JPH09197121A - カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高感度であり、酸素の影響によっても感度が
変化せず、温度の影響によって感度が変化せず、且つ水
系現像液で現像できる感光性着色樹脂組成物を用いてカ
ラーフィルタを製造できるようにする。 【解決手段】 透明基板の上に、感光性樹脂組成物から
形成された着色パターンが配設されているカラーフィル
タにおいて、該感光性樹脂組成物を、酸に接触すること
によりアルカリ可溶性となる酸分解性樹脂と、光により
酸を発生する光酸発生剤と、顔料とから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示用パネル
等に適したカラーフィルタ及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、液晶カラーディスプレイ装置
の分野では、透明基板上にＲ（赤）フィルタ、Ｇ（緑）
フィルタ及びＢ（青）フィルタがモザイク状、ストライ
プ状、あるいはトライアングル状に配列されてなるカラ
ーフィルタが広く使用されている。

【０００３】このようなカラーフィルタは、以下に説明
するような染色法、印刷法、顔料分散法、あるいは電着
法により製造されている。

【０００４】（１）染色法 染色法の場合、ゼラチン、フィッシュグルー、カゼイ
ン、ポリアクリルアミドなどの可溶性水溶性高分子に、
重クロム酸塩や水溶性アジド化合物などを添加して感光
性を付与し、次にフォトマスクを介してパターン露光
し、水で現像を行ってレリーフパターンを作製した後、
レリーフパターンを染色して所望の色のフィルタを形成
する。従って、Ｒ、Ｇ及びＢの３色のカラーフィルタを
作製するためには、これらの一連の工程を３回繰り返す
こととなる。また、色の異なるフィルタを作製する工程
の間に、タンニン酸による防染処理を行ったり、あるい
は、ウレタン系樹脂やアクリル系樹脂の中間層を設ける
処理を行って混色を防止している。しかし、染色法の場
合、工程が複雑で、染料の管理が難しく、染色媒体（水
溶性高分子）の耐熱性も不十分であり、しかも染料の耐
熱性及び耐候性が乏しいなどの欠点がある。

【０００５】（２）印刷法 印刷法の場合、顔料を含有するインクを、グラビア印刷
法やスクリーン印刷法などにより透明基板上に印刷し、
乾燥して所望の色のフィルタを形成する。従って、Ｒ、
Ｇ及びＢの３色のカラーフィルタを作製するためには、
これらの一連の工程を３回繰り返すこととなる。しか
し、印刷法の場合、得られるカラーフィルタの分光特性
と解像性とにやや難があり、また、それらの表面平坦性
にも問題がある。

【０００６】（３）電着法 電着法の場合、電着性樹脂溶液中に顔料を分散させ、そ
の分散液中で透明基板の表面に、顔料を取り込んだ電着
性樹脂を電着させ乾燥することにより所望の色のフィル
タを形成する。従って、Ｒ、Ｇ及びＢの３色のカラーフ
ィルタを作製するためには、それぞれのフィルタに応じ
た電着浴を用意し、電着し乾燥する工程を３回繰り返す
こととなる。しかし、電着法の場合、製造コストが高い
という問題がある。

【０００７】（４）顔料分散法 顔料分散法の場合、感光性樹脂に顔料を分散してなる感
光性樹脂組成物を透明基板上に塗布し、パターン露光し
て現像することにより所望の色のフィルタを形成する。
従って、Ｒ、Ｇ及びＢの３色のカラーフィルタを作製す
るためには、これらの一連の工程を３回繰り返すことと
なる。このような顔料分散法は、染色法に比較して単純
なプロセスでカラーフィルタを作製することができ、し
かも上述の各製法に比べてカラーフィルタの微細化が容
易であるという利点を有するために、カラーフィルタの
製造方法の主流となっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、顔料分
散法の場合、一般に使用する感光性樹脂の耐熱性が低
く、感光性樹脂自体が着色して感度が低下したり、露光
時に酸素の影響を受けて感度が低下したりするという問
題があった。

【０００９】また、顔料分散法において主として使用さ
れている感光性樹脂は、光、Ｘ線又は電子線による照射
により高分子形成反応が起きて有機系現像液に対する溶
解性が減少し、現像処理により未露光部が除去されるい
わゆるネガ型感光性樹脂である。ここで、有機系現像液
の使用は、作業者の健康面での問題、設備面での問題や
廃液の処理等に問題点を有しており、現像コストを低減
させるためにも水系現像液で現像できるようにすること
が求められていた。

【００１０】また、これらの感光性樹脂の露光部の高分
子形成反応を完遂させるため、光、Ｘ線、電子線等の照
射後に熱硬化反応させるが、この熱硬化反応を効率的に
行うために感光性樹脂組成物には熱硬化型樹脂あるいは
熱硬化型樹脂のモノマーが添加されている。しかし、こ
のような熱硬化型樹脂モノマーが添加された感光性樹脂
組成物は、調製後に徐々に硬化反応を起こしてしまうた
めに長期保存すると増粘し、そのためカラーフィルタの
作製時に悪影響を及ぼすことが懸念される。このため、
カラーフィルタの作製を不活性ガス雰囲気下で行った
り、感光性樹脂組成物を低温保存したりする必要があ
り、操作や取扱が繁雑になるという問題があった。

【００１１】本発明は、以上の従来の技術の課題を解決
しようとするものであり、高感度であり、酸素の影響に
よっても感度が変化せず、温度の影響によって感度が変
化せず、且つ水系現像液で現像できる感光性着色樹脂組
成物を用いてカラーフィルタを製造できるようにするこ
とを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明者は、酸に接触す
ることによりアルカリ可溶性となる酸分解性樹脂と、光
により酸を発生する光酸発生剤と、顔料とを含有する感
光性樹脂組成物から形成した感光性着色樹脂層に光を露
光すると、露光部の光酸発生剤が酸を発生し、その酸に
より酸分解性樹脂の露光部がアルカリ可溶性となり、そ
の後アルカリ現像すると露光部の酸分解性樹脂を溶解除
去することができ、結果的にポジ型の着色パターンが形
成できること、そしてそのようにして形成されたポジ型
の着色パターンがカラーフィルタに適した特性を有する
ことを見出し、本発明を完成させるに至った。

【００１３】即ち、本発明は、透明基板の上に、感光性
樹脂組成物から形成された着色パターンが配設されてい
るカラーフィルタにおいて、該感光性樹脂組成物が、酸
に接触することによりアルカリ可溶性となる酸分解性樹
脂と、光により酸を発生する光酸発生剤と、顔料とを含
有することを特徴とするカラーフィルタを提供する。

【００１４】また、本発明は、透明基板の上に、感光性
樹脂組成物から形成された着色パターンが配設されてい
るカラーフィルタの製造方法において： （ａ）酸に接触することによりアルカリ可溶性となる酸
分解性樹脂と、光により酸を発生する光酸発生剤と、顔
料とからなる感光性着色樹脂組成物を、透明基板上に塗
布して乾燥することにより感光性着色樹脂層を形成する
工程； （ｂ１）感光性着色樹脂層をパターン露光する工程；
及び （ｃ）感光性着色樹脂層をアルカリ現像液で現像するこ
とにより、感光性着色樹脂層の露光部を除去する工程を
含んでなることを特徴とするカラーフィルタの製造方法
を提供する。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の内容を詳細に説明
する。

【００１６】本発明のカラーフィルタにおいて、着色パ
ターンは、酸に接触することによりアルカリ可溶性とな
る酸分解性樹脂と、光により酸を発生する光酸発生剤
と、顔料とを含有する感光性樹脂組成物から形成され
る。

【００１７】本発明において、酸分解性樹脂とは、酸に
接触することによりアルカリ可溶性基（例えば、カルボ
キシル基、フェノール性水酸基等）に変換可能な基を有
する樹脂であり、例えば主鎖あるいは側鎖セグメントに
ｔ−ブトキシカルボニル基（−ＣＯＯｔ−Ｂｕ）、ｔ−
ブトキシカルボニルフェニルオキシカルボニル基（−Ｃ
ＯＯｐｈＣＯＯｔ−Ｂｕ）、ｐ−（ｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシ）フェニル基（−ｐｈＯＣＯＯｔ−Ｂｕ）な
どが結合した樹脂を好ましく使用することができる。よ
り好ましい具体的としては、ポリｔ−ブチル（メタ）ア
クリレート、ポリｔ−ブトキシカルボニルフェニル（メ
タ）アクリレート、ポリｐ−（ｔ−ブトキシカルボニル
オキシ）スチレン等を挙げることができる。これらのポ
リマーは他のモノマーユニットを含んでいてもよい。

【００１８】酸分解性樹脂の感光性樹脂組成物の固形分
中の含有量は、少なすぎると酸分解性が低下し、多すぎ
るとコントラストが強くなりすぎるので好ましくは５〜
９０重量％、より好ましくは１０〜６０重量％である。

【００１９】本発明において、光酸発生剤とは光の照射
により酸を発生する化合物であり、光酸発生剤として公
知化合物の一種以上を使用することができる。例えば、
オニウムのハロゲン^-イオン、ＢＦ₄ ^-イオン、ＰＦ₆ ^-イ
オン、ＡｓＦ₆ ^-イオン、ＳｂＦ₆ ^-イオン、ＣＦ₃ＳＯ₃ ^-
イオン等との塩、有機ハロゲン化合物、ナフトキノンジ
アジドスルホン酸化合物、光スルホン酸発生化合物など
を使用することができる。

【００２０】ここで、オニウム塩の具体例としては、Ｕ
ＳＰ４，０６９，０５５号明細書及び同４，０６９，０
５６号明細書に記載のものを挙げることができる。ジア
ゾニウム塩の具体例としては、Ｐｈｏｔｏｇｒ．Ｓｃ
ｉ．Ｅｎｇ．，１８，３８７（１９７４）、Ｊ．Ｍａｃ
ｒｏｍｏｌ．Ｃｈｅｍ．Ｓｃｉ．，Ａ２１，１６９５
（１９８４）及びＰｏｌｙｍｅｒ，２１，４２３（１９
８０）に記載のものを挙げることができる。ヨードニウ
ム塩の具体例としては、Ｍａｃｌｏｍｏｌｅｃｕｌｅ
ｓ，１０，１３０７（１９７７）、Ｃｈｅｍ．＆ Ｅｎ
ｇ．ＮＥＷＳ．，Ｎｏｖ．２８，３１（１９８８）及び
ヨーロッパ特許０１０４１４３号明細書に記載のものを
挙げることができる。スルホニウム塩の具体例として
は、Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｊ．，１７，７３（１９８５）、
Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｂｕｌｌ．，１４，２７９（１９８
５）、Ｊ．Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉ．，１７，９７７
（１９７９）、Ｊ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．，４３，３０５
５（１９７８）、Ｊ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．，５０，４３
６０（１９８５）、特開昭５７−１８７２３号公報、特
開昭５６−８４２８号公報、ＵＳＰ４７６００１３号明
細書、ＵＳＰ４１３９６５５号明細書、ＵＳＰ４７３４
４４４号明細書及びヨーロッパ特許０２９７４３３号明
細書に記載のものを挙げることができる。ホスホニウム
塩の具体例としては、ＵＳＰ４０６９０５５号明細書、
ＵＳＰ４０６９０５６号明細書及びＭａｃｌｏｍｏｌｅ
ｃｕｌｅｓ，１７，２４６９（１９８４）に記載のもの
を挙げることができる。セレニウム塩の具体例として
は、Ｍａｃｌｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，１０，１３０７
（１９７７）に記載のものを挙げることができる。アル
ソニウム塩の具体例としては、Ｐｒｏｃ．Ｃｏｎｆ．Ｒ
ａｄ．Ｃｕｒｉｎｇ ＡＳＩＡ Ｐ４７８Ｔｏｋｙｏ．
Ｏｃｔ．（１９８８）に記載のものを挙げることができ
る。

【００２１】また、光の照射により酸を発生する有機ハ
ロゲン化合物としては、特公昭４６−４６０５号公報に
記載のフェニルトリメチルスルホン化合物、特公昭４８
−３６２８１号公報、特開昭５３−１３３４２８号公
報、特開昭６０−１０５６６７号公報あるいは特開昭６
０−２３９７３６号公報に記載のハロメチル−Ｓ−トリ
アジン化合物、Ａｎｇｅｗ．Ｐｈｙｓｉｋ．Ｃｈｅ
ｍ．，２４．３８１（１９１８）、Ｊ．Ｐｈｙｓ．Ｃｈ
ｅｍ．，６６，２４４９（１９６２）、特開昭５４−７
４７２８号公報、特開昭５５−７７７４２号公報、特開
昭５９−１４８７８４号公報、特開昭６０−３６２６号
公報、特開昭６０−１３８５３９号公報あるいは特開昭
６０−２３９４７３号公報に記載のハロメチオキサジア
ゾール化合物などを挙げることができる。

【００２２】光スルホン酸発生化合物としては、Ｍａｃ
ｌｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，２１，２００１（１９８８）
あるいは特開昭６４−１８１４３号公報に記載のニトロ
ベンジルアルコールとアリールスルホン酸とのエステル
化合物、ヨーロッパ特許００４４１５５号明細書あるい
は同０１９９６７２号明細書に記載のオキシムとアリー
ルスルホン酸とのエステル化合物、ＵＳＰ４２５８１２
１号明細書あるいはＵＳＰ４６１８５６４号明細書に記
載のＮ−ヒドロキシアミドまたはイミドとスルホン酸と
のエステル化合物、ヨーロッパ特許８４５１５号明細書
あるいは同１９９６７２号明細書に記載のベンゾインと
スルホン酸とのエステル化合物などを挙げることができ
る。

【００２３】これら光酸発生剤のうち、有機ハロゲン化
合物、特にハロメチル−Ｓ−トリアジン化合物、ハロメ
チルオキサジアゾール化合物及び光スルホン酸発生化合
物が、酸に接触することによりアルカリ可溶性基（例え
ば、カルボキシル基、フェノール性水酸基等）に変換可
能な基、例えばｔ−ブトキシカルボニル基又はｔ−ブト
キシカルボニルオキシフェニル基を効率よく分解するこ
とができるので好ましい。

【００２４】これら酸発生剤は、単独であるいは混合し
て使用してもよく、その感光性樹脂組成物中の含有量
は、酸分解性樹脂に対して少なすぎると発生する酸の量
が少なく、十分に酸分解性樹脂をアルカリ可溶性とする
ことができず、多すぎると現像性等に好ましくない現象
が生ずることが懸念されるので、好ましくは０．１〜５
０重量％、より好ましくは１．０〜２０重量％である。

【００２５】なお、光酸発生効率を高め、感光性樹脂組
成物の感度も高めるために、光酸発生剤と増感剤とを組
み合わせて使用することができる。これらは、使用する
顔料等に応じて適宜選択することができる。

【００２６】このような増感剤としては、公知の増感剤
を使用することができ、例えば、アントラセン、フェナ
ンスレン、ペリレン、ピレン、クリセン、１，２−ベン
ゾアントラセン、コロネン、１，６−ジフェニル−１，
３，５−ヘキサトリエン、１，１，４，４−テトラフェ
ニル−１，３−ブタジエン、２，３，４，５−テトラフ
ェニルフラン、２，５−ジフェニルチオフェン、チオキ
サントン、２−クロロチオキサントン、フェノチアジ
ン、１，３−ジフェニルビラゾリン、１，３−ジフェニ
ルイソベンゾフラン、キサントン、ベンゾフェノン、４
−ヒドロキシベンゾフェノン、アンスロン、ニンヒドリ
ン、９−フルオレノン、ニトロピレン、２，４，７−ト
リニトロフルオレノン、インダノン、フェナンスラキノ
ン、７−メトキシ−４−メチルクマリン、３−ケト−ビ
ス（７−ジエチルアミノクマリン）、フルオロセン、エ
オシン、ローダミンＳ及びトリフェニルピリリウムパー
クロレート等を挙げることができる。

【００２７】これらの増感剤と光酸発生剤との割合は、
モル比で好ましくは０．０１／１〜１０／１であり、よ
り好ましくは０．１／１〜５／１である。

【００２８】本発明において、顔料としては、水あるい
は有機溶剤に難溶性である着色粉末であって、耐熱性、
耐光性及び耐溶剤性等に鑑み、所望のフィルタの色（例
えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ、Ｙ（イエロー）等に応じて公知の顔
料から適宜選択して使用することができる。

【００２９】このような顔料としては、例えばアゾ系、
アントラキノン系、イソインドリノン系、インジゴ系、
インダスロン系、キサンテン系、キナクリドン系、キノ
フタロン系、ジオキサジン系、チオインジゴ系、ピラン
スロン系、フタロシアン系、ベリノン系、ベンゾインダ
ゾロン系の有機顔料や、ミロイブルー、群青、コバルト
ブルー、エメラルドグリーン、カーボン、チタンカーボ
ン、酸化鉄などの無機顔料を挙げることができる。これ
らの顔料は２種類以上を同時に使用してもよい。

【００３０】これらの顔料の粒径は、カラーフィルタの
光透過性や顔料の均一分散性等の観点から好ましくは１
μｍ以下である。

【００３１】なお、顔料の感光性樹脂組成物中における
酸分解性樹脂と光酸発生剤との重量の合計に対する割合
は、小さすぎると適正な色濃度を得るためにはフィルタ
厚を厚くする必要が生じ、高過ぎると顔料の分散安定性
や膜形成能が低下するので、好ましくは９５／５〜１０
／９０、より好ましくは９０／１０〜４０／６０であ
る。

【００３２】本発明において、感光性樹脂組成物には、
カラーフィルタを作製するための便宜から、酸分解性樹
脂と光酸発生剤とを溶解することのできる溶媒を含有さ
せることが好ましい。このような溶媒としては、ジオキ
サン、ジエトキシエタン、ジエチレングリコールジメチ
ルエーテル、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エ
チレングリコールモノイソプロピルエーテル、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコー
ルモノエチルエーテル等のエーテル類、アセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペン
タノン、シクロヘキサノンなどのケトン類、酢酸エチ
ル、酢酸ブチル、メチルセロソルブアセテート、エチル
セロソルブアセテート、酢酸プロピレングリコールモノ
メチルエーテル、酢酸プロピレングリコールモノエチル
エーテル、ジメチルオキサレート、乳酸メチル、乳酸メ
チル等のエステル類、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド類、Ｎ−メチ
ルピロリドン等のピロリドン類、γ−ブチロラクトン等
のラクトン類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド
類等を挙げることができる。これらの溶媒はそれぞれ単
独で用いてもよく、２種類以上組み合わせて用いてもよ
い。

【００３３】なお、本発明において感光性樹脂組成物の
溶媒の含有量は、全固形分が好ましくは２〜７０重量
％、より好ましくは５〜５０重量％となる量とすること
が好ましい。

【００３４】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて、他の添加物、例えば粘度調整剤、分散安定化剤、
塗布性向上剤、塗膜の密着性向上剤、現像特性向上剤等
を含有させることができる。

【００３５】感光性樹脂組成物の支持体となる透明基板
としては、従来のカラーフィルタと同様の透明基板を使
用することができ、例えばガラス板、プラスチック板、
プラスチックフィルム等を挙げることができる。

【００３６】なお、本発明のカラーフィルタの着色パタ
ーンとしては、好ましくは透明基板上にＲ（赤）フィル
タ、Ｇ（緑）フィルタ及びＢ（青）フィルタがモザイク
状、ストライプ状、あるいはトライアングル状に配列さ
れたものを挙げることができる。

【００３７】以上説明したカラーフィルタは、以下の工
程（ａ）、（ｂ１）及び（ｃ）に従って製造することが
できる。

【００３８】工程（ａ） まず、酸に接触することによりアルカリ可溶性となる酸
分解性樹脂と、光により酸を発生する光酸発生剤と、顔
料とからなる感光性樹脂組成物を、透明基板上に塗布し
て乾燥することにより感光性着色樹脂層を形成する。

【００３９】ここで、感光性樹脂組成物の塗布方法とし
ては、公知の方法、例えばスピニング塗布、ワイヤーバ
ー塗布、ディップ塗布、エアーナイフ塗布、ロール塗
布、ブレード塗布、カーテン塗布、スクリーン印刷塗布
等を挙げることができる。また、乾燥条件としては、通
常５０〜１５０℃の炉中で１分〜３０分程度乾燥すれば
よい。

【００４０】工程（ｂ１） 次に、得られた感光性着色樹脂層を、可視光線、紫外
線、Ｘ線及び電子線などによりパターン露光する。

【００４１】工程（ｃ） 次に、感光性着色樹脂層をアルカリ現像液で現像する。
これにより感光性着色樹脂層の露光部を溶解除去するこ
とができる。その結果、透明基板上に所定のポジ型の着
色パターンからなるカラーフィルタが得られる。

【００４２】また、アルカリ現像液としては、アルカリ
性水溶液、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、メタ珪酸ナトリウ
ム、メタ珪酸カリウム、第二リン酸ナトリウム、第三リ
ン酸ナトリウム、アンモニア等の無機アルカリ、エチル
アミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジｎ−
プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルア
ミン等のアルキルアミン類、エタノールアミン、トリエ
タノールアミン等のアルコールアミン類、テトラメチル
アンモニウムハイドロオキサイド、テトラエチルアンモ
ニウムハイドロオキサイド、トリメチル（２−ヒドロキ
シエチル）アンモニウムハイドロオキサイド等の第４級
アンモニウム塩、あるいはピロールやピベリジン等の環
状アミン類などの溶液を挙げることができる。また、現
像液中に必要に応じて他の添加剤、例えば、界面活性
剤、湿潤剤、安定剤、少量の有機溶剤等の添加剤を添加
することができる。

【００４３】本発明のカラーフィルタの製造方法におい
て、上述の工程（ｂ１）と工程（ｃ）との間に、工程
（ｂ２）として、工程（ｂ１）においてパターン露光さ
れた感光性着色樹脂層を加熱することが好ましい。これ
により、感光性着色樹脂層の露光部のアルカリ可溶化を
十分に推し進めることができる。この場合の加熱条件と
しては、通常５０〜２００℃、好ましくは６０〜１７０
℃とすることが好ましい。

【００４４】なお、カラーフィルタとして異なる３色
（例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ）の着色フィルタを作製する場合
には、上述の工程（ａ）〜（ｃ）の一連の工程を３回繰
り返せばよい。

【００４５】

【実施例】次に、実施例により本発明を詳細に説明す
る。

【００４６】実施例１ 表１の配合の感光性樹脂組成物を、ＳｉＯ₂膜が表面に
形成されたソーダガラス基板にスピナーで膜厚１．５μ
ｍになるように塗布し、１００℃で２０分間オーブンて
乾燥させ、感光性着色樹脂層を形成した。

【００４７】

【表１】 成分 配合量（重量部） 酸分解性樹脂（ｔ−ＢＯＣ化ＰＳＴ*1） １．０ 光酸発生剤(トリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモン) ０．１ 顔料（フタロシアニンブルー） １．０溶媒（シクロヘキサノン） ８．４

【００４８】表注 ＊１（ｔ−ＢＯＣ化ＰＳＴ）＝ポリ
（ｔ−ブトキシカルボニオルオキシ）スチレン（通常の
ｔ−ＢＯＣ化法を利用し、丸善石油化学（株）製のＰＳ
Ｔをｔ−ＢＯＣ化したもの）

【００４９】次に、形成された感光性着色樹脂層を、所
定形状のマスクを介してメタルハライドランプで空気雰
囲気下で露光した。

【００５０】次に、パターン露光された感光性着色樹脂
層を１１０℃で３０分間オーブン内で加熱し、その後、
０．５％水酸化ナトリウム水溶液で現像してＢフィルタ
を得た。このようにして得られたフィルタは均一であ
り、厚みムラが見られずまたそのエッジはシャープであ
った。

【００５１】実施例２ 実施例１で得た着色パターンが形成されたガラス基板上
に、表２の配合の感光性樹脂組成物をスピナーで膜厚が
１．４μｍとなるように塗布し、１００℃で２０分間オ
ーブンで乾燥した。

【００５２】

【表２】成分 配合量（重量部） 酸分解性樹脂（ｔ−ＢＯＣ化ＰＳＴ*1） １．０ 光酸発生剤(トリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモン) ０．１ 顔料（フタロシアニングリーン） ０．６溶媒（シクロヘキサノン） ６．５

【００５３】次に、形成された感光性着色樹脂層を、所
定形状のマスクを介してメタルハライドランプで空気雰
囲気下で露光した。

【００５４】次に、パターン露光された感光性着色樹脂
層を１１０℃で３０分間オーブン内で加熱し、その後、
０．５％水酸化ナトリウム水溶液で現像してＧフィルタ
を得た。このようにして得られたＧフィルタは均一であ
り、厚みムラが見られずまたそのエッジはシャープであ
った。

【００５５】実施例３ 実施例２で得た着色パターンが形成されたガラス基板上
に、表３の配合の感光性樹脂組成物をスピナーで膜厚が
１．４μｍとなるように塗布し、１００℃で２０分間オ
ーブンで乾燥した。

【００５６】

【表３】 成分 配合量（重量部） 酸分解性樹脂（ｔ−ＢＯＣ化ＰＳＴ*1） １．０ 光酸発生剤(トリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモン) ０．１ 顔料（クロモフタルレッド） ０．６溶媒（シクロヘキサノン） ６．５

【００５７】次に、形成された感光性着色樹脂層を、所
定形状のマスクを介してメタルハライドランプで空気雰
囲気下で露光した。

【００５８】次に、パターン露光された感光性着色樹脂
層を１１０℃で３０分間オーブン内で加熱し、その後、
０．５％水酸化ナトリウム水溶液で現像してＲフィルタ
を得た。このようにして得られたＲフィルタは均一であ
り、厚みムラが見られずまたそのエッジはシャープであ
った。

【００５９】実施例４〜６ ｔ−ＢＯＣ化ＰＳＴに代えて酸分解性樹脂としてｔーブ
チルメタクリレート（通常のエステル合成法により、東
京化成（株）製のメタクリルクロライドと東京化成
（株）製のｔ−ブタノールとを反応させ、ラジカル重合
させたもの）を使用し、且つパターン露光後の加熱温度
を１４０℃とする以外は実施例１〜３をそれぞれ繰り返
すことにより、Ｂフィルタ、Ｇフィルタ及びＲフィルタ
を備えたカラーフィルタを作製した。このようにして得
られたフィルタは均一であり、厚みムラが見られずまた
そのエッジはシャープであった。

【００６０】

【発明の効果】本発明によれば、高感度であり、しかも
露光時に酸素の影響による露光感度の低下がなく、耐熱
性に優れ、且つ水系現像液で現像できる感光性着色組成
物から、色ムラがなく、しかも耐熱性にも優れたカラー
フィルタが得られる。このため、本発明によれば、高品
質で信頼性の高い液晶カラーディスプレイ、液晶カラー
テレビ、カラーイメージセンサ等が容易に作製できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島 康裕 東京都台東区台東１丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内 (72)発明者 大木 恒郎 東京都台東区台東１丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板の上に、感光性樹脂組成物から
   形成された着色パターンが配設されているカラーフィル
   タにおいて、該感光性樹脂組成物が、酸に接触すること
   によりアルカリ可溶性となる酸分解性樹脂と、光により
   酸を発生する光酸発生剤と、顔料とを含有することを特
   徴とするカラーフィルタ。
2. 【請求項２】 酸分解性樹脂がｔ−ブトキシカルボニル
   基又はｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル基を有す
   る樹脂である請求項１記載のカラーフィルタ。
3. 【請求項３】 ｔ−ブトキシカルボニル基を有する酸分
   解性樹脂がｔ−ブチル（メタ）アクリレート又はｔ−ブ
   トキシカルボニルフェニル（メタ）アクリレートであ
   り、ｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル基を有する
   酸分解性樹脂がポリｐ−（ｔ−ブトキシカルボニルオキ
   シ）スチレンである請求項２記載のカラーフィルタ。
4. 【請求項４】 透明基板の上に、感光性樹脂組成物から
   形成された着色パターンが配設されているカラーフィル
   タの製造方法において： （ａ）酸に接触することによりアルカリ可溶性となる酸
   分解性樹脂と、光により酸を発生する光酸発生剤と、顔
   料とを含有する感光性樹脂組成物を、透明基板上に塗布
   して乾燥することにより感光性着色樹脂層を形成する工
   程； （ｂ１）感光性着色樹脂層をパターン露光する工程；及
   び （ｃ）パターン露光された感光性着色樹脂層をアルカリ
   現像液で現像することにより、感光性着色樹脂層の露光
   部を除去する工程を含んでなることを特徴とするカラー
   フィルタの製造方法。
5. 【請求項５】 工程（ｂ１）と工程（ｃ）との間に、 （ｂ２）パターン露光された感光性着色樹脂層を加熱す
   る工程を含んでなる請求項４記載のカラーフィルタの製
   造方法。
6. 【請求項６】 酸分解性樹脂がｔ−ブトキシカルボニル
   基又はｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル基を有す
   る樹脂である請求項４又は５記載のカラーフィルタの製
   造方法。
7. 【請求項７】 ｔ−ブトキシカルボニル基を有する酸分
   解性樹脂がｔ−ブチル（メタ）アクリレート又はｔ−ブ
   トキシカルボニルフェニル（メタ）アクリレートであ
   り、ｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル基を有する
   酸分解性樹脂がポリｐ−（ｔ−ブトキシカルボニルオキ
   シ）スチレンである請求項６記載のカラーフィルタの製
   造方法。