JPH09243817A - 樹脂パターンの形成方法とカラーフィルタ基板の製造方法 - Google Patents
樹脂パターンの形成方法とカラーフィルタ基板の製造方法Info
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- JPH09243817A JPH09243817A JP5470796A JP5470796A JPH09243817A JP H09243817 A JPH09243817 A JP H09243817A JP 5470796 A JP5470796 A JP 5470796A JP 5470796 A JP5470796 A JP 5470796A JP H09243817 A JPH09243817 A JP H09243817A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 樹脂パターンの形成方法とカラーフィルタ基
板の製造方法に関し、フォトリソグラフィー技術を利用
せず、印刷法および電着法より高精度な樹脂パターンと
カラーフィルタ基板を提供する。 【解決手段】 支持体１に感光性型樹脂または熱硬化性
樹脂の樹脂膜２を成膜し、樹脂膜２に含む溶剤が除去さ
れる温度に加熱した樹脂膜２を選択的に押圧し、現像工
程で樹脂膜２の非押圧部を除去し樹脂パターン５′を形
成したのち、支持体１に残置する樹脂パターン５′を硬
化させて、樹脂パターン５を形成させる。感光性樹脂に
てなる樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧すると共に、
その押圧部に光線を照射し硬化させたのち、非押圧部を
除去し樹脂パターン５を形成させる。前記樹脂パターン
の形成方法を利用して第１、第２、第３の着色樹脂パタ
ーンを形成させるカラーフィルタ基板の製造方法。
板の製造方法に関し、フォトリソグラフィー技術を利用
せず、印刷法および電着法より高精度な樹脂パターンと
カラーフィルタ基板を提供する。 【解決手段】 支持体１に感光性型樹脂または熱硬化性
樹脂の樹脂膜２を成膜し、樹脂膜２に含む溶剤が除去さ
れる温度に加熱した樹脂膜２を選択的に押圧し、現像工
程で樹脂膜２の非押圧部を除去し樹脂パターン５′を形
成したのち、支持体１に残置する樹脂パターン５′を硬
化させて、樹脂パターン５を形成させる。感光性樹脂に
てなる樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧すると共に、
その押圧部に光線を照射し硬化させたのち、非押圧部を
除去し樹脂パターン５を形成させる。前記樹脂パターン
の形成方法を利用して第１、第２、第３の着色樹脂パタ
ーンを形成させるカラーフィルタ基板の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は樹脂パターンの形成
方法とカラーフィルタ基板の製造方法、特に液晶表示パ
ネル等に使用するカラーフィルタ基板の製造に利用する
樹脂パターンの形成方法と、その樹脂パターンの形成方
法を利用したカラーフィルタ基板の製造方法に関する。
方法とカラーフィルタ基板の製造方法、特に液晶表示パ
ネル等に使用するカラーフィルタ基板の製造に利用する
樹脂パターンの形成方法と、その樹脂パターンの形成方
法を利用したカラーフィルタ基板の製造方法に関する。
【０００２】近年、液晶表示パネルは薄型・軽量・低消
費電力等の利点を活かして様々な分野で急速に普及し、
その市場動向はカラー化・大画面化・高精細化・低価格
化に向かって進んでいる。
費電力等の利点を活かして様々な分野で急速に普及し、
その市場動向はカラー化・大画面化・高精細化・低価格
化に向かって進んでいる。
【０００３】カラー液晶表示パネルの構成部品の一つで
あるカラーフィルタ基板についても、高品質化および低
価格化が急務である。
あるカラーフィルタ基板についても、高品質化および低
価格化が急務である。
【０００４】
【従来の技術】支持体の表面に樹脂パターンを形成した
製品、例えばガラスや各種プラスチック類にてなる透光
性基板またはフィルムを支持体とし、その支持体の表面
に透光性の多数の着色パターンを形成したカラーフィル
タ基板において、複数色の着色樹脂パターンの形成方法
は、一般に、着色剤分散法・印刷法・染色法・電着法が
知られている。
製品、例えばガラスや各種プラスチック類にてなる透光
性基板またはフィルムを支持体とし、その支持体の表面
に透光性の多数の着色パターンを形成したカラーフィル
タ基板において、複数色の着色樹脂パターンの形成方法
は、一般に、着色剤分散法・印刷法・染色法・電着法が
知られている。
【０００５】前記従来方法において、フォトリソグラフ
ィー技術を利用し、着色剤を分散せしめて着色樹脂のパ
ターンを支持体の表面に形成する着色剤分散法は、微細
な着色パターンを高精度に形成できる特徴がある反面、
高精度を要するフォトリソグラフィー工程の繰り返しを
必要とし工程が複雑となるため、高価かつコストダウン
が困難である。
ィー技術を利用し、着色剤を分散せしめて着色樹脂のパ
ターンを支持体の表面に形成する着色剤分散法は、微細
な着色パターンを高精度に形成できる特徴がある反面、
高精度を要するフォトリソグラフィー工程の繰り返しを
必要とし工程が複雑となるため、高価かつコストダウン
が困難である。
【０００６】前記従来方法において、版を使用する等の
印刷技術を利用し、着色パターンを支持体の表面に形成
する印刷法は、製造工程が他の方法に比べて簡易であり
安価に製造できる反面、着色パターンの形状が不正確と
なり厚さむらが生じ易いため、最近の高性能化に対し追
従し難いという問題点がある。
印刷技術を利用し、着色パターンを支持体の表面に形成
する印刷法は、製造工程が他の方法に比べて簡易であり
安価に製造できる反面、着色パターンの形状が不正確と
なり厚さむらが生じ易いため、最近の高性能化に対し追
従し難いという問題点がある。
【０００７】前記従来方法において、染色技術とフォト
リソグラフィー技術を利用した染色法は、高解像性と着
色パターンの精度が着色剤分散法と同程度であり、色調
が着色剤分散法より優れるという特徴がある反面、被染
色パターンの形成・染色・防染処理を染色の色別に繰り
返す必要があるため、製造工程が複雑となって高価かつ
コストダウンが困難であった。
リソグラフィー技術を利用した染色法は、高解像性と着
色パターンの精度が着色剤分散法と同程度であり、色調
が着色剤分散法より優れるという特徴がある反面、被染
色パターンの形成・染色・防染処理を染色の色別に繰り
返す必要があるため、製造工程が複雑となって高価かつ
コストダウンが困難であった。
【０００８】前記従来方法において、電着技術を利用し
た前記電着法は、フォトリソグラフィー技術を利用しな
いため製造工程が着色剤分散法および染色法より簡易で
ある反面、電着液の管理が難しく、着色パターンの特性
にばらつきが生じ易いという問題点がある。
た前記電着法は、フォトリソグラフィー技術を利用しな
いため製造工程が着色剤分散法および染色法より簡易で
ある反面、電着液の管理が難しく、着色パターンの特性
にばらつきが生じ易いという問題点がある。
【０００９】以上説明した如く、従来技術にはそれぞれ
に問題点を抱えているが、感光性樹脂（一般に紫外線硬
化性樹脂）または熱硬化性樹脂に、着色剤を分散させた
着色剤分散法が、一般に広く利用されている。
に問題点を抱えているが、感光性樹脂（一般に紫外線硬
化性樹脂）または熱硬化性樹脂に、着色剤を分散させた
着色剤分散法が、一般に広く利用されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】現在主流の着色剤分散
法は、他の方法に比べて高精度パターンが形成されるこ
とで優れている。しかし、マスクを使用した露光処理と
その現像処理を樹脂の色別に繰り返す必要がある。
法は、他の方法に比べて高精度パターンが形成されるこ
とで優れている。しかし、マスクを使用した露光処理と
その現像処理を樹脂の色別に繰り返す必要がある。
【００１１】しかも、カラーフィルタの高品質化に伴っ
てパターン精度の一層の高精度化が必要となり、必然的
に製造装置の高精度化・マスクの高品質化・製造歩留り
向上の難しさ等、高価格化にならざるを得ない状態であ
る。
てパターン精度の一層の高精度化が必要となり、必然的
に製造装置の高精度化・マスクの高品質化・製造歩留り
向上の難しさ等、高価格化にならざるを得ない状態であ
る。
【００１２】特に、露光精度を確保するプロキシミティ
露光機においては、マスクと基板間ギャップをできるだ
け狭める必要から、マスクに異物等が付着しているとそ
の異物等が基板に転移し易いため、マスクの頻繁な洗浄
工程が生産性を極端に低下させている。
露光機においては、マスクと基板間ギャップをできるだ
け狭める必要から、マスクに異物等が付着しているとそ
の異物等が基板に転移し易いため、マスクの頻繁な洗浄
工程が生産性を極端に低下させている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、フォトリソグ
ラフィー技術を必要とせず、従来の印刷法および電着法
より高精度かつ安定で信頼性に優れた樹脂パターンの形
成方法と、それを利用したカラーフィルタ基板を提供す
ることである。
ラフィー技術を必要とせず、従来の印刷法および電着法
より高精度かつ安定で信頼性に優れた樹脂パターンの形
成方法と、それを利用したカラーフィルタ基板を提供す
ることである。
【００１４】本発明による第１の樹脂パターンの形成方
法は、支持体の表面に感光性樹脂または熱硬化性樹脂の
樹脂膜を形成させる成膜工程と、該樹脂の溶剤を除去す
る温度に該樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧し、その
押圧部を該支持体に被着させる被着工程と、該樹脂膜の
非押圧部を除去する現像工程と、該支持体に被着する該
樹脂膜の押圧部を硬化させる硬化工程を含むことであ
る。
法は、支持体の表面に感光性樹脂または熱硬化性樹脂の
樹脂膜を形成させる成膜工程と、該樹脂の溶剤を除去す
る温度に該樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧し、その
押圧部を該支持体に被着させる被着工程と、該樹脂膜の
非押圧部を除去する現像工程と、該支持体に被着する該
樹脂膜の押圧部を硬化させる硬化工程を含むことであ
る。
【００１５】本発明による第２の樹脂パターンの形成方
法は、支持体の表面に感光性樹脂の樹脂膜を形成させる
成膜工程と、該樹脂の溶剤を除去する温度に該樹脂膜を
加熱しながら選択的に押圧し、その押圧部を該支持体に
押し付けると共に、該押圧部に該樹脂膜が感光する光を
選択的に照射する押圧露光工程と、該樹脂膜の非押圧部
を除去する現像工程と、該支持体に被着する該樹脂膜の
押圧部を硬化させる硬化工程を含むことである。
法は、支持体の表面に感光性樹脂の樹脂膜を形成させる
成膜工程と、該樹脂の溶剤を除去する温度に該樹脂膜を
加熱しながら選択的に押圧し、その押圧部を該支持体に
押し付けると共に、該押圧部に該樹脂膜が感光する光を
選択的に照射する押圧露光工程と、該樹脂膜の非押圧部
を除去する現像工程と、該支持体に被着する該樹脂膜の
押圧部を硬化させる硬化工程を含むことである。
【００１６】本発明による第１のカラーフィルタ基板の
製造方法は、第１の着色剤を感光性樹脂または熱硬化性
樹脂に分散させた第１の着色樹脂にてなる第１の着色樹
脂膜を支持体の表面に形成させる第１の成膜工程と、該
第１の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する温度に、該第１
の着色樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧し、その押圧
部を該支持体に被着させる第１の被着工程と、該第１の
着色樹脂膜の非押圧部を除去する第１の現像工程と、該
支持体に被着する該第１の着色樹脂膜の押圧部を硬化さ
せる第１の硬化工程と、第２の着色剤を感光性樹脂また
は熱硬化性樹脂に分散させた第２の着色樹脂にてなる第
２の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成させる第２の
成膜工程と、該第２の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する
温度に該第２の着色樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧
し、その押圧部を該支持体に被着させる第２の被着工程
と、該第２の着色樹脂膜の非押圧部を除去する第２の現
像工程と、該支持体に被着する該第２の着色樹脂膜の押
圧部を硬化させる第２の硬化工程と、第３の着色剤を感
光性樹脂または熱硬化性樹脂に分散させた第３の着色樹
脂にてなる第３の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成
させる第３の成膜工程と、該第３の着色樹脂膜に含む溶
剤を除去する温度に該第３の着色樹脂膜を加熱しながら
選択的に押圧し、その押圧部を該支持体に被着させる第
３の被着工程と、該第３の着色樹脂膜の非押圧部を除去
する第３の現像工程と、該支持体に被着する該第３の着
色樹脂膜の押圧部を硬化させる第３の硬化工程とを含む
ことである。
製造方法は、第１の着色剤を感光性樹脂または熱硬化性
樹脂に分散させた第１の着色樹脂にてなる第１の着色樹
脂膜を支持体の表面に形成させる第１の成膜工程と、該
第１の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する温度に、該第１
の着色樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧し、その押圧
部を該支持体に被着させる第１の被着工程と、該第１の
着色樹脂膜の非押圧部を除去する第１の現像工程と、該
支持体に被着する該第１の着色樹脂膜の押圧部を硬化さ
せる第１の硬化工程と、第２の着色剤を感光性樹脂また
は熱硬化性樹脂に分散させた第２の着色樹脂にてなる第
２の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成させる第２の
成膜工程と、該第２の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する
温度に該第２の着色樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧
し、その押圧部を該支持体に被着させる第２の被着工程
と、該第２の着色樹脂膜の非押圧部を除去する第２の現
像工程と、該支持体に被着する該第２の着色樹脂膜の押
圧部を硬化させる第２の硬化工程と、第３の着色剤を感
光性樹脂または熱硬化性樹脂に分散させた第３の着色樹
脂にてなる第３の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成
させる第３の成膜工程と、該第３の着色樹脂膜に含む溶
剤を除去する温度に該第３の着色樹脂膜を加熱しながら
選択的に押圧し、その押圧部を該支持体に被着させる第
３の被着工程と、該第３の着色樹脂膜の非押圧部を除去
する第３の現像工程と、該支持体に被着する該第３の着
色樹脂膜の押圧部を硬化させる第３の硬化工程とを含む
ことである。
【００１７】本発明による第２のカラーフィルタ基板の
製造方法は、第１の着色剤を感光性樹脂に分散させた第
１の着色樹脂にてなる第１の着色樹脂膜を、支持体の表
面に形成させる第１の成膜工程と、該第１の着色樹脂膜
に含む溶剤を除去する温度に該第１の着色樹脂膜を加熱
しながら、選択的に押圧すると共に、その押圧部に該第
１の着色樹脂膜が感光する光を選択的に照射する第１の
押圧露光工程と、該第１の着色樹脂膜の非押圧部を除去
し第１の樹脂パターンを形成させる第１の現像工程と、
該第１の樹脂パターンを硬化させる第１の硬化工程と、
第２の着色剤を感光性樹脂に分散させた第２の着色樹脂
にてなる第２の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成さ
せる第２の成膜工程と、該第２の着色樹脂膜に含む溶剤
を除去する温度に該第２の着色樹脂膜を加熱しながら、
選択的に押圧すると共に、その押圧部に該第２の着色樹
脂膜が感光する光を選択的に照射する第２の押圧露光工
程と、該第２の着色樹脂膜の非押圧部を除去し第２の樹
脂パターンを形成させる第２の現像工程と、該第２の樹
脂パターンを硬化させる第２の硬化工程と、第３の着色
剤を感光性樹脂に分散させた第３の着色樹脂にてなる第
３の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成させる第３の
成膜工程と、該第３の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する
温度に該第３の着色樹脂膜を加熱しながら、選択的に押
圧すると共に、その押圧部に該第３の着色樹脂膜が感光
する光を選択的に照射する第３の押圧露光工程と、該第
３の着色樹脂膜の非押圧部を除去し第３の樹脂パターン
を形成させる第３の現像工程と、該第３の樹脂パターン
を硬化させる第３の硬化工程とを含むことである。
製造方法は、第１の着色剤を感光性樹脂に分散させた第
１の着色樹脂にてなる第１の着色樹脂膜を、支持体の表
面に形成させる第１の成膜工程と、該第１の着色樹脂膜
に含む溶剤を除去する温度に該第１の着色樹脂膜を加熱
しながら、選択的に押圧すると共に、その押圧部に該第
１の着色樹脂膜が感光する光を選択的に照射する第１の
押圧露光工程と、該第１の着色樹脂膜の非押圧部を除去
し第１の樹脂パターンを形成させる第１の現像工程と、
該第１の樹脂パターンを硬化させる第１の硬化工程と、
第２の着色剤を感光性樹脂に分散させた第２の着色樹脂
にてなる第２の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成さ
せる第２の成膜工程と、該第２の着色樹脂膜に含む溶剤
を除去する温度に該第２の着色樹脂膜を加熱しながら、
選択的に押圧すると共に、その押圧部に該第２の着色樹
脂膜が感光する光を選択的に照射する第２の押圧露光工
程と、該第２の着色樹脂膜の非押圧部を除去し第２の樹
脂パターンを形成させる第２の現像工程と、該第２の樹
脂パターンを硬化させる第２の硬化工程と、第３の着色
剤を感光性樹脂に分散させた第３の着色樹脂にてなる第
３の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成させる第３の
成膜工程と、該第３の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する
温度に該第３の着色樹脂膜を加熱しながら、選択的に押
圧すると共に、その押圧部に該第３の着色樹脂膜が感光
する光を選択的に照射する第３の押圧露光工程と、該第
３の着色樹脂膜の非押圧部を除去し第３の樹脂パターン
を形成させる第３の現像工程と、該第３の樹脂パターン
を硬化させる第３の硬化工程とを含むことである。
【００１８】前記第１の樹脂パターンの形成方法は、樹
脂膜の所定部を適当温度に加熱しながら押圧すること
で、その押圧部は樹脂膜の現像に耐える接着力で支持体
に被着するようになる。
脂膜の所定部を適当温度に加熱しながら押圧すること
で、その押圧部は樹脂膜の現像に耐える接着力で支持体
に被着するようになる。
【００１９】そのため、フォトリソグラフィー技術を必
要とせず、従って従来の着色剤分散法および染色法より
も容易、かつ、従来の印刷法および電着法より高精度で
信頼性に優れた樹脂パターン形成が可能となる。
要とせず、従って従来の着色剤分散法および染色法より
も容易、かつ、従来の印刷法および電着法より高精度で
信頼性に優れた樹脂パターン形成が可能となる。
【００２０】前記第２の樹脂パターンの形成方法は、樹
脂膜の所定部を適当温度に加熱しながら押圧すると共
に、光線照射によって樹脂膜の所定部を露光させる。そ
のため、前記第１の樹脂パターンの形成方法と同一効果
が得られると共に、第１の樹脂パターンの形成方法より
も工程が少なく、かつ、紫外線硬化性樹脂を使用した前
記露光時の紫外線強度は、通常時より著しく低減可能に
なる。
脂膜の所定部を適当温度に加熱しながら押圧すると共
に、光線照射によって樹脂膜の所定部を露光させる。そ
のため、前記第１の樹脂パターンの形成方法と同一効果
が得られると共に、第１の樹脂パターンの形成方法より
も工程が少なく、かつ、紫外線硬化性樹脂を使用した前
記露光時の紫外線強度は、通常時より著しく低減可能に
なる。
【００２１】前記第１のカラーフィルタ基板の製造方法
は、前記第１の樹脂パターンの形成方法を利用し、支持
体に３色の樹脂パターン（画素）を形成せしめる構成で
あり、第１の樹脂パターンの形成方法と同一効果をカラ
ーフィルタ基板にもたらすことになる。
は、前記第１の樹脂パターンの形成方法を利用し、支持
体に３色の樹脂パターン（画素）を形成せしめる構成で
あり、第１の樹脂パターンの形成方法と同一効果をカラ
ーフィルタ基板にもたらすことになる。
【００２２】前記第２のカラーフィルタ基板の製造方法
は、前記第２の樹脂パターンの形成方法を利用し、支持
体に３色の樹脂パターン（画素）を形成せしめる構成で
あり、第２の樹脂パターンの形成方法と同一効果をカラ
ーフィルタ基板にもたらすことになる。
は、前記第２の樹脂パターンの形成方法を利用し、支持
体に３色の樹脂パターン（画素）を形成せしめる構成で
あり、第２の樹脂パターンの形成方法と同一効果をカラ
ーフィルタ基板にもたらすことになる。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施例によ
る樹脂パターン形成方法の説明図、図２は本発明の第２
の実施例による樹脂パターン形成方法の説明図である。
る樹脂パターン形成方法の説明図、図２は本発明の第２
の実施例による樹脂パターン形成方法の説明図である。
【００２４】図１（ａ）において、ガラス等にてなる板
状支持体１の表面に、感光性樹脂または熱硬性型樹脂に
てなる樹脂膜２を成膜する。樹脂膜２は通常の方法、例
えばスピンコータまたはロールコータを使用して均一厚
さに成膜し、その厚さは必要とする膜厚より多少厚く、
例えば１．５μｍの厚さの樹脂膜２が必要なときには、
１．８μｍ程度の厚さに成膜する。
状支持体１の表面に、感光性樹脂または熱硬性型樹脂に
てなる樹脂膜２を成膜する。樹脂膜２は通常の方法、例
えばスピンコータまたはロールコータを使用して均一厚
さに成膜し、その厚さは必要とする膜厚より多少厚く、
例えば１．５μｍの厚さの樹脂膜２が必要なときには、
１．８μｍ程度の厚さに成膜する。
【００２５】図１（ｂ）において、下面が平坦な部材３
を用い、樹脂膜２の硬化温度より低く樹脂膜２に含まれ
る溶剤を除去するのに適当な温度、例えば９０℃程度に
樹脂膜２を加熱しながら、樹脂膜２上の所望パターン部
分（所定部）を押圧する。
を用い、樹脂膜２の硬化温度より低く樹脂膜２に含まれ
る溶剤を除去するのに適当な温度、例えば９０℃程度に
樹脂膜２を加熱しながら、樹脂膜２上の所望パターン部
分（所定部）を押圧する。
【００２６】樹脂膜２の加熱方法としては、例えば支持
体１をホットプレート８に搭載して加熱する。その結
果、樹脂膜２は溶剤が除去されて半硬化（プリベーキン
グ）状態になり、部材３による樹脂膜２の押圧部４は、
例えば深さ０．３μｍ程度の凹状に形成される。
体１をホットプレート８に搭載して加熱する。その結
果、樹脂膜２は溶剤が除去されて半硬化（プリベーキン
グ）状態になり、部材３による樹脂膜２の押圧部４は、
例えば深さ０．３μｍ程度の凹状に形成される。
【００２７】かかる押圧部４の支持体１に対する被着力
は、樹脂膜２が熱硬化性樹脂にてなるとき、前記押圧に
よって現像可能な状態（非押圧部より被着力が大）にな
るが、樹脂膜２が感光性樹脂にてなるとき、前記押圧部
に光例えは紫外線を照射し、押圧部を現像可能な架橋構
造にする必要がある。
は、樹脂膜２が熱硬化性樹脂にてなるとき、前記押圧に
よって現像可能な状態（非押圧部より被着力が大）にな
るが、樹脂膜２が感光性樹脂にてなるとき、前記押圧部
に光例えは紫外線を照射し、押圧部を現像可能な架橋構
造にする必要がある。
【００２８】ただし、紫外線硬化型樹脂にてなる樹脂膜
２の押圧部を、架橋構造とするのに必要な紫外線強度
は、２０ｍＪ／ｃｍ2 程度であり、通常の紫外線硬化型
樹脂膜に必要な紫外線強度の１／１０〜１／５程度で済
む。
２の押圧部を、架橋構造とするのに必要な紫外線強度
は、２０ｍＪ／ｃｍ2 程度であり、通常の紫外線硬化型
樹脂膜に必要な紫外線強度の１／１０〜１／５程度で済
む。
【００２９】そこで、樹脂膜２を現像即ち樹脂膜２を適
当な溶剤で洗浄すると、図１（ｃ）に示す如く、支持体
１の表面には樹脂パターン５′が形成される。なお、樹
脂膜２が富士ハントエレクトロニクステクノロジ株式会
社製のＣＲ：７００１、ＣＧ：７００１またはＣＢ：７
００１で成膜されたものであるとき、前記溶剤として炭
酸水素ナトリウムを主成分とした無機アルカリ現像液を
使用する。
当な溶剤で洗浄すると、図１（ｃ）に示す如く、支持体
１の表面には樹脂パターン５′が形成される。なお、樹
脂膜２が富士ハントエレクトロニクステクノロジ株式会
社製のＣＲ：７００１、ＣＧ：７００１またはＣＢ：７
００１で成膜されたものであるとき、前記溶剤として炭
酸水素ナトリウムを主成分とした無機アルカリ現像液を
使用する。
【００３０】次いで、樹脂パターン５′の硬化処理を施
す、即ち適当な温度例えば２００℃で所定時間だけ加熱
すると、樹脂パターン５′は完全に硬化して図１（ｄ）
に示す如く、支持体１の表面に樹脂パターン５が完成す
る。
す、即ち適当な温度例えば２００℃で所定時間だけ加熱
すると、樹脂パターン５′は完全に硬化して図１（ｄ）
に示す如く、支持体１の表面に樹脂パターン５が完成す
る。
【００３１】図２（ａ）において、ガラス等にてなる板
状支持体１の表面に、感光性樹脂にてなる樹脂膜９を成
膜する。樹脂膜９は通常の方法、例えばスピンコータま
たはロールコータを使用して均一厚さに成膜し、その厚
さは必要とする膜厚より多少厚く、例えば１．５μｍの
厚さの樹脂膜２が必要なときには、１．８μｍ程度の厚
さに成膜する。
状支持体１の表面に、感光性樹脂にてなる樹脂膜９を成
膜する。樹脂膜９は通常の方法、例えばスピンコータま
たはロールコータを使用して均一厚さに成膜し、その厚
さは必要とする膜厚より多少厚く、例えば１．５μｍの
厚さの樹脂膜２が必要なときには、１．８μｍ程度の厚
さに成膜する。
【００３２】図２（ｂ）において、樹脂膜９に含まれる
溶剤を除去するのに適当な温度、例えば９０℃程度に樹
脂膜９を加熱しながら、下面が平坦かつ透光性を有する
部材１０で樹脂膜９上の所定部を押圧すると共に、部材
１０を通して部材１０押圧部に光線、例えば樹脂膜９が
紫外線硬化型樹脂にてなるときは紫外線ＵＶを照射す
る。
溶剤を除去するのに適当な温度、例えば９０℃程度に樹
脂膜９を加熱しながら、下面が平坦かつ透光性を有する
部材１０で樹脂膜９上の所定部を押圧すると共に、部材
１０を通して部材１０押圧部に光線、例えば樹脂膜９が
紫外線硬化型樹脂にてなるときは紫外線ＵＶを照射す
る。
【００３３】樹脂膜９の加熱方法としては、例えば支持
体１をホットプレート８に搭載して加熱し、樹脂膜９の
押圧部が現像処理に耐えうる架橋構造とする紫外線ＵＶ
は、非押圧部を照射しないように適当なマスク（図示せ
ず）を使用する。
体１をホットプレート８に搭載して加熱し、樹脂膜９の
押圧部が現像処理に耐えうる架橋構造とする紫外線ＵＶ
は、非押圧部を照射しないように適当なマスク（図示せ
ず）を使用する。
【００３４】その結果、紫外線照射で架橋構造となった
樹脂膜９の部材１０押圧部は、深さ０．３μｍ程度の凹
状になり、樹脂膜９全体はホットプレート８等からの加
熱によって、溶剤が除去されて半硬化（プリベーキン
グ）状態となる。
樹脂膜９の部材１０押圧部は、深さ０．３μｍ程度の凹
状になり、樹脂膜９全体はホットプレート８等からの加
熱によって、溶剤が除去されて半硬化（プリベーキン
グ）状態となる。
【００３５】樹脂膜９の押圧部に照射する前記紫外線Ｕ
Ｖの強度は例えば２０ｍＪ／ｃｍ2程度であり、この値
は、通常時即ち部材１０による押圧なしで、樹脂膜９を
現像に耐える架橋構造とするのに必要な紫外線強度（１
００〜２００ｍＪ／ｃｍ2 ）の、１／１０〜１／５であ
る。
Ｖの強度は例えば２０ｍＪ／ｃｍ2程度であり、この値
は、通常時即ち部材１０による押圧なしで、樹脂膜９を
現像に耐える架橋構造とするのに必要な紫外線強度（１
００〜２００ｍＪ／ｃｍ2 ）の、１／１０〜１／５であ
る。
【００３６】次いで、樹脂膜９を現像即ち樹脂膜９を適
当な溶剤で洗浄（現像）すると、図２（ｃ）に示す如
く、支持体１の表面に被着する樹脂パターン５が完成す
る。なお、前記紫外線強度２０ｍＪ／ｃｍ2 は、樹脂膜
９に富士ハントエレクトロニクステクノロジ株式会社製
のＣＲ：７００１、ＣＧ：７００１またはＣＢ：７００
１を使用したときであり、その溶剤（現像液）として
は、炭酸水素ナトリウムを主成分とした無機アルカリ現
像液を使用した。
当な溶剤で洗浄（現像）すると、図２（ｃ）に示す如
く、支持体１の表面に被着する樹脂パターン５が完成す
る。なお、前記紫外線強度２０ｍＪ／ｃｍ2 は、樹脂膜
９に富士ハントエレクトロニクステクノロジ株式会社製
のＣＲ：７００１、ＣＧ：７００１またはＣＢ：７００
１を使用したときであり、その溶剤（現像液）として
は、炭酸水素ナトリウムを主成分とした無機アルカリ現
像液を使用した。
【００３７】図３は本発明の第１の実施例によるカラー
フィルタ基板の製造方法の説明図、図４は本発明の第２
の実施例によるカラーフィルタ基板の製造方法の説明
図、図５は本発明の第３の実施例によるカラーフィルタ
基板の製造方法の説明図である。
フィルタ基板の製造方法の説明図、図４は本発明の第２
の実施例によるカラーフィルタ基板の製造方法の説明
図、図５は本発明の第３の実施例によるカラーフィルタ
基板の製造方法の説明図である。
【００３８】図３（ａ）において、ガラス等にてなりブ
ラックマスク７が形成された板状支持体（基板）１の表
面に、第１の着色樹脂膜、例えば赤色着色剤を紫外線硬
化型樹脂（または紫外線以外の感光性樹脂または熱硬化
型樹脂）に分散させた着色樹脂膜１１を成膜する。
ラックマスク７が形成された板状支持体（基板）１の表
面に、第１の着色樹脂膜、例えば赤色着色剤を紫外線硬
化型樹脂（または紫外線以外の感光性樹脂または熱硬化
型樹脂）に分散させた着色樹脂膜１１を成膜する。
【００３９】ブラックマスク７は、画素間（着色樹脂パ
ターン間）の洩れ光防止、コントラストおよび色純度の
低下防止等のため形成されるものであり、一般に金属ク
ローム膜からパターン形成される。
ターン間）の洩れ光防止、コントラストおよび色純度の
低下防止等のため形成されるものであり、一般に金属ク
ローム膜からパターン形成される。
【００４０】樹脂膜１１の成膜は通常の方法、例えばス
ピンコータまたはロールコータを使用して均一厚さに成
膜し、その厚さは必要とする膜厚より多少厚く、例えば
１．５μｍの厚さの樹脂膜１１が必要なときには、１．
８μｍ程度にする。
ピンコータまたはロールコータを使用して均一厚さに成
膜し、その厚さは必要とする膜厚より多少厚く、例えば
１．５μｍの厚さの樹脂膜１１が必要なときには、１．
８μｍ程度にする。
【００４１】図３（ｂ）において、下面の複数の所定部
に突起１３が形成された押圧平版１２を、適当な押圧力
で樹脂膜１１に押し付ける。その際、樹脂膜１１はその
硬化温度より適当に低く、かつ、樹脂膜１１に含まれる
溶剤を除去するのに適当な温度、例えば樹脂膜１１に赤
色着色剤を紫外線硬化型樹脂に分散させた樹脂（富士ハ
ントエレクトロニクステクノロジ株式会社製のＣＲ：７
００１）を使用したとき、樹脂膜１１の加熱温度は９０
℃程度である。 突起１３の高さは、突起１３の中間部
迄が樹脂膜１１に埋入する程度、例えば数μｍ程度であ
り、樹脂膜１１の前記加熱方法として本実施例では、支
持体１をホットプレート１４に搭載し、支持体１を介し
て樹脂膜１１が加熱されるようにした。
に突起１３が形成された押圧平版１２を、適当な押圧力
で樹脂膜１１に押し付ける。その際、樹脂膜１１はその
硬化温度より適当に低く、かつ、樹脂膜１１に含まれる
溶剤を除去するのに適当な温度、例えば樹脂膜１１に赤
色着色剤を紫外線硬化型樹脂に分散させた樹脂（富士ハ
ントエレクトロニクステクノロジ株式会社製のＣＲ：７
００１）を使用したとき、樹脂膜１１の加熱温度は９０
℃程度である。 突起１３の高さは、突起１３の中間部
迄が樹脂膜１１に埋入する程度、例えば数μｍ程度であ
り、樹脂膜１１の前記加熱方法として本実施例では、支
持体１をホットプレート１４に搭載し、支持体１を介し
て樹脂膜１１が加熱されるようにした。
【００４２】その結果、樹脂膜１１は溶剤が除去されて
半硬化（プリベーキング）状態となり、突起１３による
樹脂膜１１の押圧部１５は、例えば深さ０．３μｍ程度
の凹状に形成され、熱硬化性樹脂にてなる押圧部１５の
支持体１に対する被着力は、その周囲の非押圧部より現
像可能に強くなり、感光性樹脂にてなる押圧部１５は、
選択に適当強度の光例えば２０ｍＪ／ｃｍ2 程度の紫外
線を照射し、現像可能な架橋構造とする。
半硬化（プリベーキング）状態となり、突起１３による
樹脂膜１１の押圧部１５は、例えば深さ０．３μｍ程度
の凹状に形成され、熱硬化性樹脂にてなる押圧部１５の
支持体１に対する被着力は、その周囲の非押圧部より現
像可能に強くなり、感光性樹脂にてなる押圧部１５は、
選択に適当強度の光例えば２０ｍＪ／ｃｍ2 程度の紫外
線を照射し、現像可能な架橋構造とする。
【００４３】図３（ｂ）内において、実線矢印Ｆは平版
１２を樹脂膜１１に向けて押す力、破線矢印Ｈ-1はホッ
トプレート１４からの熱線を示す。また、突起１３はそ
の下面が平坦であり、例えば押圧平版１２本体に対し１
０μｍ程度突出し、かつ、少なくとも突起１３の表面に
は樹脂膜１１が被着しない非親水性膜、例えばシリコン
樹脂膜１６を形成させることが望ましい。
１２を樹脂膜１１に向けて押す力、破線矢印Ｈ-1はホッ
トプレート１４からの熱線を示す。また、突起１３はそ
の下面が平坦であり、例えば押圧平版１２本体に対し１
０μｍ程度突出し、かつ、少なくとも突起１３の表面に
は樹脂膜１１が被着しない非親水性膜、例えばシリコン
樹脂膜１６を形成させることが望ましい。
【００４４】次いで、樹脂膜１１を現像液で洗浄する現
像処理、即ち樹脂膜１１に前記ＣＲ：７００１樹脂を使
用したときには、炭酸水素ナトリウムを主成分とした無
機アルカリ現像液で洗浄すると、図３（ｃ）に示す如
く、樹脂膜１１の非押圧部が除去され、支持体１の表面
には、突起１３により押圧され支持体１の表面に被着し
た押圧部１５が取り残されるようになる。
像処理、即ち樹脂膜１１に前記ＣＲ：７００１樹脂を使
用したときには、炭酸水素ナトリウムを主成分とした無
機アルカリ現像液で洗浄すると、図３（ｃ）に示す如
く、樹脂膜１１の非押圧部が除去され、支持体１の表面
には、突起１３により押圧され支持体１の表面に被着し
た押圧部１５が取り残されるようになる。
【００４５】そこで、取り残された押圧部１５の硬化処
理、即ち樹脂膜１１が完全硬化する温度に加熱すると、
押圧部１５は完全に硬化（ポストベーキング）し、第１
の着色樹脂パターン（赤色樹脂パターン）１８が完成す
る。
理、即ち樹脂膜１１が完全硬化する温度に加熱すると、
押圧部１５は完全に硬化（ポストベーキング）し、第１
の着色樹脂パターン（赤色樹脂パターン）１８が完成す
る。
【００４６】以下、樹脂パターン１８の形成と同様な工
程を経て、第２の着色樹脂パターン１９、例えば緑色着
色剤が分散された樹脂パターン１９を形成し、さらに第
３の着色樹脂パターン２０、例えば青色着色剤が分散さ
れた樹脂パターン２０を順次形成し、図３（ｄ）に示す
カラーフィルタ基板２１が完成する。
程を経て、第２の着色樹脂パターン１９、例えば緑色着
色剤が分散された樹脂パターン１９を形成し、さらに第
３の着色樹脂パターン２０、例えば青色着色剤が分散さ
れた樹脂パターン２０を順次形成し、図３（ｄ）に示す
カラーフィルタ基板２１が完成する。
【００４７】なお、樹脂パターン１８〜２０の形成に際
し、前記ＣＲ：７００１樹脂およびＣＧ：７００１樹脂
とＣＢ：７００１樹脂（何れも富士ハントエレクトロニ
クステクノロジ株式会社製の商品名）を使用したとき、
樹脂を現像に耐えうる架橋構成とするため照射する前記
紫外線の強度は１００〜２００ｍｊ／ｃｍ2 であり、そ
の後の加熱条件は温度で２００℃程度で約１０分程度
（ホットプレート使用時）である。
し、前記ＣＲ：７００１樹脂およびＣＧ：７００１樹脂
とＣＢ：７００１樹脂（何れも富士ハントエレクトロニ
クステクノロジ株式会社製の商品名）を使用したとき、
樹脂を現像に耐えうる架橋構成とするため照射する前記
紫外線の強度は１００〜２００ｍｊ／ｃｍ2 であり、そ
の後の加熱条件は温度で２００℃程度で約１０分程度
（ホットプレート使用時）である。
【００４８】また、樹脂パターン１８〜２０に熱硬化性
樹脂を使用したとき、それらを完全硬化（ポストベーキ
ング）させるには約２００℃に加熱するが、その加熱時
間はホットプレート使用時で１０分程度、オーブン使用
時には１〜２時間程度である。
樹脂を使用したとき、それらを完全硬化（ポストベーキ
ング）させるには約２００℃に加熱するが、その加熱時
間はホットプレート使用時で１０分程度、オーブン使用
時には１〜２時間程度である。
【００４９】図４（ａ）において、ガラス等にてなりブ
ラックマスク７が形成された板状支持体（基板）１の表
面に、第１の着色樹脂膜、例えば赤色着色剤を紫外線硬
化型樹脂（または紫外線以外の感光性樹脂または熱硬化
型樹脂）に分散させた着色樹脂膜１１を、厚さ１．８μ
ｍ程度に前記第１の実施例のそれと同様に成膜する。
ラックマスク７が形成された板状支持体（基板）１の表
面に、第１の着色樹脂膜、例えば赤色着色剤を紫外線硬
化型樹脂（または紫外線以外の感光性樹脂または熱硬化
型樹脂）に分散させた着色樹脂膜１１を、厚さ１．８μ
ｍ程度に前記第１の実施例のそれと同様に成膜する。
【００５０】図４（ｂ）において、下面の複数の所定部
に突起１３が形成された押圧平版１２を、適当な押圧力
Ｆで樹脂膜１１に押し付ける。その際、樹脂膜１１はそ
の硬化温度より適当に低く、かつ、樹脂膜１１に含まれ
る溶剤を除去するのに適当な温度、例えば樹脂膜１１に
赤色着色剤を紫外線硬化型樹脂に分散させた樹脂（富士
ハントエレクトロニクステクノロジ株式会社製のＣＲ：
７００１）を使用したときには、樹脂膜１１を９０℃程
度に、上下両方向から加熱した状態で行なう。
に突起１３が形成された押圧平版１２を、適当な押圧力
Ｆで樹脂膜１１に押し付ける。その際、樹脂膜１１はそ
の硬化温度より適当に低く、かつ、樹脂膜１１に含まれ
る溶剤を除去するのに適当な温度、例えば樹脂膜１１に
赤色着色剤を紫外線硬化型樹脂に分散させた樹脂（富士
ハントエレクトロニクステクノロジ株式会社製のＣＲ：
７００１）を使用したときには、樹脂膜１１を９０℃程
度に、上下両方向から加熱した状態で行なう。
【００５１】樹脂膜１１の前記加熱方法として本実施例
では、支持体１をホットプレート１４に搭載し、支持体
１を介して樹脂膜１１が下方から加熱されるようにする
と共に、押圧平版１２を介して、即ち押圧平版１２にヒ
ーターを内蔵せしめる等によって、樹脂膜１１を上方か
らも加熱する。
では、支持体１をホットプレート１４に搭載し、支持体
１を介して樹脂膜１１が下方から加熱されるようにする
と共に、押圧平版１２を介して、即ち押圧平版１２にヒ
ーターを内蔵せしめる等によって、樹脂膜１１を上方か
らも加熱する。
【００５２】その結果、樹脂膜１１は溶剤が除去されて
半硬化（プリベーキング）状態となり、突起１３による
樹脂膜１１の押圧部１５は、例えば深さ０．３μｍ程度
の凹状に形成され、熱硬化性樹脂にてなり非押圧部より
強い押圧部１５の支持体１に対する被着力は、図３を用
いて説明した実施例より強固になる。
半硬化（プリベーキング）状態となり、突起１３による
樹脂膜１１の押圧部１５は、例えば深さ０．３μｍ程度
の凹状に形成され、熱硬化性樹脂にてなり非押圧部より
強い押圧部１５の支持体１に対する被着力は、図３を用
いて説明した実施例より強固になる。
【００５３】ただし、樹脂膜１１が感光性樹脂にてなる
とき、押圧部１５にはマスクを使用して選択に適当強度
の光、例えば２０ｍＪ／ｃｍ2 程度の紫外線を照射し、
押圧部１５のみを現像可能な架橋構造とする。
とき、押圧部１５にはマスクを使用して選択に適当強度
の光、例えば２０ｍＪ／ｃｍ2 程度の紫外線を照射し、
押圧部１５のみを現像可能な架橋構造とする。
【００５４】その結果、樹脂膜１１は溶剤が除去されて
半硬化（プリベーキング）状態となり、突起１３による
樹脂膜１１の押圧部１５は、例えば深さ０．３μｍ程度
の凹状に形成され、かつ、現像可能状態になる。
半硬化（プリベーキング）状態となり、突起１３による
樹脂膜１１の押圧部１５は、例えば深さ０．３μｍ程度
の凹状に形成され、かつ、現像可能状態になる。
【００５５】図４（ｂ）内において、破線矢印Ｈ-1はホ
ットプレート１４からの熱線、破線矢印Ｈ-2は押圧平版
１２を介して樹脂膜１１を加熱する熱線であり、突起１
３の表面には樹脂膜１１が被着しないシリコン樹脂膜１
６を形成してある。
ットプレート１４からの熱線、破線矢印Ｈ-2は押圧平版
１２を介して樹脂膜１１を加熱する熱線であり、突起１
３の表面には樹脂膜１１が被着しないシリコン樹脂膜１
６を形成してある。
【００５６】そこで、樹脂膜１１を現像液で洗浄する現
像処理、即ち樹脂膜１１に前記ＣＲ：７００１樹脂を使
用したときには、炭酸水素ナトリウムを主成分とした無
機アルカリ現像液で洗浄すると、支持体１の表面には押
圧部１５が取り残されるようになり、前記第１の実施例
において説明した方法と同一方法で、押圧部１５の硬化
処理を施すと図４（ｃ）に示す如く、支持体１の表面に
第１の着色樹脂パターン（赤色樹脂パターン）１８が完
成する。
像処理、即ち樹脂膜１１に前記ＣＲ：７００１樹脂を使
用したときには、炭酸水素ナトリウムを主成分とした無
機アルカリ現像液で洗浄すると、支持体１の表面には押
圧部１５が取り残されるようになり、前記第１の実施例
において説明した方法と同一方法で、押圧部１５の硬化
処理を施すと図４（ｃ）に示す如く、支持体１の表面に
第１の着色樹脂パターン（赤色樹脂パターン）１８が完
成する。
【００５７】次いで、樹脂パターン１８の形成と同様な
工程を経て、第２の着色樹脂パターン１９、例えば緑色
着色剤が分散された樹脂パターン１９を形成し、さらに
第３の着色樹脂パターン２０、例えば青色着色剤が分散
された樹脂パターン２０を順次形成し、図４（ｄ）に示
すカラーフィルタ基板２１が完成する。
工程を経て、第２の着色樹脂パターン１９、例えば緑色
着色剤が分散された樹脂パターン１９を形成し、さらに
第３の着色樹脂パターン２０、例えば青色着色剤が分散
された樹脂パターン２０を順次形成し、図４（ｄ）に示
すカラーフィルタ基板２１が完成する。
【００５８】図５（ａ）において、ガラス等にてなりブ
ラックマスク７が形成された板状支持体（基板）１の表
面に、第１の着色樹脂膜、例えば赤色着色剤を感光性樹
脂の一種である紫外線硬化型樹脂に分散させた着色樹脂
膜３１を成膜する。
ラックマスク７が形成された板状支持体（基板）１の表
面に、第１の着色樹脂膜、例えば赤色着色剤を感光性樹
脂の一種である紫外線硬化型樹脂に分散させた着色樹脂
膜３１を成膜する。
【００５９】樹脂膜３１の成膜は通常の方法、例えばス
ピンコータまたはロールコータを使用して均一厚さに成
膜し、その厚さは必要とする膜厚より多少厚く、例えば
１．５μｍの厚さの樹脂膜３１が必要なときには、１．
８μｍ程度にする。
ピンコータまたはロールコータを使用して均一厚さに成
膜し、その厚さは必要とする膜厚より多少厚く、例えば
１．５μｍの厚さの樹脂膜３１が必要なときには、１．
８μｍ程度にする。
【００６０】図５（ｂ）において、下面の複数の所定部
に突起１３が形成され透光性材料、例えばガラスにてな
る押圧平版３２を、適当な押圧力Ｆで樹脂膜３１に押し
付け、樹脂膜３１に押圧部３５を形成させる。
に突起１３が形成され透光性材料、例えばガラスにてな
る押圧平版３２を、適当な押圧力Ｆで樹脂膜３１に押し
付け、樹脂膜３１に押圧部３５を形成させる。
【００６１】押圧平版３２の下面は、突起１３形成部を
除いて遮光膜３６が形成されており、樹脂膜３１は樹脂
膜３１に含まれる溶剤を除去するのに適当な温度、例え
ば樹脂膜３１に赤色着色剤を紫外線硬化型樹脂（富士ハ
ントエレクトロニクステクノロジ株式会社製のＣＲ：７
００１）を使用したときには、樹脂膜３１が９０℃程度
になるように、例えばホットプレート１４に支持体１を
搭載し、支持体１を介して樹脂膜３１を加熱する共に、
押圧部３５には押圧平版３２を透過し、押圧部３５を架
橋構造にする紫外線ＵＶを照射する。
除いて遮光膜３６が形成されており、樹脂膜３１は樹脂
膜３１に含まれる溶剤を除去するのに適当な温度、例え
ば樹脂膜３１に赤色着色剤を紫外線硬化型樹脂（富士ハ
ントエレクトロニクステクノロジ株式会社製のＣＲ：７
００１）を使用したときには、樹脂膜３１が９０℃程度
になるように、例えばホットプレート１４に支持体１を
搭載し、支持体１を介して樹脂膜３１を加熱する共に、
押圧部３５には押圧平版３２を透過し、押圧部３５を架
橋構造にする紫外線ＵＶを照射する。
【００６２】紫外線ＵＶの強度は、通常時における強度
の１／５程度、即ち押圧力Ｆを印加しない樹脂膜３１を
架橋構造とするのに必要な紫外線強度が、１００〜２０
０ｍｊ／ｃｍ2 であるのに対し、本実施例における紫外
線ＵＶの強度は２０ｍｊ／ｃｍ2 で済むようになる。
の１／５程度、即ち押圧力Ｆを印加しない樹脂膜３１を
架橋構造とするのに必要な紫外線強度が、１００〜２０
０ｍｊ／ｃｍ2 であるのに対し、本実施例における紫外
線ＵＶの強度は２０ｍｊ／ｃｍ2 で済むようになる。
【００６３】その結果、押圧部３５は例えば深さ３μｍ
程度の凹状となって硬化し、かつ支持体１に対する押圧
部３５の被着力は、その周囲の非押圧部より強くなる。
なお、押圧平版３２の突起１３の表面は、前出の押圧平
版１２のそれと同じく、樹脂膜３１の被着を防止する非
親水性膜、例えばシリコン樹脂膜１６を被着させること
が望ましい。
程度の凹状となって硬化し、かつ支持体１に対する押圧
部３５の被着力は、その周囲の非押圧部より強くなる。
なお、押圧平版３２の突起１３の表面は、前出の押圧平
版１２のそれと同じく、樹脂膜３１の被着を防止する非
親水性膜、例えばシリコン樹脂膜１６を被着させること
が望ましい。
【００６４】次いで、樹脂膜３１を現像液で洗浄する現
像処理、即ち樹脂膜３１に前記ＣＲ：７００１を使用し
たときには、炭酸水素ナトリウムを主成分とした無機ア
ルカリ現像液で洗浄すると、図５（ｃ）に示す如く、支
持体１１の表面には、押圧部３５が硬化し取り残された
赤色樹脂パターン１８が形成されるようになる。
像処理、即ち樹脂膜３１に前記ＣＲ：７００１を使用し
たときには、炭酸水素ナトリウムを主成分とした無機ア
ルカリ現像液で洗浄すると、図５（ｃ）に示す如く、支
持体１１の表面には、押圧部３５が硬化し取り残された
赤色樹脂パターン１８が形成されるようになる。
【００６５】以下樹脂パターン１８と同様に第２の樹脂
パターン１９、例えば緑色着色剤が分散された樹脂パタ
ーン１９を形成し、さらに第３の樹脂パターン２０、例
えば青色着色剤が分散された樹脂パターン２０を順次形
成し、図５（ｄ）に示すカラーフィルタ基板２１が完成
する。
パターン１９、例えば緑色着色剤が分散された樹脂パタ
ーン１９を形成し、さらに第３の樹脂パターン２０、例
えば青色着色剤が分散された樹脂パターン２０を順次形
成し、図５（ｄ）に示すカラーフィルタ基板２１が完成
する。
【００６６】なお、図５（ｂ）において、実線矢印Ｆは
押圧平版３２を樹脂膜３１に押し込む力、破線矢印Ｈ-1
はホットプレート１４からの熱線、一点鎖線ＵＶは押圧
平版３２を透過して押圧部３５に照射する紫外線であ
る。
押圧平版３２を樹脂膜３１に押し込む力、破線矢印Ｈ-1
はホットプレート１４からの熱線、一点鎖線ＵＶは押圧
平版３２を透過して押圧部３５に照射する紫外線であ
る。
【００６７】図６は本発明の第４の実施例に使用する樹
脂膜押圧用円筒版の説明図、図７は本発明の第５の実施
例に使用する樹脂膜押圧用円筒版の説明図である。図
３、４または５を使用し説明した前記実施例では、複数
の突起１３を設けた押圧平版１２または３２を利用して
いる。かかる押圧平版１２または３２は、樹脂膜に対し
複数の所定部を同時に押圧可能にする利点があるが、本
発明の第４または第５の実施例では、押圧平版１２また
は３２に代えて押圧円筒版を使用する。
脂膜押圧用円筒版の説明図、図７は本発明の第５の実施
例に使用する樹脂膜押圧用円筒版の説明図である。図
３、４または５を使用し説明した前記実施例では、複数
の突起１３を設けた押圧平版１２または３２を利用して
いる。かかる押圧平版１２または３２は、樹脂膜に対し
複数の所定部を同時に押圧可能にする利点があるが、本
発明の第４または第５の実施例では、押圧平版１２また
は３２に代えて押圧円筒版を使用する。
【００６８】図６において、押圧平版１２に代えて使用
する押圧円筒版４１は、回転可能な円筒面の複数の所定
個所に突起４２が形成され、かつ、軸心を水平に支持し
た状態で円筒面が上下動可能に、図示しない押圧装置に
装着され使用する。
する押圧円筒版４１は、回転可能な円筒面の複数の所定
個所に突起４２が形成され、かつ、軸心を水平に支持し
た状態で円筒面が上下動可能に、図示しない押圧装置に
装着され使用する。
【００６９】押圧平版１２の突起１３に相当する複数の
突起４２の先端面は、円筒版母体４４の軸心に対し適当
に大径の円筒面の一部であり、突起４２の表面は非親水
性膜（図示せず）で被覆してある。
突起４２の先端面は、円筒版母体４４の軸心に対し適当
に大径の円筒面の一部であり、突起４２の表面は非親水
性膜（図示せず）で被覆してある。
【００７０】突起４２を樹脂膜１１に押圧するには図６
（ｂ）に示す如く、支持体１を搭載し固定したホットプ
レート１４を、所定速度で所定方向（図の左方向）に移
動させると共に、円筒版４１を所定速度で左方向に回転
させる。
（ｂ）に示す如く、支持体１を搭載し固定したホットプ
レート１４を、所定速度で所定方向（図の左方向）に移
動させると共に、円筒版４１を所定速度で左方向に回転
させる。
【００７１】その結果、樹脂膜１１の所定部は図の左側
から順次突起４２に押圧され、その押圧部は、支持体１
をホットプレート１４で所定温度に加熱することとあい
まって、支持体１に被着されるようになる。
から順次突起４２に押圧され、その押圧部は、支持体１
をホットプレート１４で所定温度に加熱することとあい
まって、支持体１に被着されるようになる。
【００７２】以下、図３を用いた第１の実施例および図
４を用いた第１の実施例における樹脂膜１１の現像とそ
の現像によって支持体１に残置する樹脂パターンの硬化
工程によって、第１の樹脂パターン１８が形成（図３お
よび図４参照）され、その樹脂パターン１８と同様に、
第２の樹脂パターン１９と第３の樹脂パターン２０を形
成し、図３（ｄ）または図４（ｄ）に示すカラーフィル
タ基板２１が完成する。
４を用いた第１の実施例における樹脂膜１１の現像とそ
の現像によって支持体１に残置する樹脂パターンの硬化
工程によって、第１の樹脂パターン１８が形成（図３お
よび図４参照）され、その樹脂パターン１８と同様に、
第２の樹脂パターン１９と第３の樹脂パターン２０を形
成し、図３（ｄ）または図４（ｄ）に示すカラーフィル
タ基板２１が完成する。
【００７３】図７において、押圧平版３２に代えて使用
するため透光材料にてなる押圧円筒版４５は、回転可能
な円筒面の複数の所定個所に突起４２が形成され、か
つ、軸心を水平に支持した状態で円筒面が上下動可能
に、図示しない押圧装置に装着され使用する。
するため透光材料にてなる押圧円筒版４５は、回転可能
な円筒面の複数の所定個所に突起４２が形成され、か
つ、軸心を水平に支持した状態で円筒面が上下動可能
に、図示しない押圧装置に装着され使用する。
【００７４】押圧平版３２の突起１３に相当する複数の
突起４２の先端面は、円筒版母体４４の軸心に対し適当
に大径の円筒面の一部であり、突起４２の表面は、紫外
線の透過を妨げない非親水性膜（図示せず）で被覆し、
突起４２が形成されない表面には、遮光膜４３が形成し
てある。
突起４２の先端面は、円筒版母体４４の軸心に対し適当
に大径の円筒面の一部であり、突起４２の表面は、紫外
線の透過を妨げない非親水性膜（図示せず）で被覆し、
突起４２が形成されない表面には、遮光膜４３が形成し
てある。
【００７５】突起４２を紫外線硬化型樹脂にてなる樹脂
膜３１に押圧するには、図７（ｂ）に示す如く、支持体
１を搭載し固定したホットプレート１４を、所定速度で
所定方向（図の左方向）に移動させると共に、紫外線源
（または紫外線源からの光学系）４６および円筒マスク
４７を内蔵した円筒版４５を、所定速度で左方向に回転
させる。
膜３１に押圧するには、図７（ｂ）に示す如く、支持体
１を搭載し固定したホットプレート１４を、所定速度で
所定方向（図の左方向）に移動させると共に、紫外線源
（または紫外線源からの光学系）４６および円筒マスク
４７を内蔵した円筒版４５を、所定速度で左方向に回転
させる。
【００７６】円筒マスク４７は下部に紫外線照射用の窓
４８があけられている。そして、樹脂膜３１の所定部は
図の左側から順次突起４２に押圧され、その押圧部は、
支持体１をホットプレート１４で所定温度に加熱される
と共に、紫外線が照射され架橋構造になる。
４８があけられている。そして、樹脂膜３１の所定部は
図の左側から順次突起４２に押圧され、その押圧部は、
支持体１をホットプレート１４で所定温度に加熱される
と共に、紫外線が照射され架橋構造になる。
【００７７】以下、図５を用いた第３の実施例における
樹脂膜３１の現像工程によって、第１の樹脂パターン１
８が形成（図５参照）され、その樹脂パターン１８と同
様に、第２の樹脂パターン１９と第３の樹脂パターン２
０を形成し、図５（ｄ）またに示すカラーフィルタ基板
２１が完成する。
樹脂膜３１の現像工程によって、第１の樹脂パターン１
８が形成（図５参照）され、その樹脂パターン１８と同
様に、第２の樹脂パターン１９と第３の樹脂パターン２
０を形成し、図５（ｄ）またに示すカラーフィルタ基板
２１が完成する。
【００７８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による樹脂
パターンの形成方法およびカラーフィルタ基板の製造方
法は、フォトリソグラフィー技術を必要としないため、
従来の着色剤分散法および染色法より形成または製造が
容易である。
パターンの形成方法およびカラーフィルタ基板の製造方
法は、フォトリソグラフィー技術を必要としないため、
従来の着色剤分散法および染色法より形成または製造が
容易である。
【００７９】さらに、本発明による樹脂パターンの形成
方法およびカラーフィルタ基板の製造方法を、従来の印
刷法および電着法と対比させたとき、印刷法のインク転
写時の糸引きが生じないないためパターン精度および信
頼性に優れ、電着法における煩雑な電着液の管理を必要
としない。
方法およびカラーフィルタ基板の製造方法を、従来の印
刷法および電着法と対比させたとき、印刷法のインク転
写時の糸引きが生じないないためパターン精度および信
頼性に優れ、電着法における煩雑な電着液の管理を必要
としない。
【００８０】従って、本発明による樹脂パターンの形成
方法およびカラーフィルタ基板の製造方法は、従来の着
色剤分散法および染色法における精度と信頼性を確保
し、かつ、従来の着色剤分散法および染色法より安価な
製品を提供可能にする。
方法およびカラーフィルタ基板の製造方法は、従来の着
色剤分散法および染色法における精度と信頼性を確保
し、かつ、従来の着色剤分散法および染色法より安価な
製品を提供可能にする。
【図１】 本発明の第１の実施例による樹脂パターン形
成方法の説明図
成方法の説明図
【図２】 本発明の第２の実施例による樹脂パターン形
成方法の説明図
成方法の説明図
【図３】 本発明の第１の実施例によるカラーフィルタ
基板の製造方法の説明図
基板の製造方法の説明図
【図４】 本発明の第２の実施例によるカラーフィルタ
基板の製造方法の説明図
基板の製造方法の説明図
【図５】 本発明の第３の実施例によるカラーフィルタ
基板の製造方法の説明図
基板の製造方法の説明図
【図６】 本発明の第４の実施例に使用する樹脂膜押圧
用円筒版の説明図
用円筒版の説明図
【図７】 本発明の第５の実施例に使用する樹脂膜押圧
用円筒版の説明図
用円筒版の説明図
１ 支持体 ２，９，１１，３１ 樹脂膜 ３ 樹脂膜押圧部材 ４，１５ 樹脂膜の押圧部 ５，１８，１９，２０ 樹脂パターン ５′ 硬化前の樹脂パターン ８，１４ ホットプレート １２，３２ 押圧平版 ２１ カラーフィルタ基板 ４１，４５ 押圧円筒版 Ｆ 押圧力 Ｈ-1，Ｈ-2 熱線 ＵＶ 紫外線
Claims (9)
- 【請求項１】 支持体の表面に感光性樹脂または熱硬化
性樹脂の樹脂膜を形成させる成膜工程と、 該樹脂の溶剤を除去する温度に該樹脂膜を加熱しながら
選択的に押圧し、その押圧部を該支持体に被着させる被
着工程と、 該樹脂膜の非押圧部を除去する現像工程と、 該支持体に被着する該樹脂膜の押圧部を硬化させる硬化
工程を含むこと、 を特徴とする樹脂パターンの形成方法。 - 【請求項２】 支持体の表面に感光性樹脂の樹脂膜を形
成させる成膜工程と、 該樹脂の溶剤を除去する温度に該樹脂膜を加熱しながら
選択的に押圧すると共に、その押圧部に該樹脂膜が感光
する光を選択的に照射する押圧露光工程と、 該樹脂膜の非押圧部を除去する現像工程と、 該支持体に被着する該樹脂膜の押圧部を硬化させる硬化
工程を含むこと、 を特徴とする樹脂パターンの形成方法。 - 【請求項３】 前記感光性樹脂が紫外線硬化型樹脂であ
り、前記光が紫外線であること、 を特徴とする請求項２記載の樹脂パターンの形成方法。 - 【請求項４】 第１の着色剤を感光性樹脂または熱硬化
性樹脂に分散させた第１の着色樹脂にてなる第１の着色
樹脂膜を支持体の表面に形成させる第１の成膜工程と、 該第１の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する温度に、該第
１の着色樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧し、その押
圧部を該支持体に被着させる第１の被着工程と、 該第１の着色樹脂膜の非押圧部を除去する第１の現像工
程と、 該支持体に被着する該第１の着色樹脂膜の押圧部を硬化
させる第１の硬化工程と、 第２の着色剤を感光性樹脂または熱硬化性樹脂に分散さ
せた第２の着色樹脂にてなる第２の着色樹脂膜を、該支
持体の表面に形成させる第２の成膜工程と、 該第２の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する温度に該第２
の着色樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧し、その押圧
部を該支持体に被着させる第２の被着工程と、 該第２の着色樹脂膜の非押圧部を除去する第２の現像工
程と、 該支持体に被着する該第２の着色樹脂膜の押圧部を硬化
させる第２の硬化工程と、 第３の着色剤を感光性樹脂または熱硬化性樹脂に分散さ
せた第３の着色樹脂にてなる第３の着色樹脂膜を、該支
持体の表面に形成させる第３の成膜工程と、 該第３の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する温度に該第３
の着色樹脂膜を加熱しながら選択的に押圧し、その押圧
部を該支持体に被着させる第３の被着工程と、 該第３の着色樹脂膜の非押圧部を除去する第３の現像工
程と、 該支持体に被着する該第３の着色樹脂膜の押圧部を硬化
させる第３の硬化工程とを含むこと、 を特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。 - 【請求項５】 第１の着色剤を感光性樹脂に分散させた
第１の着色樹脂にてなる第１の着色樹脂膜を、支持体の
表面に形成させる第１の成膜工程と、 該第１の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する温度に該第１
の着色樹脂膜を加熱しながら、選択的に押圧すると共
に、その押圧部に該第１の着色樹脂膜が感光する光を選
択的に照射する第１の押圧露光工程と、 該第１の着色樹脂膜の非押圧部を除去し第１の樹脂パタ
ーンを形成させる第１の現像工程と、 該第１の樹脂パターンを硬化させる第１の硬化工程と、 第２の着色剤を感光性樹脂に分散させた第２の着色樹脂
にてなる第２の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成さ
せる第２の成膜工程と、 該第２の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する温度に該第２
の着色樹脂膜を加熱しながら、選択的に押圧すると共
に、その押圧部に該第２の着色樹脂膜が感光する光を選
択的に照射する第２の押圧露光工程と、 該第２の着色樹脂膜の非押圧部を除去し第２の樹脂パタ
ーンを形成させる第２の現像工程と、 該第２の樹脂パターンを硬化させる第２の硬化工程と、 第３の着色剤を感光性樹脂に分散させた第３の着色樹脂
にてなる第３の着色樹脂膜を、該支持体の表面に形成さ
せる第３の成膜工程と、 該第３の着色樹脂膜に含む溶剤を除去する温度に該第３
の着色樹脂膜を加熱しながら、選択的に押圧すると共
に、その押圧部に該第３の着色樹脂膜が感光する光を選
択的に照射する第３の押圧露光工程と、 該第３の着色樹脂膜の非押圧部を除去し第３の樹脂パタ
ーンを形成させる第３の現像工程と、 該第３の樹脂パターンを硬化させる第３の硬化工程とを
含むこと、 を特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。 - 【請求項６】 前記第１、第２および第３の着色樹脂膜
を選択的に押圧するのに際し、平板の複数の所定部に先
端が平坦な複数の突起を形成した押圧平版を使用するこ
と、 を特徴とする請求項４または５記載のカラーフィルタ基
板の製造方法。 - 【請求項７】 前記第１、第２および第３の着色樹脂膜
を選択的に押圧するのに際し、円筒面の複数の所定部に
突起が突出し、該突起の先端面が該円筒面と同心かつ大
径の円筒面の一部である押圧円筒版を使用すること、 を特徴とする請求項４または５記載のカラーフィルタ基
板の製造方法。 - 【請求項８】 前記感光性樹脂が紫外線硬化性樹脂であ
り、前記光が紫外線であること、 を特徴とする請求項４または５記載のカラーフィルタ基
板の製造方法。 - 【請求項９】 前記押圧平版または押圧円筒版を前記溶
剤除去温度に加熱し、前記第１、第２および第３の着色
樹脂膜の所定部を押圧すること、 を特徴とする請求項７または８記載のカラーフィルタ基
板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5470796A JPH09243817A (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 樹脂パターンの形成方法とカラーフィルタ基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5470796A JPH09243817A (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 樹脂パターンの形成方法とカラーフィルタ基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243817A true JPH09243817A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=12978281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5470796A Withdrawn JPH09243817A (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 樹脂パターンの形成方法とカラーフィルタ基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09243817A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000264000A (ja) * | 1999-03-15 | 2000-09-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 変色性蒸着媒体とその製造方法 |
| US7698999B2 (en) | 2004-03-04 | 2010-04-20 | Asml Netherlands B.V. | Printing apparatus and device manufacturing method |
-
1996
- 1996-03-12 JP JP5470796A patent/JPH09243817A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000264000A (ja) * | 1999-03-15 | 2000-09-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 変色性蒸着媒体とその製造方法 |
| US7698999B2 (en) | 2004-03-04 | 2010-04-20 | Asml Netherlands B.V. | Printing apparatus and device manufacturing method |
| US7730834B2 (en) | 2004-03-04 | 2010-06-08 | Asml Netherlands B.V. | Printing apparatus and device manufacturing method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |