JPH09246898A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
水晶振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPH09246898A JPH09246898A JP4757896A JP4757896A JPH09246898A JP H09246898 A JPH09246898 A JP H09246898A JP 4757896 A JP4757896 A JP 4757896A JP 4757896 A JP4757896 A JP 4757896A JP H09246898 A JPH09246898 A JP H09246898A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- frequency
- wafer
- crystal
- sampling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 サンプリングチップの測定誤差があり、追加
エッチング量の正確な決定が難しい。 【解決手段】 サンプリングチップ２の両端にウエハー
から支持部５を形成し、ウエハーに支持したまま下部電
極６と測定端子７を接触させて、基準周波数を測定す
る。
エッチング量の正確な決定が難しい。 【解決手段】 サンプリングチップ２の両端にウエハー
から支持部５を形成し、ウエハーに支持したまま下部電
極６と測定端子７を接触させて、基準周波数を測定す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フォトリソグラフ
ィーにより水晶ウエハー（以下ウエハーと呼ぶ）に水晶
振動子チップを形成する水晶振動子の製造方法に関し、
特にページャ、無線通信機、携帯電話などの移動通信機
器に使用される高精度の水晶振動子チップの周波数調整
方法に関する。
ィーにより水晶ウエハー（以下ウエハーと呼ぶ）に水晶
振動子チップを形成する水晶振動子の製造方法に関し、
特にページャ、無線通信機、携帯電話などの移動通信機
器に使用される高精度の水晶振動子チップの周波数調整
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような水晶振動子チップは、
図５に示すように、以下の工程で発振周波数を測定し調
整していた。 （１）クロム、金をスパッタリングしたウエハーに、外
形パターンと電極パターンをフォトリソグラフィーによ
り形成する。 （２）上記パターンを形成したウエハーをエッチングし
て、外形を形成する。 （３）基準周波数測定用チップ（以下サンプリングチッ
プと呼ぶ）を折り取る。 （４）サンプリングチップ３を発振し、測定用端子７を
接触し周波数を測定する。図３参照。 （５）測定した周波数と公称周波数の差（周波数偏差）
により、追加エッチング量を決定し発振周波数を調整す
る。 （６）電極パターンをメタルエッチングする。
図５に示すように、以下の工程で発振周波数を測定し調
整していた。 （１）クロム、金をスパッタリングしたウエハーに、外
形パターンと電極パターンをフォトリソグラフィーによ
り形成する。 （２）上記パターンを形成したウエハーをエッチングし
て、外形を形成する。 （３）基準周波数測定用チップ（以下サンプリングチッ
プと呼ぶ）を折り取る。 （４）サンプリングチップ３を発振し、測定用端子７を
接触し周波数を測定する。図３参照。 （５）測定した周波数と公称周波数の差（周波数偏差）
により、追加エッチング量を決定し発振周波数を調整す
る。 （６）電極パターンをメタルエッチングする。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の周波数調整方法では、次のような問題があった。 （１）サンプリングチップ３を、ウエハー１から折り取
って測定するために別途工程が必要となる。また、測定
端子７の位置や接触圧などに変化が生じるため、測定値
にばらつきが発生する。このため、さらに追加エッチン
グをする場合、正確な追い込み量が把握できなくなる。 （２）ウエハー１より折り取ったサンプリングチップ３
は、廃棄せざるを得ないので無駄を生じる。
来の周波数調整方法では、次のような問題があった。 （１）サンプリングチップ３を、ウエハー１から折り取
って測定するために別途工程が必要となる。また、測定
端子７の位置や接触圧などに変化が生じるため、測定値
にばらつきが発生する。このため、さらに追加エッチン
グをする場合、正確な追い込み量が把握できなくなる。 （２）ウエハー１より折り取ったサンプリングチップ３
は、廃棄せざるを得ないので無駄を生じる。
【０００４】
【問題を解決するための手段】本発明は上記の問題を解
決するために、サンプリングチップをウエハーから折り
取らず基準周波数測定すれば誤差が少ないことに着目し
て、サンプリングチップの両端に、ウエハーから脱落し
ないようにする支持部を形成し、ウエハーに支持したま
まで発振させ、同一サンプリングチップを用いて、ウエ
ハーの追加エッチング量を決定して水晶振動子チップの
発振周波数を調整する。
決するために、サンプリングチップをウエハーから折り
取らず基準周波数測定すれば誤差が少ないことに着目し
て、サンプリングチップの両端に、ウエハーから脱落し
ないようにする支持部を形成し、ウエハーに支持したま
まで発振させ、同一サンプリングチップを用いて、ウエ
ハーの追加エッチング量を決定して水晶振動子チップの
発振周波数を調整する。
【０００５】この方法により、サンプリングチップをウ
エハーから折り取らずに測定し、測定条件が一定してい
るのでばらつきが少ない。また、サンプリングチップを
折り取る必要がない。
エハーから折り取らずに測定し、測定条件が一定してい
るのでばらつきが少ない。また、サンプリングチップを
折り取る必要がない。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下に本発明を図面により説明す
る。本実施例ではＧＴカット水晶振動子を用いる。この
水晶振動子は、周波数温度特性が優れ、１ＭＨｚから
３．２ＭＨｚまでの周波数帯で使用される。例えば、周
波数が１．７ＭＨｚから２．６９ＭＨｚの水晶振動子で
は、周波数偏差は、±２．５ｐｐｍから±１００ｐｐｍ
までに入るように決められている。
る。本実施例ではＧＴカット水晶振動子を用いる。この
水晶振動子は、周波数温度特性が優れ、１ＭＨｚから
３．２ＭＨｚまでの周波数帯で使用される。例えば、周
波数が１．７ＭＨｚから２．６９ＭＨｚの水晶振動子で
は、周波数偏差は、±２．５ｐｐｍから±１００ｐｐｍ
までに入るように決められている。
【０００７】図５に示す工程で、ウエハーに水晶振動子
チップとサンプリングチップの外形パターンと電極パタ
ーンを形成してから、水晶エッチングで外形を精製す
る。そして、サンプリングチップの周波数を測定して、
周波数偏差内になるように各水晶振動子チップを追加エ
ッチングする。
チップとサンプリングチップの外形パターンと電極パタ
ーンを形成してから、水晶エッチングで外形を精製す
る。そして、サンプリングチップの周波数を測定して、
周波数偏差内になるように各水晶振動子チップを追加エ
ッチングする。
【０００８】このサンプリングチップ周波数測定と追加
エッチングをさらに説明する。２４．５ｍｍ×３１．５
ｍｍのウエハー１に水晶振動子チップ４の外形と電極パ
ターンを、フォトレジストの手法により、８６個形成す
る。チップ４の大きさは、約１．５ｍｍ×３．５ｍｍ
で、図４のように片側支持で水晶ウエハー１と接続され
ている。これに対してサンプリングチップ２は、図２に
示すように両端子支持であり２個形成されている。
エッチングをさらに説明する。２４．５ｍｍ×３１．５
ｍｍのウエハー１に水晶振動子チップ４の外形と電極パ
ターンを、フォトレジストの手法により、８６個形成す
る。チップ４の大きさは、約１．５ｍｍ×３．５ｍｍ
で、図４のように片側支持で水晶ウエハー１と接続され
ている。これに対してサンプリングチップ２は、図２に
示すように両端子支持であり２個形成されている。
【０００９】このサンプリングチップ２は、図５に示す
水晶エッチング工程後、図１に示すように両端の支持部
５で下部電極６と電気的に接続される。そして、測定用
端子７を両支持部５に接触させて発振周波数を測定し基
準周波数とする。この基準周波数と追加エッチング量の
関係は、周波数により異なるが、２．６８８ＭＨｚの場
合以下のとうりである。図６は、周波数を調整した結果
で、従来のサンプリングチップ３により周波数を調整せ
いた結果である。
水晶エッチング工程後、図１に示すように両端の支持部
５で下部電極６と電気的に接続される。そして、測定用
端子７を両支持部５に接触させて発振周波数を測定し基
準周波数とする。この基準周波数と追加エッチング量の
関係は、周波数により異なるが、２．６８８ＭＨｚの場
合以下のとうりである。図６は、周波数を調整した結果
で、従来のサンプリングチップ３により周波数を調整せ
いた結果である。
【００１０】図７のように、従来のサンプリングチップ
２をウエハー１から折り取って測定した場合は測定値の
ばらつきが大きい。したがって、これを基準周波数とす
る追加エッチングでは、周波数偏差内にすることが困難
である。しかし、本発明によれば測定値にばらつきが少
なく、しかも同一の基準によるので正確に周波数調整す
ることができる。なお、実施例はＧＴカット水晶振動子
につい説明したが他のフォトリソグラフィー技術で製造
する水晶振動子に応用できることは言うまでもない。
２をウエハー１から折り取って測定した場合は測定値の
ばらつきが大きい。したがって、これを基準周波数とす
る追加エッチングでは、周波数偏差内にすることが困難
である。しかし、本発明によれば測定値にばらつきが少
なく、しかも同一の基準によるので正確に周波数調整す
ることができる。なお、実施例はＧＴカット水晶振動子
につい説明したが他のフォトリソグラフィー技術で製造
する水晶振動子に応用できることは言うまでもない。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明はサンプリ
ングチップ間のばらつきによる誤差精度の発生を防ぎ、
周波数追い込みエッチングすることができるので量産上
の効果が極めて大きい。また、サンプリングチップを無
駄にすることがない。
ングチップ間のばらつきによる誤差精度の発生を防ぎ、
周波数追い込みエッチングすることができるので量産上
の効果が極めて大きい。また、サンプリングチップを無
駄にすることがない。
【図１】本発明の斜視図である。
【図２】本発明のサンプリングチップの図である。
【図３】従来のサンプリングチップの図である。
【図４】従来の水晶振動子チップの図である。
【図５】製造工程を示す図である。
【図６】エッチングレートを示す図である。
【図７】周波数ばらつきを示す図である。
１ 水晶ウエハー ２ サンプリングチップ ３ サンプリングチップ ４ 水晶振動子チップ ５ 支持部 ６ 下部電極 ７ 測定端子
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハーに水晶振動子チップと、両端に
支持部を有する周波数サンプリング用チップを形成する
工程と、 前記周波数サンプリングチップの支持部に測定端子を接
触し周波数を測定する工程と、 前記周波数によりエッチング量を決定し、前記水晶振動
子チップの周波数を調整する水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4757896A JPH09246898A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4757896A JPH09246898A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 水晶振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09246898A true JPH09246898A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=12779141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4757896A Pending JPH09246898A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09246898A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2493072A2 (en) | 2011-02-23 | 2012-08-29 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | GT-cut quartz crystal resonator |
-
1996
- 1996-03-05 JP JP4757896A patent/JPH09246898A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2493072A2 (en) | 2011-02-23 | 2012-08-29 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | GT-cut quartz crystal resonator |
| US8957569B2 (en) | 2011-02-23 | 2015-02-17 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | GT-cut quartz crystal resonator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1895658B1 (en) | Tuning fork crystal oscillation plate and method of manufacturing the same | |
| US8987978B2 (en) | Piezoelectric vibrating piece, piezoelectric vibrator, oscillator, electronic apparatus and radio timepiece | |
| CN101510765B (zh) | 压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置 | |
| JP3995987B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| US20080023437A1 (en) | Method for manufacturing piezoelectric resonator | |
| US6650204B2 (en) | Resonator frequency correction by modifying support structures | |
| US5436523A (en) | High frequency crystal resonator | |
| US20090058232A1 (en) | Tuning-fork type piezoelectric vibrating devices and methods for manufacturing same | |
| US20110226731A1 (en) | Crystal substrate etching method, piezoelectric vibrating reed, a piezoelectric vibrator, oscillator, electronic device, and radio-controlled timepiece | |
| US5376221A (en) | Process for mass producing high frequency crystal resonators | |
| JP4812014B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電振動片の製造方法、圧電振動子、並びに、圧電振動子を備える発振器、電子機器、及び電波時計 | |
| JPH09246898A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| US9052699B2 (en) | Method of manufacturing piezoelectric vibration reed, piezoelectric vibration reed, piezoelectric vibrator, oscillator, electronic instrument, and radio time piece | |
| JP2009194629A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片、ウエハ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 | |
| JP3975681B2 (ja) | 振動片の製造方法、振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置 | |
| JP3255534B2 (ja) | 超薄板圧電共振子素板の製造方法 | |
| JP2002204140A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2004260455A (ja) | 極超短波圧電素子の製造方法 | |
| US7950120B2 (en) | Method for manufacturing piezoelectric resonator | |
| Lee | Photolithography and selective etching of an array of surface mount device 32.768 kHz quartz tuning fork resonators: definition of side-wall electrodes and interconnections using stencil mask | |
| JP3255456B2 (ja) | 超薄板圧電共振子素板の製造方法 | |
| JP4638682B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| JPH10145179A (ja) | 枠型水晶振動子及びそれを用いたデバイス素子 | |
| JP4426242B2 (ja) | 水晶発振器の製造方法 | |
| JPH11205076A (ja) | 高周波圧電振動子及びその製造法 |