JPH09231908A - Plasma display panel and manufacturing method thereof - Google Patents
Plasma display panel and manufacturing method thereofInfo
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- JPH09231908A JPH09231908A JP8033396A JP3339696A JPH09231908A JP H09231908 A JPH09231908 A JP H09231908A JP 8033396 A JP8033396 A JP 8033396A JP 3339696 A JP3339696 A JP 3339696A JP H09231908 A JPH09231908 A JP H09231908A
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- phosphor paste
- paste
- photosensitive
- phosphor
- photosensitive phosphor
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】高精細でコントラストが均一な画面表示の実現
を目的とする。
【解決手段】放電空間を区画する隔壁と隔壁側面を覆う
蛍光体層とを有しPDPの製造に際して、隔壁が形成さ
れた基板21上に、バインダ成分が例えば酢酸ビニル系
エマルジョンを含有したポリビニルアルコール系樹脂で
ある感光性蛍光体ペースト61を、隔壁どうしの間の空
隙を埋めるように塗布し、塗布した感光性蛍光体ペース
ト61を乾燥させた後に、透光部70aの平面視寸法が
空隙30aより小さい露光マスク70を用いて空隙30
a内の感光性蛍光体ペースト62に対する露光を行い、
非露光状態の感光性蛍光体ペースト62を除去して蛍光
体層28を形成する。
(57) [Abstract] [PROBLEMS] To realize high-definition and uniform-contrast screen display. In manufacturing a PDP having a partition wall defining a discharge space and a phosphor layer covering a side surface of the partition wall, a polyvinyl alcohol containing a vinyl acetate emulsion as a binder component on a substrate 21 on which the partition wall is formed. The photosensitive phosphor paste 61, which is a system resin, is applied so as to fill the voids between the partition walls, and the applied photosensitive phosphor paste 61 is dried. Air gap 30 using smaller exposure mask 70
The photosensitive phosphor paste 62 in a is exposed to light,
The photosensitive phosphor paste 62 in the unexposed state is removed to form the phosphor layer 28.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、PDP(Plasma D
isplay Panel:プラズマディスプレイパネル)及びその
製造方法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a PDP (Plasma D
isplay Panel: Plasma display panel) and a manufacturing method thereof.
【0002】PDPは、高速表示の可能な薄型表示デバ
イスであり、ハイビジョン用の大型カラー表示デバイス
として注目されている。PDPの市場が拡がるにつれ
て、高品質のPDPを製造する技術の重要性が増してい
る。A PDP is a thin display device capable of high-speed display and has been attracting attention as a large color display device for high definition. As the PDP market expands, the technology for producing high quality PDPs becomes more important.
【0003】[0003]
【従来の技術】PDPは、放電空間を挟んで対向する一
対の基板(通常はガラス板)を基体とする構造の表示パ
ネルである。PDPでは、放電空間に紫外線励起型の蛍
光体層を設けることにより、放電ガスの発光色と異なる
色の表示が可能となる。カラー表示用のPDPは、R
(赤)、G(緑)、B(青)の3色の蛍光体層を有して
いる。2. Description of the Related Art A PDP is a display panel having a structure in which a pair of substrates (usually glass plates) facing each other across a discharge space are used as a base. In the PDP, by providing an ultraviolet excitation type phosphor layer in the discharge space, it is possible to display a color different from the emission color of the discharge gas. PDP for color display is R
It has phosphor layers of three colors (red), G (green), and B (blue).
【0004】従来において、R,G,Bの蛍光体層は、
粉末状の蛍光体粒子を主成分とする蛍光体ペーストを各
色毎に順にスクリーン印刷法によって基板上に塗布し、
乾燥後に一括して焼成する厚膜手法を用いて形成されて
いた。特に、放電空間を区画する隔壁を有したPDPで
は、隔壁どうしの間の空隙を埋め尽くすように蛍光体ペ
ーストを塗布し、焼成によるペーストの体積減少を利用
して放電空間を確保する形成方法が採用されていた(特
開平5−299019号)。この形成方法によれば、各
色の蛍光体層の塗布量を均等化することができるととも
に、隔壁の間の内面だけでなく隔壁の側面にも比較的に
簡単に蛍光体層を設けることができる。高輝度化の上で
は、蛍光体層の表面積をできるだけ大きくするのが望ま
しい。Conventionally, the R, G, B phosphor layers are
A phosphor paste containing powdery phosphor particles as a main component is applied onto a substrate by a screen printing method for each color in order,
It was formed by using a thick film method in which it is baked at once after drying. Particularly, in a PDP having barrier ribs for partitioning the discharge space, there is a forming method in which the phosphor paste is applied so as to fill the voids between the barrier ribs and the discharge space is secured by utilizing the volume reduction of the paste due to firing. It was adopted (Japanese Patent Laid-Open No. 5-299019). According to this forming method, the coating amounts of the phosphor layers of the respective colors can be equalized, and the phosphor layers can be provided relatively easily not only on the inner surfaces between the partition walls but also on the side surfaces of the partition walls. . In order to increase the brightness, it is desirable to maximize the surface area of the phosphor layer.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】PDPの高精細化が進
むにつれて、隔壁の配列ピッチがスクリーンマスクのパ
ターン精度の限界に近づき、隔壁の間に正確に蛍光体ペ
ーストを塗布することが困難になってきた。スクリーン
マスクの伸縮・アライメント誤差などの要因で隔壁の配
置パターンとマスクパターンとの位置ずれが生じると、
隔壁の上面が蛍光体で被覆されてしまう。非発光状態の
蛍光体の物体色は淡い灰色であるので、隔壁の上部に蛍
光体が存在すると、表示のコントラストが低下する。ま
た、カラー表示用のPDPでは、塗布の位置ずれによっ
て発光色の異なる蛍光体が混ざり合い、表示色の色純度
が不適正になる。なお、位置ずれは画面サイズが大きい
ほど顕著である。As the definition of PDPs has become higher, the pitch of the partition walls approaches the limit of the pattern accuracy of the screen mask, making it difficult to accurately apply the phosphor paste between the partition walls. Came. If the partition pattern and the mask pattern are misaligned due to factors such as screen mask expansion / contraction and alignment errors,
The upper surface of the partition wall is covered with the phosphor. Since the object color of the non-luminous phosphor is light gray, the presence of the phosphor above the partition walls reduces the display contrast. Further, in a color display PDP, phosphors having different emission colors are mixed with each other due to misalignment of coating, and the color purity of the display color becomes inappropriate. It should be noted that the positional deviation becomes more remarkable as the screen size increases.
【0006】このような位置ずれの問題を解決するため
に、ポリビニルアルコールなどの感光材料をバインダ成
分とする感光性蛍光体ペーストを用いることが考えられ
る。感光性蛍光体ペーストを基板に塗布し、フォトリソ
グラフィによるパターニングを行えば、蛍光体層の配置
精度を高めることができる。ただし、公知の感光性蛍光
体ペーストからなる蛍光体層は隔壁の側面から剥がれ落
ち易いという問題があった。In order to solve the problem of such positional displacement, it is considered to use a photosensitive phosphor paste containing a photosensitive material such as polyvinyl alcohol as a binder component. The placement accuracy of the phosphor layer can be increased by applying the photosensitive phosphor paste to the substrate and performing patterning by photolithography. However, there is a problem that the phosphor layer made of a known photosensitive phosphor paste is easily peeled off from the side surface of the partition wall.
【0007】本発明は、高精細でコントラストが均一な
画面表示の実現を目的としている。An object of the present invention is to realize a screen display with high definition and uniform contrast.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明のPDP
は、放電空間を区画する隔壁と当該隔壁の側面を覆う蛍
光体層とを有し、前記蛍光体層が、酢酸ビニル系エマル
ジョンを含有したポリビニルアルコール系樹脂をバイン
ダ成分とする感光性蛍光体ペーストを用いて形成されて
なるPDPである。A PDP according to the invention of claim 1
Is a photosensitive phosphor paste having partition walls that define a discharge space and a phosphor layer that covers the side surfaces of the partition walls, and the phosphor layer has a polyvinyl alcohol-based resin containing a vinyl acetate emulsion as a binder component. It is a PDP formed by using.
【0009】請求項2の発明の方法は、放電空間を区画
する隔壁と、当該隔壁の側面を覆う蛍光体層とを有した
PDPの製造に際して、前記隔壁が形成された基板上
に、当該隔壁どうしの間の空隙を埋めるように感光性蛍
光体ペーストを塗布し、塗布した感光性蛍光体ペースト
を乾燥させた後に、透光部の平面視寸法が前記空隙より
小さい露光マスクを用いて、前記空隙内の感光性蛍光体
ペーストに対する露光を行い、非露光状態の感光性蛍光
体ペーストを除去して前記蛍光体層を形成するものであ
る。According to a second aspect of the present invention, in manufacturing a PDP having barrier ribs for partitioning a discharge space and a phosphor layer covering side surfaces of the barrier ribs, the barrier ribs are formed on a substrate on which the barrier ribs are formed. The photosensitive phosphor paste is applied so as to fill the voids between them, and after the applied photosensitive phosphor paste is dried, the plan view dimension of the light transmitting portion is smaller than the voids using an exposure mask, and The photosensitive phosphor paste in the gap is exposed to light to remove the non-exposed photosensitive phosphor paste to form the phosphor layer.
【0010】請求項3の発明の方法は、前記感光性蛍光
体ペーストの乾燥の途中で前記基板の配置状態を当該感
光性蛍光体ペーストが下方に向いた状態とするものであ
る。請求項4の発明の方法は、前記露光に際して、前記
感光性蛍光体ペーストに散乱光を照射するものである。According to the third aspect of the present invention, the arrangement state of the substrate is set such that the photosensitive phosphor paste faces downward during the drying of the photosensitive phosphor paste. The method of the invention of claim 4 is to irradiate the photosensitive phosphor paste with scattered light during the exposure.
【0011】請求項5の発明の方法は、前記感光性蛍光
体ペーストとして、酢酸ビニル系エマルジョンを含有し
たポリビニルアルコール系樹脂をバインダ成分とするペ
ーストを用いるものである。According to a fifth aspect of the invention, as the photosensitive phosphor paste, a paste containing a polyvinyl alcohol resin containing a vinyl acetate emulsion as a binder component is used.
【0012】感光性蛍光体ペーストを用いることによ
り、フォトリソグラフィによるパターニングが可能にな
るので、蛍光体層の配置精度を高めることができる。特
に酢酸ビニル系エマルジョンを含有したポリビニルアル
コール系樹脂をバインダ成分とするペーストを用いた場
合には、酢酸ビニル系エマルジョンによって粘着性と柔
軟性とが高まることから、隔壁の側面を覆う蛍光体層が
剥離しにくくなる。By using the photosensitive phosphor paste, patterning by photolithography can be performed, so that the arrangement accuracy of the phosphor layer can be improved. In particular, when a paste containing a polyvinyl alcohol-based resin containing a vinyl acetate-based emulsion as a binder component is used, the adhesiveness and flexibility are increased by the vinyl acetate-based emulsion, so that the phosphor layer covering the side surface of the partition wall is formed. It becomes difficult to peel off.
【0013】隔壁どうしの間の空隙を埋める感光性蛍光
体ペーストが乾燥すると、ペーストの体積が減少して再
び隔壁間に空隙が生じる。これにより放電空間が確保さ
れる。乾燥の途中で塗布層を下方に向けると、塗布層は
その自重によって隔壁に沿って垂れ下がり、隔壁の側面
を覆う塗布層の厚さが増す。塗布層の厚さを均等化する
ために、基板の上下面の反転を繰り返してもよい。When the photosensitive phosphor paste filling the voids between the barrier ribs is dried, the volume of the paste is reduced and voids are generated again between the barrier ribs. This ensures the discharge space. If the coating layer is directed downward during drying, the coating layer hangs down along the partition wall due to its own weight, and the thickness of the coating layer covering the side surface of the partition wall increases. Inversion of the upper and lower surfaces of the substrate may be repeated in order to equalize the thickness of the coating layer.
【0014】空隙の内部のみを対象に選択露光を行う
と、隔壁の上部に感光性蛍光体ペーストが存在したとし
ても、その不要の感光性蛍光体ペーストは現像の時点で
除去される。散乱光を照射すると、露光範囲が露光マス
クの透光部より所定量だけ広くなるので、隔壁の上端の
近傍にまで拡がる蛍光体層を形成することができる。When selective exposure is performed only inside the voids, the unnecessary photosensitive phosphor paste is removed at the time of development, even if the photosensitive phosphor paste is present above the partition walls. When the scattered light is irradiated, the exposure range becomes wider than the light-transmitting portion of the exposure mask by a predetermined amount, so that it is possible to form the phosphor layer extending to the vicinity of the upper end of the partition wall.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】図1は本発明を適用したPDP1
の内部構造を示す斜視図である。PDP1は、マトリク
ス表示形式のAC型PDPである。前面側のガラス基板
11の内面に、基板面に沿った面放電を生じさせるため
のサステイン電極X,Yが、ライン毎に一対ずつ配列さ
れている。サステイン電極X,Yは、それぞれがITO
薄膜からなる幅の広い直線帯状の透明電極41と金属薄
膜からなる幅の狭い直線帯状のバス電極42とから構成
されている。バス電極42は、適正な導電性を確保する
ための補助電極である。サステイン電極X,Yを被覆す
るように誘電体層17が設けられ、誘電体層17の表面
には保護膜18が蒸着されている。誘電体層17及び保
護膜18はともに透光性を有している。背面側のガラス
基板21の内面には、サステイン電極X,Yと直交する
ようにアドレス電極Aが配列されている。各アドレス電
極Aの間に、高さ150μmの平面視直線状の隔壁29
が1つずつ設けられている。これらの隔壁29によって
放電空間30がライン方向にサブピクセル(単位発光領
域)EU毎に区画され、且つ放電空間30の間隙寸法が
規定されている。そして、アドレス電極Aの上部及び隔
壁29の側面を含めて背面側の壁面を被覆するように、
カラー表示のためのR,G,Bの3色の蛍光体層28が
設けられている。隔壁29は低融点ガラスからなり、紫
外線に対して不透明である。なお、隔壁29の形成方法
としては、ベタ膜状の低融点ガラス層の上にフォトリソ
グラフィによってエッチングマスクを設け、サンドブラ
ストでパターニングする方法が好適である。1 is a block diagram of a PDP 1 to which the present invention is applied.
It is a perspective view which shows the internal structure of. The PDP 1 is a matrix display type AC PDP. On the inner surface of the glass substrate 11 on the front surface side, a pair of sustain electrodes X and Y for generating surface discharge along the substrate surface are arranged line by line. Each of the sustain electrodes X and Y is made of ITO.
It is composed of a wide linear strip transparent electrode 41 made of a thin film and a narrow linear strip bus electrode 42 made of a metal thin film. The bus electrode 42 is an auxiliary electrode for ensuring proper conductivity. A dielectric layer 17 is provided so as to cover the sustain electrodes X and Y, and a protective film 18 is vapor-deposited on the surface of the dielectric layer 17. Both the dielectric layer 17 and the protective film 18 have translucency. Address electrodes A are arranged on the inner surface of the glass substrate 21 on the back side so as to be orthogonal to the sustain electrodes X and Y. A partition wall 29 having a height of 150 μm and having a linear shape in a plan view is provided between the address electrodes A.
Are provided one by one. The discharge spaces 30 are divided into sub-pixels (unit light emitting regions) EU in the line direction by the partition walls 29, and the gap size of the discharge spaces 30 is defined. Then, the wall surface on the back side including the upper side of the address electrode A and the side surface of the partition wall 29 is covered,
Phosphor layers 28 of three colors of R, G, B for color display are provided. The partition wall 29 is made of low melting glass and is opaque to ultraviolet rays. As a method of forming the partition walls 29, a method of providing an etching mask by photolithography on the solid film low melting point glass layer and patterning by sandblasting is preferable.
【0016】マトリクス表示の1ラインにはサステイン
電極対12が対応し、1列には1本のアドレス電極Aが
対応する。そして、3列が1ピクセル(画素)EGに対
応する。つまり、1ピクセルEGはライン方向に並ぶ
R,G,Bの3つのサブピクセルEUからなる。アドレ
ス電極Aとサステイン電極Yとの間の対向放電によっ
て、誘電体層17における壁電荷の蓄積状態が制御され
る。サステイン電極X,Yに交互にサステインパルスを
印加すると、所定量の壁電荷が存在するサブピクセルE
Uで面放電(主放電)が生じる。蛍光体層28は、面放
電で生じた紫外線によって局部的に励起されて所定色の
可視光を放つ。この可視光の内、ガラス基板11を透過
する光が表示光となる。隔壁29の配置パターンがいわ
ゆるストライプパターンであることから、放電空間30
の内の各列に対応した部分は、全てのラインに跨がって
列方向に連続している。各列内のサブピクセルEUの発
光色は同一である。A pair of sustain electrodes 12 corresponds to one line of the matrix display, and one address electrode A corresponds to one column. The three columns correspond to one pixel (pixel) EG. That is, one pixel EG is composed of three subpixels EU of R, G, and B arranged in the line direction. The counter discharge between the address electrode A and the sustain electrode Y controls the wall charge accumulation state in the dielectric layer 17. When the sustain pulse is alternately applied to the sustain electrodes X and Y, the sub-pixel E in which a predetermined amount of wall charge exists
Surface discharge (main discharge) occurs at U. The phosphor layer 28 is locally excited by ultraviolet rays generated by surface discharge and emits visible light of a predetermined color. Of this visible light, the light that passes through the glass substrate 11 becomes the display light. Since the arrangement pattern of the barrier ribs 29 is a so-called stripe pattern, the discharge space 30
The portion corresponding to each column in the column is continuous in the column direction across all the lines. The emission colors of the sub-pixels EU in each column are the same.
【0017】PDP1の製造に際して、蛍光体層28
は、ガラス基板21上にアドレス電極Aと隔壁29とを
設けた後に、以下の手順で形成される。図2は蛍光体層
28の形成手順を示す図である。In manufacturing the PDP 1, the phosphor layer 28
After the address electrode A and the partition 29 are provided on the glass substrate 21, is formed by the following procedure. FIG. 2 is a diagram showing a procedure for forming the phosphor layer 28.
【0018】隔壁29どうしの間の空隙を埋めるよう
に、所定発光色(例えばR)の感光性蛍光体ペースト6
1をスクリーン印刷法によって塗布する〔図2
(A)〕。従来とは違って、この段階において隔壁29
の上面に感光性蛍光体ペースト61が付着しても支障は
ない。感光性蛍光体ペースト61は、粒子状の蛍光体と
感光材料との混合物である。例えば、Rの蛍光体とし
て、(Y,Gd)BO3 :Euを用い、Gの蛍光物質と
してZn2 SiO4 :Mn又はBaAl12O19:Mnを
用い、Bの蛍光物質として3(Ba,Mg)O・8Al
2 O3 :Euを用いる。Photosensitive phosphor paste 6 of a predetermined emission color (for example, R) so as to fill the space between the partitions 29.
1 is applied by screen printing [Fig. 2
(A)]. Unlike the conventional case, the partition wall 29 at this stage
There is no problem even if the photosensitive phosphor paste 61 is attached to the upper surface of the. The photosensitive phosphor paste 61 is a mixture of a granular phosphor and a photosensitive material. For example, (Y, Gd) BO 3 : Eu is used as the R fluorescent substance, Zn 2 SiO 4 : Mn or BaAl 12 O 19 : Mn is used as the G fluorescent substance, and 3 (Ba, Mg) O / 8Al
2 O 3 : Eu is used.
【0019】加熱室などにガラス基板21を導入して感
光性蛍光体ペースト61を乾燥させると、感光性蛍光体
ペースト61の体積が減少して、隔壁29間に空隙30
aが生じる〔図2(B)〕。乾燥状態の感光性蛍光体ペ
ースト62は、アドレス電極A、ガラス基板21の上
面、及び隔壁29の側面を覆う。When the glass substrate 21 is introduced into a heating chamber or the like and the photosensitive phosphor paste 61 is dried, the volume of the photosensitive phosphor paste 61 is reduced and the gaps 30 are formed between the partition walls 29.
a occurs [FIG. 2 (B)]. The dry photosensitive phosphor paste 62 covers the address electrodes A, the upper surface of the glass substrate 21, and the side surfaces of the partition walls 29.
【0020】次に、露光マスク70を用いて感光性蛍光
体ペースト62に対する選択露光を行う〔図2
(C)〕。露光マスク70の透光部70aの平面視にお
ける大きさは空隙30aより小さい。すなわち、隣接す
る隔壁29の上端どうしの距離w1よりも透光部70a
の幅w2は小さい。露光の形態は、露光マスク70と隔
壁29とを近接配置するコンタクトタイプでもよいし、
ステッパ露光装置などを用いるプロジェクションタイプ
でもよい。平行光で露光した場合には、直接の照射範囲
は、ほぼ透光部70aの投影範囲となる。ただし、蛍光
体粒子で反射した散乱光による間接的な露光も加わるの
で、実際の露光範囲は直接の照射範囲より広い。露光波
長が紫外域であれば、隔壁29が遮光体として機能する
ので、照射光強度を十分に大きくして、間接的な露光の
範囲を広げることができる。つまり、隔壁29の上端付
近の感光性蛍光体ペースト62の露光が可能である。Next, the photosensitive phosphor paste 62 is selectively exposed using the exposure mask 70 [FIG.
(C)]. The size of the transparent portion 70a of the exposure mask 70 in plan view is smaller than the gap 30a. That is, the translucent portion 70a is more than the distance w1 between the upper ends of the adjacent partition walls 29.
Has a small width w2. The form of exposure may be a contact type in which the exposure mask 70 and the partition 29 are arranged close to each other,
A projection type using a stepper exposure device or the like may be used. When the parallel light is used for exposure, the direct irradiation range is substantially the projection range of the transparent portion 70a. However, since the indirect exposure due to the scattered light reflected by the phosphor particles is also added, the actual exposure range is wider than the direct irradiation range. When the exposure wavelength is in the ultraviolet region, the partition 29 functions as a light shield, so that the intensity of irradiation light can be sufficiently increased and the range of indirect exposure can be widened. That is, the photosensitive phosphor paste 62 near the upper end of the partition 29 can be exposed.
【0021】選択露光の後、非露光状態の感光性蛍光体
ペースト62を現像処理によって除去する〔図2
(D)〕。以上の手順で1色の蛍光体層28が形成され
る。以降において、同様の作業を繰り返し、残りの2色
の蛍光体層28を1色ずつ順に形成する。After the selective exposure, the photosensitive phosphor paste 62 in the non-exposed state is removed by a developing process [FIG.
(D)]. The phosphor layer 28 of one color is formed by the above procedure. After that, the same operation is repeated, and the remaining phosphor layers 28 of two colors are sequentially formed one by one.
【0022】図3はペースト塗布の変形例を示す図であ
る。スクリーンマスク50を用いて、ガラス基板21の
上に局所的に感光性蛍光体ペースト61を塗布すれば、
ガラス基板21の全面に塗布する場合に比べて、ペース
ト使用量を削減することができる。隔壁29の上面に感
光性蛍光体ペースト61が付着してもよいので、隔壁2
9とスクリーンマスク50との位置ずれの許容度は大き
い。塗布範囲を隔壁29の配列ピッチ程度の幅の領域と
したときには、ペースト使用量は全面塗布の場合の1/
3になる。FIG. 3 is a view showing a modified example of paste application. If the photosensitive phosphor paste 61 is locally applied on the glass substrate 21 using the screen mask 50,
The amount of paste used can be reduced as compared with the case where the paste is applied to the entire surface of the glass substrate 21. Since the photosensitive phosphor paste 61 may be attached to the upper surface of the partition 29, the partition 2
The tolerance of the positional deviation between 9 and the screen mask 50 is large. When the application range is a region having a width about the arrangement pitch of the partition walls 29, the amount of paste used is 1/100 of that in the case of the entire surface application.
It becomes 3.
【0023】図4はペースト乾燥時の基板配置状態を示
す図である。感光性蛍光体ペースト61の乾燥の初期段
階では、ガラス基板21をその隔壁形成面が上面となる
ように配置する〔図4(A)〕。所定期間が経過して感
光性蛍光体ペースト61の粘度が流れ落ちない程度まで
増大した時点で、ガラス基板21の表裏の向きを反転す
る。すなわち感光性蛍光体ペースト61を下方に向ける
〔図4(B)〕。これにより、感光性蛍光体ペースト6
1がその自重によって隔壁29に沿って垂れ下がり、隔
壁29の側面を覆う感光性蛍光体ペースト61の厚さが
増す。感光性蛍光体ペースト61の全体の厚さの均等化
によって発光効率が高まる。乾燥を続けながらガラス基
板21の表裏反転を繰り返してもよい。その場合には、
反転機能を有した基板支持装置が有用である。FIG. 4 is a view showing the arrangement of the substrates when the paste is dried. In the initial stage of drying the photosensitive phosphor paste 61, the glass substrate 21 is arranged so that its partition forming surface is the upper surface [FIG. 4 (A)]. When the viscosity of the photosensitive phosphor paste 61 increases to such an extent that the photosensitive phosphor paste 61 does not flow down after a predetermined period has passed, the front and back directions of the glass substrate 21 are reversed. That is, the photosensitive phosphor paste 61 is directed downward [FIG. 4 (B)]. Thereby, the photosensitive phosphor paste 6
1 hangs down along the partition 29 due to its own weight, and the thickness of the photosensitive phosphor paste 61 covering the side surface of the partition 29 increases. The light emitting efficiency is increased by equalizing the entire thickness of the photosensitive phosphor paste 61. The front and back of the glass substrate 21 may be repeated while continuing the drying. In that case,
A substrate supporting device having a reversing function is useful.
【0024】図5は露光の変形例を示す図である。図5
(A)のように散乱光を射出する光源を露光に用いれ
ば、平行光による場合と比べて直接の照射範囲が拡が
り、蛍光体層28の端縁を隔壁29の上端に近づけるこ
とができる。図5(B)及び(C)のように、平行光を
射出する光源を用いる場合にも、透光部の射出面がすり
ガラス状に加工された露光マスク71、又は凹レンズ状
に加工された露光マスク72を用いることにより、直接
の照射範囲を拡げることができる。露光マスク71,7
2の加工方法には、エッチング、不純物拡散などの手法
がある。FIG. 5 is a diagram showing a modification of exposure. FIG.
If a light source that emits scattered light as in (A) is used for exposure, the direct irradiation range is expanded compared to the case of using parallel light, and the edge of the phosphor layer 28 can be brought closer to the upper end of the partition wall 29. Even when a light source that emits parallel light is used as shown in FIGS. 5B and 5C, an exposure mask 71 in which the exit surface of the light-transmitting portion is processed into a frosted glass shape, or an exposure in which a concave lens shape is processed By using the mask 72, the direct irradiation range can be expanded. Exposure mask 71, 7
The processing method of 2 includes methods such as etching and impurity diffusion.
【0025】[0025]
【実施例】ポリ酢酸ビニルエマルジョン25wt%とポ
リビニルアルコール(PVA)10wt%と分散媒とし
ての水とからなる粘度9000cpのベースポリマー
に、ジアゾニウム塩1.8wt%を攪拌脱泡しながら混
合し、感光乳剤とした。感光乳剤に対して蛍光体20w
t%を混合し感光性蛍光体ペーストとした。感光性蛍光
体ペーストをガラス基板21上に滴下し、スキージで隔
壁29の上部を擦り、隔壁間の空隙を感光蛍光体ペース
トで満たした後、40℃−20分の乾燥処理を行った。
乾燥後、高圧水銀ランプを光源とし、隔壁間距離の80
%の幅の透光部を有した露光マスク70を用いて選択露
光をした。現像処理として純水に1分間浸漬した後に5
分間の流水洗浄を行い、第1色の蛍光体層28を得た。
同様の要領で、第2色及び第3色の蛍光体層28を得
た。[Examples] 1.8 wt% of diazonium salt was mixed with stirring into a base polymer having a viscosity of 9000 cp consisting of 25 wt% of polyvinyl acetate emulsion, 10 wt% of polyvinyl alcohol (PVA) and water as a dispersion medium, and exposed. It was an emulsion. 20w phosphor for the photosensitive emulsion
t% was mixed to obtain a photosensitive phosphor paste. The photosensitive phosphor paste was dropped on the glass substrate 21, the upper portion of the partition walls 29 was rubbed with a squeegee to fill the voids between the partition walls with the photosensitive phosphor paste, and then a drying treatment was performed at 40 ° C. for 20 minutes.
After drying, use a high-pressure mercury lamp as the light source,
Selective exposure was performed using an exposure mask 70 having a transparent portion with a width of%. 5 minutes after immersion in pure water for 1 minute
After washing for one minute with running water, a phosphor layer 28 of the first color was obtained.
In the same manner, the second and third color phosphor layers 28 were obtained.
【0026】蛍光体含有量を10〜40wt%と変化さ
せると、蛍光体層28の厚みが変化した。蛍光体含有量
が多いほど厚みが大きい。断面観察により、含有量(1
0〜40wt%)に係わらず、隔壁29の上端付近まで
ペーストが付着していることを確かめた。感光特性につ
いては、蛍光体含有率20wt%のペーストを用いた場
合において、30mJ/cm2 の露光エネルギーを受け
た部分で残膜が見られた。300mJ/cm2 以上の露
光エネルギーを受けた部分では、残膜率は100%であ
った。When the phosphor content was changed to 10-40 wt%, the thickness of the phosphor layer 28 changed. The greater the phosphor content, the greater the thickness. The content (1
It was confirmed that the paste adhered to the vicinity of the upper end of the partition wall 29 regardless of (0 to 40 wt%). Regarding the photosensitivity, when a paste having a phosphor content of 20 wt% was used, a residual film was observed at a portion receiving an exposure energy of 30 mJ / cm 2 . The residual film ratio was 100% in the portion receiving the exposure energy of 300 mJ / cm 2 or more.
【0027】3色の蛍光体層28を形成したガラス基板
21に波長245nmの紫外線を照射して分光分析を行
った。発光色の混色がないこと、及び隔壁29の上面に
蛍光体の無いことを確かめた。The glass substrate 21 on which the three-color phosphor layers 28 were formed was irradiated with ultraviolet rays having a wavelength of 245 nm for spectroscopic analysis. It was confirmed that there was no mixed emission color and that there were no phosphors on the upper surface of the partition wall 29.
【0028】隔壁間距離の50%の幅の透光部を有した
2個の露光マスクを用意した。一方の露光マスクAの透
光部は透明である。他方の露光マスクBの透光部はすり
ガラス状である。これら露光マスクA,Bをそれぞれ用
いて平行光による選択露光を行い、蛍光体層を形成し
た。蛍光体層の断面形状を比較したところ、露光マスク
Aを用いた場合には、隔壁29の高さの1/2程度の位
置まで蛍光体層が形成されていた。これに対して、露光
マスクBを用いた場合には、隔壁29の上端まで蛍光体
層が形成されていた。Two exposure masks having a transparent portion having a width of 50% of the distance between the partition walls were prepared. The light transmitting portion of one exposure mask A is transparent. The transparent portion of the other exposure mask B has a frosted glass shape. Selective exposure by parallel light was performed using each of these exposure masks A and B to form a phosphor layer. When the cross-sectional shapes of the phosphor layers were compared, when the exposure mask A was used, the phosphor layers were formed up to about half the height of the partition walls 29. On the other hand, when the exposure mask B was used, the phosphor layer was formed up to the upper end of the partition 29.
【0029】ポリ酢酸ビニルエマルジョンを含まない感
光性蛍光体ペーストを用いて形成した蛍光体層に加熱処
理を加えると、PVAが蛍光体粒子とともに隔壁29か
ら剥がれ落ちた。ポリ酢酸ビニルエマルジョンを含む感
光性蛍光体ペーストによる場合には、剥離は生じなかっ
た。When heat treatment was applied to the phosphor layer formed by using the photosensitive phosphor paste containing no polyvinyl acetate emulsion, PVA was peeled off from the partition wall 29 together with the phosphor particles. No peeling occurred when using a photosensitive phosphor paste containing a polyvinyl acetate emulsion.
【0030】蛍光体含有率20wt%の感光性蛍光体ペ
ーストを隔壁間の空隙を埋めるように塗布した後、塗布
面を上に向けたまま40℃−20分の乾燥処理を加えた
試料と、同様の塗布の後に塗布面を上に向けたまま40
℃−1分の乾燥処理を加え、続けて基板の表裏を反転し
て40℃−19分の乾燥処理を加えた試料とを比較し
た。表裏反転をした試料では、隔壁29の上端付近の蛍
光体層の厚みが他方の試料の約110%であった。A sample obtained by applying a photosensitive phosphor paste having a phosphor content of 20 wt% so as to fill the voids between the partition walls, and then applying a drying treatment at 40 ° C. for 20 minutes with the applied surface facing upward. After the same application, leave the application surface facing up 40
The sample was subjected to a drying treatment at -1 ° C for 1 minute, and subsequently, the front and back of the substrate were inverted and compared with a sample subjected to a drying treatment at 40 ° C for 19 minutes. The thickness of the phosphor layer near the upper end of the partition 29 was about 110% of the other sample in the case where the sample was turned upside down.
【0031】[0031]
【発明の効果】請求項1の発明によれば、高精細でコン
トラストが均一な画面表示を実現することができる。According to the invention of claim 1, it is possible to realize a high-definition screen display with a uniform contrast.
【0032】請求項2乃至請求項5の発明によれば、高
精細でコントラストが均一な画面表示の可能なPDPを
容易に製造することができる。請求項3の発明によれ
ば、蛍光体層の内の隔壁側面を覆う部分を厚くし、発光
効率を高めることができる。According to the inventions of claims 2 to 5, it is possible to easily manufacture a PDP capable of displaying a screen with high definition and uniform contrast. According to the invention of claim 3, it is possible to increase the luminous efficiency by thickening the portion of the phosphor layer that covers the side wall of the partition wall.
【0033】請求項4の発明によれば、隔壁の上端の近
傍まで拡がった蛍光体層を形成することができ、発光面
積の増大を図ることができる。請求項5の発明によれ
ば、隔壁の側面の被覆性の良好な蛍光体層を形成するこ
とができ、表示品質の安定化を図ることができる。According to the fourth aspect of the present invention, it is possible to form the phosphor layer extending to the vicinity of the upper end of the partition wall, and it is possible to increase the light emitting area. According to the invention of claim 5, it is possible to form a phosphor layer having good coverage on the side surface of the partition wall and stabilize the display quality.
【図1】本発明を適用したPDPの内部構造を示す斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view showing an internal structure of a PDP to which the present invention is applied.
【図2】蛍光体層の形成手順を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a procedure for forming a phosphor layer.
【図3】ペースト塗布の変形例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a modified example of paste application.
【図4】ペースト乾燥時の基板配置状態を示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing a state of arrangement of substrates when a paste is dried.
【図5】露光の変形例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a modified example of exposure.
1 PDP(プラズマディスプレイパネル) 11 ガラス基板(基板) 28 蛍光体層 29 隔壁 30 放電空間 61 感光性蛍光体ペースト 70 露光マスク 70a 透光部 1 PDP (Plasma Display Panel) 11 Glass Substrate (Substrate) 28 Phosphor Layer 29 Partition Wall 30 Discharge Space 61 Photosensitive Phosphor Paste 70 Exposure Mask 70a Light Transmitting Part
Claims (5)
面を覆う蛍光体層とを有したプラズマディスプレイパネ
ルであって、 前記蛍光体層は、 酢酸ビニル系エマルジョンを含有したポリビニルアルコ
ール系樹脂をバインダ成分とする感光性蛍光体ペースト
を用いて形成されてなることを特徴とするプラズマディ
スプレイパネル。1. A plasma display panel having a partition wall defining a discharge space and a phosphor layer covering a side surface of the partition wall, wherein the phosphor layer is a polyvinyl alcohol resin containing a vinyl acetate emulsion. A plasma display panel, which is formed by using a photosensitive phosphor paste containing as a binder component.
面を覆う蛍光体層とを有したプラズマディスプレイパネ
ルの製造に際して、 前記隔壁が形成された基板上に、当該隔壁どうしの間の
空隙を埋めるように感光性蛍光体ペーストを塗布し、 塗布した感光性蛍光体ペーストを乾燥させた後に、透光
部の平面視寸法が前記空隙より小さい露光マスクを用い
て、前記空隙内の感光性蛍光体ペーストに対する露光を
行い、 非露光状態の感光性蛍光体ペーストを除去して前記蛍光
体層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。2. In manufacturing a plasma display panel having barrier ribs for partitioning a discharge space and a phosphor layer covering side faces of the barrier ribs, a gap between the barrier ribs is formed on a substrate on which the barrier ribs are formed. The photosensitive phosphor paste is applied so as to fill the gap, and the applied photosensitive phosphor paste is dried. A method of manufacturing a plasma display panel, which comprises exposing the phosphor paste and removing the non-exposed photosensitive phosphor paste to form the phosphor layer.
で、前記基板の配置状態を当該感光性蛍光体ペーストを
下方に向けた状態とする請求項2記載のプラズマディス
プレイパネルの製造方法。3. A method of manufacturing a plasma display panel according to claim 2, wherein the substrate is arranged such that the photosensitive phosphor paste is directed downward during the drying of the photosensitive phosphor paste.
ストに散乱光を照射する請求項2又は請求項3記載のプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。4. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 2, wherein the photosensitive phosphor paste is irradiated with scattered light during the exposure.
ニル系エマルジョンを含有したポリビニルアルコール系
樹脂をバインダ成分とするペーストを用いる請求項2乃
至請求項4記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。5. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 2, wherein a paste containing a polyvinyl alcohol resin containing a vinyl acetate emulsion as a binder component is used as the photosensitive phosphor paste.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8033396A JPH09231908A (en) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | Plasma display panel and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8033396A JPH09231908A (en) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | Plasma display panel and manufacturing method thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09231908A true JPH09231908A (en) | 1997-09-05 |
Family
ID=12385442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8033396A Pending JPH09231908A (en) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | Plasma display panel and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09231908A (en) |
-
1996
- 1996-02-21 JP JP8033396A patent/JPH09231908A/en active Pending
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040413 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040610 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041102 |