JPH09211465A - 光配向用光照射装置及び光照射方法 - Google Patents

光配向用光照射装置及び光照射方法

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JPH09211465A
JPH09211465A JP9020509A JP2050997A JPH09211465A JP H09211465 A JPH09211465 A JP H09211465A JP 9020509 A JP9020509 A JP 9020509A JP 2050997 A JP2050997 A JP 2050997A JP H09211465 A JPH09211465 A JP H09211465A
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JP
Japan
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light
alignment
irradiating
light irradiation
irradiation device
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JP9020509A
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English (en)
Inventor
Jong Hyun Kim
種 賢 金
Ki Hyuk Yoon
基 赫 尹
Joung Won Woo
晶 源 禹
Mi Sook Nam
美 淑 南
Yoo Jin Choi
有 鎭 崔
Jin Hee Jung
眞 希 鄭
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LG Electronics Inc
Original Assignee
LG Electronics Inc
Gold Star Co Ltd
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    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133788—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by light irradiation, e.g. linearly polarised light photo-polymerisation

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 大面積の画面の液晶表示装置を得るために、
配向膜に均一な光エネルギーを提供して液晶の配列方向
を決定するプレチルトを付与する。 【解決手段】 紫外線ランプ、レンズ、光を偏光させる
偏光板、配向膜が塗布された基板からなり、紫外線ラン
プ、レンズ及び偏光板は一直線上に配列されて、光は基
板に対し一定の角度に傾斜して照射される。また、上記
紫外線ランプ、レンズ及び偏光板がケーシングに装着さ
れスキャンモータがケーシング又は基板に装着されて光
が基板に対し移動しながら照射される。光源が配向膜に
順次反復照射することで配向膜に均一な光エネルギーを
付与し全配向膜にプレチルトが決定される。この際、光
のスポットの移動は配向膜の外部から他方の外部まで照
射して末端を含む全ての配向膜領域に均一なエネルギー
を付与する。スポットは上下移動時にビーム均一性が補
償される５ｍｍ以下の範囲で移動すべく調節される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光照射装置及び光
照射方法に関するものであって、特に、液晶表示装置の
画面の大面積化のために、配向膜の光配向時に紫外線が
該配向膜に均一でかつ広範囲に照射されるようにする光
配向用光照射装置及び光照射方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】現在、主に用いられている液晶セルは、
ツイストネマチック（Twisted Nematic：TN）液晶セル
であるが、各視野角によって光透過度が変わり色調の反
転が発生して視野角の範囲が制限される。特に、左右方
向の視野角では光透過率が対照的であるが、上下方向の
視野角では光透過率が非対照的になるので、この方向で
の視野角の範囲が非常に制限される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記問題を解決するた
め、液晶セルの一画素にドメインを分けて液晶セル内の
液晶の配列を決定するプレチルトを各基板の各ドメイン
に付与することによって単一ドメインの視野角依存性を
補償するマルチドメイン（multi−domain）液晶セルが
提案された。
【０００４】しかし、上記マルチドメイン液晶セルの制
作工程は、従来の逆方向ラビング法を配向方法として適
用する場合、次の段階を含めて非常に複雑になる。即
ち、全体配向膜を第１ラビング方向にラビングする段
階：フォトレジストを上記配向膜の一つのドメインに塗
布する段階；他の一つのドメインを第１ラビング方向と
他の第２ラビング方向にラビングする段階；及び上記フ
ォトレジストを除去する段階から構成される。
【０００５】上記逆方向ラビング法でマルチドメイン液
晶セルを制作する場合、ラビングによる塵又は静電荷の
発生で歩留りが低下し、画素を駆動する薄膜トランジス
タ（Thin Film Transister：TFT）に損傷を与えること
になる。また、完全に視野角を補償するためには一画素
を四つ以上のドメインに分けて配向処理する４ドメイン
液晶セルを制作すべきであるが、このためにはフォトレ
ジストを塗布し現像する写真食刻工程を数回繰り返すな
ど工程が非常に複雑になってその制作が殆どできない。
【０００６】上記ラビング法以外の配向方法として、光
照射によりプレチルトを制御する光配向法が提案されて
いる。この方法は、プレチルト角とプレチルト角方向に
決定されるプレチルトが光を配向膜に照射することによ
って付与されるものである。この光配向法によりマルチ
ドメイン液晶セルを製造する場合、写真食刻工程が要ら
ないので、工程が簡単であり、また、ラビングによる塵
や静電荷が発生しないようになる。
【０００７】上記光配向工程は、光に反応する光高分子
からなる配向膜に光を照射すると、光高分子間の重合が
発生して上記配向膜にプレチルトが付与される。このプ
レチルトは照射される光の偏光方向と入射方向及び光エ
ネルギーによってプレチルト角方向及びプレチルト角の
大きさが制御される。また、マルチドメイン液晶セルに
適用するための光配向工程は、配向膜の各ドメインに偏
光方向、入射方向及び光エネルギーの異なる光を照射し
てドメイン毎に他のプレチルトを付与することになる。
従って、大面積の液晶セルを制作するためには、配向膜
に照射される光源のスポットの大きさのみならず光エネ
ルギーの均一性を確立することが重要である。
【０００８】図５は従来の光照射装置を示す構成図であ
る。図５のように、紫外線ランプ１で発生する紫外線
は、レンズ２と偏光板３を通過して偏光された紫外線に
なって、配向膜５が塗布された基板４に照射される。上
記配向膜５は、光が照射されることによって液晶の配列
を決定するプレチルトを決定することになる。
【０００９】しかし、上記従来の光照射装置は、紫外線
ランプ１の大きさに制限があるので、図６（ａ）に示す
ように、配向膜５が上記光に露出される面積であるスポ
ット６の大きさもまた図示するように小さくなる。この
際、光エネルギーが一定の地域は上記スポット６に該当
する範囲Ｓに属するように制限される。従って、従来の
光照射装置を大面積画面の液晶表示装置に適用すること
は不可能になる。
【００１０】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたもので、大面積画面の液晶表示装置を得るための
光配向用光照射装置を提案することを目的とする。ま
た、本発明の他の目的は、大面積画面の液晶表示装置を
得るために、均一の光エネルギーを配向膜に提供して液
晶の配列方向を決定するプレチルトを付与するようにす
る光配向用光照射方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る光配向用光照射装置は、光を照射する
光照射手段と、上記光が傾斜して入射されて、入射され
た光のエネルギーによって光反応してプレチルトが付与
される配向膜が塗布された基板とからなるものである。
【００１２】また、上記光照射手段は、光を発生させる
ランプ及び該ランプで発生した光を集めるレンズからな
ることを特徴とするものである。
【００１３】また、上記ランプは、紫外線を発生させる
水銀ランプであることを特徴とするものである。
【００１４】また、上記光照射手段は、上記ランプで発
生した光を偏光する偏光板を追加して含む水銀ランプで
あることを特徴とするものである。
【００１５】また、上記偏光板は、回転できることを特
徴とするものである。
【００１６】また、マスクを追加して含め、光の透過率
を制御することによってマルチドメインの液晶表示装置
の製造に適合させることを特徴とするものである。
【００１７】また、上記光照射手段にスキャンモータが
装着されて配向膜に順次光照射を実施することを特徴と
するものである。
【００１８】また、上記基板にスキャンモータが装着さ
れて配向膜に順次光照射が行われるようにすることを特
徴とするものである。
【００１９】また、他の発明に係る光配向用光照射装置
は、光を発生させるランプと、上記ランプで発生した光
を集光するレンズと、上記光が傾斜して入射されて、入
射された光のエネルギーによって光反応してプレチルト
が付与される配向膜が塗布された基板とからなるもので
ある。
【００２０】また、上記ランプは、紫外線を発生させる
水銀ランプであることを特徴とするものである。
【００２１】また、上記ランプで発生した光を偏光する
偏光板を追加して含む水銀ランプであることを特徴とす
るものである。
【００２２】また、上記偏光板は、回転できることを特
徴とするものである。
【００２３】また、マスクを追加して含め、光の透過率
を制御することによってマルチドメインの液晶表示装置
の製造に適合させることを特徴とするものである。
【００２４】また、さらに他の発明に係る光配向用光照
射装置は、光を照射する移動可能な光照射手段と、上記
移動可能な光照射手段から照射された光のエネルギーに
よって光反応してプレチルトが付与される配向膜が塗布
された基板とからなるものである。
【００２５】また、上記光照射手段は、光を発生させる
ランプ及び該ランプで発生した光を集めるレンズからな
ることを特徴とするものである。
【００２６】また、上記ランプは、紫外線を発生させる
水銀ランプであることを特徴とするものである。
【００２７】また、上記光照射手段にケーシングを追加
して構成し、上記ランプ及び上記レンズが上記ケーシン
グ内に装着されるようにすることを特徴とするものであ
る。
【００２８】また、上記光照射手段に偏光板を追加して
含めることを特徴とするものである。
【００２９】また、上記偏光板は、回転可能なことを特
徴とするものである。
【００３０】また、マスクを追加して含め、光の透過率
を制御することによってマルチドメインの液晶表示装置
の製造に適合させることを特徴とするものである。
【００３１】また、上記移動可能な光照射手段にスキャ
ンモータが装着されて順次移動できることを特徴とする
ものである。
【００３２】また、さらに他の発明に係る光配向用光照
射装置は、光を照射する固定された光照射手段と、上記
固定された光照射手段から照射された光のエネルギーに
よって光反応してプレチルトが付与される配向膜が塗布
された移動できる基板とからなるものである。
【００３３】また、上記光照射手段は、光を発生させる
ランプ及び該ランプで発生した光を集めるレンズからな
ることを特徴とするものである。
【００３４】また、上記ランプは、紫外線を発生させる
水銀ランプであることを特徴とするものである。
【００３５】また、偏光板が追加して含まれることを特
徴とするものである。
【００３６】また、上記偏光板は、回転可能なことを特
徴とするものである。
【００３７】また、マスクを追加して含め、光の透過率
を制御することによってマルチドメインの液晶表示装置
の製造に適合させることを特徴とするものである。
【００３８】また、上記移動可能な基板にスキャンモー
タが装着されて順次移動可能なことを特徴とするもので
ある。
【００３９】また、本発明に係る光配向用光照射方法
は、光を発生させる段階と、上記光を集光する段階と、
上記光を傾斜した方向で光高分子を含む配向膜が塗布さ
れた基板に照射して、上記光によってプレチルトを決定
する段階とからなるものである。
【００４０】また、上記光高分子はポリシロキサン系物
質であることを特徴とするものである。
【００４１】また、上記光を偏光する段階を追加して含
むことを特徴とするものである。
【００４２】また、上記光を偏光する段階は、回転でき
る偏光板によって偏光されて多様な偏光方向を有する光
に偏光されることを特徴とするものである。
【００４３】また、照射段階の前に、光の透過率を調節
する段階を追加して含め、配向膜の一定領域毎に光エネ
ルギーを異なるように付与することによってマルチドメ
インの液晶表示装置の製造に適合させることを特徴とす
るものである。
【００４４】また、他の発明に係る光配向用光照射方法
は、光を発生させる段階と、上記光を集める段階と、上
記光を、光高分子を含む、第１垂直辺、上記第１垂直辺
に対向する第２垂直辺、上記第１垂直辺及び第２垂直辺
に隣接した第１平行辺及び上記第１平行辺に対向する第
２平行辺を有する配向膜が塗布された基板にスキャンニ
ングして、上記光によってプレチルトを決定する段階と
からなるものである。
【００４５】また、上記光高分子はポリシロキサン系物
質であることを特徴とするものである。
【００４６】また、上記光を偏光する段階を追加して含
めることを特徴とするものである。
【００４７】また、上記光を偏光する段階は回転できる
偏光板によって偏光されて多様な偏光方向を有する光に
偏光されることを特徴とするものである。
【００４８】また、照射段階の前に、光の透過率を調節
する段階を追加して含め、配向膜の一定領域毎に光エネ
ルギーを異なるように付与することによってマルチドメ
インの液晶表示装置の製造に適合させることを特徴とす
るものである。
【００４９】また、上記スキャニング段階で、上記光が
上記配向膜の一端外部から他端外部までスキャンされる
ことを特徴とするものである。
【００５０】さらに、上記スキャニング段階が第１垂直
辺と第１水平辺の延長線に接する支点から出発して第２
垂直辺と第２垂直辺の延長線に接する地点まで直線上に
沿って連続して順次光がスキャニングされることを特徴
とするものである。
【００５１】
【発明の実施の形態】本発明の具体的な実施の形態を説
明する前に、本発明を要約すると、次のようになる。本
発明に係る光照射装置は、紫外線を発生させる紫外線ラ
ンプ、レンズ、光を偏光させる偏光板、上記光が照射さ
れるポリシロキサンのような光高分子からなる配向膜で
塗布された基板からなる。この際、上記紫外線ランプ、
レンズ及び偏光板は一つの線上に配列されて上記基板に
光が照射される。また、上記光は基板に対して一定の角
度に傾斜して入射されることができる。
【００５２】また、上記紫外線ランプ、レンズ及び偏光
板がケーシングに装着され、スキャンモータが上記ケー
シングに装着されて光が基板に対して移動しながら同時
に照射されて、光源が配向膜に順次反復照射することに
よって大面積の配向膜に均一の光エネルギーが付与する
ので均一のプレチルトを付与することになる。この際、
光のスポットの移動は配向膜の外部から他方の外部まで
照射して、末端を含む全ての配向膜の領域に均一の光エ
ネルギーが付与されることになる。上記スキャンモータ
によって左右に移動されるスポットは、上下移動時にビ
ーム均一性が補償される５ｍｍ以下の範囲で移動するよ
うに調節される。
【００５３】実施の形態１．図１は本発明の実施の形態
１を示す図面である。紫外線は、水銀ランプのような紫
外線を発生させるランプ１１から発生してレンズ１２に
よって集められて偏光板１３によって偏光される。上記
偏光板１３によって偏光された紫外線は、配向膜１５が
塗布された基板１４に照射される。この際、上記ランプ
１１、レンズ１２及び偏光板１３は直線上に配列され基
板１４に対して一定の角度（θ）に傾斜されて基板１４
に入射するので、上記基板１４に塗布された配向膜１５
は、図２（ａ）に示す如く、楕円形のスポット１６によ
って露出されて、従来の配向膜５（図６（ａ）参照）よ
り大きい配向膜に適用できるようになる。上記スポット
１６は上記傾斜角度θによってその大きさが制御される
ことができる。
【００５４】図２（ｂ）は図１の照射装置で配向膜を照
射した場合に光によって露出される部分を示す平面図で
ある図２（ａ）に対応する配向膜領域の光エネルギーを
示すもので、この図２（ｂ）で、“Ｓ”は図１の照射装
置によって傾斜入射されたスポット１６の範囲、“Ａ”
は上記スポット１６によって露出される配向膜１５の範
囲を示すものである。上記スポットの範囲Ｓは上記配向
膜１５の範囲Ａを含むので、配向膜１５には均一の光エ
ネルギーを有する偏光された紫外線によって露出され
る。
【００５５】実施の形態２．図３は本発明の実施の形態
２を示す図面である。本実施の形態では、紫外線を発生
させる紫外線ランプ２１、上記ランプ２２から発生した
紫外線を集めるレンズ２２及び偏光板２３が図示されな
いスキャンモータが装着されたケーシング２０内に装着
される。上記スキャンモータが装着されたケーシング２
０は、配向膜２５が塗布された基板２４上を順次移動し
ながら同時に偏光された紫外線を上記配向膜２５に照射
することになる。従って、画面が光源の大きさによって
制限されなく、大面積の画面を有する液晶表示装置の液
晶の配向のための均一のプレチルトを配向膜２５に付与
することが可能になる。
【００５６】上述した図３に示す照射装置によって光を
配向膜にスキャニングする一実施例を図４に示す。光が
配向膜２５に垂直に照射される場合、円型のスポット２
６が配向膜２５に露出される。上記円型のスポット２６
は四角形の配向膜２５の第１水平線Ｓx1の延長線と第１
垂直線Ｓy1の延長線に接する支点Ｓx1y1から出発して第
１水平線Ｓx1に沿って順次第１水平線Ｓx1の延長線と最
終垂直線Ｓynの延長線に接する支点Ｓx1ynまで移動す
る。
【００５７】上記第１水平線Ｓx1をスキャニングした
後、第２水平線Ｓx2をスキャニングするために、上記最
終垂直線Ｓynに沿ってビームの均一性を維持する距離で
ある５ｍｍ以下に移動した支点Ｓx2ynで上記第１水平線
Ｓx1のスキャニング方向と逆方向に第２水平線Ｓx2に沿
って第１垂直線Ｓy1の延長線と接する支点Ｓx2y1まで移
動しながら照射する。上記光照射方法は、配向膜の最終
水平線Ｓxnと最終垂直線Ｓxnが接する支点Ｓxnynまで照
射した後、終了する。
【００５８】上記方法で光源のスポットより大きい配向
膜を均一に光配向して配向膜全体に均一のプレチルトを
付与することが可能になった。なお、上述した実施の形
態１及び２では、同一のプレチルトからなる単一ドメイ
ンの液晶表示装置をたとえて説明したものであるが、本
発明の照射装置は、マスクを適用することによって、マ
スクの透過率を制御することにより配向膜のドメインに
よるプレチルトを付与することができ、マルチドメイン
液晶表示装置に適用することもできる。また、上記各実
施の形態では、偏光された紫外線を用いて光配向を実施
したが、偏光板を照射装置から除外することによって非
偏光された紫外線で単に光配向を実施することもでき、
紫外線ランプ以外にレーザのような他の光源を用いるこ
とによって、紫外線以外の光で光配向を実施することも
勿論できる。
【００５９】本発明は、多種多様な実施の形態に従って
実施でき、これらを列挙すると次のようになる。本発明
に係る光配向用光照射装置は、光を照射する光照射手段
と、上記光が傾斜して入射されて、入射された光のエネ
ルギーによって光反応してプレチルトが付与される配向
膜が塗布された基板とからなる。また、上記光照射手段
は、光を発生させるランプ及び該ランプで発生した光を
集めるレンズからなる。また、上記ランプは、紫外線を
発生させる水銀ランプである。また、上記光照射手段
は、上記ランプで発生した光を偏光する偏光板を追加し
て含む水銀ランプである。また、上記偏光板は、回転で
きる。また、マスクを追加して含め、光の透過率を制御
することによってマルチドメインの液晶表示装置の製造
に適合させる。また、上記光照射手段にスキャンモータ
が装着されて配向膜に順次光照射を実施する。また、上
記基板にスキャンモータが装着されて配向膜に順次光照
射が行われるようにする。
【００６０】また、他の発明に係る光配向用光照射装置
は、光を発生させるランプと、上記ランプで発生した光
を集光するレンズと、上記光が傾斜して入射されて、入
射された光のエネルギーによって光反応してプレチルト
が付与される配向膜が塗布された基板とからなる。ま
た、上記ランプは、紫外線を発生させる水銀ランプであ
る。また、上記ランプで発生した光を偏光する偏光板を
追加して含む水銀ランプである。また、上記偏光板は、
回転できる。また、マスクを追加して含め、光の透過率
を制御することによってマルチドメインの液晶表示装置
の製造に適合させる。
【００６１】また、さらに他の発明に係る光配向用光照
射装置は、光を照射する移動可能な光照射手段と、上記
移動可能な光照射手段から照射された光のエネルギーに
よって光反応してプレチルトが付与される配向膜が塗布
された基板とからなる。また、上記光照射手段は、光を
発生させるランプ及び該ランプで発生した光を集めるレ
ンズからなる。また、上記ランプは、紫外線を発生させ
る水銀ランプである。また、上記光照射手段にケーシン
グを追加して構成し、上記ランプ及び上記レンズが上記
ケーシング内に装着されるようにする。また、上記光照
射手段に偏光板を追加して含める。また、上記偏光板
は、回転可能である。また、マスクを追加して含め、光
の透過率を制御することによってマルチドメインの液晶
表示装置の製造に適合させる。また、上記移動可能な光
照射手段にスキャンモータが装着されて順次移動でき
る。
【００６２】また、さらに他の発明に係る光配向用光照
射装置は、光を照射する固定された光照射手段と、上記
固定された光照射手段から照射された光のエネルギーに
よって光反応してプレチルトが付与される配向膜が塗布
された移動できる基板とからなる。また、上記光照射手
段は、光を発生させるランプ及び該ランプで発生した光
を集めるレンズからなる。また、上記ランプは、紫外線
を発生させる水銀ランプである。また、偏光板が追加し
て含まれる.また、上記偏光板は、回転可能である。ま
た、マスクを追加して含め、光の透過率を制御すること
によってマルチドメインの液晶表示装置の製造に適合さ
せる。また、上記移動可能な基板にスキャンモータが装
着されて順次移動可能にする。
【００６３】また、本発明に係る光配向用光照射方法
は、光を発生させる段階と、上記光を集光する段階と、
上記光を傾斜した方向で光高分子を含む配向膜が塗布さ
れた基板に照射して、上記光によってプレチルトを決定
する段階とからなる。また、上記光高分子はポリシロキ
サン系物質である。また、上記光を偏光する段階を追加
して含む。また、上記光を偏光する段階は、回転できる
偏光板によって偏光されて多様な偏光方向を有する光に
偏光される。また、照射段階の前に、光の透過率を調節
する段階を追加して含め、配向膜の一定領域毎に光エネ
ルギーを異なるように付与することによってマルチドメ
インの液晶表示装置の製造に適合させる。
【００６４】また、他の発明に係る光配向用光照射方法
は、光を発生させる段階と、上記光を集める段階と、上
記光を、光高分子を含む、第１垂直辺、上記第１垂直辺
に対向する第２垂直辺、上記第１垂直辺及び第２垂直辺
に隣接した第１平行辺及び上記第１平行辺に対向する第
２平行辺を有する配向膜が塗布された基板にスキャンニ
ングして、上記光によってプレチルトを決定する段階と
からなる。また、上記光高分子はポリシロキサン系物質
である。また、上記光を偏光する段階を追加して含め
る。また、上記光を偏光する段階は回転できる偏光板に
よって偏光されて多様な偏光方向を有する光に偏光され
る。また、照射段階の前に、光の透過率を調節する段階
を追加して含め、配向膜の一定領域毎に光エネルギーを
異なるように付与することによってマルチドメインの液
晶表示装置の製造に適合させる。また、上記スキャニン
グ段階で、上記光が上記配向膜の一端外部から他端外部
までスキャンされる。さらに、上記スキャニング段階が
第１垂直辺と第１水平辺の延長線に接する支点から出発
して第２垂直辺と第２垂直辺の延長線に接する地点まで
直線上に沿って連続して順次光がスキャニングされる。
【００６５】
【発明の効果】以上のように、本発明の光配向用照射装
置及び方法によれば、光配向を実施することによって均
一の光エネルギー配向膜に付与して均一のプレチルトを
有する大面積の画面を有する液晶表示装置を得ることが
可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態１による光配向用光照射
装置を示す構成図である。
【図２】 （ａ）は図１の照射装置で配向膜を照射した
場合の光によって露出される部分を示す平面図であり、
（ｂ）は（ａ）に対応する配向膜領域の光エネルギー分
布を示す特性図である。
【図３】 本発明の実施の形態２による光配向用光照射
装置を示す構成図である。
【図４】 （ａ）は図３の照射装置で配向膜を照射した
場合の光によって露出される部分を示す平面図であり、
（ｂ）は（ａ）に対応する配向膜領域の光エネルギー分
布を示す特性図である。
【図５】 従来の光配向用光照射装置を示す構成図であ
る。
【図６】 （ａ）は図５の照射装置で配向膜を照射した
場合の光によって露出される部分を示す平面図であり、
（ｂ）は（ａ）に対応する配向膜領域の光エネルギー分
布を示す特性図である。
【符号の説明】
１１ ランプ、１２ レンズ、１３ 偏光板、１４ 基
板、１５ 配向膜、１６ スポット、２０ ケーシン
グ、２１ 紫外線ランプ、２２ レンズ、２３偏光板、
２４ 基板、２５ 配向膜、２６ スポット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 禹 晶 源 大韓民国ソウル特別市中浪區墨１洞109− １ (72)発明者 南 美 淑 大韓民国京畿道安養市東安區冠養洞ハンガ ラム三星アパート201−1802 (72)発明者 崔 有 鎭 大韓民国京畿道安養市好溪３洞666−３ (72)発明者 鄭 眞 希 大韓民国ソウル特別市冠岳區南▲けん▼洞 602−239

Claims (40)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光を照射する光照射手段と、 上記光が傾斜して入射されて、入射された光のエネルギ
    ーによって光反応してプレチルトが付与される配向膜が
    塗布された基板とからなる光配向用光照射装置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の光配向用光照射装置にお
    いて、上記光照射手段は、光を発生させるランプ及び該
    ランプで発生した光を集めるレンズからなることを特徴
    とする光配向用光照射装置。
  3. 【請求項３】 請求項２記載の光配向用光照射装置にお
    いて、上記ランプは、紫外線を発生させる水銀ランプで
    あることを特徴とする光配向用光照射装置。
  4. 【請求項４】 請求項２記載の光配向用光照射装置にお
    いて、上記光照射手段は、上記ランプで発生した光を偏
    光する偏光板を追加して含む水銀ランプであることを特
    徴とする光配向用光照射装置。
  5. 【請求項５】 請求項４記載の光配向用光照射装置にお
    いて、上記偏光板は、回転できることを特徴とする光配
    向用光照射装置。
  6. 【請求項６】 請求項１記載の光配向用光照射装置にお
    いて、マスクを追加して含め、光の透過率を制御するこ
    とによってマルチドメインの液晶表示装置の製造に適合
    させることを特徴とする光配向用光照射装置。
  7. 【請求項７】 請求項１記載の光配向用光照射装置にお
    いて、上記光照射手段にスキャンモータが装着されて配
    向膜に順次光照射を実施することを特徴とする光配向用
    光照射装置。
  8. 【請求項８】 請求項１記載の光配向用光照射装置にお
    いて、上記基板にスキャンモータが装着されて配向膜に
    順次光照射が行われるようにすることを特徴とする光配
    向用光照射装置。
  9. 【請求項９】 光を発生させるランプと、 上記ランプで発生した光を集光するレンズと、 上記光が傾斜して入射されて、入射された光のエネルギ
    ーによって光反応してプレチルトが付与される配向膜が
    塗布された基板とからなる光配向用光照射装置。
  10. 【請求項１０】 請求項９記載の光配向用光照射装置に
    おいて、上記ランプは、紫外線を発生させる水銀ランプ
    であることを特徴とする光配向用光照射装置。
  11. 【請求項１１】 請求項９記載の光配向用光照射装置に
    おいて、上記光照射手段は、上記ランプで発生した光を
    偏光する偏光板を追加して含む水銀ランプであることを
    特徴とする光配向用光照射装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１１記載の光配向用光照射装置
    において、上記偏光板は、回転できることを特徴とする
    光配向用光照射装置。
  13. 【請求項１３】 請求項９記載の光配向用光照射装置に
    おいて、マスクを追加して含め、光の透過率を制御する
    ことによってマルチドメインの液晶表示装置の製造に適
    合させることを特徴とする光配向用光照射装置。
  14. 【請求項１４】 光を照射する移動可能な光照射手段
    と、 上記移動可能な光照射手段から照射された光のエネルギ
    ーによって光反応してプレチルトが付与される配向膜が
    塗布された基板とからなる光配向用光照射装置。
  15. 【請求項１５】 請求項１４記載の光配向用光照射装置
    において、上記光照射手段は、光を発生させるランプ及
    び該ランプで発生した光を集めるレンズからなることを
    特徴とする光配向用光照射装置。
  16. 【請求項１６】 請求項１５記載の光配向用光照射装置
    において、上記ランプは、紫外線を発生させる水銀ラン
    プであることを特徴とする光配向用光照射装置。
  17. 【請求項１７】 請求項１４記載の光配向用光照射装置
    において、上記光照射手段にケーシングを追加して構成
    し、上記ランプ及び上記レンズが上記ケーシング内に装
    着されるようにすることを特徴とする光配向用光照射装
    置。
  18. 【請求項１８】 請求項１４記載の光配向用光照射装置
    において、上記光照射手段に偏光板を追加して含めるこ
    とを特徴とする光配向用光照射装置。
  19. 【請求項１９】 請求項１８記載の光配向用光照射装置
    において、上記偏光板は、回転可能なことを特徴とする
    光配向用光照射装置。
  20. 【請求項２０】 請求項１４記載の光配向用光照射装置
    において、マスクを追加して含め、光の透過率を制御す
    ることによってマルチドメインの液晶表示装置の製造に
    適合させることを特徴とする光配向用光照射装置。
  21. 【請求項２１】 請求項１４記載の光配向用光照射装置
    において、上記移動可能な光照射手段にスキャンモータ
    が装着されて順次移動できることを特徴とする光配向用
    光照射装置。
  22. 【請求項２２】 光を照射する固定された光照射手段
    と、 上記固定された光照射手段から照射された光のエネルギ
    ーによって光反応してプレチルトが付与される配向膜が
    塗布された移動できる基板とからなる光配向用光照射装
    置。
  23. 【請求項２３】 請求項２２記載の光配向用光照射装置
    において、上記光照射手段は、光を発生させるランプ及
    び該ランプで発生した光を集めるレンズからなることを
    特徴とする光配向用光照射装置。
  24. 【請求項２４】 請求項２２記載の光配向用光照射装置
    において、上記ランプは、紫外線を発生させる水銀ラン
    プであることを特徴とする光配向用光照射装置。
  25. 【請求項２５】 請求項２２記載の光配向用光照射装置
    において、偏光板が追加して含まれることを特徴とする
    光配向用光照射装置。
  26. 【請求項２６】 請求項２５記載の光配向用光照射装置
    において、上記偏光板は、回転可能なことを特徴とする
    光配向用光照射装置。
  27. 【請求項２７】 請求項２２記載の光配向用光照射装置
    において、マスクを追加して含め、光の透過率を制御す
    ることによってマルチドメインの液晶表示装置の製造に
    適合させることを特徴とする光配向用光照射装置。
  28. 【請求項２８】 請求項２２記載の光配向用光照射装置
    において、上記移動可能な基板にスキャンモータが装着
    されて順次移動可能なことを特徴とする光配向用光照射
    装置。
  29. 【請求項２９】 光を発生させる段階と、 上記光を集光する段階と、 上記光を傾斜した方向で光高分子を含む配向膜が塗布さ
    れた基板に照射して、上記光によってプレチルトを決定
    する段階とからなる光配向用光照射方法。
  30. 【請求項３０】 請求項２９記載の光配向用光照射方法
    において、上記光高分子はポリシロキサン系物質である
    ことを特徴とする光配向用光照射方法。
  31. 【請求項３１】 請求項２９記載の光配向用光照射方法
    において、上記光を偏光する段階を追加して含むことを
    特徴とする光配向用光照射方法。
  32. 【請求項３２】 請求項３１記載の光配向用光照射方法
    において、上記光を偏光する段階は、回転できる偏光板
    によって偏光されて多様な偏光方向を有する光に偏光さ
    れることを特徴とする光配向用光照射方法。
  33. 【請求項３３】 請求項２９記載の光配向用光照射方法
    において、照射段階の前に、光の透過率を調節する段階
    を追加して含め、配向膜の一定領域毎に光エネルギーを
    異なるように付与することによってマルチドメインの液
    晶表示装置の製造に適合させることを特徴とする光配向
    用光照射方法。
  34. 【請求項３４】 光を発生させる段階と、 上記光を集める段階と、 上記光を、光高分子を含む、第１垂直辺、上記第１垂直
    辺に対向する第２垂直辺、上記第１垂直辺及び第２垂直
    辺に隣接した第１平行辺及び上記第１平行辺に対向する
    第２平行辺を有する配向膜が塗布された基板にスキャン
    ニングして、上記光によってプレチルトを決定する段階
    とからなる光配向用光照射方法。
  35. 【請求項３５】 請求項３４記載の光配向用光照射方法
    において、上記光高分子はポリシロキサン系物質である
    ことを特徴とする光配向用光照射方法。
  36. 【請求項３６】 請求項３４記載の光配向用光照射方法
    において、上記光を偏光する段階を追加して含めること
    を特徴とする光配向用光照射方法。
  37. 【請求項３７】 請求項３６記載の光配向用光照射方法
    において、上記光を偏光する段階は回転できる偏光板に
    よって偏光されて多様な偏光方向を有する光に偏光され
    ることを特徴とする光配向用光照射方法。
  38. 【請求項３８】 請求項３４記載の光配向用光照射方法
    において、照射段階の前に、光の透過率を調節する段階
    を追加して含め、配向膜の一定領域毎に光エネルギーを
    異なるように付与することによってマルチドメインの液
    晶表示装置の製造に適合させることを特徴とする光配向
    用光照射方法。
  39. 【請求項３９】 請求項３４記載の光配向用光照射方法
    において、上記スキャニング段階で、上記光が上記配向
    膜の一端外部から他端外部までスキャンされることを特
    徴とする光配向用光照射方法。
  40. 【請求項４０】 請求項３９記載の光配向用光照射方法
    において、上記スキャニング段階が第１垂直辺と第１水
    平辺の延長線に接する支点から出発して第２垂直辺と第
    ２垂直辺の延長線に接する地点まで直線上に沿って連続
    して順次光がスキャニングされることを特徴とする光配
    向用光照射方法。
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