JPH09243982A - 基板貼り合わせ装置および液晶セルの製造方法 - Google Patents

基板貼り合わせ装置および液晶セルの製造方法

Info

Publication number
JPH09243982A
JPH09243982A JP5573296A JP5573296A JPH09243982A JP H09243982 A JPH09243982 A JP H09243982A JP 5573296 A JP5573296 A JP 5573296A JP 5573296 A JP5573296 A JP 5573296A JP H09243982 A JPH09243982 A JP H09243982A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
transparent substrate
grooves
substrate
pedestal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5573296A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Oka
仁志 岡
Fumiaki Emoto
文昭 江本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electronics Corp filed Critical Matsushita Electronics Corp
Priority to JP5573296A priority Critical patent/JPH09243982A/ja
Publication of JPH09243982A publication Critical patent/JPH09243982A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 透明基板間の間隙の均一性が高い液晶セルを
再現性よく作製できる基板貼り合わせ装置、及び液晶セ
ルの製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 貼り合わせ装置の下側台座2と下側透明
基板14の間に欠けの破片が落ち込むように格子状の溝
12を下側台座2の上に形成する。また、台座1,2の
表面の外形を透明基板13,14の表面の外形より大き
くし、かつ、台座1,2に形成した吸着溝11と透明基
板2上に形成したシール樹脂15とが両者とも上下、左
右に対称な線対称となるようにロの字型にし、貼り合わ
せ前後でシール樹脂領域全部が吸着溝領域の真上や真下
に存在しないようにシール樹脂と吸着溝の形状を同一と
しない。これにより欠けの破片を挟むことに起因する局
所的に凹んだ液晶セルの発生を抑制し、かつ、シール樹
脂にかかる押圧を均等にして間隙の均一性が高い液晶セ
ルを再現性よく実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶を用いた平板型
画像表示装置の製造に使用する基板貼り合わせ装置と、
この装置を用いた液晶セルの製造方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置は、薄型、軽量ディスプレ
イの主流として、ノート型パソコン、携帯型テレビ、車
載用ナビゲーターなどの各種表示装置に使用されてい
る。また、液晶表示装置はビデオカメラ用ビューファイ
ンダーのような小型高精細表示にも応用され、このよう
な小型高精細表示を特徴とする液晶表示装置は投射型デ
ィスプレイ用にも展開しつつある。
【0003】液晶表示装置は透明な電極配線回路が形成
された2枚のガラス基板を間隙(以後セルギャップと記
す)を設けて平行に貼り合わせて液晶セルを形成し、そ
のセルギャップ中に液晶を充填した構造をしている。特
に、小型高精細表示に適用する液晶表示装置では、2枚
のガラス基板間のセルギャップの均一性をいかに制御で
きるかが表示品質、とりわけ画面の明るさの均一性に対
して重要である。セルギャップの均一性は2枚のガラス
基板の貼り合わせ工程で決定される。
【0004】以下に、従来の基板貼り合わせ装置の構造
と、従来の液晶セルを製造するときの貼り合わせ工程に
ついて図面を参照して説明する。
【0005】図4は従来の基板貼り合わせ装置の構成
図、図5は基板貼り合わせ装置の下側台座部分を上から
見た図、および図6は基板貼り合わせ装置で液晶セルを
作製しているときの貼り合わせ部分の断面を説明する図
であって、図6(a)は図5のA−A′線に沿った貼り
合わせ部分断面図、図6(b)は図5のB−B′線に沿
った貼り合わせ部分断面図、図6(c)は図5のC−
C′線に沿った貼り合わせ部分断面図である。図4〜図
6において、201はステンレス鋼、石英などからなる
透明基板用の上側台座、202はステンレス鋼などから
なる透明基板用の下側台座、203は透明基板を台座に
設置するための搬送機構、204は真空配管、205は
下側台座を動かすプレス機構、206は下側台座202
を位置規正するための軸受、207は真空ポンプ、20
8は真空度調節用のレギュレータ、209は装置の土
台、210は液晶セル、211は各透明基板を各台座に
真空吸着するための吸着固定用のロの字型の吸着溝、2
12はガラスなどからなる上側透明基板、213はガラ
スなどからなる下側透明基板、214はセルギャップの
間隔を決定するためのスペーサーを混合したシール樹脂
で、上側もしくは下側いずれかの透明基板上に形成され
ている。基板貼り合わせ装置の貼り合わせ部分は鏡面加
工された台座201,202からなり、液晶セル210
は2枚の透明基板212,213とスペーサーを混合し
たシール樹脂214から形成される。
【0006】次に、従来の基板貼り合わせ装置を用いた
液晶セルの作製手順を説明する。まず、搬送機構203
によって、各台座201,202にガラスなどからなる
各透明基板212,213を所定位置に設置する。設置
された透明基板はロの字型の吸着溝211の作用により
台座に真空吸着される。次に、プレス機構205により
台座201,202を近接させて2枚の透明基板21
2,213を押圧して貼り合わせる。最後に、台座20
1,202が元の位置に戻り、台座から液晶セル210
を排出する。なお、上記貼り合わせにおいて、台座上の
吸着溝211は透明基板の輪郭を基準として、端部から
ある決まった距離だけ内側の位置に形成していた。その
理由は、透明基板の形状に合わせて真空吸着することに
より、透明基板設置時に発生する基板の落下、基板の位
置ずれを防ぐことができるためである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板貼り合わせ装置では、セルギャップの均一性、再現
性が得られないという課題が発生する。その原因は4つ
あり、1つの原因は、下側台座202の輪郭と下側透明
基板213の輪郭の位置関係にある。すなわち下側台座
202の輪郭が下側透明基板213の輪郭の内側にある
場合、この構成で貼り合わせをすると、図8に示すよう
に、透明基板上に形成されたシール樹脂214全体に均
等に押圧がかからず、しかも下側台座202からの押圧
により下側透明基板213が反るため、セルギャップの
均一でない、凹んだ液晶セル210が作製される。2つ
めは、図7に示すように、各透明基板の端は欠けやす
く、台座に透明基板を設置する以前の工程で欠けが発生
して、この欠けの破片308が透明基板の台座に接触す
る側に付着することがある。貼り合わせのとき、この欠
けの破片308が台座202と透明基板213の間に挟
まることにより(以下、ガラス欠け踏みという)、欠け
の破片の存在する部分を中心として局所的に凹んだ液晶
セル210が作製される。このガラス欠け踏みの問題に
より液晶セルの生産性と歩留まりに悪影響を与えるため
使用できない。3つめは、台座に形成した吸着溝211
とシール樹脂214との距離が各辺に対して均等でな
い、例えば、図6(c)に示すように、ある辺では吸着
溝211の上にシール樹脂214が形成されているのに
別の辺では吸着溝の外側にシール樹脂が形成されている
場合に、貼り合わせ時に台座からシール樹脂に対して均
等に押圧がかからず、セルギャップの高低差が大きくな
り、これが表示品質に悪い影響を及ぼすことである。4
つめは、例えば図9のように、シール樹脂214が台座
に形成した吸着溝211と同一形状で、全部吸着溝21
1の上にある構成の場合には、シール樹脂に対して直接
に押圧がかからないため、シール樹脂にかかる圧力が不
十分なことに起因する、セルギャップの絶対値が設計値
より大きい液晶セルが形成され、液晶表示装置の画質が
低下する。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明の基板貼り合わせ装置は、ガラス欠け踏み対
策のため、欠けの破片を挟む確率の高い台座上の領域に
格子状の溝を形成したことである。また台座の輪郭を透
明基板の輪郭の外側にし、かつ、貼り合わせ前後でシー
ル樹脂の全部が吸着溝の真上や真下に存在しない形状に
し、さらに、吸着溝とシール樹脂との形状が線対称な相
似形であるものである。また本発明の液晶セルの製造方
法は、吸着溝に透明基板に形成されたシール樹脂を線対
称となる位置に合わせるものである。
【0009】本発明によれば、上記ガラス欠け踏みに起
因する、局所的に凹んだ液晶セルの発生を抑制し、か
つ、セルギャップの均一性が高い液晶セルを再現性よく
作製することのできる基板貼り合わせ装置、及び液晶セ
ルの製造方法を得ることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、2枚の透明基板を上側と下側の台座にそれぞれ吸着
溝により真空吸着し、上側と下側の前記台座どうしを近
接させて2枚の前記透明基板を押圧することにより、2
枚の前記透明基板を基板面に対してシール樹脂を挟んで
間隙を設けて平行に貼り合わせる装置において、前記透
明基板を設置する前記台座の少なくとも一方に格子状の
溝を有するものであり、欠けの破片が格子状の溝に入る
ことによって、台座と透明基板の間に欠けの破片が挟ま
る確率を減少させる作用を有する。
【0011】請求項2に記載の発明は、格子状の溝を透
明電極を真空吸着する吸着溝の内側にするものであり、
これにより吸着溝の輪郭が明らかになって透明基板に形
成されたシール樹脂と吸着溝との合わせが容易となる。
【0012】請求項3に記載の発明は、格子状の溝の深
さが吸着溝の深さより浅いものであり、これにより格子
状の溝の形成が容易となる。
【0013】請求項4に記載の発明は、格子状の溝と吸
着溝とが連結されているものであり、これにより格子状
の溝も真空吸着の作用を行う。
【0014】請求項5に記載の発明は、格子状の溝の形
状がシール樹脂の形状と同一ではないか、もしくはシー
ル樹脂を前記溝の内に包含しないものであり、これによ
り貼り合わせた場合シール樹脂に対して押圧がかからな
いことがなくなる。
【0015】請求項6に記載の発明は、透明基板の表面
の外形が台座の表面の外形より小さいものであり、これ
により貼り合わせたとき押圧によって透明基板が反るこ
とがなくなる。
【0016】請求項7に記載の発明は、吸着溝とシール
樹脂との形状が両者とも線対称となる相似形であるもの
であり、これにより、吸着溝とシールとを線対称となる
位置に合わせることによりシール樹脂を均一に押圧する
ことができる。
【0017】請求項8に記載の発明は、画素電極群及び
電極配線を第1の透明基板に、同第1の透明基板の前記
画素電極に対応して対向電極を第2の透明基板に形成す
る第1の工程と、前記第1と第2の透明基板とを第1と
第2の台座にそれぞれ真空吸着し、一部に液晶注入口を
有するシール樹脂を挟んで貼り合わせる第2の工程とか
らなる液晶セルの製造方法において、前記第2の工程
で、前記第1の透明基板を真空吸着固定するために前記
第1の台座上に形成された吸着溝と、前記第1の透明基
板上に形成された前記シール樹脂とが両者とも上下、左
右に線対称となる位置に合わせる液晶セルの製造方法で
あり、透明基板の貼り合わせ時に台座からシール樹脂に
対して均等に押圧をかけられる作用を有する。
【0018】以下、本発明の実施の形態について、図面
を参照しながら説明する。図1は本発明の実施の形態に
よる基板貼り合わせ装置の構成図、図2は基板貼り合わ
せ装置の下側台座部分を上から見た図、および図3は基
板貼り合わせ装置で液晶セルを作製しているときの貼り
合わせ部分の断面を説明する図であって、図3(a)は
図2のA−A′線に沿った貼り合わせ部分断面図、図3
(b)は図2のB−B′線に沿った貼り合わせ部分断面
図、図3(c)は図2のC−C′線に沿った貼り合わせ
部分断面図である。図1〜図3において、1は石英など
からなる透明基板用の上側台座、2はステンレス鋼など
からなる透明基板用の下側台座、3は透明基板を台座に
設置するための搬送機構、4は真空配管、5は下側台座
を動かすプレス機構、6は下側台座2を位置規正するた
めの軸受、7は真空ポンプ、8は真空度調節用のレギュ
レータ、9は装置の土台、10は液晶セル、11は各透
明基板を各台座に真空吸着するための吸着固定用のロの
字型の吸着溝、12は格子状の溝、13はガラスなどか
らなる上側透明基板、14は石英などからなる下側透明
基板、15はセルギャップの間隔を決定するためのスペ
ーサーを混合したシール樹脂で、下側透明基板14の上
に形成されている。基板貼り合わせ装置の貼り合わせ部
分は平坦度0.3μmレベルに鏡面加工された台座1,
2からなり、液晶セル10は2枚の透明基板13,14
とスペーサーを混合したシール樹脂15からなる。
【0019】本発明の貼り合わせ装置の第1の特徴は、
透明基板用の下側台座2上にガラス欠け踏みを抑制する
ための格子状の溝12を形成していることである。
【0020】そして、この格子状の溝12が吸着溝11
に囲まれて内側に有り、格子状の溝12の深さが吸着溝
11の深さより浅い形状であり、また、格子状の溝12
と吸着溝11とが連結されている形状のものである。
【0021】本発明の貼り合わせ装置の第2の特徴は格
子状の溝12の形状がシール樹脂15の形状と同一にし
ないか、もしくは、シール樹脂15を格子状の溝12の
内に包含しないようにして、透明基板を貼り合わせると
きシール樹脂15に押圧がかからなくなることを避けて
いる。
【0022】本発明の第3の特徴は、台座の表面の外形
を透明基板の表面の外形より大にして、下側の透明基板
の全体に押圧がかかるようにしている。
【0023】本発明の第4の特徴は、台座に形成した吸
着溝11を下側透明基板14の上にロの字型に形成した
シール樹脂15に対して両者ともが線対称となるように
ロの字型の相似形にすることである。これによりシール
樹脂に均一な押圧をかけることができる。具体的な構造
は、シール樹脂中心から吸着溝中心までの距離は各辺と
も2mm、下側透明基板寸法は27mm×35mm、下
側台座寸法は34mm×40mm、溝幅は2mm、貼り
合わせ前シール樹脂幅は0.2mm、シール樹脂高さは
10μm、貼り合わせ後シール樹脂幅は1mm、セルギ
ャップは4.5μmである。設計上、貼り合わせ前後で
シール樹脂15が吸着溝11の上にくることはなく、下
側台座からシール樹脂15に均等に押圧がかかる構成に
なっている。
【0024】本発明の実施の形態における基板貼り合わ
せ装置による液晶セルの製造方法は、まず、搬送機構3
によって、各台座1,2にガラスなどの材料で構成され
た上側と下側の透明基板13,14をそれぞれ設置す
る。このとき、台座に形成された吸着溝と透明基板上に
形成されたシール樹脂とが両者とも上下、左右に線対称
となる位置に合わせる。設置された透明基板13,14
は吸着溝11の作用により台座1,2に真空吸着され
る。次に、プレス機構5で台座1,2を近接させること
により2枚の透明基板13,14を荷重6kgの条件で
押圧して貼り合わせる。最後に、台座1,2が元の位置
に戻り、台座1,2から液晶セル10が排出される。
【0025】なお、本実施の形態では透明基板用の下側
台座2のみ格子状の溝12を形成したが、透明基板用の
上側台座1にも格子状の溝を形成すれば、局所的に凹ん
だ液晶セルの発生率はさらに減少する。また吸着溝の形
状とシール樹脂の形状をロの字型にしたがこれに限られ
るものではなく互いに線対称となる相似形であればよ
い。
【0026】
【発明の効果】本発明の基板貼り合わせ装置を使用する
ことにより、ガラス欠け踏みの確率が減少するとともに
貼り合わせのときの透明基板の反りがなくなり、またシ
ール樹脂に均一に押圧がかけられるため局所的に凹んだ
液晶セルの発生を抑制することができる。
【0027】本発明の液晶セルの製造方法によれば、台
座に形成したロの字型の吸着溝と透明基板上に形成され
たロの字型のシール樹脂とが、両者とも上下、左右に対
して線対称となるように位置決めして、かつ、貼り合わ
せ前後でシール樹脂領域の全部がロの字型の溝領域の上
下にないように2枚の透明基板を貼り合わせているの
で、台座からシール樹脂に均等に押圧がかかり、セルギ
ャップの均一性の高い液晶セルを再現よく作製すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による基板貼り合わせ装置
の構成図
【図2】図1の基板貼り合わせ装置の下側台座部分を上
から見た図
【図3】図1の基板貼り合わせ装置で液晶セルを作製し
ているときの貼り合わせ部分断面図
【図4】従来の基板貼り合わせ装置の構成図
【図5】図4の基板貼り合わせ装置の下側台座部分を上
から見た図
【図6】図4の基板貼り合わせ装置で液晶セルを作製し
ているときの貼り合わせ部分断面図
【図7】従来の基板貼り合わせ装置で欠け破片の付着し
た透明基板を貼り合わせている状態を示す断面図
【図8】下側台座の輪郭が下側透明基板の輪郭の内側に
ある構成の基板貼り合わせ装置で透明基板を貼り合わせ
ている状態を示す断面図
【図9】貼り合わせ時にシール樹脂の全部が吸着溝の上
にある構成の基板貼り合わせ装置で透明基板を貼り合わ
せている状態を示す断面図
【符号の説明】
1 上側台座 2 下側台座 3 搬送機構 4 真空配管 5 プレス機構 6 軸受 7 真空ポンプ 8 真空度調節用レギュレータ 9 土台 10 液晶セル 11 吸着溝 12 格子状の溝 13 上側透明基板 14 下側透明基板 15 シール樹脂 201 上側台座 202 下側台座 203 搬送機構 204 真空配管 205 プレス機構 206 軸受 207 真空ポンプ 208 真空度調節用レギュレータ 209 土台 210 液晶セル 211 吸着溝 212 上側透明基板 213 下側透明基板 214 シール樹脂

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2枚の透明基板を上側と下側の台座にそ
    れぞれ吸着溝により真空吸着し、上側と下側の前記台座
    どうしを近接させて2枚の前記透明基板を押圧すること
    により、2枚の前記透明基板を基板面に対してシール樹
    脂を挟んで間隙を設けて平行に貼り合わせる装置におい
    て、前記透明基板を設置する前記台座の少なくとも一方
    に格子状の溝を有することを特徴とする基板貼り合わせ
    装置。
  2. 【請求項2】 格子状の溝が、透明電極を真空吸着する
    吸着溝の内側に有することを特徴とする請求項1記載の
    基板貼り合わせ装置。
  3. 【請求項3】 格子状の溝の深さが、吸着溝の深さより
    浅いことを特徴とする請求項1または請求項2記載の基
    板貼り合わせ装置。
  4. 【請求項4】 格子状の溝と吸着溝とが連結されている
    ことを特徴とする請求項1記載の基板貼り合わせ装置。
  5. 【請求項5】 格子状の溝の形状が、シール樹脂の形状
    と同一でないかもしくはシール樹脂を前記溝の内に包含
    しないことを特徴とする請求項1記載の基板貼り合わせ
    装置。
  6. 【請求項6】 透明基板の表面の外形が台座の表面の外
    形より小さいことを特徴とする請求項1記載の基板貼り
    合わせ装置。
  7. 【請求項7】 吸着溝とシール樹脂との形状が両者とも
    線対称となる相似形であることを特徴とする請求項1記
    載の基板貼り合わせ装置。
  8. 【請求項8】 画素電極群及び電極配線を第1の透明基
    板に、同第1の透明基板の前記画素電極に対応して対向
    電極を第2の透明基板に形成する第1の工程と、前記第
    1と第2の透明基板とを第1と第2の台座にそれぞれ真
    空吸着し、一部に液晶注入口を有するシール樹脂を挟ん
    で貼り合わせる第2の工程とからなる液晶セルの製造方
    法において、前記第2の工程で、前記第1の透明基板を
    真空吸着固定するために前記第1の台座上に形成された
    吸着溝と第1の透明基板上に形成された前記シール樹脂
    とが両者とも上下、左右に線対称となる位置に合わせる
    ことを特徴とする液晶セルの製造方法。
  9. 【請求項9】 吸着溝とシール樹脂とが線対称の相似形
    の形状であることを特徴とする請求項8記載の液晶セル
    の製造方法。
JP5573296A 1996-03-13 1996-03-13 基板貼り合わせ装置および液晶セルの製造方法 Pending JPH09243982A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5573296A JPH09243982A (ja) 1996-03-13 1996-03-13 基板貼り合わせ装置および液晶セルの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5573296A JPH09243982A (ja) 1996-03-13 1996-03-13 基板貼り合わせ装置および液晶セルの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09243982A true JPH09243982A (ja) 1997-09-19

Family

ID=13007037

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5573296A Pending JPH09243982A (ja) 1996-03-13 1996-03-13 基板貼り合わせ装置および液晶セルの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09243982A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6934001B2 (en) * 2001-08-13 2005-08-23 Sharp Laboratories Of America, Inc. Structure and method for supporting a flexible substrate
US7096911B2 (en) 2000-11-30 2006-08-29 Fujitsu Limited Apparatus for manufacturing bonded substrate
CN100361010C (zh) * 2005-01-28 2008-01-09 广辉电子股份有限公司 基板组装方法及其装置
US7597774B2 (en) 2002-03-19 2009-10-06 Fujitsu Limited Apparatus and method for fabricating bonded substrate
JP2017535933A (ja) * 2014-10-22 2017-11-30 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. マザーボードを封止するための真空吸着システム及び吸着方法、封止装置
JP6255546B1 (ja) * 2016-10-17 2017-12-27 信越エンジニアリング株式会社 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置
WO2018074013A1 (ja) * 2016-10-17 2018-04-26 信越エンジニアリング株式会社 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7703494B2 (en) 2000-11-30 2010-04-27 Fujitsu Limited Apparatus for manufacturing bonded substrate
US7819165B2 (en) 2000-11-30 2010-10-26 Fujitsu Limited Apparatus for manufacturing bonded substrate
US7300532B2 (en) 2000-11-30 2007-11-27 Fujitsu Limited Method for manufacturing bonded substrate
US8128768B2 (en) 2000-11-30 2012-03-06 Fujitsu Limited Apparatus for manufacturing bonded substrate
US7513966B2 (en) 2000-11-30 2009-04-07 Fujitsu Limited Apparatus for manufacturing bonded substrate
US7621310B2 (en) 2000-11-30 2009-11-24 Fujitsu Limited Apparatus for manufacturing bonded substrate
US7681522B2 (en) 2000-11-30 2010-03-23 Fujitsu Limited Apparatus for manufacturing bonded substrate
US7096911B2 (en) 2000-11-30 2006-08-29 Fujitsu Limited Apparatus for manufacturing bonded substrate
US6934001B2 (en) * 2001-08-13 2005-08-23 Sharp Laboratories Of America, Inc. Structure and method for supporting a flexible substrate
US7704348B2 (en) 2002-03-19 2010-04-27 Fujitsu Limited Apparatus and method for fabricating bonded substrate
US7597774B2 (en) 2002-03-19 2009-10-06 Fujitsu Limited Apparatus and method for fabricating bonded substrate
US7963308B2 (en) 2002-03-19 2011-06-21 Fujitsu Limited Apparatus and method for fabricating bonded substrate
US8268113B2 (en) 2002-03-19 2012-09-18 Fujitsu Limited Apparatus and method for fabricating bonded substrate
CN100361010C (zh) * 2005-01-28 2008-01-09 广辉电子股份有限公司 基板组装方法及其装置
JP2017535933A (ja) * 2014-10-22 2017-11-30 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. マザーボードを封止するための真空吸着システム及び吸着方法、封止装置
JP6255546B1 (ja) * 2016-10-17 2017-12-27 信越エンジニアリング株式会社 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置
WO2018074013A1 (ja) * 2016-10-17 2018-04-26 信越エンジニアリング株式会社 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102262319B (zh) 液晶显示基板及其制造方法、液晶面板和液晶显示器
US7515241B2 (en) Bonding structure for flat panel display and method having outer and inner walls of a predetermined interval having sealant and bonded to upper and lower substrates for unimpeded cell gap between the substrates and the inner separation wall
CN109239984B (zh) 一种液晶显示面板及液晶显示装置
US6521475B1 (en) Method of fabricating a liquid crystal-on-silicon backplane
CN111929951B (zh) 一种显示面板及其制备方法和显示装置
CN209590464U (zh) 一种彩膜基板及显示装置
US20170276991A1 (en) Liquid Crystal Display and Manufacturing Method Thereof
CN108415195A (zh) 显示面板及其制作方法、显示装置
US7323217B2 (en) Method for making an optical interference type reflective panel
US8248570B2 (en) Liquid crystal display device
WO2022222421A1 (zh) 显示面板的制备方法、显示面板及显示装置
US10578908B2 (en) Liquid crystal display panel
JPH09243982A (ja) 基板貼り合わせ装置および液晶セルの製造方法
CN216387684U (zh) 一种显示面板及显示装置
JP7248591B2 (ja) カラーフィルタ基板及びその製造方法、表示パネル及び表示装置
US5997379A (en) Method of manufacturing plasma addressed liquid crystal display
US20050122464A1 (en) One-drop fill spacerless process for liquid crystal cell on a silicon backplane or microdisplays
US7006191B2 (en) Manufacturing method for microdisplay
JP3177347B2 (ja) 液晶表示素子の製造方法
KR20060119203A (ko) 액정 표시 패널 및 그 제조방법
JPH11242215A (ja) 反射型液晶表示装置
KR20070054917A (ko) 액정 표시 패널의 제조 방법
JPH06214204A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
CN109976022B (zh) 一种像素结构及其制备方法、显示面板
CN114217468B (zh) 一种显示面板及其制造方法、显示装置