JPH09212672A

JPH09212672A - 図形データの処理方法

Info

Publication number: JPH09212672A
Application number: JP8019585A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Takahashi; 和彦高橋
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1996-02-06
Filing date: 1996-02-06
Publication date: 1997-08-15

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の要素図形が配置されてなる図形を描くた
めの全要素図形データのうち必要な要素図形データだけ
を選択して表示装置に表示する図形データの処理方法に
関し、記憶装置に保存された図形データに基づく図形表
示の高速化を図る。【解決手段】図形を構成する複数の要素図形を描くため
の要素図形データを要素図形の大きさの順に並べてお
き、図形表示のときに特定の大きさの範囲にある要素図
形データを呼び出して表示することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、図形データの処理
方法に関し、より詳しくは、複数の要素図形が配置され
てなる図形を描くための全要素図形データのうち必要な
要素図形データだけを選択して表示装置に表示する図形
データの処理方法に関する。半導体装置の製造に用いる
マスクパターンの設計をはじめとして建築設計や機械設
計等において、適正なパターン配置や形状等を試行し、
選択することが容易であり、また加筆や削除等の修正が
容易である等の理由からＣＡＤ（Computer Aided Desig
n ，計算機支援設計）による設計手法が主流となってい
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＣＡＤをサポートするコンピュー
タシステムを構成する主なものとして、加工中或いは加
工前後の図形データを保存しておく主記憶装置、図形デ
ータを入力し、かつ加工中のデータを表示する入力／表
示装置及び図形データの様々な処理を制御するＣＰＵ
（中央処理装置）があり、更にこれに既に作成した図形
データを保存する外部記憶装置が付加される。

【０００３】例えば、上記ＣＡＤシステムが半導体装置
のマスクパターンの設計に用いられる場合、ペン入力等
により入力／表示装置に複数の要素図形からなるマスク
パターンの図形が入力される。入力された各要素図形は
ＣＰＵを介して座標データに変換されるとともに、その
要素図形を描く図形の種類及びその要素図形が属するマ
スクパターンの階層（種類）を表すデータが付加されて
主記憶装置に蓄えられる。

【０００４】更に、必要により、これらのデータは全て
のマスクパターンの分をまとめて外部記憶装置に格納さ
れる。それらのデータはマスク製作の際の図形データと
なり、或いは、後日パターンを修正する際の基礎となる
図形データとなる。なお、このほかに各要素に対して遮
光部及び透光部を決める露光データも格納される。修正
する場合、外部記憶装置から必要な図形データを呼び出
してコンピュータの主記憶装置に格納した上で、この図
形データを順次入力／表示装置に送り、マスクパターン
として表示して必要な修正を加える。

【０００５】近年、図形データのデータ量が増える一方
で図形表示の高速化が求められている。ところで、マス
クパターンの全体のバランスを見る場合、或いは拡大し
たい部分を特定する場合等には全要素図形を表示する必
要はない。このような場合、表示の高速化を図るため、
要素図形の大きさが小さくて画面に表示する際に所定の
画素数に満たないものは表示しないようにしている。

【０００６】その手順は次のように行われる。即ち、表
示させたい図形に属する全ての要素図形データを主記憶
装置から逐次呼び出し、比較すべきパラメータを計算
し、このパラメータと判定基準とを比較し、表示の有無
を判定する。そして、表示すべき要素図形データだけ表
示装置に入力し、画面に表示する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法では、一つの図形に属する全要素図形データを呼び
出して表示の有無を判定しているため、図形データのデ
ータ量が増えるに伴って、所望の図形を表示し終えるま
での時間が思ったほど短縮されないというのが実情であ
る。このため、快適なユーザインタフェースが得られて
いない。

【０００８】本発明は、上記の従来例の問題点に鑑みて
創作されたものであり、記憶装置に保存された図形デー
タに基づく図形表示の高速化を図ることができる図形デ
ータの処理方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題は、第１の発明
である、図形を構成する複数の要素図形を描くための要
素図形データを前記要素図形の大きさの順に並べてお
き、図形表示のときに特定の大きさの範囲にある前記要
素図形データを呼び出して表示することを特徴とする図
形データの処理方法によって達成され、第２の発明であ
る、前記要素図形データは、特定の種類の図形に属する
データ、特定の階層に属するデータ、特定の表示領域内
にあるデータ、或いは特定の座標にあるデータである
か、またはこれらのデータを組み合わせたデータである
ことを特徴とする第１の発明に記載の図形データの処理
方法によって達成され、第３の発明である、前記要素図
形の大きさは該要素図形の面積又は最大幅であることを
特徴とする第１又は第２の発明に記載の図形データの処
理方法によって達成され、第４の発明である、前記要素
図形データの呼び出しは、前記要素図形の大きさの小さ
い順に、或いは大きい順に行うことを特徴とする第１乃
至第３の発明のいずれかに記載の図形データの処理方法
によって達成され、第５の発明である、前記特定の範囲
にある要素図形データの呼び出しは、表示限界値を判定
基準として自動的に行うことを特徴とする第１乃至第４
の発明のいずれかに記載の図形データの処理方法によっ
て達成され、第６の発明である、前記要素図形の表示中
に前記特定の大きさの範囲を決めることを特徴とする第
１乃至第４の発明のいずれかに記載の図形データの処理
方法によって解決される。

【００１０】本発明の図形データの処理方法において
は、図１のフローチャートに示すように、まず、外部記
憶装置から複数の要素図形データをＣＰＵに読み込む
（Ｐ１）。続いて、ＣＰＵにより図形の幅の大きい順に
並べ替えて全ての要素図形データを主記憶装置内に保存
する（Ｐ２）。主記憶装置への入力が終了した後、要素
図形を修正するため、表示倍率を決めてＣＰＵに入力す
る（Ｐ３）。ＣＰＵは画面からはみ出るような大きさと
なる要素図形や、小さくて視覚では認識しにくいような
大きさとなる要素図形の表示限界値ｄ（判定基準）を計
算する（Ｐ４）。

【００１１】次に、ＣＰＵにより、保存されている複数
の要素図形データを一番目の記憶領域から順に呼び出し
て、これらの要素図形データに対応する図形の幅と表示
限界値ｄとを比較し（Ｐ５）、表示限界値ｄを満たすも
ののみ入力／表示装置３に入力し、画面に表示する（Ｐ
６）。表示限界値ｄ内であれば、入力／表示装置に要素
図形データを入力し、表示限界値ｄを満たさない要素図
形データが出てきたら入力／表示装置への要素図形デー
タの入力を打ち切る（Ｐ７）。

【００１２】このように、本発明においては、複数の要
素図形が配置されてなる図形を描くための要素図形デー
タを、それぞれの要素図形データにより描かれる要素図
形の大きさ、例えば面積又は最大幅の小さい順に又は大
きい順に並べて保存しておき、図形表示するときに表示
すべき大きさの範囲の要素図形データを選択して呼び出
して表示装置に表示する。

【００１３】従って、拡大表示する場合、大きくて画面
からはみ出るようなものは、要素図形の大きさの小さい
順に呼び出して比較し、範囲の上限を越えるものが出て
きたとき、表示を終了する。或いは拡大してもなお小さ
くて視覚により認識しにくいようなものは要素図形の大
きさの大きい順に呼び出して比較し、範囲の下限を越え
るものが出てきたとき、表示を終了する。

【００１４】また、縮小表示する場合、小さくて視覚に
より認識しにくいようなものは要素図形の大きさの大き
い順に呼び出して比較し、範囲の下限を越えるものが出
てきたとき、表示を終了する。或いは、拡大表示する場
合及び縮小表示する場合ともに、表示すべき大きさの範
囲の上限及び下限を決めておき、要素図形の大きさの小
さい順又は大きい順に呼び出して比較し、上限と下限の
間の範囲に入るものだけを表示装置に表示する。

【００１５】また、場合により、表示された図形を観察
しながら必要な範囲を決めることもできる。以上のよう
に、本発明に係る図形データの処理方法によれば、要素
図形の大きさの順に並べて保存されているので、必要な
範囲の限界値を越えるものはデータの呼出しや比較の対
象から除外することができる。従って、表示速度の向上
を図ることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照しながら説明する。図２は、本発明の実
施の形態に係る図形データの処理に用いられるＣＡＤシ
ステムの概略構成図である。まず、図２に示すように、
ＣＡＤをサポートするコンピュータシステムを構成する
主なものとして、加工中或いは加工前後の図形データを
保存しておく主記憶装置２と、視覚により認識可能な図
形として図形データを入力し、かつ加工中の図形データ
を視覚により認識可能な図形として表示する入力／表示
装置３と、図形データの様々な処理を制御するＣＰＵ
（中央処理装置）１とがあり、更にこれに既に作成した
図形データを保存する外部記憶装置４が付加される。

【００１７】図３（ａ）〜（ｃ）は、半導体装置のマス
ク設計に用いられる主な図形の種類を示す平面図であ
る。ボックス（box ）型、バウンダリ（boundary）型又
はパス（path）型等がある。ボックス型は対角線の２つ
の指定点を特定することにより長方形或いは正方形の図
形となる。バウンダリ型は図形の全ての角部に相当する
ところを指定点として特定することにより任意の角部を
有する図形となる。パス型は始点と終点の２つの指定点
を特定することにより、所定の幅を有する帯状の図形と
なる。主な図形の種類は以上の通りであり、他にも幾種
類かあるが省略する。

【００１８】半導体装置のパターンは複数のマスク層を
順に用い、それに基づいてパターニングして作成され
る。そのうち一つのマスク層の全体のパターンは、図３
（ａ）〜（ｃ）に示す複数の要素図形が所定の位置に配
置されている。これらの要素図形の集まりは全て同一の
階層として主記憶装置に保存されていてもよいし、互い
に異なる階層（セル或いはストラクチャ）に別々に保存
されている要素図形が組み合わされたものでもよい。各
階層に属する要素図形は、例えば繰り返し使うものとそ
うでないものという基準に従って分類される。

【００１９】図形データは入力／表示装置３からライト
ペン等により最初図形で入力される。上記の図形の種類
のうち所望のものを選択し、画面上で所望の指定点をラ
イトペンにより指し示すことにより、ボックス型、バウ
ンダリ型又はパス型等の要素図形が画面上所定の位置に
表示されるとともに、各々の要素図形の指定点が（ｘ，
ｙ）座標に変換される。さらに、それらの座標に基づい
て各々の要素図形の面積と最大幅が計算される。これら
のデータは、例えば図６に示すような要素図形データと
して、ＣＰＵ１を介して主記憶装置２に送られ、要素図
形の作成順に保存される。なお、必要な場合には、これ
らのデータは主記憶装置２から外部記憶装置４に移し替
えて保存される。

【００２０】このとき、全ての要素図形データの集まり
を同一の階層として保存してもよいし、前述の特定の基
準に従って分類して互いに異なる複数の階層（セル或い
はストラクチャ）として別の領域に保存してもよい。階
層毎に保存することで、図形データの表示の際、指定し
た階層だけ読みだせばよいので迅速な表示が行える。或
いは、ボックス型等の図形の種類毎に分類して保存して
もよい。又は、要素図形の指定点のｘ座標或いはｙ座標
が等しいグループ毎に、又は要素図形によって描かれる
全体の表示範囲を複数の領域に分割し、その分割領域毎
に保存してもよい。これにより、図形データの表示の
際、指定した座標だけ、或いは指定した分割領域だけ読
みだせばよいので迅速な表示が行える。または、要素図
形データの個数が相当多い場合等には、上記分類をさら
に２以上組み合わせたものを一つの分類として保存する
ことも可能である。

【００２１】また、主記憶装置２に図形データを保存す
る際、図４（ａ）又は図５に示すように、ＣＰＵ１によ
り面積又は幅の大きい順或いは小さい順に並べ替えて保
存してもよいし、図４（ｂ）に示すように、そのような
順序付けを行わないで要素図形の作成順に保存してもよ
い。なお、図形の大きさの順に並べ換えて保存する場
合、要素図形データの集まりを一括して、又は前記図形
の種類毎に、又は前記階層毎に、又は前記分割領域毎
に、又は前記座標毎に行うことも可能である。

【００２２】次に、このＣＡＤシステムを用いて、本発
明の実施の形態に係る図形データの処理方法について図
１、図７及び図８（ａ），（ｂ）を参照しながら説明す
る。図１は本発明の実施の形態に係る図形データの処理
方法について示すフローチャートである。図７はマスク
パターンの一部領域を示す平面図である。図８（ａ）は
図７のマスクパターンを縮小して画面に表示したときの
平面図であり、図８（ｂ）は同じマスクパターンを拡大
して画面に表示したときの平面図である。

【００２３】図７に示すような図形に基づく図形データ
が外部記憶装置４に既に作成されているとする。また、
複数の要素図形データは要素図形の面積や幅の大小関係
による順序付けが行われておらず、図４（ｂ）のように
保存されているものとする。まず、外部記憶装置４から
図７に示す一つのマスク層に属する複数の要素図形デー
タからなる図形データをＣＰＵ１に読み込む（Ｐ１）。
続いて、図４（ａ）に示すように、ＣＰＵ１により図形
の幅の大きい順に並べ替えて全ての要素図形データを主
記憶装置２内に保存する（Ｐ２）。

【００２４】主記憶装置２への入力が終了した後、ライ
トペン等により図形を修正する。このため、まず表示倍
率を決めてＣＰＵ１に入力する（Ｐ３）。ＣＰＵ１は画
面からはみ出るような大きさとなる要素図形や、小さく
て視覚では認識しにくいような大きさとなる要素図形の
表示限界値ｄ（判定基準）を計算する（Ｐ４）。図形を
拡大して表示する場合、ＣＰＵ１は画面からはみ出るよ
うな大きさとなる要素図形に相当する上限の表示限界値
ｄとなり、図形を縮小して表示する場合、小さくて視覚
では認識しにくいような大きさとなる要素図形に相当す
る下限の表示限界値ｄとなる。

【００２５】次いで、ＣＰＵ１により、保存されている
複数の要素図形データを一番目の記憶領域から順に呼び
出して、これらの要素図形データに対応する図形の幅と
表示限界値ｄとを比較し（Ｐ５）、表示限界値ｄを満た
すもののみ入力／表示装置３に入力し、画面に表示する
（Ｐ６）。このとき、図形を拡大表示する場合、図４
（ａ）のIIの方向で示すように幅の小さい方から呼び出
していき、図形を縮小表示する場合、図４（ａ）のＩの
方向で示すように幅の大きい方から呼び出していく。そ
して、表示限界値ｄ内であれば、入力／表示装置３に要
素図形データを入力し、表示限界値ｄを満たさない要素
図形データが出てきたら入力／表示装置３に要素図形デ
ータの入力を打ち切る（Ｐ７）。

【００２６】この様にして、入力／表示装置３の画面上
には、図８（ａ）又は図８（ｂ）に示すような図形が表
示される。図８（ａ）は縮小表示の場合を示し、図８
（ｂ）は拡大表示の場合を示す。図８（ａ）では、表示
されなかった要素図形は省略してある。また、図８
（ｂ）では、そこに配置されるものであるが、表示され
ない要素図形を一点鎖線で示す。

【００２７】以上のように、本発明に係る図形データの
処理方法によれば、全ての要素図形データを呼び出して
判定基準と比較する必要はなく、表示速度の向上を図る
ことができる。なお、上記では、表示限界値は一つであ
るが、或る範囲内の要素図形のみ表示するように、最小
と最大の表示限界値を決めてもよい。

【００２８】また、主記憶装置２内で、図形の幅の大き
い順に並べ替えているが、小さい順に並べ替えてもよ
い。更に、要素図形の幅を比較の対象としているが、要
素図形データの座標から要素図形の面積を計算し、図５
に示すように、それを要素図形データとして小さい順に
又は大きい順に保存しておき、図形表示の際順に呼び出
して要素図形の面積を比較の対象としてもよい。

【００２９】また、上記では、外部記憶装置４に保存さ
れた要素図形データは要素図形の面積や幅の大小関係に
よる順序付けが行われていないものを用いているが、外
部記憶装置４に保存された要素図形データは要素図形の
面積や幅の大小関係による順序付けが行われているもの
を用いてもよい。これにより、外部記憶装置４からＣＰ
Ｕ１への読み出し速度を上げることができる。

【００３０】更に、表示限界値ｄをＣＰＵ１に登録して
おき、これに従ってＣＰＵ１内で選別しているが、要素
図形の大きさに従って順次表示される要素図形を観察し
ながら、次の要素図形を表示する必要があるかどうか判
断し、必要な範囲を決めてもよい。また、半導体装置の
マスク設計に適用しているが、建築設計や機械設計にも
適用することができる。

【００３１】

【発明の効果】以上のように、本発明の図形データの処
理方法においては、図形を描くための複数の要素図形デ
ータを、対応する要素図形の大きさの小さい順に又は大
きい順に並べて保存しておき、表示するときに順に呼び
出して比較し、表示すべき大きさの範囲の要素図形デー
タを選択して表示する。

【００３２】これにより、全ての要素図形データを呼び
出して表示判定基準と比較する必要はなく、表示速度の
向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法について示すフローチャートである。

【図２】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法に用いられるＣＡＤシステムについて示す概略構成図
である。

【図３】図形データの処理に用いられる一般的な図形の
種類について示す平面図である。

【図４】図４（ａ）は、本発明の実施の形態に係る図形
データの処理方法に用いられるＣＡＤシステムの主記憶
装置内の要素図形データの記憶配置について示す図であ
る。図４（ｂ）は、従来例に係る図形データの処理方法
に用いられるＣＡＤシステムの主記憶装置内の要素図形
データの記憶配置について示す図である。

【図５】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法に用いられるＣＡＤシステムの主記憶装置内の要素図
形データの記憶配置について示す図である。

【図６】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法に用いられる要素図形データの内容について示す図で
ある。

【図７】本発明の実施の形態に係る図形データの処理方
法に用いられるマスクパターンについて示す部分平面図
である。

【図８】図８（ａ）は本発明の実施の形態に係る図形デ
ータの処理方法に用いられるＣＡＤシステムの表示装置
に縮小表示された図形である。図８（ｂ）は本発明の実
施の形態に係る図形データの処理方法に用いられるＣＡ
Ｄシステムの表示装置に拡大表示された図形である。

【符号の説明】

１ＣＰＵ、２主記憶装置、３入力／表示装置、４外部記憶装置。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】図形を構成する複数の要素図形を描くた
めの要素図形データを前記要素図形の大きさの順に並べ
ておき、図形表示のときに特定の大きさの範囲にある前
記要素図形データを呼び出して表示することを特徴とす
る図形データの処理方法。
【請求項２】前記要素図形データは、特定の種類の図
形に属するデータ、特定の階層に属するデータ、特定の
表示領域内にあるデータ、或いは特定の座標にあるデー
タであるか、またはこれらのデータを組み合わせたデー
タであることを特徴とする請求項１に記載の図形データ
の処理方法。
【請求項３】前記要素図形の大きさは該要素図形の面
積又は最大幅であることを特徴とする請求項１又は請求
項２に記載の図形データの処理方法。
【請求項４】前記要素図形データの呼び出しは、前記
要素図形の大きさの小さい順に、或いは大きい順に行う
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記
載の図形データの処理方法。
【請求項５】前記特定の範囲にある要素図形データの
呼び出しは、表示限界値を判定基準として自動的に行う
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記
載の図形データの処理方法。
【請求項６】前記要素図形の表示中に前記特定の大き
さの範囲を決めることを特徴とする請求項１乃至請求項
４のいずれかに記載の図形データの処理方法。