JPH09246105A - 固体電解コンデンサおよびその製造方法 - Google Patents
固体電解コンデンサおよびその製造方法Info
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- JPH09246105A JPH09246105A JP8047181A JP4718196A JPH09246105A JP H09246105 A JPH09246105 A JP H09246105A JP 8047181 A JP8047181 A JP 8047181A JP 4718196 A JP4718196 A JP 4718196A JP H09246105 A JPH09246105 A JP H09246105A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高容量化と高周波領域でのインピーダンス特
性の改善を図ることができ、かつ漏れ電流の低減も図る
ことができる固体電解コンデンサおよびその製造方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 弁金属よりなる電極体１の表面に形成さ
れた誘電体酸化皮膜２上に、二酸化マンガンと二酸化ル
テニウムの金属酸化物混合層３を介して導電性高分子層
４を形成するようにしたものである。
性の改善を図ることができ、かつ漏れ電流の低減も図る
ことができる固体電解コンデンサおよびその製造方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 弁金属よりなる電極体１の表面に形成さ
れた誘電体酸化皮膜２上に、二酸化マンガンと二酸化ル
テニウムの金属酸化物混合層３を介して導電性高分子層
４を形成するようにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器に利
用される固体電解コンデンサおよびその製造方法に関す
るものである。
用される固体電解コンデンサおよびその製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】大容量タイプのコンデンサとしては、ア
ルミ電解コンデンサやタンタル固体電解コンデンサがあ
り、そしてこれらのコンデンサは誘電体酸化皮膜が陽極
酸化法で作られているため、非常に均質な薄膜が得ら
れ、その結果、単に電極体の表面積を増加させるだけで
大容量化が可能であった。
ルミ電解コンデンサやタンタル固体電解コンデンサがあ
り、そしてこれらのコンデンサは誘電体酸化皮膜が陽極
酸化法で作られているため、非常に均質な薄膜が得ら
れ、その結果、単に電極体の表面積を増加させるだけで
大容量化が可能であった。
【０００３】しかしながら、この誘電体酸化皮膜はその
厚みが薄く、かつ大面積となっているため、酸化皮膜の
損傷による漏れ電流の増加をきたすおそれがあった。そ
してこの酸化皮膜の損傷は電解質を設けることにより、
この電解質が修復作用をもたらして改善される。この電
解質としては、アルミ電解コンデンサでは有機溶媒（例
えばγ−ブチロラクトン）に溶質を溶解させた液体電解
質が用いられているが、この液体電解質の場合は、溶質
のイオン伝導性を利用しているため、高周波領域でのイ
ンピーダンス特性および低温特性が劣るという欠点を有
していた。
厚みが薄く、かつ大面積となっているため、酸化皮膜の
損傷による漏れ電流の増加をきたすおそれがあった。そ
してこの酸化皮膜の損傷は電解質を設けることにより、
この電解質が修復作用をもたらして改善される。この電
解質としては、アルミ電解コンデンサでは有機溶媒（例
えばγ−ブチロラクトン）に溶質を溶解させた液体電解
質が用いられているが、この液体電解質の場合は、溶質
のイオン伝導性を利用しているため、高周波領域でのイ
ンピーダンス特性および低温特性が劣るという欠点を有
していた。
【０００４】そのため、タンタル固体電解コンデンサや
アルミ電解コンデンサでは固体電質化が進められてい
る。特にタンタル固体電解コンデンサは、固体電解質と
して二酸化マンガンを用いているのが一般的であり、近
年は電導度の高いポリピロールを用いた固体電解コンデ
ンサも開発されている。しかしながら、二酸化マンガン
は導電率が低いため、高周波領域でのインピーダンスが
高く、積層セラミックコンデンサと比較して１オーダー
高い値となっている。またポリピロールは誘電体酸化皮
膜との接合性が悪いため、電気特性のロット間ばらつき
が大きく、安定性に欠けるという欠点を有していた。
アルミ電解コンデンサでは固体電質化が進められてい
る。特にタンタル固体電解コンデンサは、固体電解質と
して二酸化マンガンを用いているのが一般的であり、近
年は電導度の高いポリピロールを用いた固体電解コンデ
ンサも開発されている。しかしながら、二酸化マンガン
は導電率が低いため、高周波領域でのインピーダンスが
高く、積層セラミックコンデンサと比較して１オーダー
高い値となっている。またポリピロールは誘電体酸化皮
膜との接合性が悪いため、電気特性のロット間ばらつき
が大きく、安定性に欠けるという欠点を有していた。
【０００５】上記欠点を改善するために、例えば特開平
１−２５３２２６号公報に示されているように、誘電体
酸化皮膜とポリピロールの中間に固体電解質のプレコー
ト層として金属酸化物（二酸化マンガン）を設けた二酸
化マンガン−ポリピロール複合固体電解質が提案されて
いる。
１−２５３２２６号公報に示されているように、誘電体
酸化皮膜とポリピロールの中間に固体電解質のプレコー
ト層として金属酸化物（二酸化マンガン）を設けた二酸
化マンガン−ポリピロール複合固体電解質が提案されて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、二酸化
マンガンの比抵抗は１０Ω・ｃｍ程度であって、それほ
ど低い値ではなく、かつ二酸化マンガン膜の成長は不連
続であるため、ポリピロールとの複合固体電解質を用い
ても高周波領域でのインピーダンスは高い値となってい
る。その他の導電性金属酸化物としては二酸化ルテニウ
ムがあり、この二酸化ルテニウムの比抵抗は１０-3Ω・
ｃｍと低いが、厚膜化を行うと硝酸ルテニウムを熱分解
する際の高温処理により酸化皮膜が損傷して漏れ電流が
大きくなり、そのため、コンデンサとして実用化するに
はかなり困難であるという問題点を有していた。
マンガンの比抵抗は１０Ω・ｃｍ程度であって、それほ
ど低い値ではなく、かつ二酸化マンガン膜の成長は不連
続であるため、ポリピロールとの複合固体電解質を用い
ても高周波領域でのインピーダンスは高い値となってい
る。その他の導電性金属酸化物としては二酸化ルテニウ
ムがあり、この二酸化ルテニウムの比抵抗は１０-3Ω・
ｃｍと低いが、厚膜化を行うと硝酸ルテニウムを熱分解
する際の高温処理により酸化皮膜が損傷して漏れ電流が
大きくなり、そのため、コンデンサとして実用化するに
はかなり困難であるという問題点を有していた。
【０００７】また従来の方法で生成される固体電解質と
しての二酸化マンガンの溶液は酸化皮膜に対して濡れ性
が悪く、電極体の内部まで入りにくいため、容量達成率
が理論容量値の８０〜９０％になってしまうという問題
点を有していた。
しての二酸化マンガンの溶液は酸化皮膜に対して濡れ性
が悪く、電極体の内部まで入りにくいため、容量達成率
が理論容量値の８０〜９０％になってしまうという問題
点を有していた。
【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、高容量化と高周波領域でのインピーダンス特性の改
善を図ることができ、かつ漏れ電流の低減も図ることが
できる固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供す
ることを目的とするものである。
で、高容量化と高周波領域でのインピーダンス特性の改
善を図ることができ、かつ漏れ電流の低減も図ることが
できる固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供す
ることを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の固体電解コンデンサは、弁金属よりなる電極
体の表面に形成された誘電体酸化皮膜と、この誘電体酸
化皮膜上に二酸化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸
化物混合層を介して形成された導電性高分子層とを備え
たもので、この構成によれば、小型高容量化と高周波領
域でのインピーダンス特性の改善を図ることができ、か
つ漏れ電流の低減も図ることができるものである。
に本発明の固体電解コンデンサは、弁金属よりなる電極
体の表面に形成された誘電体酸化皮膜と、この誘電体酸
化皮膜上に二酸化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸
化物混合層を介して形成された導電性高分子層とを備え
たもので、この構成によれば、小型高容量化と高周波領
域でのインピーダンス特性の改善を図ることができ、か
つ漏れ電流の低減も図ることができるものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、弁金属よりなる電極体の表面に形成された誘電体酸
化皮膜と、この誘電体酸化皮膜上に二酸化マンガンと二
酸化ルテニウムの金属酸化物混合層を介して形成された
導電性高分子層とを備えたもので、二酸化マンガンと二
酸化ルテニウムの金属酸化物混合層は導電率の高い導電
層であり、また生成される粒子は小さく、均質に形成さ
れるため、誘電体酸化皮膜のより小さい細孔内部まで導
電性高分子層により覆うことができ、これにより、誘電
体酸化皮膜の劣化も防止することができる。また二酸化
マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層は誘電
体酸化皮膜と固体電解質となる導電性高分子層との接合
を良好にする役目をなすとともに、それぞれの特質を効
率よく利用しているため、電気的特性の中でも、特に高
容量で、かつ高周波領域でのインピーダンス特性および
漏れ電流特性の優れた固体電解コンデンサを得ることが
できるものである。
は、弁金属よりなる電極体の表面に形成された誘電体酸
化皮膜と、この誘電体酸化皮膜上に二酸化マンガンと二
酸化ルテニウムの金属酸化物混合層を介して形成された
導電性高分子層とを備えたもので、二酸化マンガンと二
酸化ルテニウムの金属酸化物混合層は導電率の高い導電
層であり、また生成される粒子は小さく、均質に形成さ
れるため、誘電体酸化皮膜のより小さい細孔内部まで導
電性高分子層により覆うことができ、これにより、誘電
体酸化皮膜の劣化も防止することができる。また二酸化
マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層は誘電
体酸化皮膜と固体電解質となる導電性高分子層との接合
を良好にする役目をなすとともに、それぞれの特質を効
率よく利用しているため、電気的特性の中でも、特に高
容量で、かつ高周波領域でのインピーダンス特性および
漏れ電流特性の優れた固体電解コンデンサを得ることが
できるものである。
【００１１】請求項２に記載の発明は、金属酸化物混合
層を構成する二酸化マンガンと二酸化ルテニウムのモル
比を０．０１以上で、かつ１００以下としたもので、こ
のモル比の範囲内であれば、高周波領域でのインピーダ
ンス特性、漏れ電流特性の優れたものが得られるもので
ある。
層を構成する二酸化マンガンと二酸化ルテニウムのモル
比を０．０１以上で、かつ１００以下としたもので、こ
のモル比の範囲内であれば、高周波領域でのインピーダ
ンス特性、漏れ電流特性の優れたものが得られるもので
ある。
【００１２】請求項３に記載の発明は、金属酸化物混合
層の厚みを０．３μｍ以下としたもので、この厚みの限
定により、高周波領域でのインピーダンス特性、漏れ電
流特性の優れたものが得られるものである。
層の厚みを０．３μｍ以下としたもので、この厚みの限
定により、高周波領域でのインピーダンス特性、漏れ電
流特性の優れたものが得られるものである。
【００１３】請求項４に記載の発明は、弁金属よりなる
電極体の表面に誘電体酸化皮膜を形成し、この後、硝酸
マンガンと硝酸ルテニウムおよび非イオン界面活性剤を
混合した溶液に前記電極体を浸漬し、かつ熱分解するこ
とにより二酸化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化
物混合層を形成し、次いでこの金属酸化物混合層上に導
電性高分子層を形成するようにしたもので、この製造方
法によれば、硝酸マンガンと硝酸ルテニウムおよび比イ
オン界面活性剤を混合した溶液に電極体を浸漬し、かつ
熱分解することにより二酸化マンガンと二酸化ルテニウ
ムの金属酸化物混合層を形成するようにしているため、
導電率の高い導電層を得ることができ、またこの導電層
は生成される粒子が小さく、均質に形成されるため、誘
電体酸化皮膜のより小さい細孔内部まで導電性高分子層
により覆うことができ、これにより、誘電体酸化皮膜の
劣化も防止することができるものである。また前記金属
酸化物混合層は誘電体酸化皮膜と導電性高分子層との接
合を良好にする役目をなしているため、高容量で、かつ
高周波領域でのインピーダンス特性および漏れ電流特性
の優れた固体電解コンデンサが得られるものである。
電極体の表面に誘電体酸化皮膜を形成し、この後、硝酸
マンガンと硝酸ルテニウムおよび非イオン界面活性剤を
混合した溶液に前記電極体を浸漬し、かつ熱分解するこ
とにより二酸化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化
物混合層を形成し、次いでこの金属酸化物混合層上に導
電性高分子層を形成するようにしたもので、この製造方
法によれば、硝酸マンガンと硝酸ルテニウムおよび比イ
オン界面活性剤を混合した溶液に電極体を浸漬し、かつ
熱分解することにより二酸化マンガンと二酸化ルテニウ
ムの金属酸化物混合層を形成するようにしているため、
導電率の高い導電層を得ることができ、またこの導電層
は生成される粒子が小さく、均質に形成されるため、誘
電体酸化皮膜のより小さい細孔内部まで導電性高分子層
により覆うことができ、これにより、誘電体酸化皮膜の
劣化も防止することができるものである。また前記金属
酸化物混合層は誘電体酸化皮膜と導電性高分子層との接
合を良好にする役目をなしているため、高容量で、かつ
高周波領域でのインピーダンス特性および漏れ電流特性
の優れた固体電解コンデンサが得られるものである。
【００１４】以下、本発明の実施の形態を添付図面にも
とづいて説明する。図１は本発明の一実施の形態におけ
るタンタル固体電解コンデンサの要部の断面を示したも
ので、この図１において、１はタンタル微粉末を成型お
よび焼結することにより構成された多孔質の弁金属より
なる電極体で、この電極体１の表面には陽極酸化により
酸化タンタルである誘電体酸化皮膜２を形成している。
そしてこの誘電体酸化皮膜２は焼結されたタンタル微粉
末の表面に沿って形成され、細部に入り込んでいる。ま
たこの誘電体酸化皮膜２の表面には二酸化マンガンと二
酸化ルテニウムの金属酸化物混合層３が誘電体酸化皮膜
２の面に沿って凹凸を有した状態に形成されている。そ
してまた前記金属酸化物混合層３の表面の所定の部分に
は、導電性ポリピロールが重合されてなる導電性高分子
層４が形成されている。５はカーボン層、銀導電性樹脂
層からなる外部引出し電極である。
とづいて説明する。図１は本発明の一実施の形態におけ
るタンタル固体電解コンデンサの要部の断面を示したも
ので、この図１において、１はタンタル微粉末を成型お
よび焼結することにより構成された多孔質の弁金属より
なる電極体で、この電極体１の表面には陽極酸化により
酸化タンタルである誘電体酸化皮膜２を形成している。
そしてこの誘電体酸化皮膜２は焼結されたタンタル微粉
末の表面に沿って形成され、細部に入り込んでいる。ま
たこの誘電体酸化皮膜２の表面には二酸化マンガンと二
酸化ルテニウムの金属酸化物混合層３が誘電体酸化皮膜
２の面に沿って凹凸を有した状態に形成されている。そ
してまた前記金属酸化物混合層３の表面の所定の部分に
は、導電性ポリピロールが重合されてなる導電性高分子
層４が形成されている。５はカーボン層、銀導電性樹脂
層からなる外部引出し電極である。
【００１５】次に本発明の具体的なタンタル固体電解コ
ンデンサの製造方法について説明する。
ンデンサの製造方法について説明する。
【００１６】（実施の形態１）まず、タンタル微粉末を
成型および焼結することにより、多孔質の弁金属よりな
る電極体１を作製し、次いで、この電極体１を濃度が１
０％のリン酸溶液中に浸漬し、５０Ｖで陽極酸化を行う
ことにより、電極体１の表面に酸化タンタルである誘電
体酸化皮膜２を形成し、この後、二酸化マンガンと二酸
化ルテニウムのモル比（Ｍｎ／Ｒｕモル比）を（表１）
に示すように異ならせ、かつ金属酸化物混合層３の厚み
が０．３μｍになる濃度の硝酸マンガンと硝酸ルテニウ
ムに非イオン界面活性剤としてポリオキシエチレンアル
キルエーテルを０．０１ｗｔ％添加した数種類の混合溶
液に前記電極体１を浸漬し、かつ２７０℃で熱分解を行
って二酸化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混
合層３を形成した。この後、ピロール０．４モル／ｌ、
Ｐ−トルエンスルホン酸アンモニウム塩０．１モル／
ｌ、アセトニトリル溶媒を混合した混合液を重合液と
し、この重合液中で前記電極体１に５Ｖの電圧を２０分
間印加することにより、金属酸化物混合層３の上にポリ
ピロールからなる導電性高分子層４を形成した。そして
この後、カーボン層、銀導電性樹脂層からなる外部引出
し電極５を設け、さらに陰極リードをつけて樹脂モール
ドすることにより、数種類のタンタル固体電解コンデン
サを構成した。
成型および焼結することにより、多孔質の弁金属よりな
る電極体１を作製し、次いで、この電極体１を濃度が１
０％のリン酸溶液中に浸漬し、５０Ｖで陽極酸化を行う
ことにより、電極体１の表面に酸化タンタルである誘電
体酸化皮膜２を形成し、この後、二酸化マンガンと二酸
化ルテニウムのモル比（Ｍｎ／Ｒｕモル比）を（表１）
に示すように異ならせ、かつ金属酸化物混合層３の厚み
が０．３μｍになる濃度の硝酸マンガンと硝酸ルテニウ
ムに非イオン界面活性剤としてポリオキシエチレンアル
キルエーテルを０．０１ｗｔ％添加した数種類の混合溶
液に前記電極体１を浸漬し、かつ２７０℃で熱分解を行
って二酸化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混
合層３を形成した。この後、ピロール０．４モル／ｌ、
Ｐ−トルエンスルホン酸アンモニウム塩０．１モル／
ｌ、アセトニトリル溶媒を混合した混合液を重合液と
し、この重合液中で前記電極体１に５Ｖの電圧を２０分
間印加することにより、金属酸化物混合層３の上にポリ
ピロールからなる導電性高分子層４を形成した。そして
この後、カーボン層、銀導電性樹脂層からなる外部引出
し電極５を設け、さらに陰極リードをつけて樹脂モール
ドすることにより、数種類のタンタル固体電解コンデン
サを構成した。
【００１７】（表１）は本発明の実施の形態１により得
られた数種類のタンタル固体電解コンデンサについて、
静電容量（μＦ）、ｔａｎδ（％）、漏れ電流（ｎＡ）
を測定した結果を示したものであり、また図２は上記数
種類のタンタル固体電解コンデンサのインピーダンス特
性を示したものである。
られた数種類のタンタル固体電解コンデンサについて、
静電容量（μＦ）、ｔａｎδ（％）、漏れ電流（ｎＡ）
を測定した結果を示したものであり、また図２は上記数
種類のタンタル固体電解コンデンサのインピーダンス特
性を示したものである。
【００１８】なお、上記静電容量（μＦ）、ｔａｎδ
（％）は周波数１２０Ｈｚで、かつインピーダンス
（Ω）は周波数１００Ｈｚから１０ＭＨｚで測定した。
また漏れ電流（ｎＡ）は２０Ｖの電圧を印加して６０秒
後の値を測定した。このタンタル固体電解コンデンサの
理論容量は４．４μＦである。
（％）は周波数１２０Ｈｚで、かつインピーダンス
（Ω）は周波数１００Ｈｚから１０ＭＨｚで測定した。
また漏れ電流（ｎＡ）は２０Ｖの電圧を印加して６０秒
後の値を測定した。このタンタル固体電解コンデンサの
理論容量は４．４μＦである。
【００１９】
【表１】
【００２０】（表１）および図２から明らかなように、
金属酸化物混合層３を構成する二酸化マンガンと二酸化
ルテニウムのモル比（Ｍｎ／Ｒｕモル比）は、０．０１
以上で、かつ１００以下の範囲内であれば、漏れ電流特
性、高周波領域でのインピーダンス特性の優れたものが
得られるものである。
金属酸化物混合層３を構成する二酸化マンガンと二酸化
ルテニウムのモル比（Ｍｎ／Ｒｕモル比）は、０．０１
以上で、かつ１００以下の範囲内であれば、漏れ電流特
性、高周波領域でのインピーダンス特性の優れたものが
得られるものである。
【００２１】（実施の形態２）実施の形態１における金
属酸化物混合層３を形成するための混合溶液における二
酸化マンガンと二酸化ルテニウムのモル比（Ｍｎ／Ｒｕ
モル比）を１：１に固定し、かつ濃度を変化させること
により、実施の形態１と同様にして金属酸化物混合層３
の厚みが異なる数種類のタンタル固体電解コンデンサを
構成した。
属酸化物混合層３を形成するための混合溶液における二
酸化マンガンと二酸化ルテニウムのモル比（Ｍｎ／Ｒｕ
モル比）を１：１に固定し、かつ濃度を変化させること
により、実施の形態１と同様にして金属酸化物混合層３
の厚みが異なる数種類のタンタル固体電解コンデンサを
構成した。
【００２２】（表２）は本発明の実施の形態２により得
られた数種類のタンタル固体電解コンデンサについて、
金属酸化物混合層３の厚み（μｍ）、静電容量（μ
Ｆ）、ｔａｎδ（％）、漏れ電流（ｎＡ）を測定した結
果を示したものであり、また図３は上記数種類のタンタ
ル固体電解コンデンサのインピーダンス特性を示したも
のである。
られた数種類のタンタル固体電解コンデンサについて、
金属酸化物混合層３の厚み（μｍ）、静電容量（μ
Ｆ）、ｔａｎδ（％）、漏れ電流（ｎＡ）を測定した結
果を示したものであり、また図３は上記数種類のタンタ
ル固体電解コンデンサのインピーダンス特性を示したも
のである。
【００２３】なお、上記静電容量（μＦ）、ｔａｎδ
（％）は周波数１２０Ｈｚで、かつインピーダンス
（Ω）は周波数１００Ｈｚから１０ＭＨｚで測定した。
また漏れ電流（ｎＡ）は２０Ｖの電圧を印加して６０秒
後の値を測定した。このタンタル固体電解コンデンサの
理論容量は４．４μＦである。そしてまた金属酸化物混
合層３の厚み（μｍ）はタンタル固体電解コンデンサを
分解して走査形電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察して測
定した。
（％）は周波数１２０Ｈｚで、かつインピーダンス
（Ω）は周波数１００Ｈｚから１０ＭＨｚで測定した。
また漏れ電流（ｎＡ）は２０Ｖの電圧を印加して６０秒
後の値を測定した。このタンタル固体電解コンデンサの
理論容量は４．４μＦである。そしてまた金属酸化物混
合層３の厚み（μｍ）はタンタル固体電解コンデンサを
分解して走査形電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察して測
定した。
【００２４】
【表２】
【００２５】（表２）および図３から明らかなように、
二酸化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層
３の厚みは０．３μｍ以下であれば、漏れ電流特性、高
周波領域でのインピーダンス特性の優れたものが得られ
るものである。
二酸化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層
３の厚みは０．３μｍ以下であれば、漏れ電流特性、高
周波領域でのインピーダンス特性の優れたものが得られ
るものである。
【００２６】なお、上記実施の形態１、２においては、
導電性高分子層４を構成する材料として、ポリピロール
を用いたものについて説明したが、これ以外のポリアニ
リンやポリチオフェンなどの電導度の高い材料を単独あ
るいは共重合して用いてもよいものである。また導電性
高分子層４の形成方法についても、電解酸化重合以外
に、化学酸化重合による形成方法を用いてもよく、ある
いはそれらを複合化したものを用いてもよいものであ
る。
導電性高分子層４を構成する材料として、ポリピロール
を用いたものについて説明したが、これ以外のポリアニ
リンやポリチオフェンなどの電導度の高い材料を単独あ
るいは共重合して用いてもよいものである。また導電性
高分子層４の形成方法についても、電解酸化重合以外
に、化学酸化重合による形成方法を用いてもよく、ある
いはそれらを複合化したものを用いてもよいものであ
る。
【００２７】また非イオン界面活性剤については、ポリ
オキシエチレンアルキルエーテル以外のものでも使用で
きることは言うまでもないが、この場合、より低濃度で
表面張力値の小さいもの程有効である。
オキシエチレンアルキルエーテル以外のものでも使用で
きることは言うまでもないが、この場合、より低濃度で
表面張力値の小さいもの程有効である。
【００２８】そしてまた電極体１としては、タンタル微
粉末を成型および焼結することにより構成したものを用
いているが、このタンタル以外のアルミニウムやチタン
などの弁金属を用いて電極体１を構成してもよく、さら
に、この弁金属からなる電極体１の形態は焼結体以外の
箔の形態でもよいものである。
粉末を成型および焼結することにより構成したものを用
いているが、このタンタル以外のアルミニウムやチタン
などの弁金属を用いて電極体１を構成してもよく、さら
に、この弁金属からなる電極体１の形態は焼結体以外の
箔の形態でもよいものである。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明の固体電解コンデン
サは、弁金属よりなる電極体の表面に形成された誘電体
酸化皮膜と、この誘電体酸化皮膜上に二酸化マンガンと
二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層を介して形成され
た導電性高分子層とを備えたもので、二酸化マンガンと
二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層は導電率の高い導
電層であり、また生成される粒子は小さく、均質に形成
されるため、誘電体酸化皮膜のより小さい細孔内部まで
導電性高分子層により覆うことができ、これにより、誘
電体酸化皮膜の劣化も防止することができる。また二酸
化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層は誘
電体酸化皮膜と固体電解質となる導電性高分子層との接
合を良好にする役目をなすとともに、それぞれの特質を
効率よく利用しているため、電気的特性の中でも、特に
高容量で、かつ高周波領域でのインピーダンス特性およ
び漏れ電流特性の優れた固体電解コンデンサを得ること
ができるものである。
サは、弁金属よりなる電極体の表面に形成された誘電体
酸化皮膜と、この誘電体酸化皮膜上に二酸化マンガンと
二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層を介して形成され
た導電性高分子層とを備えたもので、二酸化マンガンと
二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層は導電率の高い導
電層であり、また生成される粒子は小さく、均質に形成
されるため、誘電体酸化皮膜のより小さい細孔内部まで
導電性高分子層により覆うことができ、これにより、誘
電体酸化皮膜の劣化も防止することができる。また二酸
化マンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層は誘
電体酸化皮膜と固体電解質となる導電性高分子層との接
合を良好にする役目をなすとともに、それぞれの特質を
効率よく利用しているため、電気的特性の中でも、特に
高容量で、かつ高周波領域でのインピーダンス特性およ
び漏れ電流特性の優れた固体電解コンデンサを得ること
ができるものである。
【図１】本発明の一実施の形態におけるタンタル固体電
解コンデンサの要部の拡大断面図
解コンデンサの要部の拡大断面図
【図２】本発明の実施の形態１におけるタンタル固体電
解コンデンサのインピーダンスと測定周波数との関係を
示す特性図
解コンデンサのインピーダンスと測定周波数との関係を
示す特性図
【図３】本発明の実施の形態２におけるタンタル固体電
解コンデンサのインピーダンスと測定周波数との関係を
示す特性図
解コンデンサのインピーダンスと測定周波数との関係を
示す特性図
１ 電極体 ２ 誘電体酸化皮膜 ３ 金属酸化物混合層 ４ 導電性高分子層
Claims (4)
- 【請求項１】 弁金属よりなる電極体の表面に形成され
た誘電体酸化皮膜と、この誘電体酸化皮膜上に二酸化マ
ンガンと二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層を介して
形成された導電性高分子層とを備えた固体電解コンデン
サ。 - 【請求項２】 金属酸化物混合層を構成する二酸化マン
ガンと二酸化ルテニウムのモル比を０．０１以上で、か
つ１００以下とした請求項１記載の固体電解コンデン
サ。 - 【請求項３】 金属酸化物混合層の厚みを０．３μｍ以
下とした請求項１記載の固体電解コンデンサ。 - 【請求項４】 弁金属よりなる電極体の表面に誘電体酸
化皮膜を形成し、この後、硝酸マンガンと硝酸ルテニウ
ムおよび非イオン界面活性剤を混合した溶液に前記電極
体を浸漬し、かつ熱分解することにより二酸化マンガン
と二酸化ルテニウムの金属酸化物混合層を形成し、次い
でこの金属酸化物混合層上に導電性高分子層を形成する
ようにした固体電解コンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8047181A JPH09246105A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 固体電解コンデンサおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8047181A JPH09246105A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 固体電解コンデンサおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09246105A true JPH09246105A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=12767924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8047181A Pending JPH09246105A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 固体電解コンデンサおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09246105A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006248815A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Ｒｕ−Ｍｎ−Ｏ微粉末、その製造方法、及びそれを用いた厚膜抵抗体組成物 |
-
1996
- 1996-03-05 JP JP8047181A patent/JPH09246105A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006248815A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Ｒｕ−Ｍｎ−Ｏ微粉末、その製造方法、及びそれを用いた厚膜抵抗体組成物 |
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