JPH09210290A - 真空断熱材の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明はゲッタ剤の吸着能力を十分に保持し
たままガスバリア容器に封入し、内圧を低くするととも
に、熱伝導率の経時的安定性の高い真空断熱材の製造方
法及び製造装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明の真空断熱材の製造方法は、排気
手段を有するチャンバ内に内部にコア材とゲッタ剤が配
置された開口部を有するガスバリア容器を配置する工程
と、このゲッタ剤を局部的に加熱しながらチャンバ内を
減圧する工程と、ガスバリア容器の開口部を封止する工
程とを有することを特徴とし、本発明の真空断熱材の製
造装置は、排気手段を有するチャンバと、このチャンバ
内に配設された、内部にコア材とゲッタ剤が配置された
開口部を有するガスバリア容器を載置するための載置台
と、載置台に載置されたガスバリア容器内に配置された
ゲッタ剤を加熱する加熱手段と、載置台のガスバリアの
開口部に対応する位置に配設され、このガスバリア容器
の開口部を封止する封止手段とを具備したことを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は真空断熱材の製造方
法及び製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガスバリア容器に例えば無機粉末材、ガ
ラス繊維のマット材、連続気泡構造の有機フォーム材な
どからなるコア材を充填し、容器内を減圧してガスバリ
ア容器を封止した真空断熱材が知られている。

【０００３】このような充填物内部に空隙を有するタイ
プの真空断熱材の熱伝導率は、一般に、空隙に存在する
気体の熱伝達、充填物の接触熱伝導、輻射伝達、対流に
起因する熱伝導の４つの要素の和として表わされる。

【０００４】実用化されている真空断熱材では、これら
の要素のうち空隙に存在する気体の熱伝達による熱伝導
率成分が支配的であり、充填物の空隙が小さいほど、ま
た、空隙に存在する気体の圧力が低いほど真空断熱材の
熱伝導率は小さくなる。

【０００５】図７は、代表的な３種類の充填材（コア
材）を用いて作製した真空断熱パネルの内圧と熱伝導率
との関係を示す図である。

【０００６】これらのパネルは、最内層に熱融着層を有
するアルミニウムとプラスティックラミネートフィルム
のガスバリア容器に、乾燥したコア材を充填し、ガスバ
リア容器内を排気後熱融着して作製した袋状（パウチタ
イプ）の真空断熱パネルである。コア材としてポリウレ
タンフォームを用いた真空断熱材Ｓ、コア材としてシリ
カ粉末を用いた真空断熱材Ｔ、及びコア材としてグラス
ファイバーマット積層品を用いた真空断熱材Ｕについて
その内圧と熱伝導率との関係を示している。

【０００７】このように、真空断熱パネルの熱伝導率は
ガスバリア容器内の圧力に依存していることがわかる。
したがって、真空断熱パネルの断熱性能を長期間維持す
るためには、ガスバリア容器内の圧力を一定に維持する
ことが重要である。

【０００８】ガスバリア容器内の圧力を上昇させる主な
要因としては、パネル外部からのガスリークとパネル内
部からのガス発生とがある。このようなガスとしては、
Ｈ₂Ｏ、空気（Ｎ₂ 、Ｏ₂ 、ＣＯ₂ ）などがあり、真空
断熱材の周囲にハロゲン化炭化水素を発泡剤に用いたポ
リウレタンなどがある場合には、ハロゲン化炭化水素も
昇圧要因ガスとなる。

【０００９】パネル外部からのガスリークには、ガスバ
リア容器自体をガスが透過するガスリークや、ガスバリ
ア容器の熱融着部をガスが透過するガスリークなどがあ
る。一方、パネル内部からのガス発生には、ガスバリア
容器内表面、コア材及びその他の充填材に吸着していた
ガスの脱着によるガス発生や、低沸点残留物及びその他
の分解・反応生成物によるガス発生などがある。

【００１０】したがって、真空断熱材の熱伝導率の経時
的な増大、すなわち真空断熱材の経時劣化を最小限に抑
制するためには、上述のガスリークやガス発生を低減す
ることが必要である。

【００１１】このようなガスリークやガス発生の低減対
策の１つとして、ガスバリア容器外からリークしたガス
や、ガスバリア容器内で発生したガスを吸着するガス吸
着剤であるゲッタ剤をガスバリア容器内に充填材ととも
に配置する方法が知られている。

【００１２】ガス吸着剤としては、表面積の大きな無機
系または有機系の多孔質物質が用いられている。吸着の
タイプも主として物理吸着によるものや、主として化学
吸着によるものなど種々の吸着剤が知られている。

【００１３】代表的な吸着剤としてはゼオライトや活性
炭があり、特に合成ゼオライトは水分吸着能力が高く、
真空断熱材の吸着剤（ゲッタ剤）として一般的に用いら
れている。

【００１４】ところでこのようなガス吸着剤は、吸着速
度・吸着能力が大きいという長所がある反面、特に真空
断熱材の製造時に以下のような問題がある。

【００１５】真空排気する工程でガス吸着剤自体に吸着
している吸着物質を完全に除去することは困難であり、
ガスバリア容器の開口部を封止した後、ガス吸着剤に残
った吸着物質が徐々に脱着し、ガスバリア容器内圧を上
昇させてしまうのである。吸着物質としては水蒸気が主
要であり、この他にも空気、ハロゲン化炭化水素などの
有機物がある。

【００１６】このような問題に対しては、ガス吸着剤を
減圧下で加熱して吸着物質を除去する前処理を行った
後、ガスバリア容器内に挿入し、充填材とともに減圧、
封止する方法が提案されている。しかしながら、前処理
後の取扱いが難しく、ガス吸着剤に再吸着が起こって前
処理が無効になってしまうという問題がある。

【００１７】また、減圧下で吸着物質の脱着処理を行っ
たガス吸着剤を、密封あるいは難吸着性ガス雰囲気中に
保存して、真空断熱材のガスバリア容器内に導入すると
いう手法も提案されているが、工程が複雑で品質管理が
難しく、またコスト増を招くという問題がある。

【００１８】一方、真空断熱材の製造工程において、コ
ア材、ゲッタ剤、ガスバリア容器などの真空断熱材の構
成材料の乾燥は、真空断熱材の内圧を低くしかつ維持す
るという観点から必要不可欠であり、さらに真空排気の
工程での排気速度向上や吸着物質の除去のために、排気
系全体を加熱する方法が提案されている。

【００１９】しかしながらコア材、ゲッタ剤、ガスバリ
ア容器などの真空断熱材の構成材料全体を加熱しても、
ゲッタ剤の吸着能力が高いためにコア材、ガスバリア容
器など系内の脱着ガスを吸着してしまい、ゲッタ剤の吸
着物質の脱着は効率的に行えないという問題がある。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解決するためになされたものである。すなわち本発
明はゲッタ剤の吸着能力を十分に保持したままガスバリ
ア容器に封入し、内圧を低くするとともに、熱伝導率の
経時的安定性の高い真空断熱材の製造方法を提供するこ
とを目的とする。

【００２１】また本発明はゲッタ剤の吸着能力を十分に
保持したままガスバリア容器に封入できる真空断熱材の
製造装置を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明の真空断熱材の製
造方法は、排気手段を有するチャンバ内に内部にコア材
とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリア容器
を配置する工程と、このゲッタ剤を局部的に加熱しなが
らチャンバ内を減圧する工程と、ガスバリア容器の開口
部を封止する工程とを有することを特徴とする。

【００２３】また本発明の真空断熱材の製造方法は、排
気手段を有するチャンバ内に、内部にコア材が配置され
た開口部を有するガスバリア容器を配置する工程と、ゲ
ッタ剤を加熱する工程と、ガスバリア容器内に加熱した
ゲッタ剤を配置する工程と、チャンバ内を減圧する工程
と、ガスバリア容器の開口部を封止する工程とを有する
ことを特徴とする。すなわち、ゲッタ剤はガスバリア容
器内で加熱するようにしてもよいし、加熱してからガス
バリア容器内に導入するようにしてもよい。

【００２４】また、本発明の真空断熱材の製造方法は、
排気手段を有するチャンバ内に、内部にコア材とゲッタ
剤が配置された開口部を有するガスバリア容器を配置す
る工程と、ゲッタ剤を該ゲッタ剤へ吸着した吸着物質が
脱離する温度より高くかつガスバリア容器及びコア材の
耐熱温度より低い温度になるように局部的に加熱しなが
らチャンバ内を減圧する工程と、ゲッタ剤の温度及び前
記チャンバ内の圧力を維持したままガスバリア容器の開
口部を封止する工程とを有することを特徴とする。

【００２５】さらに、本発明の真空断熱材の製造方法
は、排気手段を有するチャンバ内に、内部にコア材が配
置された開口部を有するガスバリア容器を配置する工程
と、ゲッタ剤を該ゲッタ剤へ吸着した吸着物質が脱離す
る温度より高くかつガスバリア容器及びコア材の耐熱温
度より低い温度になるように加熱する工程と、ガスバリ
ア容器内に前記加熱したゲッタ剤を配置する工程と、チ
ャンバ内を減圧する工程と、ゲッタ剤の温度及びチャン
バ内の圧力を維持したままガスバリア容器の開口部を封
止する工程とを有することを特徴とする。

【００２６】ゲッタ剤の加熱は熱伝導により加熱するよ
うにしてもよい。また、輻射により加熱するようにして
もよく、さらに、マイクロ波により加熱するようにして
もよい。

【００２７】すなわち、本発明の真空断熱材の製造方法
は、ゲッタ剤の吸着能力を維持したままガスバリア容器
内に封じ込めるために、ゲッタ剤を加熱するとともに吸
着物質の脱着温度より高い温度に保ったまま系内を排気
してガスバリア容器を封止するものである。

【００２８】用いるゲッタ剤は耐熱温度の観点から無機
系のものが適しており、例えばゼオライトなどをもちい
るようにしてもよい。

【００２９】ゲッタ剤は、ガスバリア容器内にコア材と
ともに配置してから、ゲッタ剤のみを加熱するようにし
てもよいし、ゲッタ剤を加熱してからガスバリア容器内
に導入するようにしてもよい。また、チャンバ外で加熱
してから、チャンバ内に導入しガスバリア容器内に配置
するようにしてもよい。ゲッタ剤の加熱は、コア材やガ
スバリア容器に悪影響を及ぼさないように、ゲッタ剤を
局部的に加熱することが好ましい。系内の圧力は１０^-1
Ｔｏｒｒ程度以下まで減圧するようにすればよく、１０
^-2〜１０^-3Ｔｏｒｒ程度まで減圧すればさらに好適であ
る。

【００３０】このようにガスバリア容器外で加熱してか
らガスバリア容器内に導入する場合でも、ゲッタ剤の温
度を吸着物質の脱着温度より高い温度に保つことにより
ゲッタ剤の取扱いが容易になる。

【００３１】ゲッタ剤を加熱する際の加熱手段として
は、ヒーターなどにより伝導加熱してもよいし、ハロゲ
ンランプなどを用いて輻射により加熱するようにしても
よい。また、導波管を用いてマイクロ波で加熱するよう
にしてもよい。

【００３２】ゲッタ剤を加熱してからガスバリア容器内
に導入する場合にも同様の加熱手段を用いるようにして
もよい。

【００３３】ゲッタ剤の温度は吸着物質の脱着温度より
高い温度に保つとともに、コア材やガスバリア容器に悪
影響を与えないような温度に調節する必要がある。ガス
バリア容器内でゲッタ剤を局部的に加熱する場合には、
コア材及びガスバリア容器の耐熱温度以下に制御して加
熱する必要があるし、ゲッタ剤を加熱してからガスバリ
ア容器内に導入する際にも、ゲッタ剤はコア材及びガス
バリア容器の耐熱温度以下の状態で導入する必要があ
る。

【００３４】用いるコア材、ガスバリア容器によりその
耐熱温度は異なるから、ゲッタ剤の加熱温度は用いるコ
ア材、ガスバリア容器の組み合わせにより必要に応じて
調節するようにすればよい。

【００３５】例えば、ガスバリア容器としてポリプロピ
レン、アルミニウム箔、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを積層したガスバリアフィルムを用いて、このガ
スバリア容器内に充填・密封するコア材としてポリウレ
タン連通フォームを、ゲッタ剤としてゼオライト（ユニ
オン昭和（株）製、モレキュラーシーブ１３Ｘ：商品
名）を用いた場合、ガスバリアフィルムの耐熱温度は１
００〜１５０℃程度、ポリウレタンの耐熱温度は１１０
〜１５０℃程度であるから、ゲッタ剤を１００〜１５０
℃程度の加熱状態で排気・密封することができる。この
温度では、ゲッタ剤の吸着物質として主要な物質である
Ｈ₂ Ｏ（水蒸気）はゲッタ剤から十分に脱着する。

【００３６】また例えば、ガスバリア容器としてステン
レススチール箔を、またコア材としてシリカ（徳山曹達
（株）製、トクシールＰ：商品名）やガラス繊維などの
より耐熱温度の高い材料を用いることにより、ゲッタ剤
もより高い温度、例えば２００℃以上で減圧することが
できる。

【００３７】本発明の真空断熱材の製造装置は、上述し
た本発明の真空断熱材の製造方法を具体化する手段の１
例を提供するものである。

【００３８】本発明の真空断熱材の製造装置は、排気手
段を有するチャンバと、このチャンバ内に配設された、
内部にコア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガ
スバリア容器を載置するための載置台と、載置台に載置
されたガスバリア容器内に配置されたゲッタ剤を加熱す
る加熱手段と、載置台のガスバリアの開口部に対応する
位置に配設され、このガスバリア容器の開口部を封止す
る封止手段とを具備したことを特徴とする。

【００３９】ゲッタ剤の加熱は例えばヒーターなどによ
り熱伝導により加熱するようにしてもよい。また、例え
ばハロゲンランプなどにより輻射により加熱するように
してもよく、さらに、例えばマグネトロンと導波管を用
いてマイクロ波により加熱するようにしてもよい。

【００４０】すなわち本発明の真空断熱材の製造装置
は、チャンバ内でガスバリア容器内にコア材及びゲッタ
剤が配置された状態で、ガスバリア容器及びコア材に悪
影響を及ぼすことなく、ゲッタ剤の主要な吸着物質の脱
着温度以上に加熱できる加熱手段を具備したことを特徴
とする。この加熱手段はゲッタ剤を局部的に加熱できる
ことが好ましく、前述のように例えば、ヒーターなどに
よる伝導加熱手段、ハロゲンランプなどの輻射による加
熱手段、また導波管などのマイクロ波による加熱手段を
備えるようにしてもよい。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態について
図に基づいて説明する。

【００４２】図１は本発明の真空断熱材の製造装置の１
例を概略的に示す図である。

【００４３】この真空断熱材の製造装置は排気手段１０
１を有するチャンバ１０２内に、ガスバリア容器１０３
を載置する載置台１０４と、ガスバリア容器１０３の開
口部１０３ａを封止するシーラー１０５が配設されてい
る。ガスバリア容器内には、コア材１０６及びゲッタ剤
１０７が配置されている。

【００４４】また、載置台１０４のガスバリア容器１０
３内に配置されるゲッタ剤１０７に対応する位置には、
ゲッタ剤１０７を加熱するための加熱手段であるヒータ
ー１０８が配設されている。このヒーター１０８は、ゲ
ッタ剤１０７の吸着物質を脱離するとともに、コア材１
０６及びガスバリア容器１０３に悪影響を及ぼさないよ
うな温度に調節して加熱するための温度調節手段を備え
ている。

【００４５】排気手段としてはロータリーポンプ、油拡
散ポンプ、ターボ分子ポンプなど適宜選択して用いるよ
うにすればよい。

【００４６】図２は本発明の真空断熱材の製造装置の別
の例を概略的に示す図である。この装置においては加熱
手段としてハロゲンランプ１２０を備えている。ハロゲ
ンランプ１２０と集光装置とを組み合わせてゲッタ剤１
０８のみをより選択的に加熱するようにしてもよい。

【００４７】図３は本発明の真空断熱材の製造装置のさ
らに別の例を概略的に示した図である。この装置は加熱
手段としてマグネトロン１３０と導波管１３１を具備し
ており、マイクロ波によりゲッタ剤を加熱するものであ
る。ゲッタ剤１０８を局部的に加熱するとともに、シー
ラー１０５によりガスバリア容器１０３の開口部１０３
ａを気密に封止する際に邪魔にならないように、この加
熱手段は可動に配設されている。

【００４８】つぎに本発明の真空断熱材の製造方法につ
いて説明する。真空断熱材の製造にあたっては、図１乃
至図３に例示したような本発明の真空断熱材の製造装置
を用いるようにしてもよい。

【００４９】まず、チャンバ内にガスバリア容器を配置
し、このガスバリア容器内にコア材とゲッタ剤とを配置
する。コア材、ゲッタ剤は予めガスバリア容器内に配置
してからチャンバ内に導入するようにしてもよい。ゲッ
タ剤はガスバリア容器の封止部近傍に配置するようにし
てもよい。

【００５０】ついで、チャンバを閉鎖してチャンバ内を
排気し、系内を減圧するとともにゲッタ剤を加熱する。
系内の圧力は１０^-1Ｔｏｒｒ程度以下まで減圧するよう
にすればよく、１０^-2〜１０^-3Ｔｏｒｒ程度まで減圧す
ればさらに好適である。加熱温度はゲッタ剤の吸着物質
が脱離するとともに、コア材及びガスバリア容器に悪影
響を及ぼさないような温度に調節して加熱するようにす
ればよい。

【００５１】例えばゼオライトなどのゲッタ剤を１００
℃程度に加熱することにより、主要な吸着物質である水
蒸気を脱着することができる。吸着物質を完全に脱着さ
せるために２００℃〜３００℃程度にまで加熱するよう
にしてもよいが、１００〜１５０℃程度に加熱すること
で十分な吸着能力を確保することができる。

【００５２】ガスバリアフィルムはその材質や構成によ
り耐熱温度は異なるが、８０〜１５０℃程度である。例
えば、ポリエチレンテレフタレート、延伸ナイロン、ア
ルミニウム箔、ポリプロピレンを積層したガスバリアフ
ィルムでは１５０℃程度まで加熱することができる。

【００５３】コア材もその材質により耐熱温度は異なる
が、ポリウレタンでは１１０〜１５０℃程度、シリカ粉
末では５００℃程度、またガラス繊維では３００℃程度
まで加熱することができる。

【００５４】したがってプラスティックフィルムのガス
バリア容器とポリウレタンのコア材の組み合わせた場合
においても１００〜１５０℃程度に維持することによ
り、ガスバリア容器及びコア材に悪影響を及ぼすことな
く、ゲッタ剤に吸着した水分を脱着させることができ
る。したがって、経時劣化の少ない安定して熱伝導率を
低く抑えることのできる真空断熱材を製造することがで
きる。

【００５５】本発明の製造方法により真空断熱材を作製
し、得られた真空断熱材について熱伝導率の経時変化を
測定し、従来の製造方法で作成した真空断熱材と比較し
た。図４は熱伝導率の測定結果を示した図である。

【００５６】作製した真空断熱材は、ポリプロピレン、
アルミニウム箔、ポリエチレンテレフタレートフィルム
を積層したガスバリアフィルム内に、コア材としてポリ
ウレタン連通フォームとゲッタ剤としてゼオライト（ユ
ニオン昭和（株）製、モレキュラーシーブ１３Ｘ：商品
名）を密封したものである。

【００５７】熱伝導率の測定は、製造直後と、温度６０
℃・相対湿度９０％の加速条件下で４０００時間経過後
に行った。

【００５８】真空断熱材Ａは、ゲッタ剤をヒータ加熱し
１２０℃に保持したまま、チャンバ内を減圧し、ガスバ
リアフィルムの開口部を融着により封止したものであ
る。この真空断熱材Ａの熱伝導率は初期値が０．００５
４（Ｗ／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．００
５６（Ｗ／ｍＫ）であった。

【００５９】真空断熱材Ｂはゲッタ剤をマイクロ波加熱
し１３０℃に保持したまま、チャンバ内を減圧し、ガス
バリアフィルムの開口部を融着により封止したものであ
る。この真空断熱材Ｂの熱伝導率は初期値が０．００５
３（Ｗ／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．００
５４（Ｗ／ｍＫ）であった。

【００６０】真空断熱材Ｃは、従来の真空断熱材同様に
ゲッタ剤を特に加熱せず、室温でチャンバ内を減圧し、
ガスバリアフィルムの開口部を融着により封止したもの
である。この真空断熱材Ｃの熱伝導率は初期値が０．０
０５６（Ｗ／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．
００７６（Ｗ／ｍＫ）であった。

【００６１】図４からも明らかなように、本発明の製造
方法による真空断熱材Ａ、真空断熱材Ｂは従来の製造方
法による真空断熱材Ｃに比べ、熱伝導率の経時安定性が
極めて優れていることがわかる。このように本発明の製
造方法により作製した真空断熱材はゲッタ剤を吸着物質
の脱着温度以上に保って系内を減圧し、ガスバリアフィ
ルムを封止しているため、ゲッタ剤の高い吸着能力を維
持したまま、ガスバリアフィルム内に密封することがで
きる。

【００６２】さらに、本発明の製造方法により図４の測
定で用いたものとは異なる真空断熱材を作製し、得られ
た真空断熱材について熱伝導率の経時変化を測定した。

【００６３】作製した真空断熱材は、ステンレススチー
ル箔からなるガスバリア容器内にコア材としてガラス繊
維積層マットとゲッタ剤としてゼオライト（ユニオン昭
和（株）製、モレキュラーシーブ１３Ｘ：商品名）を密
封したものである。

【００６４】図５はその結果を示す図である。

【００６５】真空断熱材Ｄは、ゲッタ剤をハロゲンラン
プで加熱し２００℃に保持したままチャンバ内を減圧
し、ガスバリアフィルムの開口部を封止したものであ
る。この真空断熱材Ｄの熱伝導率は初期値が０．００３
０（Ｗ／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．００
３１（Ｗ／ｍＫ）であった。

【００６６】真空断熱材Ｅは、従来の真空断熱材同様に
ゲッタ剤を特に加熱せず、室温でチャンバ内を減圧し、
ガスバリアフィルムの開口部を封止したものである。こ
の真空断熱材Ｅの熱伝導率は初期値が０．００５９（Ｗ
／ｍＫ）であり、４０００時間経過後は０．００７６
（Ｗ／ｍＫ）であった。

【００６７】図５からもあきらかなように本発明の製造
方法による真空断熱材Ｄは、従来の製造方法による真空
断熱材Ｅに比べ、熱伝導率の経時安定性が極めて優れて
いることがわかる。

【００６８】図６は加熱排気の前後でのゲッタ剤の水分
吸着量を、乾燥条件下で水分計により測定した。

【００６９】ゲッタ剤はゼオライト（ユニオン昭和
（株）製、モレキュラーシーブ１３Ｘ：商品名）を用い
た。

【００７０】ゲッタ剤Ｍは乾燥条件下での水分吸着量を
水分計により測定した後、ヒータ加熱して１３５℃に保
持したまま排気し（０．１Ｔｏｒｒ以下）再び乾燥条件
下での水分吸着量を測定した。加熱排気前の水分吸着量
は３．８ｗｔ％であったのに対し、加熱排気後は０．４
ｗｔ％にまで減少した。

【００７１】ゲッタ剤Ｎは乾燥条件下での水分吸着量を
水分計により測定した後、マイクロ波加熱して２００℃
に保持したまま排気し（０．１Ｔｏｒｒ以下）再び乾燥
条件下での水分吸着量を測定した。加熱排気前の水分吸
着量は３．６ｗｔ％であったのに対して、加熱排気後は
０．３ｗｔ％にまで減少した。

【００７２】ゲッタ剤Ｏは比較例として、乾燥条件下で
の水分吸着量を水分計により測定した後、加熱せずに排
気して、再び乾燥条件下での水分吸着量を測定した。排
気前の水分吸着量は３．５ｗｔ％であったのに対し排気
後は３．０ｗｔ％であった。このように、ゲッタ剤の温
度を吸着物質の脱着温度以上に保ちながら排気すること
により、ゲッタ剤に吸着した物質を効率的に脱着させる
ことができる。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空断熱
材の製造方法によれば、ゲッタ剤を吸着物質の脱着温度
以上に保って系内を減圧するため、ゲッタ剤の高い吸着
能力を維持したまま、ガスバリアフィルム内に密封する
ことができる。したがって、内圧を低いまま維持し、熱
伝導率の経時的安定性の高い真空断熱材を製造すること
ができる。

【００７４】また、本発明の真空断熱材の製造方法によ
れば、ゲッタ剤を局部的に加熱するので、コア材やガス
バリア容器から脱着したガスがゲッタ剤に再吸着するの
を防ぐことができる。さらにゲッタ剤を局部的に加熱す
ることにより、ガスバリア容器やコア材に耐熱性の低い
材料を用いることができる。

【００７５】本発明の真空断熱材の製造装置はゲッタ剤
を局部的に加熱する加熱手段を備えており、この加熱手
段によりゲッタ剤を吸着物質の脱着温度より高くかつガ
スバリア容器及びコア材の耐熱温度より低い温度になる
ように加熱しながらガスバリア容器内を排気、封止する
ことができる。したがって、内圧を低いまま維持し、熱
伝導率の経時的安定性の高い真空断熱材を製造すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空断熱材製造装置の１例を概略的に
示す図。

【図２】本発明の真空断熱材製造装置の１例を概略的に
示す図。

【図３】本発明の真空断熱材製造装置の１例を概略的に
示す図。

【図４】本発明の製造方法により作成した真空断熱材の
熱伝導率の経時変化を示す図。

【図５】本発明の製造方法により作成した別の真空断熱
材の熱伝導率の経時変化を示す図。

【図６】加熱排気の前後でのゲッタ剤の水分吸着量の変
化を示す図。

【図７】真空断熱材の内圧と熱伝導率の相関関係を示す
図。

【符号の説明】

１０１……排気手段、１０２……チャンバ、１０３……
ガスバリア容器 １０４……載置台、１０５……シーラー、１０６……コ
ア材 １０７……ゲッタ剤、１０８……ヒーター、１２０……
ハロゲンランプ １３０……マグネトロン、１３１……導波管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹島 久美子 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝住空間システム技術研究所内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 排気手段を有するチャンバ内に、内部に
   コア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリ
   ア容器を配置する工程と、 前記ゲッタ剤を局部的に加熱しながら前記チャンバ内を
   減圧する工程と、 前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程とを有する
   ことを特徴とする真空断熱材の製造方法。
2. 【請求項２】 排気手段を有するチャンバ内に、内部に
   コア材が配置された開口部を有するガスバリア容器を配
   置する工程と、 ゲッタ剤を加熱する工程と、 前記ガスバリア容器内に加熱したゲッタ剤を配置する工
   程と、 前記チャンバ内を減圧する工程と、 前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程とを有する
   ことを特徴とする真空断熱材の製造方法。
3. 【請求項３】 排気手段を有するチャンバ内に、内部に
   コア材とゲッタ剤が配置された開口部を有するガスバリ
   ア容器を配置する工程と、 前記ゲッタ剤を該ゲッタ剤へ吸着した吸着物質が脱離す
   る温度より高くかつ前記ガスバリア容器及び前記コア材
   の耐熱温度より低い温度になるように加熱しながら前記
   チャンバ内を減圧する工程と、 前記ゲッタ剤の温度および前記チャンバ内の圧力を維持
   したまま前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程と
   を有することを特徴とする真空断熱材の製造方法。
4. 【請求項４】 排気手段を有するチャンバ内に、内部に
   コア材が配置された開口部を有するガスバリア容器を配
   置する工程と、 ゲッタ剤を該ゲッタ剤へ吸着した吸着物質が脱離する温
   度より高くかつ前記ガスバリア容器及び前記コア材の耐
   熱温度より低い温度になるように加熱する工程と、 前記ガスバリア容器内に前記加熱したゲッタ剤を配置す
   る工程と、 前記チャンバ内を減圧する工程と、 前記ゲッタ剤の温度および前記チャンバ内の圧力を維持
   したまま前記ガスバリア容器の開口部を封止する工程と
   を有することを特徴とする真空断熱材の製造方法。
5. 【請求項５】 前記ゲッタ剤の加熱は輻射により加熱す
   ることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに
   記載の真空断熱材の製造方法。
6. 【請求項６】 前記ゲッタ剤の加熱は誘導加熱により加
   熱することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれ
   かに記載の真空断熱材の製造方法。
7. 【請求項７】 排気手段を有するチャンバと、 このチャンバ内に配設された、内部にコア材とゲッタ剤
   が配置された開口部を有するガスバリア容器を載置する
   ための載置台と、 前記載置台に載置された前記ガスバリア容器内に配置さ
   れた前記ゲッタ剤を加熱する加熱手段と、 前記載置台の前記ガスバリアの開口部に対応する位置に
   配設され、このガスバリア容器の開口部を封止する封止
   手段とを具備したことを特徴とする真空断熱材の製造装
   置。
8. 【請求項８】 前記加熱手段は輻射によることを特徴と
   する請求項７記載の真空断熱材の製造装置。
9. 【請求項９】 前記加熱手段は誘導加熱によることを特
   徴とする請求項７記載の真空断熱材の製造装置。