設けてある。エアクリーンル
ーム２０内の底面１３には、噴射孔１２から噴射された
空気により作業者の体から離脱したパーティクルを排出
する複数個の底面排出孔１３ａが設けてある。
【０００９】図３は、図１に示すエアクリーンルームの
内側底面を上部から見た上面図である。図１および図３
に示すように、底面１３の中央には、円形状の開口部１
３ｂが設けてあり、この開口部１３ｂ内には、略円板状
の回転ディスク１８が回転可能に遊嵌されている。ま
た、回転ディスク１８には、シャワ時に発生するパーチ
ィクルの排出率を高めるため、複数個のディスク排出孔
１８ａを設け、５０％以上の開口率を確保している。回
転ディスク１８は、開口部１３ｂの直径よ少し小さい直
径に設けてある。これは回転ディスク１８が回転する際
に開口部１３ｂの内周縁と接触し磨耗することを防止す
るため一定の間隔を維持し回転するように設けている。
また回転ディスク１８はステンレスの材質から設けられ
ている。
内側底面を上部から見た上面図である。図１および図３
に示すように、底面１３の中央には、円形状の開口部１
３ｂが設けてあり、この開口部１３ｂ内には、略円板状
の回転ディスク１８が回転可能に遊嵌されている。ま
た、回転ディスク１８には、シャワ時に発生するパーチ
ィクルの排出率を高めるため、複数個のディスク排出孔
１８ａを設け、５０％以上の開口率を確保している。回
転ディスク１８は、開口部１３ｂの直径よ少し小さい直
径に設けてある。これは回転ディスク１８が回転する際
に開口部１３ｂの内周縁と接触し磨耗することを防止す
るため一定の間隔を維持し回転するように設けている。
また回転ディスク１８はステンレスの材質から設けられ
ている。
【００１０】図４は、図３に示すエアクリーンルームの
底面を側面から見た断面図であり、図５は、図３に示す
回転ディスク内部を上面から見た断面図である。図４お
よび図５に示すように、回転ディスク１８中央の底面に
は、ボールベアリング５０を設けてある。このボールベ
アリング５０は、図５に示すように外輪と内輪との間に
ボール維持器５２を設け、このボール維持器５２に複数
個のボール５４が挿入し構成されている。ボール５４の
上面には、回転ディスク１８が装着されディスク排出孔
１８ａが形成されていない中央部分に接触するように設
けられている。これは回転ディスク１８の回転力を維持
しながら、回転ディスク１８に加えられた荷重を分散さ
せるため設けてある。
底面を側面から見た断面図であり、図５は、図３に示す
回転ディスク内部を上面から見た断面図である。図４お
よび図５に示すように、回転ディスク１８中央の底面に
は、ボールベアリング５０を設けてある。このボールベ
アリング５０は、図５に示すように外輪と内輪との間に
ボール維持器５２を設け、このボール維持器５２に複数
個のボール５４が挿入し構成されている。ボール５４の
上面には、回転ディスク１８が装着されディスク排出孔
１８ａが形成されていない中央部分に接触するように設
けられている。これは回転ディスク１８の回転力を維持
しながら、回転ディスク１８に加えられた荷重を分散さ
せるため設けてある。
【００１１】また、開口部１３ｂの円周縁には、円周縁
に沿って設けられた複数個のローラガイド６０を備えて
ある。このローラガイド６０内には、耐磨耗性の強いウ
レタン材質らなるローラ（図示せず）が設けてある。ロ
ーラ（図示せず）は、回転ディスク１８の下端外周縁に
接触し、回転ディスク１８の回転力を維持させるととも
に、回転ディスク１８に加えられた荷重を分散させる効
果をなしている。また、回転ディスク１８の底部にはモ
ータ３０が設けてあり、このモータ３０の回転軸３２一
端に略円筒状に形成された駆動輪３４を装着してある。
駆動輪３４は、ウレタン材質から形成されており、回転
ディスク１８の下端に接触してモータ３０の回転力を伝
達している。またモータ３０は、作業者に付着したパー
ティクルを充分に除去することができるように１回転／
２０秒の低速で回転運動をしている。
に沿って設けられた複数個のローラガイド６０を備えて
ある。このローラガイド６０内には、耐磨耗性の強いウ
レタン材質らなるローラ（図示せず）が設けてある。ロ
ーラ（図示せず）は、回転ディスク１８の下端外周縁に
接触し、回転ディスク１８の回転力を維持させるととも
に、回転ディスク１８に加えられた荷重を分散させる効
果をなしている。また、回転ディスク１８の底部にはモ
ータ３０が設けてあり、このモータ３０の回転軸３２一
端に略円筒状に形成された駆動輪３４を装着してある。
駆動輪３４は、ウレタン材質から形成されており、回転
ディスク１８の下端に接触してモータ３０の回転力を伝
達している。またモータ３０は、作業者に付着したパー
ティクルを充分に除去することができるように１回転／
２０秒の低速で回転運動をしている。
【００１２】モータ７０の上面には、常にエアクリーン
ルーム内に光を照射させ反射してきた光を感知している
フォトセンサ４０が設けてある。またエアクリーンルー
ム内の上部には反射鏡４２（図２参照）が装着されてい
る。このようにフォトセンサ４０から回転ディスク１８
の底部を介しエアクリーンルーム内に照射された光は、
反射鏡４２（図２参照）により反射され再びフォトセン
サ４０の方向に反射する。この反射した光を常にフォト
センサ４０により感知している。
ルーム内に光を照射させ反射してきた光を感知している
フォトセンサ４０が設けてある。またエアクリーンルー
ム内の上部には反射鏡４２（図２参照）が装着されてい
る。このようにフォトセンサ４０から回転ディスク１８
の底部を介しエアクリーンルーム内に照射された光は、
反射鏡４２（図２参照）により反射され再びフォトセン
サ４０の方向に反射する。この反射した光を常にフォト
センサ４０により感知している。
【００１３】このように本発明の実施形態によるエアク
リーンルームは、より著しい効果を得るために、エアク
リーンルーム全体を制御する制御手段を設けている。図
６は、本発明の実施形態によるエアクリーンルームの制
御手段を示したブロック図である。図６に示すように、
本発明の実施形態による回動型エアクリーンルームの制
御手段は、エアクリーンルームの動作方法を入力する入
力部９０と、この情報に基づきエアクリーンルーム全体
を制御し動作させる制御部９２と、エアクリーンルーム
の動作状況を検知し結果を制御部９２に出力する検知部
９４とにより構成されている。
リーンルームは、より著しい効果を得るために、エアク
リーンルーム全体を制御する制御手段を設けている。図
６は、本発明の実施形態によるエアクリーンルームの制
御手段を示したブロック図である。図６に示すように、
本発明の実施形態による回動型エアクリーンルームの制
御手段は、エアクリーンルームの動作方法を入力する入
力部９０と、この情報に基づきエアクリーンルーム全体
を制御し動作させる制御部９２と、エアクリーンルーム
の動作状況を検知し結果を制御部９２に出力する検知部
９４とにより構成されている。
【００１４】入力部９０には、回転ディスク１８の底部
に設けたモータ３０がパーチィクル除去中に回転する回
転数を入力するカウンタ９０ｂと、エアクリーンルーム
の作動方法（手動／自動）を入力する入力装置９０ａと
により構成されている。このように入力部９０によりエ
アクリーンルーム全体の動作設定をすることができ、こ
の情報を制御部９２に出力している。制御部９２では、
入力部９０により入力された情報に基づいてモータ３０
を駆動させ回転ディスク４０を回転させる回転工程と、
この回転工程の駆動と同時に噴射孔１２より空気を噴射
させる噴射工程とを実行する。さらに検知部９４では、
制御部９２の制御により回転しているモータ３０の回転
数等の駆動状況を検知し、この情報を制御部９２に出力
させている。この後、入力部９０で入力した動作過程を
全て終了すると検知部９４が終了状況を検知し制御部９
２に信号を送り、この信号により制御部９２がモータ３
０の回転工程と、噴射制御部１２の噴射工程とを同時に
停止する。
に設けたモータ３０がパーチィクル除去中に回転する回
転数を入力するカウンタ９０ｂと、エアクリーンルーム
の作動方法（手動／自動）を入力する入力装置９０ａと
により構成されている。このように入力部９０によりエ
アクリーンルーム全体の動作設定をすることができ、こ
の情報を制御部９２に出力している。制御部９２では、
入力部９０により入力された情報に基づいてモータ３０
を駆動させ回転ディスク４０を回転させる回転工程と、
この回転工程の駆動と同時に噴射孔１２より空気を噴射
させる噴射工程とを実行する。さらに検知部９４では、
制御部９２の制御により回転しているモータ３０の回転
数等の駆動状況を検知し、この情報を制御部９２に出力
させている。この後、入力部９０で入力した動作過程を
全て終了すると検知部９４が終了状況を検知し制御部９
２に信号を送り、この信号により制御部９２がモータ３
０の回転工程と、噴射制御部１２の噴射工程とを同時に
停止する。
【００１５】このように構成された本発明の実施形態に
よるエアクリーンルームを使用する場合、まず入力部９
０の入力装置９０ａとカウンタ９０ｂとに予めエアクリ
ーンルームの動作方法と、モータ３０の回転数とをを入
力する。このとき入力装置９０ａには自動または手動の
どちらかの動作方法を設定する。クリーンルームの動作
方法を手動にした場合、作業者が入室ドア１５を介して
エアクリーンルーム内に入室し底面１３に設置されてい
る回転ディスク１８の上部に移動する。このとき、フォ
トセンサ４０から照射された光が反射鏡４２を通して反
射され作業者の体内に吸収される。したがってフォトセ
ンサ４０は、作業者の体内に吸収された光を検知するこ
とができなくなる。このように光を検知しなければ制御
部９２に情報を出力しモータ３０を回転させる。モータ
３０の回転により回転軸３２と駆動輸３４とが同時に回
転するとともに、駆動輪３４に接触している回転ディス
ク１８は、ボールベアリング５０とローラガイド６０と
に支持されながら回転を始める。さらに、モータ３０が
回転すると噴射孔１２から空気が噴出され、作業者は回
転しながらシャワ動作を実行する。
よるエアクリーンルームを使用する場合、まず入力部９
０の入力装置９０ａとカウンタ９０ｂとに予めエアクリ
ーンルームの動作方法と、モータ３０の回転数とをを入
力する。このとき入力装置９０ａには自動または手動の
どちらかの動作方法を設定する。クリーンルームの動作
方法を手動にした場合、作業者が入室ドア１５を介して
エアクリーンルーム内に入室し底面１３に設置されてい
る回転ディスク１８の上部に移動する。このとき、フォ
トセンサ４０から照射された光が反射鏡４２を通して反
射され作業者の体内に吸収される。したがってフォトセ
ンサ４０は、作業者の体内に吸収された光を検知するこ
とができなくなる。このように光を検知しなければ制御
部９２に情報を出力しモータ３０を回転させる。モータ
３０の回転により回転軸３２と駆動輸３４とが同時に回
転するとともに、駆動輪３４に接触している回転ディス
ク１８は、ボールベアリング５０とローラガイド６０と
に支持されながら回転を始める。さらに、モータ３０が
回転すると噴射孔１２から空気が噴出され、作業者は回
転しながらシャワ動作を実行する。
【００１６】このような動作過程において、図６に示す
ように検出部９４は、モータ３０の回転の状態を検出す
るが、入力部９０で入力された回転数と同じ回転数が検
出されると制御部９２に情報を送り回転ディスク１８
と、噴射孔１２とを同時に停止させる。以降、作業者は
退室ドアを介して作業場に入室する。また、エアクリー
ンルームの作動方法を手動に設定した場合は、外部に設
けた制御室（図示せず）において、オペレータが上述の
自動制御方法と同じ作動過程を実行させる。
ように検出部９４は、モータ３０の回転の状態を検出す
るが、入力部９０で入力された回転数と同じ回転数が検
出されると制御部９２に情報を送り回転ディスク１８
と、噴射孔１２とを同時に停止させる。以降、作業者は
退室ドアを介して作業場に入室する。また、エアクリー
ンルームの作動方法を手動に設定した場合は、外部に設
けた制御室（図示せず）において、オペレータが上述の
自動制御方法と同じ作動過程を実行させる。
【００１７】以上、本発明による実施の形態を詳細に説
明したが、本発明の実施の形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。たと
えば、入室ドアと退室ドアとは、左右にスライドし自動
開閉することに限定されるものではなく、上下にスライ
ドしてもよい。また回転ディスクは、エアクリーンルー
ム底面の１箇所に限定するものではなく、エアクリーン
ルームを大型にすることにより複数設けてもよい。
明したが、本発明の実施の形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。たと
えば、入室ドアと退室ドアとは、左右にスライドし自動
開閉することに限定されるものではなく、上下にスライ
ドしてもよい。また回転ディスクは、エアクリーンルー
ム底面の１箇所に限定するものではなく、エアクリーン
ルームを大型にすることにより複数設けてもよい。
【００１８】
【発明の効果】このように本発明の実施形態によるエア
クリーンルームおよびその制御方法によれば、エアクリ
ーンルーム内で回転ディスクが自動に回転し、搭乗した
作業者は意識せずに回動するため効率よくシャワできパ
ーティクルを完全に除去することが可能となる。また、
回転ディスクが自動に回転し同時に作業者を回転させる
ため、作業者に能動的に行為するように義務付ける必要
がなくなる。また、工場内に入室する前にパーティクル
が完全に除去されるため、どの作業者が工場内に入室し
ても体に付着した汚染物質によりウェーハが汚染する危
険がないため、作業効率が向上する。以上、述べたよう
に本発明はクリーンルームの底面に回転可能なシャワー
ディスクを装着することによって生産効率を向上でき効
率よくシャワを実行することができる効果が得られる。
クリーンルームおよびその制御方法によれば、エアクリ
ーンルーム内で回転ディスクが自動に回転し、搭乗した
作業者は意識せずに回動するため効率よくシャワできパ
ーティクルを完全に除去することが可能となる。また、
回転ディスクが自動に回転し同時に作業者を回転させる
ため、作業者に能動的に行為するように義務付ける必要
がなくなる。また、工場内に入室する前にパーティクル
が完全に除去されるため、どの作業者が工場内に入室し
ても体に付着した汚染物質によりウェーハが汚染する危
険がないため、作業効率が向上する。以上、述べたよう
に本発明はクリーンルームの底面に回転可能なシャワー
ディスクを装着することによって生産効率を向上でき効
率よくシャワを実行することができる効果が得られる。
【図１】本発明の実施形態によるエアクリーンルームの
主要部を示した構成図。
主要部を示した構成図。
【図２】従来のエアクリーンルームの主要部を示した構
成図。
成図。
【図３】図１に示すエアクリーンルームの内側底面を上
部から見た上面図。
部から見た上面図。
【図４】図３に示すエアクリーンルームの底面を側面か
ら見た断面図。
ら見た断面図。
【図５】図３に示す回転ディスク内部を上面から見た断
面図。
面図。
【図６】本発明の実施形態によるエアクリーンルームの
制御手段を示したブロック図。
制御手段を示したブロック図。
１１ 本体 １２ 噴射孔 １３ 底面 １３ａ 底面排出孔 １３ｂ 開口部 １５ 入室ドア １８ 回転ディスク １８ａ ディスク排出孔 ２０ エアクリーンルーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田 在 剛 大韓民国京畿道安養市東安区新村洞京南２ 次アパート302棟104号
Claims (13)
- 【請求項１】 空気を噴射しパーティクル等の塵埃粒子
を強制除去するエアクリーンルームにおいて、 前記エアクリーンルーム内側底面に回転可能に装着され
た複数個の回転ディスクと、 前記エアクリーンルーム内に設けた前記回転ディスク上
に作業者が搭乗したか否かを感知する感知装置と、 前記エアクリーンルームの下部に設けられ前記感知装置
の信号により前記回転ディスクを回転させる回転装置
と、 前記エアクリーンルームの対向する左右側面と上面とに
複数の開孔部を設け前記回転装置の駆動と同時に前記開
孔部から空気を噴射する噴射装置と、 前記エアクリーンルームの底部と回転ディスクとに、前
記噴射装置により離脱したパーティクルを排出する複数
個の排出孔とからなることを特徴とするエアクリーンル
ーム。 - 【請求項２】 請求項１に記載のエアクリーンルームに
おいて、 前記回転ディスクは、略円板状の形状を有し前記エアク
リーンルームの底面中央に設けた円形状の開口部に回転
可能に遊嵌し、回転時に前記開口部と接触または磨耗を
防止するため前記回転ディスクの直径を小さく設け一定
の間隔を維持し回転することを特徴とするエアクリーン
ルーム。 - 【請求項３】 請求項１に記載のエアクリーンルームに
おいて、 前記感知装置は、前記エアクリーンルーム内に光を照射
するフォトセンサと、このフォトセンサの光を前記エア
クリーンルーム内で反射させる反射鏡により構成されて
いることを特徴とするエアクリーンルーム。 - 【請求項４】 請求項１に記載のエアクリーンルームに
おいて、 前記回転装置は、モータの回転軸の一端に略円筒状の駆
動輪部材を装着し、この駆動輪部材を前記回転ディスク
の下端外周近傍と接触させ支持することにより前記モー
タの回転動力を前記回転ディスクに伝達するように設け
たことを特徴とするエアクリーンルーム。 - 【請求項５】 請求項１に記載のエアクリーンルームに
おいて、 前記噴射装置による空気噴射は、前記回転ディスクが所
定の回転を終了すると自動的に停止されることを特徴と
するエアクリーンルーム。 - 【請求項６】 請求項２に記載のエアクリーンルームに
おいて、 前記回転ディスクに設けた複数個の排出孔は、パーティ
クルの排出率を高めるため複数個の開孔部を設け開口率
を５０％以上にしたことを特徴とするエアクリーンルー
ム。 - 【請求項７】 請求項２に記載のエアクリーンルームに
おいて、 前記回転ディスクは、ステンレスの材質から形成されて
いることを特徴とする回動型エアクリーンルーム。 - 【請求項８】 請求項２に記載のエアクリーンルームに
おいて、 前記開口部は、前記回転ディスクの回転力を維持し支持
できるように内周縁に沿って一定の間隔で複数個のロー
ラを有するローラガイドを具備したことを特徴とするエ
アクリーンルーム。 - 【請求項９】 請求項４に記載のエアクリーンルームに
おいて、 前記駆動輪部材は、ウレタンの材質からなることを特徴
とするエアクリーンルーム。 - 【請求項１０】 請求項４に記載のエアクリーンルーム
において、 前記回転装置は、上部に搭乗する作業員に付着したパー
ティクルを充分に除去できるように低速に回転すること
を特徴とするエアクリーンルーム。 - 【請求項１１】 請求項４に記載のエアクリーンルーム
において、 前記回転装置は、前記回転ディスクに加わる荷重を分散
し回転力を推持する複数個のボールベアリングを前記回
転ディスクの底面中央部に設けたことを特徴とするエア
クリーンルーム。 - 【請求項１２】 請求項８に記載のエアクリーンルーム
において、 前記ローラガイドのローラは、ウレタンの材質からなる
ことを特徴とするエアクリーンルーム。 - 【請求項１３】 エアクリーンルームの内側底面に設け
た回転ディスクを回動するモータの回転数と、エアクリ
ーンルームの作動方法（自動／手動）とを入力し、この
情報を制御部に出力する設定入力手段と、 前記設定入力手段から制御部に出力された情報に基づい
て、前記モータを駆動する回転工程と、前記エアクリー
ンルーム内に空気を噴射する噴射工程とを制御部で同時
に作動させる作動手段と、 前記作動手段により回動されたモータの作動状態を検知
して所定の動作終了信号を制御部に出力する検知出力手
段と、 前記検知出力手段によって出力された動作終了情報に基
づき前記回転工程と噴射工程とを同時に制御部により停
止させる停止手段とからなることを特徴とするエアクリ
ーンルームの制御方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1995P-65738 | 1995-12-29 | ||
| KR1019950065738A KR100192962B1 (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09196426A true JPH09196426A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=19447146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8341838A Pending JPH09196426A (ja) | 1995-12-29 | 1996-12-20 | エアクリーンルームおよびその制御方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5746652A (ja) |
| JP (1) | JPH09196426A (ja) |
| KR (1) | KR100192962B1 (ja) |
| TW (1) | TW349167B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IL154597A (en) * | 2003-02-24 | 2007-02-11 | Filt Air Ltd | Airlock system and method for protecting a toxic-free area |
| US20060211360A1 (en) * | 2005-01-19 | 2006-09-21 | Airbus Deutschland Gmbh | Refreshment cell |
| CN103464420A (zh) * | 2013-08-21 | 2013-12-25 | 苏州康华净化系统工程有限公司 | 一种风淋室 |
| CA2899065C (en) | 2014-07-25 | 2017-10-24 | Associated Research - Edc Ltd. | Air shower for dust collectors |
| CN105107791B (zh) * | 2015-09-21 | 2017-12-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种风淋室及无尘车间系统 |
| CN108421777A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-08-21 | 吴江市净明净化设备有限公司 | 一种使用便利的风淋室 |
| CN114623553A (zh) * | 2020-12-14 | 2022-06-14 | Lg电子株式会社 | 出入口用卫生管理装置及其控制方法 |
| KR102321651B1 (ko) * | 2021-04-16 | 2021-11-04 | 이명식 | 광촉매 살균 시스템 |
| CN115283023A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-04 | 浙江吉利控股集团有限公司 | 试验舱 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE292314C (ja) * | ||||
| US4676144A (en) * | 1985-12-30 | 1987-06-30 | Smithkline Beckman Corporation | Clean room system |
| JPS62225838A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-03 | Nippon Air Curtain Kk | エア−シヤワ−装置 |
| JPH02115641A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-27 | Hitachi Ltd | エアーシャワー装置 |
| US5042367A (en) * | 1990-08-31 | 1991-08-27 | Dwight Hopkins | Revolving air lock |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950065738A patent/KR100192962B1/ko not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-11-08 TW TW085113638A patent/TW349167B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-12-20 JP JP8341838A patent/JPH09196426A/ja active Pending
- 1996-12-20 US US08/771,775 patent/US5746652A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970051826A (ko) | 1997-07-29 |
| KR100192962B1 (ko) | 1999-06-15 |
| TW349167B (en) | 1999-01-01 |
| US5746652A (en) | 1998-05-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040706 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040713 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20041012 |
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| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20041015 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050329 |