JPH09257455A - 平板の反り測定方法および装置 - Google Patents
平板の反り測定方法および装置Info
- Publication number
- JPH09257455A JPH09257455A JP7040196A JP7040196A JPH09257455A JP H09257455 A JPH09257455 A JP H09257455A JP 7040196 A JP7040196 A JP 7040196A JP 7040196 A JP7040196 A JP 7040196A JP H09257455 A JPH09257455 A JP H09257455A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat plate
- base
- measuring
- distance
- measuring device
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】平板を載せるだけで変位計により測定すること
により、検査作業のスピードアップ、容易化、高精度
化、凡人化をはかることを可能にする平板の反り測定方
法および装置を提供する。 【解決手段】ベースの表面から突出した平板支持体と、
上記平板支持体上に平板を載置した状態において上記ベ
ースの表面から平板表面迄の距離を測定する距離測定手
段を設けたことを特徴とする平板の反り測定装置。
により、検査作業のスピードアップ、容易化、高精度
化、凡人化をはかることを可能にする平板の反り測定方
法および装置を提供する。 【解決手段】ベースの表面から突出した平板支持体と、
上記平板支持体上に平板を載置した状態において上記ベ
ースの表面から平板表面迄の距離を測定する距離測定手
段を設けたことを特徴とする平板の反り測定装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は平板の反り測定装置
に関し、とくに光ディスクカートリッジの平面性検査装
置として最適な平板の反り測定方法および装置に関す
る。
に関し、とくに光ディスクカートリッジの平面性検査装
置として最適な平板の反り測定方法および装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】平板の平面性、たとえば光ディスクカー
トリッジの反りを検査する場合、ベースより等寸法の４
隅のピンの上に光ディスクカートリッジを載せ、手で押
し付け３点支持させ、残る１点の隙間にすきまゲージを
挿入することにより反り具合を測定していた。
トリッジの反りを検査する場合、ベースより等寸法の４
隅のピンの上に光ディスクカートリッジを載せ、手で押
し付け３点支持させ、残る１点の隙間にすきまゲージを
挿入することにより反り具合を測定していた。
【０００３】この方法では精度に限りがあり、またディ
スクを持ち上げてしまう恐れもあり、人の違いによる測
定誤差が生じてしまったり、再現性にも乏しく、正確な
測定には時間がかかり、熟練を有する。合否判定は、通
常、±０．１ｍｍ内であることが要求される。
スクを持ち上げてしまう恐れもあり、人の違いによる測
定誤差が生じてしまったり、再現性にも乏しく、正確な
測定には時間がかかり、熟練を有する。合否判定は、通
常、±０．１ｍｍ内であることが要求される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点に着目し、平板の平面性を検査するに際し、従来す
きまゲージを挿入することによって反り具合を測定して
いたものを、平面板を載せるだけで変位計により測定す
ることにより、検査作業のスピードアップ、容易化、高
精度化、凡人化をはかることを可能にする平板の反り測
定方法および装置を提供することを目的とする。
題点に着目し、平板の平面性を検査するに際し、従来す
きまゲージを挿入することによって反り具合を測定して
いたものを、平面板を載せるだけで変位計により測定す
ることにより、検査作業のスピードアップ、容易化、高
精度化、凡人化をはかることを可能にする平板の反り測
定方法および装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的に沿う本発明の
平板の反り測定装置は、ベースの表面から突出した平板
支持体と、上記平板支持体上に平板を載置した状態にお
いて上記ベースの表面から平板表面迄の距離を測定する
距離測定手段を設けたことを特徴とするものからなる。
平板の反り測定装置は、ベースの表面から突出した平板
支持体と、上記平板支持体上に平板を載置した状態にお
いて上記ベースの表面から平板表面迄の距離を測定する
距離測定手段を設けたことを特徴とするものからなる。
【０００６】また、本発明の平板の反り測定方法は、ベ
ースの表面から突出した平板支持体上に平板を載置した
状態において上記ベースの表面から平板表面迄の距離を
測定し、該測定値と基準値との差を比較することにより
平板の反りを測定することを特徴とするものからなる。
ースの表面から突出した平板支持体上に平板を載置した
状態において上記ベースの表面から平板表面迄の距離を
測定し、該測定値と基準値との差を比較することにより
平板の反りを測定することを特徴とするものからなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の平板の反り測定
装置を図面に示す望ましい実施例に基づいて詳細に説明
する。
装置を図面に示す望ましい実施例に基づいて詳細に説明
する。
【０００８】図１は、本発明の一実施例に係る平板の反
り測定装置を示しており、本発明を光ディスクカートリ
ッジ平面性検査装置に適用したものを示している。
り測定装置を示しており、本発明を光ディスクカートリ
ッジ平面性検査装置に適用したものを示している。
【０００９】図１において、１はベースを示しており、
基準面を決定する物であり、該ベース１は、たとえばＳ
ＵＳ製で堅牢にできているものが適用できる。
基準面を決定する物であり、該ベース１は、たとえばＳ
ＵＳ製で堅牢にできているものが適用できる。
【００１０】図１の例においては、平板支持体としてピ
ン２を適用した例を示しており、該ピン２は平板として
の光ディスクカートリッジ８を３点支持し、測定基準点
となるため、たとえばＳＵＳ製で精度よく製作したもの
が適用できる。
ン２を適用した例を示しており、該ピン２は平板として
の光ディスクカートリッジ８を３点支持し、測定基準点
となるため、たとえばＳＵＳ製で精度よく製作したもの
が適用できる。
【００１１】なお、３は側板であり、該側板３は光ディ
スクカートリッジ８の位置決めが容易に行えるようにベ
ース本体１の外周に取付けられており、光ディスクカー
トリッジ８をピン２の上に載せ、側板３へ押し当てるだ
けで位置が決まるようになっている。
スクカートリッジ８の位置決めが容易に行えるようにベ
ース本体１の外周に取付けられており、光ディスクカー
トリッジ８をピン２の上に載せ、側板３へ押し当てるだ
けで位置が決まるようになっている。
【００１２】光ディスクカートリッジ８の残る角部の下
表面とベース１までの距離を測定する距離測定手段であ
る変位計４がベース本体１に取付けられている。本実施
例においては、分解能１０μｍの赤色ＬＥＤ光変位セン
サを採用している。なお、この変位計はレーザ光、超音
波等の他の測定手段であってもよい。
表面とベース１までの距離を測定する距離測定手段であ
る変位計４がベース本体１に取付けられている。本実施
例においては、分解能１０μｍの赤色ＬＥＤ光変位セン
サを採用している。なお、この変位計はレーザ光、超音
波等の他の測定手段であってもよい。
【００１３】デジタルメータ５は変位計４で測定した信
号を受信し、基準値からの偏差を演算し、ｍｍ単位に変
換して表示するようになっている。この変位計４とデジ
タルメータ５は市販のものが適用できる。また、装置下
部には、零設定押釦６、電源スイッチ７が設けられてい
る。
号を受信し、基準値からの偏差を演算し、ｍｍ単位に変
換して表示するようになっている。この変位計４とデジ
タルメータ５は市販のものが適用できる。また、装置下
部には、零設定押釦６、電源スイッチ７が設けられてい
る。
【００１４】次に、この実施例装置における一連の動作
について説明する。
について説明する。
【００１５】まず電源スイッチ７を入れ、次に基準値設
定のため基準品である光ディスクカートリッジ８または
基準設定用に製作した基準プレートを、装置の側板３に
当たるように載せ、位置を決める。この状態で零設定押
釦６を押し、デジタルメータ５が零になることを確認
し、基準プレートを取り除く。これで基準値設定が終了
し検査可能状態となる。
定のため基準品である光ディスクカートリッジ８または
基準設定用に製作した基準プレートを、装置の側板３に
当たるように載せ、位置を決める。この状態で零設定押
釦６を押し、デジタルメータ５が零になることを確認
し、基準プレートを取り除く。これで基準値設定が終了
し検査可能状態となる。
【００１６】この後は検査対象の光ディスクカートリッ
ジ８を装置に載せるだけでデジタルメータ５により即座
に平板の反りの合否判定を読み取ることができる。
ジ８を装置に載せるだけでデジタルメータ５により即座
に平板の反りの合否判定を読み取ることができる。
【００１７】このように電源投入後１度基準値を設定し
さえすれば、あとは光ディスクカートリッジ８を載せ替
えるだけで検査を行うことができる。従来の手作業によ
る方法では１枚のカートリッジを検査するのに１分程度
費やしていたが、本実施例装置では基準値設定に２秒程
度要するのみで光ディスクカートリッジ８と載せ替える
だけの時間１秒後には検査を終了することができるよう
になった。したがって検査に要する作業時間が著しく短
縮されることになる。
さえすれば、あとは光ディスクカートリッジ８を載せ替
えるだけで検査を行うことができる。従来の手作業によ
る方法では１枚のカートリッジを検査するのに１分程度
費やしていたが、本実施例装置では基準値設定に２秒程
度要するのみで光ディスクカートリッジ８と載せ替える
だけの時間１秒後には検査を終了することができるよう
になった。したがって検査に要する作業時間が著しく短
縮されることになる。
【００１８】なお、光ディスクカートリッジ８の代わり
に金属、プラスチック、木材等の他の平板においても平
面性の検査を容易に行える。すなわち、光ディスクカー
トリッジに限定されることなく、各種平板の検査への展
開が可能である。
に金属、プラスチック、木材等の他の平板においても平
面性の検査を容易に行える。すなわち、光ディスクカー
トリッジに限定されることなく、各種平板の検査への展
開が可能である。
【００１９】また、製造ラインに設置することによりオ
ンライン自動検査も可能である。
ンライン自動検査も可能である。
【００２０】なお、上記の実施例において、上記ベース
と３本のピンは測定基準を決定するものであるから、腐
食、変形を防止し、精度を保つため、材質はＳＵＳが好
ましい。
と３本のピンは測定基準を決定するものであるから、腐
食、変形を防止し、精度を保つため、材質はＳＵＳが好
ましい。
【００２１】また、ピンの形状は３点支持点が変動する
ものでなければ、円柱、円錐、角柱、球などであっても
よい。
ものでなければ、円柱、円錐、角柱、球などであっても
よい。
【００２２】距離測定手段としては、光学変位計（ＬＥ
Ｄ、レーザー光、イメージセンサなど）、超音波変位
計、電磁誘導式変位計（差動トランス式、うず電流式な
ど）、ダイヤルゲージなどの手段を用いることができる
が、測定する精度、再現性が要求されるため、非接触で
測定可能な光学式変位計が好ましい。
Ｄ、レーザー光、イメージセンサなど）、超音波変位
計、電磁誘導式変位計（差動トランス式、うず電流式な
ど）、ダイヤルゲージなどの手段を用いることができる
が、測定する精度、再現性が要求されるため、非接触で
測定可能な光学式変位計が好ましい。
【００２３】また、表示手段には、ｍｍ単位変換、偏差
演算機能、及び１タッチ零設定機能（１タッチ基準設
定）を有したデジタルメータを用いたものであることが
好ましい。
演算機能、及び１タッチ零設定機能（１タッチ基準設
定）を有したデジタルメータを用いたものであることが
好ましい。
【００２４】さらに、前記平板支持体に載置固定する手
段は、手又は平板支持体の平板と接する部分に吸引口を
設け、内部からの空気などの吸引により、平板支持体に
押しつけるようにすることが好ましい。
段は、手又は平板支持体の平板と接する部分に吸引口を
設け、内部からの空気などの吸引により、平板支持体に
押しつけるようにすることが好ましい。
【００２５】以上述べたように、本発明の平板の反り測
定装置は、光ディスクカートリッジの平面性検査装置に
用いて最適なものである。
定装置は、光ディスクカートリッジの平面性検査装置に
用いて最適なものである。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の平板の反
り測定装置によるときは、次の如きの優れた効果を奏す
る。すなわち、上記のような平板の反り測定装置におい
て、ベース上の３本のピンに３点支持するように検査対
象となる平面板、たとえば、光ディスクカートリッジを
セットすればただちに残る隅の偏差を測定し、デジタル
メータに表示し、読み取ることができる。従って従来の
すきまゲージでの測定に比べて検査時間が大幅に短縮さ
れ、しかも高精度で作業自身も極めて容易化される。
り測定装置によるときは、次の如きの優れた効果を奏す
る。すなわち、上記のような平板の反り測定装置におい
て、ベース上の３本のピンに３点支持するように検査対
象となる平面板、たとえば、光ディスクカートリッジを
セットすればただちに残る隅の偏差を測定し、デジタル
メータに表示し、読み取ることができる。従って従来の
すきまゲージでの測定に比べて検査時間が大幅に短縮さ
れ、しかも高精度で作業自身も極めて容易化される。
【００２７】電源投入後の１度の基準値設定をするだけ
で、あとは検査対象である平板を載せ替え、位置を決め
るだけで検査を行うことができる。したがって平板の平
面性検査に要する作業時間を著しく短縮することがで
き、かつ、作業自身も大幅に容易化することができる。
で、あとは検査対象である平板を載せ替え、位置を決め
るだけで検査を行うことができる。したがって平板の平
面性検査に要する作業時間を著しく短縮することがで
き、かつ、作業自身も大幅に容易化することができる。
【００２８】さらに精度も極めて高くなり、再現性も問
題ないことから誰でも精度よく検査することができる。
題ないことから誰でも精度よく検査することができる。
【図１】本発明の一実施例に係る平板の反り測定装置の
斜視図である。
斜視図である。
１：ベース ２：ピン ３：側板 ４：変位計 ５：デジタルメータ ６：零設定押釦 ７：電源スイッチ ８：光ディスクカートリッジ
Claims (8)
- 【請求項１】ベースの表面から突出した平板支持体と、
上記平板支持体上に平板を載置した状態において上記ベ
ースの表面から平板表面迄の距離を測定する距離測定手
段を設けたことを特徴とする平板の反り測定装置。 - 【請求項２】前記平板支持体が、矩形の平板の３つの隅
部に対応する位置に設けられた３本のピンからなり、残
る１つの隅部に対応する位置に距離測定手段を設けたこ
とを特徴とする請求項１記載の平板の反り測定装置。 - 【請求項３】前記距離測定手段が、基準の平板との距離
の差を計測するものであるとともに、該計測結果を表示
する表示手段を備えたことを特徴とする請求項１または
２記載の平板の反り測定装置。 - 【請求項４】前記距離測定手段が、光学変位計、超音波
変位計、電磁誘導式変位計、およびダイヤルゲージから
選ばれた１つの手段を用いたものであることを特徴とす
る請求項１〜３のいずれかに記載の平板の反り測定装
置。 - 【請求項５】前記表示手段が、ミリ単位変換、偏差演算
機能、または１タッチゼロ設定機能を有するデジタルメ
ータを用いたものであることを特徴とする請求項３また
は４に記載の平板の反り測定装置。 - 【請求項６】前記平板支持体が、平板の吸着手段を有し
ていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載
の平板の反り測定装置。 - 【請求項７】前記平板が光ディスクカートリッジである
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の平面
板反り測定装置。 - 【請求項８】ベースの表面から突出した平板支持体上に
平板を載置した状態において上記ベースの表面から平板
表面迄の距離を測定し、該測定値と基準値との差を比較
することにより平板の反りを測定することを特徴とする
平板の反り測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7040196A JPH09257455A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 平板の反り測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7040196A JPH09257455A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 平板の反り測定方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09257455A true JPH09257455A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13430406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7040196A Pending JPH09257455A (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | 平板の反り測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09257455A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104833296A (zh) * | 2015-04-02 | 2015-08-12 | 上海烟草集团有限责任公司 | 一种产品全开式硬盒的平整度检测方法及设备 |
| JP2019050417A (ja) * | 2018-11-28 | 2019-03-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
-
1996
- 1996-03-26 JP JP7040196A patent/JPH09257455A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104833296A (zh) * | 2015-04-02 | 2015-08-12 | 上海烟草集团有限责任公司 | 一种产品全开式硬盒的平整度检测方法及设备 |
| JP2019050417A (ja) * | 2018-11-28 | 2019-03-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
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