JPH09248418A

JPH09248418A - 排ガス処理方法及び装置

Info

Publication number: JPH09248418A
Application number: JP8059437A
Authority: JP
Inventors: Shoichi Hoshikawa; 省一星川; Hiromichi Hiranuma; 弘道平沼
Original assignee: Nittetsu Mining Co Ltd
Current assignee: Nittetsu Mining Co Ltd
Priority date: 1996-03-15
Filing date: 1996-03-15
Publication date: 1997-09-22
Anticipated expiration: 2016-03-15
Also published as: JP3697311B2

Abstract

(57)【要約】【課題】乾式法で排ガス中の有害物質の除去効率を上げ
ることが可能な排ガス処理方法及び装置を提供する。【解決手段】フィルタ４７を利用して排ガスの濾過を行
う排ガス処理方法であり、前記フィルタ４７を予め所定
の位置に取り付け、前記排ガスの濾過を行う前に前記排
ガスの濾過工程を利用して、前記排ガス中の有害物質を
吸着可能な吸着物質４８を前記フィルタ４７の排ガスが
流入する表面側に予め付着させてから、前記排ガスの濾
過を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、焼却炉などの排ガ
スから有害物質を除去する排ガス処理方法及び装置にに
関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば焼却炉の排ガスから、ＨＣｌ、Ｓ
Ｏx などの有害物質を除去する排ガス処理方法として、
湿式法、半乾式法及び乾式法がある。湿式法には、スプ
レー塔方式、トレイ塔方式、充填塔方式、ベンチュリー
方式などがあり、いずれも排ガスに苛性ソーダ溶液や、
カルシウム系スラリーなどを噴射して有害物質を除去す
る方法である。半乾式法には、スラリー噴霧法、移動層
法、フィルタ法などがあり、カルシウム系スラリー又は
消石灰（Ｃa（ＯＨ）₂）などスラリー状の薬剤を排ガ
スに噴射して有害物質を除去する方法である。また、乾
式法には粉体噴射法、移動層法、フィルタ法などがあ
り、カルシウム系又はマグネシア系の粉粒体を排ガスに
噴射して有害物質を除去するものである。

【０００３】一方、ゴミ焼却炉からの排ガス中のＨＣｌ
濃度は、一般に３００〜１０００ＰＰＭの範囲にあり、
上述の乾式法では１００〜４００ＰＰＭ、半乾式法では
５０〜１００ＰＰＭ、湿式法では３０ＰＰＭ以下の除去
効率がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、湿式法では排
ガス及び排ガス洗浄水によるケーシングの腐食又は周辺
機器の腐食の速度が速く、また、洗浄塔に溜まる汚泥を
定期的に除去しなければならないので手間がかかるとい
う問題があった。更に、廃水処理設備が必要なので設備
が大掛かりになると共に、その維持管理費が高価になる
という問題があった。半乾式法及び乾式法では、高濃度
のＨＣｌに対する除去能力に限界があり、また、排ガス
中の煤塵と処理された生成物が一緒に排出されるためそ
の処分が面倒になるという問題があった。

【０００５】そこで、本発明の目的は上記課題を解消す
ることであり、乾式法で排ガス中の有害物質の除去効率
を上げることが可能な排ガス処理方法及び装置を提供す
ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、フ
ィルタを利用して排ガスの濾過を行う排ガス処理方法に
おいて、前記フィルタを予め所定の位置に取り付け、前
記排ガスの濾過を行う前に前記排ガスの濾過工程を利用
して、前記排ガス中の有害物質を吸着可能な吸着物質を
前記フィルタの排ガスが流入する表面側に予め付着させ
てから前記排ガスの濾過を行うことを特徴とする排ガス
処理方法によって達成することができる。

【０００７】この排ガス処理方法では、フィルタの表面
側に吸着物質が付着するので吸着物質と有害物質との接
触面積が広くなり、有害物質の除去効率が向上する。本
発明の上記目的は、フィルタを利用して排ガスの濾過を
行う排ガス処理装置において、前記排ガス中の有害物質
を吸着可能な吸着物質を前記フィルタの排ガスが流入す
る表面側に予め付着させたことを特徴とする排ガス処理
装置によって達成することができる。

【０００８】この排ガス処理装置では、フィルタの表面
側に吸着物質が付着しているので吸着物質と排ガスとの
接触面積が広くなり、有害物質の除去効率が向上する。
本発明の上記目的は、前記フィルタによる濾過工程の前
処理をプレ反応室で行うことを特徴とする排ガス処理方
法によって達成することができる。この排ガス処理方法
では、フィルタで排ガスの濾過をする前に前処理が行わ
れ、有害物質がある程度除去されているので、フィルタ
による有害物質の除去効率を上げることができる。

【０００９】本発明の上記目的は、前記フィルタによる
濾過処理の前処理を行うプレ反応室を設け、前記フィル
タによる排ガス処理室の粉体排出口と前記プレ反応室の
粉体排出口とを共通にしたことを特徴とする排ガス処理
装置によって達成することができる。この排ガス処理装
置では、プレ反応室で補集された物質と排ガス処理室で
補集された物質とを一緒に回収することができる。

【００１０】本発明の上記目的は、前記フィルタによる
排ガス処理室を密封した状態で、前記排ガス処理室内の
粉体を回収する粉体回収手段を設けたことを特徴とする
排ガス処理装置によって達成することができる。この排
ガス処理装置では、排ガス処理室を密封したままその中
の粉体を回収することができるので、排ガス処理を中断
する必要がなくなる。

【００１１】本発明の上記目的は、前記フィルタによる
排ガス処理室の粉体回収路を前記吸着物質の供給路に接
続し、前記吸着物質を循環使用することを特徴とする排
ガス処理装置によって達成することができる。この排ガ
ス処理装置では、吸着物質を循環使用できるので吸着物
質の使用量を低減することができる。

【００１２】本発明の上記目的は、前記フィルタから落
下した前記吸着物質を回収して、再度前記フィルタの表
面側に付着させることを特徴とする排ガス処理方法によ
って達成することができる。この排ガス処理方法では、
吸着物質を循環使用できるので吸着物質の使用量を低減
することができる。

【００１３】本発明の上記目的は、前記フィルタから流
出した前記排ガス中の前記有害物質の濃度を検出し、前
記濃度が所定値以上になったとき前記フィルタの表面側
に付着した濾過補集物質を払い落とすことを特徴とする
排ガス処理方法によって達成することができる。この排
ガス処理方法では、フィルタから流出した排ガス中の有
害物質の濃度を検出することにより、フィルタに付着し
た濾過補集物質の量を判断し、この濾過補集物質の付着
量が多くなったときに払い落とすことができ、これによ
って、有害物質の除去効率を常に高く保持することがで
きる。

【００１４】本発明の上記目的は、前記フィルタの表面
側に付着した濾過補集物質の補集量を検出するガス処理
能力検出手段と、前記ガス処理能力検出手段の検出結果
に応じて前記フィルタを逆洗する逆洗手段とを備えたこ
とを特徴とする排ガス処理装置によって達成することが
できる。この排ガス処理装置では、濾過補集物質が所定
量以上になってフィルタのガス処理能力が低下する前に
濾過補集物質を逆洗し、ガス処理能力を高く保持するこ
とができる。

【００１５】本発明の上記目的は、前記ガス処理能力検
出手段は、前記フィルタの流入側と流出側に設けた前記
排ガスの圧力検出手段であり、前記両方の圧力検出手段
の圧力差に基づいて前記フィルタのガス処理能力を判断
するようにしたことを特徴とする排ガス処理装置によっ
て達成することができる。この排ガス処理装置では、圧
力検出手段でフィルタのガス処理能力を簡便に検出する
ことができる。

【００１６】本発明の上記目的は、前記ガス処理能力検
出手段は、前記フィルタの流出側に設けた前記有害物質
の濃度測定装置であることを特徴とする排ガス処理装置
によって達成することができる。この排ガス処理装置で
は、フィルタから流出した有害物質の濃度を直接測定す
るので、有害物質を確実に除去することができる。

【００１７】本発明の上記目的は、前記フィルタの表面
側に付着した濾過補集物を払い落とすとのとほぼ同時
に、排ガスの濾過工程を利用して、排ガス中の有害物質
を吸着可能な吸着物質を前記フィルタの排ガスが流入す
る表面側に付着させる排ガス処理方法によって達成する
ことができる。この排ガス処理方法では、フィルタの洗
浄と吸着物質の付着を同時に行うので、準備工程を短縮
することができる。

【００１８】本発明の上記目的は、前記排ガス中の塵埃
を除去する除塵手段を前記フィルタによる排ガス処理室
の入口側に設けたことを特徴とする排ガス処理装置によ
って達成することができる。この排ガス処理装置では、
排ガス中の塵埃を除去してからガス処理をするので有害
物質の除去効率を上げることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る排ガス処理方
法及び装置の実施の形態について、図面を参照して詳細
に説明する。図１は本発明に係る排ガス処理装置の系統
図、図２は本発明に係る除塵機の断面図、図３は本発明
に係るガス処理機の断面図である。

【００２０】図１に示すように、この排ガス処理装置１
は、例えばゴミ焼却炉（図示せず）などから排出された
排ガスが配管１１を介して除塵機１２に供給され、ここ
で排ガス中の塵埃が除去される。除塵機１２から排出さ
れた排ガスは、配管１３を介してガス処理機１４に供給
され、ここで排ガス中の有害物質、例えばＨＣｌやＳＯ
x などの有害物質が除去される。ガス処理機１４から排
出された排ガスは、配管１５、誘引送風機１６、サイレ
ンサ１７及び配管１８を介して排気筒１９に供給され、
ここから外部に放出される。

【００２１】図２に示すように、除塵機１２は密閉され
た外ケーシング２１の下部側に流入管２２が設けられ、
ここに配管１１が接続されている。流入管２２の上面に
は開口２３が設けられ、ここから排ガスが外ケーシング
２１内に供給される。外ケーシング２１の上部側には天
板２４が設けられ、ここに複数のフィルタ２５が取り付
けられている。

【００２２】天板２４には、フィルタ２５の出口から排
出された排ガスを流出する排気口２６が設けられてい
る。天板２４の上部側には、フィルタ２５を逆洗するた
めの洗浄ノズル２７が設けられている。更に、洗浄ノズ
ル２７の上部側には排気管２８が設けられ、その下面に
は排ガスを通す開口２９が設けられている。排気管２８
には、上述の配管１３が接続されている。外ケーシング
２１の下部側には、粉体回収室３０が設けられている。

【００２３】図１に示すように、除塵機１２の粉体回収
室３０にはロータリ弁３１が取り付けられ、その下部側
にブロー管３２が設けられている。ブロー管３２の下部
側には、粉体回収用のコンテナ３３が移動自在に配置さ
れている。図３に示すように、ガス処理機１４は、密閉
された外ケーシング４１内が仕切り板４２で仕切られ、
プレ反応室４３と排ガス処理室４４とが設けられてい
る。プレ反応室４３内には、干渉材４５（例えば、丸
棒、チェーン、網など）が吊り下げられている。この干
渉材４５の表面には、後述の吸着物質４８が付着されて
いる。プレ反応室４３には配管１３が接続されており、
ここから排ガスが供給される。

【００２４】排ガス処理室４４の上部側には天板４６が
設けられ、ここに複数のフィルタ４７が取り付けられて
いる。フィルタ４７の表面は例えば弗化樹脂などで形成
され、この弗化樹脂に排ガス中の有害物質、例えばＨＣ
ｌやＳＯx などを吸着する吸着物質４８が全面に亘って
付着されている。吸着物質４８としては、例えばカルシ
ウム系又はマグネシウム系の粉粒体を使用することがで
きる。

【００２５】天板４６には、フィルタ４７の出口から排
出された排ガスを流出する排気口４９が設けられてい
る。天板４６の上部側には、フィルタ４７を逆洗して表
面側に付着した物質を払い落とすため、洗浄ノズル５０
が設けられている。また、洗浄ノズル５０の上側には排
気管５１が設けられ、その底面にはフィルタ４７から排
出された排ガスを導入する開口５２が設けられている。
排気管５１には、上述の配管１５（図１）が接続されて
いる。プレ反応室４３と排ガス処理室４４の下部側に
は、共通の粉体回収室５３が設けられている。

【００２６】図１に示すように、ガス処理機１４の粉体
回収室５３にはロータリ弁５４が取り付けられ、その下
部側にブロー管５５、ロータリ弁５６が順に設けられて
いる。ロータリ弁５６の下部側には、粉体回収用のコン
テナ５７が移動自在に配置されている。配管１３及び配
管１５には、ガス処理機１４に流入する排ガスの圧力を
測定する流入ガス圧力計５８と、ガス処理機１４から流
出した排ガスの圧力を測定する流出ガス圧力計５９とが
取り付けられている。また、配管１３には、パイプ６０
を介して吸着物供給装置６１が接続されている。この吸
着物供給装置６１から、吸着物質４８がガス処理機１４
に供給される。また、押込送風機６５から適宜加熱され
た熱風がバルブ６４、ブロー管５５、バルブ６２を介し
てパイプ６６を通して配管１３に供給されている。更
に、サイレンサ１７の流出側の配管１８には、排ガス中
の有害物質の濃度を測定するため、有害物濃度測定装置
６３が接続されている。

【００２７】次に、この排ガス処理装置１の作用を説明
する。図１に示すように、この排ガス処理装置１におい
ては、排ガス処理をする前にガス処理機１４内の干渉材
４５及びフィルタ４７に吸着物質４８を付着する付着処
理が行われる。この付着処理は、ガス処理機１４の下側
のバルブ６２、６４を閉めた状態で、誘引送風機１６が
動作して配管１１から空気が吸引され、この空気が除塵
機１２から排気筒１９までの経路を通って外部に排出さ
れる。このとき、吸着物供給装置６１から吸着物質４８
として、例えば消石灰（Ｃａ（ＯＨ）₂）、生石灰（Ｃ
ａＯ)などカルシウム系又はマグネシウム系の粉粒体が
送出され、この吸着物質４８がパイプ６０及び配管１３
を介してガス処理機１４に供給される。

【００２８】そして、図３に示すように、ガス処理機１
４のプレ反応室４３及び排ガス処理室４４を空気が通る
とき、空気に含まれる吸着物質４８が干渉材４５の表面
及びフィルタ４７の表面側に付着し、吸着物質４８の被
膜が形成される。干渉材４５及びフィルタ４７に付着し
なかった吸着物質４８は、粉体回収室５３に落下し、押
込送風機６５からの熱風を利用して、バルブ６４、ブロ
ー管５５、バルブ６２及びパイプ６６を介して再度ガス
処理機１４に供給され、付着処理が行われる。

【００２９】この付着処理で干渉材４５及びフィルタ４
７に所定量の吸着物質４８が付着した後、付着処理を終
了して排ガス処理が行われる。排ガス処理は、図１に示
すように例えばゴミ焼却炉（図示せず）などから排出さ
れた排ガスが、配管１１を通して除塵機１２に供給され
る。除塵機１２では、図２に示すように配管１１から供
給された排ガスが流入管２２の開口２３から外ケーシン
グ２１内に流入する。外ケーシング２１内では、排ガス
が複数のフィルタ２５を通過して天板２４の排気口２６
から排出され、開口２９を通って排気管２８に流れ込
む。ここでは、排ガスがフィルタ２５を通過することに
よって、排ガス中の塵埃がフィルタ２５の表面に付着し
て排ガスから除去される。

【００３０】除塵機１２を通過した排ガスは、図３に示
すように配管１３を通ってガス処理機１４に供給され
る。ガス処理機１４では、配管１３から供給された排ガ
スが外ケーシング４１内のプレ反応室４３に流入し、干
渉材４５に接触する。このように、排ガスが干渉材４５
に接触すると、干渉材４５の表面に付着している吸着物
質４８と排ガス中の有害物質とが反応し、濾過補集物が
生成される。この濾過補集物は、吸着物質４８と共に干
渉材４５の表面に付着しているか、又は粉体回収室５３
に落下する。これによって、排ガス中の有害物質がある
程度除去される。干渉材４５の数が多いほど、有害物質
の除去効率が高くなる。

【００３１】プレ反応室４３を通過した排ガスは、仕切
り板４２の下を通って排ガス処理室４４に供給される。
この排ガス処理室４４では、排ガスが複数のフィルタ４
７を通過して天板４６の排気口４９から排出され、開口
５２から排気管５１に流入する。このように、排ガスが
フィルタ４７を通過するときには、フィルタ４７の表面
側に付着している吸着物質４８と接触して、濾過補集物
が生成される。この濾過補集物は、吸着物質４８と共に
フィルタ４７の表面側に付着しているか、或いは粉体回
収室５３に落下する。これによって、排ガス中の有害物
質が除去される。

【００３２】ここでは、フィルタ４７の全表面に亘って
吸着物質４８が付着しているので、排ガスと吸着物質４
８との接触面積が広くなる。したがって、排ガス中の有
害物質の除去効率が非常に高くなる。排ガス処理室４４
で有害物質が除去された排ガスは、図１に示すように排
気管５１、配管１５、誘引送風機１６、サイレンサ１
７、配管１８、排気筒１９を経て外部に放出される。こ
のときには、排ガス中の有害物質が規定量以下になって
いる。

【００３３】上述の排ガス処理工程において、ガス処理
機１４の粉体回収室５３に蓄積した濾過捕集物は、ロー
タリ弁５４を回転させることによって、外ケーシング４
１を密封したまま、すなわち、排ガス処理を行っている
最中に取り出される。取り出された濾過捕集物は、ブロ
ー管５５とロータリ弁５６を介して、コンテナ５７に回
収される。ここで回収された濾過捕集物は、その状態に
応じて再度吸着物質４８として利用したり、或いはその
他の適宜な用途に利用することができる。

【００３４】また、排ガス処理工程においては、配管１
３に取り付けた流入ガス圧力計５８と、配管１５に取り
付けた流出ガス圧力計５９によって、ガス処理機１４に
流入する排ガス及び流出する排ガスの圧力が測定され
る。そして、その圧力差が所定値以上になったときに
は、フィルタ４７のガス通過面積が所定値以下になっ
た、すなわち、表面側に付着した濾過捕集物が増えてガ
ス処理能力が低下したと判断される。

【００３５】この場合には、誘引送風機１６を運転した
まま、図３に示すようにガス処理機１４の逆洗ノズル５
０から空気を噴射する。そうすると、噴射された空気は
天板４６の排気口４９からフィルタ４７内に供給され、
その表面の多数の孔を通過してケーシング４１内に排出
される。このときに、フィルタ４７の表面側に付着して
いる濾過捕集物が払い落とされて、粉体回収室５３に落
下する。これによって、フィルタ４７の排ガス通過面積
が元に戻される。この後、上述と同様に吸着物質４８の
付着処理が行われる。

【００３６】また、ガス処理能力の判定は、ガス処理機
１４から排出された排ガス中の有害物質の濃度を測定す
ることによって行うこともできる。この場合には、図１
に示すようにサイレンサ１７の出口側の配管１８を流れ
る排ガスが、有害ガス濃度測定装置６３に供給され、排
ガス中に含まれる有害ガス、例えばＨＣｌ、ＳＯx など
の濃度が測定される。

【００３７】そして、これらの有害ガスの濃度が所定値
以上になったときには、ガス処理機１４のフィルタ４７
のガス処理能力が低下したと判断され、上述と同様にし
てフィルタ４７の逆洗処理及び吸着物質４８の付着処理
が行われる。なお、上述の実施形態では逆洗処理と付着
処理を別々に行ったが、逆洗処理と付着処理を同時に行
うこともできる。この場合は、逆洗ノズル５０から空気
を噴射すると同時に、ガス処理機１４の外ケーシング４
１内に吸着物質４８を供給する。そうすると、フィルタ
４７の表面側に付着した濾過捕集物と吸着物質４８との
比重の差により、濾過捕集物は粉体回収室５３に落下し
て回収され、吸着物質４８はフィルタ４７の表面側に付
着する。また、上述の実施形態では一種類の吸着物質４
８を使用したが、複数種類の吸着物質を混合して使用す
ることもできる。

【００３８】

【実施例】更に、以下のような条件で実験した結果、排
ガス中の有害物質を殆ど除去することができた。（１）実験１排ガス供給量：１８００ｍ³Ｎ／ｈ吸着物質４８（Ｃａ（ＯＨ）₂）供給量：７８キログラ
ム／４．２ｈ吸着物質４８（Ｃａ（ＯＨ）₂）の粒径：（ＪＩＳ規格
特号）ＨＣｌ注入量：３９５０リットル／４.２ｈ排ガス中のＨＣｌ濃度：３００〜１５００ＰＰＭフィルタ４７の表面積：８１ｍ² 排ガス処理後のＨＣｌ濃度：０ＰＰＭ（２）実験２排ガス供給量：１６００ｍ³Ｎ／ｈ吸着物質４８（Ｃａ（ＯＨ）₂）供給量：８０キログラ
ム／４．５ｈ吸着物質４８（Ｃａ（ＯＨ）₂）の粒径：（ＪＩＳ規格
特号）ＳＯ₂注入量：１６３０リットル／４.５ｈ排ガス中のＳＯ₂濃度：０〜３００ＰＰＭフィルタ４７の表面積：８１ｍ² 排ガス処理後のＳＯ₂濃度：０ＰＰＭ

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の排ガス処
理方法及び装置によれば、排ガスの濾過を行う前に排ガ
スの濾過工程を利用して、排ガス中の有害物質を吸着可
能な吸着物質をフィルタの排ガスが流入する表面側に予
め付着させてから排ガスの濾過を行うので、吸着物質と
有害物質との接触面積が広くなり、有害物質の除去効率
が大幅に向上する。

【００４０】また、フィルタによる濾過工程の前処理を
プレ反応室で行うことにより、フィルタで排ガスの濾過
をする前に有害物質がある程度除去されるので、フィル
タによる有害物質の除去効率を上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る排ガス処理装置の系統図である。

【図２】本発明に係る除塵機の断面図である。

【図３】本発明に係るガス処理機の断面図である。

【符号の説明】

１排ガス処理装置１２除塵機１４ガス処理機２５、４７フィルタ２７、５０逆洗ノズル３０、５３粉体回収室３１、５４、５６ロータリ弁４３プレ反応室４４排ガス処理室４８吸着物５８流入側圧力計５９流出側圧力計６１吸着物供給装置６３有害物濃度測定装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ０１Ｄ 53/81 53/68

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フィルタを利用して排ガスの濾過を行う
排ガス処理方法において、前記フィルタを予め所定の位置に取り付け、前記排ガスの濾過を行う前に前記排ガスの濾過工程を利
用して、前記排ガス中の有害物質を吸着可能な吸着物質
を前記フィルタの排ガスが流入する表面側に予め付着さ
せてから、前記排ガスの濾過を行うことを特徴とする排
ガス処理方法。
【請求項２】フィルタを利用して排ガスの濾過を行う
排ガス処理装置において、前記排ガス中の有害物質を吸着可能な吸着物質を前記フ
ィルタの排ガスが流入する表面側に予め付着させてなる
ことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項３】前記フィルタによる濾過工程の前処理を
プレ反応室で行うことを特徴とする請求項１に記載の排
ガス処理方法。
【請求項４】前記フィルタによる濾過処理の前処理を
行うプレ反応室を設け、前記フィルタによる排ガス処理
室の粉体排出口と前記プレ反応室の粉体排出口とを共通
にしたことを特徴とする請求項２に記載の排ガス処理装
置。
【請求項５】前記フィルタによる排ガス処理室を密封
した状態で、前記排ガス処理室内の粉体を回収する粉体
回収手段を設けたことを特徴とする請求項２に記載の排
ガス処理装置。
【請求項６】前記フィルタによる排ガス処理室の粉体
回収路を前記吸着物質の供給路に接続し、前記吸着物質
の循環使用可能としたことを特徴とする請求項２に記載
の排ガス処理装置。
【請求項７】前記フィルタから落下した前記吸着物質
を回収して、循環系を用いて再度前記フィルタの表面側
に付着させることを特徴とする請求項１に記載の排ガス
処理方法。
【請求項８】前記フィルタを通過した前記排ガス中の
前記有害物質の濃度を検出し、検出した前記濃度が所定
値以上になったとき前記フィルタの表面側に付着した濾
過補集物質を逆洗浄により払い落とすことを特徴とする
請求項１に記載の排ガス処理方法。
【請求項９】前記フィルタの表面側に付着した濾過補
集物質の補集量を検出するガス処理能力検出手段と、前記ガス処理能力検出手段の検出結果に応じて前記フィ
ルタを逆洗する逆洗手段とを備えたことを特徴とする請
求項２に記載の排ガス処理装置。
【請求項１０】前記ガス処理能力検出手段は、前記フ
ィルタの流入側と流出側に設けた前記排ガスの圧力検出
手段からなり、前記両方の圧力検出手段の圧力差に基づ
いて前記フィルタのガス処理能力を判断するようにした
ことを特徴とする請求項９に記載の排ガス処理装置。
【請求項１１】前記ガス処理能力検出手段は、前記フ
ィルタの流出側に設けた前記有害物質の濃度測定装置で
あることを特徴とする請求項９に記載の排ガス処理装
置。
【請求項１２】フィルタの表面側に付着した濾過補集
物質を払い落とすのとほぼ同時に、排ガスの濾過工程を
利用して、排ガス中の有害物質を吸着可能な吸着物質を
前記フィルタの排ガスが流入する表面側に付着させるこ
とを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項１３】前記排ガス中の塵埃を除去する除塵手
段を前記フィルタによる排ガス処理室の流入側に設けた
ことを特徴とする請求項２に記載の排ガス処理装置。