JPH09207126A - ワイヤソーのためのワーク支持装置、清浄方法及びワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーのためのワーク支持装置、清浄方法及びワイヤソーInfo
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- JPH09207126A JPH09207126A JP8015975A JP1597596A JPH09207126A JP H09207126 A JPH09207126 A JP H09207126A JP 8015975 A JP8015975 A JP 8015975A JP 1597596 A JP1597596 A JP 1597596A JP H09207126 A JPH09207126 A JP H09207126A
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- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スライス加工後に各ウェハの両端面に付着し
ているスラリを清浄除去できるようにして、隣接するウ
ェハが互いに密着するのを防止する。 【解決手段】 ワーク２３を接着支持してワイヤソーに
装着するためのワーク支持装置２２に、清浄媒体の供給
路３２，３３を形成する。ワーク２３が多数のウェハ２
３ａにスライス加工されたとき、供給路３２，３３が各
ウェハ２３ａ間に開口される。この状態で、ワーク支持
装置２２の供給路３２，３３を通して、各ウェハ２３ａ
間に清浄媒体を供給して、各ウェハ２３ａの両端面に付
着しているスラリを清浄除去する。
ているスラリを清浄除去できるようにして、隣接するウ
ェハが互いに密着するのを防止する。 【解決手段】 ワーク２３を接着支持してワイヤソーに
装着するためのワーク支持装置２２に、清浄媒体の供給
路３２，３３を形成する。ワーク２３が多数のウェハ２
３ａにスライス加工されたとき、供給路３２，３３が各
ウェハ２３ａ間に開口される。この状態で、ワーク支持
装置２２の供給路３２，３３を通して、各ウェハ２３ａ
間に清浄媒体を供給して、各ウェハ２３ａの両端面に付
着しているスラリを清浄除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体材
料、磁性材料、セラミック等の脆性材料よりなるワーク
を、ワイヤソーにより、ウェハ状にスライス加工する際
に使用されるワイヤソーにおけるワーク支持装置、ワー
クの清浄方法及びワイヤソーに関するものである。
料、磁性材料、セラミック等の脆性材料よりなるワーク
を、ワイヤソーにより、ウェハ状にスライス加工する際
に使用されるワイヤソーにおけるワーク支持装置、ワー
クの清浄方法及びワイヤソーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーによりワークをスライス加工
する場合には、ワーク支持板にカーボン等よりなるワー
ク支持装置が固着されるとともに、そのワーク支持装置
の支持面にワークが接着支持される。この状態で、ワー
ク支持板がワイヤソーに装着されることにより、ワーク
が所定ピッチで配列されたワイヤと対応する加工位置に
セットされる。そして、ワイヤ上に砥粒を含むスラリが
供給されながら、ワイヤがその延長方向に走行されると
ともに、ワイヤにワークが押し付けられて、砥粒のラッ
ピング作用により、ワークがウェハ状にスライス加工さ
れる。
する場合には、ワーク支持板にカーボン等よりなるワー
ク支持装置が固着されるとともに、そのワーク支持装置
の支持面にワークが接着支持される。この状態で、ワー
ク支持板がワイヤソーに装着されることにより、ワーク
が所定ピッチで配列されたワイヤと対応する加工位置に
セットされる。そして、ワイヤ上に砥粒を含むスラリが
供給されながら、ワイヤがその延長方向に走行されると
ともに、ワイヤにワークが押し付けられて、砥粒のラッ
ピング作用により、ワークがウェハ状にスライス加工さ
れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このワイヤ
ソーによるワークのスライス加工に際しては、ワイヤ上
に供給されるスラリが、スライス加工された多数のウェ
ハの両側面に付着する。このため、後工程における各ウ
ェハの清浄が困難になるばかりでなく、このスラリの表
面張力により、隣接するウェハが互いに密着してしまう
という問題があった。このため、後工程でウェハをワー
ク支持装置から剥離して１枚ずつ分離させる際に、その
分離作業が困難になるばかりでなく、場合によってはウ
ェハを分離させる際にウェハが折損されるという問題が
あった。
ソーによるワークのスライス加工に際しては、ワイヤ上
に供給されるスラリが、スライス加工された多数のウェ
ハの両側面に付着する。このため、後工程における各ウ
ェハの清浄が困難になるばかりでなく、このスラリの表
面張力により、隣接するウェハが互いに密着してしまう
という問題があった。このため、後工程でウェハをワー
ク支持装置から剥離して１枚ずつ分離させる際に、その
分離作業が困難になるばかりでなく、場合によってはウ
ェハを分離させる際にウェハが折損されるという問題が
あった。
【０００４】この発明は、前記のような従来の技術に存
在する問題点に着目してなされたものである。その目的
とするところは、スライス加工後に各ウェハの両端面に
付着しているスラリを清浄除去することができて、後工
程における清浄や分離を容易に行うことができるワイヤ
ソーのためのワーク支持装置、ワーク清浄方法及びワイ
ヤソーを提供することにある。
在する問題点に着目してなされたものである。その目的
とするところは、スライス加工後に各ウェハの両端面に
付着しているスラリを清浄除去することができて、後工
程における清浄や分離を容易に行うことができるワイヤ
ソーのためのワーク支持装置、ワーク清浄方法及びワイ
ヤソーを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、ワイヤソーによりワ
ークをウェハ状にスライス加工する際に、ワークを支持
してワイヤソーに装着するためのワーク支持装置におい
て、スライス加工後の各ウェハ間に清浄媒体を供給する
供給手段を備えたものである。
めに、請求項１に記載の発明では、ワイヤソーによりワ
ークをウェハ状にスライス加工する際に、ワークを支持
してワイヤソーに装着するためのワーク支持装置におい
て、スライス加工後の各ウェハ間に清浄媒体を供給する
供給手段を備えたものである。
【０００６】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワーク支持装置において、前記供給手段は、ウェハ
の配列方向に延びるとともに、各ウェハ間に開口する供
給路で構成したものある。
載のワーク支持装置において、前記供給手段は、ウェハ
の配列方向に延びるとともに、各ウェハ間に開口する供
給路で構成したものある。
【０００７】請求項３に記載の発明では、請求項２に記
載のワーク支持装置において、供給路は、ワークの切断
終了時にワーク支持装置の下面がワーク切断に連続して
切断されることによりウェハ間に開口するものである。
載のワーク支持装置において、供給路は、ワークの切断
終了時にワーク支持装置の下面がワーク切断に連続して
切断されることによりウェハ間に開口するものである。
【０００８】請求項４に記載の発明では、請求項２また
は３に記載のワーク支持装置において、前記供給路は、
ワークを接着支持する支持面と、その支持面と反対側の
面との間に透設された溝で構成したものある。
は３に記載のワーク支持装置において、前記供給路は、
ワークを接着支持する支持面と、その支持面と反対側の
面との間に透設された溝で構成したものある。
【０００９】請求項５に記載の発明では、請求項２また
は３に記載のワーク支持装置において、前記供給路は、
ウェハの配列方向の一端側に開口する孔で構成したもの
である。
は３に記載のワーク支持装置において、前記供給路は、
ウェハの配列方向の一端側に開口する孔で構成したもの
である。
【００１０】請求項６に記載の発明では、ワークをウェ
ハ状にスライス加工するワイヤソーにおいて、請求項１
〜５のいずれかに記載のワーク支持装置と、そのワーク
支持装置の供給路に清浄媒体を送るためのポンプ等の送
給手段とを有するものである。
ハ状にスライス加工するワイヤソーにおいて、請求項１
〜５のいずれかに記載のワーク支持装置と、そのワーク
支持装置の供給路に清浄媒体を送るためのポンプ等の送
給手段とを有するものである。
【００１１】請求項７に記載の発明では、ワイヤにより
ワークをウェハ状にスライス加工する際に、ワークを接
着支持してワイヤソーに装着するためのワーク支持装置
を備え、そのワーク支持装置にはスライス加工後の各ウ
ェハ間に清浄媒体を供給する供給手段を設け、スライス
加工終了にともない、ワイヤをウェハ間から抜くときに
前記供給手段によりウェハ間に清浄媒体を供給するもの
である。
ワークをウェハ状にスライス加工する際に、ワークを接
着支持してワイヤソーに装着するためのワーク支持装置
を備え、そのワーク支持装置にはスライス加工後の各ウ
ェハ間に清浄媒体を供給する供給手段を設け、スライス
加工終了にともない、ワイヤをウェハ間から抜くときに
前記供給手段によりウェハ間に清浄媒体を供給するもの
である。
【００１２】請求項８に記載の発明では、請求項７にお
いて、前記供給手段を、ウェハの配列方向に延びる供給
路により構成し、スライス加工終了に際して、支持具の
下部を切断することにより、供給路をウェハ間に開口さ
せるものである。
いて、前記供給手段を、ウェハの配列方向に延びる供給
路により構成し、スライス加工終了に際して、支持具の
下部を切断することにより、供給路をウェハ間に開口さ
せるものである。
【００１３】請求項９に記載の発明では、請求項７また
は８において、清浄媒体が圧縮エアである。請求項１０
に記載の発明では、請求項９において、圧縮エアが清浄
液ミストを含む。
は８において、清浄媒体が圧縮エアである。請求項１０
に記載の発明では、請求項９において、圧縮エアが清浄
液ミストを含む。
【００１４】従って、請求項１，２，５，６，７の発明
によれば、ワークをウェハ状にスライス加工する場合に
は、ワーク支持板にワーク支持装置を固定するととも
に、そのワーク支持装置の支持面にワークを支持する。
この状態で、ワーク支持板をワイヤソーに装着すると、
ワークが加工位置にセットされる。
によれば、ワークをウェハ状にスライス加工する場合に
は、ワーク支持板にワーク支持装置を固定するととも
に、そのワーク支持装置の支持面にワークを支持する。
この状態で、ワーク支持板をワイヤソーに装着すると、
ワークが加工位置にセットされる。
【００１５】その後、ワイヤソーによりワークをウェハ
状にスライス加工すると、ワーク支持装置に設けられた
供給手段としての供給路が、ウェハ間に開口される。こ
の状態で、ワーク支持装置の供給路を通して、各ウェハ
間に清浄媒体を供給して、各ウェハの両端面に付着して
いるスラリを清浄除去することができる。
状にスライス加工すると、ワーク支持装置に設けられた
供給手段としての供給路が、ウェハ間に開口される。こ
の状態で、ワーク支持装置の供給路を通して、各ウェハ
間に清浄媒体を供給して、各ウェハの両端面に付着して
いるスラリを清浄除去することができる。
【００１６】このため、ワークのスライス加工後に、各
ウェハの両側面に付着しているスラリを確実に清浄除去
することができて、後工程の清浄が簡単になるととも
に、隣接するウェハが互いに密着するのを防止すること
ができて、後工程で各ウェハをワーク支持装置から剥離
して１枚ずつ分離させる際に、その分離作業を容易に行
うことができる。
ウェハの両側面に付着しているスラリを確実に清浄除去
することができて、後工程の清浄が簡単になるととも
に、隣接するウェハが互いに密着するのを防止すること
ができて、後工程で各ウェハをワーク支持装置から剥離
して１枚ずつ分離させる際に、その分離作業を容易に行
うことができる。
【００１７】請求項３及び８の発明によれば、ワーク支
持装置の下面がワイヤにより切断されるまでは、清浄液
がウェハ間に供給されることがない。このため、不要な
時期における清浄液の供給を防止して、円滑かつ正確な
切断加工を達成できる。
持装置の下面がワイヤにより切断されるまでは、清浄液
がウェハ間に供給されることがない。このため、不要な
時期における清浄液の供給を防止して、円滑かつ正確な
切断加工を達成できる。
【００１８】請求項４の発明によれば、清浄液の供給路
を溝加工のみで得ることができ、供給路の形成を簡単に
行うことができる。請求項９の発明によれば、清浄媒体
として、圧縮エアが使用されるため、清浄液が不要とな
り、ランニングコストの低下を達成できる。
を溝加工のみで得ることができ、供給路の形成を簡単に
行うことができる。請求項９の発明によれば、清浄媒体
として、圧縮エアが使用されるため、清浄液が不要とな
り、ランニングコストの低下を達成できる。
【００１９】請求項１０の発明によれば、清浄液がミス
トであるため、その使用量を低減でき、ランニングコス
トの低下を達成できる。
トであるため、その使用量を低減でき、ランニングコス
トの低下を達成できる。
【００２０】
（第１実施形態）以下、この発明の第１実施形態を、図
１〜図３に基づいて説明する。
１〜図３に基づいて説明する。
【００２１】まず、ワイヤソーについて説明する。図１
に示すように、切断機構１１及びリール機構１２は、フ
レーム１３上に配設されている。切断機構１１は複数の
加工用ローラ１４を備え、各加工用ローラ１４の外周面
には多数の環状溝（図示しない）が所定ピッチで形成さ
れている。
に示すように、切断機構１１及びリール機構１２は、フ
レーム１３上に配設されている。切断機構１１は複数の
加工用ローラ１４を備え、各加工用ローラ１４の外周面
には多数の環状溝（図示しない）が所定ピッチで形成さ
れている。
【００２２】鋼線よりなる１本の切断用ワイヤ１５は前
記各加工用ローラ１４の環状溝に順次ら線状にに巻回さ
れ、それらの両端がリール機構１２の繰出し及び巻取リ
ール１６に巻回されている。なお、このリール１６はそ
れぞれ繰出し用、巻取り用のものが並設されていて、合
計一対であるが、図１においては一方のリール１６のみ
が示されている。そして、加工用ローラ１４が図示しな
いモータにて回転されることにより、切断用ワイヤ１５
が走行し、周期的に反転を伴いながら、歩進的に前進方
向へ走行される。
記各加工用ローラ１４の環状溝に順次ら線状にに巻回さ
れ、それらの両端がリール機構１２の繰出し及び巻取リ
ール１６に巻回されている。なお、このリール１６はそ
れぞれ繰出し用、巻取り用のものが並設されていて、合
計一対であるが、図１においては一方のリール１６のみ
が示されている。そして、加工用ローラ１４が図示しな
いモータにて回転されることにより、切断用ワイヤ１５
が走行し、周期的に反転を伴いながら、歩進的に前進方
向へ走行される。
【００２３】図１及び図２に示すように、ワーク支持機
構１７は前記切断機構１１の上方に位置するように、フ
レーム１３のコラム１０上に昇降可能に配設されてい
る。ワーク支持機構１７の下部にはワーク取付台１８を
備え、その下部にはクランプ１９が配設されている。予
め被加工物であるワーク２３と一体となったワーク支持
板２０はクランプ１９によりワーク取付台１８の下面に
着脱可能に装着される。ワーク２３を取付けるワーク支
持板２０の下面にはガラス板よりなる絶縁板２１及びワ
ーク支持装置２２を介してワーク２３が予め接着固定さ
れる。なお、ワイヤ１５にはワイヤ１５の断線検知用の
電流が流されており、絶縁板２１はワーク２３のスライ
ス加工時において、その電流の漏洩による誤検出を阻止
するためのものである。
構１７は前記切断機構１１の上方に位置するように、フ
レーム１３のコラム１０上に昇降可能に配設されてい
る。ワーク支持機構１７の下部にはワーク取付台１８を
備え、その下部にはクランプ１９が配設されている。予
め被加工物であるワーク２３と一体となったワーク支持
板２０はクランプ１９によりワーク取付台１８の下面に
着脱可能に装着される。ワーク２３を取付けるワーク支
持板２０の下面にはガラス板よりなる絶縁板２１及びワ
ーク支持装置２２を介してワーク２３が予め接着固定さ
れる。なお、ワイヤ１５にはワイヤ１５の断線検知用の
電流が流されており、絶縁板２１はワーク２３のスライ
ス加工時において、その電流の漏洩による誤検出を阻止
するためのものである。
【００２４】図１に示すように、一対のスラリ供給パイ
プ２４は前記切断機構１１とワーク支持機構１７との間
に位置するように、かつワーク２３を挟んでワイヤ走行
方向の両側に位置するようにフレーム１３上に支持さ
れ、切断用ワイヤ１５の走行方向と直交する方向に延び
ている。そして、切断用ワイヤ１５が走行されながら、
砥粒を含むスラリが、このスラリ供給パイプ２３から切
断用ワイヤ１５上に供給される。この状態で、前記ワー
ク取付台１８の下降により、ワーク２３が切断用ワイヤ
１５に押し付けられて、砥粒のラッピング作用により、
ワーク２３が所定厚さの多数のウェハ２３ａにスライス
加工される。
プ２４は前記切断機構１１とワーク支持機構１７との間
に位置するように、かつワーク２３を挟んでワイヤ走行
方向の両側に位置するようにフレーム１３上に支持さ
れ、切断用ワイヤ１５の走行方向と直交する方向に延び
ている。そして、切断用ワイヤ１５が走行されながら、
砥粒を含むスラリが、このスラリ供給パイプ２３から切
断用ワイヤ１５上に供給される。この状態で、前記ワー
ク取付台１８の下降により、ワーク２３が切断用ワイヤ
１５に押し付けられて、砥粒のラッピング作用により、
ワーク２３が所定厚さの多数のウェハ２３ａにスライス
加工される。
【００２５】スラリ受け２５はスラリ供給パイプ２３の
下方に位置するように、フレーム１３上に配設され、ス
ラリ供給パイプ２４から切断ワイヤ１５上に供給される
スラリが、このスラリ受け２５によって回収される。そ
して、スラリ受け２５に回収されたスラリは、切換バル
ブ２７、フィルタ２８及びポンプ２９を備えた循環管路
２６を介して、スラリ供給パイプ２４に供給されて再使
用される。
下方に位置するように、フレーム１３上に配設され、ス
ラリ供給パイプ２４から切断ワイヤ１５上に供給される
スラリが、このスラリ受け２５によって回収される。そ
して、スラリ受け２５に回収されたスラリは、切換バル
ブ２７、フィルタ２８及びポンプ２９を備えた循環管路
２６を介して、スラリ供給パイプ２４に供給されて再使
用される。
【００２６】また、後述するスライス加工後には各ウェ
ハ２３ａが清浄されるが、その清浄時には、各ウェハ２
３ａ間に供給される清浄媒体としての清浄液がスラリ受
け２５上に回収される。そして、切換バルブ２７の切り
換えにより、スラリ受け２５上の清浄液が排出管路３０
を介して排出される。なお、清浄液は、砥粒を含まない
スラリ用のオイル、洗剤を混合した水またはオイル、水
道水等、必要に応じて適当なものが使用される。
ハ２３ａが清浄されるが、その清浄時には、各ウェハ２
３ａ間に供給される清浄媒体としての清浄液がスラリ受
け２５上に回収される。そして、切換バルブ２７の切り
換えにより、スラリ受け２５上の清浄液が排出管路３０
を介して排出される。なお、清浄液は、砥粒を含まない
スラリ用のオイル、洗剤を混合した水またはオイル、水
道水等、必要に応じて適当なものが使用される。
【００２７】そこで、前記ワーク支持装置２２について
詳述する。図２及び図３に示すように、ワーク支持装置
２２は例えばカーボンプレートにより形成され、その下
面にはワーク２３を接着支持するための円弧状の支持面
３１が形成されている。複数の第１供給溝３２はワーク
切断後に切出されるウェハ２３ａの配列方向に沿って延
びるように、ワーク支持装置２２の上面に所定間隔おき
に形成され、ワーク支持装置２２の一端面に開口されて
いる。複数の第２供給溝３３は各第１供給溝３２の下部
と支持面３１との間に貫設され、第１供給溝３２よりも
細幅になっている。
詳述する。図２及び図３に示すように、ワーク支持装置
２２は例えばカーボンプレートにより形成され、その下
面にはワーク２３を接着支持するための円弧状の支持面
３１が形成されている。複数の第１供給溝３２はワーク
切断後に切出されるウェハ２３ａの配列方向に沿って延
びるように、ワーク支持装置２２の上面に所定間隔おき
に形成され、ワーク支持装置２２の一端面に開口されて
いる。複数の第２供給溝３３は各第１供給溝３２の下部
と支持面３１との間に貫設され、第１供給溝３２よりも
細幅になっている。
【００２８】また、前記各第１供給溝３２と第２供給溝
３３とにより、各ウェハ２３ａ間に清浄液を供給するた
めの供給手段としての供給路が構成されている。そし
て、このワーク支持装置２２の支持面３１にワーク２３
を接着支持するとともに、上面に絶縁板２１を接着固定
したとき、各第１供給溝３２の上端開口縁が絶縁板２１
により閉塞されるとともに、第２供給溝３３の下端開口
縁がワーク２３により閉塞される。そして、図３に示す
ように、ワイヤ１５の仮想線で示す下方位置からワーク
２３の切断が上方へ進み、切断終了時の実線で示すワイ
ヤ１５によりワーク支持装置２２の下部が同時に切断さ
れることにより、第２供給溝３３のウェハ２３ａ間に貫
通する部分が下方に向かって次々と開口される。
３３とにより、各ウェハ２３ａ間に清浄液を供給するた
めの供給手段としての供給路が構成されている。そし
て、このワーク支持装置２２の支持面３１にワーク２３
を接着支持するとともに、上面に絶縁板２１を接着固定
したとき、各第１供給溝３２の上端開口縁が絶縁板２１
により閉塞されるとともに、第２供給溝３３の下端開口
縁がワーク２３により閉塞される。そして、図３に示す
ように、ワイヤ１５の仮想線で示す下方位置からワーク
２３の切断が上方へ進み、切断終了時の実線で示すワイ
ヤ１５によりワーク支持装置２２の下部が同時に切断さ
れることにより、第２供給溝３３のウェハ２３ａ間に貫
通する部分が下方に向かって次々と開口される。
【００２９】口金３４は各第１供給溝３２の端部開口部
と対応するように、ワーク支持装置２２の一端面に接合
配置され、その外面には接続口３４ａが突設されてい
る。そして、ワーク２３のスライス加工後に、この接続
口３４ａに接続されたポンプ３６を含む供給管路３５か
ら、清浄媒体としての清浄液が口金３４を介して各供給
溝３２，３３内に圧送されて、切断により形成された開
口を介して各ウェハ２３ａ間に供給される。なお、ポン
プ３６及び供給管路３５はワイヤソーのワーク支持機構
１７に支持されている。
と対応するように、ワーク支持装置２２の一端面に接合
配置され、その外面には接続口３４ａが突設されてい
る。そして、ワーク２３のスライス加工後に、この接続
口３４ａに接続されたポンプ３６を含む供給管路３５か
ら、清浄媒体としての清浄液が口金３４を介して各供給
溝３２，３３内に圧送されて、切断により形成された開
口を介して各ウェハ２３ａ間に供給される。なお、ポン
プ３６及び供給管路３５はワイヤソーのワーク支持機構
１７に支持されている。
【００３０】次に、前記ワーク支持装置２２の使用状態
での作用を説明する。さて、このワーク支持装置２２を
使用して、ワーク２３をウェハ状にスライス加工する場
合には、予めワーク支持板２０に絶縁板２１を介してワ
ーク支持装置２２を接着固定するとともに、そのワーク
支持装置２２の支持面３１にワーク２３を接着支持す
る。その後、図１及び図２に示すように、ワーク支持板
２２をクランプするクランプ１９により、ワーク支持板
２０をワイヤソーにおけるワーク支持機構１７のワーク
取付台１８に装着し、ワーク２３は切断用ワイヤ１５と
対応する加工位置にセット固定される。
での作用を説明する。さて、このワーク支持装置２２を
使用して、ワーク２３をウェハ状にスライス加工する場
合には、予めワーク支持板２０に絶縁板２１を介してワ
ーク支持装置２２を接着固定するとともに、そのワーク
支持装置２２の支持面３１にワーク２３を接着支持す
る。その後、図１及び図２に示すように、ワーク支持板
２２をクランプするクランプ１９により、ワーク支持板
２０をワイヤソーにおけるワーク支持機構１７のワーク
取付台１８に装着し、ワーク２３は切断用ワイヤ１５と
対応する加工位置にセット固定される。
【００３１】この状態で、切断用ワイヤ１５が走行され
ながら、砥粒を含むスラリがスラリ供給パイプ２３から
切断用ワイヤ１５上に供給されるとともに、ワーク取付
台１８の下降により、ワーク２３が切断用ワイヤ１５に
押し付けられる。これにより、砥粒のラッピング作用に
て、ワーク２３が所定厚さの多数のウェハ２３ａに同時
にスライス加工される。なお、このスライス加工時に
は、支持具２２の両供給溝３２，３３の上下の開口が絶
縁板２１及びワーク２３により閉塞されているため、ポ
ンプ３６が作動されて清浄液が支持具２２側に供給され
ても、その清浄液がウェハ２３ａ間に至ることはない。
従って、清浄液によりスラリの砥粒が流されて、切断加
工に支障をきたすことを未然に防止できる。
ながら、砥粒を含むスラリがスラリ供給パイプ２３から
切断用ワイヤ１５上に供給されるとともに、ワーク取付
台１８の下降により、ワーク２３が切断用ワイヤ１５に
押し付けられる。これにより、砥粒のラッピング作用に
て、ワーク２３が所定厚さの多数のウェハ２３ａに同時
にスライス加工される。なお、このスライス加工時に
は、支持具２２の両供給溝３２，３３の上下の開口が絶
縁板２１及びワーク２３により閉塞されているため、ポ
ンプ３６が作動されて清浄液が支持具２２側に供給され
ても、その清浄液がウェハ２３ａ間に至ることはない。
従って、清浄液によりスラリの砥粒が流されて、切断加
工に支障をきたすことを未然に防止できる。
【００３２】そして、切断加工の終了時には、図２及び
図３に示すように、切断用ワイヤ１５がワーク２３の上
部外周面を越えてワーク支持装置２２内に切り込み移動
される。この切り込みによりワーク支持装置２２に形成
されている各第２供給溝３３が、多数のウェハ２３ａ間
に開口される。
図３に示すように、切断用ワイヤ１５がワーク２３の上
部外周面を越えてワーク支持装置２２内に切り込み移動
される。この切り込みによりワーク支持装置２２に形成
されている各第２供給溝３３が、多数のウェハ２３ａ間
に開口される。
【００３３】そして、このスライス加工の終了後に、ワ
ーク取付台１８が緩速上昇され、図２及び図３に鎖線で
示すように、各切断用ワイヤ１５がワーク２３に対して
下方に相対移動されて、各ウェハ２３ａ間から下方へ抜
き取られる。このワイヤ１５の相対移動時には、各ウェ
ハ２３ａの両端面に切粉やスラリが付着していて、その
スラリの表面張力により、隣接するウェハ２３ａが互い
に密着した状態にあっても、切断用ワイヤ１５の相対移
動に伴い、各ウェハ２３ａの密着が順次解かれて各ウェ
ハ２３ａ間においてワイヤ１５の上方に隙間が形成され
る。
ーク取付台１８が緩速上昇され、図２及び図３に鎖線で
示すように、各切断用ワイヤ１５がワーク２３に対して
下方に相対移動されて、各ウェハ２３ａ間から下方へ抜
き取られる。このワイヤ１５の相対移動時には、各ウェ
ハ２３ａの両端面に切粉やスラリが付着していて、その
スラリの表面張力により、隣接するウェハ２３ａが互い
に密着した状態にあっても、切断用ワイヤ１５の相対移
動に伴い、各ウェハ２３ａの密着が順次解かれて各ウェ
ハ２３ａ間においてワイヤ１５の上方に隙間が形成され
る。
【００３４】そして、このワイヤ１５の相対移動時に、
清浄液が供給管路３５から口金３４を介して各供給溝３
２，３３内に圧送されて、第２供給溝３３の下端開口か
ら噴出され、各ウェハ２３ａ間に供給される。これによ
り、清浄液が各ウェハ２３ａの両側面を清浄して各ウェ
ハ２３ａの両側面に付着している切粉やスラリが除去さ
れる。そして、スラリを含む清浄後の清浄液は、スラリ
受け２５上に回収された後、切換バルブ２７及び排出管
路３０を介して外部に排出される。
清浄液が供給管路３５から口金３４を介して各供給溝３
２，３３内に圧送されて、第２供給溝３３の下端開口か
ら噴出され、各ウェハ２３ａ間に供給される。これによ
り、清浄液が各ウェハ２３ａの両側面を清浄して各ウェ
ハ２３ａの両側面に付着している切粉やスラリが除去さ
れる。そして、スラリを含む清浄後の清浄液は、スラリ
受け２５上に回収された後、切換バルブ２７及び排出管
路３０を介して外部に排出される。
【００３５】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 （１） このワーク支持装置２２によれば、ワーク２３
のスライス加工後に、各ウェハ２３ａの両側面に付着し
ているスラリを清浄除去することができて、後工程のウ
ェハ清浄を短時間で簡単に行うことができる。
ついて、以下に記載する。 （１） このワーク支持装置２２によれば、ワーク２３
のスライス加工後に、各ウェハ２３ａの両側面に付着し
ているスラリを清浄除去することができて、後工程のウ
ェハ清浄を短時間で簡単に行うことができる。
【００３６】（２） ウェハ２３ａのスラリを清浄除去
できるため、隣接するウェハ２３ａがスラリや切粉によ
り互いに密着するのを防止することができる。従って、
ワーク２３のスライス加工の後工程で、各ウェハ２３ａ
をワーク支持装置２２から剥離して１枚ずつ分離させる
際に、その分離作業を容易に行うことができる。
できるため、隣接するウェハ２３ａがスラリや切粉によ
り互いに密着するのを防止することができる。従って、
ワーク２３のスライス加工の後工程で、各ウェハ２３ａ
をワーク支持装置２２から剥離して１枚ずつ分離させる
際に、その分離作業を容易に行うことができる。
【００３７】（３） このワーク支持装置２２において
は、第１及び第２供給溝３２，３３が、ワーク支持装置
２２の上下両面に開口するように透設されている。この
ため、支持具２２の上下両面から溝加工を施すのみで供
給路が簡単に形成される。
は、第１及び第２供給溝３２，３３が、ワーク支持装置
２２の上下両面に開口するように透設されている。この
ため、支持具２２の上下両面から溝加工を施すのみで供
給路が簡単に形成される。
【００３８】（４） ウェハ２３ａ間に清浄液を噴出す
るための第２供給溝３３の下端開口はスライス加工の終
了時に形成され、それ以前はワーク２３により閉塞され
るため、スライス加工時における清浄液の噴出を防止で
きる。
るための第２供給溝３３の下端開口はスライス加工の終
了時に形成され、それ以前はワーク２３により閉塞され
るため、スライス加工時における清浄液の噴出を防止で
きる。
【００３９】（第２実施形態）次に、この発明の第２実
施形態を、図４及び図５に基づいて説明する。さて、こ
の第２実施形態においては、複数のトンネル状の供給孔
３８がウェハ２３ａの配列方向に沿って延びるように、
ワーク支持装置２２内に所定間隔おきに形成され、ワー
ク支持装置２２の一端面に開口されている。複数の供給
溝３９は各供給孔３８の下部と支持面３１との間に形成
され、これらの供給溝３９を介して各供給孔３８が支持
面３１に開口される。供給孔３８は、ワーク支持装置２
２の一端に設けられた口金３４の接続口３４ａを介して
清浄液供給用の前記第１実施形態と同様なポンプに連結
されている。
施形態を、図４及び図５に基づいて説明する。さて、こ
の第２実施形態においては、複数のトンネル状の供給孔
３８がウェハ２３ａの配列方向に沿って延びるように、
ワーク支持装置２２内に所定間隔おきに形成され、ワー
ク支持装置２２の一端面に開口されている。複数の供給
溝３９は各供給孔３８の下部と支持面３１との間に形成
され、これらの供給溝３９を介して各供給孔３８が支持
面３１に開口される。供給孔３８は、ワーク支持装置２
２の一端に設けられた口金３４の接続口３４ａを介して
清浄液供給用の前記第１実施形態と同様なポンプに連結
されている。
【００４０】そして、この第２実施形態においては、前
記各供給孔３８及び供給溝３９により、多数のウェハ２
３ａ間に清浄液を供給するための供給手段としての供給
路が構成されている。従って、この第２実施形態におい
ても、前述した第１実施形態とほぼ同様の作用効果を発
揮することができる。
記各供給孔３８及び供給溝３９により、多数のウェハ２
３ａ間に清浄液を供給するための供給手段としての供給
路が構成されている。従って、この第２実施形態におい
ても、前述した第１実施形態とほぼ同様の作用効果を発
揮することができる。
【００４１】なお、この発明は、次のように変更して具
体化することも可能である。 （１） 図６に示すように、各第１供給溝３２をワーク
支持装置２２の一端側に開口することなく、上方のみに
開口するように形成し、ワーク支持板２０及び絶縁板２
１に形成された供給口４０から、各第１供給溝３２内に
清浄液を供給するように構成すること。このように構成
しても、前記各実施形態と同様な効果を享受できる。
体化することも可能である。 （１） 図６に示すように、各第１供給溝３２をワーク
支持装置２２の一端側に開口することなく、上方のみに
開口するように形成し、ワーク支持板２０及び絶縁板２
１に形成された供給口４０から、各第１供給溝３２内に
清浄液を供給するように構成すること。このように構成
しても、前記各実施形態と同様な効果を享受できる。
【００４２】（２） 前記第２実施形態のワーク支持装
置２２において、各供給溝３８の一端をワーク支持装置
２２の端面に開口することなく、ワーク支持装置２２の
上面に開口するように形成し、ワーク支持板２０及び絶
縁板２１に透設された供給口から、各供給孔３８内に清
浄液を供給するように構成すること。このように構成し
ても、前記各実施形態と同様な効果を享受できる。
置２２において、各供給溝３８の一端をワーク支持装置
２２の端面に開口することなく、ワーク支持装置２２の
上面に開口するように形成し、ワーク支持板２０及び絶
縁板２１に透設された供給口から、各供給孔３８内に清
浄液を供給するように構成すること。このように構成し
ても、前記各実施形態と同様な効果を享受できる。
【００４３】（３） 絶縁板２１を使用することなく、
ワーク支持装置２２をワーク支持板２０に直接的に接着
固定するように構成すること。 （４） 清浄媒体として、圧縮エアを使用すること。あ
るいは、圧縮エアに清浄液をミスト状に混合したものを
使用すること。このようにすれば、前記各実施形態と同
様にウェハ清浄をより効率的に行うことができるととも
に、清浄液が不要になったり、清浄液の使用量を少なく
したりできる。
ワーク支持装置２２をワーク支持板２０に直接的に接着
固定するように構成すること。 （４） 清浄媒体として、圧縮エアを使用すること。あ
るいは、圧縮エアに清浄液をミスト状に混合したものを
使用すること。このようにすれば、前記各実施形態と同
様にウェハ清浄をより効率的に行うことができるととも
に、清浄液が不要になったり、清浄液の使用量を少なく
したりできる。
【００４４】（５） ワイヤ１５の抜き取り終了後に、
清浄媒体を供給管路３５から口金３４を介して各供給溝
３２，３３内に圧送して、第２供給溝３３の下端開口か
ら噴出させ、スライス加工後の各ウェハ２３ａ間に供給
して、各ウェハ２３ａを清浄にすること。このようにす
れば、ウェハ清浄をより効果的に行うことができる。
清浄媒体を供給管路３５から口金３４を介して各供給溝
３２，３３内に圧送して、第２供給溝３３の下端開口か
ら噴出させ、スライス加工後の各ウェハ２３ａ間に供給
して、各ウェハ２３ａを清浄にすること。このようにす
れば、ウェハ清浄をより効果的に行うことができる。
【００４５】前記実施例から把握される技術的思想は以
下の通りである。 （１） ワイヤによりインゴット状のワークをウェハ状
にスライス加工する際に、ワークを接着支持してワイヤ
ソーに装着するためのワーク支持装置を備え、そのワー
ク支持装置にはスライス加工後の各ウェハ間に清浄媒体
を供給する供給手段を設け、スライス加工終了にともな
い、ワイヤをウェハ間から抜くときに前記供給手段によ
りウェハ間に清浄媒体を供給するウェハの清浄方法。
下の通りである。 （１） ワイヤによりインゴット状のワークをウェハ状
にスライス加工する際に、ワークを接着支持してワイヤ
ソーに装着するためのワーク支持装置を備え、そのワー
ク支持装置にはスライス加工後の各ウェハ間に清浄媒体
を供給する供給手段を設け、スライス加工終了にともな
い、ワイヤをウェハ間から抜くときに前記供給手段によ
りウェハ間に清浄媒体を供給するウェハの清浄方法。
【００４６】このような方法を採用すれば、各ウェハの
両端面に付着しているスラリをほぼ清浄除去することが
できて、後工程において各ウェハの清浄を簡単に行うこ
とができるとともに、各ウェハをワーク支持装置から剥
離して１枚ずつ分離させる際に、その分離作業を容易に
行うことができる。
両端面に付着しているスラリをほぼ清浄除去することが
できて、後工程において各ウェハの清浄を簡単に行うこ
とができるとともに、各ウェハをワーク支持装置から剥
離して１枚ずつ分離させる際に、その分離作業を容易に
行うことができる。
【００４７】（２） 前記供給手段を、ウェハの配列方
向に延びる供給路により構成し、スライス加工終了に際
して、支持具の下部を切断することにより、供給路をウ
ェハ間に開口させる前記（１）項に記載のウェハの清浄
方法。
向に延びる供給路により構成し、スライス加工終了に際
して、支持具の下部を切断することにより、供給路をウ
ェハ間に開口させる前記（１）項に記載のウェハの清浄
方法。
【００４８】このような方法を採用すれば、不要な時期
における清浄媒体の噴出を防止して、円滑かつ正確な加
工を達成できる。 （３） 清浄媒体が清浄液ミストを含む圧縮エアである
前記（１）または（２）項に記載のウェハ清浄方法。
における清浄媒体の噴出を防止して、円滑かつ正確な加
工を達成できる。 （３） 清浄媒体が清浄液ミストを含む圧縮エアである
前記（１）または（２）項に記載のウェハ清浄方法。
【００４９】このような方法を採用すれば、前記両実施
形態と同様にウェハ清浄をより効率的に行うことができ
るとともに、清浄液の使用量を少なくできる。 （４）ワイヤによりワークをウェハ状にスライス加工す
る際に、ワークを接着支持してワイヤソーに装着するた
めのワーク支持装置を備え、そのワーク支持装置にはス
ライス加工後の各ウェハ間に清浄媒体を供給する供給手
段を設け、スライス加工終了にともない、ワイヤをウェ
ハ間から抜き取った後に前記供給手段によりウェハ間に
清浄媒体を供給するウェハの清浄方法。
形態と同様にウェハ清浄をより効率的に行うことができ
るとともに、清浄液の使用量を少なくできる。 （４）ワイヤによりワークをウェハ状にスライス加工す
る際に、ワークを接着支持してワイヤソーに装着するた
めのワーク支持装置を備え、そのワーク支持装置にはス
ライス加工後の各ウェハ間に清浄媒体を供給する供給手
段を設け、スライス加工終了にともない、ワイヤをウェ
ハ間から抜き取った後に前記供給手段によりウェハ間に
清浄媒体を供給するウェハの清浄方法。
【００５０】このような方法を採用すれば、ウェハ清浄
をより効果的に行うことができる。 （５） インゴット状のワークをウェハ状にスライス加
工するワイヤソーにおいて、ワークを支持するためのワ
ーク支持装置が設けられ、スライス加工後の各ウェハ間
に清浄媒体を供給する供給路と、装置フレームに設けら
れ、その供給路に清浄媒体を送るためのポンプ等の送給
手段とを備えたワイヤソー。
をより効果的に行うことができる。 （５） インゴット状のワークをウェハ状にスライス加
工するワイヤソーにおいて、ワークを支持するためのワ
ーク支持装置が設けられ、スライス加工後の各ウェハ間
に清浄媒体を供給する供給路と、装置フレームに設けら
れ、その供給路に清浄媒体を送るためのポンプ等の送給
手段とを備えたワイヤソー。
【００５１】このように構成すれば、前記実施態様と同
様な効果を享受できる。
様な効果を享受できる。
【００５２】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１，２，５，
６，７の発明によれば、ワークのスライス加工後に、各
ウェハの両側面に付着しているスラリを確実に清浄除去
することができて、後工程の清浄が簡単になるととも
に、隣接するウェハが互いに密着するのを防止すること
ができて、後工程で各ウェハをワーク支持装置から剥離
して１枚ずつ分離させる際に、その分離作業を容易に行
うことができる。
るため、次のような効果を奏する。請求項１，２，５，
６，７の発明によれば、ワークのスライス加工後に、各
ウェハの両側面に付着しているスラリを確実に清浄除去
することができて、後工程の清浄が簡単になるととも
に、隣接するウェハが互いに密着するのを防止すること
ができて、後工程で各ウェハをワーク支持装置から剥離
して１枚ずつ分離させる際に、その分離作業を容易に行
うことができる。
【００５３】請求項３及び８の発明によれば、ワーク支
持装置の下面がワイヤにより切断されるまでは、清浄液
がウェハ間に供給されることがない。このため、不要な
時期における清浄液の供給を防止して、円滑かつ正確な
切断加工を達成できる。
持装置の下面がワイヤにより切断されるまでは、清浄液
がウェハ間に供給されることがない。このため、不要な
時期における清浄液の供給を防止して、円滑かつ正確な
切断加工を達成できる。
【００５４】請求項４の発明によれば、清浄液の供給路
を溝加工のみで得ることができ、供給路の形成を簡単に
行うことができる。請求項９の発明によれば、清浄媒体
として、圧縮エアが使用されるため、清浄液が不要とな
り、ランニングコストの低下を達成できる。
を溝加工のみで得ることができ、供給路の形成を簡単に
行うことができる。請求項９の発明によれば、清浄媒体
として、圧縮エアが使用されるため、清浄液が不要とな
り、ランニングコストの低下を達成できる。
【００５５】請求項１０の発明によれば、清浄液がミス
トであるため、その使用量を低減でき、ランニングコス
トの低下を達成できる。
トであるため、その使用量を低減でき、ランニングコス
トの低下を達成できる。
【図１】 第１実施形態のワーク支持装置を備えたワイ
ヤソーの正面図。
ヤソーの正面図。
【図２】 そのワーク支持装置の関連構造を拡大して示
す部分側断面図。
す部分側断面図。
【図３】 図２の３−３線における断面図。
【図４】 ワーク支持装置の第２実施形態を示す部分側
断面図。
断面図。
【図５】 図４の５−５線における断面図。
【図６】 別の実施形態を示す断面図。
１１…切断機構、１３…フレーム、１４…加工用ロー
ラ、１５…切断用ワイヤ、１７…ワーク支持機構、２０
…ワーク支持板、２２…ワーク支持装置、２３…ワー
ク、２３ａ…ウェハ、２４…スラリ供給パイプ、３１…
支持面、３２…供給手段としての供給路を構成する第１
供給溝、３３…供給手段としての供給路を構成する第２
供給溝、３８…供給手段としての供給路を構成する供給
孔、３９…供給手段としての供給路を構成する供給溝。
ラ、１５…切断用ワイヤ、１７…ワーク支持機構、２０
…ワーク支持板、２２…ワーク支持装置、２３…ワー
ク、２３ａ…ウェハ、２４…スラリ供給パイプ、３１…
支持面、３２…供給手段としての供給路を構成する第１
供給溝、３３…供給手段としての供給路を構成する第２
供給溝、３８…供給手段としての供給路を構成する供給
孔、３９…供給手段としての供給路を構成する供給溝。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年２月９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
Claims (10)
- 【請求項１】 ワイヤソーによりワークをウェハ状にス
ライス加工する際に、ワークを支持してワイヤソーに装
着するためのワーク支持装置において、 スライス加工後の各ウェハ間に同ウェハを清浄にするた
めの清浄媒体を供給する供給手段を備えたワイヤソーの
ためのワーク支持装置。 - 【請求項２】 前記供給手段は、ウェハの配列方向に延
びるとともに、各ウェハ間に開口する供給路である請求
項１に記載のワイヤソーのためのワーク支持装置。 - 【請求項３】 供給路は、ワークの切断終了時にワーク
支持装置の下面がワーク切断と連続して切断されること
によりウェハ間に開口する請求項２に記載のワーク支持
装置。 - 【請求項４】 前記供給路は、ワークを接着支持する支
持面と、その支持面と反対側の面との間に透設された溝
である請求項２または３に記載のワイヤソーのためのワ
ーク支持装置。 - 【請求項５】 前記供給路は、ウェハの配列方向の一端
側に開口する孔である請求項２または３に記載のワイヤ
ソーのためのワーク支持装置。 - 【請求項６】 ワークをウェハ状にスライス加工するワ
イヤソーにおいて、請求項１〜５のいずれかに記載のワ
ーク支持装置と、そのワーク支持装置の供給路に清浄媒
体を送るためのポンプ等の送給手段とを有するワイヤソ
ー。 - 【請求項７】 ワイヤによりワークをウェハ状にスライ
ス加工する際に、ワークを接着支持してワイヤソーに装
着するためのワーク支持装置を備え、そのワーク支持装
置にはスライス加工後の各ウェハ間に清浄媒体を供給す
る供給手段を設け、スライス加工終了にともない、ワイ
ヤをウェハ間から抜くときに前記供給手段によりウェハ
間に清浄媒体を供給するウェハの清浄方法。 - 【請求項８】 前記供給手段を、ウェハの配列方向に延
びる供給路により構成し、スライス加工終了に際して、
支持具の下部を切断することにより、供給路をウェハ間
に開口させる請求項７に記載のウェハの清浄方法。 - 【請求項９】 清浄媒体が圧縮エアである請求項７また
は８に記載のウェハ清浄方法。 - 【請求項１０】 圧縮エアが清浄液ミストを含む請求項
９に記載のウェハ清浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8015975A JPH09207126A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | ワイヤソーのためのワーク支持装置、清浄方法及びワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8015975A JPH09207126A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | ワイヤソーのためのワーク支持装置、清浄方法及びワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09207126A true JPH09207126A (ja) | 1997-08-12 |
Family
ID=11903712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8015975A Pending JPH09207126A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | ワイヤソーのためのワーク支持装置、清浄方法及びワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09207126A (ja) |
Cited By (16)
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| WO2011009927A1 (de) * | 2009-07-23 | 2011-01-27 | Gebr. Schmid Gmbh & Co. | Vorrichtung zur reinigung von substraten an einem träger |
| EP2298520A1 (de) * | 2009-09-17 | 2011-03-23 | Gebrüder Decker GmbH & Co. KG | Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen von Wafern |
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1996
- 1996-01-31 JP JP8015975A patent/JPH09207126A/ja active Pending
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