JPH09239603A - 溝切削方法 - Google Patents
溝切削方法Info
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- JPH09239603A JPH09239603A JP4640696A JP4640696A JPH09239603A JP H09239603 A JPH09239603 A JP H09239603A JP 4640696 A JP4640696 A JP 4640696A JP 4640696 A JP4640696 A JP 4640696A JP H09239603 A JPH09239603 A JP H09239603A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 設計値通りの溝幅を有する溝を、高精度な断
面形状を保ちつつ形成することが可能な溝切削方法を提
供する。 【解決手段】 Ｘ，Ｙ，Ｚの直交３軸方向に駆動可能な
ステージと切削工具をＺ軸を回動中心として回動する回
動軸とを有する切削装置を用いて被加工物の被加工表面
に溝を形成する溝切削方法において、前記切削工具２５
を前記被加工物２９の被加工表面に沿って走査すること
で自由曲線形状を有する溝を切削し、且つ、前記切削中
に前記走査の方向に対する前記切削工具２５の向きを変
え前記溝の断面形状を変化させることができる。
面形状を保ちつつ形成することが可能な溝切削方法を提
供する。 【解決手段】 Ｘ，Ｙ，Ｚの直交３軸方向に駆動可能な
ステージと切削工具をＺ軸を回動中心として回動する回
動軸とを有する切削装置を用いて被加工物の被加工表面
に溝を形成する溝切削方法において、前記切削工具２５
を前記被加工物２９の被加工表面に沿って走査すること
で自由曲線形状を有する溝を切削し、且つ、前記切削中
に前記走査の方向に対する前記切削工具２５の向きを変
え前記溝の断面形状を変化させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被加工物に対し微
細な溝を刻む切削方法に関する。特に、ホログラム光学
素子（ＨＯＥ）等の微細な溝を有する光学部品の溝形状
形成方法に関するものである。
細な溝を刻む切削方法に関する。特に、ホログラム光学
素子（ＨＯＥ）等の微細な溝を有する光学部品の溝形状
形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光ディスクの急速な普及により光
ディスク再生装置等の量産化が盛んに行われており、こ
の分野におけるローコスト化は急務となっている。ロー
コスト化を行うためには、例えば、部品点数を削減する
手法がある。光ディスク再生装置内の光ピックアップ
は、内蔵のレーザダイオードから出射した光を光ディス
クに照射し、この光ディスクにより反射された光をフォ
トダイオードで受光し、その光量の変化をモニタするこ
とにより光ディスク内の情報を読み取る。
ディスク再生装置等の量産化が盛んに行われており、こ
の分野におけるローコスト化は急務となっている。ロー
コスト化を行うためには、例えば、部品点数を削減する
手法がある。光ディスク再生装置内の光ピックアップ
は、内蔵のレーザダイオードから出射した光を光ディス
クに照射し、この光ディスクにより反射された光をフォ
トダイオードで受光し、その光量の変化をモニタするこ
とにより光ディスク内の情報を読み取る。
【０００３】従来、このような光学系は多数のレンズや
ハーフミラー等を用いて構成されていたが、フレネルレ
ンズやホログラム光学素子（ＨＯＥ）を用いることによ
り、ピックアップ内の部品点数が大幅に減少するため、
このような光学素子を用いることが考えられていた。こ
れらの光学素子は、図７に示すように、例えば、ガラス
やポリカーボネット等の透明素材１で成形されたものの
表面に、幅３ミクロン程度の微細、かつ複雑な形状の鋸
歯状溝２（幅Ｗ，深さｈ，角度θ）を刻むことにより得
られる。３は回折格子曲線である。
ハーフミラー等を用いて構成されていたが、フレネルレ
ンズやホログラム光学素子（ＨＯＥ）を用いることによ
り、ピックアップ内の部品点数が大幅に減少するため、
このような光学素子を用いることが考えられていた。こ
れらの光学素子は、図７に示すように、例えば、ガラス
やポリカーボネット等の透明素材１で成形されたものの
表面に、幅３ミクロン程度の微細、かつ複雑な形状の鋸
歯状溝２（幅Ｗ，深さｈ，角度θ）を刻むことにより得
られる。３は回折格子曲線である。
【０００４】この鋸歯状溝を刻むために、従来は、旋盤
による切削加工、あるいはリソグラフィやエッチング等
を用いる方法が行われている。
による切削加工、あるいはリソグラフィやエッチング等
を用いる方法が行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の加工方法では、次のような問題が生じる。従来
のフレネルレンズのような同心円状の微細溝を要する光
学部品では、旋盤による切削加工を施すことが可能であ
ったが、近年微細溝の形状が必ずしも同心円状ではなく
なってきており、また、近年微細溝の幅も各加工位置に
よって異なってきているので、旋盤を用いて加工を行う
ことができなくなっている。
た従来の加工方法では、次のような問題が生じる。従来
のフレネルレンズのような同心円状の微細溝を要する光
学部品では、旋盤による切削加工を施すことが可能であ
ったが、近年微細溝の形状が必ずしも同心円状ではなく
なってきており、また、近年微細溝の幅も各加工位置に
よって異なってきているので、旋盤を用いて加工を行う
ことができなくなっている。
【０００６】また、自由曲線形状の溝など、旋盤では切
削できない形状の溝を形成する時、エッチングによる溝
加工を行うことがある。エッチングによる溝加工では、
溝の幅を設計値通りに得ることは可能であるが、溝の断
面形状を設計値通りに加工することは困難である。例え
ば、イオンビーム加工によるエッチング方法では、鋸歯
状刃の傾斜部分に凹凸が発生する等で形状精度が確保で
きなくなったり、リソグラフィによるエッチングでは、
エッチングの指向性を制御することが非常に難しいため
に、溝の形状が丸まってしまう等、それぞれ設計時に期
待するほどの光学特性が確保できないという問題があ
る。
削できない形状の溝を形成する時、エッチングによる溝
加工を行うことがある。エッチングによる溝加工では、
溝の幅を設計値通りに得ることは可能であるが、溝の断
面形状を設計値通りに加工することは困難である。例え
ば、イオンビーム加工によるエッチング方法では、鋸歯
状刃の傾斜部分に凹凸が発生する等で形状精度が確保で
きなくなったり、リソグラフィによるエッチングでは、
エッチングの指向性を制御することが非常に難しいため
に、溝の形状が丸まってしまう等、それぞれ設計時に期
待するほどの光学特性が確保できないという問題があ
る。
【０００７】本発明は、上記問題点を除去し、設計値通
りの溝幅を有する溝を、高精度な断面形状を保ちつつ形
成することが可能な溝切削方法を提供することを目的と
する。
りの溝幅を有する溝を、高精度な断面形状を保ちつつ形
成することが可能な溝切削方法を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、Ｘ，Ｙ，Ｚの直交３軸方向に駆動可能な
ステージと、切削工具をＺ軸を回動中心として回動する
回動軸とを有する切削装置を用いて被加工物の被加工表
面に溝を形成する溝切削方法において、前記切削工具を
前記被加工物の被加工表面に沿って走査することで自由
曲線形状を有する溝を切削し、且つ、前記切削中に、前
記走査の方向に対する前記切削工具の向きを変え、前記
溝の断面形状を変化させるようにしたものである。
成するために、Ｘ，Ｙ，Ｚの直交３軸方向に駆動可能な
ステージと、切削工具をＺ軸を回動中心として回動する
回動軸とを有する切削装置を用いて被加工物の被加工表
面に溝を形成する溝切削方法において、前記切削工具を
前記被加工物の被加工表面に沿って走査することで自由
曲線形状を有する溝を切削し、且つ、前記切削中に、前
記走査の方向に対する前記切削工具の向きを変え、前記
溝の断面形状を変化させるようにしたものである。
【０００９】また、本発明は、被加工物と、この被加工
物を切削する切削工具とを前記被加工物の被加工表面に
沿って相対的に変位させ、前記被加工物表面に溝を形成
する溝切削方法において、前記切削工程中に、前記切削
工具を変位させる方向に対する前記切削工具の向きを、
溝幅の大きさに対応する向きにする回動工程とを具備す
るようにしたものである。これにより、切削工具が被加
工物を切削しつつ、切削工具の進行方向から見た時の見
かけの切削工具の幅を変化させ、切削される溝幅を変化
させることができる。
物を切削する切削工具とを前記被加工物の被加工表面に
沿って相対的に変位させ、前記被加工物表面に溝を形成
する溝切削方法において、前記切削工程中に、前記切削
工具を変位させる方向に対する前記切削工具の向きを、
溝幅の大きさに対応する向きにする回動工程とを具備す
るようにしたものである。これにより、切削工具が被加
工物を切削しつつ、切削工具の進行方向から見た時の見
かけの切削工具の幅を変化させ、切削される溝幅を変化
させることができる。
【００１０】特に、鋸歯状溝など、相対回動軸に対し平
行な面を有する溝を形成する場合があるが、その時は、
切削工具の刃先を形成する切り刃部の一辺を被加工物の
被加工面に対して垂直に保持し、前記一辺が成す線分を
軸として、前記切削工具を回動させるように制御する。
また、溝幅に対応する向きは、前記切削工具を変位させ
る方向に対する前記切削工具の回動角度αの方向とし、
この角度あるαを、前記切削工具の刃先角ｅ、前記被加
工物に設ける溝の角度をθとした時、 ｃｏｓ（α）＝ｔａｎ（θ）／ｔａｎ（ｅ） …（１） より求める。
行な面を有する溝を形成する場合があるが、その時は、
切削工具の刃先を形成する切り刃部の一辺を被加工物の
被加工面に対して垂直に保持し、前記一辺が成す線分を
軸として、前記切削工具を回動させるように制御する。
また、溝幅に対応する向きは、前記切削工具を変位させ
る方向に対する前記切削工具の回動角度αの方向とし、
この角度あるαを、前記切削工具の刃先角ｅ、前記被加
工物に設ける溝の角度をθとした時、 ｃｏｓ（α）＝ｔａｎ（θ）／ｔａｎ（ｅ） …（１） より求める。
【００１１】溝の深さが設計上決められていれば、溝の
幅は三角比の関係によって決定される。すなわち、被加
工物が切削さる部分の角度θ（すなわち、前記した被加
工物に設ける溝の角度θ）を変化させれば、溝の幅も変
化し、その割合は、溝の深さをｈ、溝の幅をｗとした
時、 ｗ＝ｈ・ｔａｎ（θ） …（２） で、一義的に求められることになる。切削工具の刃先角
ｅは定数であるから、上記（２）式で求めた角度θを上
記（１）式に代入して回動角αを得る。
幅は三角比の関係によって決定される。すなわち、被加
工物が切削さる部分の角度θ（すなわち、前記した被加
工物に設ける溝の角度θ）を変化させれば、溝の幅も変
化し、その割合は、溝の深さをｈ、溝の幅をｗとした
時、 ｗ＝ｈ・ｔａｎ（θ） …（２） で、一義的に求められることになる。切削工具の刃先角
ｅは定数であるから、上記（２）式で求めた角度θを上
記（１）式に代入して回動角αを得る。
【００１２】すなわち、 α＝ａｒｃｃｏｓ〔ｗ／ｈ／ｔａｎ（ｅ）〕 …（３） であるから、被加工物上の各位置における回動角αの値
を、一義的に決定することができる。
を、一義的に決定することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の第１実
施例を示す溝切切削方法を実施するための切削装置の構
成図である。この図に示す切削装置は、べース２１と、
このべース２１上に設けられ、Ｙ方向に駆動するＹテー
ブル２２と、このＹテーブル２２にＹ方向と直交するＸ
方向に駆動可能に設けられたＸテーブル２３と、このＸ
テーブル２３に固設された保持部２４と、この保持部２
４に保持される切削工具としてのバイト２５とを具備し
ている。
て図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の第１実
施例を示す溝切切削方法を実施するための切削装置の構
成図である。この図に示す切削装置は、べース２１と、
このべース２１上に設けられ、Ｙ方向に駆動するＹテー
ブル２２と、このＹテーブル２２にＹ方向と直交するＸ
方向に駆動可能に設けられたＸテーブル２３と、このＸ
テーブル２３に固設された保持部２４と、この保持部２
４に保持される切削工具としてのバイト２５とを具備し
ている。
【００１４】また、べース２１上のＹテーブル２２と対
向する位置には、Ｘ及びＹ方向に直交するＺ方向に駆動
するＺテーブル２６と、このＺテーブル２６上にＺ方向
を軸として回動するＺ軸回動台２７が設けられており、
この回動台２７のバイト２５と対向する一端面には、被
加工物２９が載置される載置面３０が形成されている。
なお、２８はＣ軸回転中心軸である。
向する位置には、Ｘ及びＹ方向に直交するＺ方向に駆動
するＺテーブル２６と、このＺテーブル２６上にＺ方向
を軸として回動するＺ軸回動台２７が設けられており、
この回動台２７のバイト２５と対向する一端面には、被
加工物２９が載置される載置面３０が形成されている。
なお、２８はＣ軸回転中心軸である。
【００１５】このように構成された切削装置により、被
加工物２９を載置面３０に設置し、バイト２５を被加工
物２９に近接する方向に変位させ、ＮＣコントローラ
（図示なし）からの制御により、予め設定してある切削
経路（カッターパス）・切削幅のＮＣデータに応じて、
Ｘ・Ｙ・Ｚ各テーブルを駆動変位、かつ載置面３０の法
線（Ｚ方向）を軸として回動台２７を回動させ、バイト
２５の進行方向及びこの進行方向に対するバイト２５の
向きを制御し、カッターパスに対応する溝経路、回動量
に対応する溝幅を有する所定の溝を形成する。
加工物２９を載置面３０に設置し、バイト２５を被加工
物２９に近接する方向に変位させ、ＮＣコントローラ
（図示なし）からの制御により、予め設定してある切削
経路（カッターパス）・切削幅のＮＣデータに応じて、
Ｘ・Ｙ・Ｚ各テーブルを駆動変位、かつ載置面３０の法
線（Ｚ方向）を軸として回動台２７を回動させ、バイト
２５の進行方向及びこの進行方向に対するバイト２５の
向きを制御し、カッターパスに対応する溝経路、回動量
に対応する溝幅を有する所定の溝を形成する。
【００１６】ＮＣコントローラ中のＮＣデータは以下の
通りに求めた。溝形状の長さをパラメータｓとおく時、
溝形状の曲線関数を、 ｘ＝ｘ（ｓ），ｙ＝ｙ（ｓ） …（４） とおける。パラメータｓは、溝形状の曲線の始点から切
削点までの長さを表しており、切削加工が一定切削速度
にて行われる場合は、切削速度をｖ、時間をｔとして、
次のように表現することが可能である。
通りに求めた。溝形状の長さをパラメータｓとおく時、
溝形状の曲線関数を、 ｘ＝ｘ（ｓ），ｙ＝ｙ（ｓ） …（４） とおける。パラメータｓは、溝形状の曲線の始点から切
削点までの長さを表しており、切削加工が一定切削速度
にて行われる場合は、切削速度をｖ、時間をｔとして、
次のように表現することが可能である。
【００１７】ｓ＝ｖ・ｔ また、切削速度が一定でない場合も、パラメータｓは時
間の関数として表現すること可能である。同様に、パラ
メータｓにおける回動角αや切り込み深さ量ｚも、 ｚ＝ｚ（ｓ） …（５） α＝α（ｓ） …（６） とできる。
間の関数として表現すること可能である。同様に、パラ
メータｓにおける回動角αや切り込み深さ量ｚも、 ｚ＝ｚ（ｓ） …（５） α＝α（ｓ） …（６） とできる。
【００１８】この時、Ｘ，Ｙ，Ｚの各テーブルの移動量
は、それぞれ、 Ｘ＝ｘ（ｓ）・ｃｏｓα−ｙ（ｓ）・ｓｉｎα …（７） Ｙ＝ｘ（ｓ）・ｓｉｎα＋ｙ（ｓ）・ｃｏｓα …（８） Ｚ＝ｘ（ｓ） …（９） となり、これら（ｘ，ｙ，ｚ，α）を溝の長さｓにおけ
るＮＣテーブルとした。
は、それぞれ、 Ｘ＝ｘ（ｓ）・ｃｏｓα−ｙ（ｓ）・ｓｉｎα …（７） Ｙ＝ｘ（ｓ）・ｓｉｎα＋ｙ（ｓ）・ｃｏｓα …（８） Ｚ＝ｘ（ｓ） …（９） となり、これら（ｘ，ｙ，ｚ，α）を溝の長さｓにおけ
るＮＣテーブルとした。
【００１９】したがって、この装置では（６）、
（７）、（８）、（９）式で示される一本の曲線を１カ
ッターパスで切削する。図２（ａ）乃至（ｃ）は図１の
切削装置の保持部２４に固定保持されるバイト２５の模
式図である。図２（ａ）に示すように、バイト２５は切
削部たるダイヤモンドからなるチップ４１と、先端にこ
のチップ４１が固着される合金製のシャーシ４０とから
なる。
（７）、（８）、（９）式で示される一本の曲線を１カ
ッターパスで切削する。図２（ａ）乃至（ｃ）は図１の
切削装置の保持部２４に固定保持されるバイト２５の模
式図である。図２（ａ）に示すように、バイト２５は切
削部たるダイヤモンドからなるチップ４１と、先端にこ
のチップ４１が固着される合金製のシャーシ４０とから
なる。
【００２０】また、図２（ｂ）に示すように、チップ４
１は切り刃部Ａ４２と切り刃部Ｂ４３を有し、これら切
り刃部が被加工物２９に対して切削作用を及ぼす。さら
に、図２（ｃ）はチップ４１を切り刃部Ｂ４３側から見
た模式図である。ここで、チップ４１の形状は、刃渡り
３ｍｍ程度の切り刃部Ａ及び刃渡り２ｍｍ程度の切り刃
部Ｂ、これら切り刃の交叉により構成される刃先の角度
ｅが、例えば、８０度程度、刃先の逃げ角ｆも約８０度
に形成されている。また、シャーシ４０は、長さ１００
ｍｍ、幅１０ｍｍ程度の角柱である。
１は切り刃部Ａ４２と切り刃部Ｂ４３を有し、これら切
り刃部が被加工物２９に対して切削作用を及ぼす。さら
に、図２（ｃ）はチップ４１を切り刃部Ｂ４３側から見
た模式図である。ここで、チップ４１の形状は、刃渡り
３ｍｍ程度の切り刃部Ａ及び刃渡り２ｍｍ程度の切り刃
部Ｂ、これら切り刃の交叉により構成される刃先の角度
ｅが、例えば、８０度程度、刃先の逃げ角ｆも約８０度
に形成されている。また、シャーシ４０は、長さ１００
ｍｍ、幅１０ｍｍ程度の角柱である。
【００２１】次に、このようなバイト２５を用いた切削
装置を用いて、被加工物２９上に光学素子のための鋸歯
状溝５０を形成する方法について説明する。まず、被加
工物２９を、図１に示す切削装置の載置面３０にチャッ
ク等を用いて固着させる。被加工物２９は、例えば、厚
さ５０ミクロン程度のニッケルコートが施された直径１
０ｍｍの柱状の無酸素銅（Ｃ１０２０）である。一方、
切り刃部を載置面３０に載置された被加工物２９側に向
けたバイト２５を、そのシャーシ部４０を保持部２４で
固定保持する。
装置を用いて、被加工物２９上に光学素子のための鋸歯
状溝５０を形成する方法について説明する。まず、被加
工物２９を、図１に示す切削装置の載置面３０にチャッ
ク等を用いて固着させる。被加工物２９は、例えば、厚
さ５０ミクロン程度のニッケルコートが施された直径１
０ｍｍの柱状の無酸素銅（Ｃ１０２０）である。一方、
切り刃部を載置面３０に載置された被加工物２９側に向
けたバイト２５を、そのシャーシ部４０を保持部２４で
固定保持する。
【００２２】この時、例えば、図３（ａ）に示す鋸歯状
溝５０のように、一方の辺が載置面３０に対し垂直に形
成されるよう、チップ４１の切り刃部Ｂ４３が、回動台
２７の回動軸と平行になるように設ける。バイト２５が
設けられたＺテーブル２６を駆動し、被加工物２９とバ
イト２５を近接させる。この時、バイト２５の刃先の座
標が被加工物２９に干渉しないよう、被加工物２９のＸ
Ｙ座標から、予めずらしておき近接させる。そして、被
加工物２９とバイト２５の刃先とのＺテーブル２６の駆
動方向での位置関係が、被加工物２９の被加工面から切
り込み深さ分、例えば、２ミクロンだけ深い位置になる
までＺテーブルを駆動する。
溝５０のように、一方の辺が載置面３０に対し垂直に形
成されるよう、チップ４１の切り刃部Ｂ４３が、回動台
２７の回動軸と平行になるように設ける。バイト２５が
設けられたＺテーブル２６を駆動し、被加工物２９とバ
イト２５を近接させる。この時、バイト２５の刃先の座
標が被加工物２９に干渉しないよう、被加工物２９のＸ
Ｙ座標から、予めずらしておき近接させる。そして、被
加工物２９とバイト２５の刃先とのＺテーブル２６の駆
動方向での位置関係が、被加工物２９の被加工面から切
り込み深さ分、例えば、２ミクロンだけ深い位置になる
までＺテーブルを駆動する。
【００２３】以上のような準備の後、切削を行う。切削
工程では、図３（ａ）に示すように、切り刃部Ａ４２を
バイト２５の進行方向に対して垂直に当接させ、Ｘテー
ブル２３及びＹテーブル２２を用いて、ＮＣコントロー
ラ（図示なし）に入力されているＮＣデータに対応する
座標上に、バイト２５の刃先部を変位させる。この時の
各テーブルの駆動速度は、切削する溝の形状により変化
するため一様ではないが、刃先が移動する方向への刃先
の移動速度を常に５０ｍｍ／ｍｉｎに保つため、Ｘテー
ブル２３及びＹテーブル２２共に０〜５０ｍｍ／ｍｉｎ
程度とした。
工程では、図３（ａ）に示すように、切り刃部Ａ４２を
バイト２５の進行方向に対して垂直に当接させ、Ｘテー
ブル２３及びＹテーブル２２を用いて、ＮＣコントロー
ラ（図示なし）に入力されているＮＣデータに対応する
座標上に、バイト２５の刃先部を変位させる。この時の
各テーブルの駆動速度は、切削する溝の形状により変化
するため一様ではないが、刃先が移動する方向への刃先
の移動速度を常に５０ｍｍ／ｍｉｎに保つため、Ｘテー
ブル２３及びＹテーブル２２共に０〜５０ｍｍ／ｍｉｎ
程度とした。
【００２４】以上の動作により、この切削装置は、バイ
ト２５をＸテーブル２３及びＹテーブル２２を用いて、
被加工物２９上一定切り込み深さで走査させ、一筋の溝
を１カッターパスで低速で切削する。なお、溝の深さを
変化させる場合は、ＮＣデータに対応する座標とバイト
２５の刃先の座標とが一致した時、Ｚテーブル２６を用
いて被加工物２９をＺ方向に変位させることにより行わ
れる。
ト２５をＸテーブル２３及びＹテーブル２２を用いて、
被加工物２９上一定切り込み深さで走査させ、一筋の溝
を１カッターパスで低速で切削する。なお、溝の深さを
変化させる場合は、ＮＣデータに対応する座標とバイト
２５の刃先の座標とが一致した時、Ｚテーブル２６を用
いて被加工物２９をＺ方向に変位させることにより行わ
れる。
【００２５】この切削中に、溝の深さや溝形状の他に、
溝の幅を変える必要がある場合がある。例えば、自由曲
線の溝で溝幅を一様にする時や、逆に、所望の位置にお
いて溝幅を意図的に変化させる時などである。この場合
には、以下のように溝幅の調整を行う。例えば、図２に
示すように、切り刃部Ｂ４３がなす線分を軸として、切
り刃部Ａ４２を図３（ｂ）に示すように、進行方向に突
き出すように、バイト２５を回動させる。この時のバイ
ト２５の回動角、すなわち、バイト２５の刃先部の回動
角αは、前記（１）式により求めた値を、ＮＣデータ化
してＮＣコントローラ（図示なし）に入力しておく。こ
のＮＣデータに対応する座標とバイト２５の刃先の座標
とが一致した時、回動台２７を回動角α分回動させて溝
幅の制御を行う。
溝の幅を変える必要がある場合がある。例えば、自由曲
線の溝で溝幅を一様にする時や、逆に、所望の位置にお
いて溝幅を意図的に変化させる時などである。この場合
には、以下のように溝幅の調整を行う。例えば、図２に
示すように、切り刃部Ｂ４３がなす線分を軸として、切
り刃部Ａ４２を図３（ｂ）に示すように、進行方向に突
き出すように、バイト２５を回動させる。この時のバイ
ト２５の回動角、すなわち、バイト２５の刃先部の回動
角αは、前記（１）式により求めた値を、ＮＣデータ化
してＮＣコントローラ（図示なし）に入力しておく。こ
のＮＣデータに対応する座標とバイト２５の刃先の座標
とが一致した時、回動台２７を回動角α分回動させて溝
幅の制御を行う。
【００２６】回動角αの量の決定には上記（３）式を用
いた。溝幅ｗ、鋸歯状溝の切削される部分の角度θ、溝
の深さｈはそれぞれ素子の設計に係る数である。この実
施例においては、溝の深さｈ方向と溝の幅方向ｗが直交
しているから、上記（２）式を用いて溝幅ｗに対応する
角度θを求めることができる。例えば、ｗ＝２．８ミク
ロン、ｈ＝０．６ミクロンの溝に対応する角度θは、約
７８度となる。
いた。溝幅ｗ、鋸歯状溝の切削される部分の角度θ、溝
の深さｈはそれぞれ素子の設計に係る数である。この実
施例においては、溝の深さｈ方向と溝の幅方向ｗが直交
しているから、上記（２）式を用いて溝幅ｗに対応する
角度θを求めることができる。例えば、ｗ＝２．８ミク
ロン、ｈ＝０．６ミクロンの溝に対応する角度θは、約
７８度となる。
【００２７】次に、この角度θの値とチップ４１の刃先
角ｅとを上記（１）式に代入し回動角αを求める。この
実施例では刃先角ｅ＝８０度であるから、刃先の進行方
向に対する刃先の回動角αは約３４．６度となる。被加
工物上の他の座標についても同様に計算を行う。これら
の値を被加工物と上各座標における溝幅に対応する切削
工具の向きの変化量としてＮＣデータ化し、ＮＣコント
ローラ（図示なし）に入力しておく。
角ｅとを上記（１）式に代入し回動角αを求める。この
実施例では刃先角ｅ＝８０度であるから、刃先の進行方
向に対する刃先の回動角αは約３４．６度となる。被加
工物上の他の座標についても同様に計算を行う。これら
の値を被加工物と上各座標における溝幅に対応する切削
工具の向きの変化量としてＮＣデータ化し、ＮＣコント
ローラ（図示なし）に入力しておく。
【００２８】この実施例の切削装置では、切り込み深さ
２ミクロンで切削を行い、溝深さｈを０．６ミクロンで
一定として切削を行った。この時、刃先部の回動角αを
０度から３５度に変化させ、溝深さｈ一定のまま溝幅が
３．２ミクロンから２．８ミクロンまで変化したことを
確認した。また、この時、鋸歯状溝の形状精度が、エッ
チング等の加工方法で加工を行った場合の精度と比較し
て、格段に優れていることを原子間力顕微鏡による観察
で確認した。
２ミクロンで切削を行い、溝深さｈを０．６ミクロンで
一定として切削を行った。この時、刃先部の回動角αを
０度から３５度に変化させ、溝深さｈ一定のまま溝幅が
３．２ミクロンから２．８ミクロンまで変化したことを
確認した。また、この時、鋸歯状溝の形状精度が、エッ
チング等の加工方法で加工を行った場合の精度と比較し
て、格段に優れていることを原子間力顕微鏡による観察
で確認した。
【００２９】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図４は本発明の第２実施例を示す溝切切削方法を実
施するための切削加工装置の構成図であり、第１実施例
と同様の効果を持つている。この図に示す切削加工装置
は、べース１０１と、このべース１０１上に設けられ、
Ｘ方向に駆動するＸテーブル１０２と、このＸテーブル
１０２にＣ軸回転中心軸１０８を有するＣ′軸回動台１
０３と、このＣ′軸軸回動台１０３に固設される保持部
１０４と、この保持部１０４に保持されるバイト１０５
とを具備している。
る。図４は本発明の第２実施例を示す溝切切削方法を実
施するための切削加工装置の構成図であり、第１実施例
と同様の効果を持つている。この図に示す切削加工装置
は、べース１０１と、このべース１０１上に設けられ、
Ｘ方向に駆動するＸテーブル１０２と、このＸテーブル
１０２にＣ軸回転中心軸１０８を有するＣ′軸回動台１
０３と、このＣ′軸軸回動台１０３に固設される保持部
１０４と、この保持部１０４に保持されるバイト１０５
とを具備している。
【００３０】また、べース１０１上のＸテーブル１０２
と対向する位置には、Ｚ方向に駆動するＺテーブル１０
６と、このＺテーブル１０６上にＺ方向を軸として回動
するＣ軸回動台１０７が設けられており、このＣ軸回動
台１０７のバイト１０５と対向する一端面には、被加工
物１０９が載置される載置面１１０が形成されている。
なお、１０８はＣ軸回転中心軸である。
と対向する位置には、Ｚ方向に駆動するＺテーブル１０
６と、このＺテーブル１０６上にＺ方向を軸として回動
するＣ軸回動台１０７が設けられており、このＣ軸回動
台１０７のバイト１０５と対向する一端面には、被加工
物１０９が載置される載置面１１０が形成されている。
なお、１０８はＣ軸回転中心軸である。
【００３１】このように、直進運動を行うＺ軸及びこれ
と直交するＸ軸を持ち、Ｚテーブル１０６上には、Ｚ軸
と平行なＣ軸回動台１０７が取り付けられている。Ｘ軸
上には、やはり、Ｚ軸と平行なＣ´軸回動台１０３が取
り付けられている。Ｃ軸回動台１０７上には被加工物１
０９が取り付けられ、Ｃ´軸回動台１０３上には中心か
らオフセットされた位置にバイト１０５が取り付けらて
いる。
と直交するＸ軸を持ち、Ｚテーブル１０６上には、Ｚ軸
と平行なＣ軸回動台１０７が取り付けられている。Ｘ軸
上には、やはり、Ｚ軸と平行なＣ´軸回動台１０３が取
り付けられている。Ｃ軸回動台１０７上には被加工物１
０９が取り付けられ、Ｃ´軸回動台１０３上には中心か
らオフセットされた位置にバイト１０５が取り付けらて
いる。
【００３２】この切削装置を用いて、溝を切削する場合
は、バイト１０５のＹ方向の動きをＣ´軸回動台１０３
の回転によりオフセットして取り付けられたバイト１０
５が回転のみでなく、Ｙ軸方向にも動くことを利用して
実現する。これによって、機械全体の構造を簡素化する
ことができる。また、このＣ´軸回動台１０３の回転に
伴って、バイト１０５の回転角度及びＸ軸座標を補正す
る必要があるが、これらはＣ軸及びＸ軸の指令値に補正
量を加算することで実現可能である。これらの操作を具
体的に示すと次のようになる。
は、バイト１０５のＹ方向の動きをＣ´軸回動台１０３
の回転によりオフセットして取り付けられたバイト１０
５が回転のみでなく、Ｙ軸方向にも動くことを利用して
実現する。これによって、機械全体の構造を簡素化する
ことができる。また、このＣ´軸回動台１０３の回転に
伴って、バイト１０５の回転角度及びＸ軸座標を補正す
る必要があるが、これらはＣ軸及びＸ軸の指令値に補正
量を加算することで実現可能である。これらの操作を具
体的に示すと次のようになる。
【００３３】被加工物と切削工具の相対運動は第１実施
例と同様であるが、切削加工装置の制御方法は異なって
いる。そのため、第１実施例で定義されたｘ（ｓ）、ｙ
（ｓ）、ｚ（ｓ）、α（ｓ）を用いて、この切削装置に
与えるべき座標Ｘ，Ｚ，Ｃ，Ｃ´を求めるには、次の４
個の方程的を連立させて解いて、（Ｘ，Ｙ，Ｃ，Ｃ´）
の値を必要とするｓに対して求めてやればよい。
例と同様であるが、切削加工装置の制御方法は異なって
いる。そのため、第１実施例で定義されたｘ（ｓ）、ｙ
（ｓ）、ｚ（ｓ）、α（ｓ）を用いて、この切削装置に
与えるべき座標Ｘ，Ｚ，Ｃ，Ｃ´を求めるには、次の４
個の方程的を連立させて解いて、（Ｘ，Ｙ，Ｃ，Ｃ´）
の値を必要とするｓに対して求めてやればよい。
【００３４】Ｘ＝ｘ（ｓ）・ｃｏｓ（Ｃ）−ｙ（ｓ）・
ｓｉｎ（Ｃ）＋〔１−ｃｏｓ（Ｃ´）〕・ｄ Ｚ＝ｚ（ｓ） Ｃ＝α（ｓ）−Ｃ´ Ｃ´＝ａｒｃｓｉｎ｛〔ｙ（ｓ）・ｃｏｓ（Ｃ）＋ｘ
（ｓ）・ｓｉｎ（Ｃ）〕／ｄ｝ 切削に用いる工具、被加工物の材料及び形状、切削の速
度などの条件は、第１実施例と同様に行うことができ
る。また、このような構成の切削加工装置は、一般的に
言って、回転機構は高精度なものが低価格、小型に実現
しやすいため、小型、かつ低価格なものとすることが容
易である。
ｓｉｎ（Ｃ）＋〔１−ｃｏｓ（Ｃ´）〕・ｄ Ｚ＝ｚ（ｓ） Ｃ＝α（ｓ）−Ｃ´ Ｃ´＝ａｒｃｓｉｎ｛〔ｙ（ｓ）・ｃｏｓ（Ｃ）＋ｘ
（ｓ）・ｓｉｎ（Ｃ）〕／ｄ｝ 切削に用いる工具、被加工物の材料及び形状、切削の速
度などの条件は、第１実施例と同様に行うことができ
る。また、このような構成の切削加工装置は、一般的に
言って、回転機構は高精度なものが低価格、小型に実現
しやすいため、小型、かつ低価格なものとすることが容
易である。
【００３５】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。図５は本発明の第３実施例を示す溝切切削方法を実
施するための切削加工装置の構成図である。この図に示
す切削装置は、べース２０１と、このべース２０１上に
設けられ、Ｙ方向に駆動するＹテーブル２０２と、この
Ｙテーブル２０２にＹ方向と直交するＸ方向に駆動可能
に設けられたＸテーブル２０３と、このＸテーブル２０
３に固設されたＡ軸回動台２０４と、このＡ軸回動台２
０４に固設されたＢ軸回動台２０５と、このＢ軸回動台
２０５に固設された保持部２０６と、この保持部２０６
に保持されるバイト２０７とを具備している。
る。図５は本発明の第３実施例を示す溝切切削方法を実
施するための切削加工装置の構成図である。この図に示
す切削装置は、べース２０１と、このべース２０１上に
設けられ、Ｙ方向に駆動するＹテーブル２０２と、この
Ｙテーブル２０２にＹ方向と直交するＸ方向に駆動可能
に設けられたＸテーブル２０３と、このＸテーブル２０
３に固設されたＡ軸回動台２０４と、このＡ軸回動台２
０４に固設されたＢ軸回動台２０５と、このＢ軸回動台
２０５に固設された保持部２０６と、この保持部２０６
に保持されるバイト２０７とを具備している。
【００３６】また、べース２０１上のＹテーブル２０２
と対向する位置には、Ｘ及びＹ方向に直交するＺ方向に
駆動するＺテーブル２０８と、このＺテーブル２０８上
にＺ方向を軸として回動するＣ軸回動台２０９が設けら
れており、この回動台２０９のバイト２０７と対向する
一端面には、被加工物２１０が載置される載置面２１１
が形成されている。２１２はＣ軸回転中心軸である。
と対向する位置には、Ｘ及びＹ方向に直交するＺ方向に
駆動するＺテーブル２０８と、このＺテーブル２０８上
にＺ方向を軸として回動するＣ軸回動台２０９が設けら
れており、この回動台２０９のバイト２０７と対向する
一端面には、被加工物２１０が載置される載置面２１１
が形成されている。２１２はＣ軸回転中心軸である。
【００３７】このように、直交した直進軸であるＸ軸、
Ｙ軸及びＺ軸を装備し、Ｚテーブル２０８上にはＺ軸を
回転中心とするＣ軸回動台２０９が、また、Ｙ軸上には
Ｘ軸コラムが、さらにその上にはＹ軸を回転中心とする
回転軸Ａ軸が、さらそのＡ軸の上にはＡ軸と直交する回
転軸を持つＢ軸が装備されている。切削工具は切削工具
ホルダに取り付けられ、切削工具ホルダはＢ軸上に設置
されている。
Ｙ軸及びＺ軸を装備し、Ｚテーブル２０８上にはＺ軸を
回転中心とするＣ軸回動台２０９が、また、Ｙ軸上には
Ｘ軸コラムが、さらにその上にはＹ軸を回転中心とする
回転軸Ａ軸が、さらそのＡ軸の上にはＡ軸と直交する回
転軸を持つＢ軸が装備されている。切削工具は切削工具
ホルダに取り付けられ、切削工具ホルダはＢ軸上に設置
されている。
【００３８】以上の構成によって、切削工具と被加工物
は相対的にＸ，Ｙ，Ｚの直交３軸方向及びＸ，Ｙ，Ｚの
直交３軸を中心とする３方向の回転運動を行うことがで
きる。この６自由度の相対運動を可能とする切削加工装
置においては、図６に示すような形状の光学部品の製作
が可能である。図６（ａ）はその光学部品の側面図、図
６（ｂ）はその光学部品の正面図である。
は相対的にＸ，Ｙ，Ｚの直交３軸方向及びＸ，Ｙ，Ｚの
直交３軸を中心とする３方向の回転運動を行うことがで
きる。この６自由度の相対運動を可能とする切削加工装
置においては、図６に示すような形状の光学部品の製作
が可能である。図６（ａ）はその光学部品の側面図、図
６（ｂ）はその光学部品の正面図である。
【００３９】この光学部品は、ポリカーボネートやガラ
ス製であり、図６（ａ）に示すように、一方は平面２２
１であり、他方はレンズの役割をする球面形状をしてい
る。さらに、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、
その球面上に幅１〜３ミクロン程度の溝２２２が刻まれ
ている。なお、２２３はレンズ面、２２４は回折格子で
ある。
ス製であり、図６（ａ）に示すように、一方は平面２２
１であり、他方はレンズの役割をする球面形状をしてい
る。さらに、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、
その球面上に幅１〜３ミクロン程度の溝２２２が刻まれ
ている。なお、２２３はレンズ面、２２４は回折格子で
ある。
【００４０】切削加工に用いられる切削工具は前述した
図２と同様のものを用いる。実際の加工の工程は、次の
ように行われる。各回折格子曲線の始点から切削加工点
までの距離をｓとすると、回折格子曲線は３次元空間内
の曲線として実現することができる。一方、レンズ面の
表面形状は、３次元空間内の曲面として実現することが
できる。前記の曲線はこの曲面上にある。この時、その
切削点におけるレンズ曲面に対する垂線ｐと回折格子曲
線に対する接線ｑを考えることができる。切削工具の長
手方向を前記垂線ｐに一致するようにすることが可能で
ある。また、この溝の切削の最中に溝の幅を可変する必
要が発生する場合には、切削工具のすくい面に垂直な線
分ｒが前記の接線ｑと一定の角度αをなすように制御す
ることで溝の幅を制御することが可能である。この時の
角度αの値の計算には上記（１）式を用いることができ
る。
図２と同様のものを用いる。実際の加工の工程は、次の
ように行われる。各回折格子曲線の始点から切削加工点
までの距離をｓとすると、回折格子曲線は３次元空間内
の曲線として実現することができる。一方、レンズ面の
表面形状は、３次元空間内の曲面として実現することが
できる。前記の曲線はこの曲面上にある。この時、その
切削点におけるレンズ曲面に対する垂線ｐと回折格子曲
線に対する接線ｑを考えることができる。切削工具の長
手方向を前記垂線ｐに一致するようにすることが可能で
ある。また、この溝の切削の最中に溝の幅を可変する必
要が発生する場合には、切削工具のすくい面に垂直な線
分ｒが前記の接線ｑと一定の角度αをなすように制御す
ることで溝の幅を制御することが可能である。この時の
角度αの値の計算には上記（１）式を用いることができ
る。
【００４１】以上、本実施例では銅材に鋸歯状溝を形成
する例を示したが、本発明はバイトや溝の形状に係わら
ず、例えば、矩形やＶ字型やＵ字型等、回動させること
により、見かけのバイトの幅が変化する形状のものであ
れば、あらゆる形状の溝に用いることができる。バイト
を回動させる軸も、切り刃部の方向に係わらず、自由に
設定することができる。
する例を示したが、本発明はバイトや溝の形状に係わら
ず、例えば、矩形やＶ字型やＵ字型等、回動させること
により、見かけのバイトの幅が変化する形状のものであ
れば、あらゆる形状の溝に用いることができる。バイト
を回動させる軸も、切り刃部の方向に係わらず、自由に
設定することができる。
【００４２】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００４３】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、設計値通りの溝幅を有する溝を、高精度な断面
形状を保ちつつ形成することが可能となる。
よれば、設計値通りの溝幅を有する溝を、高精度な断面
形状を保ちつつ形成することが可能となる。
【図１】本発明の第１実施例を示す溝切切削方法を実施
するための切削加工装置の構成図である。
するための切削加工装置の構成図である。
【図２】本発明の第１実施例を示す溝切切削方法を実施
するための切削装置のバイトの模式図である。
するための切削装置のバイトの模式図である。
【図３】本発明の第１実施例を示す溝切切削方法を実施
するための切削装置による鋸歯状断面を持つ溝の形状可
変方法の説明図である。
するための切削装置による鋸歯状断面を持つ溝の形状可
変方法の説明図である。
【図４】本発明の第２実施例を示す溝切削方法を実施す
るための切削加工装置の構成図である。
るための切削加工装置の構成図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す溝切削方法を実施す
るための切削加工装置の構成図である。
るための切削加工装置の構成図である。
【図６】本発明の第３実施例を示す溝切削方法を実施す
るための切削加工装置により製作される球面レンズ上に
回折格子溝を持つ回折格子を示す図である。
るための切削加工装置により製作される球面レンズ上に
回折格子溝を持つ回折格子を示す図である。
【図７】従来の回折格子曲面を有する光学素子を示す図
である。
である。
２１，１０１，２０１ べース ２２，２０２ Ｙテーブル ２３，１０２，２０３ Ｘテーブル ２４，１０４，２０６ 保持部 ２５，１０５，２０７ バイト ２６，１０６，２０８ Ｚテーブル ２７ Ｚ軸回動台 ２８，１０８ Ｃ軸回転中心軸 ２９，１０９，２１０ 被加工物 ３０，１１０，２１１ 載置面 ４０ シャーシ ４１ チップ ４２ 切り刃部Ａ ４３ 切り刃部Ｂ ５０ 鋸歯状溝 １０３ Ｃ′軸回動台 １０７，２０９ Ｃ軸回動台 ２０４ Ａ軸回動台 ２０５ Ｂ軸回動台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山形 豊 神奈川県横浜市青葉区美しが丘西３−11− ３−203 (72)発明者 高島 譲 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33 株式会 社東芝生産技術研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ，Ｙ，Ｚの直交３軸方向に駆動可能な
ステージと切削工具をＺ軸を回動中心として回動する回
動軸とを有する切削装置を用いて被加工物の被加工表面
に溝を形成する溝切削方法において、 前記切削工具を前記被加工物の被加工表面に沿って走査
することで自由曲線形状を有する溝を切削し、且つ、前
記切削中に前記走査の方向に対する前記切削工具の向き
を変え前記溝の断面形状を変化させることを特徴とする
溝切削方法。 - 【請求項２】 被加工物と該被加工物を切削する切削工
具とを前記被加工物の被加工表面に沿って相対変位さ
せ、前記被加工表面に溝を形成する溝切削方法におい
て、 前記相対変位中に、前記切削工具を変位させる方向に対
する前記切削工具の向きを、溝幅の大きさに対応する向
きにする回動工程を具備することを特徴とする溝切削方
法。 - 【請求項３】 溝幅に対応する向きは、前記切削工具を
変位させる方向に対する前記切削工具の回動角度αの方
向とし、この角度αを前記切削工具の刃先角ｅ、前記被
加工物に設ける溝の角度θとしたとき、 ｔａｎ（θ）＝ｔａｎ（ｅ）ｃｏｓ（α） より求めることを特徴とする請求項１または２記載の溝
切削方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04640696A JP3333679B2 (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | 溝切削装置及び溝切削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04640696A JP3333679B2 (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | 溝切削装置及び溝切削方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09239603A true JPH09239603A (ja) | 1997-09-16 |
| JP3333679B2 JP3333679B2 (ja) | 2002-10-15 |
Family
ID=12746279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04640696A Expired - Fee Related JP3333679B2 (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | 溝切削装置及び溝切削方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3333679B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003195057A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Towa Corp | 導光板の形成方法及び導光板 |
| JP2006297715A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 輪帯光学素子の製造方法および輪帯光学素子用金型の製造方法 |
| CN1292867C (zh) * | 2003-01-10 | 2007-01-03 | 日本电产三协株式会社 | 光学元件的制造方法 |
| US7367759B2 (en) * | 2004-12-07 | 2008-05-06 | A.M. Precision Machining, Inc. | Surface relief grating image machining process and product |
| JP2012000996A (ja) * | 2000-09-29 | 2012-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | レンズ成形型製造方法およびレンズ製造方法 |
| CN105598474A (zh) * | 2016-01-05 | 2016-05-25 | 衡阳鸿宇机械制造有限公司 | 靠模加工装置 |
| JP2017013152A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | 株式会社ナガセインテグレックス | 曲面切削装置 |
| AT516352B1 (de) * | 2014-09-30 | 2021-11-15 | Chromator Gmbh | Verfahren zur herstellung eines konkaven/konvexen gitters für einen monochromator und ein solches gitter |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102015000673A1 (de) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | Innolite Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer fresnelisierten Freiformoberfläche, die auf eine planare oder gekrümmte Fläche superponiert ist |
-
1996
- 1996-03-04 JP JP04640696A patent/JP3333679B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012000996A (ja) * | 2000-09-29 | 2012-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | レンズ成形型製造方法およびレンズ製造方法 |
| JP2012008583A (ja) * | 2000-09-29 | 2012-01-12 | Mitsubishi Electric Corp | レンズ成形型製造方法およびレンズ製造方法 |
| JP2003195057A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Towa Corp | 導光板の形成方法及び導光板 |
| CN1292867C (zh) * | 2003-01-10 | 2007-01-03 | 日本电产三协株式会社 | 光学元件的制造方法 |
| US7367759B2 (en) * | 2004-12-07 | 2008-05-06 | A.M. Precision Machining, Inc. | Surface relief grating image machining process and product |
| US7491021B2 (en) | 2004-12-07 | 2009-02-17 | A.M. Precision Machining, Inc. | Surface relief grating image machining process and product |
| JP2006297715A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 輪帯光学素子の製造方法および輪帯光学素子用金型の製造方法 |
| AT516352B1 (de) * | 2014-09-30 | 2021-11-15 | Chromator Gmbh | Verfahren zur herstellung eines konkaven/konvexen gitters für einen monochromator und ein solches gitter |
| JP2017013152A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | 株式会社ナガセインテグレックス | 曲面切削装置 |
| CN105598474A (zh) * | 2016-01-05 | 2016-05-25 | 衡阳鸿宇机械制造有限公司 | 靠模加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3333679B2 (ja) | 2002-10-15 |
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