JPH09233859A

JPH09233859A - 静電アクチュエータ及び静電アクチュエータ用素子の製造方法

Info

Publication number: JPH09233859A
Application number: JP8056888A
Authority: JP
Inventors: Shinji Konno; 信次今野; Hisashi Fukuyama; 尚志福山; Tsuneo Kimura; 恒夫木村; Rei Sakai; 玲酒井
Original assignee: Kasei Optonix Ltd; Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 1996-02-20
Filing date: 1996-02-20
Publication date: 1997-09-05

Abstract

(57)【要約】【課題】使用される各場面毎の要求サイズに容易に対応
し得る所謂サイズフリー化された静電アクチュエータを
提供する。【解決手段】絶縁性支持体（１１）上に相互に絶縁され
て所定方向に且つ所定の間隔で配置された複数の駆動電
極（１２）を備えた第１部材（１）と、第１部材（１）
に対向配置され且つ絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与し
た第２部材と、上記の駆動電極への印加電圧を切り替え
ることにより第１部材と第２部材との間に静電気の作用
による吸引・反発力を生じさせて上記の両者を相対移動
させるための駆動手段とから主として構成される静電ア
クチュエータであって、上記の複数の駆動電極（１２）
は、絶縁性支持体（１１）上に配置され且つ相互に絶縁
された複数相の各集合線（１４ａ）、（１４ｂ）、（１
４ｃ）を介して駆動手段に接続され、そして、上記の複
数の駆動電極および複数相の各集合線は、絶縁性支持体
上において直線状に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、静電アクチュエー
タ及び静電アクチュエータ用素子の製造方法に関するも
のであり、詳しくは、使用される各場面毎の要求サイズ
に容易に対応し得る所謂サイズフリー化された静電アク
チュエータ及び静電アクチュエータ用素子の製造方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１５は、静電アクチュエータの一例の
模式的説明図であり、図１６は、従来の静電アクチュエ
ータの駆動電極と集合線の一例を示す説明図、図１７
は、従来の静電アクチュエータの集合線の一例を示す説
明図であるが、これらの図面に基づき従来の技術を説明
する。

【０００３】図１５に示す様に、静電アクチュエータ
は、絶縁性支持体（１１）上に相互に絶縁されて所定方
向に且つ所定の間隔で配置された複数の駆動電極（１
２）を備えた第１部材（１）と、第１部材に対向配置さ
れ且つ絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与した第２部材
（２）と、上記の駆動電極への印加電圧を切り替えるこ
とにより第１部材と第２部材との間に静電気の作用によ
る吸引・反発力を生じさせて上記の両者を相対移動させ
るための駆動手段（１８）とから主として構成される。

【０００４】複数の駆動電極（１２）は、相互に絶縁さ
れた複数相の各集合線（１４ａ）〜（１４ｃ）を介して
駆動手段（１８）に接続され、駆動手段（１８）は、ス
イッチング素子（１５）と高圧電源（１６）とスイッチ
ング回路（１７）とから構成されている。なお、図示し
た駆動電極（１２）は３相構造である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図１５にお
いて、複数相の各集合線（１４ａ）〜（１４ｃ）は、模
式的に表現されているが、実際には、図１６及び図１７
に示す様に配置される。

【０００６】すなわち、先ず、図１６及び図１７（ａ）
に示す様に、絶縁性支持体（１１）の表面に、上下に突
出した駆動電極（１２）と接して集合電線（１４ａ）及
び（１４ｂ）をそれぞれ形成する。そして、図１６に示
す駆動電極（１２）の先端部に設けられた円形のランド
は、当該駆動電極を後述する集合線（１４ｃ）とスルー
ホルにより連結する機能を有する。なお、一般に、ラン
ドの用語は、部品の接続または取付けのために使用され
る導体パターンの一部分を意味するために使用される。

【０００７】次に、図１７（ｂ）に示す様に、絶縁性支
持体（１１）の裏面に上記のラウンドと対応させて集合
電線（１４ｃ）を形成し、該当する駆動電極（１２）と
接続させる。なお、図１７（ａ）は、図１６に示す絶縁
性支持体（１１）の駆動電極（１２）形成面側を表し、
図１７（ｂ）は、その裏面側を表す。斯かる結線方法
は、上記の特開平４−３４０３７２号公報に記載されて
いる。

【０００８】しかしながら、上記の様な従来の静電アク
チュエータは、使用される各場面毎の要求サイズに容易
に対応し得ないと言う問題がある。すなわち、例えば、
図１６及び図１７に示す静電アクチュエータは、図１７
（ａ）の矢示Ａの方向には任意の位置で切断して使用す
ることが出来るが、矢示Ｂの方向の切断は、集合線を分
割する結果となるために不可能である。それがため、従
来の静電アクチュエータは、使用される各場面毎の要求
サイズに応じて製造しなければならないためにコスト高
となり、その用途の拡大に支障を来している。

【０００９】本発明は、上記実情に鑑みなされたもので
あり、その目的は、使用される各場面毎の要求サイズに
容易に対応し得る所謂サイズフリー化された静電アクチ
ュエータ及び静電アクチュエータ用素子の製造方法を提
供することにある。また、本発明の他の目的は、製造コ
ストが安価な静電アクチュエータ及び静電アクチュエー
タ用素子の製造方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成すべく種々検討を重ねた結果、特定の製造方法によ
って始めて提供される新規な集合線配置構造を採用した
静電アクチュエータにより、上記の目的を容易に達成し
得るとの知見を得た。本発明は、斯かる知見を基に完成
されたものであり、各発明の要旨は、次の通りである。

【００１１】すなわち、本発明の第１の要旨は、絶縁性
支持体上に相互に絶縁されて所定方向に且つ所定の間隔
で配置された複数の駆動電極を備えた第１部材と、第１
部材に対向配置され且つ絶縁性薄葉体に正負の電荷を付
与した第２部材と、上記の駆動電極への印加電圧を切り
替えることにより第１部材と第２部材との間に静電気の
作用による吸引・反発力を生じさせて上記の両者を相対
移動させるための駆動手段とから主として構成される静
電アクチュエータであって、上記の複数の駆動電極は、
絶縁性支持体上に配置され且つ相互に絶縁された複数相
の各集合線を介して駆動手段に接続され、そして、上記
の複数の駆動電極および複数相の各集合線は、絶縁性支
持体上において直線状に配置されていることを特徴とす
る静電アクチュエータに存する。

【００１２】本発明の第２の要旨は、絶縁性支持体上の
一方向に且つ所定の間隔で複数の直線状駆動電極を形成
する工程、複数の直線状駆動電極上の後述する複数相の
各直線状集合線との接続箇所（ランド形成箇所）を除
き、複数の直線状駆動電極の表面に絶縁性ペーストを塗
布してラウンドを形成する工程、ランド形成領域のラン
ドを除く全面に絶縁性性ペーストを塗布して絶縁膜を形
成する工程、複数の直線駆動電極と交叉する方向であっ
て且つ各ランド上の位置に所定の間隔で複数相の各直線
状集合線を形成することにより複数の直線状駆動電極と
複数相の各直線状集合線とを接続する工程とを包含し、
そして、上記の絶縁膜形成工程は、必要に応じて採用さ
れる任意の工程であることを特徴とする静電アクチュエ
ータ用素子の製造方法に存する。

【００１３】本発明の第３の要旨は、絶縁性支持体上の
一方向に且つ所定の間隔で複数の直線状駆動電極を形成
する工程、絶縁性支持体の駆動電極形成面に絶縁性保護
膜をラミネートする工程、複数の直線状駆動電極上の後
述する複数相の各直線状集合線との接続箇所（ランド形
成箇所）に対応して絶縁性支持体を貫通するランド孔を
絶縁性保護膜側から形成する工程、直線状駆動電極と交
叉する方向であって且つ絶縁性支持体の駆動電極非形成
面側の各ランド上の相当位置に所定の間隔で複数相の各
直線状集合線を形成することにより複数の直線状駆動電
極と複数相の各直線状集合線とを接続する工程とを包含
することを特徴とする静電アクチュエータ用素子の製造
方法に存する。

【００１４】本発明の第４の要旨は、絶縁性支持体上の
一方向に且つ所定の間隔で複数の直線状駆動電極を形成
する工程、絶縁性支持体の駆動電極形成面に絶縁性保護
膜をラミネートする工程、複数の直線状駆動電極上の後
述する複数相の各直線状集合線との接続箇所（ランド形
成箇所）に対応して絶縁性支持体を貫通するランド孔を
絶縁性支持体側から形成する工程、直線状駆動電極と交
叉する方向であって且つ各ランド上の相当位置に所定の
間隔で複数相の各直線状集合線を形成することにより複
数の直線状駆動電極と複数相の各直線状集合線とを接続
する工程とを包含することを特徴とする静電アクチュエ
ータ用素子の製造方法に存する。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に基づき
詳細に説明する。図１〜図４は、本発明に係る静電アク
チュエータ用素子の製造方法の一例の説明図、図５は、
図１〜図４に示す製造方法で得られた本発明に係る静電
アクチュエータ用素子の一例の説明図、図６は、図５に
示す静電アクチュエータ用素子の断面説明図、図７〜図
１０は、本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製造
方法の他の一例の説明図、図１１は、図７〜図１０に示
す製造方法で得られた本発明に係る静電アクチュエータ
用素子の一例の断面説明図、図１２は、本発明に係る静
電アクチュエータ用素子の製造方法で好適に使用される
グラビアコーターの説明図、図１３は、グラビアコータ
ーの版胴の表面説明図、図１４は、本発明に係る静電ア
クチュエータ用素子の製造過程における絶縁性支持体の
一部の説明図である。

【００１６】先ず、説明の便宜上、本発明の第１の要旨
に係る静電アクチュエータの概要について説明する。本
発明に係る静電アクチュエータの集合線の配置構造を除
くその他の基本的構成は、特開平４−３４０３７２号公
報などに記載の従来の静電アクチュエータ同一である。

【００１７】すなわち、本発明に係る静電アクチュエー
タは、前記の図１５に示す様に、絶縁性支持体（１１）
上に相互に絶縁されて所定方向に且つ所定の間隔で配置
された複数の駆動電極（１２）を備えた第１部材（１）
と、第１部材に対向配置され且つ絶縁性薄葉体に正負の
電荷を付与した第２部材（２）と、上記の駆動電極への
印加電圧を切り替えることにより第１部材と第２部材と
の間に静電気の作用による吸引・反発力を生じさせて上
記の両者を相対移動させるための駆動手段（１８）とか
ら主として構成される。そして、本発明に係る静電アク
チュエータは、第１部材（１）及び第２部材（２）とも
透明であることが各種の用途において好適であり、斯か
る透明静電アクチュエータは、例えば、特開平４−３４
０３７２号公報などに記載されている。

【００１８】第１部材（１）を構成する絶縁性支持体
（１１）としては、例えば、ポリカーボネート、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、
ポリエーテルサルフォン、ポリアリレート等の透明プラ
スチックフイルム、透明ガラス、透明セラミックス等が
使用される。

【００１９】通常、駆動電極（１２）は３相構造とさ
れ、その表面には絶縁性保護膜（１３）が設けられる。
透明な駆動電極（１２）及び絶縁性保護膜（１３）につ
いては後述する。

【００２０】第２部材（２）を構成する絶縁性薄葉体と
しては、第１部材（１）の絶縁性支持体（１１）と同様
の材料が使用される。そして、絶縁性薄葉体に正負の電
荷を付与する手段としては、絶縁性薄葉体の表面に帯電
防止効果の弱い帯電防止剤を塗布して表面固有抵抗率が
通常１０¹¹〜１０¹⁵Ω／□の範囲の抵抗体層を設ける方
法が挙げられる。また、絶縁性薄葉体の表面に第１部材
（１）の駆動電極（１２）に対応させて２相構造または
３相構造の帯状電極を設ける方法なども使用することが
出来る。この場合、通常、帯状電極の表面には絶縁性保
護膜が設けられる。

【００２１】本発明に係る静電アクチュエータの最大の
特徴は、複数の駆動電極および複数相の各集合線が絶縁
性支持体上において直線状に配置されている点にある。
しかも、本発明の好ましい実施態様においては、複数の
駆動電極および複数相の各集合線が相互に交叉する方向
に配置され、更に好ましい実施態様においては、複数の
駆動電極および複数相の各集合線が絶縁性支持体の同一
平面上に配置される。そして、本発明に係る静電アクチ
ュエータは、次に説明する本発明に係る静電アクチュエ
ータ用素子の製造方法で得られる第１部材を使用するこ
とによって容易に構成することが出来る。

【００２２】本発明の第２の要旨に係る静電アクチュエ
ータ用素子の製造方法は、絶縁性支持体上の一方向に且
つ所定の間隔で複数の直線状駆動電極を形成する工程、
複数の直線状駆動電極上の後述する複数相の各直線状集
合線との接続箇所（ランド形成箇所）を除き、複数の直
線状駆動電極の表面に絶縁性ペーストを塗布してラウン
ドを形成する工程、ランド形成領域のランドを除く全面
に絶縁性性ペーストを塗布して絶縁膜を形成する工程、
複数の直線駆動電極と交叉する方向であって且つ各ラン
ド上の位置に所定の間隔で複数相の各直線状集合線を形
成することにより複数の直線状駆動電極と複数相の各直
線状集合線とを接続する工程とを包含する。

【００２３】上記の電極形成工程は、基本的には、従来
公知の方法を採用して行うことが出来る。図１は、絶縁
性支持体（１１）上に相互に絶縁されて所定方向に且つ
所定の間隔で配置された複数の直線状駆動電極（１２）
を備えた第１部材（１）を示している。

【００２４】上記の電極形成工程は、図１２に示す様
に、グラビア印刷によって連続的に行うのが好ましい。
すなわち、アンワインダー（図示せず）からプラスチッ
クフイルムより成る絶縁性支持体（１１）を巻き出し、
図１３に示す様な凹状の電極パターン（２０ａ）を備え
且つ回転する版胴（２０）とその上部に配置された圧胴
（２１）との間に供給し、版胴（２１）の下部をインク
槽（２２）内に収容された導電性インク（２３）に浸漬
し、版面の非線画部の導電性インクをドクター（２４）
によって掻き落とし、圧胴（２１）によって絶縁性支持
体（１１）を版胴（２０）に押圧して印刷を行う。

【００２５】版胴（２０）の版面に凹状の電極パターン
（２０ａ）を形成する方法としては、ダイヤモンド針を
振動させてセルを形成するヘリオ・クリショグラフ法、
電子ビームで版胴の表面を蒸発させてセルを形成する電
子ビーム彫刻法、ポジフイルムを使用した露光・現像・
エッチング工程などによりセルを形成するエッチング法
などが採用される。

【００２６】導電性インク（２３）は、透明性が要求さ
れる場合、透明バインダー樹脂の溶液中に透明導電性物
質の微粒子を分散させて調製される。分散手段として
は、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ホモジナイ
ザー等が使用される。導電性インク（２３）の粘度は５
０〜１０００ｓｐｓの範囲が好ましい。

【００２７】上記のバインダー樹脂としては、フェノキ
シ樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリエステ
ル樹脂、ポリウレタン樹脂、セルロース、ポリサルフォ
ン樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、アクリルブタジエ
ンスチレン共重合体、アクリルスチレン共重合体、ポリ
カーボネート樹脂などが挙げられ、上記の溶媒として
は、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、シクロ
ヘキサノン、トルエン等が挙げられ、上記の導電性物質
としては、酸化錫、インジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）、
銀、金などが挙げられる。導電性インク（２３）が透明
である必要がない場合は、上記の導電性物質としてカー
ボンブラックを使用してもよい。

【００２８】導電性インクの供給方法としては、図１２
に示す様に、版胴（２０）の一部を導電性インク（２
３）に浸漬させる方法の他、版胴の下部に接触配置され
た付けローラの一部を導電性インクに浸漬させる方法を
採用することが出来る。グラビア印刷終了後は、印刷面
に加熱空気を吹き付けることにより導電性インク中の溶
剤を蒸発させて導電性インクを固化させる。図１に示す
第１部材（１）は、プラスチックフイルムより成る絶縁
性支持体（１１）の長手方向（ＭＤ方向）に連続的に複
数の直線状駆動電極（１２）を形成した後、長手方向に
所定の長さで裁断して得られる。

【００２９】前記のラウンド形成工程は、図２に示す様
に、電極形成工程終了後、複数の直線状駆動電極（１
２）上の後述する複数相の各直線状集合線との接続箇所
（ランド形成箇所）を除き、複数の直線状駆動電極（１
２）上に絶縁性ペースト（３）を塗布することによって
行われる。図２中の符合（４）は、円形状ラウンドを表
す。絶縁性ペースト（３）は、前述の図１５に示す絶縁
性保護膜（１３）に対応し、その絶縁物質としては、熱
硬化型、ＵＶ硬化型などの各種の透明樹脂が使用され
る。絶縁性ペースト（３）の塗布は、スクリーン印刷、
オフセット印刷、パット印刷などを採用して容易に行う
ことが出来る。絶縁性ペースト（３）の厚さは、乾燥厚
さとして５〜２０μｍ程度とされる。

【００３０】そして、上記の絶縁性ペースト（３）の塗
布に先立ち、必要に応じ、複数の直線状駆動電極（１
２）上に透明導電性インクでラウンド（４）を印刷して
もよい。印刷は図２に示す様に千鳥状に行われる。印刷
方法としては、上記と同様の方法を採用することが出来
る。なお、上記の様なランド印刷は、グラビア印刷によ
る電極形成工程に引き続いて行われるが、ランド印刷に
おける位置合わせを容易にするため、電極形成工程にお
いて、図１４に示す様な位置合わせマーク（２５）をグ
ラビア印刷するのが好ましい。

【００３１】前記の絶縁膜形成工程は、図３に示す様
に、ラウンド形成工程程終了後、ランド形成領域（５）
のランド（４）を除く全面に絶縁性ペーストを塗布する
ことによって行われる。図３中の符合（５）は、ランド
形成領域と共に絶縁性ペーストを表す。絶縁性ペースト
（５）の厚さは、乾燥厚さとして２０μｍ以上（例えば
２０〜１００μｍ程度）とされる。絶縁膜形成工程は、
複数の直線状駆動電極（１２）と後述する複数相の各直
線状集合線とを接続するランド（４）の絶縁性を一層高
めるために行われるが、斯かる目的は、ラウンド形成工
程における絶縁性ペースト（３）の塗布厚さや絶縁性を
高めることによっても達成することが出来るため、必要
に応じて採用される任意の工程である。なお、絶縁性ペ
ーストの絶縁物質としては、熱硬化型、ＵＶ硬化型など
の各種の透明樹脂が使用される。

【００３２】前記の接続工程は、図４に示す様に、絶縁
膜形成工程終了後、複数の直線駆動電極（１２）と交叉
する方向であって且つ各ランド（４）上の位置に所定の
間隔で複数相の各直線状集合線（１４ａ）、（１４
ｂ）、（１４ｃ）を形成することにより複数の直線状駆
動電極と複数相の各直線状集合線とを接続することによ
って行われる。上記の直線状集合線は、透明な導電性イ
ンクとして銀インクを使用し、スクリーン印刷などの印
刷手段で形成するのが好ましい。なお、この際、上記の
接続を容易にするため、必要に応じ、図３に示す各ラン
ド（４）の孔内に導電性材料（銀インク）を充填しても
よい。

【００３３】図４に例示する接続工程においては、複数
の直線駆動電極（１２）と直交する方向に複数相の各直
線状集合線（１４ａ）、（１４ｂ）、（１４ｃ）が形成
されているが、本発明の目的とするサイズフリー化を損
なわない範囲において、複数の直線駆動電極（１２）と
複数相の各直線状集合線（１４ａ）、（１４ｂ）、（１
４ｃ）の交叉方向は任意に選択することが出来る。

【００３４】上記の各工程を経て製造された本発明に係
る静電アクチュエータ用素子は、図５及び図６に示す様
な構造を有する。すなわち、複数の駆動電極（１２）
は、絶縁性支持体（１１）上に配置され且つ相互に絶縁
された複数相の各集合線（１４ａ）、（１４ｂ）、（１
４ｃ）を介し、図１５に示す駆動手段（１８）に接続さ
れ、そして、上記の複数の駆動電極（１２）及び複数相
の各集合線（１４ａ）、（１４ｂ）、（１４ｃ）は、絶
縁性支持体（１１）上において直線状に配置され、複数
の駆動電極（１２）及び複数相の各集合線（１４ａ）、
（１４ｂ）、（１４ｃ）は絶縁性支持体（１１）の同一
平面上に配置されている。

【００３５】本発明の第３の要旨に係る静電アクチュエ
ータ用素子の製造方法は、絶縁性支持体上の一方向に且
つ所定の間隔で複数の直線状駆動電極を形成する工程、
絶縁性支持体の駆動電極形成面に絶縁性保護膜をラミネ
ートする工程、複数の直線状駆動電極上の後述する複数
相の各直線状集合線との接続箇所（ランド形成箇所）に
対応して絶縁性支持体を貫通するランド孔を絶縁性保護
膜側から形成する工程、直線状駆動電極と交叉する方向
であって且つ絶縁性支持体の駆動電極非形成面側の各ラ
ンド上の相当位置に所定の間隔で複数相の各直線状集合
線を形成することにより複数の直線状駆動電極と複数相
の各直線状集合線とを接続する工程とを包含する。

【００３６】図７は、図１と同一であり、上記の電極形
成工程で得られ、且つ、絶縁性支持体（１１）上に相互
に絶縁されて所定方向に且つ所定の間隔で配置された複
数の直線状駆動電極（１２）を備えた第１部材（１）を
示している。

【００３７】上記の絶縁性保護膜ラミネート工程は、図
８に示す様に、絶縁性支持体（１１）の直線状駆動電極
（１２）形成面に接着剤（図示せず）を塗布した例えば
ポリエステルフイルム等の透明な絶縁性保護膜（１３）
をラミネートすることにより行われる。絶縁性保護膜
（１３）は、第２の要旨に係る本発明の製造方法におけ
るランド形成工程（図２）の絶縁ペースト（３）と等価
である。

【００３８】上記のランド孔形成工程は、図９に示す様
に、例えば、ＮＣドリルやレザー等の手段により、複数
の直線状駆動電極（１２）上の後述する複数相の各直線
状集合線との接続箇所（ランド形成箇所）に対応して絶
縁性支持体（１１）を貫通するランド孔（４０）を絶縁
性保護膜（１３）側から形成することにより行われる。
この際の便宜を図るため、必要に応じ、上記の絶縁性保
護膜ラミネート工程に先立ち、複数の直線状駆動電極
（１２）上に透明なラウンドを印刷してもよい。なお、
図９は、図８に示す絶縁性支持体（１１）を裏面視した
図面である。

【００３９】上記の接続工程は、図１０に示す様に、直
線状駆動電極（１２）と交叉する方向であって且つ絶縁
性支持体（１１）の駆動電極非形成面側の各ランド上の
相当位置に所定の間隔で複数相の各直線状集合線（１４
ａ）、（１４ｂ）、（１４ｃ）を形成することにより複
数の直線状駆動電極と複数相の各直線状集合線とを接続
することにより行われる。この際、上記の接続を容易に
するため、必要に応じ、図９に示す各ランド孔（４０）
内に導電性材料を充填してもよい。なお、複数の直線駆
動電極（１２）と複数相の各直線状集合線（１４ａ）、
（１４ｂ）、（１４ｃ）の交叉方向は、前述の通り、任
意に選択することが出来る。

【００４０】上記の各工程を経て製造された本発明に係
る静電アクチュエータ用素子は、図１１に示す様な構造
を有する。すなわち、上記の複数の駆動電極（１２）及
び複数相の各集合線（１４ａ）、（１４ｂ）、（１４
ｃ）は、絶縁性支持体（１１）上において直線状に配置
されるが、図６に示す前述の素子と異なり、複数の直線
状駆動電極（１２）及び複数相の各直線状集合線（１４
ａ）、（１４ｂ）、（１４ｃ）はそれぞれ絶縁性支持体
（１１）の異なる平面（両面）上に配置されている。な
お、図１１中の符合（１３ａ）は、絶縁性保護膜（１
３）に塗布した接着剤を示す。

【００４１】本発明の第４の要旨に係る静電アクチュエ
ータ用素子の製造方法は、絶縁性支持体上の一方向に且
つ所定の間隔で複数の直線状駆動電極を形成する工程、
絶縁性支持体の駆動電極形成面に絶縁性保護膜をラミネ
ートする工程、複数の直線状駆動電極上の後述する複数
相の各直線状集合線との接続箇所（ランド形成箇所）に
対応して絶縁性支持体を貫通するランド孔を絶縁性支持
体側から形成する工程、直線状駆動電極と交叉する方向
であって且つ各ランド上の相当位置に所定の間隔で複数
相の各直線状集合線を形成することにより複数の直線状
駆動電極と複数相の各直線状集合線とを接続する工程と
を包含する。

【００４２】本発明の第４の要旨に係る製造方法は、本
発明の第３の要旨に係る製造方法と基本的には同一であ
るが、ランド孔の形成方向が異なる。すなわち、本発明
の第４の要旨に係る製造方法においては、絶縁性支持体
側（駆動電極非形成面側）からランド孔を形成する。従
って、上記の絶縁性保護膜ラミネート工程は、例えば、
上記のランド孔形成工程の後または上記の接続工程の後
など任意の段階を選択することが出来る。また、絶縁性
保護膜ラミネート工程の後にランド孔形成工程を行う場
合においては、ランド孔は、必ずしも、絶縁性保護膜を
貫通させる必要がない。

【００４３】本発明の各製造方法で得られた静電アクチ
ュエータ用素子は、複数相の各直線状集合線（１４
ａ）、（１４ｂ）、（１４ｃ）側の表面に前述の図１５
に示すと同様な絶縁性保護膜（１３）をラミネートし、
前述の静電アクチュエータの第１部材（１）として使用
される。絶縁性保護膜（１３）としては例えば透明プラ
スチックフイルム等が使用され、そのラミネートは接着
剤によって行うことが出来る。そして、図１５に示した
様に、第１部材（１）と第２部材（２）とは接する様に
配置されて静電アクチュエータを構成し、第１部材
（１）は固定子、第２部材（２）は移動子として機能す
る。

【００４４】そして、本発明の静電アクチュエータ用素
子において、複数の駆動電極（１２）及び複数相の各集
合線（１４ａ）、（１４ｂ）、（１４ｃ）は、絶縁性支
持体（１１）上において好適には直交する方向に直線状
に配置されているため、縦および横方向の何れにおいて
も任意の長さに切断して使用することが出来る。なお、
切断端面は、電極および／または集合線と空気との接触
を防止するため、絶縁テープや絶縁ペーストによって被
覆処理される。

【００４５】

【発明の効果】本発明の静電アクチュエータは、第１部
材（固定子）として、新規な集合線配置構造を採用した
ことにより、使用される各場面毎の要求サイズに応じて
切断することが出来る。従って、本発明の静電アクチュ
エータは、安価に製造することが出来、各種の用途への
使用が期待される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製造
方法の一例の説明図

【図２】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製造
方法の一例の説明図

【図３】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製造
方法の一例の説明図

【図４】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製造
方法の一例の説明図

【図５】図１〜図４に示す製造方法で得られた本発明に
係る静電アクチュエータ用素子の一例の説明図

【図６】図５に示す静電アクチュエータ用素子の断面説
明図

【図７】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製造
方法の他の一例の説明図

【図８】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製造
方法の他の一例の説明図

【図９】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製造
方法の他の一例の説明図

【図１０】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製
造方法の他の一例の説明図

【図１１】図７〜図１０に示す製造方法で得られた本発
明に係る静電アクチュエータ用素子の一例の断面説明図

【図１２】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製
造方法で好適に使用されるグラビアコーターの説明図

【図１３】グラビアコーターの版胴の表面説明図

【図１４】本発明に係る静電アクチュエータ用素子の製
造過程における絶縁性支持体の一部の説明図

【図１５】静電アクチュエータの一例の模式的説明図

【図１６】従来の静電アクチュエータの駆動電極と集合
線の一例を示す説明図

【図１７】従来の静電アクチュエータの集合線の一例を
示す説明図

【符号の説明】

１：第１部材１１：絶縁性支持体１２：駆動電極１３：絶縁性保護膜１３ａ：接着剤１４ａ：集合線１４ｂ：集合線１４ｃ：集合線１５：スイッチング素子１６：高圧電源１７：スイッチング回路１８：駆動手段２：第２部材３：絶縁性ペースト４：ラウンド４０：ランド孔５：ランド形成領域（絶縁性ペースト）２０：版胴２０ａ：電極パターン２１：圧胴２２：インク槽２３：導電性インク２４：ドクター２５：位置合わせマーク

フロントページの続き (72)発明者木村恒夫神奈川県小田原市成田1060番地化成オプトニクス株式会社小田原工場内 (72)発明者酒井玲神奈川県小田原市成田1060番地化成オプトニクス株式会社小田原工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】絶縁性支持体上に相互に絶縁されて所定
方向に且つ所定の間隔で配置された複数の駆動電極を備
えた第１部材と、第１部材に対向配置され且つ絶縁性薄
葉体に正負の電荷を付与した第２部材と、上記の駆動電
極への印加電圧を切り替えることにより第１部材と第２
部材との間に静電気の作用による吸引・反発力を生じさ
せて上記の両者を相対移動させるための駆動手段とから
主として構成される静電アクチュエータであって、上記
の複数の駆動電極は、絶縁性支持体上に配置され且つ相
互に絶縁された複数相の各集合線を介して駆動手段に接
続され、そして、上記の複数の駆動電極および複数相の
各集合線は、絶縁性支持体上において直線状に配置され
ていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】複数の駆動電極および複数相の各集合線
が、相互に交叉する方向に配置されている請求項１に記
載の静電アクチュエータ。
【請求項３】複数の駆動電極および複数相の各集合線
が、絶縁性支持体の同一平面上に配置されている請求項
１又は２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】絶縁性支持体上の一方向に且つ所定の間
隔で複数の直線状駆動電極を形成する工程、複数の直線
状駆動電極上の後述する複数相の各直線状集合線との接
続箇所（ランド形成箇所）を除き、複数の直線状駆動電
極の表面に絶縁性ペーストを塗布してラウンドを形成す
る工程、ランド形成領域のランドを除く全面に絶縁性性
ペーストを塗布して絶縁膜を形成する工程、複数の直線
駆動電極と交叉する方向であって且つ各ランド上の位置
に所定の間隔で複数相の各直線状集合線を形成すること
により複数の直線状駆動電極と複数相の各直線状集合線
とを接続する工程とを包含し、そして、上記の絶縁膜形
成工程は、必要に応じて採用される任意の工程であるこ
とを特徴とする静電アクチュエータ用素子の製造方法。
【請求項５】絶縁性支持体上の一方向に且つ所定の間
隔で複数の直線状駆動電極を形成する工程、絶縁性支持
体の駆動電極形成面に絶縁性保護膜をラミネートする工
程、複数の直線状駆動電極上の後述する複数相の各直線
状集合線との接続箇所（ランド形成箇所）に対応して絶
縁性支持体を貫通するランド孔を絶縁性保護膜側から形
成する工程、直線状駆動電極と交叉する方向であって且
つ絶縁性支持体の駆動電極非形成面側の各ランド上の相
当位置に所定の間隔で複数相の各直線状集合線を形成す
ることにより複数の直線状駆動電極と複数相の各直線状
集合線とを接続する工程とを包含することを特徴とする
静電アクチュエータ用素子の製造方法。
【請求項６】絶縁性支持体上の一方向に且つ所定の間
隔で複数の直線状駆動電極を形成する工程、絶縁性支持
体の駆動電極形成面に絶縁性保護膜をラミネートする工
程、複数の直線状駆動電極上の後述する複数相の各直線
状集合線との接続箇所（ランド形成箇所）に対応して絶
縁性支持体を貫通するランド孔を絶縁性支持体側から形
成する工程、直線状駆動電極と交叉する方向であって且
つ各ランド上の相当位置に所定の間隔で複数相の各直線
状集合線を形成することにより複数の直線状駆動電極と
複数相の各直線状集合線とを接続する工程とを包含する
ことを特徴とする静電アクチュエータ用素子の製造方
法。