JPH09199298A - 真空チェンバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 銅によって形成されたチェンバ本体に対して
ステンレス鋼によって形成されたフランジ部材を強固に
且つ気密に固着し、チェンバ内部を超高真空状態に保持
する。 【解決手段】 銅によって形成されたチェンバ本体１８
と、ニッケル基合金鋼によって形成されチェンバ本体１
８の端部に外嵌されたライナ部材１９と、ステンレス鋼
によって形成されライナ部材１９に外嵌されたフランジ
部材２０とを備え、チェンバ本体１８とライナ部材１９
とを全周溶接２７によって気密に固着し、ライナ部材１
９とフランジ部材２０とを全周溶接２８によって気密に
固着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シンクロトロン等
の粒子加速器に適用する真空チェンバに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】光速に近い速度で移動する電子がその進
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光とよばれる電磁波（光）を放出する。

【０００３】図５は放射光発生手段の一例を示すもの
で、１は線形加速装置（粒子加速器）であり、該線形加
速装置１は、電子（荷電粒子）ｅを射出する電子発生装
置２と、一端が電子発生装置２に接続された直管状の加
速ダクト３と、該加速ダクト３の内部を移動する電子ｅ
に高周波を付与して該電子ｅを加速する高周波加速装置
４とを有している。

【０００４】前記の加速ダクト３の他端には、湾曲管状
の偏向ダクト５の一端が接続されており、偏向ダクト５
には、その内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための
偏向電磁石６が設けられている。

【０００５】７はシンクロトロンであり、該シンクロト
ロン７は、前記の電子ｅに周回軌道を形成させるための
無端状ダクト８を有しており、該無端状ダクト８の所要
箇所には、前記の偏向ダクト５の他端が接続されてい
る。

【０００６】この無端状ダクト８の湾曲部分には、その
内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための偏向電磁石
９が設けられ、また、無端状ダクト８の所要箇所には、
該無端状ダクト８の内部を移動する電子ｅに高周波を付
与して該電子ｅを加速する高周波加速装置１０が設けら
れている。

【０００７】更に、無端状ダクト８の所要箇所の湾曲部
には、該湾曲部において光速に近い速度で移動する電子
ｅの進行方向が曲げられることにより放出される放射光
ビームｓを無端状ダクト８の外部へ導くための直管状の
ビームチャンネル１１の一端が接続され、また、該ビー
ムチャンネル１１の他端には、前記の放射光ビームｓを
利用する実験を行うための実験装置１２が設けられてい
る。

【０００８】上述した放射光発生手段によって放射光ビ
ームｓを放出させる際には、加速ダクト３、偏向ダクト
５、無端状ダクト８、ビームチャンネル１１及び実験装
置１２の内部を超高真空状態に減圧して、電子ｅが光速
に近い速度で移動できる状態とした後、電子発生装置２
から電子ｅを射出させる。

【０００９】電子発生装置２より射出される電子ｅは、
高周波加速装置４によって加速され、更に偏向電磁石６
により軌道を曲げられることにより無端状ダクト８に入
射する。

【００１０】無端状ダクト８に入射した電子ｅは、偏向
電磁石９により各湾曲部において軌道を曲げられるとと
もに、高周波加速装置１０によって加速され、これによ
り電子ｅから放射光ビームｓが放出される。

【００１１】無端状ダクト８の所定箇所の湾曲部におい
て放出される放射光ビームｓは、ビームチャンネル１１
を経て実験装置１２に入射する。

【００１２】上述した放射光発生手段を構成する加速ダ
クト３、偏向ダクト５、無端状ダクト８、ビームチャン
ネル１１は、それぞれ真空チェンバを複数直列に連結す
ることにより構成されている。

【００１３】上記の真空チェンバは図６に示すように、
銅によって形成されたチェンバ本体１３の端部に、ステ
ンレス鋼によって形成されたフランジ部材１４を固着し
たものであり、チェンバ本体１３とフランジ部材１４と
は、ろう付け１５によって相互に固着されている。

【００１４】また、フランジ部材１４には、該フランジ
部材１４を相互に締結するためのボルト貫通孔１６が穿
設され、また、フランジ部材１４のチェンバ本体１３の
反端部側の面には、周方向に延び且つ相互に締結される
べきフランジ部材１４の間に配設される銅パッキング
（図示せず）に噛み込み得るように突出するパッキング
嵌着部１７が形成されている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、チェン
バ本体１３とフランジ部材１４とを固着するろう付け１
５は、継手としての強度があまり高くない。

【００１６】また、ろう付け１５の仕上り状態が均一に
ならず、溶融時に生じた気泡に起因する空隙がろう材の
内部に形成された場合には、チェンバ本体１３の内部を
超高真空状態に保持できなくなる。

【００１７】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、銅によって形成されたチェンバ本体に対してステン
レス鋼によって形成されたフランジ部材を強固に且つ気
密に固着した真空チェンバを提供することを目的として
いる。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明の請求項１に記載の真空チェンバでは、銅によ
って形成されたチェンバ本体と、ニッケル基合金鋼によ
って形成され前記チェンバ本体の端部に外嵌されたライ
ナ部材と、ステンレス鋼によって形成され前記ライナ部
材に外嵌されたフランジ部材とを備え、前記チェンバ本
体とライナ部材とを気密に溶接固着し、前記ライナ部材
とフランジ部材とを気密に溶接固着している。

【００１９】本発明の請求項２に記載の真空チェンバで
は、本発明の請求項１に記載の真空チェンバにおいて、
ライナ部材のチェンバ本体の反端部寄りの端面内縁部と
チェンバ本体の外周面とを点溶接によって固着し、フラ
ンジ部材のチェンバ本体の反端部寄りの端面内縁部と前
記ライナ部材の外周面とを点溶接によって固着し、前記
ライナ部材のチェンバ本体の端部寄りの端面内縁部と前
記チェンバ本体の端面外縁部とを全周溶接によって固着
し、前記フランジ部材のチェンバ本体の端部寄りの端面
内縁部と前記ライナ部材のチェンバ本体の端部寄りの端
面外縁部とを全周溶接によって固着している。

【００２０】本発明の請求項３に記載の真空チェンバで
は、本発明の請求項１に記載の真空チェンバにおいて、
ライナ部材のチェンバ本体の反端部寄りの端面内縁部と
チェンバ本体の外周面とを全周溶接によって固着し、フ
ランジ部材のチェンバ本体の反端部寄りの端面内縁部と
前記ライナ部材の外周面とを全周溶接によって固着して
いる。

【００２１】本発明の請求項４に記載の真空チェンバで
は、本発明の請求項１に記載の真空チェンバにおいて、
ライナ部材の内周面のチェンバ本体の端部寄り部分とチ
ェンバ本体の端面とを全周溶接によって固着し、フラン
ジ部材のチェンバ本体の端部寄りの端面内縁部と前記ラ
イナ部材のチェンバ本体の端部寄りの端面外縁部とを全
周溶接によって固着している。

【００２２】本発明の請求項５に記載の真空チェンバで
は、本発明の請求項１に記載のチェンバにおいて、ライ
ナ部材のチェンバ本体の端部寄りの端面内縁部とチェン
バ本体の端面の外縁部とを全周溶接によって固着し、フ
ランジ部材のチェンバ本体の端面寄りの端面内縁部と前
記ライナ部材のチェンバ本体の端部寄りの端面外縁部と
を全周溶接によって固着している。

【００２３】そして、本発明の請求項１から請求項５に
記載の真空チェンバのいずれにおいても、ニッケル基合
金鋼によって形成されたライナ部材を介して、銅によっ
て形成されたチェンバ本体とステンレス鋼によって形成
されたフランジ部材とを気密に溶接固着することによ
り、銅のチェンバ本体とステンレス鋼のフランジ部材と
を強固に固着する。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しつつ説明する。

【００２５】図１は、本発明の真空チェンバ実施の形態
の第１の例を示す断面図であり、この真空チェンバは、
銅によって形成されたチェンバ本体１８と、インコネル
等のニッケル基合金鋼によって形成され前記チェンバ本
体１８の端部に外嵌されたライナ部材１９と、ステンレ
ス鋼によって形成され前記ライナ部材１９に外嵌された
フランジ部材２０とから構成されている。

【００２６】チェンバ本体１８の端部外周面の形状は、
端部に近接した箇所から端部までの外径の寸法が、端部
から離れている箇所の外径よりも小さくなっていて、こ
れにより、端部近くの外周に段部が形成されている。

【００２７】また、ライナ部材１９の内周面には、チェ
ンバ本体１８の端部から段部の反端部側に至る外周面に
密に外嵌するように段部が形成されている。

【００２８】このようなチェンバ本体１８の端部付近の
外周面の形状とライナ部材１９の内周面の形状とによっ
て、チェンバ本体１８の端部外周にライナ部材１９を組
み付ける際に、チェンバ本体１８の端部に外嵌させたラ
イナ部材１９が、チェンバ本体１８の長手方向中間部側
へ向かって必要以上に移動せず、チェンバ本体１８とラ
イナ部材１９との相互の位置決めを精度良く簡単にでき
るようになっている。

【００２９】更に、ライナ部材１９の外周面の形状は、
外周面の中間部からチェンバ本体１８の反端部側の外径
が大きく、外周面の中間部からチェンバ本体１８の端部
側の外径が小さくなっていて、外周面の中間に段部が形
成されている。

【００３０】この外径が小さくなっているライナ部材１
９の外周面にフランジ部材２０の内周面が密に外嵌する
ようになっているため、ライナ部材１９の外周面にフラ
ンジ部材２０を組み付ける際に、ライナ部材１９の外周
面に外嵌させたフランジ部材２０が、ライナ部材１９の
チェンバ本体１８の反端部側へ向かって必要以上に移動
せず、ライナ部材１９とフランジ部材２０との相互の位
置決めを精度良く簡単にできるようになっている。

【００３１】フランジ部材２０には、該フランジ部材２
０を相互に締結するためのボルト貫通孔１６が穿設さ
れ、フランジ部材２０のチェンバ本体１８の反端部側の
面には、周方向に延び且つ相互に締結されるべきフラン
ジ部材２０の間に配設される銅パッキングに噛み込み得
るように突出するパッキング嵌着部１７が設けられてい
る。

【００３２】更にまた、チェンバ本体１８の端面外縁
部、ライナ部材１９の端面内縁部、ライナ部材１９の端
面外縁部、フランジ部材２０の端面内縁部には、チェン
バ本体１８の軸線延長方向に突出し且つ各部材の周方向
に延びる突起部２１，２２，２３，２４が形成されてい
る。

【００３３】ライナ部材１９をチェンバ本体１８に固着
する際には、チェンバ本体１８にライナ部材１９を外嵌
し、ライナ部材１９のチェンバ本体１８の反端部寄りの
端面内縁部とチェンバ本体１８の外周面とを、点溶接２
５によって固着した後、チェンバ本体１８の端面外縁部
に形成されている突起部２１とライナ部材１９のチェン
バ本体１８の端部寄りの端面内縁部に形成されている突
起部２２とを、全周溶接２７によって固着する。

【００３４】また、フランジ部材２０をライナ部材１９
に固着する際には、ライナ部材１９にフランジ部材２０
を外嵌し、フランジ部材２０のチェンバ本体１８の反端
部寄りの端面内縁部近傍とライナ部材１９の外径が大き
い箇所の外周面とを、点溶接２６によって固着した後、
ライナ部材１９のチェンバ本体１８の端部寄りの端面外
縁部に形成されている突起部２３とフランジ部材２０の
チェンバ本体１８の端部寄りの端面内縁部に形成されて
いる突起部２４とを、全周溶接２８によって気密に固着
する。

【００３５】このように、図１に示す真空チェンバにお
いては、銅により形成されたチェンバ本体１８にニッケ
ル基合金鋼により形成されたライナ部材１９を点溶接２
５及び全周溶接２７によって固着し、ライナ部材１９に
ステンレス鋼により形成されたフランジ部材２０を点溶
接２６及び全周溶接２８によって固着しているので、ラ
イナ部材１９を介してチェンバ本体１８とフランジ部材
２０とを強固に且つ気密に固着することができる。

【００３６】また、チェンバ本体１８の端面の突起部２
１とライナ部材１９のチェンバ本体１８の端部寄りの端
面の突起部２２とが全周溶接２７で固着され、ライナ部
材１９のチェンバ本体１８の端部寄りの端面の突起部２
３とフランジ部材２０のチェンバ本体１８の端部寄りの
突起部２４が全周溶接２８で固着されているので、チェ
ンバ本体１８の内部を減圧する際に、チェンバ本体１８
とライナ部材１９との嵌合部分の表面、あるいはライナ
部材１９とフランジ部材２０との嵌合部分の表面に付着
している気体分子がチェンバ本体１８の内部へ引き込ま
れず、チェンバ本体１８の内部を高真空状態にすること
ができる。

【００３７】図２は、本発明の真空チェンバの実施の形
態の第２の例を示す断面図であって、図１と同一部分に
は同一符号を付して、その説明を省略する。

【００３８】図２に示す真空チェンバにおいては、銅に
よって形成されたチェンバ本体１８の端部寄りの外周
面、並びにインコネル等のニッケル基合金鋼によって形
成されたライナ部材１９の内周面及び外周面には、それ
ぞれ図１に示すものと同様な段部が形成されていて、チ
ェンバ本体１８、ライナ部材１９、フランジ部材２０の
相互の位置決めを精度良く簡単にできるようになってい
る。

【００３９】図２に示す真空チェンバのライナ部材１９
のチェンバ本体１８の端部寄りの端面は、チェンバ本体
１８の端面よりも引っ込んだ位置にあって、ライナ部材
１９のチェンバ本体１８の反端部寄りの端面内縁部とチ
ェンバ本体１８の外周面とを全周溶接２９により気密に
固着し、更に、ステンレス鋼によって形成されたフラン
ジ部材２０のチェンバ本体１８の反端部寄りの端面内縁
部近傍とライナ部材１９の外径の大きい箇所の外周面と
を全周溶接３０により気密に固着している。

【００４０】このように、図２に示す真空チェンバにお
いては、銅により形成されたチェンバ本体１８にニッケ
ル基合金鋼により形成されたライナ部材１９を全周溶接
２９によって固着し、ライナ部材１９にステンレス鋼に
より形成されたフランジ部材２０を全周溶接３０によっ
て固着しているので、ライナ部材１９を介してチェンバ
本体１８とフランジ部材２０とを強固に且つ気密に固着
することができる。

【００４１】また、図２に示す真空チェンバにおいて
は、チェンバ本体１８、ライナ部材１９、フランジ部材
２０の大気にさらされる外側のみに全周溶接２９，３０
を施して、他の真空チェンバが接合されるべき部分には
溶接を施さないため、真空側になる面を溶接時のスパッ
タ等で汚さずにすみ、真空面側への部品の取り付けや据
付けターゲットの加工がしやすい。

【００４２】図３は、本発明の真空チェンバの実施の形
態の第３の例を示す断面図であって、図１と同一部分に
は同一符号を付して、その説明を省略する。

【００４３】図３に示す真空チェンバにおいては、銅に
よって形成されたチェンバ本体１８の端部外周面には、
図１に示すもののような段部が形成されておらず、チェ
ンバ本体１８の管壁は一定の肉厚に製作されている。

【００４４】インコネル等のニッケル基合金鋼によって
形成されたライナ部材１９は、チェンバ本体１８の端部
寄りの端面がチェンバ本体１８の端面よりも突出してい
て、ライナ部材１９の内周面には、チェンバ本体１８の
端部寄りの内径がチェンバ本体１８の外径よりも小さい
寸法に段部が形成されている。

【００４５】更に、ライナ部材１９の外周面には、チェ
ンバ本体１８の端部側からチェンバ本体１８の反端部側
近くまでの外径が小さく、反端部側の外径が大きい寸法
になる段部が形成されている。

【００４６】ライナ部材１９の外径が小さくなっている
外周面には、ステンレス鋼によって形成されたフランジ
部材２０の内周面が密に外嵌されていて、ライナ部材１
９の端面外縁部、フランジ部材２０の端面内縁部には、
チェンバ本体１８の軸線延長方向に突出し且つ各部材の
周方向に延びる突起部２３，２４が形成されている。

【００４７】そして、チェンバ本体１８の端面とライナ
部材１９の内周面小径部とを全周溶接３１により気密に
固着し、更に、ライナ部材１９のチェンバ本体１８の端
部寄りの端面外縁部に形成されている突起部２３とフラ
ンジ部材２０のチェンバ本体１８の端部寄りの端面内縁
部に形成されている突起部２４とを全周溶接２８により
気密に固着している。

【００４８】このように、図３に示す真空チェンバにお
いては、銅により形成されたチェンバ本体１８にニッケ
ル基合金鋼により形成されたライナ部材１９を全周溶接
３１によって固着し、ライナ部材１９にステンレス鋼に
より形成されたフランジ部材２０を全周溶接３２によっ
て固着しているので、ライナ部材１９を介してチェンバ
本体１８とフランジ部材２０とを強固に且つ気密に固着
することができる。

【００４９】また、チェンバ本体１８の端面とライナ部
材１９のチェンバ本体１８の端部寄りの内周面とが全周
溶接３１で固着され、ライナ部材１９のチェンバ本体１
８の端部寄りの端面の突起部２３とフランジ部材２０の
チェンバ本体１８の端部寄りの突起部２４が全周溶接２
８で固着されているので、チェンバ本体１８の内部を減
圧する際に、チェンバ本体１８とライナ部材１９との嵌
合部分の表面、あるいはライナ部材１９とフランジ部材
２０との嵌合部分の表面に付着している気体分子がチェ
ンバ本体１８の内部へ引き込まれず、チェンバ本体１８
の内部を高真空状態にすることができる。

【００５０】更に、図３に示す真空チェンバにおいて
は、チェンバ本体１８の端部外周面に段部が形成されて
いないため、チェンバ本体１８の端部加工が簡単であ
り、チェンバ本体１８が薄肉の場合に好適である。

【００５１】図４は、本発明の真空チェンバの実施の形
態の第４の例を示す断面図であって、図１と同一部分に
は同一符号を付して、その説明を省略する。

【００５２】図４に示す真空チェンバにおいては、銅に
よって形成されたチェンバ本体１８の端部に近接した箇
所から端部までの外径の寸法が、端部から離れている箇
所の外径よりも小さく、これにより、端部近くの外周に
段部が形成されている。

【００５３】ステンレス鋼によって形成されたフランジ
部材２０は、チェンバ本体１８端部の小径部分に外嵌さ
れていて、フランジ部材２０のチェンバ本体１８端面寄
りの内周には、断面四角形の凹部３２が形成されてい
る。

【００５４】そして、インコネル等のニッケル基合金鋼
によって形成されたライナ部材１９は上述の凹部３２に
密に嵌入し且つチェンバ本体１８の端部の小径部分に外
嵌されるようになっている。

【００５５】このため、フランジ部材２０は、凹部３２
の箇所がライナ部材１９に外嵌された状態になってい
る。

【００５６】ライナ部材１９の端面内縁部及び端面外縁
部には、突起部２２，２３が形成されており、フランジ
部材２０の端面内縁部にも突起部２４が形成されてい
る。

【００５７】そして、ライナ部材１９のチェンバ本体１
８の端部寄りの端面内縁部に形成されている突起部２２
と、チェンバ本体１８の端面の外縁部とを全周溶接３１
により気密に固着し、更に、フランジ部材２０のチェン
バ本体１８の端部寄りの端面内縁部に形成されている突
起部２４と前記ライナ部材１９のチェンバ本体１８の端
部寄りの端面外縁部に形成されている突起部２３とを全
周溶接２８により気密に固着している。

【００５８】このように、図４に示す真空チェンバにお
いては、銅により形成されたチェンバ本体１８にニッケ
ル基合金鋼により形成されたライナ部材１９を全周溶接
３１によって固着し、ライナ部材１９にステンレス鋼に
より形成されたフランジ部材２０を全周溶接２８によっ
て固着しているので、ライナ部材１９を介してチェンバ
本体１８とフランジ部材２０とを強固に且つ気密に固着
することができる。

【００５９】また、チェンバ本体１８の端面とライナ部
材１９のチェンバ本体１８の端部寄りの端面の突起部２
２とが全周溶接３１で固着され、ライナ部材１９のチェ
ンバ本体１８の端部寄りの端面の突起部２３とフランジ
部材２０のチェンバ本体１８の端部寄りの突起部２４が
全周溶接２８で固着されているので、チェンバ本体１８
の内部を減圧する際に、チェンバ本体１８とライナ部材
１９との嵌合部分の表面、あるいはライナ部材１９とフ
ランジ部材２０との嵌合部分の表面に付着している気体
分子がチェンバ本体１８の内部へ引き込まれず、チェン
バ本体１８の内部を高真空状態にすることができる。

【００６０】更に、ライナ部材１９の断面が単純な形状
となるので、ライナ部材１９を製作するときの切削加工
が容易になる。

【００６１】なお、本発明の真空チェンバは上述した実
施の形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨
を逸脱しない範囲において種々の変更を加え得ることは
勿論である。

【００６２】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空チェン
バにおいては、下記のような種々の優れた効果を奏し得
る。

【００６３】（１）本発明の請求項１から請求項５に記
載の真空チェンバのいずれにおいても、銅により形成さ
れたチェンバ本体にニッケル基合金鋼により形成された
ライナ部材を溶接によって固着し、ライナ部材にステン
レス鋼により形成されたフランジ部材を溶接によって固
着しているので、ライナ部材を介してチェンバ本体とフ
ランジ部材とを強固に且つ気密に固着することができ
る。

【００６４】（２）本発明の請求項２、請求項４、請求
項５に記載の真空チェンバのいずれにおいても、チェン
バ本体、ライナ部材、フランジ部材を、それらの部材の
チェンバ本体の端部寄りの部分で全周溶接により相互に
固着しているので、チェンバ本体とライナ部材との嵌合
部分の表面、あるいはライナ部材とフランジ部材との嵌
合部分の表面に付着している気体分子がチェンバ本体の
内部へ引き込まれず、チェンバ本体の内部を高真空状態
にすることができる。

【００６５】（３）本発明の請求項３に記載の真空チェ
ンバにおいては、チェンバ本体、ライナ部材、フランジ
部材の大気にさらされる外側のみに全周溶接を施して、
他の真空チェンバが接合させるべき部分には溶接を施さ
ないので、真空側になる部分を溶接時のスパッタ等で汚
さずにすみ、真空側面への部品の取り付けを容易に行え
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空チェンバの実施の形態の第１の例
を示す断面図である。

【図２】本発明の真空チェンバの実施の形態の第２の例
を示す断面図である。

【図３】本発明の真空チェンバの実施の形態の第３の例
を示す断面図である。

【図４】本発明の真空チェンバの実施の形態の第４の例
を示す断面図である。

【図５】放射光発生手段の一例を示す概念図である。

【図６】従来の真空チェンバの一例を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１８ チェンバ本体 １９ ライナ部材 ２０ フランジ部材 ２５，２６ 点溶接 ２７，２８，２９，３０，３１ 全周溶接

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 銅によって形成されたチェンバ本体と、
   ニッケル基合金鋼によって形成され前記チェンバ本体の
   端部に外嵌されたライナ部材と、ステンレス鋼によって
   形成され前記ライナ部材に外嵌されたフランジ部材とを
   備え、前記チェンバ本体とライナ部材とを気密に溶接固
   着し、前記ライナ部材とフランジ部材とを気密に溶接固
   着したことを特徴とする真空チェンバ。
2. 【請求項２】 ライナ部材のチェンバ本体の反端部寄り
   の端面内縁部とチェンバ本体の外周面とを点溶接によっ
   て固着し、フランジ部材のチェンバ本体の反端部寄りの
   端面内縁部と前記ライナ部材の外周面とを点溶接によっ
   て固着し、前記ライナ部材のチェンバ本体の端部寄りの
   端面内縁部と前記チェンバ本体の端面外縁部とを全周溶
   接によって固着し、前記フランジ部材のチェンバ本体の
   端部寄りの端面内縁部と前記ライナ部材のチェンバ本体
   の端部寄りの端面外縁部とを全周溶接によって固着した
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空チェンバ。
3. 【請求項３】 ライナ部材のチェンバ本体の反端部寄り
   の端面内縁部とチェンバ本体の外周面とを全周溶接によ
   って固着し、フランジ部材のチェンバ本体の反端部寄り
   の端面内縁部と前記ライナ部材の外周面とを全周溶接に
   よって固着したことを特徴とする請求項１に記載の真空
   チェンバ。
4. 【請求項４】 ライナ部材の内周面のチェンバ本体の端
   部寄り部分とチェンバ本体の端面とを全周溶接によって
   固着し、フランジ部材のチェンバ本体の端部寄りの端面
   内縁部と前記ライナ部材のチェンバ本体の端部寄りの端
   面外縁部とを全周溶接によって固着したことを特徴とす
   る請求項１に記載の真空チェンバ。
5. 【請求項５】 ライナ部材のチェンバ本体の端部寄りの
   端面内縁部とチェンバ本体の端面の外縁部とを全周溶接
   によって固着し、フランジ部材のチェンバ本体の端面寄
   りの端面内縁部と前記ライナ部材のチェンバ本体の端部
   寄りの端面外縁部とを全周溶接によって固着したことを
   特徴とする請求項１に記載の真空チェンバ。