JPH0925574A - 基体保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 凹凸形状の３次元構造物である基体の表面に
均一に成膜或いはイオン照射をできるようにする。 【解決手段】 チャンバ１内に気密に導入された回転軸
２１と、裏面中央部が回転軸２１の先端に自在継手２３
を介して連結され，表面に基体３２を保持する保持体２
２と、回転軸２１にほぼ平行に設けられ，回転軸２１を
中心にほぼ等間隔に位置し，先端が保持体２２の裏面に
当接した複数個の揺動用軸３０と、各揺動用軸３０を各
揺動用軸３０の軸方向に順次移動させる移動手段３１と
を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、成膜或いはイオン
照射される基体を保持する基体保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、基体表面に成膜を行うことが、近
年ＰＶＤ法（物理蒸着法）によって盛んに行われてい
る。また、クリーニングやエッチングによる加工、或い
はイオン注入や成膜のために基体の表面にイオンを照射
することも工業的に広く普及している。この際、３次元
構造の基体、例えば凹凸状の基体表面に均一に膜を形成
したり、イオンを照射するための様々な装置が提案され
ており、例えばイオン照射に対するものとしては、実開
昭６４−２６３６５号公報に記載された装置がある。

【０００３】この公報に記載された装置は、図３に示す
ものであり、同図において、１は筒状のチャンバ、２は
チャンバ１の上面の開口３を気密に閉塞した蓋板、４は
蓋板２の外側に設けられたモータ、５はモータ４の回転
軸であり、回転軸５が蓋板２を気密に貫通し、チャンバ
１内に導入されている。６は回転軸５の先端に固着され
た支持台であり、端面が傾斜している。７は支持台６の
端面に垂直にボールベアリング８を介して支持された保
持体であり、回転軸５に対し偏心した位置に設けられて
いる。９は保持体７に保持された基体である。

【０００４】１０は蓋板２の内面に回転軸５に平行に設
けられたアイドルプーリ、１１は回転軸５の回転をプー
リ１０に伝達する回転ベルト、１２はプーリ１０の回転
を保持体７に伝達する伸縮自在のゴムベルト、１３は回
転軸５の下方に位置したターゲット、１４はイオン銃で
ある。

【０００５】そして、回転軸５の回転により支持台６を
介して保持体７が回動するとともに、回転軸５の回転が
回転ベルト１１，プーリ１０，ゴムベルト１２を介して
保持体７が回転し、イオン銃から射出されたイオンビー
ムがターゲット１３に衝突し、スパッタされて飛び出し
たイオンが保持体７に保持された基体９に照射される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の前記基体保持装
置の場合、凹形状の基体９の表面に均一に成膜或いはイ
オン照射をすることができないという問題点がある。

【０００７】本発明は、前記の点に留意し、基体が凹形
状等の３次元構造物であっても、基体表面に均一に成膜
或いはイオン照射をすることのできる簡単な機構の基体
保持装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の基体保持装置は、チャンバ内に気密に導入
された回転軸と、回転軸の先端に自在継手を介して裏面
中央部が連結され，表面に基体を保持する保持体と、回
転軸にほぼ平行に，かつ，回転軸を中心にほぼ等間隔の
位置に設けられ，先端が保持体の裏面に当接した複数個
の揺動用軸と、各揺動用軸の軸方向に順次移動させる移
動手段とを備えたものである。

【０００９】従って、基体の表面への成膜或いはイオン
照射時に、回転軸の回転により保持体が回転軸を中心と
して回転するとともに、各揺動用軸が移動手段により順
次移動して保持体が揺動し、基体が凹凸形状の３次元構
造物であっても、表面に均一に成膜或いはイオン照射を
することができ、かつ、機構が簡単である。

【００１０】また、揺動用軸の軸方向の移動量の変化に
より保持体の回転軸に対する傾きの変化量を任意に調整
でき、基体に成膜或いはイオン照射ができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】１形態について、切断正面図の図
１及び一部の平面図の図２を参照して説明する。それら
の図において、１５はチャンバ１の蓋板２に形成された
開口、１６は開口１５を閉塞した取付板、１７は蓋板２
の開口１５の周縁部と取付板１６との間に介在したＯリ
ングであり、チャンバ１内の気密を保持している。

【００１２】１８は取付板１６に装着されたモータ１９
の支持板、２０は取付板１６と支持板１８との間に介在
したＯリング、２１はモータ１９の回転軸であり、支持
板１８，取付板１６を貫通し、チャンバ１内に導入され
ている。２２は裏面中央部が回転軸２１の先端に自在継
手２３を介して連結された円板状の保持体、２４は保持
体２２の裏面に回転軸２１を中心に同心円状に形成され
た環状溝である。

【００１３】２５は３個のエアシリンダであり、回転軸
２１の同一円周上に等間隔に支持手段（図示せず）によ
り取付板１６に支持されている。２６は取付板１６を貫
通したエアシリンダ２５のシリンダ軸、２７は取付板１
６を貫通して設けられたベローズであり、中央部の剛体
部分が取付板１６を貫通して固着され、両端の可動部が
シリンダ軸２６に固着され、チャンバ１内に導入された
シリンダ軸２６の気密を維持している。

【００１４】２８は取付板１６の内面に植設された３本
の支持杆、２９は支持杆２８の先端部に回動自在に支持
されたリンクであり、一端部がシリンダ軸２６の先端部
に連結されている。３０は３個の揺動用軸であり、回転
軸２１にほぼ平行に、かつ、回転軸２１の同一円周上に
ほぼ等間隔に位置し、揺動用軸３０の基部がリンク２９
の他端部に連結され、先端が保持体２２の環状溝２４に
挿入されている。

【００１５】そして、エアシリンダ２５，シリンダ軸２
６，ベローズ２７，支持杆２８，リンク２９により、各
揺動用軸３０が順次軸方向に移動させる移動手段３１が
形成され、保持体２２の表面に成膜面或いはイオン照射
面が凸状或いは凹状の基体３２が保持されている。

【００１６】つぎに、動作について説明する。モータ１
９の駆動による回転軸２１の回転により自在継手２３を
介して保持体２２が回転するとともに、移動手段３１に
おける各エアシリンダ２５の駆動により、各シリンダ軸
２６が軸方向に移動し、リンク２９を介して各揺動用軸
３０が順次軸方向に移動し、各揺動用軸３０の先端が環
状溝２４にはまった状態で保持体２２を揺動し、回転軸
２１に対する保持体２２の面のなす角が、回転軸２１の
回転速度とは関係なく変化し、基体３２に成膜或いはイ
オン照射が行われる。

【００１７】なお、揺動用軸３０は３個に限定されるも
のではなく、また、各揺動用軸３０のガイドは環状溝２
４に限定されるものではない。

【００１８】

【発明の効果】本発明は、以下に記載する効果を奏す
る。本発明の基体保持装置は、チャンバ１内に気密に導
入された回転軸２１の先端に、保持体２２の裏面中央部
が自在継手２３を介して連結され，保持体２２の表面に
基体３２が保持され、回転軸２１とほぼ平行に、回転軸
２１を中心にほぼ等間隔に設けられた揺動用軸３０が保
持体２２の裏面に当接し、移動手段３１が各揺動用軸３
０を順次軸方向に移動させるため、基体３２の表面への
成膜或いはイオン照射時に、回転軸２１の回転により保
持体２２が回転軸２１を中心として回転するとともに、
各揺動用軸３０が移動手段３１により順次軸方向に移動
して保持体２２が揺動し、基体３２が凹凸形状の３次元
構造物であっても、表面に均一に成膜或いはイオン照射
をすることができ、かつ、機構が簡単である。

【００１９】また、揺動用軸３０の軸方向の移動量の変
化により保持体２２の回転軸２１に対する傾きの変化量
を任意に調整でき、基体３２に成膜或いはイオン照射を
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例の切断正面図である。

【図２】図１の一部の平面図である。

【図３】従来例の切断正面図である。

【符号の説明】

１ チャンバ ２１ 回転軸 ２２ 保持体 ２３ 自在継手 ３０ 揺動用軸 ３１ 移動手段 ３２ 基体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に成膜或いはイオン照射される基体
   を保持する基体保持装置において、 チャンバ内に気密に導入された回転軸と、 裏面中央部が前記回転軸の先端に自在継手を介して連結
   され表面に前記基体を保持する保持体と、 前記回転軸にほぼ平行に，かつ，前記回転軸を中心にほ
   ぼ等間隔の位置に設けられ，先端が前記保持体の裏面に
   当接した複数個の揺動用軸と、 該各揺動用軸を該各揺動用軸の軸方向に順次移動させる
   移動手段とを備えた基体保持装置。