JPH09233865A - 弾性表面波モータ - Google Patents
弾性表面波モータInfo
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- JPH09233865A JPH09233865A JP8037645A JP3764596A JPH09233865A JP H09233865 A JPH09233865 A JP H09233865A JP 8037645 A JP8037645 A JP 8037645A JP 3764596 A JP3764596 A JP 3764596A JP H09233865 A JPH09233865 A JP H09233865A
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- surface acoustic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動子に所定の予圧を加えた状態で、高周波
振動を与え、簡便に、しかも確実に移動子を駆動し得る
弾性表面波モータを提供する。 【解決手段】 弾性表面波モータにおいて、駆動電極５
を有する弾性表面波素子１と、この弾性表面波素子１上
にセットされる移動子２と、この移動子２に予め圧力Ｎ
を加える予圧付与手段４とを設ける。
振動を与え、簡便に、しかも確実に移動子を駆動し得る
弾性表面波モータを提供する。 【解決手段】 弾性表面波モータにおいて、駆動電極５
を有する弾性表面波素子１と、この弾性表面波素子１上
にセットされる移動子２と、この移動子２に予め圧力Ｎ
を加える予圧付与手段４とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波モータ
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、物体を直接駆動するモータには、
超音波モータが知られており、カメラの自動焦点レンズ
駆動用モータ、ブラインドやカーテンの駆動等に利用さ
れている。
超音波モータが知られており、カメラの自動焦点レンズ
駆動用モータ、ブラインドやカーテンの駆動等に利用さ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の超音波モータでは、駆動体に数１０ｋＨｚの振
動を与え、駆動体全体を撓ませ、駆動部と被駆動部を面
で接触させ駆動させるため、駆動周波数の高周波化が困
難となり、高速駆動や精密な位置制御などに限界があっ
た。
た従来の超音波モータでは、駆動体に数１０ｋＨｚの振
動を与え、駆動体全体を撓ませ、駆動部と被駆動部を面
で接触させ駆動させるため、駆動周波数の高周波化が困
難となり、高速駆動や精密な位置制御などに限界があっ
た。
【０００４】本発明は、上記問題点を除去し、移動子に
所定の予圧を加えた状態で、高周波振動を与え、簡便
に、しかも確実に移動子を駆動し得る弾性表面波モータ
を提供することを目的とする。
所定の予圧を加えた状態で、高周波振動を与え、簡便
に、しかも確実に移動子を駆動し得る弾性表面波モータ
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （１）弾性表面波モータにおいて、駆動電極を有する弾
性表面波素子と、この弾性表面波素子上にセットされる
移動子と、この移動子に予め圧力を加える予圧付与手段
とを設けるようにしたものである。
成するために、 （１）弾性表面波モータにおいて、駆動電極を有する弾
性表面波素子と、この弾性表面波素子上にセットされる
移動子と、この移動子に予め圧力を加える予圧付与手段
とを設けるようにしたものである。
【０００６】（２）上記（１）記載の弾性表面波モータ
において、前記移動子の下面には上下方向には弾力性を
有し、左右方向には剛性の高い複数の突起を具備するよ
うにしたものである。 （３）上記（１）記載の弾性表面波モータにおいて、前
記移動子は鋼球であり、前記予圧付与手段は前記弾性表
面波素子の下面に配置される磁石である。
において、前記移動子の下面には上下方向には弾力性を
有し、左右方向には剛性の高い複数の突起を具備するよ
うにしたものである。 （３）上記（１）記載の弾性表面波モータにおいて、前
記移動子は鋼球であり、前記予圧付与手段は前記弾性表
面波素子の下面に配置される磁石である。
【０００７】（４）上記（１）又は（２）記載の弾性表
面波モータにおいて、前記移動子は複数の磁性材料が含
まれる突起を有するスライダ本体を具備する。 （５）上記（１）又は（２）記載の弾性表面波モータに
おいて、前記移動子は複数の突起を有するスライダ本体
を具備し、このスライダ本体を案内する一対のガイドを
有し、この一対のガイド間に張設され、前記スライダ本
体の複数の突起を前記弾性表面波素子表面に押し付ける
ばねを具備する。
面波モータにおいて、前記移動子は複数の磁性材料が含
まれる突起を有するスライダ本体を具備する。 （５）上記（１）又は（２）記載の弾性表面波モータに
おいて、前記移動子は複数の突起を有するスライダ本体
を具備し、このスライダ本体を案内する一対のガイドを
有し、この一対のガイド間に張設され、前記スライダ本
体の複数の突起を前記弾性表面波素子表面に押し付ける
ばねを具備する。
【０００８】（６）上記（１）又は（５）記載の弾性表
面波モータにおいて、前記移動子の複数の突起は、それ
ぞれ弾性を有するはりによって支持される構造を有す
る。 （７）上記（１）又は（２）記載の弾性表面波モータに
おいて、前記移動子は複数の突起を有するスライダ本体
を具備し、このスライダ本体を案内する一対のばね板か
らなるガイドを有し、前記スライダ本体の複数の突起を
前記弾性表面波素子表面に押し付けるようにしたもので
ある。
面波モータにおいて、前記移動子の複数の突起は、それ
ぞれ弾性を有するはりによって支持される構造を有す
る。 （７）上記（１）又は（２）記載の弾性表面波モータに
おいて、前記移動子は複数の突起を有するスライダ本体
を具備し、このスライダ本体を案内する一対のばね板か
らなるガイドを有し、前記スライダ本体の複数の突起を
前記弾性表面波素子表面に押し付けるようにしたもので
ある。
【０００９】（８）上記（１）又は（２）記載の弾性表
面波モータにおいて、前記移動子は複数の突起を有する
スライダ本体を具備し、前記弾性表面波素子の下面に配
置されるガイドと、このガイドと前記スライダ本体の上
面に当接する断面Ｕ字形状のクリップ状弾性板を有し、
前記スライダ本体の複数の突起を前記弾性表面波素子表
面に押し付けるようにしたものである。
面波モータにおいて、前記移動子は複数の突起を有する
スライダ本体を具備し、前記弾性表面波素子の下面に配
置されるガイドと、このガイドと前記スライダ本体の上
面に当接する断面Ｕ字形状のクリップ状弾性板を有し、
前記スライダ本体の複数の突起を前記弾性表面波素子表
面に押し付けるようにしたものである。
【００１０】（９）弾性表面波モータにおいて、駆動電
極を有するとともに、円弧状のストリップ金属導波路を
用いた弾性表面波素子と、この弾性表面波素子上にセッ
トされる移動子と、一方端で前記移動子に予め圧力を加
えるとともに、前記導波路の円弧中心に配置された軸受
で支持され、他方端を自由端としてなる揺動アームとを
設けるようにしたものである。
極を有するとともに、円弧状のストリップ金属導波路を
用いた弾性表面波素子と、この弾性表面波素子上にセッ
トされる移動子と、一方端で前記移動子に予め圧力を加
えるとともに、前記導波路の円弧中心に配置された軸受
で支持され、他方端を自由端としてなる揺動アームとを
設けるようにしたものである。
【００１１】（１０）上記（９）記載の弾性表面波モー
タにおいて、前記移動子の下面には上下方向には弾力性
を有し、左右方向には剛性の高い複数の突起を設けるよ
うにしたものである。上記のように構成したので、移動
子の接触部が確実に弾性表面波素子上に高圧力で接触す
ることができるようになり、弾性表面波モータの駆動力
変換特性を向上させ、推力、移動速度、過渡応答特性な
どの向上を図ることができる。
タにおいて、前記移動子の下面には上下方向には弾力性
を有し、左右方向には剛性の高い複数の突起を設けるよ
うにしたものである。上記のように構成したので、移動
子の接触部が確実に弾性表面波素子上に高圧力で接触す
ることができるようになり、弾性表面波モータの駆動力
変換特性を向上させ、推力、移動速度、過渡応答特性な
どの向上を図ることができる。
【００１２】したがって、小型で高速、高精度の動作が
可能なアクチュエータを得ることができ、コンパクトデ
ィスク、磁気記録装置のヘッド移動機構、原子レベルで
の精密な加工装置の送り機構などへの応用が可能であ
る。
可能なアクチュエータを得ることができ、コンパクトデ
ィスク、磁気記録装置のヘッド移動機構、原子レベルで
の精密な加工装置の送り機構などへの応用が可能であ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。図１は本発明の原理を示す弾性表面
波リニアモータの概略構成図、図２は図１のＡ部拡大図
である。これらの図に示すように、弾性表面波素子１に
は、その両側に駆動電極（ＩＤＴ）５が形成されてお
り、弾性表面波素子１には移動子（スライダ）２が搭載
され、その移動子２には予め所定の圧力（予圧）Ｎを加
える予圧付与手段４が設けられている。前記移動子２の
下面には複数の突起３が形成されている。その突起３は
その頂点３ａ付近が弾性表面波素子１の表面と接触す
る。それぞれの突起３の接触点での加重が均等になるよ
うにする。そのためには、各突起３の移動子２との取り
付け部分が柔軟な構造（図の上下方向のみ）である必要
がある。駆動力を取り出すためには、水平方向には剛性
が高い（硬い）構造が望ましい。
て詳細に説明する。図１は本発明の原理を示す弾性表面
波リニアモータの概略構成図、図２は図１のＡ部拡大図
である。これらの図に示すように、弾性表面波素子１に
は、その両側に駆動電極（ＩＤＴ）５が形成されてお
り、弾性表面波素子１には移動子（スライダ）２が搭載
され、その移動子２には予め所定の圧力（予圧）Ｎを加
える予圧付与手段４が設けられている。前記移動子２の
下面には複数の突起３が形成されている。その突起３は
その頂点３ａ付近が弾性表面波素子１の表面と接触す
る。それぞれの突起３の接触点での加重が均等になるよ
うにする。そのためには、各突起３の移動子２との取り
付け部分が柔軟な構造（図の上下方向のみ）である必要
がある。駆動力を取り出すためには、水平方向には剛性
が高い（硬い）構造が望ましい。
【００１４】したがって、物体の表面近傍のみに伝播す
る高周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波を駆動すること
により、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を、予圧が
付与された複数の突起３を有する移動子２でもって効率
よくリニア駆動させることができる。図３は本発明の第
１実施例を示す弾性表面波リニアモータの正面図であ
る。
る高周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波を駆動すること
により、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を、予圧が
付与された複数の突起３を有する移動子２でもって効率
よくリニア駆動させることができる。図３は本発明の第
１実施例を示す弾性表面波リニアモータの正面図であ
る。
【００１５】この図に示すように、弾性表面波素子１に
は、その両側に駆動電極（ＩＤＴ）５が形成されてお
り、その弾性表面波素子１の下面には、磁石１１が配置
されている。その弾性表面波素子１の表面には移動子と
しての鋼球１２がセットされている。したがって、鋼球
１２には、磁石１１によって下方に吸引力Ｆが働き、磁
石１１の方向へ吸引されるので、鋼球１２は弾性表面波
素子１の表面に対して所定の圧力で接触することにな
る。
は、その両側に駆動電極（ＩＤＴ）５が形成されてお
り、その弾性表面波素子１の下面には、磁石１１が配置
されている。その弾性表面波素子１の表面には移動子と
しての鋼球１２がセットされている。したがって、鋼球
１２には、磁石１１によって下方に吸引力Ｆが働き、磁
石１１の方向へ吸引されるので、鋼球１２は弾性表面波
素子１の表面に対して所定の圧力で接触することにな
る。
【００１６】そこで、物体の表面近傍のみに伝播する高
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を、予圧が付与
された移動子としての鋼球１２を効率よくリニア駆動さ
せることができる。因みに、直径１ｍｍの鋼球を用いた
実験結果を示すと、定常速度は約６０ｃｍ／ｓｅｃ、最
大加速度は２．３×１０2 ｍ／ｓｅｃ2 、立ち上がり時
間は２ｍｓｅｃ、質量（φ１）は４．１ｍｇ、接触部半
径は２．５μｍ、最大接触圧力は約２５０ＭＰａ、最大
発生力は１．２５ｍＮである。
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を、予圧が付与
された移動子としての鋼球１２を効率よくリニア駆動さ
せることができる。因みに、直径１ｍｍの鋼球を用いた
実験結果を示すと、定常速度は約６０ｃｍ／ｓｅｃ、最
大加速度は２．３×１０2 ｍ／ｓｅｃ2 、立ち上がり時
間は２ｍｓｅｃ、質量（φ１）は４．１ｍｇ、接触部半
径は２．５μｍ、最大接触圧力は約２５０ＭＰａ、最大
発生力は１．２５ｍＮである。
【００１７】図４は本発明の第２実施例を示す弾性表面
波リニアモータの正面図、図５はその弾性表面波リニア
モータの平面図である。これらの図に示すように、弾性
表面波素子１には、その両側に駆動電極（ＩＤＴ）５が
形成されており、その弾性表面波素子１の下面には磁石
２１が配置されている。その弾性表面波素子１の表面に
は移動子としての複数の鋼球２３を下面に有する移動子
としてのスライダ本体２２を有する。
波リニアモータの正面図、図５はその弾性表面波リニア
モータの平面図である。これらの図に示すように、弾性
表面波素子１には、その両側に駆動電極（ＩＤＴ）５が
形成されており、その弾性表面波素子１の下面には磁石
２１が配置されている。その弾性表面波素子１の表面に
は移動子としての複数の鋼球２３を下面に有する移動子
としてのスライダ本体２２を有する。
【００１８】したがって、スライダ本体２２の鋼球２３
は、磁石２１によって吸引されるので、鋼球１２には弾
性表面波素子１の表面に対して所定の圧力が付与される
ことになる。そこで、物体の表面近傍のみに伝播する高
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を、予圧が付与
された複数の鋼球２３を有するスライダ本体２２を効率
よくリニア駆動させることができる。
は、磁石２１によって吸引されるので、鋼球１２には弾
性表面波素子１の表面に対して所定の圧力が付与される
ことになる。そこで、物体の表面近傍のみに伝播する高
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を、予圧が付与
された複数の鋼球２３を有するスライダ本体２２を効率
よくリニア駆動させることができる。
【００１９】因みに、多点接触スライダーを使ったモー
タの発生力（計算値）を示すと、最大速度としては、１
ｍ／ｓｅｃ程度が可能であり、これから計算すると、 Ｎ＝（２／３）Ｐmax ・πａ2 ＝３．３ｍＮ 仮に、この接触点を１ｃｍ角の中に１６００点設ける
と、ΣＮ＝Ｎ×１６００で約５Ｎとなる。
タの発生力（計算値）を示すと、最大速度としては、１
ｍ／ｓｅｃ程度が可能であり、これから計算すると、 Ｎ＝（２／３）Ｐmax ・πａ2 ＝３．３ｍＮ 仮に、この接触点を１ｃｍ角の中に１６００点設ける
と、ΣＮ＝Ｎ×１６００で約５Ｎとなる。
【００２０】最大発生力は約２Ｎとなる。また、鋼球２
３に代えて、図６及び図７に示すように、上下方向には
弾力性を有する磁性体（磁性粉）２５が混入された複数
の突起２４を設けるようにしてもよい。図８は本発明の
第３実施例を示す弾性表面波リニアモータの平面図、図
９はその弾性表面波リニアモータの正面図、図１０は図
８のＡ−Ａ線断面図、図１１はその弾性表面波リニアモ
ータのスライダの裏面図、図１２はそのＡ部拡大平面
図、図１３は図１２のＡ−Ａ線断面図である。
３に代えて、図６及び図７に示すように、上下方向には
弾力性を有する磁性体（磁性粉）２５が混入された複数
の突起２４を設けるようにしてもよい。図８は本発明の
第３実施例を示す弾性表面波リニアモータの平面図、図
９はその弾性表面波リニアモータの正面図、図１０は図
８のＡ−Ａ線断面図、図１１はその弾性表面波リニアモ
ータのスライダの裏面図、図１２はそのＡ部拡大平面
図、図１３は図１２のＡ−Ａ線断面図である。
【００２１】これらの図に示すように、スライダ本体３
２の下面には、シリコンマイクロマシニング技術を応用
して異方性エッチングにより、はり３３ａ構造を作り、
突起３３ｂをその中央部に配置する。つまり、図１３に
示すように、スライダ本体３２に柱３３ｃを設けて空間
３３ｄを形成し、その空間３３ｄにはり３３ａを形成
し、その中央に突起３３ｂを設ける。すなわち、複数の
突起３３ｂを有するスライダ本体３２を有する。この突
起３３ｂは上下方向には弾性を有するが、左右方向には
剛性が高い構造となっている。
２の下面には、シリコンマイクロマシニング技術を応用
して異方性エッチングにより、はり３３ａ構造を作り、
突起３３ｂをその中央部に配置する。つまり、図１３に
示すように、スライダ本体３２に柱３３ｃを設けて空間
３３ｄを形成し、その空間３３ｄにはり３３ａを形成
し、その中央に突起３３ｂを設ける。すなわち、複数の
突起３３ｂを有するスライダ本体３２を有する。この突
起３３ｂは上下方向には弾性を有するが、左右方向には
剛性が高い構造となっている。
【００２２】また、このスライダ本体３２を案内する一
対のガイド３５，３６が設けられ、この一対のガイド３
５，３６間にばね３４が張設され、このばね３４はスラ
イダ本体３２の複数の突起３３ｂを下方に押さえる付け
ることにより、複数の突起３３ｂにより弾性表面波素子
１の表面に対して所定の圧力を加えることになる。一対
のガイド３５，３６は四隅の支持体３７で弾性表面波素
子１に支持されている。
対のガイド３５，３６が設けられ、この一対のガイド３
５，３６間にばね３４が張設され、このばね３４はスラ
イダ本体３２の複数の突起３３ｂを下方に押さえる付け
ることにより、複数の突起３３ｂにより弾性表面波素子
１の表面に対して所定の圧力を加えることになる。一対
のガイド３５，３６は四隅の支持体３７で弾性表面波素
子１に支持されている。
【００２３】そこで、物体の表面近傍のみに伝播する高
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を予圧が付与さ
れた複数の突起３３ｂを有するスライダ本体３２を効率
よくリニア駆動させることができる。図１４は本発明の
第４実施例を示す弾性表面波リニアモータの平面図、図
１５はその弾性表面波リニアモータの正面図、図１６は
図１４のＡ−Ａ線断面図である。
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を予圧が付与さ
れた複数の突起３３ｂを有するスライダ本体３２を効率
よくリニア駆動させることができる。図１４は本発明の
第４実施例を示す弾性表面波リニアモータの平面図、図
１５はその弾性表面波リニアモータの正面図、図１６は
図１４のＡ−Ａ線断面図である。
【００２４】この実施例では複数の突起４３を有するス
ライダ本体４２を具備し、このスライダ本体４２を案内
する一対のばね板４４，４５からなるガイドを有し、前
記スライダ本体４２の複数の突起４３を一対のばね板４
４，４５により、弾性表面波素子１の表面に押し付ける
ようにしている。一対のばね板４４，４５は、支持体４
６により弾性表面波素子１に支持されている。
ライダ本体４２を具備し、このスライダ本体４２を案内
する一対のばね板４４，４５からなるガイドを有し、前
記スライダ本体４２の複数の突起４３を一対のばね板４
４，４５により、弾性表面波素子１の表面に押し付ける
ようにしている。一対のばね板４４，４５は、支持体４
６により弾性表面波素子１に支持されている。
【００２５】そこで、物体の表面近傍のみに伝播する高
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を、予圧が付与
された複数の突起４３を有するスライダ本体４２を効率
よくリニア駆動させることができる。図１７は本発明の
第５実施例を示す弾性表面波リニアモータの平面図、図
１８はその弾性表面波リニアモータの正面図、図１９は
図１７のＡ−Ａ線断面図である。
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を、予圧が付与
された複数の突起４３を有するスライダ本体４２を効率
よくリニア駆動させることができる。図１７は本発明の
第５実施例を示す弾性表面波リニアモータの平面図、図
１８はその弾性表面波リニアモータの正面図、図１９は
図１７のＡ−Ａ線断面図である。
【００２６】この実施例では複数の突起５３を有するス
ライダ本体５２を具備し、弾性表面波素子１の下面に配
置されるガイド５６と、このガイド５６とスライダ本体
５２の上面に当接する断面Ｕ字形状のクリップ状弾性板
５４を有し、このクリップ状弾性板５４により、スライ
ダ本体５２の複数の突起５３を弾性表面波素子１の表面
に押し付けるようにしている。
ライダ本体５２を具備し、弾性表面波素子１の下面に配
置されるガイド５６と、このガイド５６とスライダ本体
５２の上面に当接する断面Ｕ字形状のクリップ状弾性板
５４を有し、このクリップ状弾性板５４により、スライ
ダ本体５２の複数の突起５３を弾性表面波素子１の表面
に押し付けるようにしている。
【００２７】そこで、物体の表面近傍のみに伝播する高
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を予圧が付与さ
れた複数の突起５３を有するスライダ本体５２を効率よ
くリニア駆動させることができる。図２０は本発明の第
６実施例を示す弾性表面波揺動型モータの円弧状のスト
リップ金属導波路を用いた弾性表面波素子の平面図、図
２１はその弾性表面波揺動型モータの平面図、図２２は
その弾性表面波揺動型モータの正面図である。
周波（ＭＨｚ帯）である弾性表面波で駆動することによ
り、高周波で得られる数ｎｍの微小振動を予圧が付与さ
れた複数の突起５３を有するスライダ本体５２を効率よ
くリニア駆動させることができる。図２０は本発明の第
６実施例を示す弾性表面波揺動型モータの円弧状のスト
リップ金属導波路を用いた弾性表面波素子の平面図、図
２１はその弾性表面波揺動型モータの平面図、図２２は
その弾性表面波揺動型モータの正面図である。
【００２８】これらの図に示すように、円弧状のストリ
ップ金属導波路を用いた弾性表面波素子６１の両側に駆
動電極６２を設け、それらの駆動電極６２間には、金属
蒸着膜からなる円弧状のストリップ金属導波路６３が配
置されている。更に、金属導波路６３上には複数の突起
７２を有するスライダー本体７１がセットされる。
ップ金属導波路を用いた弾性表面波素子６１の両側に駆
動電極６２を設け、それらの駆動電極６２間には、金属
蒸着膜からなる円弧状のストリップ金属導波路６３が配
置されている。更に、金属導波路６３上には複数の突起
７２を有するスライダー本体７１がセットされる。
【００２９】一方、揺動アーム６５が弾性表面波素子６
１の基板に前記導波路の円弧中心に配置された軸受け６
４を有して、揺動自在に配置される。その揺動アーム６
５の一方端６６はスライダー７１の上部に連結され、ス
ライダー７１の複数の突起７２に対して予め圧力が付与
されるように配置される。その揺動アーム６５の他方端
６７は自由端である。
１の基板に前記導波路の円弧中心に配置された軸受け６
４を有して、揺動自在に配置される。その揺動アーム６
５の一方端６６はスライダー７１の上部に連結され、ス
ライダー７１の複数の突起７２に対して予め圧力が付与
されるように配置される。その揺動アーム６５の他方端
６７は自由端である。
【００３０】そこで、スライダー７１は円弧状のストリ
ップ金属導波路６３上を往復運動する。この弾性表面波
モータのスライダー７１の予圧は、揺動アーム６５によ
って与えられ、同時にガイドともなっている。更に、弾
性表面波素子６１の表面の表面波が伝搬する部分に、金
属薄膜を付けているので、その部分の波の伝搬速度が遅
くなることにより、円弧状に弾性表面波を伝えることが
できる。この性質を利用すると、金属薄膜のあるところ
が導波路となって波が伝わるので、揺動型モータを製作
することができる。
ップ金属導波路６３上を往復運動する。この弾性表面波
モータのスライダー７１の予圧は、揺動アーム６５によ
って与えられ、同時にガイドともなっている。更に、弾
性表面波素子６１の表面の表面波が伝搬する部分に、金
属薄膜を付けているので、その部分の波の伝搬速度が遅
くなることにより、円弧状に弾性表面波を伝えることが
できる。この性質を利用すると、金属薄膜のあるところ
が導波路となって波が伝わるので、揺動型モータを製作
することができる。
【００３１】なお、スライダーの移動距離が小さい場合
には、表面波の伝搬経路は必ずしも円弧状でなく、多少
の滑りを生ずるが直線状であってもかまわない。この種
の揺動型モータは、例えば、磁気ディスクのヘッド駆動
用アクチュエータとして好適である。また、図示してい
ないが、駆動電極には高周波電源が接続される。
には、表面波の伝搬経路は必ずしも円弧状でなく、多少
の滑りを生ずるが直線状であってもかまわない。この種
の揺動型モータは、例えば、磁気ディスクのヘッド駆動
用アクチュエータとして好適である。また、図示してい
ないが、駆動電極には高周波電源が接続される。
【００３２】このように構成したので、移動子の多数の
接触部が確実に弾性表面波素子上に高圧力で接触するこ
とができ、駆動力変換特性を向上させ、推力、移動速
度、過渡応答特性などの向上を図ることができる。した
がって、小型で高速、高精度の動作が可能なアクチュエ
ータを得ることができ、コンパクトディスク、磁気記録
装置のヘッド移動機構、原子レベルでの精密な加工装置
の送り機構などへの応用が期待される。
接触部が確実に弾性表面波素子上に高圧力で接触するこ
とができ、駆動力変換特性を向上させ、推力、移動速
度、過渡応答特性などの向上を図ることができる。した
がって、小型で高速、高精度の動作が可能なアクチュエ
ータを得ることができ、コンパクトディスク、磁気記録
装置のヘッド移動機構、原子レベルでの精密な加工装置
の送り機構などへの応用が期待される。
【００３３】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００３４】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次のような効果を奏することができる。移動子
の多数の接触部が確実に弾性表面波素子上に高圧力で接
触することができるので、弾性表面波モータの駆動力変
換特性を向上させ、推力、移動速度、過渡応答特性など
の向上を図ることができる。
よれば、次のような効果を奏することができる。移動子
の多数の接触部が確実に弾性表面波素子上に高圧力で接
触することができるので、弾性表面波モータの駆動力変
換特性を向上させ、推力、移動速度、過渡応答特性など
の向上を図ることができる。
【００３５】したがって、小型で高速、高精度の動作が
可能なリニア型や揺動型のアクチュエータを得ることが
でき、コンパクトディスク、磁気記録装置のヘッド移動
機構、原子レベルでの精密な加工装置の送り機構などへ
の適用が可能である。
可能なリニア型や揺動型のアクチュエータを得ることが
でき、コンパクトディスク、磁気記録装置のヘッド移動
機構、原子レベルでの精密な加工装置の送り機構などへ
の適用が可能である。
【図１】本発明の原理を示す弾性表面波リニアモータの
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【図３】本発明の第１実施例を示す弾性表面波リニアモ
ータの正面図である。
ータの正面図である。
【図４】本発明の第２実施例を示す弾性表面波リニアモ
ータの正面図である。
ータの正面図である。
【図５】本発明の第２実施例を示す弾性表面波リニアモ
ータの平面図である。
ータの平面図である。
【図６】本発明の第２実施例を示す弾性表面波リニアモ
ータの移動子の変形例を示す図である。
ータの移動子の変形例を示す図である。
【図７】図６のＡ部拡大図である。
【図８】本発明の第３実施例を示す弾性表面波リニアモ
ータの平面図である。
ータの平面図である。
【図９】本発明の第３実施例を示す弾性表面波リニアモ
ータの正面図である。
ータの正面図である。
【図１０】図８のＡ−Ａ線断面図である。
【図１１】本発明の第３実施例を示す弾性表面波リニア
モータのスライダの裏面図である。
モータのスライダの裏面図である。
【図１２】図１１のＡ部拡大平面図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ線断面図である。
【図１４】本発明の第４実施例を示す弾性表面波リニア
モータの平面図である。
モータの平面図である。
【図１５】本発明の第４実施例を示す弾性表面波リニア
モータの正面図である。
モータの正面図である。
【図１６】図１４のＡ−Ａ線断面図である。
【図１７】本発明の第５実施例を示す弾性表面波リニア
モータの平面図である。
モータの平面図である。
【図１８】本発明の第５実施例を示す弾性表面波リニア
モータの正面図である。
モータの正面図である。
【図１９】図１７のＡ−Ａ線断面図である。
【図２０】本発明の第６実施例を示す弾性表面波揺動型
モータの円弧状のストリップ金属導波路を用いた弾性表
面波素子の平面図である。
モータの円弧状のストリップ金属導波路を用いた弾性表
面波素子の平面図である。
【図２１】本発明の第６実施例を示す弾性表面波揺動型
モータの平面図である。
モータの平面図である。
【図２２】本発明の第６実施例を示す弾性表面波揺動型
モータの正面図である。
モータの正面図である。
１ 弾性表面波素子 ２ 移動子（スライダ） ３，２４，３３ｂ，４３，５３，７２ 突起 ３ａ 頂点 ４ 予圧付与手段 ５，６２ 駆動電極（ＩＤＴ） １１，２１ 磁石 １２ 鋼球 ２２，３２，４２，５２，７１ スライダ本体 ２３ 複数の鋼球 ２５ 磁性体（磁性粉） ３３ａ はり ３３ｃ 柱 ３３ｄ 空間 ３４ ばね ３５，３６ 一対のガイド ３７，４６ 支持体 ４４，４５ 一対のばね板（ガイド） ５４ 断面Ｕ字形状のクリップ状弾性板 ５６ ガイド ６１ 円弧状のストリップ金属導波路を用いた弾性表
面波素子 ６３ 円弧状のストリップ金属導波路 ６４ 軸受 ６５ 揺動アーム ６６ 一方端 ６７ 他方端
面波素子 ６３ 円弧状のストリップ金属導波路 ６４ 軸受 ６５ 揺動アーム ６６ 一方端 ６７ 他方端
Claims (10)
- 【請求項１】（ａ）駆動電極を有する弾性表面波素子
と、（ｂ）該弾性表面波素子上にセットされる移動子
と、（ｃ）該移動子に予め圧力を加える予圧付与手段と
を具備する弾性表面波モータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の弾性表面波モータにおい
て、前記移動子の下面には上下方向には弾力性を有し、
左右方向には剛性の高い複数の突起を具備する弾性表面
波モータ。 - 【請求項３】 請求項１記載の弾性表面波モータにおい
て、前記移動子は鋼球であり、前記予圧付与手段は前記
弾性表面波素子の下面に配置される磁石である弾性表面
波モータ。 - 【請求項４】 請求項１又は２記載の弾性表面波モータ
において、前記移動子は複数の磁性材料が含まれる突起
を有するスライダ本体を具備する弾性表面波モータ。 - 【請求項５】 請求項１又は２記載の弾性表面波モータ
において、前記移動子は複数の突起を有するスライダ本
体を具備し、該スライダ本体を案内する一対のガイドを
有し、該一対のガイド間に張設され、前記スライダ本体
の複数の突起を前記弾性表面波素子表面に押し付けるば
ねを具備する弾性表面波モータ。 - 【請求項６】 請求項１又は５記載の弾性表面波モータ
において、前記移動子の複数の突起は、それぞれ弾性を
有するはりによって支持される構造を有する弾性表面波
モータ。 - 【請求項７】 請求項１又は２記載の弾性表面波モータ
において、前記移動子は複数の突起を有するスライダ本
体を具備し、該スライダ本体を案内する一対のばね板か
らなるガイドを有し、前記スライダ本体の複数の突起を
前記弾性表面波素子表面に押し付けてなる弾性表面波モ
ータ。 - 【請求項８】 請求項１又は２記載の弾性表面波モータ
において、前記移動子は複数の突起を有するスライダ本
体を具備し、前記弾性表面波素子の下面に配置されるガ
イドと、該ガイドと前記スライダ本体の上面に当接する
断面Ｕ字形状のクリップ状弾性板を有し、前記スライダ
本体の複数の突起を前記弾性表面波素子表面に押し付け
てなる弾性表面波モータ。 - 【請求項９】（ａ）駆動電極を有するとともに、円弧状
のストリップ金属導波路を用いた弾性表面波素子と、
（ｂ）該弾性表面波素子上にセットされる移動子と、
（ｃ）一方端で前記移動子に予め圧力を加えるととも
に、前記導波路の円弧中心に配置された軸受で支持さ
れ、他方端を自由端としてなる揺動アームとを具備する
弾性表面波モータ。 - 【請求項１０】 請求項９記載の弾性表面波モータにお
いて、前記移動子の下面には上下方向には弾力性を有
し、左右方向には剛性の高い複数の突起を具備する弾性
表面波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03764596A JP3795123B2 (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 弾性表面波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03764596A JP3795123B2 (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 弾性表面波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09233865A true JPH09233865A (ja) | 1997-09-05 |
| JP3795123B2 JP3795123B2 (ja) | 2006-07-12 |
Family
ID=12503396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03764596A Expired - Fee Related JP3795123B2 (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 弾性表面波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3795123B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6331747B2 (en) | 2000-02-23 | 2001-12-18 | Minolta Co., Ltd. | Surface acoustic wave motor and apparatus having the same |
| WO2004020161A1 (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-11 | Matsushita Electric Works, Ltd. | 個人用電動理美容器具 |
| WO2006104070A1 (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Matsushita Electric Works, Ltd. | 弾性表面波モータ |
| WO2010110063A1 (ja) * | 2009-03-24 | 2010-09-30 | コニカミノルタオプト株式会社 | 駆動装置 |
| CN111156128A (zh) * | 2020-01-16 | 2020-05-15 | 西南交通大学 | 一种全向压电电磁复合式波浪能采集装置 |
-
1996
- 1996-02-26 JP JP03764596A patent/JP3795123B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6331747B2 (en) | 2000-02-23 | 2001-12-18 | Minolta Co., Ltd. | Surface acoustic wave motor and apparatus having the same |
| WO2004020161A1 (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-11 | Matsushita Electric Works, Ltd. | 個人用電動理美容器具 |
| WO2006104070A1 (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Matsushita Electric Works, Ltd. | 弾性表面波モータ |
| US7615909B2 (en) | 2005-03-28 | 2009-11-10 | Panasonic Electric Works Co., Ltd | Surface acoustic wave motor |
| JP4733111B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2011-07-27 | パナソニック電工株式会社 | 弾性表面波モータ |
| WO2010110063A1 (ja) * | 2009-03-24 | 2010-09-30 | コニカミノルタオプト株式会社 | 駆動装置 |
| CN111156128A (zh) * | 2020-01-16 | 2020-05-15 | 西南交通大学 | 一种全向压电电磁复合式波浪能采集装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3795123B2 (ja) | 2006-07-12 |
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