JPH09257579A - Interferometer - Google Patents
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- JPH09257579A JPH09257579A JP6087496A JP6087496A JPH09257579A JP H09257579 A JPH09257579 A JP H09257579A JP 6087496 A JP6087496 A JP 6087496A JP 6087496 A JP6087496 A JP 6087496A JP H09257579 A JPH09257579 A JP H09257579A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】マイケルソン干渉計において、2つのコーナー
キューブプリズムの位置をずらして配置することにより
空間的に干渉縞を発生させて非可動で分光分析を行うこ
とができ、光の利用効率の高い干渉計を実現する。
【解決手段】光源と、この光源から出射された光を平行
光に直すレンズと、ビームスプリッタと、ビームスプリ
ッタで分割された光をそれぞれ反対方向に反射する2つ
のコーナーキューブプリズムと、反射された2つの光を
焦光して光検出器上で干渉させる集光レンズから成るマ
イケルソン型干渉計において、前記一方のコーナーキュ
ーブプリズムを他方のコーナーキューブプリズムの前記
ビームスプリッタに対する等価位置から光の進行方向と
直交する方向に所定量だけずらしておき、光検出器上に
干渉縞を発生させるように構成する。
(57) Abstract: In a Michelson interferometer, by arranging two corner cube prisms at different positions, interference fringes are generated spatially and non-movable spectroscopic analysis can be performed. To realize an interferometer with high utilization efficiency. A light source, a lens that converts light emitted from the light source into parallel light, a beam splitter, and two corner cube prisms that reflect light split by the beam splitter in opposite directions, respectively. In a Michelson interferometer comprising a condenser lens for focusing two lights and causing interference on a photodetector, light travels from one corner cube prism to an equivalent position of the other corner cube prism with respect to the beam splitter. A predetermined amount is shifted in the direction orthogonal to the direction, and interference fringes are generated on the photodetector.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、主に非可動型フー
リエ分光器に使用するためのマイケルソン型フーリエ分
光器に関し、特に2つのコーナーキューブプリズムをず
らして配置することにより、空間的に干渉縞を発生させ
るようにした非可動で安価な光利用効率の高い干渉計に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Michelson type Fourier spectroscope mainly for use in a non-movable Fourier spectroscope, and in particular, by arranging two corner cube prisms in a staggered manner, spatial interference is caused. The present invention relates to an immovable, inexpensive, interferometer with high light utilization efficiency that generates fringes.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より非可動型フーリエ分光の装置と
してはマイケルソン干渉計やサバール(Savert)板複屈
折干渉計などがある。図5は分光学会「赤外ラマン講習
会」(1991年12月開催)において開示された空間
的干渉縞を発生するマイケルソン干渉計の構成図であ
る。この干渉計では、光源Sからの光がレンズL1で平
行光となり、続いて光分岐手段BSで反射光と透過光の
2つに分けられそれぞれの反射ミラーM1,M2に入
る。反射ミラーM1,M2はそれぞれ光軸に対して逆向
きにわずかに傾けてある。このような配置によれば、ミ
ラーM1位置でのミラーM2の等価位置M2aは、ミラ
ーM1と比べて光軸からの距離xに比例してθx(θは
2光束のなす角度)だけずれる。2. Description of the Related Art Conventionally, as a non-movable Fourier spectroscopy apparatus, there are a Michelson interferometer and a Savert plate birefringence interferometer. FIG. 5 is a block diagram of a Michelson interferometer for generating spatial interference fringes disclosed in “Infrared Raman Workshop” (held in December 1991) of the Spectroscopic Society. In this interferometer, the light from the light source S is collimated by the lens L1 and then split by the light splitting means BS into two, that is, reflected light and transmitted light, and enter the respective reflection mirrors M1 and M2. The reflection mirrors M1 and M2 are each slightly tilted in the opposite direction with respect to the optical axis. According to such an arrangement, the equivalent position M2a of the mirror M2 at the position of the mirror M1 is displaced from the mirror M1 by θx (θ is an angle formed by two light beams) in proportion to the distance x from the optical axis.
【0003】結像レンズL2でミラーM1,M2を観察
すると、2光束の光路長差で生じる干渉縞が像面に得ら
れる。この像面にマルチチャネルのアレイ検出器を配設
すれば、通常のフーリエ分光法においてミラーの機械的
駆動によって行われていた光路長差走査が電子的に実現
できる。When observing the mirrors M1 and M2 with the imaging lens L2, interference fringes caused by the difference in optical path length between the two light beams are obtained on the image plane. By arranging a multi-channel array detector on this image plane, the optical path length difference scanning, which was performed by mechanical driving of the mirror in ordinary Fourier spectroscopy, can be electronically realized.
【0004】これは別の見方をすれば、2つのピンホー
ルS1,S2(光源SのレンズL1,L2による2つの
実像に対応する)からのヤングの干渉縞を観察している
ことになる。From another point of view, this means that Young's interference fringes from the two pinholes S1 and S2 (corresponding to two real images by the lenses L1 and L2 of the light source S) are observed.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成のマイケルソン干渉計では、分解能を上げるために
は光源Sの面積を小さくする(例えばスリットを入れ
る)必要があるが、そのような構成にするとスループッ
トが低くなるという問題があった。By the way, in the Michelson interferometer having such a structure, it is necessary to reduce the area of the light source S (for example, to form a slit) in order to improve the resolution. However, there is a problem that the throughput becomes low.
【0006】図6はサバール板複屈折干渉計の構成図で
ある。サバール板SPは、複屈折結晶を2枚組み合わせ
たものであり、光源Sから赤外用の偏光子Pを通って結
晶面に平行に入射した直線偏光を2成分に分割し、横ず
らしした平行な2光束として出射する。この2光束はア
ナライザAおよびレンズL3を透過してマルチチャネル
のアレイ検出器MD上に結像する。FIG. 6 is a block diagram of a Savart plate birefringence interferometer. The Savart plate SP is a combination of two birefringent crystals, and splits linearly polarized light, which is incident from the light source S through the infrared polarizer P in parallel to the crystal plane, into two components and shifts them horizontally. Two light beams are emitted. The two light fluxes pass through the analyzer A and the lens L3 and form an image on the multi-channel array detector MD.
【0007】しかしながら、このようなサバール板複屈
折干渉計では、スループットは高くなるものの、赤外用
の偏光子や複屈折結晶などの高価な部品を必要とすると
いう問題がある。However, in such a Savart plate birefringence interferometer, although the throughput is high, there is a problem that expensive components such as an infrared polarizer and a birefringence crystal are required.
【0008】本発明の目的は、このような点に鑑み、コ
ーナーキューブプリズム等を使用したマイケルソン干渉
計において、2つのコーナーキューブプリズムの位置を
ずらして配置することにより空間的に干渉縞を発生させ
て非可動で分光分析を行うことができるようにしたもの
であり、一般の安価な光学部品を使用しながらも光の利
用効率の高い干渉計を実現しようとするものである。In view of the above points, an object of the present invention is to produce a spatial interference fringe by arranging two corner cube prisms at different positions in a Michelson interferometer using a corner cube prism or the like. In this way, spectroscopic analysis can be performed immovably, and an attempt is made to realize an interferometer with high light utilization efficiency while using general inexpensive optical components.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、光源と、この光源から出射された
光を平行光に直すレンズと、このレンズからの光を透過
光と反射光に分割するビームスプリッタと、2つの分割
された光をそれぞれ反対方向に反射するコーナーキュー
ブプリズムまたはコーナーキューブミラーと、このコー
ナーキューブプリズムまたはコーナーキューブミラーに
よってそれぞれ反射した2つの光を集光して光検出器上
で干渉させる集光レンズから成るマイケルソン干渉計に
おいて、前記一方のコーナーキューブプリズムまたはコ
ーナーキューブミラーを他方のコーナーキューブプリズ
ムまたはコーナーキューブミラーの前記ビームスプリッ
タに対する等価位置から光の進行方向と直交する方向に
所定量だけずらしておき、光検出器上に干渉縞を発生さ
せるように構成したことを特徴とする。In order to achieve such an object, according to the present invention, a light source, a lens for converting light emitted from the light source into parallel light, and reflection of light from the lens with transmitted light. A beam splitter that splits the light into two, a corner cube prism or a corner cube mirror that reflects the two split lights in opposite directions, and two lights that are reflected by the corner cube prism or the corner cube mirror. In a Michelson interferometer consisting of a condenser lens that causes interference on a photodetector, the direction of travel of light from an equivalent position of the one corner cube prism or corner cube mirror to the other beam splitter of the other corner cube prism or corner cube mirror. Shift by a predetermined amount in the direction orthogonal to Place, characterized by being configured to generate interference fringes on the optical detector.
【0010】一方のコーナーキューブプリズムまたはコ
ーナーキューブミラー(以下コーナーキューブプリズム
という)を他方のコーナーキューブプリズムの前記ビー
ムスプリッタに対する等価位置から光の進行方向と直交
する方向に所定量δだけずらすことにより、集光レンズ
に入射する2つの光に位相差が生じる。光線の入射角を
θとすると、 位相差ψ=(2π・2δθ)/λ (λは光源の光の波
長) となり、光検出器上では、ψ=0,±2π,±4πの時
に明部を生じる。この光検出器上の干渉縞を観測するこ
とにより入射した光のスペクトルを知ることができる。By shifting one corner cube prism or corner cube mirror (hereinafter referred to as a corner cube prism) from the equivalent position of the other corner cube prism with respect to the beam splitter by a predetermined amount δ in a direction orthogonal to the traveling direction of light, A phase difference occurs between the two lights that enter the condenser lens. Letting the incident angle of the ray be θ, the phase difference ψ = (2π ・ 2δθ) / λ (λ is the wavelength of the light of the light source), and on the photodetector, when ψ = 0, ± 2π, ± 4π, the bright part Cause By observing the interference fringes on this photodetector, the spectrum of the incident light can be known.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明に係る非可動フーリエ分光器の
一実施例を示す構成図である。図において、1はハロゲ
ンランプなどの光源、2は光源1からの光を平行光にす
るレンズ、3はビームスプリッタ、4および5はコーナ
ーキューブプリズム等の反射手段、6は集光レンズ、7
はCCD(Charge Coupled Device )などを直線状に複
数個配列してなる光検出器である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a non-movable Fourier spectrometer according to the present invention. In the figure, 1 is a light source such as a halogen lamp, 2 is a lens for collimating the light from the light source 1, 3 is a beam splitter, 4 and 5 are reflecting means such as a corner cube prism, 6 is a condenser lens, 7
Is a photodetector in which a plurality of CCDs (Charge Coupled Devices) and the like are linearly arranged.
【0012】光源1からの光はレンズ2により平行光と
なり、ビームスプリッタ3に入射する。ビームスプリッ
タ3で反射した光はコーナーキューブプリズム4に入
り、他方透過した光はコーナーキューブプリズム5に入
る。コーナーキューブプリズム4の出射光はビームスプ
リッタ3を透過し、他方のコーナーキューブプリズム5
の出射光はビームスプリッタ3で反射し、合波されて集
光レンズ6に入る。集光レンズ6はこの光を光検出器7
上に集光する。光検出器7上には干渉縞の像が結像され
る。この光検出器7上の像を高速フーリエ変換(FF
T)などで周波数解析することにより入射した光のスペ
クトルを解析することができる。The light from the light source 1 is collimated by the lens 2 and is incident on the beam splitter 3. The light reflected by the beam splitter 3 enters the corner cube prism 4, while the transmitted light enters the corner cube prism 5. The light emitted from the corner cube prism 4 passes through the beam splitter 3 and the other corner cube prism 5
The emitted light is reflected by the beam splitter 3, is combined, and enters the condenser lens 6. The condenser lens 6 detects this light as a photodetector 7
Focus on top. An image of interference fringes is formed on the photodetector 7. The image on the photodetector 7 is fast Fourier transformed (FF
The spectrum of the incident light can be analyzed by frequency analysis using T) or the like.
【0013】このとき、図示のようにコーナーキューブ
プリズム4のビームスプリッタ3に対する等価位置4a
をコーナーキューブプリズム5に対して光軸と直交する
方向にδだけずらしておく。各部をビームスプリッタ3
に対して等価に置き換えると図2に示すような位置関係
で表せる。At this time, as shown in the figure, the equivalent position 4a of the corner cube prism 4 to the beam splitter 3 is shown.
Is displaced from the corner cube prism 5 by δ in the direction orthogonal to the optical axis. Beam splitter 3
Can be expressed equivalently by the positional relationship shown in FIG.
【0014】光源1からの光はビームスプリッタ3で2
本の光線に分けられるが、コーナーキューブプリズム4
aおよび5の位置がδだけずれていると、コーナーキュ
ーブプリズムから反射した後の軌跡は、図2に示すよう
に一致せず、位相差ψを生じてレンズ6に入射した後光
検出器7上の同位置に結像する。The light from the light source 1 is passed through the beam splitter 3 to 2
Divided into rays of a book, corner cube prism 4
When the positions of a and 5 are deviated by δ, the loci after reflection from the corner cube prism do not match as shown in FIG. 2, and a phase difference ψ occurs and the light is incident on the lens 6. The image is formed at the same position above.
【0015】この光線の入射角をθとすると、 ψ=(2π・2δθ)/λ ただし、λは光源1の光の波長であり、光検出器7上で
はψ=0,±2π,±4πのときに明部を生じるので、
その像高Hについてはレンズ6の焦点距離をfとすると
次の関係が成立する。 (2δθ)/λ=n (nは整数) であり、n番目の像高Hn は、 Hn =fθ=(fnλ)/(2δ) と表せる。明部のn番目からn−1番目までの間隔P
は、 P=Hn −Hn-1=(fλ)/(2δ) であり、したがって、 1/P=((2δ)/f)・(1/λ) となる。When the incident angle of this ray is θ, ψ = (2π · 2δθ) / λ where λ is the wavelength of the light from the light source 1, and ψ = 0, ± 2π, ± 4π on the photodetector 7. Because the bright part occurs when
Regarding the image height H, the following relationship holds when the focal length of the lens 6 is f. (2δθ) / λ = n (n is an integer), and the nth image height H n can be expressed as H n = fθ = (fnλ) / (2δ). Interval P from nth to n-1th bright part
Is P = H n -H n-1 = (fλ) / (2δ), therefore, the 1 / P = ((2δ) / f) · (1 / λ).
【0016】すなわち、光検出器7上の干渉縞として波
数1/λに比例した周波数成分が観測されるため、光検
出器7上の像をFFTなどで周波数解析することにより
入射した光のスペクトルを解析することができる。That is, since a frequency component proportional to the wave number 1 / λ is observed as interference fringes on the photodetector 7, the spectrum of the incident light is obtained by frequency analysis of the image on the photodetector 7 by FFT or the like. Can be analyzed.
【0017】このような原理に基づく本発明の干渉計に
おいて確認された実験結果を次に示す。図3は光検出器
7でとらえた画像であり、光検出器7の素子としてCC
Dカメラを使用して撮像したもので、ハロゲンランプの
光源のフィラメント像に重なった干渉縞の画像である。
図4は干渉縞の実測値である。横軸は光軸とのズレ、縦
軸は干渉縞空間周波数である。Experimental results confirmed by the interferometer of the present invention based on such a principle are shown below. FIG. 3 is an image captured by the photodetector 7, and the elements of the photodetector 7 are CCs.
The image was taken by using a D camera and is an image of interference fringes superimposed on the filament image of the light source of the halogen lamp.
FIG. 4 shows measured values of interference fringes. The horizontal axis is the deviation from the optical axis, and the vertical axis is the interference fringe spatial frequency.
【0018】なお、グレーティング等の分光器では、入
射角θが変化すると光検出器上の縞の位置も変化する。
このため入射角をスリット等で制限しないと縞が重なっ
てビジビリティが低下し、このため暗いという欠点があ
った。しかしながら、本発明の干渉計は、サバール式と
同様、光源にスリットを設ける必要がなく、明るいとい
う特徴がある。これは、入射角θで縞の座標が決まるた
めである。In a spectroscope such as a grating, the position of the stripe on the photodetector changes as the incident angle θ changes.
For this reason, if the incident angle is not limited by a slit or the like, the stripes are overlapped with each other to reduce the visibility. However, the interferometer of the present invention has a feature that it does not require slits in the light source and is bright, like the Savart type. This is because the incident angle θ determines the stripe coordinates.
【0019】本発明の以上の説明は、説明および例示を
目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。し
たがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの変更、
変形をなし得ることは当業者に明らかである。例えば、
反射手段はコーナーキューブプリズムだけでなくコーナ
ーキューブミラーであってもよい。また集光レンズ6は
凹面ミラー等でもよい。また、ビームスプリッタはハー
フミラーでもよい。さらに、本発明の干渉計はフーリエ
分光だけでなく、例えば光源光の収差測定などにも適用
することができる。The foregoing description of the invention has been shown by way of illustration only of particular preferred embodiments for purposes of illustration and illustration. Accordingly, the invention is subject to many modifications without departing from its essence,
It will be apparent to those skilled in the art that variations can be made. For example,
The reflecting means may be not only a corner cube prism but also a corner cube mirror. The condenser lens 6 may be a concave mirror or the like. The beam splitter may be a half mirror. Furthermore, the interferometer of the present invention can be applied not only to Fourier spectroscopy but also to, for example, measurement of aberration of light from a light source.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、非
可動型フーリエ分光において、2つのコーナーキューブ
プリズムをずらしたマイケルソン干渉計を構成したた
め、一般に用いられる安価な光学部品のみで実現でき、
しかもフーリエ光学系でスリット幅を広くできるため光
の利用効率の高い分光器を実現することができる。As described above, according to the present invention, the Michelson interferometer in which the two corner cube prisms are offset is constructed in the non-movable Fourier spectroscopy, so that it can be realized only with inexpensive optical components that are generally used. ,
Moreover, since the Fourier optical system can widen the slit width, it is possible to realize a spectroscope having a high light utilization efficiency.
【図1】本発明に係る係る干渉計の一実施例を示す構成
図FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of an interferometer according to the present invention.
【図2】図1の等価光学系の図FIG. 2 is a diagram of the equivalent optical system of FIG.
【図3】光検出器で観測された干渉縞の画像の一例を示
す図FIG. 3 is a diagram showing an example of an image of interference fringes observed by a photodetector.
【図4】干渉縞の実測値を示す図FIG. 4 is a diagram showing actually measured values of interference fringes.
【図5】従来のマイケルソン干渉計の構成図FIG. 5: Configuration diagram of a conventional Michelson interferometer
【図6】従来のサバール板複屈折偏光干渉計の構成図で
ある。FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional Savart plate birefringent polarization interferometer.
1 光源 2 レンズ 3 ビームスプリッタ 4,5 コーナーキューブプリズム 6 集光レンズ 7 光検出器 1 light source 2 lens 3 beam splitter 4,5 corner cube prism 6 condensing lens 7 photodetector
Claims (3)
光に直すレンズと、このレンズからの光を透過光と反射
光に分割するビームスプリッタと、2つの分割された光
をそれぞれ反対方向に反射するコーナーキューブプリズ
ムまたはコーナーキューブミラーと、このコーナーキュ
ーブプリズムまたはコーナーキューブミラーによってそ
れぞれ反射した2つの光を集光して光検出器上で干渉さ
せる集光レンズから成るマイケルソン干渉計において、 前記一方のコーナーキューブプリズムまたはコーナーキ
ューブミラーを他方のコーナーキューブプリズムまたは
コーナーキューブミラーの前記ビームスプリッタに対す
る等価位置から光の進行方向と直交する方向に所定量だ
けずらしておき、光検出器上に干渉縞を発生させるよう
に構成したことを特徴とする干渉計。1. A light source, a lens that converts light emitted from the light source into parallel light, a beam splitter that splits the light from the lens into transmitted light and reflected light, and two split light beams are opposite to each other. In a Michelson interferometer consisting of a corner cube prism or corner cube mirror that reflects in one direction and a condenser lens that collects the two lights respectively reflected by this corner cube prism or corner cube mirror and causes them to interfere on the photodetector. , One of the corner cube prisms or corner cube mirrors is offset from the equivalent position of the other corner cube prism or corner cube mirror with respect to the beam splitter in a direction orthogonal to the traveling direction of light by a predetermined amount, and is placed on the photodetector. That it is configured to generate interference fringes Characteristic interferometer.
器またはフィルムであることを特徴とする請求項1記載
の干渉計。2. The interferometer of claim 1, wherein the photodetector is a multi-channel photodetector or film.
換することにより前記光源または光路に挿入された試料
の光のスペクトルを得る手段を含むことを特徴とする請
求項1または請求項2記載の干渉計。3. A means for obtaining the spectrum of the light of the sample inserted in the light source or the optical path by Fourier-transforming the signal obtained by the photodetector. Interferometer described.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06087496A JP3275287B2 (en) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | Interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06087496A JP3275287B2 (en) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | Interferometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09257579A true JPH09257579A (en) | 1997-10-03 |
| JP3275287B2 JP3275287B2 (en) | 2002-04-15 |
Family
ID=13154970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06087496A Expired - Fee Related JP3275287B2 (en) | 1996-03-18 | 1996-03-18 | Interferometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3275287B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103674243A (en) * | 2013-10-10 | 2014-03-26 | 昆明物理研究所 | Long-wave infrared space modulation interference miniaturizing method |
| CN105067118A (en) * | 2015-08-21 | 2015-11-18 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Double-optical-path detection lateral shearing interferometer and interference method thereof |
-
1996
- 1996-03-18 JP JP06087496A patent/JP3275287B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103674243A (en) * | 2013-10-10 | 2014-03-26 | 昆明物理研究所 | Long-wave infrared space modulation interference miniaturizing method |
| CN105067118A (en) * | 2015-08-21 | 2015-11-18 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Double-optical-path detection lateral shearing interferometer and interference method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3275287B2 (en) | 2002-04-15 |
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