JPH09254384A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 非駆動部の誤動作による画像品質の劣化を生
じる。 【解決手段】 基板１上に駆動部４の外部電極２５にの
み接続可能な電極２７ａを有する共通電極パターン２７
と、駆動部４の外部電極２６にのみ接続可能な電極２８
ａからなる個別電極パターン２８とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに関し、特に積層型圧電素子をアクチュエータ素子
に用いるインクジェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、特にカラー化が容易なことから、
コンピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力する
プリンタの他、ファクシミリやコピー機等にも用いられ
るようになっている。このようなインクジェット記録装
置に用いられるインクジェットヘッドとして、アクチュ
エータ素子として積層型圧電素子を用いて加圧液室を加
圧して加圧液室に連通したノズルからインクを液滴化し
て噴射させる所謂ピエゾアクチュエータ方式のものがあ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
積層型圧電素子を用いたピエゾアクチュエータ方式のイ
ンクジェットヘッドにあっては、加圧液室を加圧する駆
動部と液室部材を支持する非駆動部を交互に配置する構
造にすることで、１のノズルから噴射された液滴の速度
と多数のノズルから噴射された液滴の速度の比率で表わ
される相互干渉を低減することができる。

【０００４】しかしながら、このように積層型圧電素子
からなる駆動部と非駆動部とを交互に配置する場合、非
駆動部が組立不良や加工不良によって、或いは、導電性
のゴミが電極間にブリッジしたり、ヘッドに接続するＦ
ＰＣケーブル等の半田接合時の半田の飛散などによっ
て、電気的に接続されると、駆動部に電圧を印加したと
き非駆動部も変位してしまい、インク滴の飛翔速度が著
しく低下して画像品質が劣化するという不都合が生じ
る。

【０００５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、非駆動部の誤動作による画像品質の劣化を防止す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、ノズルと加圧
液室に対応する積層型圧電素子を基板上に配置し、前記
積層型圧電素子は前記加圧液室を加圧する駆動部と液室
部材を支持する非駆動部を交互に配置してなり、前記駆
動部の変位で前記加圧液室を加圧して前記ノズルからイ
ンク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前
記駆動部の共通電極及び／又は個別電極側の外部電極に
のみ接続可能な電極パターンを前記基板上に設けた。

【０００７】請求項２のインクジェットヘッドは、ノズ
ルと加圧液室に対応する積層型圧電素子を基板上に配置
し、前記積層型圧電素子は前記加圧液室を加圧する駆動
部と液室部材を支持する非駆動部を交互に配置してな
り、前記駆動部の変位で前記加圧液室を加圧して前記ノ
ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに
おいて、前記積層型圧電素子の個別電極側の外部電極に
接続可能な電極パターンを前記基板上に形成すると共
に、前記非駆動部に対応する電極パターンの少なくとも
一部を除去して、前記駆動部の個別電極側の外部電極に
のみ駆動波形を印加可能とした。

【０００８】請求項３のインクジェットヘッドは、ノズ
ルと加圧液室に対応する積層型圧電素子を基板上に配置
し、前記積層型圧電素子は前記加圧液室を加圧する駆動
部と液室部材を支持する非駆動部を交互に配置してな
り、前記駆動部の変位で前記加圧液室を加圧して前記ノ
ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに
おいて、前記駆動部及び非駆動部は、内部電極を短冊状
にパターン化して前記駆動部に対応する部分にのみ設け
た積層型圧電素子を分割して形成した。

【０００９】請求項４のインクジェットヘッドは、ノズ
ルと加圧液室に対応する積層型圧電素子を基板上に配置
し、前記積層型圧電素子は前記加圧液室を加圧する駆動
部と液室部材を支持する非駆動部を交互に配置してな
り、前記駆動部となる積層型圧電素子の変位で前記加圧
液室を加圧して前記ノズルからインク滴を吐出させるイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記駆動部及び非駆動部
は、前記外部電極の外側に前記非駆動部となる部分に選
択的に絶縁性材料を設けた積層型圧電素子を分割して形
成した。

【００１０】請求項５のインクジェットヘッドは、ノズ
ルと加圧液室に対応する積層型圧電素子を基板上に配置
し、前記積層型圧電素子は前記加圧液室を加圧する駆動
部と液室部材を支持する非駆動部を交互に配置してな
り、前記駆動部の変位で前記加圧液室を加圧して前記ノ
ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに
おいて、前記駆動部及び非駆動部は、前記外部電極の内
側に前記非駆動部となる部分に選択的に絶縁性材料を設
けた積層型圧電素子を分割して形成した。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用したイン
クジェットヘッドの一例を示す分解斜視図、図２は同イ
ンクジェットヘッドの要部断面図、図３は同インクジェ
ットヘッドの図２と直交する方向の要部断面図である。

【００１２】このインクジェットヘッドは、セラミッ
ク、ガラスエポキシ樹脂等からなる絶縁性の基板１上
に、２個の積層型圧電素子２を接合して配置し、これら
の各列の積層型圧電素子２の周囲を取り囲むフレーム３
を接合している。ここで、積層型圧電素子２は、アクチ
ュエータ素子となる駆動部４と単に液室部材を固定支持
する非駆動部５を交互に配置している。また、積層型圧
電素子２及びフレーム３の上面はほぼ同一平面に位置出
し又は研削加工している。

【００１３】そして、これらの積層型圧電素子２及びフ
レーム３の上面に振動板７を接合している。この振動板
７は、変位部となるダイヤフラム８と、非駆動部５に接
合する梁９、フレーム３に接合するベース１０から形成
し、またダイヤフラム８は駆動部４に対向する凸部１１
及び薄膜部分１２から形成している。なお、基板１と積
層型圧電素子２及び振動板７との接合は接着剤６によっ
て行っている。

【００１４】この振動板７上に２層構造の感光性樹脂フ
ィルム等からなる液室流路形成部材１３を接着し、この
液室流路形成部材１３上に複数のノズル１４を形成した
ノズルプレート１５を接着している。液室流路形成部材
１３は上部隔壁１７及び下部隔壁１８からなり、振動板
７及びノズルプレート１５と共に、駆動部４に対向する
加圧液室１９、加圧液室１９の両側等に位置する共通液
室２０、加圧液室１９と共通液室２０を連通する流体抵
抗部を兼ねたインク供給路２１を形成している。

【００１５】ここで、積層型圧電素子２は、図２及び図
３に示すように、厚さ２０〜５０μｍ／１層のＰＺＴ
（＝Ｐb（Ｚr・Ｔi）Ｏ₃）２３と、厚さ数μｍ／１層の
銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電極２４とを
交互に積層したものである。圧電素子を、厚さ２０〜５
０μｍ／１層の積層型とすることによって駆動電圧の低
電圧化を図れ、例えば２０〜５０Ｖのパルス電圧で圧電
素子の電界強度１０００Ｖ／mmを得ることができる。な
お、圧電素子として用いる材料は上記に限られるもので
なく、一般に圧電素子材料として用いられるＢaＴi
Ｏ₃、ＰbＴiＯ₃、（ＮaＫ）ＮbＯ₃等の強誘電体などを
用いることもできる。

【００１６】この積層型圧電素子２の各内部電極２４は
１層おきにＡgＰdからなる左右の外部電極２５，２６に
接続している。一方、基板１上には、積層型圧電素子２
の各列の間に位置して駆動部４に対して駆動波形を印加
するための共通電極パターン２７を形成すると共に、駆
動部４に対して選択信号を与えるための個別電極パター
ン２８を設けている。

【００１７】これらの各電極パターン２７，２８は後述
するように各駆動部４に対してのみ形成して、各駆動部
４の外部電極２５を銀ペースト等の導電性接着剤３０を
介して共通電極パターン２７に接続し、外部電極２６を
同じく導電性接着剤３０を介して個別電極パターン２８
に接続している。なお、共通電極パターン２７はフレー
ム３の中央部に形成した穴部３１内に導電性接着剤３０
を塗布することで各パターン部の導通を取るようにして
いる。そして、共通電極パターン２７及び個別電極パタ
ーン２８にはそれぞれＦＰＣケーブル３２，３３を接続
する。

【００１８】さらに、基板１、フレーム３及び振動板７
には、外部から供給されるインクを共通液室２０に供給
するためのインク供給孔３５，３６，３７をそれぞれ形
成している。これらの各部は、組付後、ヘッドホルダ３
８及びノズルカバー３９に内収納保持している。

【００１９】このインクジェットヘッドにおいては、共
通電極パターン２７を介して駆動部４に駆動波形を印加
し、個別電極パターン２８を介して記録画像に応じた選
択信号を駆動部４に印加することによって、選択された
駆動部４に積層方向の変位が生起して対応する加圧液室
１９を振動板７のダイヤフラム８を介して加圧し、これ
によって加圧液室１９内のインクが加圧されてノズル１
４からインク滴となって噴射して記録媒体に画像を記録
する。

【００２０】ここで、このインクジェットヘッドの組付
け工程について図４乃至図７を参照して簡単に説明す
る。まず、図４及び図５に示すように、予め共通電極パ
ターン２７及び個別電極パターン２８（パターンの具体
例は後述する。）を形成した基板１上に、２枚のプレー
ト状の積層型圧電素子２，２を接着剤によって所定位置
に接着接合する。そして、プレート状積層型圧電素子２
の両端面に形成した外部電極２５，２６と各電極パター
ン２７，２８との電気的導通をとるために、図６及び図
７に示すように積層型圧電素子２の外部電極２５，２６
と各電極パターン２７，２８との間に銀ペーストからな
る導電性接着剤３０を塗布する。

【００２１】そして、基板１上に積層型圧電素子２，２
を接着接合してなる被加工物を、ダイシングソーのテー
ブルにセットして、例えば電鋳ブレードを用いて基板１
まで及ぶスリット加工を施してスリット溝４３（図１参
照）を形成し、指定の本数分のスリット加工を施すこと
でプレート状の積層型圧電素子２，２を所要数の駆動部
４及び非駆動部５に分割する。その後、基板１上にフレ
ーム３を接着剤６で接合し、ＦＰＣケーブル３２，３３
を基板１の共通電極パターン２７及び個別電極パターン
２８に熱と加圧で接合することによって、アクチュエー
タユニットを形成する。

【００２２】一方、予めエレクトロンフォーミング工法
（電鋳）を用いてＮi（ニッケル）の金属プレートから
なるダイヤフラム８等を有する振動板７及びノズル１４
を有するノズルプレート１５を製造して、振動板７上に
ドライフィルムレジスト等を用いて下部隔壁１８を形成
する一方、ノズルプレート１４にドライフィルムレジス
ト等を用いて上部隔壁１７を形成して、これらを位置合
せして接合することによって液室ユニットを形成し、上
述したアクチュエータユニットと接合してインクジェッ
トヘッドを完成する。

【００２３】このように駆動部と非駆動部とを交互に配
置した積層型圧電素子を備えたインクジェットヘッドに
おいては、前述したように非駆動部に対して駆動波形が
印加されると、非駆動部に変位が生起されてしまうの
で、これを防止する必要がある。そこで、本発明に係る
非駆動部の変位を防止する構成例について図６以降を参
照して説明する。

【００２４】図８及び図９は本発明の第１実施例の説明
に供する説明図である。この第１実施例では、図８に示
すように基板１上に駆動部４の外部電極２５にのみ接続
可能な電極２７ａを有する共通電極パターン２７と、駆
動部４の外部電極２６にのみ接続可能な電極２８ａから
なる個別電極パターン２８とを設けている。

【００２５】そこで、この基板１上に図９に示すように
プレート状の積層型圧電素子２を接着接合し、前述した
ようにしてスリット加工を施して駆動部４及び非駆動部
５を分割形成することによって、分割された積層型圧電
素子２の内の駆動部４の外部電極２５，２６のみが共通
電極パターン２７の電極２７ａ及び個別電極パターン２
８の電極２８ａにそれぞれ導電性接着剤３０を介して電
気的に接続され、非駆動部５の外部電極２５，２６は導
電性接着剤３０が塗布されていても共通電極パターン２
７及び個別電極パターン２８に接続されることはない。

【００２６】したがって、導電性のゴミが駆動部４と非
駆動部５との間にブリッジしたり、ＦＰＣケーブル３
２，３３を各電極パターン２７及び２８に半田で接合す
るときに、半田が飛び散って駆動部４と非駆動部５とが
電気的に接続されたとしても、非駆動部５に対して駆動
波形や選択信号が印加されて動作することがなくなる。

【００２７】このように、駆動部の共通電極及び／又は
個別電極側の外部電極にのみ接続可能な電極パターンを
基板上に設けることによって、比較的低コストで、加工
不良や組立不良その他のゴミ等による非駆動部の誤動作
を防止することができて、画像品質の劣化を防止するこ
とができる。

【００２８】図１０及び図１１は本発明の第２実施例の
説明に供する説明図である。この第２実施例では、図１
０に示すように基板１上にべた塗りで共通電極パターン
２７及び個別電極パターン２８をそれぞれ設けて、図１
１に示すようにプレート状積層型圧電素子２及び基板１
に前述したようにしてスリット加工を施して駆動部４及
び非駆動部５を分割形成して、個別電極パターン２８を
駆動部４に導電性接着剤で接続した電極２８ａと非駆動
部５に導電性接着剤で接続した電極２８ｂに分割する。

【００２９】そして、非駆動部５に対応する個別電極パ
ターン２８の電極２８ｂについては、エキシマレーザー
等によって少なくともＦＰＣケーブル３２，３３と接合
されない位置まで除去している。

【００３０】したがって、ＦＰＣケーブル３２，３３を
各電極パターン２７及び２８に接合するときに、接合位
置ずれが生じても、ＦＰＣケーブル３２，３３が非駆動
部５の電極２８ｂに接続されることがなく、非駆動部５
に駆動波形が印加され動作することがなくなる。

【００３１】このように、積層型圧電素子の個別電極側
の外部電極に接続可能な電極パターンを基板上に形成す
ると共に、非駆動部に対応する電極パターンの少なくと
も一部を除去して、駆動部の個別電極側の外部電極にの
み駆動波形を印加可能とすることによって、基板上に微
細な電極パターンを形成する必要がなく、非駆動部の個
別電極側を電気的に断線することができ、加工不良や組
立不良その他のゴミ等による非駆動部の誤動作を防止す
ることができて、画像品質の劣化を防止することができ
る。

【００３２】図１２及び図１３は本発明の第３実施例の
説明に供する説明図である。この第３実施例では、前述
したように積層型圧電素子２は、図１２にも示すように
ＰＺＴ２３と内部電極２４とを交互に積層し、内部電極
２４を１層おきに交互に外部電極２５，２６に接続した
構成をなすが、この積層型圧電素子２の内部電極２４を
図１３（ａ）、（ｂ）に示すように駆動部４となる部分
のみに存在するように短冊状にパターン化して形成し、
この積層型圧電素子２を分割して駆動部４及び非駆動部
５を形成する。

【００３３】したがって、積層型圧電素子２にスリット
加工を施して駆動部４と非駆動部５に分割したときに、
非駆動部５には内部電極２４がなくなるので、非駆動部
５の外部電極２５，２６が共通電極パターン２７及び個
別電極パターン２８に接続されていても、非駆動部５が
動作することはない。これによって、基板１上に形成す
る共通電極パターン２７及び個別電極パターン２８は図
１０に示すようなベタ塗りのパターンで十分であり、ス
リット加工後に上記第２実施例のように一部を除去する
必要もなくなる。

【００３４】つまり、一般的な積層型圧電素子は、図１
４（ａ）、（ｂ）に示すようにＰＺＴ２３上に内部電極
２４を全面的に設けているために、スリット加工を施し
て駆動部と非駆動部に分割した場合でも、分割された個
々の部分は圧電素子として機能して駆動電圧を印加する
ことで変位を生じるのであるが、内部電極２４を図１３
に示したようにパターン化することで、分割後の内部電
極のない部分は圧電素子として機能することがなくな
る。

【００３５】このように、駆動部と非駆動部は、内部電
極を短冊状にパターン化して駆動部に対応する部分にの
み設けた積層型圧電素子を分割して形成することによっ
て、駆動部の内部電極が外部電極を介して基板上の電極
パターンと接続され、非駆動部には内部電極がないの
で、比較的低コストで、加工不良や組立て不良による非
駆動部の誤動作を防止することができる。また、基板上
の電極の微細なパターン化が不要になり、コスト的にも
有利である。

【００３６】図１５及び図１６は本発明の第４実施例を
説明する説明図である。この第４実施例では、積層型圧
電素子２の内部電極２４を接続した外部電極２５，２６
の外側に非駆動部５となる部分に対応して選択的に絶縁
性材料４１を設けて、この積層型圧電素子２を分割して
駆動部４及び非駆動部５を形成する。

【００３７】したがって、積層型圧電素子２にスリット
加工を施して駆動部４と非駆動部５に分割したときに、
非駆動部５の外部電極２５，２６の外側に絶縁性材料４
１が設けられているために導電性接着剤３０を塗布して
も、非駆動部５の外部電極２５，２６と共通電極パター
ン２７及び個別電極パターン２８とが電気的に接続され
ないので、非駆動部５が動作することはない。これによ
って、この実施例でも基板１上に形成する共通電極パタ
ーン２７及び個別電極パターン２８は図１０に示すよう
なベタ塗りのパターンで十分であり、スリット加工後に
上記第２実施例のように一部を除去する必要もなくな
る。

【００３８】このように、駆動部と非駆動部は、外部電
極の外側に非駆動部となる部分に絶縁性材料を設けた積
層型圧電素子を分割して形成することによって、駆動部
の内部電極が外部電極を介して基板上の電極パターンと
接続され、非駆動部の外部電極が基板上の電極パターン
と接続されないので、比較的低コストで、加工不良や組
立て不良による非駆動部の誤動作を防止することができ
る。また、基板上の電極の微細なパターン化が不要にな
り、コスト的にも有利である。

【００３９】図１７及び図１８は本発明の第５実施例を
説明する説明図である。この第５実施例では、積層型圧
電素子２の内部電極２４と接続する外部電極２５，２６
の内側に非駆動部５となる部分に対応して選択的に絶縁
性材料４１を設けて、この積層型圧電素子２を分割して
駆動部４及び非駆動部５を形成する。

【００４０】したがって、積層型圧電素子２にスリット
加工を施して駆動部４と非駆動部５に分割したときに、
非駆動部５の外部電極２５，２６の内側に絶縁性材料４
１が設けられているため、導電性接着剤３０を介して外
部電極２５，２６と基板上の電極パターン２７，２８を
電気的に接続しても非駆動部５の内部電極２４と共通電
極パターン２７及び個別電極パターン２８とが電気的に
接続されないので、非駆動部５が動作することはない。
これによって、この実施例でも基板１上に形成する共通
電極パターン２７及び個別電極パターン２８は図１０に
示すようなベタ塗りのパターンで十分であり、スリット
加工後に上記第２実施例のように一部を除去する必要も
なくなる。

【００４１】このように、駆動部と非駆動部は、外部電
極の内側に非駆動部となる部分に絶縁性材料を設けた積
層型圧電素子を分割して形成することによって、駆動部
の内部電極が外部電極を介して基板上の電極パターンと
接続され、非駆動部の内部電極が基板上の電極パターン
と接続されないので、比較的低コストで、加工不良や組
立て不良による非駆動部の誤動作を防止することができ
る。また、基板上の電極の微細なパターン化が不要にな
り、コスト的にも有利である。

【００４２】なお、上記各実施例においては、積層型圧
電素子のｄ３３方向の変位を用いて加圧液室を加圧する
インクジェットヘッドについて説明したが、積層型圧電
素子のｄ３１方向の変位を用いて加圧液室を加圧するイ
ンクジェットヘッドにも同様に適用することができる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、駆動部の共通電極及び／又は
個別電極側の外部電極にのみ接続可能な電極パターンを
基板上に設けたので、比較的低コストで、加工不良や組
立て不良などによる非駆動部の誤動作を防止することが
でき、画像品質の劣化を防止できる。

【００４４】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、積層型圧電素子の個別電極側の外部電極に接続可能
な電極パターンを基板上に形成すると共に、非駆動部に
対応する電極パターンの少なくとも一部を除去して、駆
動部の個別電極側の外部電極にのみ駆動波形を印加可能
としたので、比較的低コストで、加工不良や組立て不良
などによる非駆動部の誤動作を防止することができ、画
像品質の劣化を防止できる。

【００４５】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、駆動部及び非駆動部は、内部電極を短冊状にパター
ン化して駆動部に対応する部分にのみ設けた積層型圧電
素子を分割して形成したので、加工不良や組立て不良な
どによる非駆動部の誤動作を防止することができ、画像
品質の劣化を防止できると共に、積層型圧電素子の内部
電極及び基板上の電極パターンの微細化が不要になって
低コスト化を図れる。

【００４６】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、駆動部及び非駆動部は、外部電極の外側に前記非駆
動部となる部分に選択的に絶縁性材料を設けた積層型圧
電素子を分割して形成したので、加工不良や組立て不良
などによる非駆動部の誤動作を防止することができ、画
像品質の劣化を防止できると共に、積層型圧電素子の内
部電極及び基板上の電極パターンの微細化が不要になっ
て低コスト化を図れる。

【００４７】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、駆動部及び非駆動部は、外部電極の内側に非駆動部
となる部分に選択的に絶縁性材料を設けた積層型圧電素
子を分割して形成したので、加工不良や組立て不良など
による非駆動部の誤動作を防止することができ、画像品
質の劣化を防止できると共に、積層型圧電素子の内部電
極及び基板上の電極パターンの微細化が不要になって低
コスト化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したインクジェットヘッドの一例
を示す分解斜視図

【図２】同インクジェットヘッドの模式的断面図

【図３】同インクジェットヘッドの図２と直交する方向
の模式的断面図

【図４】同インクジェットヘッドのアクチュエータ部の
組立ての説明に供する平面説明図

【図５】図４のＣ−Ｃ線に沿う模式的断面説明図

【図６】同インクジェットヘッドのアクチュエータ部の
組立ての説明に供する平面説明図

【図７】図６のＤ−Ｄ線に沿う模式的断面説明図

【図８】本発明の第１実施例の電極パターンの説明に供
する平面説明図

【図９】同実施例のスリット加工後の説明に供する平面
説明図

【図１０】本発明の第２実施例の電極パターンの説明に
供する平面説明図

【図１１】同実施例のスリット加工後の説明に供する平
面説明図

【図１２】本発明の第３実施例の積層型圧電素子の説明
に供する模式的断面図

【図１３】同実施例の積層型圧電素子の内部電極パター
ンの説明に供する平面説明図

【図１４】一般的な積層型圧電素子の内部電極パターン
の説明に供する平面説明図

【図１５】本発明の第４実施例の積層型圧電素子の説明
に供する模式的断面図

【図１６】同実施例の積層型圧電素子の外部電極の説明
に供する平面説明図

【図１７】本発明の第５実施例の積層型圧電素子の説明
に供する模式的断面図

【図１８】同実施例の積層型圧電素子の外部電極の説明
に供する平面説明図

【符号の説明】

１…基板、２…積層型圧電素子、３…フレーム、４…駆
動部、５…非駆動部、７…ノズルプレート、１３…液室
流路形成部材、１４…ノズル、１５…ノズルプレート、
２４…内部電極、２５，２６…外部電極、２７…共通電
極パターン、２８…個別電極パターン、３０…導電性接
着剤、４１…絶縁性材料。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩瀬 政之 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 佐々木 勉 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズルと加圧液室に対応する積層型圧電
   素子を基板上に配置し、前記積層型圧電素子は前記加圧
   液室を加圧する駆動部と液室部材を支持する非駆動部を
   交互に配置してなり、前記駆動部の変位で前記加圧液室
   を加圧して前記ノズルからインク滴を吐出させるインク
   ジェットヘッドにおいて、前記駆動部の共通電極及び／
   又は個別電極側の外部電極にのみ接続可能な電極パター
   ンを前記基板上に設けたことを特徴とするインクジェッ
   トヘッド。
2. 【請求項２】 ノズルと加圧液室に対応する積層型圧電
   素子を基板上に配置し、前記積層型圧電素子は前記加圧
   液室を加圧する駆動部と液室部材を支持する非駆動部を
   交互に配置してなり、前記駆動部の変位で前記加圧液室
   を加圧して前記ノズルからインク滴を吐出させるインク
   ジェットヘッドにおいて、前記積層型圧電素子の個別電
   極側の外部電極に接続可能な電極パターンを前記基板上
   に形成すると共に、前記非駆動部に対応する電極パター
   ンの少なくとも一部を除去して、前記駆動部の個別電極
   側の外部電極にのみ駆動波形を印加可能としたことを特
   徴とするインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 ノズルと加圧液室に対応する積層型圧電
   素子を基板上に配置し、前記積層型圧電素子は前記加圧
   液室を加圧する駆動部と液室部材を支持する非駆動部を
   交互に配置してなり、前記駆動部の変位で前記加圧液室
   を加圧して前記ノズルからインク滴を吐出させるインク
   ジェットヘッドにおいて、前記駆動部及び非駆動部は、
   内部電極を短冊状にパターン化して前記駆動部に対応す
   る部分にのみ設けた積層型圧電素子を分割して形成した
   ことを特徴とするインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 ノズルと加圧液室に対応する積層型圧電
   素子を基板上に配置し、前記積層型圧電素子は前記加圧
   液室を加圧する駆動部と液室部材を支持する非駆動部を
   交互に配置してなり、前記駆動部となる積層型圧電素子
   の変位で前記加圧液室を加圧して前記ノズルからインク
   滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記駆
   動部及び非駆動部は、前記外部電極の外側に前記非駆動
   部となる部分に選択的に絶縁性材料を設けた積層型圧電
   素子を分割して形成したことを特徴とするインクジェッ
   トヘッド。
5. 【請求項５】 ノズルと加圧液室に対応する積層型圧電
   素子を基板上に配置し、前記積層型圧電素子は前記加圧
   液室を加圧する駆動部と液室部材を支持する非駆動部を
   交互に配置してなり、前記駆動部の変位で前記加圧液室
   を加圧して前記ノズルからインク滴を吐出させるインク
   ジェットヘッドにおいて、前記駆動部及び非駆動部は、
   前記外部電極の内側に前記非駆動部となる部分に選択的
   に絶縁性材料を設けた積層型圧電素子を分割して形成し
   たことを特徴とするインクジェットヘッド。