JPH09229792A - リニア駆動モータの推力試験方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リニア駆動モータへ重りを用いずに押し出し
方向及び引っ張り方向双方の負荷を自動的に加え、重り
の慣性の影響や交換作業の必要性を排除し、両方向につ
いての推力試験を迅速、確実、かつ、容易に行う。 【解決手段】 モータ１からのトルクを電磁クラッチ３
によって調整して伝達し、動力変換機構４において直線
方向の動力へ変換してリニア駆動モータ６へ負荷を加え
る。そして、リニアゲージ１０で実際の負荷を検出し、
その検出値をフィードバックして電磁クラッチ３を制御
し、所望の負荷を得る。又、種々の駆動周波数、駆動電
圧について、負荷を変化させてリニア駆動モータ６がミ
スステップするか否かによって推力を測定し、駆動周波
数−推力特性、駆動電圧−推力特性を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リニア駆動モータ
に所定の負荷を与えて推力試験を行うリニア駆動モータ
の推力試験方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】リニア駆動モータとは、直線駆動型のス
テッピングモータである。図８にリニア駆動モータの断
面概略図を示す。図において、３０は中心軸３１側に溝
が設けられたロータであり、コイル３２に対向する位置
に永久磁石が取り付けられている。中心軸３１は、ロー
タ３０の溝と噛合するスクリュー部３１Ｓを有してお
り、ロータ３０の回転によって直線運動し、これによ
り、図中上方向又は下方向の推力を得るようになってい
る。３３はロータ３０を支持するベアリングである。一
般に、このようなリニア駆動モータの推力は駆動周波数
及び駆動電圧によって異なり、又、１ステップ（１パル
ス）当たりの中心軸の変位量は一定（数十μｍ）であ
る。

【０００３】一方、３４はコイルばねであり、中心軸３
１の直線運動方向に張力を与え、バックラッシュの影響
を除去すると共に、急激な負荷や過大な負荷に対して中
心軸推力を補助するものである。このようなコイルばね
は、リニア駆動モータにおいて一般的に用いられてお
り、特開平７−２５０４６５号公報においては、ロータ
とばね受け部材を軸方向へ付勢するコイルばねが設けら
れたリニア駆動モータを内燃機関の吸気系等に使用され
る流量制御弁に適用したものが示されている。

【０００４】そして、上記リニア駆動モータの推力試験
装置としては、従来、図９に示すように、重りを用いて
推力方向への負荷を発生させるものが用いられていた。
この図において、４０は推力試験対象のリニア駆動モー
タであり、図中鉛直上下方向へ推力を発生する中心軸が
リニアベアリング４１を介して重り４２と連結されてい
る。重り４２は、リニア駆動モータ４０に対して、重力
方向、すなわち、鉛直下向きの負荷を加えるものであ
る。重り４２と、リニアゲージ４４は、リニアベアリン
グ４３を介して連結されており、リニアゲージ４４は、
リニア駆動モータ４０の推力による鉛直方向の変位量を
検出するための変位量検出手段である。

【０００５】このような構成において、まず、重り４２
による負荷を一定としてリニア駆動モータ４０を駆動
し、リニアゲージ４４により鉛直方向の変位量を検出す
る。次いで、検出された変位量により、リニア駆動モー
タ４０が脱調しているか否かを判断する。そして、この
ような検出、判断を重り４２による負荷を変化させて行
い、リニア駆動モータ４０が耐え得る負荷の上限を求め
ることによって、リニア駆動モータ４０の推力を測定す
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、リニア駆動
モータにおいては、上述したように中心軸の直線運動方
向に張力を与えるコイルばねが設けられているので、駆
動周波数及び駆動電圧が同一であっても中心軸の押し出
し方向の推力と引っ張り方向の推力とは一般に同一でな
い。このため、リニア駆動モータの推力試験は、押し出
し方向と引っ張り方向の両方向について行う必要があ
る。

【０００７】しかし、上述した従来のリニア駆動モータ
の推力試験装置においては、重りを用いて負荷を発生さ
せているので、重力方向への負荷に対する推力試験しか
行うことができないという問題点を有していた。更に、
重りを用いていることから慣性の影響を受けるので、正
確な推力試験が困難であった。又、負荷を変化させるに
は重りを交換しなければならず、通常、推力試験を行う
際には数十ｇから数Ｋｇの範囲で重りの重量を変化させ
ることが要求される。このため、人為的な重りの交換作
業を要し、推力試験の自動化が不可能であった。

【０００８】尚、上記両方向の負荷を発生させる手段と
して、滑車と糸、又は天秤を用いて負荷の方向を変える
ことも考えられる。しかしながら、滑車と糸を用いる場
合にあっては、リニア駆動モータの１ステップ当たりの
変位量が数十μｍと小さいため、糸の伸縮による変位量
誤差が１ステップ分の変位量を越えてしまうおそれがあ
り、正確な推力試験を行うことができない。又、天秤を
用いる場合にあっては、負荷がモーメントを伴ったもの
となり、直線的な負荷を発生させることができない。更
に、これらいずれの場合においても重りを用いるため、
上記同様に慣性の影響を受け、人為的な重りの交換作業
が必要で推力試験の自動化は不可能である。

【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、重りを用いずに押し出し方向及び引っ張り方向
双方の負荷を自動的に発生させることができ、重りの慣
性の影響や交換作業の必要性を排除し、両方向について
の推力試験を迅速、確実、かつ、容易に行うことができ
るリニア駆動モータの推力試験方法及びその装置を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
負荷を加えた状態でリニア駆動モータを駆動し、前記リ
ニア駆動モータの中心軸の変位量を検出することにより
推力試験を行うリニア駆動モータの推力試験装置におい
て、トルク発生用のモータと、前記リニア駆動モータに
加える所望の負荷を設定する負荷設定手段と、前記リニ
ア駆動モータに加えられている負荷を検出する負荷検出
手段と、前記負荷検出手段により検出された負荷の検出
値と前記負荷設定手段により設定された負荷の設定値と
の誤差を算出すると共に、前記誤差を増幅し、該増幅し
た誤差を、前記モータからのトルクの伝達を制御する操
作信号として出力する演算処理手段と、前記モータの回
転軸と連結され、前記操作信号に基づいてトルクの伝達
を調整するトルク調整手段と、前記トルク調整手段を介
して伝達されたトルクによる回転動力を直線方向の動力
へ変換し、該直線方向動力によって前記リニア駆動モー
タに負荷を加える動力変換手段とを具備することを特徴
としている。

【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載のリ
ニア駆動モータの推力試験装置において、前記トルク調
整手段は電磁クラッチであり、前記動力変換手段は、前
記トルク調整手段を介して伝達されたトルクによって回
転運動するピニオンと、該ピニオンと噛合し、かつ、前
記リニア駆動モータの中心軸と連結されたラックとから
なる動力変換手段であることを特徴としている。

【００１２】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載のリニア駆動モータの推力試験装置を用いたリニア駆
動モータの推力試験方法であって、前記リニア駆動モー
タに加えるべき負荷の方向に応じた回転方向で前記モー
タを駆動してトルクを発生させる第１の過程と、前記負
荷設定手段により前記リニア駆動モータに加えるべき負
荷を設定すると共に、前記負荷検出手段及び前記演算処
理手段によって前記トルク調整手段をフィードバック制
御し、前記リニア駆動モータに加えられる負荷の大きさ
が前記設定値となるようにする第２の過程と、前記リニ
ア駆動モータを所定の駆動周波数で所定のステップ分駆
動する第３の過程と、前記リニア駆動モータの中心軸の
変位量を検出してミスステップがあったか否かを判断す
る第４の過程とを有し、前記第４の過程においてミスス
テップがあったと判断されるまで前記負荷設定手段によ
り設定する負荷を徐々に増大して前記第２から第４の過
程を繰り返し、ミスステップがあったと判断されたとき
の前記負荷の設定値により、前記リニア駆動モータの推
力を測定することを特徴としている。

【００１３】請求項４記載の発明は、請求項３記載のリ
ニア駆動モータの推力試験方法における前記第３の過程
において、前記リニア駆動モータを、前記所定の駆動周
波数に替えて、所定の駆動電圧で、所定のステップ分駆
動することを特徴としている。

【００１４】請求項５記載の発明は、駆動電圧を一定と
し、種々の駆動周波数について、請求項３記載のリニア
駆動モータの推力試験方法によって前記リニア駆動モー
タの推力を測定し、前記リニア駆動モータの駆動周波数
−推力特性を測定することを特徴としている。

【００１５】請求項６記載の発明は、駆動周波数を一定
とし、種々の駆動電圧について、請求項４記載のリニア
駆動モータの推力試験方法によって前記リニア駆動モー
タの推力を測定し、前記リニア駆動モータの駆動電圧−
推力特性を測定することを特徴としている。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の一
実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態
によるリニア駆動モータの推力試験装置の構成を示す概
略図である。

【００１７】図において、１はトルク発生用のモータで
あり、回転軸がカップリング２を介して電磁クラッチ３
と連結されている。ここで、発生させるトルクの方向
は、このモータ１の回転方向を切り替えることによって
変化させることができるようになっている。電磁クラッ
チ３は、所定の操作信号によって制御され（後述）、該
操作信号に基づいてモータ１のトルクを調整して動力変
換機構４へ伝達する。

【００１８】動力変換機構４は、電磁クラッチ３を介し
て伝達されたトルクによって回転運動するピニオン４ａ
と、それに噛合するラック４ｂとからなっており、ピニ
オン４ａの回転運動がラック４ｂの直線運動へ変換され
るようになっている。そして、このラック４ｂの下側が
リニアベアリング５を介してリニア駆動モータ６の中心
軸と連結されており、モータ１から電磁クラッチ３を介
して伝達されたトルクが鉛直上向き又は下向きの負荷と
なってリニア駆動モータ６に加えられるようになってい
る。又、ラック４ｂの上側はリニアベアリング７を介し
てリニアゲージ８と連結されている。

【００１９】リニア駆動モータ６は、推力試験対象のリ
ニア駆動モータであり、鉛直上向き又は下向きに上記負
荷を受けつつ推力を発生して中心軸を上下する。リニア
ゲージ８は、リニア駆動モータ６の推力による中心軸の
上下方向の変位量を検出するための変位量検出手段であ
る。

【００２０】９はリニア駆動モータ６を収納したケース
を上下にスライドさせるリニアスライドである。このリ
ニアスライド９は、リニア駆動モータ６に上向き又は下
向きの負荷が加えられた時に前記ケースの上下方向の移
動を案内する。

【００２１】１０はリニア駆動モータ６に加えられてい
る負荷を検出するロードセルである。このロードセル１
０によって検出された負荷の値は、図示せぬ演算処理装
置へ入力され、電磁クラッチ３の操作信号を生成するた
めのデータとして使用される。ここにいう演算処理装置
及び操作信号の生成の詳細については後述する。

【００２２】次に、上記リニア駆動モータの推力試験装
置によるリニア駆動モータ６の推力試験方法について説
明する。最初に、駆動電圧を一定とし、リニア駆動モー
タ６の駆動周波数−推力特性を測定する場合の推力試験
方法について、図２に示す推力試験のフローチャート及
び図３に示す制御ブロック図を参照して説明する。

【００２３】まず、発生させる負荷の方向（押し出し方
向又は引っ張り方向）に応じた回転方向及び一定の回転
数によりモータ１の駆動を開始してトルクを発生させる
（図２のステップＳ1）。続いて、リニア駆動モータ６
へ加えるべき負荷の大きさを所定の負荷設定手段によっ
て設定し、その設定した負荷の値とロードセル１０によ
り検出された負荷の値とに基づき、電磁クラッチ３をフ
ィードバック制御して所望の負荷を得る（ステップＳ
2）。ここで、このステップＳ2におけるフィードバック
制御について、図３の制御ブロック図を参照して更に詳
細に説明する。

【００２４】図３においては、減算器２０及び増幅器２
１が上記演算処理装置に相当する。この図は、該演算処
理装置と、電磁クラッチ３と、ロードセル１０との間に
おける信号の入出力関係を示している。ステップＳ2で
は、まず、上記負荷設定手段によって負荷の値を設定
し、これをリニア駆動モータ６へ加える負荷を指定する
入力信号ｒ（ｔ）とする。

【００２５】次いで、入力信号ｒ（ｔ）からロードセル
１０によって検出された実際の負荷の値ｃ（ｔ）を減じ
て誤差信号ｅ（ｔ）を求め、増幅器２１によって該誤差
信号ｅ（ｔ）を増幅して操作信号ｉ（ｔ）を得る。そし
て、この操作信号ｉ（ｔ）を電磁クラッチ３へ出力して
電磁クラッチ３におけるトルク伝達率を制御することに
より、リニア駆動モータ６へ加える負荷ｃ（ｔ）を調節
する。以後同様に、検出された実際の負荷をフィードバ
ックし、設定した負荷との差に基づいてトルク伝達率を
制御することを繰り返すことにより、所望の負荷を得
る。

【００２６】このようにしてリニア駆動モータ６へ所望
の負荷を加えた状態で、図２のステップＳ3へ進む。
尚、リニア駆動モータ６へ加える負荷の大きさは、上記
負荷設定手段により任意に設定することができる。

【００２７】ステップＳ3では、ある周波数のパルスを
ある周期分供給することにより、上記負荷が加えられた
状態でリニア駆動モータ６を該周波数で該周期分に相当
するステップ分だけ駆動させる。そして、ステップＳ4
でリニアゲージ８によって検出された中心軸の変位量か
らミスステップがあったか否かを判断する。ここで検出
される変位量は、例えば、リニア駆動モータ６の１ステ
ップ当たりのストロークが４１μｍであり、供給したパ
ルスが１００パルスであった場合では４．１ｍｍとなる
はずである。ステップＳ4では、検出された変位量がこ
のように予期される変位量から一定の許容誤差の範囲内
にあるか否かを判断するのである。

【００２８】ここで、検出された変位量が前記許容誤差
の範囲内であったとすると、ステップＳ5へ進み、リニ
ア駆動モータ６へ加える負荷を増大するように新たな負
荷の値を設定する。次いで、再びステップＳ2へ進み、
上記同様に電磁クラッチ３をフィードバック制御し、負
荷を増大した状態で、上記ステップＳ3における駆動周
波数と同一の駆動周波数で同一のステップ分だけリニア
駆動モータ６を駆動させる。そして、再び中心軸の変位
量からミスステップがあったか否かを判断し、以降、ミ
スステップが生ずるまで、負荷の値を徐々に増大しつ
つ、ステップＳ2〜Ｓ5の処理を繰り返す。

【００２９】一方、ステップＳ4において、検出された
変位量が許容誤差の範囲内になく、ミスステップがあっ
た場合には、リニア駆動モータ６が脱調している。これ
は、設定した負荷がリニア駆動モータ６の推力を越えて
いるか、あるいは駆動周波数が高く、供給されたパルス
に追従して動作することができなかったことを示してい
る。従って、このミスステップがあった時に設定されて
いる負荷の値が、リニア駆動モータ６の駆動可能領域と
脱調領域との境界となり、このときの設定値によってリ
ニア駆動モータ６の推力が測定される。尚、このときの
負荷及び駆動周波数の値は、所定の記憶手段を設けて記
憶する等、後にデータとして使用できるようにしてお
く。

【００３０】このようにリニア駆動モータ６がミスステ
ップしたときには、ステップＳ4からステップＳ6へ進
み、推力試験を行うべき駆動周波数領域の全てについて
推力試験を終了したか否か判断する。ここで、該駆動周
波数領域についての推力試験が終了していない場合に
は、ステップＳ7へ進み、リニア駆動モータ６の駆動周
波数をまだ推力試験を行っていない駆動周波数に変えて
再び上記ステップＳ1、Ｓ2〜Ｓ4、Ｓ5の処理を繰り返
す。

【００３１】一方、推力試験を行うべき駆動周波数領域
の全てについて推力試験が終了したときは、ステップＳ
8へ進む。そして、図４の×印で示すように、推力試験
を行った駆動周波数及びリニア駆動モータ６がミスステ
ップした時の負荷の値のデータをグラフ上にプロットす
る。これにより、図示のような一定駆動電圧におけるリ
ニア駆動モータ６の駆動周波数−推力特性を得る。

【００３２】次に、駆動周波数を一定とし、リニア駆動
モータ６の駆動電圧−推力特性を測定する場合の推力試
験方法について、図５に示す推力試験のフローチャート
を参照して説明する。

【００３３】まず、上記駆動周波数−推力特性の測定の
場合と同様に、発生させる負荷の方向（押し出し方向又
は引っ張り方向）に応じたモータ１の駆動を開始する
（ステップＳ10）。そして、リニア駆動モータ６へ加え
るべき負荷の大きさを負荷設定手段によって設定し、設
定した負荷の値とロードセル１０により検出された負荷
の値とに基づき、電磁クラッチ３をフィードバック制御
して所望の負荷を得る（ステップＳ11）。このステップ
Ｓ11におけるフィードバック制御は、上記図２のステッ
プＳ2同様、図３の制御ブロック図に示す信号の入出
力、演算処理、電磁クラッチ３のトルク伝達率制御によ
って行われ、リニア駆動モータ６へ所望の負荷を加えた
状態で図５のステップＳ12へ進む。

【００３４】ステップＳ12では、ある電圧のパルスをあ
る周期分供給することにより、上記負荷が加えられた状
態でリニア駆動モータ６を該電圧で該周期分に相当する
ステップ分だけ駆動させる。そして、ステップＳ13へ進
み、リニアゲージ８によって検出された中心軸の変位量
からミスステップがあったか否かを判断する。

【００３５】ここで、ミスステップがなかった場合に
は、ステップＳ14へ進み、リニア駆動モータ６へ加える
負荷を増大するように新たな負荷の値を設定する。次い
で、再びステップＳ11へ進み、上記同様に電磁クラッチ
３をフィードバック制御し、負荷を増大した状態で、上
記ステップＳ12における駆動電圧と同一の駆動電圧で同
一のステップ分だけリニア駆動モータ６を駆動させる。
そして、ステップＳ13で再び中心軸の変位量からミスス
テップがあったか否かを判断し、以降、ミスステップが
生ずるまで、負荷の値を徐々に増大しつつ、ステップＳ
11〜Ｓ14の処理を繰り返す。

【００３６】一方、ミスステップがあった場合には、リ
ニア駆動モータ６が脱調しており、このときに設定され
ている負荷の値がリニア駆動モータ６の駆動可能領域と
脱調領域との境界となる。従って、このときの負荷の設
定値によりリニア駆動モータ６の推力が測定され、該設
定値及び駆動電圧の値は所定の記憶手段等に記憶され
る。

【００３７】このように、リニア駆動モータ６がミスス
テップしたときには、ステップＳ13からステップＳ15へ
進み、推力試験を行うべき駆動電圧領域の全てについて
推力試験を終了したか否か判断する。ここで、該駆動電
圧領域についての推力試験が終了していない場合には、
ステップＳ16へ進み、リニア駆動モータ６の駆動電圧を
まだ推力試験を行っていない駆動電圧に変えて再び上記
ステップＳ10、Ｓ11〜Ｓ13、Ｓ14の処理を繰り返す。

【００３８】一方、推力試験を行うべき駆動電圧領域の
全てについて推力試験が終了したときは、ステップＳ17
へ進む。そして、図６の×印で示すように、推力試験を
行った駆動電圧及びリニア駆動モータ６がミスステップ
した時の負荷の値のデータをグラフ上にプロットする。
これにより、図示のような一定駆動周波数におけるリニ
ア駆動モータ６の駆動電圧−推力特性を得る。

【００３９】以上述べたように、駆動電圧を一定として
所望の駆動周波数領域についての推力試験を行うことに
より、図４に示すような駆動周波数−推力特性が得ら
れ、駆動周波数を一定として所望の駆動電圧領域につい
ての推力試験を行うことにより、図６に示すような駆動
電圧−推力特性が得られる。ここで、これらの特性を測
定する推力試験は、発生させる負荷の方向に応じてモー
タ１の回転方向を選択することにより、リニア駆動モー
タ６の押し出し方向及び引っ張り方向の双方について行
うことができる。

【００４０】更に、駆動周波数−推力特性の測定におい
て一定とした駆動電圧を変化させ、又は、駆動電圧−推
力特性の測定において一定とした駆動周波数を変化させ
ることにより、駆動周波数及び駆動電圧についての推力
特性を得ることもできる。例えば、駆動周波数を１００
ppsとして、上述した図５の駆動電圧−推力特性の測定
を行うことにより、図７中で示した特性曲線を得る。
続いて、駆動周波数を２００pps、３００ppsとして同様
に駆動電圧−推力特性を測定し、同図中、で示した
特性曲線を得る。このようにして、図７に示すような駆
動周波数及び駆動電圧の双方についての推力特性を得る
ことができる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、所
望の回転方向でモータを駆動し、これにより発生したト
ルクを動力変換手段によって直線方向の動力へ変換して
リニア駆動モータに負荷を加えることとしたので、重り
を用いずにリニア駆動モータの中心軸の押し出し方向及
び引っ張り方向双方の負荷を発生させることができる。
又、負荷設定手段によって任意の負荷を設定し、トルク
調整手段を実際にリニア駆動モータに加えられている負
荷をフィードバックして制御することとしたので、上記
両方向について、所望の負荷を正確、かつ、容易に自動
的に得ることができるという効果が得られる。

【００４２】更に、負荷の発生源をモータとし、重りを
用いないこととしたことにより、重りの慣性の影響が排
除されると共に、重りの交換作業が不要となる。これに
より、リニア駆動モータの推力試験を極めて効率的に行
うことができ、上記両方向について、任意の駆動周波数
におけるリニア駆動モータの推力を迅速、確実、かつ、
容易に測定することができるという効果が得られる。

【００４３】特に、請求項２記載の発明によれば、トル
ク調整手段に電磁クラッチを用い、動力変換手段にラッ
ク＆ピニオンを用いているので、トルク伝達の制御、動
力の方向変換をより正確、かつ、精密に行うことができ
る。これにより、所望の負荷を一層正確に発生させるこ
とができるという効果が得られる。

【００４４】又、請求項３又は４記載の発明によれば、
請求項１又は２記載のリニア駆動モータの推力試験装置
を用いて、ミスステップが生ずる負荷の大きさにより、
そのときの駆動周波数又は駆動電圧の下でのリニア駆動
モータの推力を測定することとしたので、容易に推力測
定を行うことができる。そして、更に進んで、請求項５
又は６記載の発明によれば、かかる推力測定を種々の駆
動周波数又は駆動電圧について行い、駆動周波数−推力
特性又は駆動電圧−推力特性を得ることとしたので、リ
ニア駆動モータの特性測定の効率が極めて向上するとい
う効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態によるリニア駆動モータ
の推力試験装置の構成を示す概略図である。

【図２】 同実施形態において実行される駆動周波数−
推力特性測定のフローチャートである。

【図３】 図２のステップＳ2における電磁クラッチ３
の制御ブロック図である。

【図４】 本発明によるリニア駆動モータの推力試験に
よって得られる駆動周波数−推力特性の一例を示す図で
ある。

【図５】 同実施形態において実行される駆動電圧−推
力特性測定のフローチャートである。

【図６】 本発明によるリニア駆動モータの推力試験に
よって得られる駆動電圧−推力特性の一例を示す図であ
る。

【図７】 本発明によるリニア駆動モータの推力試験に
よって得られる駆動周波数及び駆動電圧双方についての
推力特性の一例を示す図である。

【図８】 リニア駆動モータの断面概略図である。

【図９】 従来のリニア駆動モータの推力試験装置の構
成を示す概略図である。

【符号の説明】

１ モータ ３ 電磁クラッチ ４ 動力変換機構 ４ａ ピニオン ４ｂ ラック ６ リニア駆動モータ ８ リニアゲージ １０ ロードセル

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 負荷を加えた状態でリニア駆動モータを
   駆動し、前記リニア駆動モータの中心軸の変位量を検出
   することにより推力試験を行うリニア駆動モータの推力
   試験装置において、 トルク発生用のモータと、 前記リニア駆動モータに加える所望の負荷を設定する負
   荷設定手段と、 前記リニア駆動モータに加えられている負荷を検出する
   負荷検出手段と、 前記負荷検出手段により検出された負荷の検出値と前記
   負荷設定手段により設定された負荷の設定値との誤差を
   算出すると共に、前記誤差を増幅し、該増幅した誤差
   を、前記モータからのトルクの伝達を制御する操作信号
   として出力する演算処理手段と、 前記モータの回転軸と連結され、前記操作信号に基づい
   てトルクの伝達を調整するトルク調整手段と、 前記トルク調整手段を介して伝達されたトルクによる回
   転動力を直線方向の動力へ変換し、該直線方向動力によ
   って前記リニア駆動モータに負荷を加える動力変換手段
   とを具備することを特徴とするリニア駆動モータの推力
   試験装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のリニア駆動モータの推力
   試験装置において、 前記トルク調整手段は電磁クラッチであり、 前記動力変換手段は、前記トルク調整手段を介して伝達
   されたトルクによって回転運動するピニオンと、該ピニ
   オンと噛合し、かつ、前記リニア駆動モータの中心軸と
   連結されたラックとからなる動力変換手段であることを
   特徴とするリニア駆動モータの推力試験装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載のリニア駆動モータ
   の推力試験装置を用いたリニア駆動モータの推力試験方
   法であって、 前記リニア駆動モータに加えるべき負荷の方向に応じた
   回転方向で前記モータを駆動してトルクを発生させる第
   １の過程と、 前記負荷設定手段により前記リニア駆動モータに加える
   べき負荷を設定すると共に、前記負荷検出手段及び前記
   演算処理手段によって前記トルク調整手段をフィードバ
   ック制御し、前記リニア駆動モータに加えられる負荷の
   大きさが前記設定値となるようにする第２の過程と、 前記リニア駆動モータを所定の駆動周波数で所定のステ
   ップ分駆動する第３の過程と、 前記リニア駆動モータの中心軸の変位量を検出してミス
   ステップがあったか否かを判断する第４の過程とを有
   し、 前記第４の過程においてミスステップがあったと判断さ
   れるまで前記負荷設定手段により設定する負荷を徐々に
   増大して前記第２から第４の過程を繰り返し、ミスステ
   ップがあったと判断されたときの前記負荷の設定値によ
   り、前記リニア駆動モータの推力を測定することを特徴
   とするリニア駆動モータの推力試験方法。
4. 【請求項４】 前記第３の過程において、前記リニア駆
   動モータを、前記所定の駆動周波数に替えて、所定の駆
   動電圧で、所定のステップ分駆動することを特徴とする
   請求項３記載のリニア駆動モータの推力試験方法。
5. 【請求項５】 駆動電圧を一定とし、種々の駆動周波数
   について、請求項３記載のリニア駆動モータの推力試験
   方法によって前記リニア駆動モータの推力を測定し、前
   記リニア駆動モータの駆動周波数−推力特性を測定する
   リニア駆動モータの推力試験方法。
6. 【請求項６】 駆動周波数を一定とし、種々の駆動電圧
   について、請求項４記載のリニア駆動モータの推力試験
   方法によって前記リニア駆動モータの推力を測定し、前
   記リニア駆動モータの駆動電圧−推力特性を測定するリ
   ニア駆動モータの推力試験方法。