JPH09201733A - 可変磁場発生装置 - Google Patents
可変磁場発生装置Info
- Publication number
- JPH09201733A JPH09201733A JP1354296A JP1354296A JPH09201733A JP H09201733 A JPH09201733 A JP H09201733A JP 1354296 A JP1354296 A JP 1354296A JP 1354296 A JP1354296 A JP 1354296A JP H09201733 A JPH09201733 A JP H09201733A
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- JP
- Japan
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- magnetic field
- magnet
- field generator
- variable
- magnetic
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 オン状態でより強力で、かつオフ状態で磁場
強度を完全になくすことができる可変磁場発生装置を提
供する。 【解決手段】 永久磁石と磁極材により構成される磁気
回路を有する可変磁場発生装置において、永久磁石と磁
極材を周期的に交互に並べた磁石列を２列近接して配置
し、片方の磁石列を位相移動させることにより磁石列の
表面の磁場強度を変化させることを特徴とする可変磁場
発生装置。
強度を完全になくすことができる可変磁場発生装置を提
供する。 【解決手段】 永久磁石と磁極材により構成される磁気
回路を有する可変磁場発生装置において、永久磁石と磁
極材を周期的に交互に並べた磁石列を２列近接して配置
し、片方の磁石列を位相移動させることにより磁石列の
表面の磁場強度を変化させることを特徴とする可変磁場
発生装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可変磁場発生装置
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】可変磁場発生装置は、電子加速器の電子
線を蛇行させ、放射光を発生させる挿入光源装置や、磁
性体の加工品等を固定するマグネット・チャック等に用
いられる。その構成は図３に示すように、永久磁石１１
と磁極材（鉄など）１２からなり、永久磁石１１と磁極
材１２を交互に配列した磁石列１５の下に、磁石１３の
列を配置し、その下に磁性体１４の板を配置したもので
ある。
線を蛇行させ、放射光を発生させる挿入光源装置や、磁
性体の加工品等を固定するマグネット・チャック等に用
いられる。その構成は図３に示すように、永久磁石１１
と磁極材（鉄など）１２からなり、永久磁石１１と磁極
材１２を交互に配列した磁石列１５の下に、磁石１３の
列を配置し、その下に磁性体１４の板を配置したもので
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしこの従来の可変
磁場発生装置では、オフ状態の磁場強度を完全になくす
ためには、オン状態の磁場強度も低くしなければならな
い。オフ状態の磁場強度をゼロとすると、オン状態で磁
場強度がそれほど高い発生装置は得られない。本発明は
従来の可変磁場発生装置と比較してオン状態でより強力
で、かつオフ状態で磁場強度を完全になくすことができ
る可変磁場発生装置を実現しようとするものである。
磁場発生装置では、オフ状態の磁場強度を完全になくす
ためには、オン状態の磁場強度も低くしなければならな
い。オフ状態の磁場強度をゼロとすると、オン状態で磁
場強度がそれほど高い発生装置は得られない。本発明は
従来の可変磁場発生装置と比較してオン状態でより強力
で、かつオフ状態で磁場強度を完全になくすことができ
る可変磁場発生装置を実現しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、永久
磁石と磁極材により構成される磁気回路を有する可変磁
場発生装置において、永久磁石と磁極材を周期的に交互
に並べた磁石列を２列近接して配置し、片方の磁石列を
位相移動させることにより磁石列の表面の磁場強度を変
化させることを特徴とする可変磁場発生装置を要旨とす
るものである。以下に、これを詳述する。
磁石と磁極材により構成される磁気回路を有する可変磁
場発生装置において、永久磁石と磁極材を周期的に交互
に並べた磁石列を２列近接して配置し、片方の磁石列を
位相移動させることにより磁石列の表面の磁場強度を変
化させることを特徴とする可変磁場発生装置を要旨とす
るものである。以下に、これを詳述する。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の実施態様の一例につい
て、以下に説明する。図１に示す本発明の可変磁場発生
装置は、磁石１と磁極材２とを交互に周期的に並べた磁
石列二列で構成されている。それぞれの磁石列１５は同
じ周期で磁極材が交互になるように配置される。図１
（ａ）に示す可変磁場発生装置のタイプ１は、これらの
磁石列を左右に近接して並べたものであり、図１（ｂ）
に示すタイプ２は、永久磁石と磁極の磁石列を上下に近
接して並べてある。
て、以下に説明する。図１に示す本発明の可変磁場発生
装置は、磁石１と磁極材２とを交互に周期的に並べた磁
石列二列で構成されている。それぞれの磁石列１５は同
じ周期で磁極材が交互になるように配置される。図１
（ａ）に示す可変磁場発生装置のタイプ１は、これらの
磁石列を左右に近接して並べたものであり、図１（ｂ）
に示すタイプ２は、永久磁石と磁極の磁石列を上下に近
接して並べてある。
【０００６】底部磁石列は長手軸方向に移動可能で、そ
のための移動機構（図示せず）を有する。底部磁石列を
移動させることにより、磁場強度を可変とすることがで
きる。移動機構としては、例えば流体シリンダー、ラッ
クアンドピニオン、リニアガイド等が挙げられる。
のための移動機構（図示せず）を有する。底部磁石列を
移動させることにより、磁場強度を可変とすることがで
きる。移動機構としては、例えば流体シリンダー、ラッ
クアンドピニオン、リニアガイド等が挙げられる。
【０００７】このような機構による、磁場強度の可変化
につき、図２（ａ）、（ｂ）に基いて説明する。最初に
図２（ａ）のような状態にあるとすると、磁石列の磁束
は磁極に集中する。底部の可動磁石列の持続も上部の磁
石列と同じ磁化方向なので磁極に集中する。磁極からの
磁束は、上部磁石列の上の空間に流れ、隣の磁極に吸い
込まれ、空間に磁場が発生する。これがオン状態であ
る。次にどちらか片方の可動磁石列を半周期分移動し
て、図２（ｂ）のような状態とする。上部磁石列の磁束
は前記と同様に磁極に集中する。しかし図２（ｂ）の場
合、底部磁石列の磁極が上部磁石列の磁極と極性が反対
であるため、上部磁石列の磁束は、底部磁石列に流れ
る。したがって、上部磁石列の上の空間には磁束が流れ
ないので磁場強度はゼロとなる。これがオフ状態であ
る。これにより、オン状態で磁石列から８mm上の距離で
1000Ｇ〜3000Ｇの磁場強度を発生する可変磁場発生装置
が得られる。
につき、図２（ａ）、（ｂ）に基いて説明する。最初に
図２（ａ）のような状態にあるとすると、磁石列の磁束
は磁極に集中する。底部の可動磁石列の持続も上部の磁
石列と同じ磁化方向なので磁極に集中する。磁極からの
磁束は、上部磁石列の上の空間に流れ、隣の磁極に吸い
込まれ、空間に磁場が発生する。これがオン状態であ
る。次にどちらか片方の可動磁石列を半周期分移動し
て、図２（ｂ）のような状態とする。上部磁石列の磁束
は前記と同様に磁極に集中する。しかし図２（ｂ）の場
合、底部磁石列の磁極が上部磁石列の磁極と極性が反対
であるため、上部磁石列の磁束は、底部磁石列に流れ
る。したがって、上部磁石列の上の空間には磁束が流れ
ないので磁場強度はゼロとなる。これがオフ状態であ
る。これにより、オン状態で磁石列から８mm上の距離で
1000Ｇ〜3000Ｇの磁場強度を発生する可変磁場発生装置
が得られる。
【０００８】本発明の可変磁場発生装置に用いる磁石１
の材質は、 NdFeB磁石等が例示され、磁極材２の材質
は、SUY 等が例示される。また、磁石列内の磁石個数は
数個未満では可変ができなくなるため、１０個以上が好
ましい。磁石列同士の間隔は、狭ければ狭いほど可変範
囲が広がる。しかし、実際に製作するには、０．５〜１
mmが好ましい。
の材質は、 NdFeB磁石等が例示され、磁極材２の材質
は、SUY 等が例示される。また、磁石列内の磁石個数は
数個未満では可変ができなくなるため、１０個以上が好
ましい。磁石列同士の間隔は、狭ければ狭いほど可変範
囲が広がる。しかし、実際に製作するには、０．５〜１
mmが好ましい。
【０００９】本発明の可変磁場発生装置の用途は、マグ
ネットチャック、挿入光源装置等が例示される。本発明
の可変磁場発生装置を用いれば、マグネットチャックで
は、吸着させる時は従来よりも強力で、オフ状態の時は
磁場をほぼゼロにすることができ、また、挿入光源装置
では空隙を可変とする機構が不要なため、架台構造が簡
素で作りやすくなり、光ＣＶＤ、ＬＳＩのＸ線露光等に
用いることができる。
ネットチャック、挿入光源装置等が例示される。本発明
の可変磁場発生装置を用いれば、マグネットチャックで
は、吸着させる時は従来よりも強力で、オフ状態の時は
磁場をほぼゼロにすることができ、また、挿入光源装置
では空隙を可変とする機構が不要なため、架台構造が簡
素で作りやすくなり、光ＣＶＤ、ＬＳＩのＸ線露光等に
用いることができる。
【００１０】また、本発明において、空隙側の磁石列二
列を真空容器の中に入れ、位相移動させる一対の磁石列
を真空容器の壁を隔てて外に配置し、位相移動させる磁
石列を位相を揃えて駆動することにより、真空容器内の
磁場を可変とすることができる。このタイプの可変磁場
発生装置の用途は、真空封止型挿入光源装置等が例示さ
れ、この真空封止型挿入光源装置は可動部分が真空容器
内にないため、容易に作製することができる。
列を真空容器の中に入れ、位相移動させる一対の磁石列
を真空容器の壁を隔てて外に配置し、位相移動させる磁
石列を位相を揃えて駆動することにより、真空容器内の
磁場を可変とすることができる。このタイプの可変磁場
発生装置の用途は、真空封止型挿入光源装置等が例示さ
れ、この真空封止型挿入光源装置は可動部分が真空容器
内にないため、容易に作製することができる。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明の実施例を挙げて説明する。 実施例 寸法が１０mm×１０mm×４０mmの NdFeB製の永久磁石１
ａと、２４mm×１０mm×４０mmの NdFeB製の永久磁石１
ｂと、寸法が１０mm×１０mm×４０mmのSUY 製の磁極材
２ａと、２４mm×１０mm×４０mmのSUY 製の磁極材２ｂ
の各１０個ずつを、永久磁石の磁化方向を図２（ａ）
（オン状態）のように向けて間隔を０．５mmで近接して
配列し、接着剤を用いて接着した可変磁場発生装置を作
製したところ、磁石列１５から８mm上の距離において磁
場強度は2240Ｇであった。次に、これをリニアガイドを
用いて図２（ｂ）のように片方の磁石列を位相移動させ
（オフ状態）たところ、０Ｇの磁場強度を示した。
ａと、２４mm×１０mm×４０mmの NdFeB製の永久磁石１
ｂと、寸法が１０mm×１０mm×４０mmのSUY 製の磁極材
２ａと、２４mm×１０mm×４０mmのSUY 製の磁極材２ｂ
の各１０個ずつを、永久磁石の磁化方向を図２（ａ）
（オン状態）のように向けて間隔を０．５mmで近接して
配列し、接着剤を用いて接着した可変磁場発生装置を作
製したところ、磁石列１５から８mm上の距離において磁
場強度は2240Ｇであった。次に、これをリニアガイドを
用いて図２（ｂ）のように片方の磁石列を位相移動させ
（オフ状態）たところ、０Ｇの磁場強度を示した。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、可変磁場発生装置の解
放時に残留の吸引力が低減され、かつ吸引時に強力な吸
引力を有することが可能となった。
放時に残留の吸引力が低減され、かつ吸引時に強力な吸
引力を有することが可能となった。
【図１】本発明の可変磁場発生装置の模式図である。
（ａ）はタイプ１のオン状態である。（ｂ）は別のタイ
プのタイプ２のオン状態である。
（ａ）はタイプ１のオン状態である。（ｂ）は別のタイ
プのタイプ２のオン状態である。
【図２】本発明における磁気回路の模式図である。
（ａ）はオン状態である。（ｂ）はオフ状態である。
（ａ）はオン状態である。（ｂ）はオフ状態である。
【図３】従来の可変磁場発生装置のオン状態の模式図で
ある。
ある。
１、１ａ、１ｂ、１１ 永久磁石 ２、２ａ、２ｂ、１２ 磁極材 １３ 磁石 １４ 磁性体 １５ 磁石列
Claims (1)
- 【請求項１】 永久磁石と磁極材により構成される磁気
回路を有する可変磁場発生装置において、永久磁石と磁
極材を周期的に交互に並べた磁石列を２列近接して配置
し、片方の磁石列を位相移動させることにより磁石列の
表面の磁場強度を変化させることを特徴とする可変磁場
発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1354296A JPH09201733A (ja) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 可変磁場発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1354296A JPH09201733A (ja) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 可変磁場発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09201733A true JPH09201733A (ja) | 1997-08-05 |
Family
ID=11836050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1354296A Pending JPH09201733A (ja) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | 可変磁場発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09201733A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116374788A (zh) * | 2023-04-17 | 2023-07-04 | 宁波伊玛磁业有限公司 | 一种多磁极起重器 |
-
1996
- 1996-01-30 JP JP1354296A patent/JPH09201733A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116374788A (zh) * | 2023-04-17 | 2023-07-04 | 宁波伊玛磁业有限公司 | 一种多磁极起重器 |
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