JPH0924202A - 水系洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 水系洗浄液による洗浄とリンス水によるリン
スとを行うワークの洗浄において、水系洗浄水及びリン
ス水を再生してその使用量を削減するとともに、リンス
水に持ち込まれる水系洗浄剤を回収してコストを低減す
る。 【解決手段】 ワーク洗浄槽１から水系洗浄液を取り出
して加温手段を有する油水分離槽７に入れて油分を分離
して系外に除き、油分を除いた水系洗浄液をワーク洗浄
槽１へ送って循環し、ワークリンス槽１０からリンス水
を取り出して処理用充填槽２８へ入れて、該処理用充填
槽２８で高曇点温度の非イオン界面活性剤を付着除去
し、そこで油滴となった油分を含むリンス水を油水分離
槽３２に入れて油分を除去し、再生されたリンス水をワ
ークリンス槽１０へ循環させ、該処理用充填槽２８に温
度の低い水を通すことにより高曇点温度の非イオン界面
活性剤を分離して回収し、ワーク洗浄槽１へ送る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、金属製品、半導体ウエ
ハー、ガラスや液晶等の工業製品のようなワークを洗浄
するための水系洗浄装置に関し、特に油分が付着してワ
ークを洗浄し、リンス水でリンスした際に油分を含む水
系洗浄液から油分を分離して水系洗浄液を再生すること
ができる水系洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】これまで工業洗浄剤として広く使われて
きた塩素系有機溶剤のフロンやトリクロロエタンはオゾ
ン層破壊物質であることが確認されたために国際的取り
決めで１９９５年までに製造中止となった。そうした中
で、フロンやトリクロロエタンの代替洗浄剤の開発が急
務となっており、水に混合して用いるための界面活性剤
やアルカリを主成分とする水系洗浄剤、アルコールやグ
リコールエーテルの有機溶媒に水を配合した準水系洗浄
剤、及び炭化水素系溶剤に代表される非水系洗浄剤等が
主流となりつつある。しかしながら、非水系洗浄剤の場
合は、洗浄剤そのもので洗浄するためにランニングコス
トが高く、又、その多くは可燃性物質なので、洗浄装置
には防爆仕様が必要で高価となったり、あるいは大型化
できないという難点を抱えている。

【０００３】一方、水系と準水系、とくに水系の場合
は、大量の水で洗浄剤を希釈して使用するために、ラン
ニングコストが安く、又、危険性物質ではないので洗浄
装置は大型化が容易で、比較的安価である。しかし、大
量の水を使用することは同時に、洗浄液の油水分離やリ
ンス水の排水処理に対処できる水処理システムが洗浄シ
ステムの不可欠な構成要素となる。例えば、水系洗浄剤
を用いてワークを洗浄する場合において、洗浄に伴って
洗浄液にワークからの油分等の汚れが徐々に蓄積し、洗
浄液の洗浄力が低下する。当然のことながら、洗浄液の
洗浄力を維持しつつ洗浄液の使用寿命を延ばすために
は、洗浄液からの油分等の汚れを常時取り除く必要があ
る。従来、水系洗浄液の油水分離方法はエマルジョンブ
レーカなどの化学薬品を使用する乳化破壊・浮上分離
法、静電分離法、油分粒子の合一・粗大化を促進するコ
アレッサ法、そして精密濾過膜または限外濾過膜を用い
る膜分離法等による処理が行なわれて来た。

【０００４】ところが、これらの従来技術はそれぞれ問
題を抱えている。例えば、エマルジョンブレーカの使用
による乳化破壊・浮上分離法では、油分分離後の洗浄液
が洗浄力を失い、再使用できない問題がある。また、静
電分離法やコアレッサ法では、洗浄液中の油分が微細な
エマルジョン粒子として存在する場合においては油水分
離効果が得られにくい。そして、精密濾過膜や限外濾過
法では、油分と共に洗浄剤成分も同時に取り除かれる課
題と、装置が高価である難問を抱えている。

【０００５】水系洗浄剤は一般に、洗浄力を担う界面活
性剤を主成分として、その他防錆剤、消泡剤や、アルカ
リ成分などの有機・無機ビルダを配合してなるものであ
る。前記洗浄力を担う界面活性剤としては、非イオン系
界面活性剤と陰イオン系界面活性剤とがあるが、洗浄力
の面から曇点温度が３０〜６０℃の範囲にある非イオン
系界面活性剤を用いるケースが多い。水系洗浄剤は使用
に当たっては所定の濃度に水で希釈し水系洗浄液として
使用する。

【０００６】非イオン系界面活性剤はその曇点温度以下
では水に溶解し、界面活性を示すが、曇点温度以上では
親水性基が脱水和し、分子が会合して界面活性を失い、
液温がさらに高くなるとフロック状または液状の形で沈
殿する。逆に、液温が曇点温度以下に下がると一度不溶
性となった界面活性剤の親水性基が水和し、再び水に溶
解し、界面活性を回復するという性質をもつ。従って、
このような非イオン系界面活性剤を主体とする水系洗浄
液の油水分離では、水系洗浄液をその曇点温度よりも高
い温度まで加熱してやれば、界面活性剤が界面活性を失
うことで油分を浮上分離することができる。しかし油分
が共存すると、界面活性剤は油分との相互作用によって
沈殿せずに、逆に油分と共に浮上してしまい、油分だけ
を系外に排出するという本来の油水分離の目的が達成で
きない場合が多い。

【０００７】また、水系洗浄液（水系洗浄剤を用水等の
水で希釈したもの。）等非イオン系界面活性剤を含む洗
浄液を使用して洗浄するシステムにおいて、洗浄工程の
後にリンス工程が行われる場合、ワークのリンスを行う
際に洗浄液による洗浄においてワークに付着していた洗
浄液が、油分などとともにリンス槽に持ち込まれるため
にリンス水が徐々に汚れ、リンス効果が低下する。従っ
て、リンス水を長時間繰り返し使用するためには持ち込
まれた洗浄液の中の汚れ成分、すなわち油分や洗浄剤成
分（主として非イオン系界面活性剤成分）を常時取り除
く浄化処理が必要となる。その場合、水系洗浄液を使用
して洗浄した後、さらにリンスを行うシステムにおいて
は、使用したリンス水は繰り返し使用できることが望ま
しく、さらに、前記リンス水を浄化した際にそのリンス
水から分離された洗浄剤成分は洗浄槽に戻して再使用す
ることが望まれる。

【０００８】リンス水の浄化処理方法には、従来技術と
して活性炭吸着法、限外濾過膜または逆浸透膜を用いる
膜分離法、蒸留減容法や繊維充填層を用いる付着法等が
ある。しかし、これら従来技術はそれぞれ問題を抱えて
いる。例えば、活性炭吸着法ではリンス水の吸着負荷が
大きいのでリンス水を直接に活性炭吸着処理すると活性
炭が短時間に飽和し、その交換費用が嵩む。膜分離法で
はよい水質が得られるが、膜の使用寿命が高い膜コスト
の割に短い上に装置が高価である難点を抱える。蒸留減
容法ではランニングコストが高いことと、装置が大がか
りで高価であることが問題である。

【０００９】リンス水としては、通常純水、水道水など
が使用されている。リンスに使用したリンス水はワーク
が持ち込む洗浄剤やワークに残っている油分を含有する
ため、それをそのまま放流させることはできないし、ま
た水資源上不経済であるので、浄化して利用することが
必要である。リンス水の浄化手段としては、その中に含
有される水系洗浄剤や油分を除去できる手段を用いる
が、効率良く除去できる手段はあまり多くない。従来技
術の中で、特開平６−３１５６８１号公報に開示されて
いるように、無機繊維またはその集合体の表面に水酸化
アルミニウムなどの水酸化物微粒子を担持させたものを
充填してなるカートリッジをリンス水の浄化処理に用い
る公知技術がある。この公知技術は非イオン系界面活性
剤を主体とする水系洗浄液を用いる洗浄システムに対
し、リンス水に持ち込まれた汚染物質の中の非イオン系
界面活性剤の曇点以上にリンス水を加熱して、非イオン
系界面活性剤成分を沈降性分子会合体にした後にリンス
水を前記カートリッジに通水させることにより、非イオ
ン系界面活性剤成分及び油分をカートリッジに付着分離
するもので、さらに、付着飽和したカートリッジに対し
て冷たい（前記曇点温度以下の温度の）水を前記カート
リッジに通水することによりカートリッジを再生し、非
イオン系界面活性剤を高濃度に含んだ再生液を洗浄槽に
戻すことができるのが特徴である。

【００１０】しかし、この公知技術において、水酸化物
微粒子を充填しないカートリッジを使用する場合ではリ
ンス水の浄化効果が小さい。一方、水酸化物微粒子を大
量に充填するカートリッジを使用する場合では効果が改
善されるが、カートリッジの圧力損失が大きく、目詰ま
りしやすい問題点がある。又、水酸化アルミニウム等の
水酸化物微粒子を充填したカートリッジを使用する場合
においては、ｐＨ９．０以上の油水分離すべき水系洗浄
液では、水酸化アルミニウムが溶解し、カートリッジの
性能が低下する問題点がある。さらには、カートリッジ
を製造する工程が煩雑で、カートリッジの製造工程で発
生する反応生成物の塩分や未反応の微量充填金属イオン
（例えば水酸化アルミニウムを充填する場合ではＡ
ｌ³⁺）を十分に水洗する必要があるため、製造コストが
嵩むなどの問題点をも抱えている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の従来
技術の課題を克服し、水系洗浄液の油水分離工程を有す
るワーク洗浄系Ｉとリンス水の浄化工程を有するワーク
リンス系IIとを有し、ワークリンス系IIが有するリンス
水の浄化工程から水系洗浄剤をワーク洗浄系Ｉへ戻すよ
うにした水系洗浄装置において、安価でしかも効率よ
い、洗浄剤とリンス水をともにリサイクル可能な水系洗
浄装置を提供することを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】発明者らは鋭意に研鑽を
重ねた結果、曇点温度が２０〜４０℃の範囲にある非イ
オン系界面活性剤（低曇点ノニオンと言う）を水系洗浄
剤に分離助剤として配合することにより、かかる非イオ
ン系界面活性剤構成の水系洗浄剤を水に希釈してなる水
系洗浄液を５０〜８０℃の温度範囲に加熱した時に、洗
浄力を担う非イオン系界面活性剤と配合した低曇点ノニ
オンからなる非イオン系界面活性剤成分が共に沈殿する
のに対して油分が浮上し、浮上した油分だけを系外に排
出できるようになり、この際勿論、低曇点ノニオンを配
合することで水系洗浄液の洗浄力が低下することがない
とともに、リンス水を前記充填層に通水して処理した際
に充填層からの非イオン系界面活性剤成分の分離が容易
になることを見い出し本発明に達した。

【００１３】すなわち、本発明は、次の水系洗浄装置に
よって前記の課題を解決した。 （１）ワーク洗浄槽１と、該洗浄槽１に連通する洗浄液
導入口直上部８に加温手段１１を配備し、その上部に設
けた分離された油分を系外に取り出すための油分排出口
１５を備えた油水分離槽７とを設け、該油水分離槽７で
分離された水系洗浄液を前記ワーク洗浄槽１へ循環する
循環水路を設け、該循環水路に設けた循環ポンプ３で低
曇点非イオン界面活性剤と高曇点非イオン界面活性剤と
を含む水系洗浄剤を循環させるワーク洗浄系Ｉ、並びに
洗浄後のワークをリンスするワークリンス槽１０と、予
熱ジャケットからのリンス水で予熱される処理用充填槽
２８を有して、処理時にリンス水が上向流で該処理用充
填槽２８に通水されてリンス水中に含まれる油分及び前
記非イオン界面活性剤を分離する作用を行い、油分を系
外に排出する油分排出口を備えた油水分離槽３２とを設
け、処理時と再生時に流路を切り換えるための三方弁２
６を備えた流路でワークリンス槽１０と油水分離槽３２
とを結び、油水分離槽３２で分離されたリンス水をワー
クリンス槽１０へ循環する循環水路を設け、該循環水路
に設けた循環ポンプ２１でリンス水を循環させるワーク
リンス系II、再生時に下向流により該処理用充填槽２８
の充填材２９から流出する前記低曇点非イオン界面活性
剤と高曇点非イオン界面活性剤とを含む水系洗浄剤を回
収し、ワーク洗浄系Ｉの再生液タンク１７へ循環するリ
サイクリングパスを設けていることを特徴とする水系洗
浄装置。 （２）前記処理用充填槽２８をリンス水で予熱する予熱
ジャケット３０及び予熱したリンス水をこの予熱ジャケ
ット３０に循環させてこの処理用充填槽２８を予熱する
ための配管を有することを特徴とする前記（１）項記載
の水系洗浄装置。

【００１４】本発明におけるワーク洗浄系Ｉは、ワーク
洗浄槽１を有し、その中に水系洗浄剤を水で希釈した水
系洗浄液が満たされ、そこへワークが浸漬されて洗浄さ
れる。水系洗浄剤としては、曇点温度が４０℃以上７０
℃以下の範囲にある非イオン系界面活性剤と、分離助剤
として曇点温度が２０℃以上４０℃未満の範囲にある非
イオン系界面活性剤とを配合したものである。ワーク洗
浄槽１内の水系洗浄液は油分で汚染されると、導管によ
り油水分離装置７に送られる。該油水分離装置７では加
温手段１１により加熱することにより静置状態にある水
系洗浄液からその中に含まれる油分がその比重差で上方
に上昇してきて、同装置の液上面に溜まるので、その油
分を同装置の外に排出する。油分を分離した水系洗浄液
は、ワーク洗浄槽１へ戻される。

【００１５】また、ワークリンス系IIでは、ワークリン
ス槽１９を有し、その中にリンス水が満たされ、そこへ
ワークが浸漬されてリンスされる。リンス水としては、
市水、工業用水又は純水が使用される。リンス槽１９に
持ち込まれた油分や洗浄剤成分を含むリンス水は、５０
〜８０℃の温度に加熱した後、必要により後記する処理
を受けた充填材２９の充填層（以下、同じ「２９」の符
号を付す）に上向流で通水することにより、その充填層
２９に洗浄剤及び油分を付着させるとともに、油分をそ
の充填層２９上で粗大化させて油分粒子としてリンス水
に浮遊させ、この油分粒子が浮遊したリンス水を油分分
離装置３２に送って、油分を分離し、油分を除いたリン
ス液をワークリンス槽１９へ戻す。

【００１６】前記充填層２９は、繊維または繊維の集合
体を充填したものである。該充填層は、前記の水系洗浄
剤及び油分を含有するリンス水が通水される際に、前記
洗浄剤が曇点温度が４０〜７０℃の範囲にある非イオ
ン界面活性剤と曇点温度が２０〜４０℃の範囲にある
非イオン界面活性剤との両方を有しており、その後者の
曇点温度が２０〜４０℃の範囲にある非イオン界面活性
剤がこの充填物に付着したものとなり、その状態で前記
リンス水を５０〜８０℃の温度で通水すると、この温度
ではリンス水中の前者の曇点温度が４０〜７０℃の範
囲にある非イオン界面活性剤がその曇天温度よりも高い
ために、会同して前記の充填物に付着してリンス水から
除去される。処理が最初に始まる場合などでは、その充
填物に後者の非イオン界面活性剤が十分に付着していな
い時には、曇点温度が２０℃〜４０℃の範囲にある低曇
点非イオン系界面活性剤の水溶液を該曇点温度より高い
温度に加熱した後に通液し、前記低曇点非イオン系界面
活性剤の沈降性分子会合体を前記繊維または繊維の集合
体の充填物の表面に担持させた充填層とすることもでき
る。

【００１７】前記充填層としてはカートリッジ式容器を
用いることで操作性が良好となるので好ましい。先に付
着するように処理しておく場合を説明すると、先ず繊維
または繊維集合体をカートリッジ容器に充填し、カート
リッジを準備する。次に、曇点温度が２０〜４０℃の範
囲にある低曇点非イオン系界面活性剤を水に溶解し、溶
解液をかかる曇点温度より高い温度に加熱して非イオン
系界面活性剤成分を水不溶性の沈降性分子会合体にして
おく。この操作で溶解液は透明状態から白濁状態に変わ
る。そして、準備したカートリッジに白濁状態の溶解液
を通液して水不溶性の沈降性分子会合体の非イオン系界
面活性剤成分を繊維表面に担持させる。

【００１８】このようにして製造したカートリッジに、
処理すべきリンス水を５０〜８０℃に加熱した後に上向
流の方式で通水し、リンス水中の非イオン系界面活性剤
の沈降性分子会合体および油分を付着分離する。カート
リッジを出たリンス水をさらに油浮上槽に導入し、そこ
でカートリッジから流出した粗大の油分粒子を浮上分離
する。そして、非イオン系界面活性剤成分に対するカー
トリッジの付着能力が飽和状態に近付いた時に、２０℃
以下のリンス水または市水を下向流の方式でカートリッ
ジに通水し、カートリッジに付着した非イオン系界面活
性剤を脱着してカートリッジを再生する。一方、再生操
作に伴って発生した、非イオン系界面活性剤を高濃度に
含んだ再生液を再生液タンクに所定時間（例えば１日）
保持し、洗浄液の補充液として洗浄槽に送液する。この
ようにして、リンス水を浄化しながら繰り返し使用する
と共に持ち出された洗浄剤を洗浄槽に戻すという、水系
洗浄システムにおけるリンス水処理に対する要望が達成
されるのである。

【００１９】ここで、曇点温度が２０〜４０℃の範囲に
ある非イオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレ
ンアルキルフェニルエーテル型、ポリオキシエチレンア
ルキルエーテル型、ポリエチレングリコール型、ソルビ
タン脂肪酸エステル型、ポリオキシエチレンソルビタン
脂肪酸エステル型やプルロニック型のいずれでも良い。
また、かかる非イオン系界面活性剤の曇点温度が２０〜
４０℃の範囲にあればよいが、２５〜３０℃の範囲がよ
り好ましい。

【００２０】本発明において用いる充填材に使用する繊
維または繊維集合体はその材質と種類が限定されるもの
ではないが、例えばロックウール、スラグウールやセラ
ミックファイバーのような微細な無機質繊維の集合体が
好適である。また、油浮上槽の容積は通水するリンス水
の流量に対して２０分間以下の滞留時間を有する大きさ
で充分である。

【００２１】油水分離槽では、入口直上にヒータを設け
ることが好ましく、そこで水系洗浄液を例えば５０〜８
０℃の温度範囲に加熱した時に、洗浄力を担う非イオン
系界面活性剤に配合した前記の低曇点ノニオンからなる
非イオン系界面活性剤成分が共に沈殿するのに対して油
分が浮上し、浮上した油分だけを系外に排出できるよう
になり、これにより該油水分離槽において油の浮上、洗
剤の沈降分離が可能となる。曇点温度が２０〜４０℃、
好ましくは２５〜３０℃の範囲にある低曇点非イオン系
界面活性剤を用いて、カートリッジ容積１０リットルに
対して０．５〜１．０リットルの比率に相当する量の上
記非イオン系界面活性剤を濃度２％程度となるように水
に溶解する。かかる溶解液を約５０℃に加熱した後にカ
ートリッジに通水し、カートリッジに充填した繊維の表
面に非イオン系界面活性剤の沈降性分子会合体を予め担
持させる。こうして製造したカートリッジに、５０〜８
０℃に加熱したリンス水を通水することにより、リンス
水中の非イオン系界面活性剤の沈降性分子会合体及び油
分を付着分離することができる。油分に対するカートリ
ッジの付着能力が飽和してから油分が粗大化した粒子の
形でカートリッジを流出するようになるが、この場合に
備えてリンス水を油浮上槽に導入することでカートリッ
ジを流出した粗い粒子状の油分を浮上分離する。さら
に、非イオン系界面活性剤の沈降性分子会合体に対する
カートリッジの付着能力が飽和状態に近付いた時に、２
０℃以下のリンス水または市水を下向流の方式でカート
リッジに通水し、カートリッジに付着した非イオン系界
面活性剤を脱着してカートリッジを再生する。

【００２２】前述のように非イオン系界面活性剤は曇点
温度以下では水に溶解するが、曇点温度以上では不溶性
の分子会合体となる性質をもつ。本発明はこの性質を利
用したものである。即ち、本発明による所定量の非イオ
ン系界面活性剤を溶解した水を曇点温度以上に加熱して
非イオン系界面活性剤を沈降性分子会合体にした後に、
繊維または繊維集合体を充填したカートリッジに通水
し、非イオン系界面活性剤の沈降性分子会合体を繊維の
表面に付着させることで、カートリッジの付着能力が顕
著に向上する。そのメカニズムは確かではないが、カー
トリッジの壁流の防止、界面活性剤の沈降性分子会合体
同士及び油と界面活性剤の沈降性分子会合体との接触表
面積の増大、及び活性剤の沈降性分子会合体上での活性
剤の覆われた油分粒子から油分粒子が相互に凝集する作
用が向上することが考えられる。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明をさらに具体的に説明する
が、本発明は以下の実施の形態により限定されるもので
はない。ワーク洗浄系Ｉは、ワーク洗浄槽１と油水分離
槽７とからなり、該洗浄槽１の容積は２００リットルと
し、ワーク洗浄槽１から水系洗浄液は弁２、弁４、圧力
計５、流量計６を備えたを有する導管を通ってポンプ３
により、油水分離槽７へ導入される。油水分離槽７は、
該洗浄槽１に連通する洗浄液導入口直上部８に加温手段
１１を備え、その上部に設けた分離された油分を系外に
取り出すための油分排出口１５を備えており、該分離槽
７の液面に分離されてきた油分をオイル覗き窓１４、油
分排出口１５を通して油分貯槽１６へ排出する。該油水
分離槽７で油分を分離した水系洗浄液を前記ワーク洗浄
槽１へ循環する循環水路を設け、該循環水路に設けた弁
１０を通して低曇点非イオン界面活性剤と高曇点非イオ
ン界面活性剤とを含む水系洗浄剤をワーク洗浄槽１に循
環させる。また、ワーク洗浄槽１に薬液槽１７が付属し
ている。

【００２４】また、ワークリンス系IIでは、水系洗浄槽
１で洗浄したワークをリンスするワークリンス槽１０、
充填槽２８と油水分離槽７とからなり、該リンス槽１９
の容積は２００リットルとし、再生液タンクの容積は８
０リットルとする。ワークリンス槽１０から油分等を含
有するリンス水は、ポンプ２１により弁２０、弁２２、
圧力計２３、流量計２４、プレフイルタ２５を備えた導
管を通り、三方弁２６、三方弁２７を経て処理用充填槽
２８へ導入する。処理用充填槽２８は、予熱ジャケット
からのリンス水で予熱されるカートリッジ２９を有して
おり、処理時にはリンス水は同槽の下方から上向流とし
て通す。

【００２５】充填槽２８では、リンス水から曇点温度の
低い方の非イオン界面活性剤とともに曇点温度の高い方
の非イオン界面活性剤が良く除去され、油分は集まって
油滴を形成した状態になる。このリンス水を次に油水分
離槽３２へ送る。同槽３２では前記の油水分離槽７と同
様な構造のものであるが、ここでは加温手段を設ける必
要はない。該分離槽３２の液面に分離されてきた油分を
オイル覗き窓３８、油分排出口３９を通して油分貯槽４
０へ排出する。該油水分離槽３２で油分を分離したリン
ス水は、リサイクリングパスである導管を通してワーク
リンス槽１９へ戻される。また、前記充填槽２８がその
除去作用が低下した段階では、三方弁２６等を切り換え
て、温度を２０℃以下としたリンス水、工場用水或いは
市水からなる再生用水を上から下向流として流すと、充
填材から非イオン界面活性剤及び油分が放出されて、充
填材の付着能が回復する。

【００２６】そして、その充填槽２８から流出する再生
液は、高濃度の非イオン界面活性剤や油分を含有するの
で、これをリサイクリングパスの導管を通して再生液タ
ンク１７に導入する。この再生液タンク１７中の再生液
は高濃度の非イオン界面活性剤を含有するので、これを
ワーク洗浄槽１に供給することができるので、非イオン
界面活性剤の使用量を低減できる効果が大きい。ここで
は、曇点温度約５２℃のポリエチレングリコール型非イ
オン系界面活性剤を主体とする洗浄剤の５％溶液に、曇
点温度約２９℃のポリオキシエチレンアルキルフェニル
エーテル型非イオン系界面活性剤（低曇点ノニオン）を
２％配合してなるものを本発明に基づく水系洗浄液とし
て油水分離試験に供した。また、分離の対象となる油分
としては代表的な非水溶性の切削油を用い、水系洗浄液
中の油分の初濃度を２％とした。

【００２７】

【発明の効果】本発明によれば、ワーク洗浄系において
水系洗浄液に対して油水分離をすることにより、水系洗
浄液の使用寿命を延ばすことができ、さらにワークリン
ス系においてリンス水に対してリンス水から水系洗浄剤
及び油分を除去するため、リンス水を再生して循環使用
すことができる。さらに、リンス水の浄化に用いるカー
トリッジでは水系洗浄剤が付着しているので、それを再
生する際に水系洗浄剤を高濃度で含有する再生液が得ら
れ、それを洗浄槽に循環することにより、洗浄剤を回収
することができ、効率的に洗浄を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の水系洗浄装置の１例を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１ ワーク洗浄槽 ２、４、１０、１５、１８、２０、２２、３１、３５、
３９ 弁 ３、２１ ポンプ ５、１３、２３、３７ 圧力計 ６、２４ 流量計 ７、３２ 油水分離槽 ８ 洗浄液入口 ９ 洗浄液出口 １１ 電熱ヒーター １２、３６ エア抜き弁 １４、３８ オイル覗き窓 １６、４０ オイルタンク １７ 再生液タンク １９ ワークリンス槽 ２５ プレスフィルタ ２６、２７ 三方弁 ２８ 処理用充填槽 ２９ 充填材 ３０ 予熱ジャケット ３３ リンス水入口 ３４ リンス水出口

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワーク洗浄槽１と、該洗浄槽１に連通す
   る洗浄液導入口直上部８に加温手段１１を配備し、その
   上部に設けた分離された油分を系外に取り出すための油
   分排出口１５を備えた油水分離槽７とを設け、該油水分
   離槽７で分離された水系洗浄液を前記ワーク洗浄槽１へ
   循環する循環水路を設け、該循環水路に設けた循環ポン
   プ３で低曇点非イオン界面活性剤と高曇点非イオン界面
   活性剤とを含む水系洗浄剤を循環させるワーク洗浄系
   Ｉ、並びに洗浄後のワークをリンスするワークリンス槽
   １０と、予熱ジャケットからのリンス水で予熱される処
   理用充填槽２８を有して、処理時にリンス水が上向流で
   該処理用充填槽２８に通水されてリンス水中に含まれる
   油分及び前記非イオン界面活性剤を分離する作用を行
   い、油分を系外に排出する油分排出口を備えた油水分離
   槽３２とを設け、処理時と再生時に流路を切り換えるた
   めの三方弁２６を備えた流路でワークリンス槽１０と油
   水分離槽３２とを結び、油水分離槽３２で分離されたリ
   ンス水をワークリンス槽１０へ循環する循環水路を設
   け、該循環水路に設けた循環ポンプ２１でリンス水を循
   環させるワークリンス系II、再生時に下向流により該処
   理用充填槽２８の充填材２９から流出する前記低曇点非
   イオン界面活性剤と高曇点非イオン界面活性剤とを含む
   水系洗浄剤を回収し、ワーク洗浄系Ｉの再生液タンク１
   ７へ循環するリサイクリングパスを設けていることを特
   徴とする水系洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記処理用充填槽２８をリンス水で予熱
   する予熱ジャケット３０及び予熱したリンス水をこの予
   熱ジャケット３０に循環させてこの処理用充填槽２８を
   予熱するための配管を有することを特徴とする請求項１
   記載の水系洗浄装置。