JPH09258156A - 液晶表示パネルの検査装置 - Google Patents
液晶表示パネルの検査装置Info
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- JPH09258156A JPH09258156A JP8092977A JP9297796A JPH09258156A JP H09258156 A JPH09258156 A JP H09258156A JP 8092977 A JP8092977 A JP 8092977A JP 9297796 A JP9297796 A JP 9297796A JP H09258156 A JPH09258156 A JP H09258156A
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- crystal display
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査装置の高さ寸法を小さくすることにあ
る。 【解決手段】 液晶表示パネルの検査装置は、液晶表示
パネルを配置する測定ステージと、該測定ステージに配
置された液晶表示パネルを撮像するテレビカメラと、前
記液晶表示パネルからの光を前記テレビカメラに向ける
べく前記光の光路を上下方向に対し角度を有する方向へ
変更する光路変更手段とを含む。
る。 【解決手段】 液晶表示パネルの検査装置は、液晶表示
パネルを配置する測定ステージと、該測定ステージに配
置された液晶表示パネルを撮像するテレビカメラと、前
記液晶表示パネルからの光を前記テレビカメラに向ける
べく前記光の光路を上下方向に対し角度を有する方向へ
変更する光路変更手段とを含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
良否を検査する装置に関に関する。
良否を検査する装置に関に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルの欠陥は、点欠陥、線欠
陥、班欠陥、色度欠陥等、多種多様に存在することが知
られている。これらの欠陥は、液晶表示パネルを駆動さ
せてその液晶表示パネルからの光を利用して検査され
る。
陥、班欠陥、色度欠陥等、多種多様に存在することが知
られている。これらの欠陥は、液晶表示パネルを駆動さ
せてその液晶表示パネルからの光を利用して検査され
る。
【０００３】このような液晶表示パネルの自動検査装置
は、一般に、液晶表示パネルを測定ステーションに水平
の状態に載置し、その液晶表示パネルを駆動させつつ、
その液晶表示パネルをその上方からテレビカメラで撮影
すなわち撮像し、そのテレビカメラの出力信号をコンピ
ュータで処理することにより検査する。
は、一般に、液晶表示パネルを測定ステーションに水平
の状態に載置し、その液晶表示パネルを駆動させつつ、
その液晶表示パネルをその上方からテレビカメラで撮影
すなわち撮像し、そのテレビカメラの出力信号をコンピ
ュータで処理することにより検査する。
【０００４】しかし、従来の自動検査装置では、テレビ
カメラを測定ステージの上方に設けているから、検査装
置の高さ寸法が大きい。特に、大型の液晶表示パネル用
の検査装置のように、テレビカメラの視野を広くしなけ
ればならない検査装置においては、測定ステージとテレ
ビカメラとの間の寸法が大きくなるから、検査装置の高
さ寸法が建築物の一階分の高さ寸法より大きくなり、建
造物を改造しなければならない。
カメラを測定ステージの上方に設けているから、検査装
置の高さ寸法が大きい。特に、大型の液晶表示パネル用
の検査装置のように、テレビカメラの視野を広くしなけ
ればならない検査装置においては、測定ステージとテレ
ビカメラとの間の寸法が大きくなるから、検査装置の高
さ寸法が建築物の一階分の高さ寸法より大きくなり、建
造物を改造しなければならない。
【０００５】
【解決しようとする課題】本発明の目的は、検査装置の
高さ寸法を小さくすることにある。
高さ寸法を小さくすることにある。
【０００６】
【解決手段、作用、効果】本発明の液晶表示パネルの検
査装置は、液晶表示パネルを配置する測定ステージと、
該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像する
テレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前記テ
レビカメラに向けるべく前記光の光路を上下方向に対し
角度を有する方向へ変更する光路変更手段とを含む。
査装置は、液晶表示パネルを配置する測定ステージと、
該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像する
テレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前記テ
レビカメラに向けるべく前記光の光路を上下方向に対し
角度を有する方向へ変更する光路変更手段とを含む。
【０００７】本発明によれば、液晶表示パネルからの光
の光路を光路変更手段により水平方向へ変更するから、
テレビカメラを測定ステージの上方に設ける必要がな
く、したがって従来の装置に比べ、装置の高さ寸法が小
さくなる。
の光路を光路変更手段により水平方向へ変更するから、
テレビカメラを測定ステージの上方に設ける必要がな
く、したがって従来の装置に比べ、装置の高さ寸法が小
さくなる。
【０００８】さらに、前記光路変更手段を該光路変更手
段に対する光の入射角および反射角を変更可能に支持す
る支持手段を含むことが好ましい。このようにすれば、
光路変更手段への光の入射角および光路変更手段からの
光の反射角を変更することにより、テレビカメラの視野
を変更することができる。
段に対する光の入射角および反射角を変更可能に支持す
る支持手段を含むことが好ましい。このようにすれば、
光路変更手段への光の入射角および光路変更手段からの
光の反射角を変更することにより、テレビカメラの視野
を変更することができる。
【０００９】好ましい実施例においては、前記測定ステ
ージは、液晶表示パネルを水平の状態または傾斜した状
態に受ける受け部を有する。また、前記光路変更手段
は、前記光路を水平方向へ変更する。さらに、前記光路
変更手段は、該光路変更手段による光路の変更方向と直
角の水平方向へ伸びる軸線の周りに角度的回転されるこ
とにより、入射角および反射角を変更される。
ージは、液晶表示パネルを水平の状態または傾斜した状
態に受ける受け部を有する。また、前記光路変更手段
は、前記光路を水平方向へ変更する。さらに、前記光路
変更手段は、該光路変更手段による光路の変更方向と直
角の水平方向へ伸びる軸線の周りに角度的回転されるこ
とにより、入射角および反射角を変更される。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１〜図３を参照するに、検査装
置１０は、液晶表示パネル１２を検査する本体部１４
と、液晶表示パネル１２を本体部１４に配置しかつ本体
部１４から取り除くローダ部１６と、本体部１４に配置
された液晶表示パネル１２を自動的に検査するテスター
部１８とを含む。ローダ部１６は本体部１４の右側に配
置されており、テスター部１８は本体部１４の左側に配
置されている。
置１０は、液晶表示パネル１２を検査する本体部１４
と、液晶表示パネル１２を本体部１４に配置しかつ本体
部１４から取り除くローダ部１６と、本体部１４に配置
された液晶表示パネル１２を自動的に検査するテスター
部１８とを含む。ローダ部１６は本体部１４の右側に配
置されており、テスター部１８は本体部１４の左側に配
置されている。
【００１１】本体部１４は、アングル材のような複数の
鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられて
内部空間を外部空間から区画する複数のパネルとにより
形成されたフレームすなわち筐体２０を備える。本体部
１４内には、測定ステージ２２と、検査用のプローブユ
ニット２４と、液晶表示パネル１２からの光２６の光路
を変更する光路変更手段２８とが配置されている。
鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられて
内部空間を外部空間から区画する複数のパネルとにより
形成されたフレームすなわち筐体２０を備える。本体部
１４内には、測定ステージ２２と、検査用のプローブユ
ニット２４と、液晶表示パネル１２からの光２６の光路
を変更する光路変更手段２８とが配置されている。
【００１２】筐体２０の前面上部は測定ステージ２２お
よび液晶表示パネル１２を目視するための開口とされて
おり、該開口は筐体２０に蝶着された一対の扉３０によ
り両開き式に開放可能に閉鎖されている。
よび液晶表示パネル１２を目視するための開口とされて
おり、該開口は筐体２０に蝶着された一対の扉３０によ
り両開き式に開放可能に閉鎖されている。
【００１３】測定ステージ２２は、液晶表示パネル１２
をほぼ水平の状態に支持する上向きの受け部２２ａを有
する。受け部２２ａの位置は、三次元的に（前後、左右
および上下の３方向へ）調整可能である。受け部２２ａ
は、また、受け部２２ａ上の液晶表示パネル１２と垂直
の軸線の周りの回転角度を調整可能である。
をほぼ水平の状態に支持する上向きの受け部２２ａを有
する。受け部２２ａの位置は、三次元的に（前後、左右
および上下の３方向へ）調整可能である。受け部２２ａ
は、また、受け部２２ａ上の液晶表示パネル１２と垂直
の軸線の周りの回転角度を調整可能である。
【００１４】プローブユニット２４は、測定ステージ２
２の受け部２２ａの上側に配置されており、また液晶表
示パネル１２の端子に当接される検査用の複数のプロー
ブを備えており、さらに測定ステージ２２上の液晶表示
パネル１２を開口側から目視するための矩形の開口を有
する。
２の受け部２２ａの上側に配置されており、また液晶表
示パネル１２の端子に当接される検査用の複数のプロー
ブを備えており、さらに測定ステージ２２上の液晶表示
パネル１２を開口側から目視するための矩形の開口を有
する。
【００１５】図３に示すように、光路変更手段２８は、
測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２からの光２６
をテスター部１８の上部に向けてほぼ水平に指向させる
ように、筐体２０の内側に取付金具３２により変位不能
に組み付けられている。光路変更手段２８は、光２６の
光路を９０度変更する。
測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２からの光２６
をテスター部１８の上部に向けてほぼ水平に指向させる
ように、筐体２０の内側に取付金具３２により変位不能
に組み付けられている。光路変更手段２８は、光２６の
光路を９０度変更する。
【００１６】図示の例では、測定ステージ２２上の液晶
表示パネル１２に垂直の軸線に対する光路変更手段２８
の傾斜角度は、４５度であるが、他の角度であってもよ
く、したがって光路変更手段２８に対する光２６の入射
角および反射角は４５度以外の角度であってもよい。ま
た光路変更手段２８は、図示の例では反射鏡であるが、
プリズムのような他の手段であってもよい。
表示パネル１２に垂直の軸線に対する光路変更手段２８
の傾斜角度は、４５度であるが、他の角度であってもよ
く、したがって光路変更手段２８に対する光２６の入射
角および反射角は４５度以外の角度であってもよい。ま
た光路変更手段２８は、図示の例では反射鏡であるが、
プリズムのような他の手段であってもよい。
【００１７】カセット設置台３４と、架台３６と、該架
台に左右方向へ移動可能に受けられたロボット３８とを
備える。カセット設置台３４は、複数の液晶表示パネル
を収容した複数のカセット４０を上面に受ける。ロボッ
ト３８は、検査のたびに、検査すべき液晶表示パネルを
カセット設置台３４上の適宜なカセット４０から取り出
して測定ステージ２２に搬送し、検査の終了した液晶表
示パネルを測定ステージ２２から受け取ってカセット設
置台３４上の所定のカセット４０に移すまたは戻す。
台に左右方向へ移動可能に受けられたロボット３８とを
備える。カセット設置台３４は、複数の液晶表示パネル
を収容した複数のカセット４０を上面に受ける。ロボッ
ト３８は、検査のたびに、検査すべき液晶表示パネルを
カセット設置台３４上の適宜なカセット４０から取り出
して測定ステージ２２に搬送し、検査の終了した液晶表
示パネルを測定ステージ２２から受け取ってカセット設
置台３４上の所定のカセット４０に移すまたは戻す。
【００１８】テスター部１８の上部には、カメラステー
ジ４２が配置されている。カメラステージ４２は、テレ
ビカメラ４４をその光軸がほぼ水平となる姿勢に支持す
る取付部４２ａを有する。カメラステージ４２の取付部
４２ａの位置は、三次元的に（前後、左右および上下の
３方向へ）調整可能である。テレビカメラ４４は、その
光軸が光路変更手段２８による反射光の軸線と一致する
ように、光路変更手段２８から測定ステージ２２上の液
晶表示パネル１２と平行の水平方向へ離れた箇所に横向
きに支持されている。取付部４２ａは、また、テレビカ
メラ４４の光軸の周りの回転角度を調整可能である。
ジ４２が配置されている。カメラステージ４２は、テレ
ビカメラ４４をその光軸がほぼ水平となる姿勢に支持す
る取付部４２ａを有する。カメラステージ４２の取付部
４２ａの位置は、三次元的に（前後、左右および上下の
３方向へ）調整可能である。テレビカメラ４４は、その
光軸が光路変更手段２８による反射光の軸線と一致する
ように、光路変更手段２８から測定ステージ２２上の液
晶表示パネル１２と平行の水平方向へ離れた箇所に横向
きに支持されている。取付部４２ａは、また、テレビカ
メラ４４の光軸の周りの回転角度を調整可能である。
【００１９】検査時、筐体２０の開口が扉３０により閉
鎖されて筐体２０内が外部の光から遮断された状態で、
測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２が駆動され
る。これにより、液晶表示パネル１２からの光２６は光
路変更手段２８により反射されてテレビカメラ４４に向
けて指向されており、液晶表示パネル１２の像は光路変
更手段２８によりテレビカメラ４４に反射されている。
鎖されて筐体２０内が外部の光から遮断された状態で、
測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２が駆動され
る。これにより、液晶表示パネル１２からの光２６は光
路変更手段２８により反射されてテレビカメラ４４に向
けて指向されており、液晶表示パネル１２の像は光路変
更手段２８によりテレビカメラ４４に反射されている。
【００２０】上記の状態で、テレビカメラ４４が駆動さ
れて液晶表示パネル１２を光路変更手段２８を介して撮
影すなわち撮像する。テレビカメラ４４の出力信号は、
図示しない処理回路において液晶表示パネル１２の良否
の判定に用いられる。検査時、筐体２０の開口が扉３０
により閉鎖されているから、外部の光が筐体２０内へ入
ることがなく、したがって液晶表示パネル１２をテレビ
カメラ４４により正しく撮像することができる。
れて液晶表示パネル１２を光路変更手段２８を介して撮
影すなわち撮像する。テレビカメラ４４の出力信号は、
図示しない処理回路において液晶表示パネル１２の良否
の判定に用いられる。検査時、筐体２０の開口が扉３０
により閉鎖されているから、外部の光が筐体２０内へ入
ることがなく、したがって液晶表示パネル１２をテレビ
カメラ４４により正しく撮像することができる。
【００２１】検査装置１０によれば、液晶表示パネル１
２からの光２６の光路を光路変更手段２８により水平方
向へ変更するから、テレビカメラ４４を測定ステージ２
２の上方に設ける必要がなく、したがってテレビカメラ
を測定ステージの上方に設けた装置に比べ、装置の高さ
寸法が小さくなる。
２からの光２６の光路を光路変更手段２８により水平方
向へ変更するから、テレビカメラ４４を測定ステージ２
２の上方に設ける必要がなく、したがってテレビカメラ
を測定ステージの上方に設けた装置に比べ、装置の高さ
寸法が小さくなる。
【００２２】上記の検査装置１０では、光路変更手段２
８を取付金具３２により筐体２０に変位不能に組み付け
ているが、光路変更手段２８に対する光２６の入射角お
よび反射角を変更することができるように、光路変更手
段２８を筐体２０に組み付けてもよい。
８を取付金具３２により筐体２０に変位不能に組み付け
ているが、光路変更手段２８に対する光２６の入射角お
よび反射角を変更することができるように、光路変更手
段２８を筐体２０に組み付けてもよい。
【００２３】図４に示す実施例では、第１のブラケット
５０を１以上のねじ部材により筐体２０に組み付け、光
路変更手段２８を第２のブラケット５２に支持させ、第
２のブラケット５２をボルト５４とこれに螺合されたナ
ット５６とにより第１のブラケット５０に組み付けてい
る。ボルト５４は、光路変更手段２８による反射光の進
行方向と直交する水平方向へ伸びるが、光路変更手段２
８の反射面と平行に斜めに伸びてもよい。
５０を１以上のねじ部材により筐体２０に組み付け、光
路変更手段２８を第２のブラケット５２に支持させ、第
２のブラケット５２をボルト５４とこれに螺合されたナ
ット５６とにより第１のブラケット５０に組み付けてい
る。ボルト５４は、光路変更手段２８による反射光の進
行方向と直交する水平方向へ伸びるが、光路変更手段２
８の反射面と平行に斜めに伸びてもよい。
【００２４】図４に示す実施例において、第１および第
２のブラケット５０，５２は、常時はボルト５４とナッ
ト５６とにより変位不能に結合されている。しかし、ボ
ルト５４とナット５６との螺合を緩め、第１のブラケッ
ト５２を矢印５８ａまたは５８ｂの方向へ角度的に回転
させると、光路変更手段２８に対する光２６の入射角お
よび反射角が変化し、テレビカメラ４４による視野すな
わち撮像範囲が変化する。したがって、テレビカメラ４
４による撮像範囲を変更または調整することができる。
２のブラケット５０，５２は、常時はボルト５４とナッ
ト５６とにより変位不能に結合されている。しかし、ボ
ルト５４とナット５６との螺合を緩め、第１のブラケッ
ト５２を矢印５８ａまたは５８ｂの方向へ角度的に回転
させると、光路変更手段２８に対する光２６の入射角お
よび反射角が変化し、テレビカメラ４４による視野すな
わち撮像範囲が変化する。したがって、テレビカメラ４
４による撮像範囲を変更または調整することができる。
【００２５】第１および第２のブラケット５０，５２を
ボルト５４とナット５６とにより変位不能に結合させる
代わりに、第２のブラケット５２をパルスモータのよう
な回転源により角度的に回転移動させるようにしてもよ
い。この場合、ボルト５４の代わりに枢軸を用い、該枢
軸に第２のブラケット５２を固定し、枢軸を回転源によ
り角度的に回転させるようにしてもよいし、第２のブラ
ケット５２を枢軸に回転可能に支持させ、第２のブラケ
ット５２を回転源により角度的に回転させるようにして
もよい。
ボルト５４とナット５６とにより変位不能に結合させる
代わりに、第２のブラケット５２をパルスモータのよう
な回転源により角度的に回転移動させるようにしてもよ
い。この場合、ボルト５４の代わりに枢軸を用い、該枢
軸に第２のブラケット５２を固定し、枢軸を回転源によ
り角度的に回転させるようにしてもよいし、第２のブラ
ケット５２を枢軸に回転可能に支持させ、第２のブラケ
ット５２を回転源により角度的に回転させるようにして
もよい。
【００２６】上記の実施例においては、液晶表示パネル
１２を測定ステージ２２にほぼ水平の状態に受けるが、
液晶表示パネルを測定ステージ２２に傾斜した状態に受
けるようにしてもよい。そのような検査装置の一実施例
を図５および図６に示す。
１２を測定ステージ２２にほぼ水平の状態に受けるが、
液晶表示パネルを測定ステージ２２に傾斜した状態に受
けるようにしてもよい。そのような検査装置の一実施例
を図５および図６に示す。
【００２７】図５および図６に示す検査装置６０におい
ては、ローダ部１６を本体部１４の後側に配置し、テス
ター部１８を本体部１４の左側に配置している。筐体２
０の前側上部は傾斜した傾斜部６２とされており、傾斜
部６２は測定ステージ２２およびプローブユニット２４
の配置位置に対応する箇所に開口を有する。プローブユ
ニット２４は、測定ステージ２２の受け部２２ａに対し
傾斜部６２の開口の側に配置されている。
ては、ローダ部１６を本体部１４の後側に配置し、テス
ター部１８を本体部１４の左側に配置している。筐体２
０の前側上部は傾斜した傾斜部６２とされており、傾斜
部６２は測定ステージ２２およびプローブユニット２４
の配置位置に対応する箇所に開口を有する。プローブユ
ニット２４は、測定ステージ２２の受け部２２ａに対し
傾斜部６２の開口の側に配置されている。
【００２８】測定ステージ２２およびプローブユニット
２４は、液晶表示パネル１２を受け部２２ａで水平線お
よび鉛直線に対し斜めに受けるように、傾斜されてい
る。受け部２２ａも、筐体２０の傾斜部６２と平行とな
るように、斜め上向きとされている。したがって、液晶
表示パネル１２は前方および上方に向く状態に支持され
る。
２４は、液晶表示パネル１２を受け部２２ａで水平線お
よび鉛直線に対し斜めに受けるように、傾斜されてい
る。受け部２２ａも、筐体２０の傾斜部６２と平行とな
るように、斜め上向きとされている。したがって、液晶
表示パネル１２は前方および上方に向く状態に支持され
る。
【００２９】図５および図６の実施例の場合、受け部２
２ａの位置は、傾斜部６２と平行の面内の互いに直交す
る２つの軸線の方向と、測定ステージ２２の上面に対し
直交する軸線の方向とに三次元的に調整可能である。ま
た、受け部２２ａは、受け部２２ａ上の液晶表示パネル
１２と垂直の軸線の周りの回転角度を調整可能である。
２ａの位置は、傾斜部６２と平行の面内の互いに直交す
る２つの軸線の方向と、測定ステージ２２の上面に対し
直交する軸線の方向とに三次元的に調整可能である。ま
た、受け部２２ａは、受け部２２ａ上の液晶表示パネル
１２と垂直の軸線の周りの回転角度を調整可能である。
【００３０】傾斜部６２の開口は、測定ステージ２２お
よびプローブユニット２４より大きい面積を有してお
り、また筐体２０内を外部から遮光する箱状のシールド
カバー６４により開閉可能に閉鎖されている。カバー６
４は、図示の例では、上部において１以上のヒンジ６６
により筐体２０に枢軸運動可能に組み付けられている。
しかし、カバー６４を図５において、左端部、右端部、
下部、斜め上部、斜め下部等、他の部位において筐体２
０に蝶着してもよい。
よびプローブユニット２４より大きい面積を有してお
り、また筐体２０内を外部から遮光する箱状のシールド
カバー６４により開閉可能に閉鎖されている。カバー６
４は、図示の例では、上部において１以上のヒンジ６６
により筐体２０に枢軸運動可能に組み付けられている。
しかし、カバー６４を図５において、左端部、右端部、
下部、斜め上部、斜め下部等、他の部位において筐体２
０に蝶着してもよい。
【００３１】光路変更手段２８は、カバー６４に支持さ
れている。光路変更手段２８は、測定ステージ２２上の
液晶表示パネル１２からの光２６をテスター部１８の上
部に向けてほぼ水平に指向させるように、カバー６４の
内側に変位不能に組み付けられている。光路変更手段２
８は、光２６の光路を９０度変更する。
れている。光路変更手段２８は、測定ステージ２２上の
液晶表示パネル１２からの光２６をテスター部１８の上
部に向けてほぼ水平に指向させるように、カバー６４の
内側に変位不能に組み付けられている。光路変更手段２
８は、光２６の光路を９０度変更する。
【００３２】自動検査時、筐体２０の開口６４は、図５
および図６に実線で示すように、カバー６４により閉鎖
されている。このため、光路変更手段２８は、図５およ
び図５に破線で示すように、測定ステージ２２に配置さ
れた液晶表示パネル１２からの光２６をテレビカメラ４
４に向けて指向させる第１の位置に移動されており、ま
たその液晶表示パネル１２の像をテレビカメラ４４に反
射させている。この状態で、液晶表示パネル１２が駆動
され、テレビカメラ４４が光路変更手段２８を介して液
晶表示パネル１２を撮影すなわち撮像する。
および図６に実線で示すように、カバー６４により閉鎖
されている。このため、光路変更手段２８は、図５およ
び図５に破線で示すように、測定ステージ２２に配置さ
れた液晶表示パネル１２からの光２６をテレビカメラ４
４に向けて指向させる第１の位置に移動されており、ま
たその液晶表示パネル１２の像をテレビカメラ４４に反
射させている。この状態で、液晶表示パネル１２が駆動
され、テレビカメラ４４が光路変更手段２８を介して液
晶表示パネル１２を撮影すなわち撮像する。
【００３３】目視検査時、カバー６４が図６において２
点鎖線で示すようにヒンジ６６の枢軸線の周りに回転さ
れて、傾斜部６２の開口が開放される。これにより、光
路変更手段２８が液晶表示パネル１２から光路変更手段
２８への入射光路から外れた第２の位置へ移動されるか
ら、測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２を開口か
ら肉眼で目視し、検査することができる。カバー６４
は、液晶表示パネル１２を目視することを妨げない位置
に図示しない適宜なストッパにより解除可能に維持され
る。
点鎖線で示すようにヒンジ６６の枢軸線の周りに回転さ
れて、傾斜部６２の開口が開放される。これにより、光
路変更手段２８が液晶表示パネル１２から光路変更手段
２８への入射光路から外れた第２の位置へ移動されるか
ら、測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２を開口か
ら肉眼で目視し、検査することができる。カバー６４
は、液晶表示パネル１２を目視することを妨げない位置
に図示しない適宜なストッパにより解除可能に維持され
る。
【００３４】人手による目視検査は、テレビカメラを用
いる自動検査において欠陥であるか否かの判定が困難な
場合に行ってもよいし、それ以外の場合、たとえば検査
すべき液晶表示パネルが少ない場合に行ってもよい。後
者の場合、液晶表示パネル１２を人手により、測定ステ
ージ２２に配置し、測定ステージ２２から取り除いても
よい。また、目視検査により不良と判断された液晶表示
パネルを、ロボット３８を利用することなく、人手によ
り測定ステージ２２または受渡し機構から取り除いても
よい。
いる自動検査において欠陥であるか否かの判定が困難な
場合に行ってもよいし、それ以外の場合、たとえば検査
すべき液晶表示パネルが少ない場合に行ってもよい。後
者の場合、液晶表示パネル１２を人手により、測定ステ
ージ２２に配置し、測定ステージ２２から取り除いても
よい。また、目視検査により不良と判断された液晶表示
パネルを、ロボット３８を利用することなく、人手によ
り測定ステージ２２または受渡し機構から取り除いても
よい。
【００３５】検査装置６０によれば、開口が筐体２０の
前面上方に形成されており、また液晶表示パネル１２が
水平線および鉛直線に対し傾斜した姿勢にすなわち開口
と対向する姿勢に支持されるから、液晶表示パネル１２
を検査装置１０の正面において斜め上方から目視するこ
とができ、したがって液晶表示パネル１２を容易にかつ
正しく目視することができる。
前面上方に形成されており、また液晶表示パネル１２が
水平線および鉛直線に対し傾斜した姿勢にすなわち開口
と対向する姿勢に支持されるから、液晶表示パネル１２
を検査装置１０の正面において斜め上方から目視するこ
とができ、したがって液晶表示パネル１２を容易にかつ
正しく目視することができる。
【００３６】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、光路変更手段２８による光路の変更方向は、正
確な水平方向である必要はなく、斜めであってもよい。
また、検査装置６０において、光路変更手段２８を支持
するカバー６４を、筐体２０の傾斜部６２に対し左右ま
たは上下の方向へ移動させるようにしてもよいし、筐体
２０から取り外すようにしてもよい。さらに、光路変更
手段２８を他の手段に支持させてもよい。
とえば、光路変更手段２８による光路の変更方向は、正
確な水平方向である必要はなく、斜めであってもよい。
また、検査装置６０において、光路変更手段２８を支持
するカバー６４を、筐体２０の傾斜部６２に対し左右ま
たは上下の方向へ移動させるようにしてもよいし、筐体
２０から取り外すようにしてもよい。さらに、光路変更
手段２８を他の手段に支持させてもよい。
【図１】本発明に係る検査装置の実施例を示す正面図で
ある。
ある。
【図２】図１の検査装置の平面図である。
【図３】光路変更手段のための支持手段の一実施例を示
す図である。
す図である。
【図４】光路変更手段のための支持手段の他の実施例を
示す図である。
示す図である。
【図５】本発明に係る検査装置の他の実施例を示す正面
図である。
図である。
【図６】図５の検査装置の平面図である。
１０，６０ 検査装置 １２ 液晶表示パネル １４ 本体部 １６ ローダ部 １８ テスター部 ２０ 筐体 ２２ 測定ステージ ２４ 検査用のプローブユニット ２６ 液晶表示パネルからの光 ２８ 光路変更手段 ３２ 光路変更手段のための取付金具 ４２ カメラステージ ４４ テレビカメラ ５０，５１ ブラケット ５４ ボルト ５６ ナット ６４ シールドカバー ２２ａ 液晶表示パネルのための受け部
Claims (3)
- 【請求項１】 液晶表示パネルを配置する測定ステージ
と、該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像
するテレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前
記テレビカメラに向けるべく前記光の光路を上下方向に
対し角度を有する方向へ変更する光路変更手段とを含
む、液晶表示パネルの検査装置。 - 【請求項２】 さらに、前記光路変更手段を該光路変更
手段に対する光の入射角および反射角を変更可能に支持
する支持手段を含む、請求項１に記載の検査装置。 - 【請求項３】 前記測定ステージは、液晶表示パネルを
水平の状態または傾斜した状態に受ける受け部を有す
る、請求項１または２に記載の検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8092977A JPH09258156A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 液晶表示パネルの検査装置 |
| KR1019970007942A KR100247260B1 (ko) | 1996-03-25 | 1997-03-10 | 액정표시패널의 검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8092977A JPH09258156A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09258156A true JPH09258156A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=14069462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8092977A Pending JPH09258156A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 液晶表示パネルの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09258156A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100334485C (zh) * | 2003-08-04 | 2007-08-29 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 显示面板的摄像处理装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06202060A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Sharp Corp | 液晶表示パネルの検査装置 |
| JPH06291937A (ja) * | 1993-04-01 | 1994-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | カラー画像入力装置 |
| JPH0736005A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-07 | Fujitsu Ltd | 液晶パネルの検査装置 |
| JPH0784229A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-03-31 | Advantest Corp | 液晶パネル検査装置 |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP8092977A patent/JPH09258156A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06202060A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Sharp Corp | 液晶表示パネルの検査装置 |
| JPH06291937A (ja) * | 1993-04-01 | 1994-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | カラー画像入力装置 |
| JPH0736005A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-07 | Fujitsu Ltd | 液晶パネルの検査装置 |
| JPH0784229A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-03-31 | Advantest Corp | 液晶パネル検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100334485C (zh) * | 2003-08-04 | 2007-08-29 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 显示面板的摄像处理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040510 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040518 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040928 |