JPH09237121A - 物体追跡および動作制御システム - Google Patents
物体追跡および動作制御システムInfo
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- JPH09237121A JPH09237121A JP8350832A JP35083296A JPH09237121A JP H09237121 A JPH09237121 A JP H09237121A JP 8350832 A JP8350832 A JP 8350832A JP 35083296 A JP35083296 A JP 35083296A JP H09237121 A JPH09237121 A JP H09237121A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 物体の温度勾配を選択的に誘発することによ
って物体の位置と速度を判定する移動物体の熱追跡シス
テムを提供する。 【解決手段】 物体に局在熱目印を誘発する熱マーキン
グ装置30と、熱マーキング装置30に隣接して配置さ
れ、局在熱目印が付けられた物体の動作を計測するため
の熱追跡装置40と、熱追跡装置40によって計測され
た動作に基づいて、誘発局在熱目印が付けられた物体の
動作を調節するように構成され、熱追跡装置40に接続
された動作制御装置52、とを備えた物体追跡および動
作制御システム。
って物体の位置と速度を判定する移動物体の熱追跡シス
テムを提供する。 【解決手段】 物体に局在熱目印を誘発する熱マーキン
グ装置30と、熱マーキング装置30に隣接して配置さ
れ、局在熱目印が付けられた物体の動作を計測するため
の熱追跡装置40と、熱追跡装置40によって計測され
た動作に基づいて、誘発局在熱目印が付けられた物体の
動作を調節するように構成され、熱追跡装置40に接続
された動作制御装置52、とを備えた物体追跡および動
作制御システム。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、移動物体の熱追跡
に関するものである。更に詳しくは、本発明は、物体の
温度勾配を選択的に誘発(induction)することによっ
て物体の位置と速度を判定することに関するものであ
る。
に関するものである。更に詳しくは、本発明は、物体の
温度勾配を選択的に誘発(induction)することによっ
て物体の位置と速度を判定することに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】材料処理システムでは、システムを移動
する物体の位置と速度を正確に制御しなくてはならない
ことが多い。通常、材料処理システムでは、所定経路を
所定速度で動く個別物体駆動機構で物体を物理的に嵌合
することによって物体の移動を制御する。紙、半導体、
プラスティック、鋼のような様々な物体を機械的に嵌合
して、嵌合された物体を一定速度で所望経路に沿って移
動するために、例えば歯車駆動ラチェット、ローラ、フ
ック、コンベヤが広く採用されている。ありふれた物体
の機械的嵌合または摩擦嵌合には、物体との直接的物理
接触を要するという不都合がある。高純度またはデリケ
ートな材料の処理を含む特定応用例では、機械的な把持
または接触により物質の汚染や破損が生じる場合があ
る。これは高速処理システムに特に該当することであ
り、高速処理システムでは物体を嵌合することによって
物体を損傷することがある。例えば、高速ローラでは、
位置のずれた用紙とローラの嵌合差により用紙が損傷
し、用紙が裂けたり破けたりすることがある。別の例と
しては、高速機械アームまたはグリッパの利用により、
処理ラインを移動する高純度シリコンウェハを汚染する
可能性が大幅に増す。
する物体の位置と速度を正確に制御しなくてはならない
ことが多い。通常、材料処理システムでは、所定経路を
所定速度で動く個別物体駆動機構で物体を物理的に嵌合
することによって物体の移動を制御する。紙、半導体、
プラスティック、鋼のような様々な物体を機械的に嵌合
して、嵌合された物体を一定速度で所望経路に沿って移
動するために、例えば歯車駆動ラチェット、ローラ、フ
ック、コンベヤが広く採用されている。ありふれた物体
の機械的嵌合または摩擦嵌合には、物体との直接的物理
接触を要するという不都合がある。高純度またはデリケ
ートな材料の処理を含む特定応用例では、機械的な把持
または接触により物質の汚染や破損が生じる場合があ
る。これは高速処理システムに特に該当することであ
り、高速処理システムでは物体を嵌合することによって
物体を損傷することがある。例えば、高速ローラでは、
位置のずれた用紙とローラの嵌合差により用紙が損傷
し、用紙が裂けたり破けたりすることがある。別の例と
しては、高速機械アームまたはグリッパの利用により、
処理ラインを移動する高純度シリコンウェハを汚染する
可能性が大幅に増す。
【0003】幸いなことに、機械的嵌合または摩擦嵌合
は物体を移動するための可能手段の一つに過ぎない。確
実な機械的接触を要する物体を移動するために、流体支
持、静電気システム、または電磁システムを基礎とする
物体駆動機構が全て利用されてきた。例えば、強誘電物
体に物理的に接触することなく強誘電物質を移動するの
に、電磁浮上システムを利用できる。更に一般的には、
液体中での物体エントレインメント、気泡浮選法、層流
に関する支持、または有向エアジェットによる支持を伴
う、何らかの形態の流体支持に依存する材料処理システ
ムが利用されるが、いずれも材料処理システムで物体を
持ち上げて推進するのに利用される。
は物体を移動するための可能手段の一つに過ぎない。確
実な機械的接触を要する物体を移動するために、流体支
持、静電気システム、または電磁システムを基礎とする
物体駆動機構が全て利用されてきた。例えば、強誘電物
体に物理的に接触することなく強誘電物質を移動するの
に、電磁浮上システムを利用できる。更に一般的には、
液体中での物体エントレインメント、気泡浮選法、層流
に関する支持、または有向エアジェットによる支持を伴
う、何らかの形態の流体支持に依存する材料処理システ
ムが利用されるが、いずれも材料処理システムで物体を
持ち上げて推進するのに利用される。
【0004】所定の離散距離だけ隔離された関係に物体
を保持する機械的嵌合システムと比較して、非機械的嵌
合物体駆動機構で物体位置を正確に判定することは、は
るかに困難である。一般に、個別位置および速度センサ
システムが必要である。これは、移動物体と回転接触す
るように配置される軽量ボールローラのような機械的セ
ンサであってもよいし、物体縁端検出レーザまたはビデ
オ追跡カメラのような非接触センサであってもよい。残
念なことに、使用に供されている機械的センサシステム
を浮上物体に適用するのは困難であり、依然として汚染
の危険が増大し、しばしば傷がつきやすく較正が困難で
ある。更に、都合の悪いことに、軽く接触するころ軸
受、レバーアームなどの機械的装置でさえも物体の動特
性を変える可能性がある。そのような機械的センサはし
ばしば物体の微細構成と表面特性の変更に過度に敏感で
あり、結局、一定した計測を行うことが困難となる。
を保持する機械的嵌合システムと比較して、非機械的嵌
合物体駆動機構で物体位置を正確に判定することは、は
るかに困難である。一般に、個別位置および速度センサ
システムが必要である。これは、移動物体と回転接触す
るように配置される軽量ボールローラのような機械的セ
ンサであってもよいし、物体縁端検出レーザまたはビデ
オ追跡カメラのような非接触センサであってもよい。残
念なことに、使用に供されている機械的センサシステム
を浮上物体に適用するのは困難であり、依然として汚染
の危険が増大し、しばしば傷がつきやすく較正が困難で
ある。更に、都合の悪いことに、軽く接触するころ軸
受、レバーアームなどの機械的装置でさえも物体の動特
性を変える可能性がある。そのような機械的センサはし
ばしば物体の微細構成と表面特性の変更に過度に敏感で
あり、結局、一定した計測を行うことが困難となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】光学的位置/速度計測
システムには機械システムの制限はないものの、それら
自体に著しい欠点がある。例えば、レーザとその対応光
感知器の間を物体の縁端が通過するときの光の阻害の関
数として物体位置を計測する、レーザ放射源/光検出器
を組み合わせたものは、機械的センサと比較して汚染の
危険を大幅に低減するかもしれないが、高価となり、三
次元の動きを追跡するために法外に多数の個別センサ/
検出器対を要する可能性がある。ビデオ追跡カメラシス
テムも同様に高価で、物体の特徴を検出して確実に位置
と速度を判定するために実質的な画像処理を要すること
がある。
システムには機械システムの制限はないものの、それら
自体に著しい欠点がある。例えば、レーザとその対応光
感知器の間を物体の縁端が通過するときの光の阻害の関
数として物体位置を計測する、レーザ放射源/光検出器
を組み合わせたものは、機械的センサと比較して汚染の
危険を大幅に低減するかもしれないが、高価となり、三
次元の動きを追跡するために法外に多数の個別センサ/
検出器対を要する可能性がある。ビデオ追跡カメラシス
テムも同様に高価で、物体の特徴を検出して確実に位置
と速度を判定するために実質的な画像処理を要すること
がある。
【0006】広く普及している光学検出器の欠点は、高
速移動する、繊細で視覚的に特徴のない材料の位置と速
度が必要な場合に最も顕著である。そのような材料の例
は、紙、押出しプラスティック、金属箔、ワイヤ、また
は光ファイバの連続ロールなどである。外側に目印(in
dicia)(インク、染料、または穴のような物理的孔)
が施されていない場合、縁端追跡または光学システムで
は、横位置ならびに移動方向に移動する速度だけしか判
定できず、処理動作方向の速度は判定不可能である。こ
の問題は、仮令特徴のない材料が連続的なものでなく
て、紙シートや半導体ウェハ材料のディスクのような個
々の単体より成るものであったとしても、完全に解消さ
れることはない。特徴のない材料の総速度は一般に縁端
検出法で判定可能であるが、回転、不整列、または他の
配向に関する問題を迅速に検出して他に特徴のない物体
に望ましくない痕跡を加えずに適当な移動補正を施すこ
とは、依然として困難でありうる。
速移動する、繊細で視覚的に特徴のない材料の位置と速
度が必要な場合に最も顕著である。そのような材料の例
は、紙、押出しプラスティック、金属箔、ワイヤ、また
は光ファイバの連続ロールなどである。外側に目印(in
dicia)(インク、染料、または穴のような物理的孔)
が施されていない場合、縁端追跡または光学システムで
は、横位置ならびに移動方向に移動する速度だけしか判
定できず、処理動作方向の速度は判定不可能である。こ
の問題は、仮令特徴のない材料が連続的なものでなく
て、紙シートや半導体ウェハ材料のディスクのような個
々の単体より成るものであったとしても、完全に解消さ
れることはない。特徴のない材料の総速度は一般に縁端
検出法で判定可能であるが、回転、不整列、または他の
配向に関する問題を迅速に検出して他に特徴のない物体
に望ましくない痕跡を加えずに適当な移動補正を施すこ
とは、依然として困難でありうる。
【0007】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は、追跡
物体との物理的接触または追跡物体への永久マーキング
を要しない、物体の速度および位置を追跡する装置と方
法を提供する。また、本発明は、物体の速度、位置また
は向きを判定するのに縁端または特徴検出に依存するこ
となく、材料処理システムを移動する連続または個別物
体を容易に取り扱うことができる。更に、本発明は、物
体にインクの模様、切欠き溝や線、または物体に穿孔を
設けることによるなど、物体の永久的物理変更を必要と
しない。物体に局在熱目印を誘発する熱マーキング装置
を含む物体追跡および動作制御システムと、局在熱目印
が付けられた物体の動作を計測する隣接熱追跡装置と、
誘発局在熱目印が付けられた物体の動作を計測された動
作に基づいて調節する熱追跡装置に接続された動作制御
装置、とを含んでいる。
物体との物理的接触または追跡物体への永久マーキング
を要しない、物体の速度および位置を追跡する装置と方
法を提供する。また、本発明は、物体の速度、位置また
は向きを判定するのに縁端または特徴検出に依存するこ
となく、材料処理システムを移動する連続または個別物
体を容易に取り扱うことができる。更に、本発明は、物
体にインクの模様、切欠き溝や線、または物体に穿孔を
設けることによるなど、物体の永久的物理変更を必要と
しない。物体に局在熱目印を誘発する熱マーキング装置
を含む物体追跡および動作制御システムと、局在熱目印
が付けられた物体の動作を計測する隣接熱追跡装置と、
誘発局在熱目印が付けられた物体の動作を計測された動
作に基づいて調節する熱追跡装置に接続された動作制御
装置、とを含んでいる。
【0008】
【発明の実施の形態】好適実施態様において、熱マーキ
ング装置は、物体の局在領域の温度を上昇するように構
成された有向熱源を含む。この有向熱源は、レーザ放出
コヒーレント光または赤外線にすることが可能であり、
あるいは、金属の電気加熱によって提供されるような非
コヒーレント放射熱源であってもよい。物体にわずかな
力を与えることが可能な応用例の場合は、必要とされる
誘発温度勾配が正であるか負であるかに基づいて、加熱
または冷却ガスの直接噴射を利用できる。特定応用例で
は、加熱または冷却されたプローブを軽く接触させて一
時的に温度変更させることさえ可能である。プローブに
よる物体への接触は、物体の局在スポットの伝導冷却に
特に有用であり、開または閉回路蒸発冷却器またはペル
チェ効果装置に接触した「冷たい指」でも可能である。
ング装置は、物体の局在領域の温度を上昇するように構
成された有向熱源を含む。この有向熱源は、レーザ放出
コヒーレント光または赤外線にすることが可能であり、
あるいは、金属の電気加熱によって提供されるような非
コヒーレント放射熱源であってもよい。物体にわずかな
力を与えることが可能な応用例の場合は、必要とされる
誘発温度勾配が正であるか負であるかに基づいて、加熱
または冷却ガスの直接噴射を利用できる。特定応用例で
は、加熱または冷却されたプローブを軽く接触させて一
時的に温度変更させることさえ可能である。プローブに
よる物体への接触は、物体の局在スポットの伝導冷却に
特に有用であり、開または閉回路蒸発冷却器またはペル
チェ効果装置に接触した「冷たい指」でも可能である。
【0009】熱マーキングの操作は、誘発される温度勾
配の所望形状に基づいて、連続的であっても断続的であ
ってもよい。一般に、安定した連続的な操作により、物
体の動作方向に向けられた直線に中心位置調整された温
度勾配が提供される。粗い時間分解能を備えた(すなわ
ち、温度変化を迅速に計測できない)温度センサだけが
利用できる場合、連続熱マーカによって誘発される直線
温度勾配は容易に検出可能であり、物体の移動経路なら
びに二次元回転方向に関する有用な情報を提供する。
配の所望形状に基づいて、連続的であっても断続的であ
ってもよい。一般に、安定した連続的な操作により、物
体の動作方向に向けられた直線に中心位置調整された温
度勾配が提供される。粗い時間分解能を備えた(すなわ
ち、温度変化を迅速に計測できない)温度センサだけが
利用できる場合、連続熱マーカによって誘発される直線
温度勾配は容易に検出可能であり、物体の移動経路なら
びに二次元回転方向に関する有用な情報を提供する。
【0010】高時間分解能センサが利用できる状況で
は、熱マーキング装置の断続的またはパルス状または周
期的操作が可能である。パルス状または周期的操作は、
離散的な熱マーキング(例えば1/10秒おきに加えら
れる短時間熱バースト)または振幅変調加熱(例えば、
正弦状に変化する有能有向熱エネルギーを有する連続熱
源)の両方を含んでもよい。好都合なことに、断続的ま
たはパルス状または周期的な複数回の熱マーキングによ
り、物体の位置と速度の正確な判定が可能となり、適切
な環境において、物体の二次元または三次元の配向の判
定が可能となる。察知される通り、そのような情報は、
一般に、高速熱スキャン、更に好ましくは、最善の操作
のために二次元温度センサアレイを要する。
は、熱マーキング装置の断続的またはパルス状または周
期的操作が可能である。パルス状または周期的操作は、
離散的な熱マーキング(例えば1/10秒おきに加えら
れる短時間熱バースト)または振幅変調加熱(例えば、
正弦状に変化する有能有向熱エネルギーを有する連続熱
源)の両方を含んでもよい。好都合なことに、断続的ま
たはパルス状または周期的な複数回の熱マーキングによ
り、物体の位置と速度の正確な判定が可能となり、適切
な環境において、物体の二次元または三次元の配向の判
定が可能となる。察知される通り、そのような情報は、
一般に、高速熱スキャン、更に好ましくは、最善の操作
のために二次元温度センサアレイを要する。
【0011】例えば、物体の複数の局在領域を加熱する
のにレーザが使用されうる。加熱領域を、感熱追跡装置
の隣接温度センサまで移動するのに要する時間は、勿
論、物体の速度が実質的に一定であるとした場合に、物
体の速度に反比例する。二次元温度勾配情報が利用でき
る場合は瞬間速度を判定できる。(物体の各加熱領域の
亜領域の温度をそれぞれが検出する)各センサの温度情
報を利用して、温度勾配を計算できる。勾配形状は、物
体の速度によって異なるので、物体の移動の速度ならび
に方向を判定できる。また、亜領域温度から導出される
二次元温度勾配情報に基づいて温度図心(centroid)が
引き出せるので、高精度な物体位置が計算できる。ま
た、熱目印を物体に何回もマーキングする場合、温度図
心から導出される配向情報が決定でき、物体の回転速度
さえ計算可能である。
のにレーザが使用されうる。加熱領域を、感熱追跡装置
の隣接温度センサまで移動するのに要する時間は、勿
論、物体の速度が実質的に一定であるとした場合に、物
体の速度に反比例する。二次元温度勾配情報が利用でき
る場合は瞬間速度を判定できる。(物体の各加熱領域の
亜領域の温度をそれぞれが検出する)各センサの温度情
報を利用して、温度勾配を計算できる。勾配形状は、物
体の速度によって異なるので、物体の移動の速度ならび
に方向を判定できる。また、亜領域温度から導出される
二次元温度勾配情報に基づいて温度図心(centroid)が
引き出せるので、高精度な物体位置が計算できる。ま
た、熱目印を物体に何回もマーキングする場合、温度図
心から導出される配向情報が決定でき、物体の回転速度
さえ計算可能である。
【0012】位置、速度、配向情報の判定と同時に、物
体の動作を調整するための動作制御装置は、この情報を
利用して、物体の不整列、誤った速度または移動経路、
あるいは(三次元配向情報が入手可能な場合は)物体の
縦揺れ、横揺れ、片揺れさえも、補正することができ
る。本発明の最も好適な実施例において、紙または他の
図式的にマークを付けられる材料は、本発明により熱的
にマーキングして追跡することが可能な物体に含まれ
る。紙の高速移動は、差動ローラのような個別に調整可
能な機械的作動装置の使用により、あるいは更に好都合
には、静電写真装置、レーザプリンタ、または静電イン
クジェットプリンタのような紙処理システムで紙を支持
および移動するエアジェットにより、可能となりうる。
この紙取扱システムは、紙取扱システムを移動する紙の
一領域に局在温度勾配を誘発する、熱マーキング装置
(通常は赤外線レーザ)を含む。紙領域上の、誘発され
た局在温度勾配を有する複数の局在亜領域物体温度を計
測するように感熱装置が構成された状態で、感熱装置
(通常は、従来の超小型電気機械的システム(MEM
S)技術を利用して制作される二次元赤外感知アレイ)
は、熱マーキング装置の隣に配置される。紙動作計算モ
ジュールがMEMSタイプの感熱装置に対する紙の動作
を誘発局在温度勾配の図心の判定結果に基づいて判定す
るように、紙動作計算モジュールは熱追跡装置に接続さ
れる。算出された位置と速度に応じて、紙動作計算モジ
ュールに接続された紙動作制御装置が利用されて(例え
ば紙の定義域に衝撃を与えるエアジェットの速度を選択
的に増減することによって)紙動作が修正されて、ほと
んど瞬間的に紙の不整列が補正される。
体の動作を調整するための動作制御装置は、この情報を
利用して、物体の不整列、誤った速度または移動経路、
あるいは(三次元配向情報が入手可能な場合は)物体の
縦揺れ、横揺れ、片揺れさえも、補正することができ
る。本発明の最も好適な実施例において、紙または他の
図式的にマークを付けられる材料は、本発明により熱的
にマーキングして追跡することが可能な物体に含まれ
る。紙の高速移動は、差動ローラのような個別に調整可
能な機械的作動装置の使用により、あるいは更に好都合
には、静電写真装置、レーザプリンタ、または静電イン
クジェットプリンタのような紙処理システムで紙を支持
および移動するエアジェットにより、可能となりうる。
この紙取扱システムは、紙取扱システムを移動する紙の
一領域に局在温度勾配を誘発する、熱マーキング装置
(通常は赤外線レーザ)を含む。紙領域上の、誘発され
た局在温度勾配を有する複数の局在亜領域物体温度を計
測するように感熱装置が構成された状態で、感熱装置
(通常は、従来の超小型電気機械的システム(MEM
S)技術を利用して制作される二次元赤外感知アレイ)
は、熱マーキング装置の隣に配置される。紙動作計算モ
ジュールがMEMSタイプの感熱装置に対する紙の動作
を誘発局在温度勾配の図心の判定結果に基づいて判定す
るように、紙動作計算モジュールは熱追跡装置に接続さ
れる。算出された位置と速度に応じて、紙動作計算モジ
ュールに接続された紙動作制御装置が利用されて(例え
ば紙の定義域に衝撃を与えるエアジェットの速度を選択
的に増減することによって)紙動作が修正されて、ほと
んど瞬間的に紙の不整列が補正される。
【0013】
【実施例】本発明の他の機能、目的、利益、特徴は、好
適実施態様に関する以下の説明と図面を考慮することに
より明らかになるであろう。
適実施態様に関する以下の説明と図面を考慮することに
より明らかになるであろう。
【0014】図1に、紙に熱目印を付けるために利用さ
れるレーザと、熱目印を検出するために利用される熱セ
ンサアレイと、赤外線センサアレイに接続されて紙の動
作を判定してエアジェットに適当な修正入力を施して所
望の経路と速度と配向に紙を維持する動作制御装置、と
を備えた、エアジェットで支持された紙を高速で正確に
移動するための紙取扱いシステムを示す。図2は、それ
ぞれが赤外線センサを支持する複数の上方向に伸びたア
ームを示す熱センサアレイの一部の拡大図である。図3
は、図2の熱センサアレイに等温検出線を重ねた例示図
である。図4は、熱目印が連続的に付けられた特徴のな
い物体の一部の例示図であり、等温熱勾配が点線で示さ
れている。図5は、図示の等温熱勾配の検出により物体
の位置と速度が判定できるように、断続的に熱目印が付
けられた物体の一部の例示図である。図6は、物体の二
次元の位置、配向、速度を計算できるように複数の熱目
印が断続的に付けられた物体の例示図である。図7は、
熱目印が周期的に付けられた物体の例示図である。図8
は、非コヒーレント放射熱源によって熱目印が付けられ
た物体の概略図である。図9は、熱エアジェットによっ
て熱目印が付けられた物体の概略図である。図10は、
加熱されたプローブの連続物理的接触によって熱目印が
付けられた物体の概略図である。図11は、冷エアジェ
ットによって熱目印が付けられた物体の概略図である。
れるレーザと、熱目印を検出するために利用される熱セ
ンサアレイと、赤外線センサアレイに接続されて紙の動
作を判定してエアジェットに適当な修正入力を施して所
望の経路と速度と配向に紙を維持する動作制御装置、と
を備えた、エアジェットで支持された紙を高速で正確に
移動するための紙取扱いシステムを示す。図2は、それ
ぞれが赤外線センサを支持する複数の上方向に伸びたア
ームを示す熱センサアレイの一部の拡大図である。図3
は、図2の熱センサアレイに等温検出線を重ねた例示図
である。図4は、熱目印が連続的に付けられた特徴のな
い物体の一部の例示図であり、等温熱勾配が点線で示さ
れている。図5は、図示の等温熱勾配の検出により物体
の位置と速度が判定できるように、断続的に熱目印が付
けられた物体の一部の例示図である。図6は、物体の二
次元の位置、配向、速度を計算できるように複数の熱目
印が断続的に付けられた物体の例示図である。図7は、
熱目印が周期的に付けられた物体の例示図である。図8
は、非コヒーレント放射熱源によって熱目印が付けられ
た物体の概略図である。図9は、熱エアジェットによっ
て熱目印が付けられた物体の概略図である。図10は、
加熱されたプローブの連続物理的接触によって熱目印が
付けられた物体の概略図である。図11は、冷エアジェ
ットによって熱目印が付けられた物体の概略図である。
【0015】紙シート12を含む、直接物理的接触を要
しない物体を取り扱うのに最適な処理システム10を図
1に部分的に図示する。処理システム10は、システム
10で紙12を支持、移動、および案内する複数のエア
ジェット26を含むコンベヤを有する。能動的な物体案
内は、熱マーキング装置30、一般的には赤外線レーザ
31の設置により向上する。レーザ31は、レーザビー
ム32を方向付けて、紙12の一領域上に局在温度勾配
34を誘発できる。通常は熱マーキング装置30に隣接
して(数メートル以内、多くは数センチメートル以内
に)配置される感熱装置40は、誘発局在温度勾配34
を有する紙12領域の物体温度を計測し、感熱装置40
に対する紙の位置と速度を含む紙12の動作を計算でき
る温度分析装置50にこの温度情報を渡すのに使用され
る。温度分析装置に接続された動作制御装置52は、こ
の計算された動作情報を利用して制御信号を送出して紙
12の動作を修正する。
しない物体を取り扱うのに最適な処理システム10を図
1に部分的に図示する。処理システム10は、システム
10で紙12を支持、移動、および案内する複数のエア
ジェット26を含むコンベヤを有する。能動的な物体案
内は、熱マーキング装置30、一般的には赤外線レーザ
31の設置により向上する。レーザ31は、レーザビー
ム32を方向付けて、紙12の一領域上に局在温度勾配
34を誘発できる。通常は熱マーキング装置30に隣接
して(数メートル以内、多くは数センチメートル以内
に)配置される感熱装置40は、誘発局在温度勾配34
を有する紙12領域の物体温度を計測し、感熱装置40
に対する紙の位置と速度を含む紙12の動作を計算でき
る温度分析装置50にこの温度情報を渡すのに使用され
る。温度分析装置に接続された動作制御装置52は、こ
の計算された動作情報を利用して制御信号を送出して紙
12の動作を修正する。
【0016】動作時、物体動作のフィードバック制御の
ために感熱装置40を使用することにより、物体位置の
正確な微細操作が可能となる。例えば、図1では、紙1
2はコンベヤ20に沿った異なる三箇所に順次に記載さ
れており、それぞれ紙位置14、紙位置16、紙位置1
8と表示されている。位置14では、紙12はレーザ3
1によって熱マーキングされる。エアジェット26によ
って紙12がコンベヤ20に沿って位置16に向かって
移動されると、紙に僅かに不整列が生じる(不整列の度
合いは図ではかなり誇張されていることに注意)。セン
サ40は、その下を通過する紙12の領域の温度を空間
計測し、その情報を温度分析装置50に渡す。温度分析
装置50は、この温度情報(例えば、一次元または二次
元または三次元のセンサ計測温度勾配)を利用して、熱
マーキング(続いて紙12)の位置を正確に決定する。
この位置情報は、動作制御装置52に渡され、動作制御
装置は選択エアジェット26に信号を送って不整列を修
正し、紙を整列位置18に戻し、更にシステム10にて
処理に供する。
ために感熱装置40を使用することにより、物体位置の
正確な微細操作が可能となる。例えば、図1では、紙1
2はコンベヤ20に沿った異なる三箇所に順次に記載さ
れており、それぞれ紙位置14、紙位置16、紙位置1
8と表示されている。位置14では、紙12はレーザ3
1によって熱マーキングされる。エアジェット26によ
って紙12がコンベヤ20に沿って位置16に向かって
移動されると、紙に僅かに不整列が生じる(不整列の度
合いは図ではかなり誇張されていることに注意)。セン
サ40は、その下を通過する紙12の領域の温度を空間
計測し、その情報を温度分析装置50に渡す。温度分析
装置50は、この温度情報(例えば、一次元または二次
元または三次元のセンサ計測温度勾配)を利用して、熱
マーキング(続いて紙12)の位置を正確に決定する。
この位置情報は、動作制御装置52に渡され、動作制御
装置は選択エアジェット26に信号を送って不整列を修
正し、紙を整列位置18に戻し、更にシステム10にて
処理に供する。
【0017】好都合なことに、本発明により、幅広い物
体および処理工程の感追跡、取扱い、制御が可能とな
る。但し、エアジェットコンベヤ20と組み合わせた本
発明の説明は例示目的のためだけのものであり、適切な
環境においてコンベヤ20はベルト、摩擦駆動、スライ
ド、シュート、機械的グリッパ、真空付着機構、または
他の在来のコンベヤまたは駆動機構に交換可能であるこ
とに注意されたい。紙の取扱いの他に、プラスティッ
ク、セラミック、金属、木材または他の在来の材料から
成る物品を含む他の製造品は、本発明により熱追跡が可
能である。熱追跡は、処理機械装置の動作を制御するた
めに利用することも可能である。例えば、動作部分を有
する静電写真複写機や他の機械装置のベルトまたはロー
ラは、熱目印によって一時的にマーキングされ、熱目印
が熱的に追跡されて移動部分の適正な速度、位置、また
は回転速度が保証されうる。
体および処理工程の感追跡、取扱い、制御が可能とな
る。但し、エアジェットコンベヤ20と組み合わせた本
発明の説明は例示目的のためだけのものであり、適切な
環境においてコンベヤ20はベルト、摩擦駆動、スライ
ド、シュート、機械的グリッパ、真空付着機構、または
他の在来のコンベヤまたは駆動機構に交換可能であるこ
とに注意されたい。紙の取扱いの他に、プラスティッ
ク、セラミック、金属、木材または他の在来の材料から
成る物品を含む他の製造品は、本発明により熱追跡が可
能である。熱追跡は、処理機械装置の動作を制御するた
めに利用することも可能である。例えば、動作部分を有
する静電写真複写機や他の機械装置のベルトまたはロー
ラは、熱目印によって一時的にマーキングされ、熱目印
が熱的に追跡されて移動部分の適正な速度、位置、また
は回転速度が保証されうる。
【0018】当業者に理解される通り、本発明は、適当
な画像生成/識別システムによって視覚的または機械的
に識別可能なありふれた不規則な物品に適用可能である
が、本発明は、繊細で視覚的に特徴のない材料の正確な
高速移動を要する処理と組合わせたときに特に有用であ
る。そのような材料は、純度、品質、またはコンシステ
ンシーを維持するために、インク、染料、または物理的
なカット、切欠き、せん孔のような従来の目印でマーキ
ングするのに適していないことが多い。そのような材料
の例には、ロールまたはシート状の紙、押出しプラステ
ィック、金属箔、ワイヤ、シリコンウェハ、高品質のセ
ラミックまたは加工部品、または光ファイバさえも含ま
れる。本発明により、回転、軽い不整列または、迅速に
検出し且つ他に特徴のない物体に望ましくないマーキン
グを加えずに適切な動作補正を施すことが困難な他の配
向問題、の検出ならびに補正を容易に行うことが可能と
なる。
な画像生成/識別システムによって視覚的または機械的
に識別可能なありふれた不規則な物品に適用可能である
が、本発明は、繊細で視覚的に特徴のない材料の正確な
高速移動を要する処理と組合わせたときに特に有用であ
る。そのような材料は、純度、品質、またはコンシステ
ンシーを維持するために、インク、染料、または物理的
なカット、切欠き、せん孔のような従来の目印でマーキ
ングするのに適していないことが多い。そのような材料
の例には、ロールまたはシート状の紙、押出しプラステ
ィック、金属箔、ワイヤ、シリコンウェハ、高品質のセ
ラミックまたは加工部品、または光ファイバさえも含ま
れる。本発明により、回転、軽い不整列または、迅速に
検出し且つ他に特徴のない物体に望ましくないマーキン
グを加えずに適切な動作補正を施すことが困難な他の配
向問題、の検出ならびに補正を容易に行うことが可能と
なる。
【0019】物体の位置を正しく確認するために、感熱
装置40は信頼性があって正確で、摂氏温度の温度勾配
間隔の約1/10未満で比較的小さい領域(一般的には
1平方センチメートル未満)の温度追跡に十分な空間
的、熱的、時間的分解能を有しなくてはならない。材料
の熱損傷を防止するために、一般に周囲(摂氏約20度
とされる周囲)を摂氏10〜100度の範囲で、物体の
一領域を比較的低温度に上昇することが利用される。繊
細な材料または高精度な応用例の場合は、更に小さな温
度勾配が利用されることさえある。例えば、物体に正弦
状に熱が加えられる場合、従来の信号処理技術を利用し
て定周波温度変化をフィルタリング処理した後に、摂氏
1/100度程度の僅かな温度上昇を検出できる。
装置40は信頼性があって正確で、摂氏温度の温度勾配
間隔の約1/10未満で比較的小さい領域(一般的には
1平方センチメートル未満)の温度追跡に十分な空間
的、熱的、時間的分解能を有しなくてはならない。材料
の熱損傷を防止するために、一般に周囲(摂氏約20度
とされる周囲)を摂氏10〜100度の範囲で、物体の
一領域を比較的低温度に上昇することが利用される。繊
細な材料または高精度な応用例の場合は、更に小さな温
度勾配が利用されることさえある。例えば、物体に正弦
状に熱が加えられる場合、従来の信号処理技術を利用し
て定周波温度変化をフィルタリング処理した後に、摂氏
1/100度程度の僅かな温度上昇を検出できる。
【0020】多くの処理工程で、物体は速やかに移動し
ており、熱計測に許されるのは100ミリ秒未満であ
る。幸いなことに、超小型電気機械熱センサ(MEMS
タイプセンサ)のような赤外線センサ、熱電対、感熱ダ
イオード、焦電装置、または或る種の他の在来の熱検出
器により、適切な空間的、熱的、時間的分解能が提供さ
れうる。最善の結果のために、二次元センサアレイまた
は走査一次元温度アレイが利用されるが、特に熱的また
は時間的領域の粗分解能しか必要ない場合には、固定一
次元センサアレイを利用することも可能である。
ており、熱計測に許されるのは100ミリ秒未満であ
る。幸いなことに、超小型電気機械熱センサ(MEMS
タイプセンサ)のような赤外線センサ、熱電対、感熱ダ
イオード、焦電装置、または或る種の他の在来の熱検出
器により、適切な空間的、熱的、時間的分解能が提供さ
れうる。最善の結果のために、二次元センサアレイまた
は走査一次元温度アレイが利用されるが、特に熱的また
は時間的領域の粗分解能しか必要ない場合には、固定一
次元センサアレイを利用することも可能である。
【0021】図2と3を参照して説明される本発明の好
適実施態様では、感熱装置40は二次元MEMSタイプ
センサアレイ41である。センサアレイ41は、単一ま
たは複数層のドープシリコン、ポリシリコン、窒化シリ
コン、シリコン、酸化シリコン、オキシ窒化物、または
アルミニウムでコーティングされることがある、一般的
にはシリコン製のサブストレート43を含んでいる。ア
レイ41の断熱を行い、空間的分解能を向上する上方に
伸びる複数のアーム42は、それぞれのアーム42が感
熱ダイオード44で終端するようにサブストレート43
に取り付けられている。一般的には、センサアレイ41
の全体寸法は、1平方ミリメートルから1平方センチメ
ートルの間であり、感熱ダイオードを支持するのに、そ
のどこかに100〜100,000本の分離アームが使
用されている。最も好適な実施態様では、全体寸法が約
1ミリメートルと1センチメートルの間で、約100〜
100,000本の感熱ダイオードを備えていれば所望
の空間分解能での温度勾配の計測に十分である。
適実施態様では、感熱装置40は二次元MEMSタイプ
センサアレイ41である。センサアレイ41は、単一ま
たは複数層のドープシリコン、ポリシリコン、窒化シリ
コン、シリコン、酸化シリコン、オキシ窒化物、または
アルミニウムでコーティングされることがある、一般的
にはシリコン製のサブストレート43を含んでいる。ア
レイ41の断熱を行い、空間的分解能を向上する上方に
伸びる複数のアーム42は、それぞれのアーム42が感
熱ダイオード44で終端するようにサブストレート43
に取り付けられている。一般的には、センサアレイ41
の全体寸法は、1平方ミリメートルから1平方センチメ
ートルの間であり、感熱ダイオードを支持するのに、そ
のどこかに100〜100,000本の分離アームが使
用されている。最も好適な実施態様では、全体寸法が約
1ミリメートルと1センチメートルの間で、約100〜
100,000本の感熱ダイオードを備えていれば所望
の空間分解能での温度勾配の計測に十分である。
【0022】MEMSタイプセンサアレイ41の作成に
は、化学的エッチング、電子ビームリソグラフィ、フォ
トリソグラフィ、または他の標準的な集積回路バッチ処
理技術を含む、従来の各種制作技術を利用できる。察知
される通り、種々のMEMSタイプ熱センサ装置は、本
発明を実行するのに使用されうる。例えば、各アーム4
2を囲む材料は、定められた旋回アタッチメントを除い
て選択的にエッチングすることが可能で、アームは(上
方向回転により)静電気で策動して図示の位置に固定で
きる。あるいは、既に直立位置に配向されたアームを囲
む材料を単純にエッチングすることも可能である。図示
されていない他のMEMSタイプ熱センサの実施態様で
は、感熱ダイオードの断熱は、ウェル内にダイオードを
設ける、または、ダイオードを隔壁で囲むことによって
達成されうる。
は、化学的エッチング、電子ビームリソグラフィ、フォ
トリソグラフィ、または他の標準的な集積回路バッチ処
理技術を含む、従来の各種制作技術を利用できる。察知
される通り、種々のMEMSタイプ熱センサ装置は、本
発明を実行するのに使用されうる。例えば、各アーム4
2を囲む材料は、定められた旋回アタッチメントを除い
て選択的にエッチングすることが可能で、アームは(上
方向回転により)静電気で策動して図示の位置に固定で
きる。あるいは、既に直立位置に配向されたアームを囲
む材料を単純にエッチングすることも可能である。図示
されていない他のMEMSタイプ熱センサの実施態様で
は、感熱ダイオードの断熱は、ウェル内にダイオードを
設ける、または、ダイオードを隔壁で囲むことによって
達成されうる。
【0023】いずれのMEMSタイプのセンサが利用さ
れるにせよ、感熱追跡で最善の結果を得るために、熱勾
配の計算ができるように、各ダイオード44は(図示さ
れていない)提供データラインにより温度分析装置50
に取り付けられなくてはならない。本発明の働きをより
良く理解するために、図3にセンサアレイ41の等温度
勾配線45を示す。等勾配線45が決定されると、温度
図心46が計算できる。恐らく、算出される図心46の
外見上の位置は、例えばレーザ31で一点に熱的にマー
キングされる、(紙12のような)物体の一領域の初期
位置に密接に近づく。図心45の位置を追跡することに
よって、物体の初期熱マーキングと現在位置間の物体の
相対移動が推定できる。実際的には、比較的粗雑な(従
って粗雑な図心判定を備えた)実験的センサシステムで
さえ、サブセンチメートルの精度で物体の位置を判定で
きることが分かっている。従って、更に高密度なセンサ
アレイであれば、さらに優れたサブミリメートルの正確
さでの物体の追跡さえ可能となろう。
れるにせよ、感熱追跡で最善の結果を得るために、熱勾
配の計算ができるように、各ダイオード44は(図示さ
れていない)提供データラインにより温度分析装置50
に取り付けられなくてはならない。本発明の働きをより
良く理解するために、図3にセンサアレイ41の等温度
勾配線45を示す。等勾配線45が決定されると、温度
図心46が計算できる。恐らく、算出される図心46の
外見上の位置は、例えばレーザ31で一点に熱的にマー
キングされる、(紙12のような)物体の一領域の初期
位置に密接に近づく。図心45の位置を追跡することに
よって、物体の初期熱マーキングと現在位置間の物体の
相対移動が推定できる。実際的には、比較的粗雑な(従
って粗雑な図心判定を備えた)実験的センサシステムで
さえ、サブセンチメートルの精度で物体の位置を判定で
きることが分かっている。従って、更に高密度なセンサ
アレイであれば、さらに優れたサブミリメートルの正確
さでの物体の追跡さえ可能となろう。
【0024】本発明を利用した種々態様の可能感熱追跡
配置図をより良く理解するために、物体100の等温度
勾配を記載した図4ー7を示す。図4に、物体100が
(図示されていない)熱源の下を方向70に直線的に通
過するときの連続加熱に対応する等温度勾配145を示
す。図4の検証によって分かるように、物体100の横
方向または二次元回転配向は、温度勾配の中心線155
を計算することによって容易に判定されうる。図4に記
載されているように、等温度勾配が十分に詳細なもので
あれば、物体100が熱源から離れて普通に冷えるとき
の温度勾配145の広がり程度に基づいて、物体100
の速度を判定することさえ可能であろう。
配置図をより良く理解するために、物体100の等温度
勾配を記載した図4ー7を示す。図4に、物体100が
(図示されていない)熱源の下を方向70に直線的に通
過するときの連続加熱に対応する等温度勾配145を示
す。図4の検証によって分かるように、物体100の横
方向または二次元回転配向は、温度勾配の中心線155
を計算することによって容易に判定されうる。図4に記
載されているように、等温度勾配が十分に詳細なもので
あれば、物体100が熱源から離れて普通に冷えるとき
の温度勾配145の広がり程度に基づいて、物体100
の速度を判定することさえ可能であろう。
【0025】同様に、図5に、物体100が方向71に
通過するときに(例えば図示されていないレーザによ
る)断続的に付けられる熱スポットに対応する等温度勾
配146を示す。図5の検証から分かるように、物体1
00の二次元位置は、温度勾配の図心156の計算によ
って容易に判定できる。繰り返すが、物体100が熱源
から離れて冷えるときの温度勾配146の方向と広がり
程度に基づいて、物体100の速度を判定することがで
きる。
通過するときに(例えば図示されていないレーザによ
る)断続的に付けられる熱スポットに対応する等温度勾
配146を示す。図5の検証から分かるように、物体1
00の二次元位置は、温度勾配の図心156の計算によ
って容易に判定できる。繰り返すが、物体100が熱源
から離れて冷えるときの温度勾配146の方向と広がり
程度に基づいて、物体100の速度を判定することがで
きる。
【0026】図6と7に、離間された複数の熱マーキン
グ147と148を利用した、可能感熱追跡配置図を示
す。(図示されていない)複数の熱センサと組み合わせ
て複数の熱マーキングを利用することにより、物体の位
置、速度、配向を計算する精度が向上する。図7に、物
体100に離散的な間隔で周期的温度パルスを与えて正
確な速度判定が出来るようにした場合を示す。
グ147と148を利用した、可能感熱追跡配置図を示
す。(図示されていない)複数の熱センサと組み合わせ
て複数の熱マーキングを利用することにより、物体の位
置、速度、配向を計算する精度が向上する。図7に、物
体100に離散的な間隔で周期的温度パルスを与えて正
確な速度判定が出来るようにした場合を示す。
【0027】察知される通り、物体に計測可能な温度勾
配を誘発するのに数多の可能装置を利用できる。例え
ば、図8−11に、図1に関して先述したようなレーザ
加熱(コヒーレント放射による加熱)以外の、紙12を
加熱するための幾つかの可能方法を示す。連続加熱の場
合、電源80に接続された抵抗素子82を利用して、低
コストで、方向73に移動する紙12への比較的安定し
た放射熱エネルギー源を提供できる。物体を加熱するた
めにこの抵抗素子82を利用することにより、質的に図
4で示されたものと同様な等温度勾配がもたらされると
予想される。
配を誘発するのに数多の可能装置を利用できる。例え
ば、図8−11に、図1に関して先述したようなレーザ
加熱(コヒーレント放射による加熱)以外の、紙12を
加熱するための幾つかの可能方法を示す。連続加熱の場
合、電源80に接続された抵抗素子82を利用して、低
コストで、方向73に移動する紙12への比較的安定し
た放射熱エネルギー源を提供できる。物体を加熱するた
めにこの抵抗素子82を利用することにより、質的に図
4で示されたものと同様な等温度勾配がもたらされると
予想される。
【0028】他に考えられる加熱装置を図9に示す。放
射加熱の代わりに、バルブ86と熱エアリザーバ84の
働きによって開放される熱エアジェット85により、迅
速な応答と断続的な操作が可能となる。図11に記載の
装置でも、同様に迅速な断続的応答が可能である。図示
のように、図11では、バルブ92と冷エアリザーバ9
0の働きによって開放される冷エアジェット93利用し
て、76方向に移動する紙12に負の熱勾配を誘発す
る。
射加熱の代わりに、バルブ86と熱エアリザーバ84の
働きによって開放される熱エアジェット85により、迅
速な応答と断続的な操作が可能となる。図11に記載の
装置でも、同様に迅速な断続的応答が可能である。図示
のように、図11では、バルブ92と冷エアリザーバ9
0の働きによって開放される冷エアジェット93利用し
て、76方向に移動する紙12に負の熱勾配を誘発す
る。
【0029】特定の応用例に対しては、伝導加熱または
冷却のために物体との直接接触を利用することもある。
図10に、電気的に加熱されて紙12に熱接触できる、
抵抗素子を含むセラミックプローブ89を利用した場合
を示す。連続的ではなく、断続的な加熱操作が望ましい
場合には、プローブ89は紙との接触箇所から機械的に
後退させることも可能である。
冷却のために物体との直接接触を利用することもある。
図10に、電気的に加熱されて紙12に熱接触できる、
抵抗素子を含むセラミックプローブ89を利用した場合
を示す。連続的ではなく、断続的な加熱操作が望ましい
場合には、プローブ89は紙との接触箇所から機械的に
後退させることも可能である。
【0030】本発明は、その特定実施態様と組み合わせ
て記述されたが、当業者には多くの代替選択、修正、変
更が明らかであることは明白である。従って、本明細書
に記述された種々の実施態様は例証的なものであって、
クレームで定義される本発明の適用範囲を限定するもの
ではないと考えられたい。
て記述されたが、当業者には多くの代替選択、修正、変
更が明らかであることは明白である。従って、本明細書
に記述された種々の実施態様は例証的なものであって、
クレームで定義される本発明の適用範囲を限定するもの
ではないと考えられたい。
【図1】 エアジェットで支持された紙を高速で正確に
移動するための紙取扱いシステムを示す斜視図である。
移動するための紙取扱いシステムを示す斜視図である。
【図2】 それぞれが赤外線センサを支持する複数の上
方向に伸びたアームを示す熱センサアレイの一部の拡大
図である。
方向に伸びたアームを示す熱センサアレイの一部の拡大
図である。
【図3】 図2の熱センサアレイに等温検出線を重ねた
例示図である。
例示図である。
【図4】 熱目印が連続的に付けられた特徴のない物体
の一部の例示図であり、等温熱勾配が点線で示されてい
る。
の一部の例示図であり、等温熱勾配が点線で示されてい
る。
【図5】 図示の等温熱勾配の検出により物体の位置と
速度が判定できるように、断続的に熱目印が付けられた
物体の一部の例示図である。
速度が判定できるように、断続的に熱目印が付けられた
物体の一部の例示図である。
【図6】 物体の二次元の位置、配向、速度を計算でき
るように複数の熱目印が断続的に付けられた物体の例示
図である。
るように複数の熱目印が断続的に付けられた物体の例示
図である。
【図7】 熱目印が周期的に付けられた物体の例示図で
ある。
ある。
【図8】 非コヒーレント放射熱源によって熱目印が付
けられた物体の概略図である。
けられた物体の概略図である。
【図9】 熱エアジェットによって熱目印が付けられた
物体の概略図である。
物体の概略図である。
【図10】 加熱されたプローブの連続物理的接触によ
って熱目印が付けられた物体の概略図である。
って熱目印が付けられた物体の概略図である。
【図11】 冷エアジェットによって熱目印が付けられ
た物体の概略図である。
た物体の概略図である。
10 処理システム、12 紙シート、20 エアジェ
ットコンベヤ、26 エアジェット、30 熱マーキン
グ装置、31 赤外線レーザ、32 レーザビーム、3
4 局在温度勾配、40 感熱装置、41 センサアレ
イ、42 アーム、43 サブストレート、44 感熱
ダイオード、45 等温度勾配線、46図心、50 温
度分析装置、52 動作制御装置、80 電源、82
抵抗素子、84 熱エアリザーバ、85 熱エアジェッ
ト、86 バルブ、89 セラミックプローブ、90
冷エアリザーバ、93 冷エアジェット、100 物
体、145 等温度勾配、146 等温度勾配、147
熱マーキング、148 熱マーキング、155 中心
線、156 図心
ットコンベヤ、26 エアジェット、30 熱マーキン
グ装置、31 赤外線レーザ、32 レーザビーム、3
4 局在温度勾配、40 感熱装置、41 センサアレ
イ、42 アーム、43 サブストレート、44 感熱
ダイオード、45 等温度勾配線、46図心、50 温
度分析装置、52 動作制御装置、80 電源、82
抵抗素子、84 熱エアリザーバ、85 熱エアジェッ
ト、86 バルブ、89 セラミックプローブ、90
冷エアリザーバ、93 冷エアジェット、100 物
体、145 等温度勾配、146 等温度勾配、147
熱マーキング、148 熱マーキング、155 中心
線、156 図心
Claims (3)
- 【請求項1】 物体に局在熱目印を誘発する熱マーキン
グ装置と、 熱マーキング装置に隣接して配置され、局在熱目印が付
けられた物体の動作を計測するための熱追跡装置と、 熱追跡装置によって計測された動作に基づいて、誘発局
在熱目印が付けられた物体の動作を調節するように構成
され、熱追跡装置に接続された動作制御装置、とを備え
た、物体追跡および動作制御システム。 - 【請求項2】 物体の複数の局在スポットの温度を計測
する感熱装置と、 物体の複数の局在スポットの温度計測から導出された温
度勾配の図心に基づいて物体の動作を判定する、感熱装
置に接続された温度図心計算装置と、 物体に関して判定された動作情報を受け取って、それに
基づいて物体の動作を調節する、温度図心計算装置に接
続された動作制御装置、とを備えた、物体追跡および動
作制御システム。 - 【請求項3】 紙取扱システムを移動している紙の一領
域に局在温度勾配を誘発する熱マーキング装置と、 熱マーキング装置に隣接して配置され、誘発局在温度勾
配のある紙の一領域の複数の局在亜領域物体温度を計測
する感熱装置と、 熱追跡装置に接続され、感熱装置によって提供される複
数の局在亜領域物体温度から計算される誘発局在温度勾
配の図心の判定に基づいて、感熱装置に対する紙の動作
を判定する紙動作計算モジュールと、 紙動作計算モジュールから受け取った紙動作情報に応じ
て紙動作を修正する、紙動作計算モジュールに接続され
た紙動作制御装置、とを備えた、紙取扱システム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/583,240 US5682331A (en) | 1996-01-05 | 1996-01-05 | Motion tracking using applied thermal gradients |
| US583240 | 1996-01-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09237121A true JPH09237121A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=24332282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8350832A Pending JPH09237121A (ja) | 1996-01-05 | 1996-12-27 | 物体追跡および動作制御システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5682331A (ja) |
| EP (1) | EP0783106B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09237121A (ja) |
| DE (1) | DE69620857T2 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5839722A (en) * | 1996-11-26 | 1998-11-24 | Xerox Corporation | Paper handling system having embedded control structures |
| US6148248A (en) * | 1997-12-02 | 2000-11-14 | Zhongxue Gan | Apparatus and method for lobing and thermal-damage control in shoe centerless grinding |
| US6027112A (en) * | 1998-03-02 | 2000-02-22 | Xerox Corporation | Adaptive multiagent control system for controlling object motion with smart matter |
| US6039316A (en) * | 1998-03-02 | 2000-03-21 | Xerox Corporation | Multi-hierarchical control system for controlling object motion with smart matter |
| GB2360412B (en) * | 2000-03-13 | 2002-04-03 | Infrared Integrated Syst Ltd | The detection of obstacles in surveillance systems using pyroelectric arrays |
| CA2391171C (en) * | 2002-06-20 | 2010-01-12 | Cashcode Company Inc. | Motion sensor for flat objects |
| US7959517B2 (en) * | 2004-08-31 | 2011-06-14 | Acushnet Company | Infrared sensing launch monitor |
| US7918389B2 (en) * | 2007-05-15 | 2011-04-05 | Corning Incorporated | Method and system for tracking unfinished ceramic structures during manufacture |
| US9326689B2 (en) | 2012-05-08 | 2016-05-03 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Thermally tagged motion tracking for medical treatment |
| CN103176442B (zh) * | 2012-08-27 | 2015-01-28 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 天文望远镜与umac控制器通讯的方法 |
| US10134267B2 (en) | 2013-02-22 | 2018-11-20 | Universal City Studios Llc | System and method for tracking a passive wand and actuating an effect based on a detected wand path |
| US9056736B2 (en) | 2013-07-15 | 2015-06-16 | Eastman Kodak Company | Media-tracking system using thermally-formed holes |
| US9429419B2 (en) | 2013-07-15 | 2016-08-30 | Eastman Kodak Company | Media-tracking system using deformed reference marks |
| US8931874B1 (en) | 2013-07-15 | 2015-01-13 | Eastman Kodak Company | Media-tracking system using marking heat source |
| US8960842B2 (en) * | 2013-07-15 | 2015-02-24 | Eastman Kodak Company | Media-tracking system using thermal fluoresence quenching |
| US9433870B2 (en) | 2014-05-21 | 2016-09-06 | Universal City Studios Llc | Ride vehicle tracking and control system using passive tracking elements |
| US9429398B2 (en) | 2014-05-21 | 2016-08-30 | Universal City Studios Llc | Optical tracking for controlling pyrotechnic show elements |
| US9600999B2 (en) | 2014-05-21 | 2017-03-21 | Universal City Studios Llc | Amusement park element tracking system |
| US10207193B2 (en) | 2014-05-21 | 2019-02-19 | Universal City Studios Llc | Optical tracking system for automation of amusement park elements |
| US10025990B2 (en) | 2014-05-21 | 2018-07-17 | Universal City Studios Llc | System and method for tracking vehicles in parking structures and intersections |
| US9616350B2 (en) | 2014-05-21 | 2017-04-11 | Universal City Studios Llc | Enhanced interactivity in an amusement park environment using passive tracking elements |
| US10061058B2 (en) | 2014-05-21 | 2018-08-28 | Universal City Studios Llc | Tracking system and method for use in surveying amusement park equipment |
| US10238979B2 (en) | 2014-09-26 | 2019-03-26 | Universal City Sudios LLC | Video game ride |
| CN113064805A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-02 | 联想(北京)有限公司 | 一种电子设备的控制方法以及控制装置 |
| EP4589470A1 (en) * | 2024-01-17 | 2025-07-23 | Aptiv Technologies AG | Thermal marking for object tracking |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3682554A (en) * | 1970-06-19 | 1972-08-08 | Reliance Electric Co | Non-contact measurement method and apparatus |
| DE2616443B2 (de) * | 1976-04-14 | 1978-02-09 | Grünzweig + Hartmann und Glasfaser AG, 6700 Ludwigshafen | Verfahren zur beruehrungslosen laengen- bzw. geschwindigkeitsmessung eines sich bewegenden bandes |
| US4392056A (en) * | 1981-04-27 | 1983-07-05 | Automated Packaging Systems, Inc. | Control marking detector |
| GB2109924B (en) * | 1981-11-25 | 1985-02-06 | Schlumberger Electronics | Apparatus and method for measuring temperature profile |
| US4662757A (en) * | 1984-05-18 | 1987-05-05 | Rca Corporation | Motion tracking system and method |
| US4662756A (en) * | 1984-05-18 | 1987-05-05 | Rca Corporation | Motion tracking device |
| DE3508257A1 (de) * | 1985-03-08 | 1986-09-11 | Roland 7114 Pfedelbach Wöhrl | Verfahren zum messen der geschwindigkeit mit hilfe von markierungen |
| JPS62282209A (ja) * | 1986-05-31 | 1987-12-08 | Nec Home Electronics Ltd | エンコ−ダ |
| US4777368A (en) * | 1986-08-28 | 1988-10-11 | University Of Tennessee | Apparatus and method for noncontact measurement of the velocity of a moving mass |
| US4861088A (en) * | 1986-09-04 | 1989-08-29 | Fedrigo Joseph G | Vehicle tailgate assembly |
| US4867054A (en) * | 1988-01-26 | 1989-09-19 | Thermo Electron Web Systems, Inc. | Caliper control system |
| US5021673A (en) * | 1989-10-10 | 1991-06-04 | Unisys Corp. (Formerly Burroughs Corp.) | Web transport with anti-skew arrangement |
| US5021676A (en) * | 1989-10-10 | 1991-06-04 | Unisys Corp. | Document-skew detection with photosensors |
| US5120976A (en) * | 1990-07-25 | 1992-06-09 | The Boeing Company | Strip lay-up verification system with width and centerline skew determination |
| CN1028628C (zh) * | 1992-03-23 | 1995-05-31 | 海德堡印刷机械股份公司 | 控制卷筒纸横向位置的装置 |
| US5258610A (en) * | 1992-09-02 | 1993-11-02 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for sensing the presence of a sheet by sheet causing attenuation of radiation |
| US5458062A (en) * | 1994-02-28 | 1995-10-17 | Goldberg; Ira B. | Continuous web printing press with page cutting control apparatus and method |
| DE19513861A1 (de) * | 1995-04-12 | 1996-10-17 | Madrzak Zygmunt | Verfahren zum Messen von Oberflächen-Geschwindigkeit und Oberflächen-Länge von Materialien und Materialbahnen |
-
1996
- 1996-01-05 US US08/583,240 patent/US5682331A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-27 DE DE69620857T patent/DE69620857T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-27 EP EP96309523A patent/EP0783106B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-27 JP JP8350832A patent/JPH09237121A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69620857T2 (de) | 2002-08-14 |
| EP0783106B1 (en) | 2002-04-24 |
| DE69620857D1 (de) | 2002-05-29 |
| US5682331A (en) | 1997-10-28 |
| EP0783106A1 (en) | 1997-07-09 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061117 |