JPH09228045A - 基体処理装置の制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 イオン源及び蒸発源を有する基体処理装置の
制御装置において、異常が発生したときに異常の発生個
所等を直ちに把握できるようにする。 【解決手段】 基体処理装置内の各種の監視対象の状態
を検出する検出部２６と、各監視対象の異常項目毎の異
常報知音声情報が書込まれた音声情報記憶手段（異常情
報メモリ４３）と、状態検出手段の検出結果により音声
情報記憶手段から異常が発生した監視対象の該当する異
常項目の異常報知音声情報を読出す音声情報選択手段
（ＣＰＵ４０）と、音声情報記憶手段から読出された異
常報知音声情報を処理して該当する異常項目の異常報知
音声を出力するスピーカ４４とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、イオン源及び蒸発
源を備えてイオン照射と蒸着とにより薄膜形成，イオン
注入等の基体処理を行う基体処理装置の制御装置に関
し、詳しくはその異常報知に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、真空下でイオン照射と蒸着とを併
用し、基体の薄膜形成，イオン注入（改質）等を行う基
体処理装置が、薄膜形成等の基体処理の分野で普及しつ
つある。

【０００３】この基体処理装置は、イオンビームを生成
するイオン源，蒸着用の蒸発源を用途等に応じてそれぞ
れ１又は複数個設けて形成される。

【０００４】例えば、イオン蒸着薄膜形成（ＩＶＤ）装
置として用いられる場合は、基体（基板）に付着した蒸
着物をイオンビーム照射で基体内部にたたき込むととも
に、イオンと蒸着物とにより基体表面にその化合物を形
成し、基体に薄膜を形成し、その際、膜の密着性の向
上，結晶化の制御それぞれを目的として計２台のイオン
源が設けられる。

【０００５】また、ＩＶＤ法とイオンビームスパッタリ
ング（ＩＢＳ）とを組合せたいわゆる複合イオンビーム
成膜装置として用いられる場合は、イオンビームにより
ターゲットをスパッタして蒸着粒子（スパッタ粒子）を
形成するため、前記の２台のイオン源の他、スパッタ用
のイオン源も設けられる。

【０００６】そして、イオン源，蒸発源をそれぞれ１個
設けた最も簡単な構成の場合、その主装置（真空装置）
はほぼ図６に示すように形成される。

【０００７】この図６の主装置は、真空容器１の下部に
熱フィラメント２を用いた例えばバケット型又はカウフ
マン型のイオン源３を設けて形成され、このイオン源３
は筺体４内のフィラメント２がフィラメント電源５によ
り加熱されて熱電子を放出する。

【０００８】このとき、ガス導入口６から筺体４内に希
ガス，酸素ガス等が導入され、フィラメント２が形成す
るカソードと筺体４が形成するアノードとの間にアーク
電源７が印加されてプラズマが発生し、このプラズマは
筺体４の周部の磁石８が形成する磁界により筺体４内に
閉じ込められて高密度になる。

【０００９】さらに、加速電極９，減速電極１０及び接
地電極１１が形成する引出し電極群１２により前記プラ
ズマから上方の処理室１３内にアルゴンイオン等のイオ
ンビーム１４が引出される。

【００１０】なお、加速電極９は高抵抗１５を介して加
速電源１６の正極に接続され、減速電極１０は減速電源
１７の負極に接続され、加速電源１６の負極及び減速電
源１７の正極は接地され、加速電源１６の正極にフィラ
メント電源５，アーク電源７の負極が接続されている。

【００１１】つぎに、処理室１３にるつぼを用いた蒸発
源１８が設けられ、この蒸発源１８によりチタン，シリ
コン等の所要の蒸発物質が加熱され、その蒸発物１９が
上方に放出される。

【００１２】そして、イオンビーム１４，蒸発物１９が
遮蔽用の仕切板２０の中央の開孔２１を介して水冷式の
回転ホルダ２２に取付けられた基体（基板）２３に飛行
し、このとき、ＩＶＤ装置であれば、基体２３の表面
（下面）に付着した蒸発物１９がイオンビーム１４の照
射で基体２３の内部にたたき込まれ、同時に、イオンビ
ーム１４のイオンと蒸発物１９とが基体２３の表面に化
合物を形成し、基体２３に薄膜が形成される。

【００１３】また、イオンビーム１４の電流量，薄膜の
膜厚は開孔２１の近傍に設けたイオン電流モニタ２４等
により検出されて計測され、このモニタ２４の計測結果
は電流計２５に表示される。なお、真空容器１の内部は
ロータリポンプ，クライオポンプにより排気されて真空
に保持される。

【００１４】ところで、この種基体処理装置はマイクロ
コンピュータ等で形成された制御装置を備え、この制御
装置によりイオン照射と蒸着とを別個独立に制御し、処
理特性の向上を図る。さらに、生産性の向上等を図るた
め、多くの場合、制御装置に運転条件を予め設定して自
動運転することが行われる。

【００１５】そして、この自動運転の場合、真空排気は
例えば特開平３−２８１７２２号公報（Ｃ２１Ｃ ７／
００）に記載されているように、真空容器内の真空度に
応じて排気装置を制御して行われ、イオン照射は例えば
特開昭６２−１４５６３７号公報（Ｈ０１Ｊ ３７／３
１７）に記載されているように、イオン注入条件等に応
じた自動立上げアルゴリズムにしたがってイオン源の各
種電圧等を制御して行われる。

【００１６】さらに、自動運転を行う場合、基体処理装
置内各所の異常の発生を監視，検出して報知するため、
制御装置は図７に示すように、状態監視手段を形成する
検出部２６，この検出部２６の出力が伝送されるシーケ
ンサ制御器２７及び異常報知の表示機能を有するマイク
ロコンピュータ構成の処理部２８を備える。

【００１７】そして、検出部２６は、イオン源電源セン
サ部２９によりイオン源３の各電源３，７，１６，１７
の電圧，電流等を検出し、蒸発源センサ部３０により蒸
発源１８の給電の電圧，電流等を検出する。

【００１８】また、真空計からなる真空センサ部３１，
各種バルブ装置の接点信号を収集するバルブ類センサ部
３２，真空ポンプセンサ部３３により真空容器１の真空
状態等を検出する。

【００１９】さらに、冷却装置センサ部３４により回転
ホルダ２２を循環する冷却水（純水）の状態等を検出
し、モニタ類センサ部３５によりその他の各種モニタ類
の状態等を検出する。

【００２０】つぎに、検出部２６の各種の検出信号は、
シーケンサ制御器２７により例えば各検出信号の信号内
容に応じたアドレス信号に変換されて処理部２８に伝送
される。

【００２１】また、シーケンサ制御器２７が自動停止の
インターロック機能を備えるときは、シーケンサ制御器
２７が変換後の各検出信号のアドレスから異常の有無を
判別し、何らかの異常が発生すると、復帰操作が行われ
るまで処理部２８を介して主装置の運転を自動停止す
る。

【００２２】一方、処理部２８は伝送された各アドレス
の信号に基づき、イオン源３，蒸発源１８，真空機構，
冷却機構等の各監視対象の異常の発生の有無を監視し、
異常が発生した監視対象を判別する。

【００２３】また、例えばイオン源３の異常の発生であ
れば、異常を示したアドレスの信号から、加速電源１
６，減速電源１７，アーク電源７の不良，フィラメント
４の不良，断線等のイオン源３の何の異常であるかを把
握して異常項目を特定する。

【００２４】そして、異常報知を画面表示する場合、Ｃ
ＲＴモニタ構成の表示部３６の表示を制御し、従来は、
監視対象等の一欄を画面表示し、その画面の異常が発生
した対象又はその異常項目の表示色を例えば正常を示す
緑色から赤色に変更し、異常の発生を報知する。

【００２５】なお、ＣＲＴモニタ構成の表示部３６を設
ける代わりに、ランプ表示器構成の表示部を設け、この
表示部に監視対象又は異常項目毎に例えば赤色のランプ
を設け、異常が発生した対象又は項目のランプを点灯し
て異常の発生を報知することも行われている。また、前
記の画面表示又はランプ点灯と同時にブザー音を出力し
て異常の発生を報知することも行われている。

【００２６】

【発明が解決しようとする課題】前記従来の基体処理装
置の制御装置の場合、作業員が表示部３６の表示画面等
を常時モニタしていても、異常が発生したときに、該当
する異常項目を直ちに読取って異常の発生個所等を迅速
に把握することができない問題点がある。また、異常が
発生したときに迅速に適切な措置をとることができない
問題点もある。

【００２７】すなわち、この種基体処理装置はイオン源
と蒸発源とを有するため、監視対象数が多く、異常項目
数に至っては極めて多数になる。

【００２８】例えば、薄膜形成，イオン注入を行う場
合、作業者は少なくとも真空の制御とイオン源の運転状
況の制御を同時に監視する必要があり、また、真空蒸
着，スパッタリングとイオン照射とを同時に行う場合等
は、蒸発源やスパッタリングの運転状況の監視も必要に
なり、さらには、基体の搬入，搬出等の監視も必要にな
り、監視対象及び異常項目の数が増大する。

【００２９】そのため、従来の制御装置のように、表示
部３６に監視対象等の一欄を画面表示し、異常が発生し
た対象又はその異常項目の表示色を緑色から赤色に変更
して異常の発生を報知するのでは、図８に示すように表
示部３６の表示画面３６’に監視対象又は異常項目が多
数表示され、それらの１つずつの表示面積が小さく、異
常が発生した対象又はその異常項目の表示色が変化して
も、この変化を見逃し易く、故障発生個所等を直ちに知
ることができない。

【００３０】なお、図８は異常項目の一欄表示の場合を
示し、図中の「イオン源」，「真空」，「その他」は監
視対象であり、これらの下方に表示された「加速」，
「減速」，…等が異常項目である。

【００３１】また、監視対象の一欄のみが表示される場
合、その表示色の変化からは異常が発生した監視対象し
か分からず、異常の発生個所等の把握にさらに時間を要
する。

【００３２】そして、イオン源，蒸発源が多くなる程、
監視対象及び異常項目の数が増加して異常が発生した監
視対象及び異常項目の把握が困難になる。

【００３３】また、画面表示する代わりにランプ点灯等
で異常が発生した監視対象又は異常項目を表示して異常
の発生を報知する場合も、ランプ数等が極めて多くな
り、画面表示の場合と同様に故障発生個所等を迅速に把
握することができない。

【００３４】そして、異常報知の表示方法によらず、従
来は、作業員が常に表示を監視しなければならず、自動
化，省人化の面からも問題がある。

【００３５】なお、画面表示，ランプ点灯表示等と同時
にブザー音を出力する場合は、ブザー音により異常の発
生を知ることができ、表示を常時監視する必要はない
が、異常の発生個所等は表示画面，ランプ点灯等を見な
ければ分からず、この場合も異常の発生個所等を迅速に
把握することができない。

【００３６】つぎに、従来は異常の発生の報知から異常
の発生個所等は把握できるが、発生した異常の対処方法
は作業員自身の知識や経験等によって判断され、このと
き、異常項目が極めて多いため、作業員が全ての項目の
異常対処方法を適確に把握しておくことは困難である。

【００３７】そのため、異常が発生したときに、発生個
所等の把握に基づき、適切な措置を迅速にとることは極
めて困難であり、例えば、何らかの異常の発生が表示さ
れて装置運転が停止したときに、作業員が対処方法を知
らなければ、装置は停止したままであり運転の復旧がで
きず、場合によってはさらにひどい故障へと発展するお
それがある。

【００３８】そして、この種基体処理装置の場合、とく
に真空下でイオン照射を行うべく、真空排気装置，高圧
が印加される装置等を備えているため、真空の異常やイ
オン源の異常には速やかに対処する必要がある。

【００３９】本発明は、異常が発生したときに直ちに異
常の発生個所等を把握できるようにすることを課題と
し、さらには、速やかに適切な措置をとることができる
ようにすることも課題とする。

【００４０】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、本発明の基体処理装置の制御装置の場合、基体処
理装置内の各種の監視対象の状態を検出する状態検出手
段と、各監視対象の異常項目毎の異常報知音声情報が書
込まれた音声情報記憶手段と、状態検出手段の検出結果
により音声情報記憶手段から異常が発生した監視対象の
該当する異常項目の異常報知音声情報を読出す音声情報
選択手段と、音声情報記憶手段から読出された異常報知
音声情報を処理して該当する異常項目の異常報知音声を
出力する音声報知手段とを備える。

【００４１】したがって、異常が発生すると、状態検出
手段の検出結果に基づき、音声情報選択手段が音声情報
記憶手段から異常が発生した監視対象の該当する異常項
目の異常報知音声情報を読出し、その異常報知音声が音
声報知手段から出力され、この報知音声により従来のよ
うに表示画面を常時監視したりすることなく、異常の発
生個所等を直ちに把握することができる。

【００４２】さらに、発生した異常に迅速に対処するた
め、各異常項目の一連の異常対処案内の表示情報が書込
まれた対処情報記憶手段と、状態検出手段の検出結果に
より対処情報記憶手段から該当する異常項目の各異常対
処案内の表示情報を読出す対処情報選択手段と、対処情
報記憶手段から読出された各異常対処案内の表示情報を
処理し，該当する異常項目の一連の異常対処案内を表示
画面の変更にしたがって１又は数個ずつ表示する表示報
知手段とを備えることが好ましい。

【００４３】この場合、状態検出手段の検出結果に基づ
き、対処情報選択手段が対処情報記憶手段から該当する
異常項目の一連の異常対処案内の表示情報を読出し、そ
の一連の情報が１又は数個ずつに区切って見易く表示報
知手段に画面表示され、この画面表示にしたがって迅速
に適切な措置をとることができる。

【００４４】

【実施の形態】本発明の実施の１形態につき、図１ない
し図５を参照して説明する。図１は制御装置の構成を示
し、同図において、図７と同一符号は同一もしくは相当
するものを示す。

【００４５】そして、図１の制御装置は図７の処理部２
８の代わりに異常の発生のＣＲＴ表示報知及び音声報知
の機能を有するマイクロコンピュータ構成の処理部３７
を備える。

【００４６】この処理部３７は共通バス３８がインタフ
ェース３９を介してシーケンサ制御器２７に接続され、
状態検出手段を形成する検出部２６により検出された基
体処理装置内の各種の監視対象の状態の検出信号がシー
ケンサ制御器２７により例えば信号内容に応じたアドレ
スの信号に変換されて処理部３７に伝送される。なお、
シーケンサ制御器２７が出力する信号は、センサの接点
信号のオン，オフ等毎にアドレスが異なる。

【００４７】つぎに、処理部３７はＣＰＵ４０，プログ
ラムメモリとしてのＲＯＭ４１，ワーキングメモリとし
てのＲＡＭ４２の他、音声情報記憶手段及び対処情報記
憶手段を形成するＲＯＭ又はＲＡＭの異常情報メモリ４
３，音声報知手段を形成するスピーカ４４，表示報知手
段を形成するＣＲＴモニタ４５を備え、ＣＰＵ４０によ
りプログラムメモリ４１に保持された図２，図３の異常
監視処理プログラムを常時実行する。

【００４８】そして、このプログラムのステップＳ１に
より伝送されたアドレスの信号から何らかの異常の発生
を検出すると、ステップＳ２によりＣＰＵ４０の音声情
報選択手段及び異常報知選択手段が動作し、両選択手段
は伝送されたアドレスの信号により異常情報メモリ４３
から該当する異常報知音声情報，その異常報知情報を読
出す。

【００４９】すなわち、異常情報メモリ４３は各アドレ
スが例えば図６のイオン源３及び蒸発源１８の電源状
態，真空状態，冷却状態等の各監視対象のフィラメント
断線，電源不良，水不足等の各異常項目に１対１対応
し、各アドレスの領域に、異常報知音声情報，異常報知
表示情報及び一連の対処案内の表示情報が予め書込まれ
ている。

【００５０】そして、異常情報メモリ４３の各アドレス
はシーケンサ制御器２７から伝送された各異常項目のア
ドレスの信号に１対１対応し、例えばアドレス「１」の
信号が冷却水（監視対象）の温度の異常（異常項目）の
信号であれば、この信号の伝送により異常情報メモリ４
３のアドレス「１」の領域から冷却水の温度異常の報知
音声情報，報知表示情報が読出される。

【００５１】さらに、ステップＳ３で読出された異常報
知音声情報が音声信号に加工され、この音声信号がスピ
ーカ４４に供給され、このスピーカ４４から例えば「冷
却水の温度が上がりすぎました」という異常報知音声が
異常の発生と同時に出力される。

【００５２】また、ステップＳ３からステップＳ４を介
してステップＳ５に移行し、このステップＳ５により報
知表示情報が表示信号に加工され、この表示信号に基づ
き、ＣＲＴモニタ４５に例えば「冷却水の温度の異常」
という異常報知が画面表示される。

【００５３】そして、正常復帰の操作等が行われて正常
に戻るまでは、ステップＳ６を介してステップＳ３に戻
り、異常報知音声の出力及び異常報知表示がくり返され
る。

【００５４】このとき、異常発生と同時に音声により異
常の発生およびその発生個所等が報知されるため、作業
員は従来のように表示モニタ等を常時監視することな
く、しかも、その表示画面の多数の表示項目から表示色
等が変化した項目を探したりすることもなく、直ちに何
の異常が発生したかを把握することができる。なお、異
常が発生すると、従来と同様、シーケンサ制御器２７に
より装置運転が停止する。

【００５５】つぎに、ＣＲＴモニタ４５は例えば図４，
図５に示すように、その表示画面４５’の上部に発生し
た異常の対処方法の表示選択釦のアイコン４６が表示さ
れ、このアイコン４６を作業員がマウスクリック等で選
択し、対処方法の表示を選択すると、図２のステップＳ
４から図３のステップＳ７に移行する。

【００５６】そして、最初はステップＳ８によりＣＰＵ
４０の対処情報選択手段が動作し、この選択手段は伝送
されたアドレスの信号に基づいて異常情報メモリ４３の
例えばアドレス「１」の領域から冷却水の温度異常の一
連の異常対処案内の表示情報を読出す。

【００５７】このとき、異常対処案内をＣＲＴモニタ４
５に見易く表示するため、画面寸法等を考慮してＣＲＴ
モニタ４５に一度に表示する異常対処案内の個数が予め
１又は数個に設定（制限）され、読出された一連の異常
対処案内の表示情報は設定数ずつに区分されて異常対処
案内の各１ページの画面を形成する。

【００５８】そして、ステップＳ９により最初の１ペー
ジの画面の表示信号がＣＲＴモニタ４５に供給され、こ
のモニタ４５に例えば冷却水の温度異常の対処案内の最
初の１ページが画面表示される。

【００５９】この画面表示は例えば図４又は図５に示す
ようになり、図４は異常対処案内を３個ずつ表示する場
合を示し、図５は異常対処案内を１個ずつ表示する場合
を示す。

【００６０】そして、冷却水の温度異常の対処案内は、
水の流量，水の汚れ，冷却不足の３つの点検（調査）を
促すものであり、項目数が少ないため、図４の場合は１
ページに全て表示され、この場合は表示ページの変更
（表示画面の変更）は行えない。

【００６１】また、図５の場合は、１つずつ表示するた
め、表示ページ数が３ページになり、この場合は、表示
ページの変更が可能であり、表示画面の変更を指令する
表示ページの前，後の選択シンボル４７ａ，４７ｂが同
時に表示される。

【００６２】そして、最初の異常対処案内画面を表示す
ると、ステップＳ９からステップＳ３に戻り、以降は、
ステップＳ７からステップＳ１０に移行し、選択シンボ
ル４７ａ，４７ｂのマウスクリック等で表示画面の変更
（表示ページの変更）が指令されない限り、ステップＳ
１０からステップＳ１１に移行し、ステップＳ３，ステ
ップＳ１１により異常報知音声を出力するとともに同一
の表示ページの異常対処案内画面を表示する。

【００６３】さらに、異常対処案内画面に表示された例
えば図５の「冷却水の冷却装置を確認し，水の流量が不
足していないか調べよ」という指示にしたがって確認等
した後、作業員が選択シンボル４７ａをマウスクリック
等で選択すると、ステップＳ１０からステップＳ１２に
移行し、表示画面がつぎのページの異常対処案内画面に
変化する。

【００６４】なお、選択シンボル４７ｂを選択すると、
表示画面が１つ前の異常対処案内画面に戻る。そして、
異常対処案内画面の表示にしたがって必要な確認等を順
次に行うことにより、作業員が対処方法を知らなくて
も、発生した異常に最も適した措置を迅速にとることが
でき、装置の復旧が迅速に行える。

【００６５】また、装置が復帰して正常に戻ると、キー
ボード操作等により処理部３７に正常復帰が通知され、
このとき、ステップＳ６からステップＳ１３に移行して
異常報知のリセットが行われ、異常報知音声の出力及び
異常報知の表示，異常対処案内画面の表示が終了する。
そして、ステップＳ１３からステップＳ３に戻り、つぎ
の異常の検出を開始する。

【００６６】したがって、イオン源，蒸発源の数が多く
なり、監視対象及び異常項目が多くなっても、音声報知
によって異常の発生個所等を直ちに把握することができ
るとともに、画面表示された異常対処案内により迅速に
適切な措置をとることができ、この種基体処理装置の性
能が著しく向上する。

【００６７】ところで、処理部３７等の構成はどのよう
であってもよく、例えば音声情報記憶手段と対処情報記
憶手段とは別個のメモリ等の記憶媒体で形成してもよ
く、表示報知手段を液晶モニタ等で形成してもよい。

【００６８】また、異常対処案内画面は一連の異常対処
案内を見易く１又は数個ずつ表示する画面であれば、ど
のような構成であってもよい。さらに、例えば処理部３
７にシーケンサ制御器２７の運転停止のインタロック機
能等を設け、シーケンサ制御器２７を省いてもよいのは
勿論である。

【００６９】

【発明の効果】本発明は、以下に記載する効果を奏す
る。まず、何らかの異常が発生すると、状態検出手段の
検出結果に基づき、音声情報選択手段が音声情報記憶手
段から異常が発生した監視対象の該当する異常項目の異
常報知音声情報を読出し、その異常報知音声が音声報知
手段から出力され、この報知音声により、従来のように
表示画面を常時監視したりすることなく、異常の発生個
所等を直ちに把握することができ、この種基体処理装置
の制御性能が著しく向上し、とくに、イオン源，蒸発源
の数が多くなり監視対象数が多くなる程、著しい効果を
奏する。

【００７０】さらに、対処情報記憶手段，対処情報選択
手段，表示報知手段も備えると、状態検出手段の検出結
果に基づき、対処情報選択手段が対処情報記憶手段から
該当する異常項目の一連の異常対処案内の表示情報を読
出し、このとき、一連の情報が１又は数個ずつに区切っ
て見易く表示報知手段に画面表示され、この画面表示に
したがって迅速に適切な措置をとることができ、この種
基体処理装置の制御性能が一層向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の１形態の一部のブロック図であ
る。

【図２】図１の動作説明用の一部のフローチャートであ
る。

【図３】図１の動作説明用の他の一部のフローチャート
である。

【図４】図１の異常対処案内の表示画面の１例の説明図
である。

【図５】図１の異常対処案内の表示画面の他の例の説明
図である。

【図６】基体処理装置の主装置の構成説明図である。

【図７】従来例のブロック図である。

【図８】図７の異常発生時の報知画面の説明図である。

【符号の説明】

３ イオン源 １８ 蒸発源 ２６ 状態検出手段としての検出部 ４０ 音声情報選択手段，対処情報選択手段を形成する
ＣＰＵ ４３ 音声情報記憶手段，対処情報記憶手段としての異
常情報メモリ ４４ 音声報知手段としてのスピーカ ４５ 表示報知手段としてのＣＲＴモニタ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 イオン源及び蒸発源を有しイオン照射と
   蒸着とにより薄膜形成，イオン注入等の基体処理を行う
   基体処理装置の制御装置において、 基体処理装置内の各種の監視対象の状態を検出する状態
   検出手段と、 前記各監視対象の異常項目毎の異常報知音声情報が書込
   まれた音声情報記憶手段と、 前記状態検出手段の検出結果により前記音声情報記憶手
   段から異常が発生した監視対象の該当する異常項目の異
   常報知音声情報を読出す音声情報選択手段と、 前記音声情報記憶手段から読出された異常報知音声情報
   を処理して前記該当する異常項目の異常報知音声を出力
   する音声報知手段とを備えたことを特徴とする基体処理
   装置の制御装置。
2. 【請求項２】 異常項目毎に一連の異常対処案内の表示
   情報が書込まれた対処情報記憶手段と、 状態検出手段の検出結果により前記対処情報記憶手段か
   ら該当する異常項目の各異常対処案内の表示情報を読出
   す対処情報選択手段と、 前記対処情報記憶手段から読出された各異常対処案内の
   表示情報を処理し，前記該当する異常項目の一連の異常
   対処案内を表示画面の変更にしたがって１又は数個ずつ
   表示する表示報知手段とを備えたことを特徴とする請求
   項１記載の基体処理装置の制御装置。