JPH09236564A - 微量相互作用性ガスの検出方法 - Google Patents
微量相互作用性ガスの検出方法Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/62—Detectors specially adapted therefor
-
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-
- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微量の相互作用性ガス、例えば酸素といった
ガスを含有している試料ガス中の微量の含有相互作用性
ガスを検出する方法を提供する。 【解決手段】 検出装置へ既知量の当該相互作用性ガス
を添加して装置内の相互作用性ガスの反応性あるいは吸
着性の部位を飽和させ、こうして含有相互作用性ガスの
正確且つ感度のよい検出を可能にするようにする。
ガスを含有している試料ガス中の微量の含有相互作用性
ガスを検出する方法を提供する。 【解決手段】 検出装置へ既知量の当該相互作用性ガス
を添加して装置内の相互作用性ガスの反応性あるいは吸
着性の部位を飽和させ、こうして含有相互作用性ガスの
正確且つ感度のよい検出を可能にするようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微量（痕跡量）の
相互作用性ガス、例えば酸素といったガスを含有してい
るガス中の微量の含有相互作用性ガスを、検出装置へ既
知量の当該相互作用性ガスを添加して装置内の相互作用
性ガスの反応性あるいは吸着性の部位を飽和させ、こう
して含有相互作用性ガスの正確且つ感度のよい検出を可
能にすることにより検出する方法に関する。もっと詳し
く言えば、本発明は、含有微量酸素について分析される
ガスの試料中の含有微量酸素を検出するためガスクロマ
トグラフのキャリヤガスに少量の酸素を添加する。
相互作用性ガス、例えば酸素といったガスを含有してい
るガス中の微量の含有相互作用性ガスを、検出装置へ既
知量の当該相互作用性ガスを添加して装置内の相互作用
性ガスの反応性あるいは吸着性の部位を飽和させ、こう
して含有相互作用性ガスの正確且つ感度のよい検出を可
能にすることにより検出する方法に関する。もっと詳し
く言えば、本発明は、含有微量酸素について分析される
ガスの試料中の含有微量酸素を検出するためガスクロマ
トグラフのキャリヤガスに少量の酸素を添加する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】産業用
ガス工業は、研究用や産業用、例えば電子組立て産業と
いったもの向けの産業用ガス中の不純物について、より
厳しい要件に常に直面している。
ガス工業は、研究用や産業用、例えば電子組立て産業と
いったもの向けの産業用ガス中の不純物について、より
厳しい要件に常に直面している。
【０００３】酸素は、そのような産業によって、特にガ
スシール（ブランケット）用あるいは酸化防止用に使用
される不活性ガスについて厳しい仕様要件が設定されて
いる汚染ガスのうちの一つである。不純物酸素量は、雰
囲気を不活性にするのに用いられるそのようなガス類に
おいては非常に少なくなくてはならない。典型的に、そ
のようなガス類には窒素とアルゴンが含められる。同様
の仕様に直面しているその他のガスには、一酸化炭素、
水素、二酸化炭素、フッ素、塩素、そして水が含められ
る。
スシール（ブランケット）用あるいは酸化防止用に使用
される不活性ガスについて厳しい仕様要件が設定されて
いる汚染ガスのうちの一つである。不純物酸素量は、雰
囲気を不活性にするのに用いられるそのようなガス類に
おいては非常に少なくなくてはならない。典型的に、そ
のようなガス類には窒素とアルゴンが含められる。同様
の仕様に直面しているその他のガスには、一酸化炭素、
水素、二酸化炭素、フッ素、塩素、そして水が含められ
る。
【０００４】産業用ガス類の精製、貯蔵及び配給におい
ては、バッチ又は連続操作を基にして純度を検査あるい
は監視することが必要である。ガス中の不純物の量が例
えばｐｐｍ又はｐｐｂレベルといったように非常に少な
く、そして不純物についてのガスの監視がバッチ又は不
連続操作を基にして行われる場合には、素早く、再現性
よく、正確な結果を得るのに困難が生じる。事実上、定
常状態の条件に到達するのは困難である。
ては、バッチ又は連続操作を基にして純度を検査あるい
は監視することが必要である。ガス中の不純物の量が例
えばｐｐｍ又はｐｐｂレベルといったように非常に少な
く、そして不純物についてのガスの監視がバッチ又は不
連続操作を基にして行われる場合には、素早く、再現性
よく、正確な結果を得るのに困難が生じる。事実上、定
常状態の条件に到達するのは困難である。
【０００５】専用の分析器を用いることでこの問題を少
なくとも部分的に克服することが可能であるとは言え、
検出が高性能の及び／又は高価な検出装置、例えばガス
クロマトグラフといったようなものを必要とする場合に
は、そのような分析機器は複数の分析のために使用され
る傾向があり、そのため任意の特定の不純物の分析につ
いて定常状態に到達するのは不可能でありあるいは非現
実的である。
なくとも部分的に克服することが可能であるとは言え、
検出が高性能の及び／又は高価な検出装置、例えばガス
クロマトグラフといったようなものを必要とする場合に
は、そのような分析機器は複数の分析のために使用され
る傾向があり、そのため任意の特定の不純物の分析につ
いて定常状態に到達するのは不可能でありあるいは非現
実的である。
【０００６】当該技術においては、酸素分析用のガスク
ロマトグラフで使用される吸着剤は初めに単独の酸化処
理にかけられると向上した性能を示すことができること
が認められている。これは、米国特許第４７４４８０５
号及び同第４７１３３６２号明細書で報告されている。
ロマトグラフで使用される吸着剤は初めに単独の酸化処
理にかけられると向上した性能を示すことができること
が認められている。これは、米国特許第４７４４８０５
号及び同第４７１３３６２号明細書で報告されている。
【０００７】分析とは対照的に、大量のガスから酸素を
除去することは、米国特許第４７４７８５４号明細書に
記載されている。
除去することは、米国特許第４７４７８５４号明細書に
記載されている。
【０００８】従来技術は、高純度の仕様を要求するガス
中の例えば酸素といったような微量の相互作用性ガスの
分析の問題に対する解決策を獲得していない。本発明
は、非定常状態の状況において特に役立つ、ガスクロマ
トグラフィーを利用してガス中の微量の相互作用性ガス
（すなわち酸素）不純物を検出するための費用のかから
ない方法を提供する。この方法は，速やかであり、正確
であり、そしてｐｐｍ及びｐｐｂの範囲の相互作用性ガ
ス（すなわち酸素）量に対して感度がよい。これは、何
年にもわたり存在していて再現性のよい分析を妨げてき
た問題を克服する。
中の例えば酸素といったような微量の相互作用性ガスの
分析の問題に対する解決策を獲得していない。本発明
は、非定常状態の状況において特に役立つ、ガスクロマ
トグラフィーを利用してガス中の微量の相互作用性ガス
（すなわち酸素）不純物を検出するための費用のかから
ない方法を提供する。この方法は，速やかであり、正確
であり、そしてｐｐｍ及びｐｐｂの範囲の相互作用性ガ
ス（すなわち酸素）量に対して感度がよい。これは、何
年にもわたり存在していて再現性のよい分析を妨げてき
た問題を克服する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、キャリヤガス
と混合される試料ガス中に含まれる、酸素、一酸化炭
素、水素、二酸化炭素、フッ素、塩素及び水からなる群
より選ばれた微量の相互作用性ガスを、ガスが当該相互
作用性ガスに対して敏感な検出器に通じるガスクロマト
グラフを使って当該相互作用性ガスを検出することによ
り検出するための方法であって、検出を行う上流でキャ
リヤガスに少量の当該相互作用性ガスを添加することを
特徴とする方法である。
と混合される試料ガス中に含まれる、酸素、一酸化炭
素、水素、二酸化炭素、フッ素、塩素及び水からなる群
より選ばれた微量の相互作用性ガスを、ガスが当該相互
作用性ガスに対して敏感な検出器に通じるガスクロマト
グラフを使って当該相互作用性ガスを検出することによ
り検出するための方法であって、検出を行う上流でキャ
リヤガスに少量の当該相互作用性ガスを添加することを
特徴とする方法である。
【００１０】好ましくは、試料ガスは、塩化水素、臭化
水素、アルシン、ホスフィン、シラン、三フッ化窒素、
ヘキサフルオロエタン、トリフルオロメタン、窒素、ア
ルゴン、ヘリウム、水素及びそれらの混合物からなる群
より選ばれる。
水素、アルシン、ホスフィン、シラン、三フッ化窒素、
ヘキサフルオロエタン、トリフルオロメタン、窒素、ア
ルゴン、ヘリウム、水素及びそれらの混合物からなる群
より選ばれる。
【００１１】好ましくは、キャリヤガスは、ヘリウム、
アルゴン、窒素及びそれらの混合物からなる群より選ば
れる。
アルゴン、窒素及びそれらの混合物からなる群より選ば
れる。
【００１２】好ましくは、試料ガス中の微量の相互作用
性ガスは１０００ｐｐｍ未満である。より好ましくは、
試料ガス中の微量の相互作用性ガスは１００ｐｐｍ未満
である。最も好ましくは、試料ガス中の微量の相互作用
性ガスは１ｐｐｍ未満である。
性ガスは１０００ｐｐｍ未満である。より好ましくは、
試料ガス中の微量の相互作用性ガスは１００ｐｐｍ未満
である。最も好ましくは、試料ガス中の微量の相互作用
性ガスは１ｐｐｍ未満である。
【００１３】好ましくは、キャリヤガス中に添加される
少量の相互作用性ガスはキャリヤガス中において１０ｐ
ｐｍ未満の相互作用性ガスとなる。より好ましくは、キ
ャリヤガス中に添加される少量の相互作用性ガスはキャ
リヤガス中において１ｐｐｍ未満の相互作用性ガスとな
る。最も好ましくは、キャリヤガス中に添加される少量
の相互作用性ガスは１００ｐｐｂ未満の相互作用性ガス
となる。
少量の相互作用性ガスはキャリヤガス中において１０ｐ
ｐｍ未満の相互作用性ガスとなる。より好ましくは、キ
ャリヤガス中に添加される少量の相互作用性ガスはキャ
リヤガス中において１ｐｐｍ未満の相互作用性ガスとな
る。最も好ましくは、キャリヤガス中に添加される少量
の相互作用性ガスは１００ｐｐｂ未満の相互作用性ガス
となる。
【００１４】好ましくは、少量の相互作用性ガスは、動
的希釈、透過及び校正された漏れ込みからなる群より選
ばれた方法によりキャリヤガスへ添加される。
的希釈、透過及び校正された漏れ込みからなる群より選
ばれた方法によりキャリヤガスへ添加される。
【００１５】好ましくは、相互作用性ガスに対して敏感
な検出器は、熱伝導率型検出器、放電電離検出器、ヘリ
ウム電離検出器及び高周波放電検出器からなる群より選
ばれる。
な検出器は、熱伝導率型検出器、放電電離検出器、ヘリ
ウム電離検出器及び高周波放電検出器からなる群より選
ばれる。
【００１６】好ましくは、ガスクロマトグラフには、ゼ
オライト質のモレキュラーシーブ、多孔質ポリマー、シ
リカゲル、カーボンモレキュラーシーブ及びそれらの混
合物からなる群より選ばれた吸着剤が詰められる。
オライト質のモレキュラーシーブ、多孔質ポリマー、シ
リカゲル、カーボンモレキュラーシーブ及びそれらの混
合物からなる群より選ばれた吸着剤が詰められる。
【００１７】好ましくは、少量の相互作用性ガスは、試
料ガスをキャリヤガスへ導入する箇所の上流でキャリヤ
ガスへ添加される。あるいはまた、少量の相互作用性ガ
スは、試料ガスをキャリヤガスへ導入する箇所の下流で
キャリヤガスへ添加される。
料ガスをキャリヤガスへ導入する箇所の上流でキャリヤ
ガスへ添加される。あるいはまた、少量の相互作用性ガ
スは、試料ガスをキャリヤガスへ導入する箇所の下流で
キャリヤガスへ添加される。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の発明者らは、ガスクロマ
トグラフへのキャリヤガスに相互作用性ガス、例えば酸
素を少量、典型的には１０ｐｐｍ（容量ｐｐｍ）未満添
加することによって、試料ガス中の、例えば汎用の又は
特殊なガス中の微量の相互作用性ガス、例えば酸素不純
物の如きものの検出を向上させることができる、という
ことを見いだした。
トグラフへのキャリヤガスに相互作用性ガス、例えば酸
素を少量、典型的には１０ｐｐｍ（容量ｐｐｍ）未満添
加することによって、試料ガス中の、例えば汎用の又は
特殊なガス中の微量の相互作用性ガス、例えば酸素不純
物の如きものの検出を向上させることができる、という
ことを見いだした。
【００１９】酸素は電子産業向けのガスにおける微量の
検出にとって最も重要である相互作用性ガスであるが、
このほかの相互作用性ガス、例えば一酸化炭素、水素、
二酸化炭素、フッ素、塩素及び水といったものを本発明
により分析してもよい。相互作用性（ｉｎｔｅｒａｃｔ
ｉｖｅ）という用語の使用は、試料中に微量に存在する
ガスが試料ガス中の当該ガスの正確な検出を有意に変更
し又は妨げるように検出の前に試料ガスから有意にある
いはすっかり除去される点まで、相互作用性ガスの検出
のために使用される装置の通路、弁及びそのほかの機器
の構成材料又はカラム媒体（すなわち吸着剤）と反応し
あるいはそれらに収着されるガスを指示するものであ
る。水は、水蒸気の形で試料ガス中に微量存在すること
ができることから、相互作用性ガスに含められる。水素
が試料ガスである場合、水素は微量の相互作用性ガスで
はなかろう。
検出にとって最も重要である相互作用性ガスであるが、
このほかの相互作用性ガス、例えば一酸化炭素、水素、
二酸化炭素、フッ素、塩素及び水といったものを本発明
により分析してもよい。相互作用性（ｉｎｔｅｒａｃｔ
ｉｖｅ）という用語の使用は、試料中に微量に存在する
ガスが試料ガス中の当該ガスの正確な検出を有意に変更
し又は妨げるように検出の前に試料ガスから有意にある
いはすっかり除去される点まで、相互作用性ガスの検出
のために使用される装置の通路、弁及びそのほかの機器
の構成材料又はカラム媒体（すなわち吸着剤）と反応し
あるいはそれらに収着されるガスを指示するものであ
る。水は、水蒸気の形で試料ガス中に微量存在すること
ができることから、相互作用性ガスに含められる。水素
が試料ガスである場合、水素は微量の相互作用性ガスで
はなかろう。
【００２０】研究あるいは電子組立て産業といったよう
なより多くを要求する最終用途に供される典型的な産業
用ガスの仕様は、非常に少量の不純物又は汚染物のみを
許容するに過ぎない。そのような最終用途により要求さ
れる量の不純物を検出するのは困難である。少量の酸素
は、例えばガスクロマトグラフにおけるように、酸素に
対して敏感な適切な検出器によって検出されないように
種々の機器表面に収着されあるいは化学的に結合される
ことを本発明の発明者らは確かめたことから、酸素は他
のガス中において微量を検出するのが特に困難である。
これは、分析すべき工業用ガス源からガスクロマトグラ
フへのガス試料の採取口又は管路が長く又は入り組んで
いる場合に特に問題となる。それはまた、ガスクロマト
グラフの通路内及びガスクロマトグラフから検出器に至
る通路内においても問題となる。このほかの相互作用性
ガスも同じ問題を提起する。
なより多くを要求する最終用途に供される典型的な産業
用ガスの仕様は、非常に少量の不純物又は汚染物のみを
許容するに過ぎない。そのような最終用途により要求さ
れる量の不純物を検出するのは困難である。少量の酸素
は、例えばガスクロマトグラフにおけるように、酸素に
対して敏感な適切な検出器によって検出されないように
種々の機器表面に収着されあるいは化学的に結合される
ことを本発明の発明者らは確かめたことから、酸素は他
のガス中において微量を検出するのが特に困難である。
これは、分析すべき工業用ガス源からガスクロマトグラ
フへのガス試料の採取口又は管路が長く又は入り組んで
いる場合に特に問題となる。それはまた、ガスクロマト
グラフの通路内及びガスクロマトグラフから検出器に至
る通路内においても問題となる。このほかの相互作用性
ガスも同じ問題を提起する。
【００２１】酸素、特に１０００ｐｐｍ未満の微量の酸
素は、カラムの充填物、金属表面、プラスチック、テフ
ロン（Ｔｅｆｌｏｎ、商標）の継手類等に有意にあるい
は完全に収着しかねない。これは、ガスクロマトグラフ
の検出器で検出される前に試料ガスから酸素不純物を掃
去しかねない。本発明の発明者らは、酸素がそのような
表面へ収着しあるいはそれらと反応するのを減らすため
酸素と適合性の構成材料や高度に仕上げた材料を使用す
る様々な試みを行ってきた。発明者らは、ガスクロマト
グラフでの酸素の消費（吸着又は反応）を減らすよう
に、試料採取の通路、ガスクロマトグラフの接続及びガ
スクロマトグラフの検出器の配置を設計することも試み
てきた。発明者らはまた、酸素が、例えば渦電流、デッ
ドスペース等でもって、ひっかかりかねない領域を最小
限にすることも試みてきた。これらの試みは典型的に、
微量の酸素の検出を、そして特に微量の酸素を不連続に
試料採取する際において、微量の酸素の検出の速度と精
度を、気まぐれに且つ一時的に向上させる結果に至っ
た。このほかの相互作用性ガスが同様に挙動することが
知られている。
素は、カラムの充填物、金属表面、プラスチック、テフ
ロン（Ｔｅｆｌｏｎ、商標）の継手類等に有意にあるい
は完全に収着しかねない。これは、ガスクロマトグラフ
の検出器で検出される前に試料ガスから酸素不純物を掃
去しかねない。本発明の発明者らは、酸素がそのような
表面へ収着しあるいはそれらと反応するのを減らすため
酸素と適合性の構成材料や高度に仕上げた材料を使用す
る様々な試みを行ってきた。発明者らは、ガスクロマト
グラフでの酸素の消費（吸着又は反応）を減らすよう
に、試料採取の通路、ガスクロマトグラフの接続及びガ
スクロマトグラフの検出器の配置を設計することも試み
てきた。発明者らはまた、酸素が、例えば渦電流、デッ
ドスペース等でもって、ひっかかりかねない領域を最小
限にすることも試みてきた。これらの試みは典型的に、
微量の酸素の検出を、そして特に微量の酸素を不連続に
試料採取する際において、微量の酸素の検出の速度と精
度を、気まぐれに且つ一時的に向上させる結果に至っ
た。このほかの相互作用性ガスが同様に挙動することが
知られている。
【００２２】思いもよらないことに、本発明の発明者ら
は、微量の酸素について分析しようとする試料ガスを搬
送するキャリヤガスに既知の少量（典型的に＜１０ｐｐ
ｍ）の添加用酸素を添加することにより、微量の酸素不
純物についての検出限界が検出を行うための応答時間と
ともに大いに向上する、ということを見いだした。潜在
的に、キャリヤガスの酸素添加量は、分析しようとする
試料ガス中の予想微量酸素と同等のあるいはそれ未満の
量でよい。ガスクロマトグラフ及び試料ガス中の微量酸
素不純物に対し感受性の検出器のこの高められた感度
は、予想されたであろうことに反している。例えば、微
量の酸素について言えば、酸素を加えることは微量の酸
素についての信号を不利に妨害するものと予想されたで
あろう。また、添加速度を厳密に調節することができる
ことも重要である。キャリヤガスへ酸素を制御せずある
いは気まぐれに添加すると、ガスクロマトグラフにより
微量酸素を非常に少ない微量の酸素レベルで検出する感
度がより一層高くはならない。キャリヤガスへ酸素をば
らつきなく添加することは、少量の酸素の正確な添加
（典型的には＜１０ｐｐｍであるが、潜在的には分析し
ようとする試料中の微量酸素のレベルでの）を可能にす
る動的希釈、透過もしくは校正された漏れ込み、あるい
はこのほかの任意の方法によって行うことができる。動
的希釈による添加は、キャリヤガスを、純粋酸素か、あ
るいは酸素とキャリヤガスと同じガスとの混合物のどち
らかを含有している流れと均一に混合することにより行
われる。透過による添加は、別個の貯蔵器から酸素を一
定の物質を通してキャリヤガスへ拡散させることにより
行われる。校正された漏れ込みを利用する添加は、典型
的にはオリフィス又は毛細管を用いることからなる制御
された漏れ込みにより所定量の酸素をキャリヤガスへ絶
えず注入することにより行われる。その他の相互作用性
ガスを同じようにして取り扱うことができると考えられ
る。あるいはまた、添加はキャリヤガスと産業用のガス
ボンベから供給される添加用ガスとの混合物を使って行
うことができよう。
は、微量の酸素について分析しようとする試料ガスを搬
送するキャリヤガスに既知の少量（典型的に＜１０ｐｐ
ｍ）の添加用酸素を添加することにより、微量の酸素不
純物についての検出限界が検出を行うための応答時間と
ともに大いに向上する、ということを見いだした。潜在
的に、キャリヤガスの酸素添加量は、分析しようとする
試料ガス中の予想微量酸素と同等のあるいはそれ未満の
量でよい。ガスクロマトグラフ及び試料ガス中の微量酸
素不純物に対し感受性の検出器のこの高められた感度
は、予想されたであろうことに反している。例えば、微
量の酸素について言えば、酸素を加えることは微量の酸
素についての信号を不利に妨害するものと予想されたで
あろう。また、添加速度を厳密に調節することができる
ことも重要である。キャリヤガスへ酸素を制御せずある
いは気まぐれに添加すると、ガスクロマトグラフにより
微量酸素を非常に少ない微量の酸素レベルで検出する感
度がより一層高くはならない。キャリヤガスへ酸素をば
らつきなく添加することは、少量の酸素の正確な添加
（典型的には＜１０ｐｐｍであるが、潜在的には分析し
ようとする試料中の微量酸素のレベルでの）を可能にす
る動的希釈、透過もしくは校正された漏れ込み、あるい
はこのほかの任意の方法によって行うことができる。動
的希釈による添加は、キャリヤガスを、純粋酸素か、あ
るいは酸素とキャリヤガスと同じガスとの混合物のどち
らかを含有している流れと均一に混合することにより行
われる。透過による添加は、別個の貯蔵器から酸素を一
定の物質を通してキャリヤガスへ拡散させることにより
行われる。校正された漏れ込みを利用する添加は、典型
的にはオリフィス又は毛細管を用いることからなる制御
された漏れ込みにより所定量の酸素をキャリヤガスへ絶
えず注入することにより行われる。その他の相互作用性
ガスを同じようにして取り扱うことができると考えられ
る。あるいはまた、添加はキャリヤガスと産業用のガス
ボンベから供給される添加用ガスとの混合物を使って行
うことができよう。
【００２３】典型的に、キャリヤガスへの相互作用性ガ
ス（すなわち酸素）の添加はガスクロマトグラフのガス
試料弁又はシリンジ注入箇所（試料ガスの導入箇所）の
上流で行うのが適切である。あるいは、相互作用性ガス
（すなわち酸素）はガス試料弁（導入箇所）の下流でキ
ャリヤガスへ添加してもよい。ガス試料弁の下流は不連
続のガス流動が生じるところであり、これは相互作用性
ガス（すなわち酸素）の分析にとって問題となることが
ある。添加は、ガスクロマトグラフに付属した別個のモ
ジュール又はガスクロマトグラフとは分離された別個の
モジュールでもって、ガスクロマトグラフの内部に行う
ことができる。
ス（すなわち酸素）の添加はガスクロマトグラフのガス
試料弁又はシリンジ注入箇所（試料ガスの導入箇所）の
上流で行うのが適切である。あるいは、相互作用性ガス
（すなわち酸素）はガス試料弁（導入箇所）の下流でキ
ャリヤガスへ添加してもよい。ガス試料弁の下流は不連
続のガス流動が生じるところであり、これは相互作用性
ガス（すなわち酸素）の分析にとって問題となることが
ある。添加は、ガスクロマトグラフに付属した別個のモ
ジュール又はガスクロマトグラフとは分離された別個の
モジュールでもって、ガスクロマトグラフの内部に行う
ことができる。
【００２４】相互作用性ガス（すなわち酸素）に対し感
受性の検出器は、熱伝導率型検出器、放電電離検出器、
ヘリウム電離検出器及び高周波放電検出器からなる群か
ら選ばれる。
受性の検出器は、熱伝導率型検出器、放電電離検出器、
ヘリウム電離検出器及び高周波放電検出器からなる群か
ら選ばれる。
【００２５】いずれの特定の理論にもとらわれるのを欲
しないながら、本発明の発明者らは、ガスクロマトグラ
フへのキャリヤガスに校正された一定の少量（典型的に
＜１０ｐｐｍ）の相互作用性ガス（すなわち酸素）を添
加することは、相互作用性ガス（すなわち酸素）が試料
にキャリヤガスを導入する箇所から下流のその相互作用
性ガス（すなわち酸素）に対し感受性の検出器に至る通
路においていずれの収着性又は反応性の部位も飽和させ
あるいはそれらと反応するのを可能にするものと信じ
る。従って、添加用の相互作用性ガス（すなわち酸素）
は、試料ガスからの微量の相互作用性ガスが収着されあ
るいは反応する機会をなくして、分析される試料ガス中
の実際の微量の相互作用性ガス（すなわち酸素）のスパ
イク波形を正確に且つ試料採取を実際に行う時から素早
い応答で検出することができる相互作用性ガス（すなわ
ち酸素）の基線バックグラウンドを提供する。
しないながら、本発明の発明者らは、ガスクロマトグラ
フへのキャリヤガスに校正された一定の少量（典型的に
＜１０ｐｐｍ）の相互作用性ガス（すなわち酸素）を添
加することは、相互作用性ガス（すなわち酸素）が試料
にキャリヤガスを導入する箇所から下流のその相互作用
性ガス（すなわち酸素）に対し感受性の検出器に至る通
路においていずれの収着性又は反応性の部位も飽和させ
あるいはそれらと反応するのを可能にするものと信じ
る。従って、添加用の相互作用性ガス（すなわち酸素）
は、試料ガスからの微量の相互作用性ガスが収着されあ
るいは反応する機会をなくして、分析される試料ガス中
の実際の微量の相互作用性ガス（すなわち酸素）のスパ
イク波形を正確に且つ試料採取を実際に行う時から素早
い応答で検出することができる相互作用性ガス（すなわ
ち酸素）の基線バックグラウンドを提供する。
【００２６】この方法により例えば酸素といったような
微量の相互作用性ガスについて分析することができる試
料ガスには、汎用の産業用ガス類、すなわち窒素、アル
ゴン、ヘリウム及び水素や、特殊な産業用ガス類、すな
わち塩化水素、臭化水素、アルシン、ホスフィン、シラ
ン、三フッ化窒素、ヘキサフルオロエタン、トリフルオ
ロメタン、が含まれる。
微量の相互作用性ガスについて分析することができる試
料ガスには、汎用の産業用ガス類、すなわち窒素、アル
ゴン、ヘリウム及び水素や、特殊な産業用ガス類、すな
わち塩化水素、臭化水素、アルシン、ホスフィン、シラ
ン、三フッ化窒素、ヘキサフルオロエタン、トリフルオ
ロメタン、が含まれる。
【００２７】添加用の相互作用性ガス（すなわち酸素）
は、好ましくは９９．９９９容量％である。最も好まし
くは、添加用の相互作用性ガス（すなわち酸素）は９
９．９９９９容量％である。あるいは、キャリヤガスと
同じガス又はほかの産業用ガス中に相互作用性ガス（す
なわち酸素）を含むもっと希釈した混合物によって、キ
ャリヤガス中に少量の相互作用性ガス（すなわち酸素）
を供給することができる。
は、好ましくは９９．９９９容量％である。最も好まし
くは、添加用の相互作用性ガス（すなわち酸素）は９
９．９９９９容量％である。あるいは、キャリヤガスと
同じガス又はほかの産業用ガス中に相互作用性ガス（す
なわち酸素）を含むもっと希釈した混合物によって、キ
ャリヤガス中に少量の相互作用性ガス（すなわち酸素）
を供給することができる。
【００２８】キャリヤガスへ注入される添加用相互作用
性ガス（すなわち酸素）の量は、結果として得られる添
加されたキャリヤガス中における相互作用性ガス（すな
わち酸素）が１０ｐｐｍ未満になる量である。好ましく
は、この範囲は１ｐｐｍ未満である。より好ましくは、
この範囲は１００ｐｐｂ未満である。
性ガス（すなわち酸素）の量は、結果として得られる添
加されたキャリヤガス中における相互作用性ガス（すな
わち酸素）が１０ｐｐｍ未満になる量である。好ましく
は、この範囲は１ｐｐｍ未満である。より好ましくは、
この範囲は１００ｐｐｂ未満である。
【００２９】キャリヤガスはヘリウム、アルゴン及び窒
素からなる群から選ぶことができる。
素からなる群から選ぶことができる。
【００３０】この技術は、１０００ｐｐｍ未満の量の微
量の相互作用性ガス（すなわち酸素）の再現性のある検
出を可能にする。より好ましくは、それは１００ｐｐｍ
未満の微量の相互作用性ガス（すなわち酸素）を検出す
るのに有用である。最も好ましくは、それは１ｐｐｍ未
満の範囲において有効である。ｐｐｍ及びｐｐｂのこれ
らの値は容量を基にしたものである。
量の相互作用性ガス（すなわち酸素）の再現性のある検
出を可能にする。より好ましくは、それは１００ｐｐｍ
未満の微量の相互作用性ガス（すなわち酸素）を検出す
るのに有用である。最も好ましくは、それは１ｐｐｍ未
満の範囲において有効である。ｐｐｍ及びｐｐｂのこれ
らの値は容量を基にしたものである。
【００３１】
〔例１〕ヘリウム（Ｈｅ）中に３．９ｐｐｍのＯ2 と量
の分からないＮ2 を含有している試料を、キャリヤガス
（Ｈｅ）に少量の酸素を添加することなく１５分以内に
一連の五つの試料を注入してガスクロマトグラフで分析
した。このガスクロマトグラフは、１０フィート（３
ｍ）のモレキュラーシーブ５Ａの分析カラムと放電電離
検出器（ＤＩＤ）を備えたＧｏｗ−Ｍａｃ ５９０であ
った。放電電流は６００Ｖで８．０３ｍＡであり、カラ
ム流量は３１スタンダード立方センチメートル／分（ｓ
ｃｃｍ）であり、そして検出器の流量は１２ｓｃｃｍで
あった。試料は１ｍｌであり、増幅器の範囲（レンジ）
は１の減衰で１０-12 であった。図１は、分析の結果を
報告するものであり、試料からのＯ2 がガスクロマトグ
ラフの酸素掃去部位により完全に消費されない事例を説
明するものである。この場合には、Ｏ2 についてのピー
ク面積と高さは装置がＯ2 含有試料を分析していなかっ
た期間の後において最低となる。その後の注入において
は、Ｏ2 のピーク面積と高さは増加する。注入を反復し
てからのＯ2 ピーク面積と高さは５回以上の注入の後に
は一定の値となった。これは、本発明の方法を使用しな
い技術でもって正確で且つばらつきのない結果を得るこ
とができるようにするには定常状態に達するのに追加の
時間が必要とされることを説明している。
の分からないＮ2 を含有している試料を、キャリヤガス
（Ｈｅ）に少量の酸素を添加することなく１５分以内に
一連の五つの試料を注入してガスクロマトグラフで分析
した。このガスクロマトグラフは、１０フィート（３
ｍ）のモレキュラーシーブ５Ａの分析カラムと放電電離
検出器（ＤＩＤ）を備えたＧｏｗ−Ｍａｃ ５９０であ
った。放電電流は６００Ｖで８．０３ｍＡであり、カラ
ム流量は３１スタンダード立方センチメートル／分（ｓ
ｃｃｍ）であり、そして検出器の流量は１２ｓｃｃｍで
あった。試料は１ｍｌであり、増幅器の範囲（レンジ）
は１の減衰で１０-12 であった。図１は、分析の結果を
報告するものであり、試料からのＯ2 がガスクロマトグ
ラフの酸素掃去部位により完全に消費されない事例を説
明するものである。この場合には、Ｏ2 についてのピー
ク面積と高さは装置がＯ2 含有試料を分析していなかっ
た期間の後において最低となる。その後の注入において
は、Ｏ2 のピーク面積と高さは増加する。注入を反復し
てからのＯ2 ピーク面積と高さは５回以上の注入の後に
は一定の値となった。これは、本発明の方法を使用しな
い技術でもって正確で且つばらつきのない結果を得るこ
とができるようにするには定常状態に達するのに追加の
時間が必要とされることを説明している。
【００３２】〔例２〕Ｈｅ中に１．９ｐｐｍのＨ2 、
２．４ｐｐｍのＯ2 、１．９ｐｐｍのＮ2 、２．０ｐｐ
ｍのＣＨ4 、２．１ｐｐｍのＣＯを含有している試料
を、キャリヤガスに少量の酸素を添加することなくガス
クロマトグラフでの分析にかけた。このガスクロマトグ
ラフは、６フィート（１．８ｍ）のモレキュラーシーブ
５Ａの分析カラムと放電電離検出器（ＤＩＤ）を備えた
Ｇｏｗ−Ｍａｃ ５９０であった。カラム流量は２９ｓ
ｃｃｍであり、検出器の流量は１１ｓｃｃｍであった。
試料は１ｍｌであり、増幅器の範囲は１の減衰で１０
-12 であった。Ｈｅキャリヤガス中に含まれる試料ガス
中の酸素のガスクロマトグラフ分析を、ガスクロマトグ
ラフへの何回かの試料の注入のうちの一つについて図２
でもって説明する。この場合には、２．４ｐｐｍのＯ2
を含有している試料は、時間をかけて反復注入した後に
おいてもはっきりしたピークを示さなかった。どうや
ら、ほとんど全てのＯ2 はガスクロマトグラフ装置によ
り消費されるようであり、そしてその後の注入はピーク
面積又は高さを増加させなかった。これらの条件下での
微量Ｏ2 の定量は不可能である。
２．４ｐｐｍのＯ2 、１．９ｐｐｍのＮ2 、２．０ｐｐ
ｍのＣＨ4 、２．１ｐｐｍのＣＯを含有している試料
を、キャリヤガスに少量の酸素を添加することなくガス
クロマトグラフでの分析にかけた。このガスクロマトグ
ラフは、６フィート（１．８ｍ）のモレキュラーシーブ
５Ａの分析カラムと放電電離検出器（ＤＩＤ）を備えた
Ｇｏｗ−Ｍａｃ ５９０であった。カラム流量は２９ｓ
ｃｃｍであり、検出器の流量は１１ｓｃｃｍであった。
試料は１ｍｌであり、増幅器の範囲は１の減衰で１０
-12 であった。Ｈｅキャリヤガス中に含まれる試料ガス
中の酸素のガスクロマトグラフ分析を、ガスクロマトグ
ラフへの何回かの試料の注入のうちの一つについて図２
でもって説明する。この場合には、２．４ｐｐｍのＯ2
を含有している試料は、時間をかけて反復注入した後に
おいてもはっきりしたピークを示さなかった。どうや
ら、ほとんど全てのＯ2 はガスクロマトグラフ装置によ
り消費されるようであり、そしてその後の注入はピーク
面積又は高さを増加させなかった。これらの条件下での
微量Ｏ2 の定量は不可能である。
【００３３】〔例３〕試料のキャリヤガスに少量の酸素
を添加するという本発明において概説された手順を使用
して実験を行った。試料は、Ｈｅ中に５．３ｐｐｍのＨ
2 、５．８ｐｐｍのＯ2 、６．３ｐｐｍのＮ2 、４．９
ｐｐｍのＣＨ4 、そして５．１ｐｐｍのＣＯを含有して
いた。表１は、ガスクロマトグラフ装置を一晩アイドリ
ングした後にＨｅキャリヤガスに５．８ｐｐｍのＯ2 を
添加した試料ガスの７回の注入について報告されたピー
ク面積を示している。各酸素分析は、この実験における
その他の分析と非常によく一致している。図３は、これ
らの分析のうちの一つについて得られたクロマトグラム
を示している。Ｏ2 についてのピーク面積は大きく、そ
して結果は多数の分析についてばらつきがない。これら
のデータは例１及び例２と同じガスクロマトグラフによ
り得られた。カラム流量は３２ｓｃｃｍ、検出器流量は
１５ｓｃｃｍであった。分析カラムは３フィート（０．
９ｍ）のモレキュラーシーブ１３Ｘであり、そして前置
カラムは３フィート（０．９ｍ）のシリカゲルであっ
た。試料は１ｍｌであり、増幅器の範囲は１の減衰で１
０-12であった。この例は、本発明を実施すると非常に
ばらつきのないＯ2 感度が得られることを証明してい
る。
を添加するという本発明において概説された手順を使用
して実験を行った。試料は、Ｈｅ中に５．３ｐｐｍのＨ
2 、５．８ｐｐｍのＯ2 、６．３ｐｐｍのＮ2 、４．９
ｐｐｍのＣＨ4 、そして５．１ｐｐｍのＣＯを含有して
いた。表１は、ガスクロマトグラフ装置を一晩アイドリ
ングした後にＨｅキャリヤガスに５．８ｐｐｍのＯ2 を
添加した試料ガスの７回の注入について報告されたピー
ク面積を示している。各酸素分析は、この実験における
その他の分析と非常によく一致している。図３は、これ
らの分析のうちの一つについて得られたクロマトグラム
を示している。Ｏ2 についてのピーク面積は大きく、そ
して結果は多数の分析についてばらつきがない。これら
のデータは例１及び例２と同じガスクロマトグラフによ
り得られた。カラム流量は３２ｓｃｃｍ、検出器流量は
１５ｓｃｃｍであった。分析カラムは３フィート（０．
９ｍ）のモレキュラーシーブ１３Ｘであり、そして前置
カラムは３フィート（０．９ｍ）のシリカゲルであっ
た。試料は１ｍｌであり、増幅器の範囲は１の減衰で１
０-12であった。この例は、本発明を実施すると非常に
ばらつきのないＯ2 感度が得られることを証明してい
る。
【００３４】
【表１】
【００３５】〔例４〕更に、１００ｓｃｃｍの流量で、
酸素を含有しているヘリウムの１ｍｌの試料を使って、
酸素を添加する方法を試験した。酸素は、キャリヤガス
中に酸素が２６ｐｐｂという少量でガスクラマトグラフ
のヘリウムキャリヤガス中へ添加した。酸素の添加に
は、Ｋｉｎ−Ｔｅｋ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓの透過
セルを使った。添加する間セルは室温に維持し、キャリ
ヤガスの酸素含有量をセル内の酸素の分圧により決定し
た。この酸素量はＤｅｌｔａ Ｆ Ｎａｎｏｔｒａｃｅ
酸素分析器で確認した。検出器は放電電離検出器であ
り、放電電流は６００Ｖで８．０ｍＡであった。酸素を
添加したヘリウムキャリヤガスを３０ｃｃ／ｍｉｎの流
量で３２℃の１３Ｘモレキュラーシーブ分析カラムに通
した。酸素についての最小の測定値は２３ｐｐｂであ
り、検出の限界は１７ｐｐｂであった。同じ条件下で、
水素、窒素、メタン及び一酸化炭素についての検出限界
はそれぞれ１２、２４、６及び４０ｐｐｂであった。
酸素を含有しているヘリウムの１ｍｌの試料を使って、
酸素を添加する方法を試験した。酸素は、キャリヤガス
中に酸素が２６ｐｐｂという少量でガスクラマトグラフ
のヘリウムキャリヤガス中へ添加した。酸素の添加に
は、Ｋｉｎ−Ｔｅｋ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓの透過
セルを使った。添加する間セルは室温に維持し、キャリ
ヤガスの酸素含有量をセル内の酸素の分圧により決定し
た。この酸素量はＤｅｌｔａ Ｆ Ｎａｎｏｔｒａｃｅ
酸素分析器で確認した。検出器は放電電離検出器であ
り、放電電流は６００Ｖで８．０ｍＡであった。酸素を
添加したヘリウムキャリヤガスを３０ｃｃ／ｍｉｎの流
量で３２℃の１３Ｘモレキュラーシーブ分析カラムに通
した。酸素についての最小の測定値は２３ｐｐｂであ
り、検出の限界は１７ｐｐｂであった。同じ条件下で、
水素、窒素、メタン及び一酸化炭素についての検出限界
はそれぞれ１２、２４、６及び４０ｐｐｂであった。
【００３６】上記の例から分かるように、本発明の方法
は、微量の相互作用性ガスを含有している試料採取され
たガス中の微量の相互作用性ガス、好ましくは酸素を検
出する技術における有意の改良である。本発明の方法
は、１０００ｐｐｍ未満の微量レベルの相互作用性ガス
（すなわち酸素）を素早く、感度よく、そして再現性よ
く検出する。
は、微量の相互作用性ガスを含有している試料採取され
たガス中の微量の相互作用性ガス、好ましくは酸素を検
出する技術における有意の改良である。本発明の方法
は、１０００ｐｐｍ未満の微量レベルの相互作用性ガス
（すなわち酸素）を素早く、感度よく、そして再現性よ
く検出する。
【００３７】従来技術は、相互作用性ガス（すなわち酸
素）を受容する表面が少ない装置を設計することによ
り、移動距離が少ない装置を設計することにより、ある
いは繰り返して行う検出試料の採取を利用することによ
り、微量の相互作用性ガス（すなわち酸素）の検出の問
題を克服することを試みてきた。これらの試みは、特に
バッチ式又は不連続式の試料採取について、感度よく、
素早く、少量の相互作用性ガス（すなわち酸素）を検出
することに成功していない。本発明は、相互作用性ガ
ス、好ましくは酸素を供給し、そしてバッチ式又は不連
続式の試料採取においても試料採取したガス中の微量の
相互作用性ガス、好ましくは酸素の感度がよく素早い検
出を首尾よく行うようにガスクロマトグラフのキャリヤ
ガスに添加することにより、従来技術の欠点を克服す
る。
素）を受容する表面が少ない装置を設計することによ
り、移動距離が少ない装置を設計することにより、ある
いは繰り返して行う検出試料の採取を利用することによ
り、微量の相互作用性ガス（すなわち酸素）の検出の問
題を克服することを試みてきた。これらの試みは、特に
バッチ式又は不連続式の試料採取について、感度よく、
素早く、少量の相互作用性ガス（すなわち酸素）を検出
することに成功していない。本発明は、相互作用性ガ
ス、好ましくは酸素を供給し、そしてバッチ式又は不連
続式の試料採取においても試料採取したガス中の微量の
相互作用性ガス、好ましくは酸素の感度がよく素早い検
出を首尾よく行うようにガスクロマトグラフのキャリヤ
ガスに添加することにより、従来技術の欠点を克服す
る。
【００３８】本発明はいくつかの好ましい態様に関して
説明されてはいるが、本発明の範囲は特許請求の範囲か
ら確定されるべきである。
説明されてはいるが、本発明の範囲は特許請求の範囲か
ら確定されるべきである。
【図１】例１の条件下でヘリウムキャリヤガス中に窒素
と３．９ｐｐｍの酸素を含有している試料ガスのガスク
ロマトグラムである。５回の別々の注入が示されてい
る。検出された酸素は後の注入の場合に増加している。
と３．９ｐｐｍの酸素を含有している試料ガスのガスク
ロマトグラムである。５回の別々の注入が示されてい
る。検出された酸素は後の注入の場合に増加している。
【図２】ヘリウムキャリヤガス中おける例２で言及され
た試料ガス中に２．４ｐｐｍの酸素を含有している試料
ガスのガスクロマトグラムである。全ての注入で結果と
して同じ酸素の応答が得られたので、１回の注入が示さ
れている。酸素は未検出のままである。
た試料ガス中に２．４ｐｐｍの酸素を含有している試料
ガスのガスクロマトグラムである。全ての注入で結果と
して同じ酸素の応答が得られたので、１回の注入が示さ
れている。酸素は未検出のままである。
【図３】キャリヤガスへの少量の酸素添加を利用したヘ
リウムキャリヤガス中に５．８ｐｐｍの酸素を含有して
いる例３の試料ガスのガスクロマトグラムである。１回
の注入が示されている。
リウムキャリヤガス中に５．８ｐｐｍの酸素を含有して
いる例３の試料ガスのガスクロマトグラムである。１回
の注入が示されている。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダニエル ジェームス ラグスデール アメリカ合衆国，ペンシルバニア 18951, クオーカータウン，ローントリー ドライ ブ ７ (72)発明者 ジョージ ハロルド スムーデ，ジュニア アメリカ合衆国，ペンシルバニア 18062, マクンギー，シークオイア ドライブ 3049 (72)発明者 デビッド アーサー ザトコ アメリカ合衆国，ペンシルバニア 19446, ランズデール，セイルマーカー ウェイ 434
Claims (15)
- 【請求項１】 キャリヤガスと混合される試料ガス中に
含まれる、酸素、一酸化炭素、水素、二酸化炭素、フッ
素、塩素及び水からなる群より選ばれた微量の相互作用
性ガスを、当該相互作用性ガスに対して敏感な検出器に
ガスが連通するガスクロマトグラフを使って当該相互作
用性ガスを検出することにより検出するための方法であ
って、検出を行う前に当該キャリヤガスに少量の当該相
互作用性ガスを添加することを特徴とする微量相互作用
性ガスの検出方法。 - 【請求項２】 前記試料ガスを、塩化水素、臭化水素、
アルシン、ホスフィン、シラン、三フッ化窒素、ヘキサ
フルオロエタン、トリフルオロメタン、窒素、アルゴ
ン、ヘリウム、水素及びそれらの混合物からなる群より
選ぶ、請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 前記キャリヤガスを、ヘリウム、アルゴ
ン、窒素及びそれらの混合物からなる群より選ぶ、請求
項１記載の方法。 - 【請求項４】 前記試料ガス中の前記微量の相互作用性
ガスが１０００ｐｐｍ未満である、請求項１記載の方
法。 - 【請求項５】 前記試料ガス中の前記微量の相互作用性
ガスが１００ｐｐｍ未満である、請求項１記載の方法。 - 【請求項６】 前記試料ガス中の前記微量の相互作用性
ガスが１ｐｐｍ未満である、請求項１記載の方法。 - 【請求項７】 前記キャリヤガス中に添加される前記少
量の相互作用性ガスが１０ｐｐｍ未満である、請求項１
記載の方法。 - 【請求項８】 前記キャリヤガス中に添加される前記少
量の相互作用性ガスが１ｐｐｍ未満である、請求項１記
載の方法。 - 【請求項９】 前記キャリヤガス中に添加される前記少
量の相互作用性ガスが１００ｐｐｂ未満である、請求項
１記載の方法。 - 【請求項１０】 前記少量の相互作用性ガスを、動的希
釈、透過及び校正された漏れ込みからなる群より選ばれ
た方法により前記キャリヤガスへ添加する、請求項１記
載の方法。 - 【請求項１１】 前記相互作用性ガスに対して敏感な検
出器を、熱伝導率型検出器、放電電離検出器、ヘリウム
電離検出器及び高周波放電検出器からなる群より選ぶ、
請求項１記載の方法。 - 【請求項１２】 前記ガスクロマトグラフに、ゼオライ
ト質のモレキュラーシーブ、多孔質ポリマー、シリカゲ
ル、カーボンモレキュラーシーブ及びそれらの混合物か
らなる群より選ばれた吸着剤を充填する、請求項１記載
の方法。 - 【請求項１３】 前記少量の相互作用性ガスを、前記試
料ガスを前記キャリヤガスへ導入する箇所の下流で当該
キャリヤガスへ添加する、請求項１記載の方法。 - 【請求項１４】 前記少量の相互作用性ガスを、前記試
料ガスを前記キャリヤガスへ導入する箇所の上流で当該
キャリヤガスへ添加する、請求項１記載の方法。 - 【請求項１５】 キャリヤガスと混合される試料ガス中
の微量の酸度をガスが酸素に対して敏感な検出器に通じ
るガスクロマトグラフを使って当該酸素を検出すること
により検出する方法であって、検出の前に当該キャリヤ
ガスに少量の酸素を添加することを特徴とする酸素の検
出方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/601627 | 1996-02-14 | ||
| US08/601,627 US5612489A (en) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | Enhanced sensitivity for oxygen and other interactive gases in sample gases using gas chromatography |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236564A true JPH09236564A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=24408184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9029161A Pending JPH09236564A (ja) | 1996-02-14 | 1997-02-13 | 微量相互作用性ガスの検出方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5612489A (ja) |
| JP (1) | JPH09236564A (ja) |
| KR (1) | KR970062689A (ja) |
| DE (1) | DE19705512A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3470183B2 (ja) * | 1999-10-28 | 2003-11-25 | 日本酸素株式会社 | 酸素ガス中に含まれる微量不純物の分析方法 |
| US7080545B2 (en) * | 2002-10-17 | 2006-07-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems |
| US7228724B2 (en) * | 2002-10-17 | 2007-06-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for sensing target gas species in semiconductor processing systems |
| US7296458B2 (en) * | 2002-10-17 | 2007-11-20 | Advanced Technology Materials, Inc | Nickel-coated free-standing silicon carbide structure for sensing fluoro or halogen species in semiconductor processing systems, and processes of making and using same |
| WO2004096110A2 (en) * | 2003-04-28 | 2004-11-11 | Chi, Llc | Pursed lip breathing device |
| US20060211253A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-21 | Ing-Shin Chen | Method and apparatus for monitoring plasma conditions in an etching plasma processing facility |
| CA2625477C (en) * | 2005-10-19 | 2014-05-13 | Panalytique Inc. | Chromatographic systems and methods for eliminating interference from interfering agents |
| US8239171B2 (en) * | 2006-02-28 | 2012-08-07 | Panalytique Inc. | System and method of eliminating interference for impurities measurement in noble gases |
| US9310308B2 (en) | 2012-12-07 | 2016-04-12 | Ldetek Inc. | Micro-plasma emission detector unit and method |
| US10126278B2 (en) | 2016-03-04 | 2018-11-13 | Ldetek Inc. | Thermal stress resistant micro-plasma emission detector unit |
| CN111108376A (zh) * | 2017-10-05 | 2020-05-05 | 株式会社岛津制作所 | 超临界流体色谱仪及超临界流体色谱分析方法 |
| WO2019144228A1 (en) | 2018-01-23 | 2019-08-01 | Ldetek Inc. | Valve assembly for a gas chromatograph |
| CN113049649A (zh) * | 2019-12-27 | 2021-06-29 | 苏州五蕴明泰科技有限公司 | 用于检测铅企业的一氧化碳气体浓度值的方法和设备 |
| CN114509517A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-05-17 | 祁国庆 | 利用气相色谱-质谱联用仪分析工业乙烯、丙烯中砷烷、膦烷的方法 |
| NL2035572B1 (en) | 2023-08-09 | 2025-02-21 | Ac Analyticalcontrols B V | Detecting trace levels of a gas component in a gas sample |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3319458A (en) * | 1964-02-14 | 1967-05-16 | Foxboro Co | Chromatographic apparatus for measuring hydrogen components |
| US4713362A (en) * | 1986-05-22 | 1987-12-15 | Air Products And Chemicals, Inc. | Selective zeolitic adsorbent and a method for activation thereof |
| US4744805A (en) * | 1986-05-22 | 1988-05-17 | Air Products And Chemicals, Inc. | Selective adsorption process using an oxidized ion-exchanged dehydrated chabizite adsorbent |
| US4747854A (en) * | 1986-05-22 | 1988-05-31 | Air Products And Chemicals, Inc. | Selective chromatographic process using an ion-exchanged, dehydrated chabazite adsorbent |
-
1996
- 1996-02-14 US US08/601,627 patent/US5612489A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-02-12 KR KR1019970004038A patent/KR970062689A/ko not_active Abandoned
- 1997-02-13 DE DE19705512A patent/DE19705512A1/de not_active Ceased
- 1997-02-13 JP JP9029161A patent/JPH09236564A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5612489A (en) | 1997-03-18 |
| DE19705512A1 (de) | 1997-08-21 |
| KR970062689A (ko) | 1997-09-12 |
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