JPH09199033A

JPH09199033A - 誘電体バリア放電ランプの製造方法

Info

Publication number: JPH09199033A
Application number: JP348696A
Authority: JP
Inventors: Yoshitoku Aiura; 良徳相浦; Hiromitsu Matsuno; 博光松野; Ryushi Igarashi; 龍志五十嵐
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 1996-01-12
Filing date: 1996-01-12
Publication date: 1997-07-31
Anticipated expiration: 2016-01-12
Also published as: JP3127817B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ハロゲンガス充填用の特別な設備が不要で、
放電容器内に所要のハロゲンガスが充填された状態が容
易に得られ、ハロゲンガスの量を高い精度で制御するこ
とができる誘電体バリア放電ランプの製造方法を提供す
ること。【解決手段】放電容器10内に固体のハロゲン化合物Ｈ
を配置し、内部の空気を排出して略真空状態とし、ハロ
ゲン化合物Ｈを外部からの分解処理によって分解するこ
とにより、放電容器10内にハロゲンガスを放出させ、そ
の後、放電容器10の外部から希ガスを封入して放電容器
10を密閉する。または、放電容器10内に固体のハロゲン
化合物Ｈを配置し、内部の空気を排出して略真空状態と
し、放電容器10の外部から希ガスを封入して、放電容器
10を密閉し、その後、ハロゲン化合物Ｈを外部からの分
解処理によって分解することにより、放電容器10内にハ
ロゲンガスを放出させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体バリア放電
を利用してエキシマ光を放出させる誘電体バリア放電ラ
ンプの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３に示すように、互いに対向する誘電
体よりなる一対の壁材８１，８２の各々の外面８３，８
４に、一対の電極８５，８６を配置し、これらの電極８
５，８６の間に交流電圧を印加すると、壁材８１，８２
の間に多数の針状の放電プラズマが発生することが知ら
れている。このような放電現象を誘電体バリア放電（別
名「オゾナイザ放電」あるいは「無声放電」。電気学会
発行改定新版「放電ハンドブック」平成１年６月再販７
刷発行第２６３ページ参照）といい、この誘電体バリア
放電を適宜の放電用ガス中で発生させると、当該放電用
ガスの組成に固有のエキシマ光が放出されるため、この
ような誘電体バリア放電を利用したランプすなわち誘電
体バリア放電ランプの開発が進められている。

【０００３】かかる誘電体バリア放電ランプにおいて
は、放電容器の外部に電極を設けることができるため、
電極を構成する金属に対して腐食性を有するハロゲンガ
スを、放電用ガスとして用いることができる。

【０００４】例えば、特開平１−１４４５６０号公報に
は、少なくとも一部が誘電体により構成された放電容器
内に、クリプトン−フッ素、クリプトン−塩素、キセノ
ン−フッ素、キセノン−塩素等の希ガスおよびハロゲン
ガスの混合ガスよりなる放電用ガスが充填されてなる誘
電体バリア放電ランプが記載されている。

【０００５】図４は、放電用ガスとして希ガスおよびハ
ロゲンガスが充填された誘電体バリア放電ランプの製造
において、放電容器内に放電用ガスを充填するために使
用される装置の概略を示す説明図である。この図におい
て、９０は誘電体バリア放電ランプの放電容器、９１は
油拡散ポンプ、９２はロータリーポンプ、９３はガス処
理機、９４は希ガスタンク、９５はハロゲンガスリザー
バー、９６はガス混合室、９７はガス流路切換器、９８
は配管、９９はバルブである。

【０００６】そして、従来においては、このような装置
により、次のようにして放電用ガスが充填されて誘電体
バリア放電ランプが製造される。希ガスタンク９４およ
びハロゲンガスリザーバー９５からガス混合室９６内
に、所要の量の希ガスおよびハロゲンガスを供給すると
共に、油拡散ポンプ９１およびロータリーポンプ９２に
より、放電容器９０内のガスを排気する。次いで、ガス
流路切換器９７を流路を切り換えて、ガス混合室９６内
において混合された希ガスおよびハロゲンガスを、当該
ガス混合室９６から放電容器９０内に供給し、放電容器
９０を封止する。そして、ガス混合室９６、ハロゲンガ
スが流通される配管９８などに残留するハロゲンガスを
ガス処理機９３に回収してハロゲンガスのガス処理を行
う。

【０００７】しかしながら、上記の方法においては、次
のような問題がある。（１）充填されるハロゲンガスは金属に対して腐食性を
有するものであるため、ハロゲンガスリザーバー９５、
ガス混合室９６、ハロゲンガスが流通される配管９８な
どを例えばガラスにより構成する必要があり、また、上
述のように、ハロゲンガスを処理するための排気ガス処
理機を設ける必要があるため、ハロゲンガスを充填する
ための特別な設備が必要であり、しかも、装置全体が大
型のものとなる。

【０００８】（２）放電用ガスとして希ガスおよびハロ
ゲンガスの混合ガスを用いる場合においては、放電用ガ
ス中におけるハロゲンガスの割合によって、希ガス元素
とハロゲン元素とのエキシマによるエキシマ光の発光効
率が変化するため、ハロゲンガスの割合を高い発光効率
が得られるよう設定することが重要である。従って、放
電容器９０内に充填されるハロゲンガスの量を高い精度
で制御する必要がある。然るに、ハロゲンガスは吸着性
が高いものであり、ハロゲンガスを放電容器９０内に充
填する際には、ガス混合室９６、ハロゲンガスが流通さ
れる配管９８などの内壁に、ハロゲンガスが吸着されて
しまうため、放電容器９０内に充填されるハロゲンガス
の量を高い精度で制御することは困難である。

【０００９】（３）ハロゲンガス、特に臭素ガスは人体
に対して有害なものであるため、ハロゲンガスが漏出し
たときには、極めて危険である。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
放電容器内に放電用ガスとしてハロゲンガスが充填され
た誘電体バリア放電ランプの製造方法において、ハロゲ
ンガスを充填するための特別な設備が不要で、放電容器
内に所要のハロゲンガスが充填された状態を容易に得る
ことができ、しかも、放電容器内に存在するハロゲンガ
スの量を高い精度で制御することができる誘電体バリア
放電ランプの製造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の誘電体バリア放
電ランプの製造方法は、誘電体よりなる壁材によって放
電容器が形成され、この放電容器内に希ガスおよびハロ
ゲンガスが充填される誘電体バリア放電ランプの製造方
法において、前記放電容器内に固体のハロゲン化合物を
配置し、この放電容器の内部の空気を排出することによ
り、当該放電容器の内部を略真空状態とし、前記ハロゲ
ン化合物を外部からの分解処理によって分解することに
より、前記放電容器内にハロゲンガスを放出させ、その
後、前記放電容器の外部から所定量の希ガスを封入し
て、当該放電容器を密閉することを特徴とする。

【００１２】また、本発明の誘電体バリア放電ランプの
製造方法は、誘電体よりなる壁材によって放電容器が形
成され、この放電容器内に希ガスおよびハロゲンガスが
充填される誘電体バリア放電ランプの製造方法におい
て、前記放電容器内に固体のハロゲン化合物を配置し、
この放電容器の内部の空気を排出することにより、当該
放電容器の内部を略真空状態とし、前記放電容器の外部
から所定量の希ガスを封入して、当該放電容器を密閉
し、その後、前記ハロゲン化合物を外部からの分解処理
によって分解することにより、前記放電容器内にハロゲ
ンガスを放出させることを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の誘電体バリア放電
ランプの製造方法について詳細に説明する。図１は、本
発明により製造される誘電体バリア放電ランプの一例に
おける構成の概略を示す説明図である。この誘電体バリ
ア放電ランプにおいては、誘電体よりなる円筒状の一方
の壁材１１と、この一方の壁材１１内にその筒軸に沿っ
て配置された、当該一方の壁材１１の内径より小さい外
径を有する誘電体よりなる円筒状の他方の壁材１２とを
有する密閉型の放電容器１０が設けられている。この放
電容器１０においては、一方の壁材１１および他方の壁
材１２の各々の両端部が封止壁部１３，１４によって接
合され、一方の壁材１１と他方の壁材１２との間に円筒
状の放電空間Ｓが形成されている。

【００１４】一方の壁材１１および他方の壁材１２を構
成する誘電体としては、例えば石英ガラスを用いること
ができ、特に、波長１６０〜２００ｎｍの真空紫外線に
対して高い透過性を有する合成石英ガラスを用いること
が好ましい。この合成石英ガラスは、ＶＡＤ（Ｖａｐｏ
ｒ−ｐｈａｓｅｄＡｘｉａｌＤｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ）法や直接法等によりシリカ粉体を焼成することによ
って製造される石英ガラスであり、シリカの純度が９
９．９９重量％以上のものである。

【００１５】放電容器１０における一方の壁材１１に
は、その外周面１５に密接して、例えは金網などの導電
性材料よりなる網状の一方の電極２１が設けられ、放電
容器１０における他方の壁材１２には、その外面１６を
覆うようアルミニウムよりなる膜状の電極２２が設けら
れており、一方の電極２１および他方の電極２２は、高
周波電源２０に接続されている。

【００１６】本発明においては、放電容器内に固体のハ
ロゲン化合物を配置し、このハロゲン化合物を外部から
加えられる分解処理によって分解することにより、当該
放電空間内にハロゲンガスを放出させ、これにより、放
電容器内に所要のハロゲンガスが存在する状態とされて
誘電体バリア放電ランプが製造される。以下、具体的な
実施の形態について説明する。

【００１７】〈第１の方法〉この方法は、放電容器内を
真空状態とし、当該放電容器内において固体のハロゲン
ガスの分解処理を行う方法である。先ず、図２に示すよ
うに、放電容器１０の一方の封止壁部１３に当該放電容
器１０内に連通するよう接続された排気管３０から、当
該放電容器１０内に所要の量の固体のハロゲン化合物Ｈ
を配置する。次いで、適宜の真空ポンプによって排気管
３０から放電容器１０内の空気を排出させることによ
り、当該放電容器１０内を真空状態とする。そして、例
えば、排気管３０に取り付けられたバルブを閉じること
により、放電容器１０内を密閉状態とし、この状態で、
ハロゲン化合物Ｈの分解処理を行うことにより、放電容
器１０の放電空間Ｓにハロゲンガスを放出させる。その
後、排気管３０から放電容器１０内に希ガスを充填し、
排気管３０の基端部において封止し、排気管３０を切断
する。

【００１８】以上において、ハロゲン化合物Ｈとして
は、固体のハロゲン化物であって、外部からの分解処理
によって分解してハロゲンガスを放出するものであれば
よいが、金属ハロゲン化合物を用いることが好ましく、
特に、ランタン、セリウム、プラセオジウム、ネオジ
ム、プロメチウム、サマリウム、ユウロピウム、ガドリ
ニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エ
ルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテチウム（以
上、ランタノイド族元素）、イットリウム、スズ、鉛、
銀およびバリウムの中から選ばれた一種以上の金属のハ
ロゲン化物を用いることが好ましい。

【００１９】また、ハロゲン化合物Ｈの分解処理は、加
熱処理、光や放射線による照射処理若しくは放電処理ま
たはこれらの組み合わせにより行うことができる。加熱
処理は、ヒーター、バーナー、電気炉などを用いて行う
ことができ、また、高周波により行うこともできる。光
や放射線による照射処理は、低圧水銀ランプ、重水素ラ
ンプ、レーザーなどを用いて行うことができる。照射処
理における条件としては、例えば紫外線を用いるときに
は、照射エネルギー量が１〜１００ｍＷ／ｃｍ²であ
る。放電処理は、テスラコイルによるテスラ放電、高周
波放電により行うことができる。

【００２０】このようなハロゲン化物Ｈの分解処理によ
って、ハロゲンガスと共に非ハロゲン元素が生成される
が、この非ハロゲン元素は、放電容器と反応し、あるい
は放電容器内に存在する酸素、水などの不純物と反応し
て安定化されるため、生成されたハロゲンガスと反応し
てハロゲン化物が再生成されることはない。

【００２１】このようにして、放電容器１０内に放電用
ガスが充填されると共に、適宜の手段により、一方の壁
材１１および他方の壁材１２の各々の外面に、一方の電
極２１および他方の電極２２が設けられることにより、
誘電体バリア放電ランプが製造される。

【００２２】上記の方法によれば、放電容器１０内に固
体のハロゲン化合物Ｈを配置してこれを分解処理すれば
よいので、毒性が高くて取り扱いが不便なハロゲンガス
それ自体を取り扱う必要がなく、従って、ハロゲンガス
を充填するための特別な設備を使用することなしに、放
電容器１０内にハロゲンガスが充填された状態を容易に
得ることができる。

【００２３】また、ハロゲンガスは、放電容器１０内に
おいて生成されるため、供給装置の内壁面などに吸着さ
れることによる損失量が極めて少なく、しかも、放電容
器１０内に存在することとなるハロゲンガスの量の調整
を、放電容器１０内に配置されるハロゲン化合物Ｈの量
またはハロゲン化合物Ｈの分解量を変更することにより
行うことができるので、放電容器１０内に存在するハロ
ゲンガスの量を高い精度で制御することができる。

【００２４】また、ハロゲン化合物Ｈとして、上述の特
定の金属ハロゲン化合物を用いることにより、当該ハロ
ゲン化合物Ｈからハロゲンが遊離して生成される残留
物、例えば金属単体または金属酸化物は、その蒸気圧が
低いものであるため、当該残留物による発光を抑制する
ことができる。

【００２５】本発明の製造方法においては、ハロゲン化
合物Ｈの分解処理において、放電容器１０内に配置され
たハロゲン化合物Ｈの全部を分解させてもよいが、ハロ
ゲン化合物Ｈの一部を分解することにより、放電空間Ｓ
内にハロゲンガスを放出させると共に、残余のハロゲン
化合物Ｈを発光用元素経時的供給物質として当該放電容
器１０内に残留させることが好ましい。

【００２６】放電用ガスとして希ガスおよびハロゲンガ
スが充填された誘電体バリア放電ランプにおいては、当
該誘電体バリア放電ランプの作動中に、放電容器１０内
のハロゲンガスの量が減少して放出されるエキシマ光の
強度が早期に低下するという問題がある。而して、上記
のように、ハロゲン化合物Ｈの一部を分解すると共に、
残余のハロゲン化合物Ｈを発光用元素経時的供給物質と
して放電容器１０内に残留させることにより、当該誘電
体バリア放電ランプの作動中においては、放出されるエ
キシマ光によって、残留されたハロゲン化合物Ｈが分解
されてハロゲンガスが徐々に放電空間Ｓに補給されるの
で、放電空間Ｓにおけるハロゲンガスの量が減少するこ
とが有効に補償され、その結果、使用寿命の長い誘電体
バリア放電ランプを得ることができる。

【００２７】〈第２の方法〉この方法は、放電容器内に
希ガスを充填した密閉状態で、当該放電容器内において
ハロゲンガスの分解処理を行う方法である。上述の第１
の方法と同様にして、放電容器１０内に固体のハロゲン
化合物Ｈを配置する。次いで、適宜の真空ポンプによっ
て排気管３０から放電容器１０内の空気を排出させた
後、排気管３０から放電容器１０内に希ガスを充填し、
排気管３０の基端部において封止し、排気管３０を切断
する。そして、ハロゲン化合物Ｈの分解処理を行うこと
により、放電容器１０の放電空間Ｓにハロゲンガスを放
出させる。

【００２８】このような第２の方法においては、ハロゲ
ン化合物Ｈの分解処理は、上記の第１の方法と同様の手
段により行うことができるが、放電容器１０内には、希
ガスが充填されているため、一方の電極２１と他方の電
極２２とを配置した後、これらの間に電圧を印加して放
電空間Ｓにおいて誘電体バリア放電を発生させること、
すなわちランプを作動させることにより、放電容器１０
の放電空間Ｓにおいて希ガス元素によるエキシマ光であ
る紫外線が放出されるので、この紫外線を利用してハロ
ゲン化合物Ｈの分解処理を行うことができる。

【００２９】本発明の誘電体バリア放電ランプの製造方
法の実施の形態を説明したが、本発明は上記の方法に限
定されず、種々の変更が可能である。例えば、放電容器
１０内に、放電空間Ｓに連通するハロゲン化合物Ｈの収
容室を形成し、当該収容室内にハロゲン化合物Ｈを配置
してもよい。このような方法によれば、ハロゲン化合物
Ｈまたは当該ハロゲン化合物Ｈから遊離して生成される
残留物がスパッタにより蒸散することを防止することが
できる。また、ハロゲン化合物Ｈは排気管３０内に配置
されていてもよく、この場合には、排気管３０の残部を
ハロゲン化合物Ｈの収容室として利用することができ
る。

【００３０】用いられる放電容器の形状は、それぞれ誘
電体により構成された互いに対向する一方の壁材および
他方の壁材を有するものであれば、箱状、平板状、その
他の形状であってもよい。また、他方の電極として一方
の壁材の外面にアルミニウムよりなる金属膜を形成する
と共に、封止壁部の代わりに透光性材料よりなる光取り
出し窓部材を設けることにより、放電容器の端面から光
を取り出す構成の誘電体バリア放電ランプを得ることが
できる。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の誘電体バリア放電ランプの製
造方法の実施例について説明する。〈実施例１〉図１に示す構成および下記の条件に従い、
次のようにして放電用ガスを充填することにより誘電体
バリア放電ランプを製造した。放電容器（１０）：一方の壁材（１１）；合成石英ガラス製，全長約１５０
ｍｍ，外径２６．５ｍｍ，内径２３．５ｍｍ（肉厚１．
５ｍｍ），他方の壁材（１２）；合成石英ガラス製，全長約１５０
ｍｍ，外径１４ｍｍ，内径１２ｍｍ（肉厚１ｍｍ）一方の電極（２１）：ステンレス金網製，他方の電極（２２）：アルミニウム製，放電用ガス：キセノンガス（ガス分圧２００Ｔｏｒｒ）
と臭素ガス（約０．６ｍｇ）との混合ガス

【００３２】放電容器（１０）の一方の封止壁部（１
３）に、放電容器（１０）内に連通するよう排気管（３
０）を接続し、この排気管（３０）から放電容器（１
０）内に１０ｍｇの臭化ジスプロジウム（Ｈ）を配置し
（図２参照）、真空ポンプによって排気管（３０）から
放電容器（１０）内の空気を排出させることにより、放
電容器（１０）内を真空状態とした。そして、放電容器
（１０）内を密閉系とし、この状態で、放電容器（１
０）の外部から、バーナーを用いて８０秒間臭化ジスプ
ロジウム（Ｈ）を加熱することにより、当該臭化ジスプ
ロジウム（Ｈ）の一部を分解して、約０．６ｍｇの臭素
ガスを生成して放電容器（１０）の放電空間Ｓに放出さ
せた。その後、排気管（３０）から放電容器（１０）内
にキセノンガスを充填し、排気管（３０）の基端部にお
いて封止し、排気管３０を切断することにより、誘電体
バリア放電ランプを製造した。

【００３３】この誘電体バリア放電ランプを高周波電源
（２０）により、印加電圧が３．５ｋＶ、周波数が約２
０ｋＨｚの交流波で点灯させたところ、消費電力は約２
０Ｗであり、波長約２８２ｎｍ（キセノンと臭素とによ
るエキシマから放出されるエキシマ光の波長に最大ピー
クを有する波長２７０〜３２０ｎｍの範囲の紫外線が高
い効率で放出され、所期の量の臭素ガスが充填されてい
ることが確認された。

【００３４】〈実施例２〉次のようにして放電用ガスを
充填したこと以外は実施例１と同様の条件により誘電体
バリア放電ランプを製造した。

【００３５】放電容器（１０）の一方の封止壁部（１
３）に、放電容器（１０）内に連通するよう排気管（３
０）を接続し、この排気管（３０）から放電容器（１
０）内に１０ｍｇの臭化ジスプロジウム（Ｈ）を配置し
（図２参照）、真空ポンプによって排気管（３０）から
放電容器（１０）内の空気を排出した。その後、排気管
（３０）から放電容器（１０）内に希ガスを充填し、次
いで、排気管（３０）の基端部において封止して排気管
３０を切断した。そして、高周波電源（２０）により、
印加電圧が３．５ｋＶ、周波数が約２０ｋＨｚの交流波
で、一方の電極（２１）と他方の電極（２２）との間に
電圧を印加して放電空間（Ｓ）において誘電体バリア放
電を発生させることにより、臭化ジスプロジウム（Ｈ）
の一部を分解して、約０．６ｍｇの臭素ガスを生成して
放電容器（１０）の放電空間Ｓに放出させ、以って、誘
電体バリア放電ランプを製造した。

【００３６】この誘電体バリア放電ランプを実施例１と
同様の条件により点灯させたところ、消費電力は約２０
Ｗであり、波長約２８２ｎｍ（キセノンと臭素とによる
エキシマから放出されるエキシマ光の波長に最大ピーク
を有する波長２７０〜３２０ｎｍの範囲の紫外線が高い
効率で放出され、所期の量の臭素ガスが充填されている
ことが確認された。

【００３７】

【発明の効果】本発明の誘電体バリア放電ランプの製造
方法によれば、放電容器内に固体のハロゲン化合物を配
置してこれを分解処理すればよいので、毒性が高くて取
り扱いが不便なハロゲンガスそれ自体を取り扱う必要が
なく、従って、ハロゲンガスを充填するための特別な設
備を使用することなしに、放電容器内にハロゲンガスが
充填された状態を容易に得ることができる。

【００３８】また、ハロゲンガスは、放電容器内におい
て生成されるため、供給装置の内壁面などに吸着される
ことによる損失量が極めて少なく、しかも、放電容器内
に存在することとなるハロゲンガスの量の調整を、放電
容器内に配置されるハロゲン化合物の量またはハロゲン
化合物の分解量を変更することにより行うことができる
ので、放電容器内に存在するハロゲンガスの量を高い精
度で制御することができる。

【００３９】また、ハロゲン化合物として、特定の金属
ハロゲン化合物を用いることにより、当該ハロゲン化合
物からハロゲンが遊離して生成される残留物、例えば金
属単体または金属酸化物は、その蒸気圧が低いものであ
るため、当該残留物による発光を抑制することができ
る。

【００４０】また、ハロゲン化合物の分解処理におい
て、ハロゲン化合物の一部を分解し、残余のハロゲン化
合物を発光用元素経時的供給物質として当該放電容器内
に残留させる方法によれば、当該誘電体バリア放電ラン
プの作動中においては、放出されるエキシマ光によっ
て、残留されたハロゲン化合物が分解されてハロゲンガ
スが徐々に放電空間に補給されるので、放電空間におけ
るハロゲンガスの量が減少することが有効に補償され、
その結果、使用寿命の長い誘電体バリア放電ランプを得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法により製造される誘電体バリア放
電ランプの一例における構成の概略を示す説明図であ
る。

【図２】誘電体バリア放電ランプの放電容器に排気管を
取り付けた状態を示す説明図である。

【図３】誘電体バリア放電を発生させるための原理を示
す説明図である。

【図４】放電容器内に放電用ガスを充填するために従来
使用されている装置の概略を示す説明図である

【符号の説明】

１０放電容器１１一方の壁材１２他方の壁材１３，１４封止壁部１５一方の壁材の外面１６他方の壁材の外面１７他方の壁材の内面２０高周波電源２１一方の電極２２他方の電極３０排気管Ｓ放電空間Ｈハロゲン化合物８１，８２壁材８３，８４壁材の外面８５，８６電極９０放電容器９１油拡散ポンプ９２ロータリーポンプ９３ガス処理機９４希ガスタンク９５ハロゲンガスリザーバー９６ガス混合室９７ガス流路切換器９８配管９９バルブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】誘電体よりなる壁材によって放電容器が
形成され、この放電容器内に希ガスおよびハロゲンガス
が充填される誘電体バリア放電ランプの製造方法におい
て、前記放電容器内に固体のハロゲン化合物を配置し、この
放電容器の内部の空気を排出することにより、当該放電
容器の内部を略真空状態とし、前記ハロゲン化合物を外部からの分解処理によって分解
することにより、前記放電容器内にハロゲンガスを放出
させ、その後、前記放電容器の外部から所定量の希ガスを封入
して、当該放電容器を密閉することを特徴とする誘電体
バリア放電ランプの製造方法。
【請求項２】誘電体よりなる壁材によって放電容器が
形成され、この放電容器内に希ガスおよびハロゲンガス
が充填される誘電体バリア放電ランプの製造方法におい
て、前記放電容器内に固体のハロゲン化合物を配置し、この
放電容器の内部の空気を排出することにより、当該放電
容器の内部を略真空状態とし、前記放電容器の外部から所定量の希ガスを封入して、当
該放電容器を密閉し、その後、前記ハロゲン化合物を外部からの分解処理によ
って分解することにより、前記放電容器内にハロゲンガ
スを放出させることを特徴とする誘電体バリア放電ラン
プの製造方法。