JPH09231631A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH09231631A
JPH09231631A JP8033665A JP3366596A JPH09231631A JP H09231631 A JPH09231631 A JP H09231631A JP 8033665 A JP8033665 A JP 8033665A JP 3366596 A JP3366596 A JP 3366596A JP H09231631 A JPH09231631 A JP H09231631A
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magneto
reproducing
recording medium
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Naoyasu Iketani
直泰 池谷
Yoshiteru Murakami
善照 村上
Junji Hirokane
順司 広兼
Akira Takahashi
明 高橋
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Original Assignee
Sharp Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 面内磁化状態にある部分の記録磁区情報がマ
スクされ、集光された光ビームのビーム径内に隣接する
記録ビットが入る場合においても、高い信号品質で個々
の記録ビットを分離して再生可能な光磁気記録媒体を得
る。 【解決手段】 基板上に、透明誘電体層と、室温におい
て面内磁化状態であり温度上昇にともない垂直磁化状態
となる再生層と、金属膜層と、垂直磁化膜からなる記録
層と、保護層とが順次形成されてなる光磁気記録媒体に
おいて、前記再生層の膜厚を5nm乃至30nmとし、
前記金属膜層の膜厚を6nm乃至40nmとし、前記記
録層の膜厚を20nm乃至80nmとする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録再生装
置に適用される光磁気ディスク、光磁気テープ、光磁気
カード等の光磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、書き換え可能な光記録媒体と
して、光磁気記録媒体が実用化されている。このような
光磁気記録媒体では、半導体レーザから出射され光磁気
記録媒体上に集光される光ビームのビーム径に対して、
記録用磁区である記録ビット径及び記録ビット間隔が小
さくなってくると、再生特性が劣化してくるという欠点
が生じている。これは、目的とする記録ビット上に集光
される光ビームのビーム径内に隣接する記録ビットが入
るために、個々の記録ビットを分離して再生することが
できなくなることが原因である。
【0003】上記の欠点を解消するために、特開平6−
150418号公報においては、室温において面内磁化
状態であり、温度上昇と共に垂直磁化状態となる再生層
と記録層との間に非磁性中間層を設け、再生層と記録層
とが静磁結合した構造とする光磁気記録媒体が開示され
ている。この光磁気記録媒体によれば、面内磁化状態に
ある部分の記録磁区情報がマスクされるため、集光され
た光ビームのビーム径内に隣接する記録ビットが入った
場合においても、個々の記録ビットを分離して再生する
ことが可能となることが示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
特開平6−150418号公報では、さらに小さい記録
ビット径及びさらに小さい記録ビット間隔で記録再生を
行った場合、再生層に存在する磁化から発生する漏洩磁
界が記録層へ達し、記録・消去に大きな磁界を必要とす
る問題点があることが確認された。
【0005】本発明は、上記従来の問題点を解決するた
めになされたものであり、その目的は、さらに小さい記
録ビット径及びさらに小さい記録ビット間隔で記録再生
を行った場合においても再生可能な光磁気記録媒体を得
ると共に、小さな磁界でも記録消去可能な光磁気記録媒
体を得ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の光磁気記録媒体は、基板上に、透明誘電体層
と、室温において面内磁化状態であり温度上昇にともな
い垂直磁化状態となる再生層と、金属膜層と、垂直磁化
膜からなる記録層と、保護層とが順次形成されてなる光
磁気記録媒体において、前記再生層の膜厚が5nm乃至
30nmであり、前記金属膜層の膜厚が6nm乃至40
nmであり、前記記録層の膜厚が20nm乃至80nm
であることを特徴とする。
【0007】また、基板上に、第1の透明誘電体層と、
室温において面内磁化状態であり温度上昇にともない垂
直磁化状態となる再生層と、第2の透明誘電体層と、金
属膜層と、垂直磁化膜からなる記録層と、保護層とが順
次形成されてなる光磁気記録媒体において、前記再生層
の膜厚が5nm乃至30nmであり、前記第2の透明誘
電体層及び金属膜層の膜厚の合計が6nm乃至40nm
であり、前記記録層の膜厚が20nm乃至80nmであ
ることを特徴とする。
【0008】また、前記光磁気記録媒体において、前記
記録層の補償温度Twcompが50℃以下であるか、また
は室温からキュリー温度Twcまで常に前記記録層の遷移
金属副格子モーメントが希土類金属副格子モーメントよ
りも大きいことを特徴とし、あるいは、前記再生層の補
償温度Trcompが180℃以上であるか、またはキュリ
ー温度Trcまで常に前記再生層の希土類金属副格子モー
メントが遷移金属副格子モーメントよりも大きいことを
特徴とする。
【0009】さらに前記光磁気記録媒体において、前記
記録層と前記保護層との間に前記記録層のキュリー温度
よりも高いキュリー温度を有する記録補助層を備え、該
記録補助層と前記記録層との膜厚の合計が20nm以上
であることを特徴とし、該光磁気記録媒体において、前
記記録補助層の補償温度Ticompが50℃以下である
か、または室温からキュリー温度Ticまで常に前記記録
補助層の遷移金属副格子モーメントが希土類金属副格子
モーメントよりも大きいことを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態1〕本発明の第1の実施形態について図1
に基づいて説明すれば以下の通りである。なお本願の実
施形態では、光磁気記録媒体として光磁気ディスクを適
用した場合について説明する。
【0011】本実施形態に係る光磁気ディスクは図1に
示すように、基板1、第1の透明誘電体層2、再生層
3、金属膜層4、記録層5、保護層6、オーバーコート
層7がこの順にて積層され、ディスク本体8を形成して
いる。このような光磁気ディスクでは、その記録方式と
してキュリー温度記録方式が用いられており、半導体レ
ーザから出射される光ビーム9が対物レンズ10により
再生層3に絞り込まれ、極カー効果として知られている
光磁気効果によって情報が記録再生されるようになって
いる。極カー効果とは、入射表面に垂直な磁化の向きに
より、反射光の偏光面の回転の向きが逆方向になる現象
である。
【0012】基板1は、例えばポリカーボネート等の透
明な基材からなり、ディスク状に形成される。再生層3
は、希土類遷移金属合金からなる磁性膜からなり、その
磁気特性は、室温において面内磁化状態であり、温度上
昇にともない垂直磁化状態となるように組成調整され、
膜厚は5〜30nmの範囲に設定されている。金属膜層
4は、単一金属または2種類以上の合金で形成される金
属膜からなり、膜厚は6〜40nmに設定されている。
記録層5は、希土類遷移金属合金からなる垂直磁化膜か
らなり、膜厚は20〜80nmの範囲に設定されてい
る。
【0013】本実施形態においては、再生層3と記録層
5とが静磁結合しており、再生層3の磁化方向は、記録
層5の磁化から発生する漏洩磁界と同じ方向、すなわち
記録層5の磁化と同じ方向を向こうとする。しかし、再
生層の面内磁化状態にある部分、すなわち温度上昇して
いない部分は極カー効果を示さないため、再生層の垂直
磁化状態にある部分、すなわち再生のためのレーザ光照
射により温度上昇した部分のみの情報を再生することが
可能となり、光ビームスポットよりも小さなピッチで記
録された記録磁区を再生することが可能となる。
【0014】第1の透明誘電体層2の膜厚は、入射する
レーザ光に対して良好な干渉効果が実現し、媒体のカー
回転角が増大すべく設定する必要があり、再生層の波長
をλ、透明誘電体層の屈折率をnとした場合、第1の透
明誘電体層2の膜厚は、(λ/4n)程度に設定する。
例えば、レーザ光の波長を680nmとした場合、第1
の透明誘電体層2の膜厚は、40〜100nm程度に設
定すれば良い。
【0015】〔実施の形態2〕本発明の第2の実施形態
について図2に基づいて説明すれば以下の通りである。
【0016】本実施形態に係る光磁気ディスクは図2に
示すように、基板1、第1の透明誘電体層2、再生層
3、第2の透明誘電体層11、金属膜層4、記録層5、
保護層6、オーバーコート層7がこの順にて積層され、
ディスク本体8を形成している。本実施形態における記
録再生動作については、実施形態1と同様である。
【0017】本実施形態においては、再生層3に接して
第2の透明誘電体層11を設けることにより、熱感度が
改善され、再生レーザ光の低出力化及びより大きな再生
信号を得ることを可能としている。
【0018】〔実施の形態3〕本発明の第3の実施形態
について図3及び図4に基づいて説明すれば以下の通り
である。
【0019】本実施形態に係る光磁気ディスクは図3に
示すように、基板1、第1の透明誘電体層2、再生層
3、金属膜層4、記録層5、記録補助層12、保護層
6、オーバーコート層7がこの順にて積層され、ディス
ク本体8を形成しているか、あるいは図4に示すよう
に、基板1、第1の透明誘電体層2、再生層3、第2の
透明誘電体層11、金属膜層4、記録層5、記録補助層
12、保護層6、オーバーコート層7がこの順にて積層
され、ディスク本体8を形成している。本実施形態にお
ける記録再生動作については、実施形態1と同様であ
る。
【0020】本実施形態においては、記録層5と保護層
6との間に記録層5のキュリー温度よりも高いキュリー
温度を有する記録補助層12を形成することにより、記
録動作の改善を行うことを可能としている。
【0021】
【実施例】
〔実施例1〕本発明の第1の実施形態の光磁気ディスク
の形成方法について説明する。
【0022】まず、Alターゲットと、GdFeCo合
金ターゲットと、TbDyFeCoターゲットとをそれ
ぞれ備えたスパッタ装置内に、プリグルーブ及びプリピ
ットを有しディスク状に形成されたポリカーボネート製
の基板1を基板ホルダーに配置する。スパッタ装置内を
1×10-6Torrまで真空排気した後、アルゴンと窒
素の混合ガスを導入し、Alターゲットに電力を供給し
て、ガス圧4×10-3Torrの条件で、基板1にAl
Nからなる第1の透明誘電体層2を膜厚80nmで形成
する。
【0023】次に、再度スパッタ装置内を1×10-6
orrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し、G
dFeCo合金ターゲットに電力を供給して、ガス圧4
×10-3Torrとし、上記第1の透明誘電体層2上に
Gd0.31(Fe0.78Co0.22)0.69からなる再生層3を膜
厚20nmで形成する。その再生層3は、室温において
面内磁化状態であり、120℃の温度で垂直磁化状態と
なる特性を有し、補償温度が300℃、キュリー温度が
360℃である。
【0024】次に、アルゴンガスを導入し、Alターゲ
ットに電力を供給して、ガス圧3×10-3Torrの条
件で、再生層3上にAlからなる金属膜層4を膜厚20
nmで形成する。
【0025】次に、再度スパッタ装置内を1×10-6
orrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し、T
bDyFeCo合金ターゲットに電力を供給して、ガス
圧4×10-3Torrとし、上記金属膜層4上に(Tb
0.75Dy0.25)0.30(Fe0.72Co0.28)0.70からなる記
録層5を膜厚40nmで形成する。その記録層5は、2
5℃に補償温度を有し、キュリー温度が275℃であ
る。
【0026】次に、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10
-3Torrの条件で、記録層5上にAlNからなる保護
層6を形成する。保護層6の膜厚は、記録層5を酸化等
の腐食から保護することが可能であればよく、5nm以
上であることが望ましい。本実施例においては、保護層
6の膜厚を20nmとした。
【0027】次に、上記保護層6上に、紫外線硬化樹脂
または熱硬化樹脂をスピンコートにより塗布して、紫外
線を照射するか、あるいは加熱するかによってオーバー
コート層7を形成する。
【0028】上記ディスクについて、波長680nmの
半導体レーザを用いた光ピックアップにより測定したC
NR(信号対雑音比)のマーク長依存性を図5に示す。
比較のため、現在市販されている光磁気ディスクのCN
Rのマーク長依存性も併せて同図に記載する。なお、現
在市販されている光磁気ディスクの媒体構成は、図6に
示すように、(基板91/第1の誘電体層92/記録層
93/第2の誘電体層94/反射層95/オーバーコー
ト層96)となっている。
【0029】本発明に関するCNRの測定は、波長68
0nmの半導体レーザを用いた光ピックアップで行って
おり、市販光磁気ディスクにマーク長0.3μm、マー
クピッチ0.6μmにて普通に記録された記録磁区列の
場合、複数の記録磁区が光ビームスポットの中に入り、
個々の記録磁区を分離して再生することができなくな
る。そのため、市販光磁気ディスクにおいて、マーク長
0.3μmでのCNRはゼロとなっている。
【0030】これに対して、本発明の光ディスクは、レ
ーザ照射に伴い温度上昇し、再生層3が垂直磁化状態と
なった部分のみを再生することが可能であるため、マー
ク長0.3μmの場合においても、40.5dBのCN
Rが得られている。
【0031】従来、本発明のように再生層3と記録層5
とが静磁結合した構成の光磁気記録媒体においては、再
生層3と記録層5の間に形成される非磁性中間層、すな
わち本発明における金属膜層4は、特開平6−1504
18号公報に記載されているように、5nmと薄く形成
されている。これは、記録層から発生する漏洩磁界が記
録層から離れるにつれて小さくなるため、再生層が記録
層から発生する漏洩磁界と十分静磁結合するように、再
生層と記録層との間隔を小さく、すなわち非磁性中間層
を薄く形成するためである。しかし、本実施例では図5
に示すように、金属膜層4(非磁性中間層)を20nm
と厚くした場合においても良好な超解像再生特性を得る
ことができる。
【0032】次に表1は、実施例1における再生層3と
記録層5の膜厚を変えて、マーク長0.45μmでのC
NRを測定した結果を示すものである。
【0033】
【表1】
【0034】表1において、再生層3の膜厚を3nmと
した場合、再生層3が存在しない場合よりもCNRが低
くなっており、再生特性の改善が確認されなかった。こ
れは、再生層3が薄くなり過ぎたために、室温において
面内磁化状態であり温度上昇とともに垂直磁化状態とな
るべき再生層3の磁気特性が良好に実現されなかったこ
とによる。良好なCNRを得るためには、再生層3の膜
厚が5nm以上必要である。また、再生層3の膜厚が3
5nm以上になると消去磁界が急激に上昇し、40kA
/m以上の消去磁界が必要となるため、消去磁界発生装
置の大型化・消費電力の増大を招くこととなる。現在の
光磁気ディスクドライブにおいて、現実的な消去磁界を
実現するためには、再生層膜厚を30nm以下とする必
要がある。
【0035】次に、再生層3の膜厚を20nmとし、記
録層5の膜厚を10nmとした場合には、まったく再生
信号が得られなかった。これは、再生層3の磁化方向が
記録層5から発生する漏洩磁界により決定されるため、
記録層5の膜厚が薄くなり記録層5から発生する漏洩磁
界が小さくなった場合、記録情報の再生を行うことがで
きないためである。表1から分かるように、本発明の構
成においては、記録層5の膜厚を20nm以上とする必
要がある。また、再生特性(CNR)のみから判断する
と、記録層5の膜厚に上限は存在しないが、記録層5が
厚くなり過ぎると大きな消去磁界が必要となる。31k
A/mより大きな消去磁界を発生させるためには、大型
の磁界発生装置が必要となり、光磁気記録再生装置の大
型化を招くことになる。したがって実用的な消去磁界
(31kA/m以下)を実現するためには、記録層5の
膜厚を80nm以下とする必要がある。
【0036】次に表2は、実施例1における金属膜層4
の膜厚を変えて、マーク長0.45μmでのCNR・消
去磁界を測定した結果を示すものである。
【0037】
【表2】
【0038】表2からわかるように、金属膜層4の膜厚
が5nm以下になると、消去磁界が急激に大きくなる。
これは、金属膜層4の膜厚が薄くなり、再生層3と記録
層5とが近づくにつれて、再生層3から発生する漏洩磁
界が記録層5に及ぼす影響が大きくなり、消去磁界が増
大するためである。金属膜層4の膜厚が8nm以上にな
ると、再生層から発生する漏洩磁界は記録特性に全く影
響を及ぼさず、消去磁界は記録層5の記録特性のみによ
り決定されることとなり、20kA/mと一定の値を示
す。
【0039】消去磁界の増大は、光磁気ディスクドライ
ブにおける磁界発生装置の大型化、消費電力の増大を招
くことになる。現在の光磁気ディスクドライブにおい
て、現実的な消去磁界の大きさは31kA/m以下であ
り、したがって金属膜層4の膜厚としては、6nm以上
が必要であることがわかる。
【0040】また、再生時においては、記録層5から発
生する漏洩磁界により再生層3の磁化方向が決定される
ため、金属膜層4の膜厚が50nmと厚くなると、記録
層5から発生する漏洩磁界が十分に再生層3へと届かな
くなり、CNRの劣化が発生することになる。良好な信
号品質、すなわち、高いCNRを得るためには、金属膜
層4の膜厚を40nm以下とする必要がある。
【0041】〔実施例2〕次に、実施例1の構成におい
て、記録層5の組成のみを変えて光磁気ディスクを作製
し、その記録再生特性を調べた。各ディスクの記録層5
の組成、補償温度、キュリー温度を表3に示し、記録層
5の保磁力Hcと磁化Mの温度依存性を図7及び図8に
示す。
【0042】
【表3】
【0043】上記ディスクA2〜D2について、実施例
1と同様に波長680nmの半導体レーザを用いた光ピ
ックアップにより、マーク長0.45μmでの最適再童
条件におけるCNRを測定した結果を表4に示す。
【0044】
【表4】
【0045】ディスクA2〜D2の再生特性を比較する
と、ディスクA2〜C2は良好なCNRが得られている
のに対して、ディスクD2は20dBのCNRしか得ら
れなかった。これは、各ディスクの磁気特性(図7、図
8)から理解される結果である。
【0046】本発明の光磁気記録媒体における再生層3
の磁化方向は、記録層5から発生する漏洩磁界により決
定されるため、記録層5から発生する漏洩磁界が小さく
なった場合、記録情報の再生を行うことができなくな
る。記録層5から発生する漏洩磁界は記録層5の磁化の
大きさに比例するものであり、したがって再生層3の磁
化方向が面内から垂直に移行する温度、すなわち100
℃〜150℃の温度において、記録層5が十分大きな磁
化を有し、十分大きな漏洩磁界を発生している必要があ
る。
【0047】図8から分かるように、ディスクA2〜C
2の場合、記録層5の補償温度は、再生層3の磁化方向
が面内から垂直に移行する温度(100℃〜150℃)
から離れているため、記録層5は十分大きな磁化を有
し、十分大きな漏洩磁界を発生させることが可能であ
る。しかし、ディスクD2の場合、記録層5の補償温度
が再生層3の磁化方向が面内から垂直に移行する温度
(100℃〜150℃)に近接しており、磁化が小さ
く、再生に必要な漏洩磁界を発生させることができなく
なってしまう。
【0048】このような理由から、記録層5の磁気特性
としては、補償温度が50℃以下である(ディスクB
2,C2)か、または記録層5が室温からそのキュリー
温度Twcまで、常に遷移金属副格子モーメントが希土類
金属副格子モーメントよりも大きい(ディスクA2)こ
とが必要である。
【0049】〔実施例3〕次に、実施例1の構成におい
て、再生層3の組成のみを変えて光磁気ディスクを作製
し、その記録再生特性を調べた。各ディスクの再生層3
の組成、補償温度、キュリー温度を表5に示し、再生層
3の保磁力Hcと磁化Mの温度依存性を図9及び図10
に示す。
【0050】
【表5】
【0051】上記ディスクA3〜E3について、実施例
1と同様に波長680nmの半導体レーザを用いた光ピ
ックアップにより、マーク長0.45μmでの最適再生
条件におけるCNRを測定した結果を表6に示す。
【0052】
【表6】
【0053】ディスクA3〜E3の再生特性を比較する
と、ディスクA3〜D3は良好なCNRが得られている
のに対して、ディスクE3は30dBのCNRしか得ら
れなかった。これは、各ディスクの磁気特性(図9、図
10)から理解される結果である。
【0054】本発明の光磁気記録媒体における再生層3
の磁化方向は、記録層5から発生する漏洩磁界により決
定されるため、再生層3の磁化が小さくなると、記録層
5から発生する漏洩磁界との静磁結合が弱くなり、記録
情報の再生を行うことができなくなる。したがって、再
生層3の磁化方向が面内から垂直に移行する温度、すな
わち100℃〜150℃の温度において、再生層3が十
分大きな磁化を有し、記録層5から発生する漏洩磁界と
十分に静磁結合する必要がある。
【0055】図10から分かるように、ディスクA3〜
D3の場合、再生層3の補償温度は再生層3の磁化方向
が面内から垂直に移行する温度(100℃〜150℃)
から離れており、再生層3は十分大きな磁化を有し、記
録層5から発生する漏洩磁界と十分に静磁結合すること
が可能である。しかし、ディスクE3の場合、再生層3
の補償温度が再生層3の磁化方向が面内から垂直に移行
する温度(100℃〜150℃)に近接しており、再生
層3の磁化が小さく、十分な静磁結合を実現することが
できなくなってしまう。
【0056】さらに、ディスクE3の場合、記録層5の
キュリー温度(275℃)においてディスクA3〜D3
に比べて大きな磁化を有することになり、再生層から発
生する漏洩磁界が記録消去特性に影響を与えることとな
り、表6に示すように大きな消去磁界が必要となる。
【0057】以上のような理由から再生層3の磁気特性
としては、室温で面内磁化状態であり、温度上昇に伴い
垂直磁化状態になるとともに、補償温度が180℃以上
である(ディスクB3〜D3)か、またはそのキュリー
温度Trcまで、常に希土類金属副格子モーメントが遷移
金属副格子モーメントよりも大きい(ディスクA3)こ
とが必要である。
【0058】〔実施例4〕本発明の第2の実施形態の光
磁気ディスクの形成方法について説明する。本実施形態
の光磁気ディスクの形成方法は、第2の透明誘電体層1
1を形成する以外は実施形態1と同様である。
【0059】基板1上に、第1の透明誘電体層2、再生
層3を形成後、スパッタ装置内を1×10-6Torrま
で真空排気し、アルゴンと窒素ガス雰囲気中、ガス圧4
×10-3Torrで、Alターゲットに電力を供給し
て、再生層3上にAlNからなる上記第2の透明誘電体
層11を膜厚20nmで形成する。その後、膜厚5nm
の金属膜層4、記録層5、保護層6、オーバーコート層
7を作製することにより形成する。
【0060】実施例4における第2の透明誘電体層11
と金属膜層4の膜厚を変えて、マーク長0.45μmで
のCNRと消去磁界を測定した結果を表7に示す。な
お、波長680nmの半導体レーザを用いて測定を行っ
た。
【0061】
【表7】
【0062】表7より、第2透明誘電体層11と金属膜
層4の合計膜厚が4nmと薄い時には、実施例1の場合
と同様に消去磁界が大きくなった。これは、第2透明誘
電体層11と金属膜層4の合計膜厚が薄くなり、再生層
3と記録層5とが近づくにつれて、再生層3から発生す
る漏洩磁界が記録層5に及ぼす影響が大きくなり、消去
磁界が増大したためである。第2透明誘電体層11と金
属膜層4の合計膜厚が10nm以上の場合は、再生層か
ら発生する漏洩磁界は記録特性に全く影響を及ぼさず、
消去磁界は記録層5の記録特性のみにより決定されるこ
とになり、20kA/mと一定の値を示す。
【0063】消去磁界の増大は、光磁気ディスクドライ
ブにおける磁界発生装置の大型化、消費電力の増大を招
くことになる。現在の光磁気ディスクドライブにおい
て、現実的な消去磁界の大きさは31kA/m以下であ
り、第2透明誘電体層11と金属膜層4の合計膜厚とし
ては、6nm以上必要であることがわかる。
【0064】また、再生時においては、記録層5から発
生する漏洩磁界により再生層3の磁化方向が決定される
ため、第2透明誘電体層11と金属膜層4の合計膜厚が
50nmと厚くなると、記録層5から発生する漏洩磁界
が十分に再生層3へと届かなくなり、CNRの劣化が発
生することになる。良好な信号品質、すなわち高いCN
Rを得るためには、第2透明誘電体層11と金属膜層4
の合計膜厚を40nm以下とする必要がある。
【0065】また、実施例1と比較すると、金属膜層4
の膜厚が同じ場合、第2の透明誘電体層11を設けるこ
とによってさらにCNRが高くなり、再生レーザパワー
が少なくなった。これは、第2の透明誘電体層11を設
けたことにより、熱感度が改善されたためと考えられ
る。
【0066】〔実施例5〕次に実施例4の構成におい
て、記録層5の組成のみを変えて光磁気ディスクを作製
し、その記録再生特性を調べた。なお、記録層5の組成
は実施例2と同様に変えた。各ディスクの記録層5の組
成、補償温度、キュリー温度を表3に、記録層5の保磁
力Hcと磁化Mの温度依存性を図7、図8に示す。
【0067】上記ディスクF2〜I2について、実施例
1と同様に波長680nmの半導体レーザを用いた光ピ
ックアップにより、0.45μmでの最適再生条件にお
けるCNRを測定した結果を表8に示す。
【0068】
【表8】
【0069】ディスクF2〜I2の再生特性を比較する
と、ディスクF2〜H2は良好なCNRが得られている
のに対して、ディスクI2は20.5dBのCNRしか
得られなかった。これは、各ディスクの磁気特性(図
7、図8)から理解される結果である。
【0070】本発明の光磁気記録媒体における再生層3
の磁化方向は、記録層5から発生する漏洩磁界により決
定されるため、記録層5から発生する漏洩磁界が小さく
なった場合、記録情報の再生を行うことができなくな
る。記録層5から発生する漏洩磁界は、記録層5の磁化
の大きさに比例するものであり、したがって再生層3の
磁化方向が面内から垂直に移行する温度、すなわち10
0℃〜150℃の温度において、記録層5が十分大きな
磁化を有し、十分大きな漏洩磁界を発生している必要が
ある。
【0071】図8から分かるように、ディスクF2〜H
2の場合、記録層5の補償温度は再生層3の磁化方向が
面内から垂直に移行する温度(100℃〜150℃)か
ら離れており、記録層5は十分大きな磁化を有し、十分
大きな漏洩磁界を発生させることが可能である。しか
し、ディスクI2の場合、記録層5の補償温度は再生層
3の磁化方向が面内から垂直に移行する温度(100℃
〜150℃)に近接しており、磁化が小さく、再生に必
要な漏洩磁界を発生させることができなくなってしま
う。
【0072】このような理由から、記録層5の磁気特性
としては、補償温度が50℃以下である(ディスクG
2,H2)か、または記録層5が室温からそのキュリー
温度Twcまで、常に遷移金属副格子モーメントが希土類
金属副格子モーメントよりも大きい(ディスクF2)こ
とが必要である。
【0073】〔実施例6〕次に実施例4の構成におい
て、再生層3の組成のみを実施例2と同様に変えて光磁
気ディスクを作製し、その記録再生特性を調べた。各デ
ィスクの再生層3の組成、補償温度、キュリー温度は表
5に、再生層3の保磁力Hcと磁化Mの温度依存性は図
9、図10に示す。
【0074】上記ディスクF3〜J3について、実施例
1と同様に波長680nmの半導体レーザを用いた光ピ
ックアップにより、マーク長0.45μmでの最適再生
条件におけるCNRを測定した結果を表9に示す。
【0075】
【表9】
【0076】ディスクF3〜J3の再生特性を比較する
と、ディスクF3〜I3は良好なCNRが得られている
のに対して、ディスクJ3は30dBのCNRしか得ら
れなかった。これは、各ディスクの磁気特性(図9、図
10)から理解される結果である。
【0077】本発明の光磁気記録媒体における再生層3
の磁化方向は、記録層5から発生する漏洩磁界により決
定されるため、再生層3の磁化が小さくなると、記録層
5から発生する漏洩磁界との静磁結合が弱くなり、記録
情報の再生を行うことができなくなる。したがって再生
層3の磁化方向が面内から垂直に移行する温度、すなわ
ち100℃〜150℃の温度において、再生層3が十分
大きな磁化を有し、記録層5から発生する漏洩磁界と十
分に静磁結合する必要がある。
【0078】図10から分かるように、ディスクF3〜
I3の場合、再生層3の補償温度は再生層3の磁化方向
が面内から垂直に移行する温度(100℃〜150℃)
から離れており、再生層3は十分大きな磁化を有し、記
録層5から発生する漏洩磁界と十分に静磁結合すること
が可能である。しかしディスクJ3の場合、再生層3の
補償温度が再生層3の磁化方向が面内から垂直に移行す
る温度(100℃〜150℃)に近接しており、再生層
3の磁化が小さく、十分な静磁結合を実現することがで
きなくなってしまう。
【0079】さらにディスクJ3の場合、記録層5のキ
ュリー温度(275℃)においてディスクF3〜I3に
比べて大きな磁化を有することになり、再生層から発生
する漏洩磁界が記録消去特性に影響を与えるため、表9
に示すように、大きな消去磁界が必要となる。以上のよ
うな理由から再生層3の磁気特性としては、室温で面内
磁化状態であり、温度上昇に伴い垂直磁化状態になると
ともに、補償温度が180℃以上である(ディスクG3
〜I3)か、またはそのキュリー温度Trcまで、常に希
土類金属副格子モーメントが遷移金属副格子モーメント
よりも大きい(ディスクF3)ことが必要である。
【0080】〔実施例7〕第3の実施形態の光磁気ディ
スクの形成方法について説明する。第3の実施形態の光
磁気ディスクの形成方法は、記録補助層12を付加して
設ける以外は、実施形態1、2と同じ方法である。
【0081】図3に示す光磁気記録媒体は、第1の透明
誘電体層2、再生層3、金属膜層4、記録層5を形成
し、スパッタ装置内を1×10-6Torrまで真空排気
した後、アルゴンガスを導入し、記録補助層12用のG
dFeCo合金ターゲットに電力を供給して、ガス圧4
×10-3Torrとし、上記記録層5上にGd0.24(F
0.83Co0.17)0.76からなる記録補助層12を膜厚2
0nmで形成し、保護層6、オーバーコート層7を形成
することにより作製される。上記記録補助層12は25
℃以下に補償温度を有し、キュリー温度は290℃であ
る。本実施例においては、図3記載の光磁気ディスクを
ディスクA6として記述する。
【0082】次に、図4に示す光磁気記録媒体は、第1
の透明誘電体層2、再生層3、第2の透明誘電体層1
1、金属膜層4、記録層5を形成し、スパッタ装置内を
1×10-6Torrまで真空排気した後、アルゴンガス
を導入し、記録補助層12用のGdFeCo合金ターゲ
ットに電力を供給して、ガス圧4×10-3Torrと
し、上記記録層5上にGd0.24(Fe0.83Co0.17)0.76
からなる記録補助層12を膜厚20nmで形成し、保護
層6、オーバーコート層7を形成することにより作製さ
れる。上記記録補助層12は、図9の構成における記録
補助層同様25℃以下に補償温度を有し、キュリー温度
は290℃である。本実施例においては、図4記載の光
磁気ディスクをディスクB6として記述する。
【0083】上記ディスクA6、B6について、波長6
80nmの半導体レーザを用いた光ピックアップによ
り、マーク長0.45μmでの最適再生条件において測
定したCNRと記録磁区を消去するのに必要な磁界(消
去磁界)を表10に示す。比較のため、実施形態1のデ
ィスクB2の特性を併せて同表に記載する。
【0084】
【表10】
【0085】表10から、実施形態1のディスクB2の
場合、20.0kA/mの消去磁界が必要であったのに
対して、実施の形態3記載のディスクA6及びディスク
B6の場合、7.5kA/mの消去磁界で消去可能であ
ることが確認された。この結果は、記録層5のキュリー
温度(275℃)よりも記録補助層12のキュリー温度
(290℃)の方が高く、記録層5(TbDyFeC
o)よりも磁化反転が容易な記録補助層12(GdFe
Co)が消去動作を主導することにより、消去磁界の低
減が実現したことを意味している。次に表11は、ディ
スクA6における再生層3、記録補助層12、記録層4
の膜厚を変えて、マーク長0.45μmでのCNRを測
定した結果を示すものである。
【0086】
【表11】
【0087】表11において、再生層3の膜厚を3nm
とした場合、CNRが低く再生特性の改善が確認されな
かった。これは、再生層3が薄くなり過ぎたために、室
温において面内磁化状態であり温度上昇とともに垂直磁
化状態となるべき再生層3の磁気特性が良好に実現され
なかったことによる。CNRを改善するためには、再生
層3の膜厚が5nm以上必要である。また、再生層3の
膜厚が35nm以上になると消去磁界が急激に上昇し、
36.5kA/m以上の消去磁界が必要となり、消去磁
界発生装置の大型化・消費電力の増大を招く。現在の光
磁気ディスクドライブにおいて現実的な消去磁界を実現
するためには、再生層膜厚を30nm以下とする必要が
ある。
【0088】次に、再生層3の膜厚を20nmとし、記
録補助層12の膜厚を5nm、記録層5の膜厚を5nm
とした場合、まったく再生信号が得られなかった。再生
層3の磁化方向は、記録補助層12と記録層5から発生
する漏洩磁界により決定されるため、記録補助層12と
記録層5のトータル膜厚が薄くなり、発生する漏洩磁界
が小さくなった場合、記録情報の再生を行うことができ
なくなる。表11から分かるように本発明の構成におい
ては、記録補助層12の膜厚を10nm、記録層5の膜
厚を10nm、すなわち記録補助層12と記録層5のト
ータル膜厚を20nm以上とする必要がある。また、実
施形態1、2においては、消去磁界の増大から記録補助
層12と記録層5のトータル膜厚を80nm以下とした
が、実施形態3においては、記録補助層12が記録動作
を主導しているため、記録補助層12と記録層5のトー
タル膜厚の上限は存在しない。しかし、記録補助層12
と記録層5のトータル膜厚が厚くなり過ぎた場合、記録
を行う際に大きなレーザ光強度が必要となるため、トー
タル膜厚は200nm以下とすることが望ましい。
【0089】次に表12は、ディスクA6の構成におい
て金属膜層4の膜厚を変えて、マーク長0.45μmで
のCNR・消去磁界を測定した結果を示すものである。
【0090】
【表12】
【0091】表12からわかるように、金属膜層4の膜
厚が5nm以下になると消去磁界が急激に大きくなる。
これは、金属膜層4の膜厚が薄くなり、再生層3と記録
層5及び記録補助層12とが近づくにつれて、再生層3
から発生する漏洩磁界が記録層5と記録補助層12に及
ぼす影響が大きくなり、消去磁界が増大するためであ
る。金属膜層4の膜厚が8nm以上の場合は、再生層か
ら発生する漏洩磁界は記録特性に全く影響を及ぼさず、
消去磁界は記録層5の記録特性のみにより決定されるこ
ととなり、7.5kA/mと一定の値を示す。
【0092】消去磁界の増大は、光磁気ディスクドライ
ブにおける磁界発生装置の大型化、消費電力の増大を招
くことになる。現在の光磁気ディスクドライブにおい
て、現実的な消去磁界の大きさは31kA/m以下であ
り、したがって金属膜層4の膜厚としては、6nm以上
が必要であることがわかる。
【0093】また、再生時においては、記録層5及び記
録補助層12から発生する漏洩磁界により再生層3の磁
化方向が決定されるため、金属膜層4の膜厚が50nm
と厚くなると、記録層5及び記録補助層12から発生す
る漏洩磁界が十分に再生層3へと届かなくなり、CNR
の劣化が発生することになる。良好な信号品質、すなわ
ち高いCNRを得るためには、金属膜層4の膜厚を40
nm以下とする必要がある。
【0094】〔実施例8〕次に、実施例7のディスクA
6の構成において、記録補助層12の組成のみを変えて
光磁気ディスクを作製し、その記録再生特性を調べた。
各ディスクの記録補助層12の組成、補償温度、キュリ
ー温度を表13に示す。
【0095】
【表13】
【0096】上記ディスクA7〜E7について、実施例
8と同様に波長680nmの半導体レーザを用いた光ピ
ックアップにより、マーク長0.45μmでの最適再生
条件におけるCNR、記録磁区を消去するのに必要な磁
界(消去磁界)及び記録磁区を形成するのに必要な磁界
(記録磁界)を測定した結果を表14に示す。
【0097】
【表14】
【0098】ディスクA7〜E7の再生特性を比較する
と、ディスクA7からディスクE7へと徐々にCNRが
低くなっていることがわかる。これは、記録補助層12
の補償温度が徐々に上昇し漏洩磁界が小さくなるため、
CNRも徐々に低下するためである。しかし、記録補助
層12に隣接して記録層5が存在し、十分な大きさの漏
洩磁界を発生させているため、CNRの低下は小さいも
のに抑えられている。
【0099】次に、消去磁界は、記録補助層12の補償
温度が高くなるにつれて小さくなるため、記録補助層1
2の補償温度は高いほど望ましいことになる。しかしこ
の時、記録磁界も記録補助層の補償温度の上昇とともに
大きくなり、ディスクE7の場合45kA/mもの記録
磁界が必要であり、非実用的であることがわかる。
【0100】以上の理由から、記録補助層12は、その
補償温度が50℃以下(ディスクC7、ディスクD7)
であるか、または室温からそのキュリー温度まで、常に
遷移金属副格子モーメントが希土類金属副格子モーメン
トより大きいこと(ディスクA7、ディスクB7)が必
要である。
【0101】以上の実施例において本発明では、透明誘
電体層、金属層、再生層、記録層、記録補助層としてそ
れぞれ、AlN、Al、GdFeCo、TbDyFeC
o、GdFeCoについて説明したが、これに限られる
ものではない。
【0102】透明誘電体層としては他に、SiN、Si
AlN、TaO2等の屈折率の高い透明膜を使用するこ
とが可能である。金属膜層としては他に、Au、Ti、
Ag、Cu等、及び、AlNi、AlTi等の合金から
なる高反射率を示す金属膜を使用することが可能であ
る。再生層としては、室温で面内磁化状態であり、温度
上昇とともに垂直磁化状態となればよく、希土類金属と
してGdを主成分としたGdDyFeCo、GdTbF
e、GdTbFeCo等の磁性膜を使用することが可能
である。記録層としては、希土類金属としてDy又はT
bを主成分としたDyFeCo、TbFeCo、GdT
bFeCo等の磁性膜を使用することが可能である。記
録補助層としては、希土類金属としてGdを主成分とし
たGdDyFeCo、GdTbFe、GdTbFeCo
等の磁性膜を使用することが可能である。
【0103】
【発明の効果】以上のように、本発明の請求項1記載の
光磁気記録媒体は、基板上に、透明誘電体層と、室温に
おいて面内磁化状態であり温度上昇にともない垂直磁化
状態となる再生層と、金属膜層と、垂直磁化膜からなる
記録層と、保護層とが順次形成されてなる光磁気記録媒
体において、前記再生層の膜厚を5nm乃至30nmと
し、前記金属膜層の膜厚を6nm乃至40nmとし、前
記記録層の膜厚を20nm乃至80nmとした構成であ
る。
【0104】これにより、小さい記録ビット径及び小さ
い記録ビット間隔で記録再生を行った場合においても十
分な信号品質を得ることが可能となるとともに、小さな
消去磁界での消去が可能となるという効果を奏する。
【0105】請求項2記載の光磁気記録媒体は、基板上
に、第1の透明誘電体層と、室温において面内磁化状態
であり温度上昇にともない垂直磁化状態となる再生層
と、第2の透明誘電体層と、金属膜層と、垂直磁化膜か
らなる記録層と、保護層とが順次形成されてなる光磁気
記録媒体において、前記再生層の膜厚を5nm乃至30
nmとし、前記第2の透明誘電体層及び金属膜層の膜厚
の合計を6nm乃至40nmとし、前記記録層の膜厚を
20nm乃至80nmとした構成である。
【0106】これにより、小さい記録ビット径及び小さ
い記録ビット間隔で記録再生を行った場合においても十
分な信号品質を得ることが可能となるとともに、小さな
消去磁界での消去が可能となるという効果を奏する。さ
らに、レーザーパワーの低減化及び高CNR化が可能に
なるという効果を有する。
【0107】請求項3記載の光磁気記録媒体は、請求項
1または請求項2記載の光磁気記録媒体において、前記
記録層の補償温度Twcompが50℃以下であるか、また
は室温からキュリー温度Twcまで常に前記記録層の遷移
金属副格子モーメントが希土類金属副格子モーメントよ
りも大きいことを特徴とした構成である。
【0108】これにより、請求項1、2記載の光磁気記
録媒体において、記録層から発生する漏洩磁界の大きさ
の温度依存性が再生特性に対して最適化され、小さい記
録ビット径及びさらに小さい記録ビット間隔で記録再生
を行った場合においても、十分な信号品質を得ることが
可能となるという効果を奏する。
【0109】請求項4記載の光磁気記録媒体は、請求項
1または請求項2記載の光磁気記録媒体において、前記
再生層の補償温度Trcompが180℃以上であるか、ま
たはキュリー温度Trcまで常に再生層の希土類金属副格
子モーメントが遷移金属副格子モーメントよりも大きい
ことを特徴とした構成である。
【0110】これにより、請求項1乃至請求項3記載の
光磁気記録媒体において、記録を行う際に再生層から発
生する漏洩磁界が小さくなり、小さな消去磁界で消去可
能な光磁気記録媒体を得ることが可能となるという効果
を奏する。
【0111】請求項5記載の光磁気記録媒体は、請求項
1または請求項2記載の光磁気記録媒体において、前記
記録層と前記保護層との間に前記記録層のキュリー温度
よりも高いキュリー温度を有する記録補助層を備え、該
記録補助層と前記記録層との膜厚の合計を20nm以上
とした構成である。
【0112】これにより、請求項1、2記載の光磁気記
録媒体において、記録層よりも磁界に対して感度の高い
記録補助層を用いることになり、小さな消去磁界で消去
可能な光磁気記録媒体を得ることが可能となるという効
果を奏する。
【0113】請求項6記載の光磁気記録媒体は、請求項
5記載の光磁気記録媒体において、前記記録補助層の補
償温度Ticompが50℃以下であるか、または室温から
キュリー温度Ticまで常に前記記録補助層の遷移金属副
格子モーメントが希土類金属副格子モーメントよりも大
きいことを特徴とした構成である。
【0114】これにより、請求項5記載の光磁気記録媒
体において、記録補助層の磁気特性が最適化され、実用
可能な記録磁界で記録可能な光磁気記録媒体を得ること
が可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る光磁気ディスク
の膜構成を示す図である。
【図2】本発明の第2の実施形態に係る光磁気ディスク
の膜構成を示す図である。
【図3】本発明の第3の実施形態に係る光磁気ディスク
の膜構成を示す図である。
【図4】本発明の第3の実施形態に係る光磁気ディスク
の別の膜構成を示す図である。
【図5】本発明に係る光磁気ディスクと従来の光磁気デ
ィスクとの再生特性の比較を示す図である。
【図6】従来の光磁気ディスクの膜構成を示す図であ
る。
【図7】本発明に係る光磁気ディスクの記録層の磁気特
性を示す図である。
【図8】本発明に係る光磁気ディスクの記録層の別の磁
気特性を示す図である。
【図9】本発明に係る光磁気ディスクの再生層の磁気特
性を示す図である。
【図10】本発明に係る光磁気ディスクの再生層の別の
磁気特性を示す図である。
【符号の説明】
1 基板 2 第1の透明誘電体層 3 再生層 4 金属膜層 5 記録層 6 保護層 7 オーバーコート層 8 ディスク本体 9 光ビーム 10 対物レンズ 11 第2の透明誘電体層 12 記録補助層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 明 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に、透明誘電体層と、室温におい
    て面内磁化状態であり温度上昇にともない垂直磁化状態
    となる再生層と、金属膜層と、垂直磁化膜からなる記録
    層と、保護層とが順次形成されてなる光磁気記録媒体に
    おいて、 前記再生層の膜厚が5nm乃至30nmであり、前記金
    属膜層の膜厚が6nm乃至40nmであり、前記記録層
    の膜厚が20nm乃至80nmであることを特徴とする
    光磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 基板上に、第1の透明誘電体層と、室温
    において面内磁化状態であり温度上昇にともない垂直磁
    化状態となる再生層と、第2の透明誘電体層と、金属膜
    層と、垂直磁化膜からなる記録層と、保護層とが順次形
    成されてなる光磁気記録媒体において、 前記再生層の膜厚が5nm乃至30nmであり、前記第
    2の透明誘電体層及び金属膜層の膜厚の合計が6nm乃
    至40nmであり、前記記録層の膜厚が20nm乃至8
    0nmであることを特徴とする光磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2記載の光磁気記
    録媒体において、前記記録層の補償温度Twcompが50
    ℃以下であるか、または室温からキュリー温度Twcまで
    常に前記記録層の遷移金属副格子モーメントが希土類金
    属副格子モーメントよりも大きいことを特徴とする光磁
    気記録媒体。
  4. 【請求項4】 請求項1または請求項2記載の光磁気記
    録媒体において、前記再生層の補償温度Trcompが18
    0℃以上であるか、またはキュリー温度Trcまで常に前
    記再生層の希土類金属副格子モーメントが遷移金属副格
    子モーメントよりも大きいことを特徴とする光磁気記録
    媒体。
  5. 【請求項5】 請求項1または請求項2記載の光磁気記
    録媒体において、前記記録層と前記保護層との間に前記
    記録層のキュリー温度よりも高いキュリー温度を有する
    記録補助層を備え、該記録補助層と前記記録層との膜厚
    の合計が20nm以上であることを特徴とする光磁気記
    録媒体。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の光磁気記録媒体におい
    て、前記記録補助層の補償温度Ticompが50℃以下で
    あるか、または室温からキュリー温度Ticまで常に前記
    記録補助層の遷移金属副格子モーメントが希土類金属副
    格子モーメントよりも大きいことを特徴とする光磁気記
    録媒体。
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