JPH09248874A - 減圧真空積層法 - Google Patents

減圧真空積層法

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JPH09248874A
JPH09248874A JP8053723A JP5372396A JPH09248874A JP H09248874 A JPH09248874 A JP H09248874A JP 8053723 A JP8053723 A JP 8053723A JP 5372396 A JP5372396 A JP 5372396A JP H09248874 A JPH09248874 A JP H09248874A
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JP
Japan
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polymer solution
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vacuum
state
base
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JP8053723A
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Haruo Watanabe
晴男 渡辺
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Original Assignee
AFFINITY KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高分子の溶液を基板間に積層してなる高分子
溶液積層体において、積層体の垂直使用時に高分子溶液
が自重で上部の液体が下部に移動を起こすことを防止す
る製法をうることである。 【解決手段】 少なくとも一部が透明で直視可能な基板
で積層、封止された高分子溶液をもつ積層体の製法にお
いて、高分子溶液を塗布した基板を減圧脱気した真空状
態で対向基板を加圧積層することにより通常使用の大気
圧で負圧状態をもつ高分子溶液積層体となり、外部から
基板が押されている状態となり高分子溶液の自重落下を
防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも一部が
透明で直視可能な基板間に機能性をもつ高分子の溶液を
溶液状態で積層する積層体の製法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、機械的な方法に代えて機能性材料
を組み込んだ複合ガラスを使用して物理化学的に光線を
可逆的に制御する調光ガラスが提案されている。例え
ば、液晶、エレクトロミック、微粒子分極配向、フォト
クロミック、サーモクロミック、サーモトロピック等の
方式がある。また、太陽光エネルギーの居住空間への侵
入を防ぐために熱線吸収ガラスや熱線反射ガラス等が窓
にすでに使用されている。なお、調光ガラスは、社団法
人ニューガラスフォーラムの平成3年度ニューガラス産
業対策調査研究報告書(地球温暖化防止対策)に詳細に
記されているように、省エネルギー対策との関係もあ
り、これからの開発が強く期待されている。
【0003】そこで、本発明者は、太陽光エネルギーが
窓に照射していることに注目した。このエネルギーの有
無により、窓ガラスが熱作用の自律応答により白濁散乱
して透明ー不透明の可逆変化、呈色の可逆変化等をおこ
す現象を利用して、快適な居住空間をうる方法を検討し
てきた。この自律応答特性は、照射面のみ遮光して防眩
する特長や省エネルギー効果のみならず施工、メンテナ
ンス、維持費等からも非常に魅力的であることに着目し
てきた。そこで、機能性高分子の溶液を大面積状態で透
明基板に積層し、かつその積層を維持できる積層体の製
法が非常に重要となった。
【0004】従来、液体状態を積層して比較的大きい面
積で使用されている積層体は、端末表示用にすでに広く
使用されている液晶表示パネル程度である。本発明のよ
うに、機能性高分子の溶液を積層し、その溶液状態のま
ま積層体として最終使用(例えば、窓、広告表示体等)
に用いた例はいまだない。その理由は、高分子溶液を基
板に面状塗布または中央部滴下後に対向基板を積層加圧
して密着して外周を封止してなる積層体は、垂直使用す
ると高分子溶液の自重で上部の液体が下部に移動を起こ
し、均一な積層状態を維持することができなかった。例
えば、すでに、本発明者は、非架橋型の線状高分子の溶
液を積層する方法に関し、特願平5−62502で検討
しており溶液法と個体法に分けて述べてあが、垂直使用
時における自重落下の問題に関しては特に論じられてい
ない。高分子溶液積層体の製法として、高分子溶液を用
いて基板に塗布、積層してなる溶液法と基板間にある高
分子個体を注入された溶媒に接触させて高分子溶液とす
る個体法とがあるが、この問題を解決することは共に大
切であり、通常の窓ガラスのように垂直状態で使用する
場合には必ず必要となる。より具体的には、封止の方法
にも多少依存するが、特に負圧状態をえる積層法を用い
ることなく、常圧で塗布、積層による積層体は10セン
チ角程度の基板サイズでも自重流動性をもつ高分子溶液
なら自重の流動を起こし上部と下部の厚みにむらが発生
した。また、積層された高分子溶液の厚みは、10ミク
ロンから5ミリ、通常は50ミクロンから2ミリ程度の
厚みで使用されるので自重落下による流動性を防止する
ことは重要であった。よって、窓等の建材使用を考えて
20センチ以上、さらに10センチ以上の基板の製法と
して本発明は有用である。
【0005】そこで、検討された方法は、化学的な方法
として高分子に部分的に架橋構造を導入して架橋型の膨
潤ゲルにして流動を防止する方法である。しかし、流動
落下を防止できる程度まで架橋密度を導入することは、
高分子の構造を架橋可能なモノマーをもつコポリマー型
の高分子設計にかえることであり、それにより本来の機
能特性、耐久性等に影響がでるため設計自由度を大きく
そこねることになる。特にこの分子設計の自由度をそが
れることは、大面積の均一可逆安定性という非常に高度
な機能を必要とする素子設計には、致命的な欠点とな
る。また、構造的、機械的な方法として、点状、線状に
内側から基板間を接着固定して層厚を維持する方法もあ
るが、窓等のライトバルブ機能として使用する場合、こ
の点と線の存在が視覚に対して絶対的な欠陥となり満足
しえるものではなかった。そこで、本発明者は、化学的
方法や機械的方法ではなく物理的方法を鋭意検討して本
発明に至った。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】高分子の溶液を基板間
に積層してなる積層体において、積層体の垂直使用時に
高分子溶液が自重で上部から下部に移動を起こすことを
防止する積層法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の問題点
を解決するためになされたものであり、少なくとも一部
が透明で直視可能な基板で積層、封止された高分子溶液
をもつ積層体の製法において、高分子溶液を塗布した基
板を減圧脱気した真空状態で対向基板を加圧積層して負
圧状態をもつ高分子溶液積層体の減圧真空積層法を提供
するものである。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明は、高分子溶液を基板に塗
布、積層、封止して高分子溶液の積層体をうる溶液法に
おいて、垂直状態に設置しても高分子溶液が自重落下す
ることを防止できる積層法である。この溶液法は、目的
の組成をもつ高分子溶液をはじめに調製し、基板に塗
布、積層する方法である。
【0009】つぎに、本発明の課題である積層体内にあ
る高分子溶液の自重落下を防止するには、積層体の使用
時において内部が外部より負圧に維持されておれば、基
板が板ばねとなり常に外部から内部に押された状態とな
る。その結果、高分子溶液は基板間で自重落下すること
なく維持される。これを均一な高分子溶液層にするため
には、内部に目的厚みになるようにスペーサー(例え
ば、ガラスビーズ、樹脂ビーズ等)を散布しておく必要
がある。
【0010】本発明は、大気圧に対して負圧をえる方法
である。高分子溶液を塗布した基板を真空装置内におき
脱気して減圧真空状態にしてから、対向基板を積層密着
して加圧して積層体にする方法である。より具体的な方
法の例として、真空装置の真空部を上下にゴムシートで
分割してあり、下部に塗布基板とそれに浮かすように対
向基板をおき、上部と下部ともに脱気して減圧真空状態
にしてから対向基板を塗布基板に接触密着させると共に
上部を大気圧にもどして加圧することにより負圧状態を
もつ高分子溶液積層体をえた。当然であるが、減圧真空
状態下ならゴムシートによる大気圧加圧でなく、一般的
な機械プレスによる加圧でもよい。なお、特に説明しな
いが基板辺部に断差による特異な加圧がかからないない
ように補助部材を配置しておくと好ましい。このように
減圧真空状態にすると高分子溶液に溶存していた空気も
同時に脱気された。この脱気により、溶存酸素が大きく
減少して長期間使用される窓等に対しては、酸化作用に
よる劣化を大きく防止することができるので重要であ
る。また、積層後に一部残存した小さな気泡は、時間と
共に高分子溶液に吸収されて消失した。この減圧真空の
程度は、基板サイズの大きさにも依存するが、特にその
程度を限定されるものではないが、一般的な真空ポンプ
でも容易にえられる100mmHg以下、好ましくは5
0mmHg以下がよい。下限は、真空管、真空装置のよ
うに真空場を利用する目的ではないので、特に高真空状
態を必要とせず0.1mmHg、もしくは0.01mm
Hg程度でよい。この減圧真空状態では、例えば高分子
水溶液では減圧により発泡を起こすが特に問題にするこ
となくプロセスを進めて積層、大気圧で加圧していけば
よい。積層直後は、発泡箇所で溶媒、すなわち水が蒸発
減少して濃度が高くなりリンク状に模様が残る現象をみ
たが、時間とともに溶媒拡散がおこり室温放置で容易に
均一状態になり、全く問題にならないことを観察確認し
た。
【0011】さらに、均一な高分子溶液層をうるために
は、減圧真空状態の時に基板間ギャップを一定に維持す
るためにスペーサー(例えば、ガラスビーズ、樹脂ビー
ズ等)を全面に散布する必要がある。また、基板の外周
部は、細い板状のスペーサーを使用してもよい。特に板
状スペーサーの片側を接着固定しておくと積層時にずれ
ることがないので好ましい。スペーサーの高さは、かな
らずしも限定されるものではないが、0.01から2m
m程度でよく必要とする高分子溶液層の厚みに合せて選
択すればよい。また、基板間ギャップを一定に維持する
ためにスペーサーの代わりに型板ガラスのように基板表
面の凸凹を利用する方法も有用である。なお、塗布法
は、通常に広く使用されている方法、例えば、流し込
み、マスク塗布、バーコーター、アプリケーター、ディ
スペンサー、転写等でよく特に限定されるものではな
い。塗布は、特に均一な塗布を形成しなくてもよく、例
えば、ディスペンサーによるストライプ状に塗布してあ
っても真空状態で積層するために、積層、加圧とともに
基板間に全面展開して均一な積層体をえた。よって、塗
布表面の凸凹は全く問題でなく、マクロ的に均一であれ
ばその高分子溶液の量により層厚が決定される。また、
高分子溶液の粘度は、特に限定されるものではないが溶
媒の様に低粘度では塗布がし難いので、高分子溶液の高
分子効果で増粘するので広く使用できるが、20℃で1
000cps以上、より好ましくは5000cps以上
あると塗布、積層の作業がし易く好ましい。高い粘度に
関しては塗布できればよく、特にライオトロピック型の
高分子液晶の場合は、非常に粘度が高く自重のみでは流
動変形を示さないほどであり、数百万cps以上の粘度
とおもえるがチクソトロピック性もみられる溶液もあり
数値表現が困難である。しかし、バーコーター等の塗布
器で外部からエネルギーを掛けてやれば流動変形して塗
布できれば、本発明の高分子溶液とすることができる。
なお、1000cps以下の低粘度の溶液であれば、一
般の液晶表示パネルと同様に真空注入法を利用できる。
しかし、粘度が高くなると0.01mmから2mm程度
の狭い隙間に大面積で注入することは全く不可能であっ
た。
【0012】つぎに、封止は、積層後に積層体の外周辺
部に封止剤を介して枠を固定する方法、マスクして塗布
して外周部に高分子溶液をもたない基板に対向基板を積
層してから外周部に封止剤を流し込む方法等がある。さ
らに、本発明では、基板の外周部に封止剤を高分子溶液
とともに設けてから対向基板を真空積層して、封止剤も
同時に積層する方法も含まれる。特に封止剤に固形分1
00%からなる液状の感光性樹脂(例えば、アクリル系
の液状樹脂等)を使用すると、積層、加圧した状態で基
板の外周部に紫外線を照射すると感光性樹脂が固化して
基板接着をする。その方法は、例えば、基板を受ける盤
台に放射状にスリットを設けて下部から光照射して仮固
定する方法、光ファイバー利用してサイドから光照射し
て仮固定する方法、石英、アクリル板等の紫外線を透過
する盤台を利用する方法等がある。その結果、真空を開
放して常圧に積層体をおいても、高分子溶液の内部への
引き込み現象が起きずに、ほぼ理想的に十分な負圧状態
をもった積層体をえることができた。当然、外周部の感
光性樹脂を十分に光化学反応させて良好な封止とするた
めに、真空を開放してから十分に光照射するとよい。ま
た、必要におうじて、枠構造をもうけて2段封止構造と
してもよい。さらに、高分子溶液の溶媒蒸発を防止する
ために、溶媒をもつ扁平なチューブを感光性樹脂ととも
に外周部にもうけてもよい。例えば、ポリエチレン、ポ
リプロピレン等の20から50ミクロン程度のフィルム
からなる細長い袋に水をいれた水袋を4辺部に配するこ
とにより、飽和蒸気バリヤー層が形成されて高分子水溶
液の溶媒である水の膜拡散透過による蒸発を防止でき、
高分子水溶液の濃度を確実に長期間にわたって一定に保
つことがでる。この様な外周部の封止は、通常の使用時
には窓枠のサッシ溝内に隠され視覚機能的にも特に問題
はなかった。また、少し時間がかかるが例えば、エポキ
シ樹脂のように固形分100%の液状樹脂を感光性樹脂
の代わりに用いてもよい。
【0013】さらに、ホットメルト型封止剤を外周部に
設けて高分子溶液とともに対向基板を真空積層して封止
剤も同時に積層する方法も非常に有用であった。必要に
おうじて適度に加温すれば、ホットメルト型封止剤はよ
り軟化して変形し易くなり、減圧真空状態で対向基板を
積層、加圧することで、特に気泡の混入なく高分子溶液
は加圧により基板間内全面に拡大展開した。その結果、
封止剤が基板に粘着しかつ高分子溶液は封止の内側全面
に満たされた状態に封止、積層された。ここで注意する
ことは、真空状態であるので空気、すなわち気泡の残存
に関しては全く問題はなく、高分子溶液が封止に接触す
る前に基板間で封止剤との接触がとれていれば、高分子
溶液が封止外に漏れるこたはなかった。この方法は、特
に封止剤の硬化処理を必要とせず短時間で目的を達し
た。例えば、複層ガラスの封止剤に使用されているイソ
ブチレン系封止剤(例えば、テイパ化工社のPIB−5
21等)は室温加圧でも加圧変形し、かつ密着して封止
機能を十分に示した。当然、加温して加圧すると容易に
変形した。このイソブチレン系封止剤は、すでに知られ
ているように透水性が極端に小さく水溶性高分子溶液
(例えば、水性ゲル等)の封止に非常に有効であった。
封止をより十分にするために、このイソブチレン系封止
剤の外側の最外周部に前記した基板接着性をもつ感光性
樹脂を約5mm幅ほど流し込んで光照射した結果、機械
的な接着とともに高温時での透水性を小さくすることが
できた。そして、このようにしてえた積層体を垂直にし
て室温放置した結果、特に流動落下は観測されず良好で
あった。三ヶ月後も特に変化はなく安定していた。
【0014】つぎに、本発明で使用できる機能性高分子
は、溶媒に溶解して溶液になる高分子、もう少し広げて
溶媒を高吸収して非常に柔軟体になるゲル等などに特に
限定されることなく広く使用できる。要するに、自重落
下するゲルも本発明に含まれるものとする。例えば、高
分子と溶媒からなるライオトロピック型の高分子液晶、
疎水基をもつ水溶性高分子の水性ゲル、イオン伝導性を
もつ高分子ゲル等がある。当然、各種の添加剤を添加す
ることもできる。例えば、水性ゲルの相分離を防ぎ均一
可逆性をもたらす両親媒性分子、水性ゲルの相転移温度
をシフトさせる水溶性無機電解質、防腐剤、着色剤、紫
外線吸収剤等の低分子を適宜、高分子個体や溶媒に添加
して使用できる。本発明の主体は積層体の製造方法にあ
るので物質の詳細は省略すが、例えば、プロピレンオキ
サイドを高付加して得られるヒドロキシプロピルセルロ
ース、ヒドロキシプロピルプルラン、ヒドロキシプロピ
ルデキストラン等がある。なかでもセルロース誘導体
は、安定性が高く重要である。特記しない限り、セルロ
ース誘導体を主体として記述するが、もちろん本発明は
これに限定されるものではない。このセルロース誘導体
に付加された各種の官能基やその付加方法は、朝倉書店
の出版である大有機化学第19巻に詳細に開示されてお
り、これらの方法と一般の付加反応を組み合わせること
により、水酸基、低級アルキル基、ハロゲン基等を付加
せしめることによって親水性疎水性バランスを調製でき
る。また、その他の機能性高分子の例として、可逆的に
曇点現象を示す水溶性高分子である例えば、ポリビニル
アルコール系のポリビニルアルコール部分酢化物、ポリ
ビニルメチルエーテル等、ポリN−置換アクリルアミド
誘導体のポリN−イソプロピルアクリルアミド、ポリN
−エトキシエチルアクリルアミド等、ポリN−置換メタ
クリルアミド誘導体のポリN−イソプロピルメタクリル
アミド、ポリN−3−エトキシプロピルメタクリルアミ
ド等、ポリN,N−ジ置換アクリルアミド誘導体のポリ
N−メチルN−エチルアクリルアミド等がある。
【0015】基板は、ガラスではソーダライムガラス、
ホウ珪酸ガラス、熱線吸収・紫外線吸収ガラス等があり
特に限定されることなく広く使用できる。また、強化ガ
ラス、耐熱ガラス、合わせガラス、網入りガラス、型板
ガラス等の板ガラスも特に限定することなく使用でき
る。なお、機能性高分子溶液を太陽光線の紫外線から保
護するには紫外線吸収・カットガラスが重要であり、例
えば、紫外線を吸収するセントラル硝子社のグリーンラ
ルSP、日本電気硝子社のファイアライト、紫外線をハ
ロゲン化銅の微粒子散乱でカットする五鈴精工硝子社の
ITY等の板ガラスは有用である。ただ、一般のソーダ
ライムガラスで厚みが約5mm以上であると350nm
以下の紫外線透過が急激に小さくなり耐候性の面で好ま
しい。また、プラスチックでは、ポリカーボネイト樹
脂、アクリル樹脂等があり、その樹脂板に紫外線吸収剤
の添加、ラミネート等により370nm以下の紫外線を
吸収・カットすることもできる。この基板サイズは、特
に限定されることなく使用でき、建築、車両等広く使用
できる。また、本発明は、少なくとも一部が透明であれ
ばよく、片側がガラスでもう一方が非透明板でもよく、
例えば、金属板(例えば、アルミ板、ステンレス板、チ
タン板等)、セラミックス板等を用いてもよい。これ
は、広告板、壁板等に利用できる。
【0016】
【実施例】以下に実施例を示し、本発明をさらに説明す
る。なお、これらの実施例においては水にも有機溶媒に
も溶解する高分子である多糖類誘導体のヒドロキシプロ
ピルセルロースを用いるが、本発明はこれらの実施例に
より限定されるものではない。
【0017】実施例1 ヒドロキシプロピルセルロース(ヒドロキシルプロピル
基:62.4%、2%水溶液粘度:8.5cps、重量
平均分子量:約60000)100重量部、ポリオキシ
プロピレン2−エチル−2−ヒドロキシメチル−1,3
−プロパンジオール(平均分子量400)20重量部、
塩化ナトリウム6重量部および純水200重量部からな
る、20℃で無色透明な高分子水溶液を調整した。1×
2m角で4mm厚のソーダライムガラスの上に高分子水
溶液をバーコーターで全面に塗布展開し、直径約0.5
5mmの樹脂ビーズを散布した。シリコーンゴムで上下
に分割された真空槽の下層に、塗布基板の上に対向基板
を浮かした状態で一対の基板をセットし、さらにその外
周の4辺に幅30mmで9mm厚の樹脂板をおいた。そ
の後、真空ポンプで真空槽の上層、下層を同時に約1m
mHgに減圧吸引して減圧真空の状態にしてから対向基
板の浮かした状態をはずして塗布基板に重ねてから、上
層のみを常圧にもどしてゴムを介して大気圧で加圧して
高分子溶液を積層してから下層も常圧にもどして積層体
を取り出した。つぎに、室温硬化型のエポキシ接着剤を
介してコの字型のアルミ枠を4角に補助キャップを付け
て固定して封止とした。所々に発泡によるむらが観察さ
れたが約1週間の室温放置で完全に消えて均一な高分子
溶液積層体になった。この高分子溶液積層体は、室温
(無色透明状態)と60℃(白濁散乱状態)での可逆安
定性テストの結果、相分離を生じることなく良好であっ
た。つぎに、長辺を垂直にして室温放置した結果、特に
流動落下は観測されず良好であった。3ヶ月後も特に変
化はなく安定していた。
【0018】実施例2 実施例1と同様にして1×1m角で厚4mmのソーダラ
イムガラスの基板にマスク塗布して基板外周部を20m
m幅で未塗布状態の塗布基板を作成した。つぎに基板全
体に直径約0.55mmの樹脂ビーズを散布した後に、
実施例1と同様にして積層体とした。真空槽から取り出
して、この積層体の外周部に感光性樹脂を流し込み紫外
線を照射して封止とした。つぎに、この高分子溶液積層
体を垂直にして室温放置した結果、特に流動落下は観測
されず良好であった。3ヶ月後も特に変化はなく安定し
ていた。
【0019】実施例3 実施例2と同様にしてえた塗布基板の20mm幅で未塗
布状態の外周部に、実施例2で使用した感光性樹脂を塗
布してから基板全体に直径約0.55mmの樹脂ビーズ
を散布した後に、実施例1と同様にして基板をゴムを介
して大気圧で加圧してある状態で、外周に設けた樹脂版
を細工して線状に配置してある光ファイバーから紫外線
を照射して感光性樹脂を固化させて積層体とした。その
後、真空槽から取り出して十分に紫外線を照射して封止
とした。つぎに、この高分子溶液積層体を垂直にして室
温放置した結果、特に流動落下は観測されず良好であっ
た。3ヶ月後も特に変化はなく安定していた。
【0020】実施例4 実施例1のヒドロキシプロピルセルロース10重量部と
純水7重量部からなる室温で呈色をしめすライオトロピ
ック型の高分子液晶を調整した。その後、実施例1と同
様にして高分子溶液であるライオトロピック型の高分子
液晶を積層した高分子溶液積層体をえた。つぎに、長辺
を垂直にしてこの高分子溶液積層体を室温放置した結
果、特に流動落下は観測されず良好であった。3ヶ月後
も特に変化はなく安定していた。
【0021】実施例5 実施例1の無色透明な高分子水溶液を63×63cm角
で厚3mmのソーダライムガラスの基板に外周部を10
mm空けて直径10mm、高さ1mm、ピッチ15mm
で設け、最外周部を7mm空けて外周部に幅8mm、高
さ2mmイソブチレン系封止剤を設けた。その後、この
基板を60℃の加温プレートに置き、約1mmHgの真
空状態にしてから同サイズの対向基板をすみやかに積
層、均一加圧して封止剤、高分子水溶液を拡大展開して
封止幅約15mm、高分子水溶液層約1mmの積層体を
えた。所々に水蒸発による濃度差による円形状のむらを
観察したが、1週間後には水が拡散して均一になった。
また、特に気泡の問題もなかった。つぎに、この高分子
溶液積層体を垂直にして室温放置した結果、特に流動落
下は観測されず良好であった。3ヶ月後も特に変化はな
く安定していた。
【0022】
【発明の効果】本発明の効果は、単純に高分子溶液を基
板間に積層してなる高分子溶液積層体は、窓ガラスのよ
うに垂直状態で使用すると、高分子溶液が自重で上部か
ら下部に移動を起こし積層体が不均一化、さらには上部
に大きな気泡だまりを引き起こすが、本発明のように負
圧状態をもつ高分子溶液積層体は、基板が板ばねとなり
常に外部から内部に押された状態となる。その結果、高
分子溶液は基板間で自重落下することなく維持できた。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも一部が透明で直視可能な基板
    で積層、封止された高分子溶液をもつ積層体の製法にお
    いて、高分子溶液を塗布した基板を減圧脱気した真空状
    態で対向基板を加圧積層して負圧状態をもつ高分子溶液
    積層体の減圧真空積層法。
  2. 【請求項2】 基板間にスぺーサーを散布してあること
    をを特徴とする請求項1の減圧真空積層法。
  3. 【請求項3】 塗布された高分子溶液とともに基板外周
    部に封止剤も同時に設けてある状態で対向基板を加圧積
    層することを特徴とする請求項1または請求項2の減圧
    真空積層法。
JP8053723A 1996-01-10 1996-02-19 減圧真空積層法 Pending JPH09248874A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8053723A JPH09248874A (ja) 1996-01-10 1996-02-19 減圧真空積層法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1824596 1996-01-10
JP8-18245 1996-01-10
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