JPH09196998A - ドライバicの出力抵抗測定器 - Google Patents
ドライバicの出力抵抗測定器Info
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Abstract
を、高精度に、比較的高速に、比較的安価に構成できる
ドライバICの出力抵抗測定器を提供する。 【解決手段】 この発明は、DUTの多数の出力ピンか
らの出力電圧を多数の入力端子を有する高速スキャナで
受けて1台の電圧測定器で順次電圧測定して出力抵抗を
求めるために、上記出力ピンと入力端子間にそれぞれ設
置するプログラマブルロードPLを、出力電圧より一定
電圧高い電圧を設定できるスレッショルド電圧源VT1
群と一定電圧低い電圧を設定できるスレッショルド電圧
源VT2群との2系統の電圧を設定して、一定負荷電流
をVT1群では吐き出し、VT2群では吸い込むプログ
ラマブルロードPL群を有する構成とする。
Description
(液晶)ドライバICやバブルジェットプリンタドライ
バICのような多数出力ピンを有するドライバICの出
力抵抗を測定する出力抵抗測定器に関する。
0の一例を示す。ピン数は種類により異なるが、160
ピンから300ピンの物が多い。電源端子VDDやVEEに
電圧電源を接続し、グランド端子GNDを接地してIC
を駆動させる。複数の入力端子INi(i=1〜n)に
は、外部からの制御信号により出力ピン名とその出力電
圧が指令される。例えば、出力電圧値は8ビットの信号
で256階調で指令される。多数の出力ピンOUTi
(i=1〜m)からはその指令された出力ピンから指定
された一定電圧値を外部の負荷に供給する。
「DUT」という)10の多数の出力ピンOUTiは、
制御信号により指令された電圧電流を正しく負荷に供給
しなければならない。そして出力抵抗もスペック通りで
ある必要がある。そこで従来からDUT10の製造過程
や製造後あるいは受入検査で、個々のDUT10の出力
電圧、出力電流や出力抵抗の測定をして、そのDUT1
0の良否を検査している。
ユニット15は定電流源を内蔵する電圧測定器である。
そして任意値の定電流をスイッチを通して吐き出すこと
も吸い込むこともできるので、DUT10の出力電圧V
O も出力電流IL も、また出力抵抗RO も測定すること
ができる。出力抵抗RO は出力電圧値VO と負荷電圧値
VM の差電圧を負荷電流値ILで除した値である。数式
で示すと、RO =(VO −VM )/IL となる。負荷電
圧値VM は電圧測定器で測定する。
ンOUTiの出力電圧を電流印加電圧測定モードで、1
つのDC測定ユニット15でもって、1ピンづつ切替な
がら試験するという方法である。DC測定ユニット15
が1つであるので、安価であるが、測定時間が掛かり過
ぎて遅すぎる。
ch(チャンネル)分設けてNchを電流印加電圧測定
モードでもって同時に測定し、Nピン毎に切り替えて測
定するものである。測定時間は図4(A)に比べて1/
Nとなるが、NchのDC測定ユニット15j(j=1
〜N)を必要とするので高価となる。
UTi(i=1〜m)分のDC測定ユニット15iを有
して電流印加電圧測定モードで全出力ピンOUTiを一
度で試験するものである。よって、測定時間は非常に高
速になるが、DC測定ユニット15を全出力ピンOUT
i分設けるので価格も非常に高価となる。
UTi(i=1〜m)に対してそれぞれ接続するプログ
ラマブルロードPL20iを用意し、DUT10のそれ
ぞれの出力ピンは高速スキャナ16のそれぞれの入力端
子に接続される。DUT10への印加電流はPL20i
が行い、電圧測定は高速スキャナ16を通して1台の電
圧測定器17で行う。電圧測定器17側には電流が流れ
ないために高速スキャナを使用できるのである。この方
式は比較的高速に試験でき、しかも比較的安価である。
しているように、ダイオードブリッジと、ILLとIL
Hの2つの定電流源と、VTのスレッショルド電圧源で
構成されている。ダイオードブリッジであるからDUT
10に接続されている一端aの電圧はVTに接続されて
いる他端bの電圧と等しい。従ってスレショルド電圧源
VTの電圧を可変することにより、DUT10側の一端
aの電圧を可変することができる。
イ)レベルVOHと、L(ロウ)レベルVOLとし、VTの
電圧値をその中間値、つまりVT=(VOH+VOL)/
2、に設定すると、DUT10の出力レベルがHレベル
のときには出力ピンから負荷電流ILHがPL20に流
れ出る。逆に出力レベレがLレベルのときにはPL20
側からDUT10側に負荷電流ILLが流れ込む。負荷
電流ILH及びILLはスペックシート中の値を選択し
一定負荷電流ILHあるいはILLを流している。
出力抵抗の測定方式は、上述のように、図4(A)から
図4(D)のものであった。どの測定方式でも出力抵抗
の測定はでき、その値はDUTの種類によって異なるが
約300Ωから数キロΩであって、一般的に数百Ω程度
である。ところが、それぞれの測定方式での測定値には
再現性があるが、方式を変更するとその測定値が異なる
ことが多かった。
Tiから一定電圧を出力するようにしてスイッチで切り
替えて測定したり、同時測定を行っている。出力抵抗値
の測定方式による測定値の差は±100Ω程度もあっ
た。これでは出力抵抗値に測定方式を付記する必要があ
り、不便であり、しかも不正確である。
るが、各出力ピンの電源と出力抵抗が独立したものでは
なく、出力部門のいくつかのブロック内では相互に関連
を持ち、干渉していることが判明した。ここで干渉と
は、インダクタンスやキャパシタンスによる電磁誘導等
の干渉のみではなく、分圧抵抗回路等の繋がり方による
干渉が大きいと判断される。そして、上述の測定方式で
は図4(A)の方式が出力ピン間で干渉が無く、正しく
測定できることが判った。従って、図4(B)から図4
(D)までの測定方式では測定値に補正値を付加する必
要があった。
(A)の測定結果と同じ値を得るために図4(D)の方
式を改良し、出力ピン間の干渉を無くし、高精度に、高
速にしかも比較的安価に構成できるドライバICの出力
抵抗測定器を提供するものである。
に、本発明は従来測定方式の図4(D)の回路方式を検
討し、実験を重ね、高速スキャナを利用して電圧測定器
は1台で、高精度に、比較的高速で測定できるようにし
たものである。
を打ち消すようにプログラマブルロードPLのスレッシ
ョルド電圧源を2系統設けるようにし、1系統のスレッ
ショルド電圧VT1はDUTの出力電圧よりも一定電圧
高くし、他の系統のVT2は逆に一定電圧低くし、その
VT1とVT2の電圧系のPLをDUTの出力ピンの配
列に交互に、あるいは2つ毎に、あるいは3つ毎に配列
設置して、PLからDUT内部に電流を流し込みあるい
は引き込んでDUT内部の電流の干渉を打ち消すように
した。
いは製造会社により設計が異なっている。DUT内部の
電圧源と出力ピンとが1対1に対応して出力抵抗が一定
の場合もあるが、出力ピンをいくつかのブロックに分割
し1ブロックで1つの電圧源の電圧を分圧して複数の出
力ピンに対応しているのものが多い。回路方式はさまざ
まである。従って、どのような回路方式であっても再現
性のある測定値を求めるには、DUT内部の電流バラン
スをとるのがよい。
から一定の電流を引き出し、また同量の電流を与えてや
るとDUT内部の電流分布に干渉が生ぜず、正確な出力
抵抗測定ができることがわかった。これも1ブロック毎
に同量の電流の出し入れがあるのが望ましい。そこでD
UTの出力ピンの配列順に、交互に出し入れを行うか、
2ピン毎に行うか、あるいは複数ピン毎に行ってもよい
が、1ブロックの出力ピン数が不明確であるので、1ピ
ン毎に交互に行うのが望ましい。
ンOUTi(i=1〜m)に対応する入力端子を有する
高速スキャナと、その高速スキャナの各入力端子の電圧
を順次測定する電圧測定器と、上記DUTの各出力ピン
OUTiと上記高速スキャナの各入力端子にそれぞれ設
置された2系統のプログラムロードPL群で構成されて
いる。
は、スレッショルド電圧源の電圧がDUTの出力電圧よ
りも一定電圧高いVT1群と一定電圧低いVT2群の2
系統の電圧を設定できるプログラムロードPL群であ
る。そして、一定電圧高いVT1群からは一定負荷電流
をPLからDUTに流し込む。また一定電圧低いVT2
群はDUTから一定負荷電流を吸い込む。DUTが流し
出す負荷電流と吸い込む負荷電流が等しいとDUT内部
では電流のバランスがとれて、干渉は無くなる。従来の
PLのスレッショルド電圧源は、DUTのHレベルとL
レベルの中間にしかスレショルド電圧を設定できなかっ
たので全ピンからの電流の垂れ流しか吸い込みしかでき
ずに干渉を生じていたのである。
ショルド電圧源の配列をVT1とVT2とを交互に配列
した構成に限定したPL群で成っている。DUTの設計
がどうなっているのか、いくつのブロックに分けられて
いるのか一般にはわからない。そこでVT1とVT2と
を1つ置きに交互に配列する構成がDUT内部の電流バ
ランスをとるのにもっとも良い構成である。
以上の異なる出力抵抗を有するDUTの出力抵抗の測定
器である。電位差が同じであって抵抗値が異なると、そ
の抵抗に流れる電流値は抵抗値に反比例して変化するに
は公知である。従って出力抵抗値が異なる出力段を有す
るDUTの測定ではPLの定電流源も2系統以上の定電
流源を有する必要がある。以下実施例について説明す
る。
には他の実施例の構成図を示す。図4、図5と対応する
部分には同一符号を付す。図1について説明する。DU
T10の出力段は電圧源11i(i=1〜m)から出力
抵抗12iを通して出力ピンに接続されている。各出力
ピンはそれぞれ高速スキャナ16の入力端子と接続さ
れ、高速スキャナ16では各入力端子の電圧をスキャン
してその電圧値を電圧測定器17で順次読み込んでい
る。
UT10の出力ピンと高速スキャナ16の入力端子の間
にそれぞれ設置されて接続されている。プログラマブル
ロード20の構成は前述の図5の通りである。そしてス
レッショルド電圧源VTはVT1群とVT2群とがあ
り、図1においてはVT1とVT2とがDUT10の出
力ピンの配列に対して交互に設置されている。従って、
VT1のPL20からはDUT10側に一定負荷電流が
流れ出し、VT2のPL20には一定負荷電流が流れ込
む。
流と吐き出す一定負荷電流が同量であると、DUT10
内部において電流バランスがとれて、干渉が無くなり、
出力抵抗値は高精度に、再現性よく、高速に測定するこ
とができる。
る出力抵抗を有するDUT10の測定の構成図を示す。
図1と異なる点は、プログラマブルロードPL20の定
電流源を2系統有することである。つまり、ILL1と
ILH1の組の定電流源を有するPL20とILL2と
ILH2との組の定電流源を有するPL20とが存在
し、DUT10の出力抵抗が異なっても適切な一定負荷
電流を供給することができる構成となっている。
は、LCDドライバICやバブルジェットプリンタドラ
イバICのように多数ピンを有するドライバICの出力
抵抗を測定する測定器において、高精度に、再現性がよ
く、比較的高速に、比較的安価に構成することができ
る。
も益々出力ピン数が多くなっている現状において、その
利用価値は高く、技術的効果は大である。
の外観図である。
0の出力抵抗を測定するための構成図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 多数出力ピンを有するドライバICであ
るDUT(10)の直流特性を測定する出力抵抗測定器
において、 DUT(10)の各出力ピンOUTiにそれぞれ接続す
る入力端子を有する高速スキャナ(16)と、 上記高速スキャナ(16)の各入力端子の電圧を順次測
定する電圧測定器(17)と、 上記DUT(10)の各出力ピンOUTiと上記高速ス
キャナ(16)の各入力端子との間にそれぞれ設置さ
れ、スレッショルド電圧がDUT(10)の出力電圧よ
りも一定電圧高い電圧を設定できるスレッショルド電圧
源VT1群と一定電圧低い電圧を設定できるスレッショ
ルド電圧源VT2群との2系統の電圧を設定できるプロ
グラムロードPL(20i)群と、 を具備することを特徴とするドライバICの出力抵抗測
定器。 - 【請求項2】 請求項1記載のプログラムロードPL
(20i)群は、スレッショルド電圧源VT1とVT2
とがDUT10の各出力ピンOUTiの配列順に交互に
配列されている2系統のプログラムロードPL(20
i)群であることを特徴とするドライバICの出力抵抗
測定器。 - 【請求項3】 請求項1記載のプログラムロードPL
(20i)群は、定電流源ILL及びILHが出力電流
の異なる2系統(ILL1、ILH1とILL2、IL
H2)以上の定電流源を有しているプログラムロードP
L(20i)群であることを特徴とするドライバICの
出力抵抗測定器。
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003057284A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Advantest Corp | 半導体試験装置及びその試験方法 |
| JP2005265756A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
| KR100815537B1 (ko) * | 2005-10-11 | 2008-03-20 | 요코가와 덴키 가부시키가이샤 | Ic 테스터 |
| JP2008107173A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタ |
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