JPH0926342A - 超音波振動子及びこれを用いた超音波流量計 - Google Patents
超音波振動子及びこれを用いた超音波流量計Info
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- JPH0926342A JPH0926342A JP7177068A JP17706895A JPH0926342A JP H0926342 A JPH0926342 A JP H0926342A JP 7177068 A JP7177068 A JP 7177068A JP 17706895 A JP17706895 A JP 17706895A JP H0926342 A JPH0926342 A JP H0926342A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 超音波振動子の指向性制御と超音波流量計の
計測精度を高める。 【構成】 円柱状の振動子５を複数個の振動部分６、
７、８に分割し、二分の一波長以内の位相差で駆動し、
送信超音波の指向性を制御する。指向性の制御可能な超
音波振動子によって超音波流量計を構成すれば、流体の
流れによる超音波受信感度の低下を防ぎ、流量精度を高
めることが可能となる。
計測精度を高める。 【構成】 円柱状の振動子５を複数個の振動部分６、
７、８に分割し、二分の一波長以内の位相差で駆動し、
送信超音波の指向性を制御する。指向性の制御可能な超
音波振動子によって超音波流量計を構成すれば、流体の
流れによる超音波受信感度の低下を防ぎ、流量精度を高
めることが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波を利用してガス
・水などの流体の流量を計測する超音波流量計に関する
ものである。
・水などの流体の流量を計測する超音波流量計に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の超音波流量計は、図１２
に示すように、流路１の上流と下流とに一対の超音波振
動子２と３を流れの方向（図中に矢印で示す）に相対し
て設け、上流側の振動子２から流れの方向に超音波を発
信し、この超音波を下流側の振動子３で受信し、振動子
２から３への超音波の伝搬時間、Ｔdnを計測する。ま
た、逆に下流側の振動子３から流れに逆らって超音波を
発信し、この超音波を上流側の振動子２で受信し、振動
子３から２への超音波の伝搬時間、Ｔupを計測する。こ
の２つの伝搬時間の差から流路１を流れる流体の平均的
な流速を演算し、あらかじめ解っている流路１の断面積
とから、流体の流量を検知していた。
に示すように、流路１の上流と下流とに一対の超音波振
動子２と３を流れの方向（図中に矢印で示す）に相対し
て設け、上流側の振動子２から流れの方向に超音波を発
信し、この超音波を下流側の振動子３で受信し、振動子
２から３への超音波の伝搬時間、Ｔdnを計測する。ま
た、逆に下流側の振動子３から流れに逆らって超音波を
発信し、この超音波を上流側の振動子２で受信し、振動
子３から２への超音波の伝搬時間、Ｔupを計測する。こ
の２つの伝搬時間の差から流路１を流れる流体の平均的
な流速を演算し、あらかじめ解っている流路１の断面積
とから、流体の流量を検知していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の超音波流量計では、流路１内を伝搬する超音波の伝
搬方向は、振動子２、３の設置方向で決まるため、例え
ば振動子２と３とが、各々の中心線４からずれて設置さ
れていた場合、超音波の受信感度が極端に低下する。こ
のためＳ／Ｎ比が低下し、計測流量値に誤差が含まれ、
誤動作することがあった。このため、振動子２、３を、
それぞれ機械的に調節し、受信感度が大きくなるように
していた。また、流路１内を流れる流体によって、振動
子２、３間を伝搬する超音波が、下流方向に流されるた
め、超音波の伝搬方向が曲げられる。すなわち、伝搬す
る超音波は、受信側振動子の下流方向に伝搬するため、
受信側振動子で受信される超音波の受信強度が、流体の
流速に依存して変化することになり、伝搬時間計測時に
誤差となって、計測流量値に誤差が含まれ、誤動作する
こともあった。
来の超音波流量計では、流路１内を伝搬する超音波の伝
搬方向は、振動子２、３の設置方向で決まるため、例え
ば振動子２と３とが、各々の中心線４からずれて設置さ
れていた場合、超音波の受信感度が極端に低下する。こ
のためＳ／Ｎ比が低下し、計測流量値に誤差が含まれ、
誤動作することがあった。このため、振動子２、３を、
それぞれ機械的に調節し、受信感度が大きくなるように
していた。また、流路１内を流れる流体によって、振動
子２、３間を伝搬する超音波が、下流方向に流されるた
め、超音波の伝搬方向が曲げられる。すなわち、伝搬す
る超音波は、受信側振動子の下流方向に伝搬するため、
受信側振動子で受信される超音波の受信強度が、流体の
流速に依存して変化することになり、伝搬時間計測時に
誤差となって、計測流量値に誤差が含まれ、誤動作する
こともあった。
【０００４】本発明は上記課題を解決するもので、超音
波の送信方向を制御できる超音波振動子を提供するとと
もに、広い流量範囲にわたって高精度の流量計測ができ
る超音波流量計を提供するものである。
波の送信方向を制御できる超音波振動子を提供するとと
もに、広い流量範囲にわたって高精度の流量計測ができ
る超音波流量計を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の超音波振動子は、以下の構成とした。
に本発明の超音波振動子は、以下の構成とした。
【０００６】すなわち、複数個の振動部分からなり、そ
れぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相
差の超音波を送信できる構成とした。
れぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相
差の超音波を送信できる構成とした。
【０００７】また、複数個の振動部分からなり、それぞ
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の電気的な
位相差で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信
できる構成とした。
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の電気的な
位相差で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信
できる構成とした。
【０００８】また、複数個の振動部分からなり、それぞ
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の物理的な
位相差で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信
できる構成とした。
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の物理的な
位相差で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信
できる構成とした。
【０００９】上記目的を達成するために本発明の超音波
流量計は、以下の構成とした。すなわち、複数個の振動
部分からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の
一波長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音
波振動子を、流路の上流と、下流とに対面させる構成と
した。
流量計は、以下の構成とした。すなわち、複数個の振動
部分からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の
一波長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音
波振動子を、流路の上流と、下流とに対面させる構成と
した。
【００１０】また、複数個の振動部分からなり、それぞ
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で
超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上
流と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体の
流れの方向とを平行となる構成とした。
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で
超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上
流と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体の
流れの方向とを平行となる構成とした。
【００１１】また、複数個の振動子部分からなり、それ
ぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差
で超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の
上流と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体
の流れの方向とを斜交させる構成とした。
ぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差
で超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の
上流と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体
の流れの方向とを斜交させる構成とした。
【００１２】また、流れ方向に並んだ複数個の振動部分
からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波
長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振
動子を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波
の伝搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体
の流れの方向と斜交させる構成とした。
からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波
長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振
動子を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波
の伝搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体
の流れの方向と斜交させる構成とした。
【００１３】また、流れ方向に並んだ複数個の振動部分
からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波
長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振
動子を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波
の伝搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体
の流れの方向と斜交させ、前記複数個の振動部分からな
る超音波振動子を、各振動部分を、二分の一波長以内の
位相差を順次変化させて駆動し、最大受信感度の得られ
た位相差で、複数個の振動部を駆動させて流体の流量を
計測する構成とした。
からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波
長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振
動子を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波
の伝搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体
の流れの方向と斜交させ、前記複数個の振動部分からな
る超音波振動子を、各振動部分を、二分の一波長以内の
位相差を順次変化させて駆動し、最大受信感度の得られ
た位相差で、複数個の振動部を駆動させて流体の流量を
計測する構成とした。
【００１４】
【作用】本発明は、超音波振動子が、複数個の振動部分
に分割されており、それぞれを、位相差が二分の一波長
以内で独立に駆動できるため、超音波振動子から送信さ
れる超音波の伝搬方向を、即ち、指向性を制御すること
ができる。複数個の振動部分から送信される超音波は、
二分の一波長以内の位相差であるため、ある方向（指向
性の鋭い方向）では、超音波が相互に干渉しあって強め
合う結果となる。
に分割されており、それぞれを、位相差が二分の一波長
以内で独立に駆動できるため、超音波振動子から送信さ
れる超音波の伝搬方向を、即ち、指向性を制御すること
ができる。複数個の振動部分から送信される超音波は、
二分の一波長以内の位相差であるため、ある方向（指向
性の鋭い方向）では、超音波が相互に干渉しあって強め
合う結果となる。
【００１５】また、管路など流路内に振動子を対向させ
て設置した場合に、振動子の中心軸に機械的な位置ずれ
が発生し、受信感度が低下しても、簡単に、それぞれの
振動部分に位相差を与えて駆動することにより機械的な
位置ずれによる、超音波の受信感度低下を補正すること
ができる。
て設置した場合に、振動子の中心軸に機械的な位置ずれ
が発生し、受信感度が低下しても、簡単に、それぞれの
振動部分に位相差を与えて駆動することにより機械的な
位置ずれによる、超音波の受信感度低下を補正すること
ができる。
【００１６】また、超音波の伝搬方向と、流体の流れる
方向とが斜交し、超音波が流体により流され、超音波の
受信感度が低下しても、振動子の指向性を制御すること
により、超音波の受信感度を補正することができる。
方向とが斜交し、超音波が流体により流され、超音波の
受信感度が低下しても、振動子の指向性を制御すること
により、超音波の受信感度を補正することができる。
【００１７】従って、超音波の受信感度のＳ／Ｎ比が、
振動子間の位置ずれや、流体の流速に依存しないで、常
に一定とすることができ、誤差の少ない超音波流量計を
提供できる。
振動子間の位置ずれや、流体の流速に依存しないで、常
に一定とすることができ、誤差の少ない超音波流量計を
提供できる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例を図１にもとづ
いて説明する。
いて説明する。
【００１９】図１は、本発明の実施例を基づく円柱状の
超音波振動子５の斜視図である。３つの振動部分６、
７、８に分割されている。振動部分は、ＰＺＴ、ＰＣ
Ｍ、ＰＶＤＦなどの圧電材料で構成した。それぞれの部
分の上部には、厚さ約１０μm程度の焼き付け銀電極、
蒸着アルミ電極などの電極、６ａ、７ａ、８ａが形成さ
れている。また、それぞれの下部にも同様の電極、６
ｂ、７ｂ、８ｂ、（図示せず）が形成されている。それ
ぞれの上部電極には、独立に電力を供給できるように、
リード線６ｃ、７ｃ、８ｃが、下部電極には、６ｄ、７
ｄ、８ｄ（図示せず）とが接続されている。５ａは、振
動部分を収納する一部破断した収納容器を示し、アル
ミ、ＳＵＳなどの金属で構成した。５ｂは、振動部分
６、７、８、の間隔を保持する電気絶縁性のスペーサを
示し、振動部分の高さの二分の一以下とし、エポキシ、
シリコンなどの樹脂あるいはゴムなどで、あるいは、プ
ラスチックなどで構成した。なお、同様のスペーサは、
前記振動部分と前記収納容器との間にも設けた。
超音波振動子５の斜視図である。３つの振動部分６、
７、８に分割されている。振動部分は、ＰＺＴ、ＰＣ
Ｍ、ＰＶＤＦなどの圧電材料で構成した。それぞれの部
分の上部には、厚さ約１０μm程度の焼き付け銀電極、
蒸着アルミ電極などの電極、６ａ、７ａ、８ａが形成さ
れている。また、それぞれの下部にも同様の電極、６
ｂ、７ｂ、８ｂ、（図示せず）が形成されている。それ
ぞれの上部電極には、独立に電力を供給できるように、
リード線６ｃ、７ｃ、８ｃが、下部電極には、６ｄ、７
ｄ、８ｄ（図示せず）とが接続されている。５ａは、振
動部分を収納する一部破断した収納容器を示し、アル
ミ、ＳＵＳなどの金属で構成した。５ｂは、振動部分
６、７、８、の間隔を保持する電気絶縁性のスペーサを
示し、振動部分の高さの二分の一以下とし、エポキシ、
シリコンなどの樹脂あるいはゴムなどで、あるいは、プ
ラスチックなどで構成した。なお、同様のスペーサは、
前記振動部分と前記収納容器との間にも設けた。
【００２０】図２は、本発明の第２の実施例に基づく矩
形状の振動子９の斜視図である。３つの振動部分１０、
１１、１２に分割されている。振動部分は、ＰＺＴ、Ｐ
ＣＭ、ＰＶＤＦなどの圧電材料で構成した。それぞれの
部分の上部には、図１で示した超音波振動子５と同様の
電極、１０ａ、１１ａ、１２ａが形成されている。ま
た、それぞれの下部にも焼き付け銀電極などの電極、１
０ｂ、１１ｂ、１２ｂ、（図示せず）が形成されてい
る。それぞれの電極には、独立に電力を供給できるよう
にリード線１０ｃ、１１ｃ、１２ｃと１０ｄ、１１ｄ、
１２ｄ（図示せず）とが形成されている。９ａは、振動
部分を収納する一部破断した容器を示し、アルミ、ＳＵ
Ｓなどの金属で構成した。９ｂは、振動部分１０、１
１、１２、の間隔を保持する電気絶縁性のスペーサを示
し、振動部分の高さの二分の一以下とし、エポキシ、シ
リコンなどの樹脂あるいはゴムなどで、あるいは、プラ
スチックなどで構成した。なお、同様のスペーサは、前
記振動部分と前記収納容器との間にも設けた。
形状の振動子９の斜視図である。３つの振動部分１０、
１１、１２に分割されている。振動部分は、ＰＺＴ、Ｐ
ＣＭ、ＰＶＤＦなどの圧電材料で構成した。それぞれの
部分の上部には、図１で示した超音波振動子５と同様の
電極、１０ａ、１１ａ、１２ａが形成されている。ま
た、それぞれの下部にも焼き付け銀電極などの電極、１
０ｂ、１１ｂ、１２ｂ、（図示せず）が形成されてい
る。それぞれの電極には、独立に電力を供給できるよう
にリード線１０ｃ、１１ｃ、１２ｃと１０ｄ、１１ｄ、
１２ｄ（図示せず）とが形成されている。９ａは、振動
部分を収納する一部破断した容器を示し、アルミ、ＳＵ
Ｓなどの金属で構成した。９ｂは、振動部分１０、１
１、１２、の間隔を保持する電気絶縁性のスペーサを示
し、振動部分の高さの二分の一以下とし、エポキシ、シ
リコンなどの樹脂あるいはゴムなどで、あるいは、プラ
スチックなどで構成した。なお、同様のスペーサは、前
記振動部分と前記収納容器との間にも設けた。
【００２１】同様に、図３は、本発明の第３の実施例に
基づく矩形状の振動子１３の斜視図である。振動部分が
６分割されている。振動部分は、収納容器１３ａに収納
固定されている。また、それぞれの振動部分の間および
振動部分と収納容器との間には電気絶縁性のスペーサ１
３ｂが設けられている。それぞれの振動部分には、図１
と図２とに示したように、電極と電力供給用のリード線
（図示せず）とが形成されている。
基づく矩形状の振動子１３の斜視図である。振動部分が
６分割されている。振動部分は、収納容器１３ａに収納
固定されている。また、それぞれの振動部分の間および
振動部分と収納容器との間には電気絶縁性のスペーサ１
３ｂが設けられている。それぞれの振動部分には、図１
と図２とに示したように、電極と電力供給用のリード線
（図示せず）とが形成されている。
【００２２】例えば、図１に示した円柱状の振動子５
を、３つの振動部分６、７、８を同時に、即ち、同じ位
相で駆動すると、その円柱状の振動子５から送信される
超音波の指向特性は、円柱の直径と、送信される超音波
の波長とで決まる指向特性、即ち、空間的な強度分布を
示し、円柱状の振動子５の中心軸がその場合基準軸とな
る。しかし、図４に示すように、３つの独立した駆動電
源１４、１５、１６を用いて、二分の一波長以内のある
一定の位相差で、３つの振動部分６、７、８を順次駆動
すると、空間的な強度分布は、前述したように、同じ位
相で駆動した場合と同じであるが、その基準軸を制御す
ることができ、その基準軸を円柱の中心軸からずらすこ
とができる。従って、指向特性を制御することができ、
任意の方向に超音波を送信することができる。なお、こ
の場合、振動子は各振動部分で完全に分離しているもの
を用いたが、下端部二分の一以下程度の部分で結合され
ていても、本発明の指向性の制御は可能となる。すなわ
ち、一つの振動子の上部、または下部から振動子の二分
の一以上のスリット加工してもよい。なお、スリット深
さは深い方が、振動の分離度は良い。また、図２に示し
た矩形状の振動子９を、例えば、３つの振動部分１０、
１１、１２を同時に、即ち、同じ位相で駆動すると、そ
の矩形状の振動子９から送信される超音波の指向特性、
即ち、空間的な強度分布は、矩形の辺の長さと、送信さ
れる超音波の波長とで決まる指向特性を示す。しかし、
図４に示したような、３つの独立した駆動電源を用い
て、二分の一波長以内の位相差で、３つの振動部分１
０、１１、１２を順次駆動すると、空間的な強度分布
は、前記で説明した、同じ位相で駆動した場合と同じで
あるが、その基準軸を自由に、任意の方向にずらすこと
ができ、指向特性が制御できる。この場合、制御できる
方向は、図２の左右の方向である。なお、図２の上下の
方向の強度分布は、同相で駆動した場合と同じであり、
制御することができない。さらに、中央の振動部分１１
を駆動する位相を、その両側の振動部分、１０と１２よ
りも、少し遅らせると、振動子９から送信される超音波
を収束させることができるため、あまり広がらない、よ
り強い超音波を送信することもできる。
を、３つの振動部分６、７、８を同時に、即ち、同じ位
相で駆動すると、その円柱状の振動子５から送信される
超音波の指向特性は、円柱の直径と、送信される超音波
の波長とで決まる指向特性、即ち、空間的な強度分布を
示し、円柱状の振動子５の中心軸がその場合基準軸とな
る。しかし、図４に示すように、３つの独立した駆動電
源１４、１５、１６を用いて、二分の一波長以内のある
一定の位相差で、３つの振動部分６、７、８を順次駆動
すると、空間的な強度分布は、前述したように、同じ位
相で駆動した場合と同じであるが、その基準軸を制御す
ることができ、その基準軸を円柱の中心軸からずらすこ
とができる。従って、指向特性を制御することができ、
任意の方向に超音波を送信することができる。なお、こ
の場合、振動子は各振動部分で完全に分離しているもの
を用いたが、下端部二分の一以下程度の部分で結合され
ていても、本発明の指向性の制御は可能となる。すなわ
ち、一つの振動子の上部、または下部から振動子の二分
の一以上のスリット加工してもよい。なお、スリット深
さは深い方が、振動の分離度は良い。また、図２に示し
た矩形状の振動子９を、例えば、３つの振動部分１０、
１１、１２を同時に、即ち、同じ位相で駆動すると、そ
の矩形状の振動子９から送信される超音波の指向特性、
即ち、空間的な強度分布は、矩形の辺の長さと、送信さ
れる超音波の波長とで決まる指向特性を示す。しかし、
図４に示したような、３つの独立した駆動電源を用い
て、二分の一波長以内の位相差で、３つの振動部分１
０、１１、１２を順次駆動すると、空間的な強度分布
は、前記で説明した、同じ位相で駆動した場合と同じで
あるが、その基準軸を自由に、任意の方向にずらすこと
ができ、指向特性が制御できる。この場合、制御できる
方向は、図２の左右の方向である。なお、図２の上下の
方向の強度分布は、同相で駆動した場合と同じであり、
制御することができない。さらに、中央の振動部分１１
を駆動する位相を、その両側の振動部分、１０と１２よ
りも、少し遅らせると、振動子９から送信される超音波
を収束させることができるため、あまり広がらない、よ
り強い超音波を送信することもできる。
【００２３】また、図３に示した矩形状の振動子１３の
場合、例えば、６つの振動部分を、６つの独立した駆動
電源を用いて駆動すると、送信される超音波の基準軸を
任意に制御することができる。即ち、図３の、左右方向
にも、上下方向にも制御することができる。従って、こ
の場合は、これらを組み合わせることにより、任意の方
向に、超音波の送信方向を制御することができる。
場合、例えば、６つの振動部分を、６つの独立した駆動
電源を用いて駆動すると、送信される超音波の基準軸を
任意に制御することができる。即ち、図３の、左右方向
にも、上下方向にも制御することができる。従って、こ
の場合は、これらを組み合わせることにより、任意の方
向に、超音波の送信方向を制御することができる。
【００２４】図５は、第４の実施例による超音波の指向
性を説明するための図。図５（ａ）は、図２に示した矩
形状の振動子９の上面から見た図であり、（ｂ）はその
正面図である。なお、収納容器９ｂは、省略した。振動
子９は、振動部分が、１８、１９、２０に３分割され、
それぞれの振動部分の上面と下面とには、厚さ約１０μ
m程度のの焼き付け銀などの電極１８ａと１８ｂ、１９
ａと１９ｂ、２０ａと２０ｂとが形成されている。電力
供給用のリード線は省略した。図５（ｂ）に見られるよ
うに、それぞれの振動部分が上下方向に階段状になって
いる。図６に示す駆動電源２１で、矩形状の振動子９を
駆動すると、振動部１８、１９、２０は同時に、超音波
を送信するが、図５（ｂ）に見られるように、振動部１
８、１９、２０が上下方向に階段状になっているため、
例えば、図５（ｂ）の上部のある一点で、超音波の伝搬
して来るのを待っているとすると、振動部１８からの超
音波が最初に到達し、次に１９から、２０からの順に到
達してくることになる。従って、図５（ａ）の右の方向
に、即ち、図５（ｂ）の右上方向に、振動部１８、１
９、２０から等距離にある方向に、最も強い超音波が得
られる。このように、振動部の距離を、機械的に上下方
向に調節することにより、複数個の振動部分を同相で駆
動しても、超音波の最も強い方向を制御することができ
る。
性を説明するための図。図５（ａ）は、図２に示した矩
形状の振動子９の上面から見た図であり、（ｂ）はその
正面図である。なお、収納容器９ｂは、省略した。振動
子９は、振動部分が、１８、１９、２０に３分割され、
それぞれの振動部分の上面と下面とには、厚さ約１０μ
m程度のの焼き付け銀などの電極１８ａと１８ｂ、１９
ａと１９ｂ、２０ａと２０ｂとが形成されている。電力
供給用のリード線は省略した。図５（ｂ）に見られるよ
うに、それぞれの振動部分が上下方向に階段状になって
いる。図６に示す駆動電源２１で、矩形状の振動子９を
駆動すると、振動部１８、１９、２０は同時に、超音波
を送信するが、図５（ｂ）に見られるように、振動部１
８、１９、２０が上下方向に階段状になっているため、
例えば、図５（ｂ）の上部のある一点で、超音波の伝搬
して来るのを待っているとすると、振動部１８からの超
音波が最初に到達し、次に１９から、２０からの順に到
達してくることになる。従って、図５（ａ）の右の方向
に、即ち、図５（ｂ）の右上方向に、振動部１８、１
９、２０から等距離にある方向に、最も強い超音波が得
られる。このように、振動部の距離を、機械的に上下方
向に調節することにより、複数個の振動部分を同相で駆
動しても、超音波の最も強い方向を制御することができ
る。
【００２５】図７は、前記図１で説明した円柱状の超音
波振動子５を、上流側５１と下流側５２とに設置した音
波流量計２２の断面図を示す。流体は、流路１内を矢印
の方向に流れる。この場合、超音波の伝搬経路が、流路
１の上流と下流とにあって、かつ、流路と斜交している
ため、中心軸２３を正確に一致させることは、実用上非
常に困難であった。このため、従来では、振動子５１、
あるいは、５２の幾何学的な傾きを調整して、超音波の
受信感度が大きくなるように設定していた。しかし、本
発明の超音波振動子を用いると、電気的に位相を遅らせ
たり、進めたりするだけで、間単に、超音波の受信感度
を大きく設定する事ができ、非常に簡単となる。また、
超音波振動子を傾けたりすることなしに、図５で説明し
たように、各振動部分を前後に滑らせるだけでも、容易
に超音波の受信感度を大きくとることができる。従っ
て、調整作業が簡単に、容易となる。
波振動子５を、上流側５１と下流側５２とに設置した音
波流量計２２の断面図を示す。流体は、流路１内を矢印
の方向に流れる。この場合、超音波の伝搬経路が、流路
１の上流と下流とにあって、かつ、流路と斜交している
ため、中心軸２３を正確に一致させることは、実用上非
常に困難であった。このため、従来では、振動子５１、
あるいは、５２の幾何学的な傾きを調整して、超音波の
受信感度が大きくなるように設定していた。しかし、本
発明の超音波振動子を用いると、電気的に位相を遅らせ
たり、進めたりするだけで、間単に、超音波の受信感度
を大きく設定する事ができ、非常に簡単となる。また、
超音波振動子を傾けたりすることなしに、図５で説明し
たように、各振動部分を前後に滑らせるだけでも、容易
に超音波の受信感度を大きくとることができる。従っ
て、調整作業が簡単に、容易となる。
【００２６】図８は、前記図１で説明した円柱状の超音
波振動子５を、上流側５１と下流側５２とに設置した音
波流量計２４の断面図を示す。流体は、流路１内を矢印
の方向に流れる。この場合、超音波の伝搬経路は、流路
と平行に配置されている。また、超音波振動子５ａ１、
５ａ２とが、流路の中央部に配置されているため、中心
軸２５を正確に一致させることは、実用上非常に困難で
あった。このため、従来では、振動子５１、あるいは、
５２の傾きを調整して、超音波の受信感度が大きくなる
ように設定していたが、振動子が流路の中央部に設置さ
れているため、非常に作業性が悪かった。本発明の超音
波振動子を用いると、電気的に位相を遅らせたり、進め
たりするだけで、間単に、容易に、超音波の受信感度を
大きく設定する事ができる。また、超音波振動子を傾け
たりすることなしに、図５で説明したように、各振動部
分を前後に滑らせるだけで容易に超音波の受信感度を大
きくとることができる。このため、確実に固定した後に
作業することができる。従って、調整作業が容易とな
る。電気的に位相を調整する場合、超音波振動子が、流
路の中央部にあっても、簡単に、外部から調整すること
ができる。
波振動子５を、上流側５１と下流側５２とに設置した音
波流量計２４の断面図を示す。流体は、流路１内を矢印
の方向に流れる。この場合、超音波の伝搬経路は、流路
と平行に配置されている。また、超音波振動子５ａ１、
５ａ２とが、流路の中央部に配置されているため、中心
軸２５を正確に一致させることは、実用上非常に困難で
あった。このため、従来では、振動子５１、あるいは、
５２の傾きを調整して、超音波の受信感度が大きくなる
ように設定していたが、振動子が流路の中央部に設置さ
れているため、非常に作業性が悪かった。本発明の超音
波振動子を用いると、電気的に位相を遅らせたり、進め
たりするだけで、間単に、容易に、超音波の受信感度を
大きく設定する事ができる。また、超音波振動子を傾け
たりすることなしに、図５で説明したように、各振動部
分を前後に滑らせるだけで容易に超音波の受信感度を大
きくとることができる。このため、確実に固定した後に
作業することができる。従って、調整作業が容易とな
る。電気的に位相を調整する場合、超音波振動子が、流
路の中央部にあっても、簡単に、外部から調整すること
ができる。
【００２７】図９は、第７の実施例による超音波流量計
２６を示す図。超音波振動子は矩形状の振動子９を用
い、上流側を９１、下流側を９２とする。図２で示した
左右方向を、流路１の流体の流れ方向（矢印）と一致さ
せた。従って、流体の流れる方向に指向性を制御するこ
とができる配置となる。超音波の伝搬路２７は、流体の
流れ方向とは斜交することになる。このような配置にお
いて、例えば、流体の流れが無い場合に、即ち、流体の
静止状態において、振動子９１、９２との間で送受信さ
れる超音波の受信感度が、電気的位相差、あるいは物理
的位相差の調整によって、最適値に設定されていたとす
る。このような状態で、流体が流れると、例えば、上流
側の振動子９１から送信された超音波は、流体に流さ
れ、下流側の振動子９２に到達する際に、超音波受信感
度が最大となる最適位置よりも下流側に流される。また
逆に、下流側の振動子９２から送信された超音波は、流
体に流され、上流側の振動子９１に到達する際に、超音
波受信感度が最大となる最適位置よりも下流側に流され
る。このため、超音波の受信感度が流体の流量、即ち、
流速に左右されたり、低下したりし、流量計測に誤差を
発生しやすくなり、誤動作することがあった。本発明で
は、流体の流れる方向に指向性を制御できる振動子９
１、９２を用いているため、電気的位相差を調整するこ
とにより、流体の流量にかかわらず、常に、超音波の受
信感度を最大とする最適な指向性を確保できる。従っ
て、流量計測に誤差の発生することがなく、安定に、正
確な流量計測ができる。
２６を示す図。超音波振動子は矩形状の振動子９を用
い、上流側を９１、下流側を９２とする。図２で示した
左右方向を、流路１の流体の流れ方向（矢印）と一致さ
せた。従って、流体の流れる方向に指向性を制御するこ
とができる配置となる。超音波の伝搬路２７は、流体の
流れ方向とは斜交することになる。このような配置にお
いて、例えば、流体の流れが無い場合に、即ち、流体の
静止状態において、振動子９１、９２との間で送受信さ
れる超音波の受信感度が、電気的位相差、あるいは物理
的位相差の調整によって、最適値に設定されていたとす
る。このような状態で、流体が流れると、例えば、上流
側の振動子９１から送信された超音波は、流体に流さ
れ、下流側の振動子９２に到達する際に、超音波受信感
度が最大となる最適位置よりも下流側に流される。また
逆に、下流側の振動子９２から送信された超音波は、流
体に流され、上流側の振動子９１に到達する際に、超音
波受信感度が最大となる最適位置よりも下流側に流され
る。このため、超音波の受信感度が流体の流量、即ち、
流速に左右されたり、低下したりし、流量計測に誤差を
発生しやすくなり、誤動作することがあった。本発明で
は、流体の流れる方向に指向性を制御できる振動子９
１、９２を用いているため、電気的位相差を調整するこ
とにより、流体の流量にかかわらず、常に、超音波の受
信感度を最大とする最適な指向性を確保できる。従っ
て、流量計測に誤差の発生することがなく、安定に、正
確な流量計測ができる。
【００２８】図１０は、第８の実施例による超音波流量
計２８を示す図であり、（ａ）は、その断面図を示し、
（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’断面を示す。超音波振動子
は矩形状の振動子９を用い、上流側を９１、下流側を９
２とする。図２（ａ）で示した左右方向を、流路１の流
体の流れ方向（矢印）と一致させた。従って、流体の流
れる方向に指向性を制御することができる配置となる。
超音波の伝搬路２９は、流体の流れ方向とは斜交するこ
とになる。流路１の断面形状３０は矩形とした。矩形流
路の短辺３１は、用いる超音波振動子の大きさ程度と
し、約５〜２０mmとした。また、矩形流路の長辺３２
は、最大流量時の圧損から求め、おおむね短辺の３〜１
０倍程度とした。流路の短辺３１を、用いる振動子の寸
法程度とすることにより、強い超音波が得られた。即
ち、振動子９１または９２から送信された超音波は、振
動子の寸法程度の幅の中を伝搬するため、短辺方向（３
１の方向）へは、ほとんど拡散することができない。即
ち、短辺３１側から送信された超音波は、長辺３２で反
射されるため、拡散することがない。また、流体の流れ
方向へは、上流側の振動子９１、下流側の振動子９２と
も、送信する超音波を収束させたり、指向性を制御する
ことができるため、送信された超音波が流体の流れに流
されても、電気的位相差を調整することにより、超音波
の受信感度を最適にすることが簡単にできる。このた
め、本発明の超音波流量計では、特に、矩形断面流路を
有する本発明の超音波流量計では、常に、強い超音波が
送受信されるため、超音波の受信感度が大きく、誤差の
少ない流量計測ができる。
計２８を示す図であり、（ａ）は、その断面図を示し、
（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’断面を示す。超音波振動子
は矩形状の振動子９を用い、上流側を９１、下流側を９
２とする。図２（ａ）で示した左右方向を、流路１の流
体の流れ方向（矢印）と一致させた。従って、流体の流
れる方向に指向性を制御することができる配置となる。
超音波の伝搬路２９は、流体の流れ方向とは斜交するこ
とになる。流路１の断面形状３０は矩形とした。矩形流
路の短辺３１は、用いる超音波振動子の大きさ程度と
し、約５〜２０mmとした。また、矩形流路の長辺３２
は、最大流量時の圧損から求め、おおむね短辺の３〜１
０倍程度とした。流路の短辺３１を、用いる振動子の寸
法程度とすることにより、強い超音波が得られた。即
ち、振動子９１または９２から送信された超音波は、振
動子の寸法程度の幅の中を伝搬するため、短辺方向（３
１の方向）へは、ほとんど拡散することができない。即
ち、短辺３１側から送信された超音波は、長辺３２で反
射されるため、拡散することがない。また、流体の流れ
方向へは、上流側の振動子９１、下流側の振動子９２と
も、送信する超音波を収束させたり、指向性を制御する
ことができるため、送信された超音波が流体の流れに流
されても、電気的位相差を調整することにより、超音波
の受信感度を最適にすることが簡単にできる。このた
め、本発明の超音波流量計では、特に、矩形断面流路を
有する本発明の超音波流量計では、常に、強い超音波が
送受信されるため、超音波の受信感度が大きく、誤差の
少ない流量計測ができる。
【００２９】図１１は、図１０で示した超音波流量計２
８の動作を説明するためのブロック図。３３は位相可変
型送信機、３４はその出力端子であり、送信側振動子９
１、９２が接続される。３５は位相可変型受信器であ
り、３６はその入力端子であり、受信側振動子９２、９
１が接続される。３７は増幅回路、３８はマイコンであ
り、演算処理や、送信指令を発生する。例えば、位相可
変型送信器３３の出力端子３４に、上流側振動子９１を
接続し、複数個の端子間の位相を順次変えて、振動子９
１を駆動し、超音波を伝搬路２９に沿って、送信する。
下流側振動子９２で受信された信号は、入力端子３６を
介して、位相可変型受信機３５に入力される。３５から
の出力は、増幅回路３７で、マイコン３８で処理しやす
い程度に増幅される。マイコン３８では、送信側、受信
側の位相関係から、超音波の最適送信位相、受信位相を
演算し、決定する。その後、出力端子３４に下流側の振
動子９２を接続し、入力端子３６に上流側振動子９１を
接続し、前記とどうようにして、超音波の最適送信位
相、受信位相を決定する。それぞれの送受信条件は、マ
イコン３８に記憶され、その条件で、正確な流量計測を
実施する。なお、計測結果の流量値に大きな変化が認め
られないときは、そのままの条件で、流量計測を実施す
る。
８の動作を説明するためのブロック図。３３は位相可変
型送信機、３４はその出力端子であり、送信側振動子９
１、９２が接続される。３５は位相可変型受信器であ
り、３６はその入力端子であり、受信側振動子９２、９
１が接続される。３７は増幅回路、３８はマイコンであ
り、演算処理や、送信指令を発生する。例えば、位相可
変型送信器３３の出力端子３４に、上流側振動子９１を
接続し、複数個の端子間の位相を順次変えて、振動子９
１を駆動し、超音波を伝搬路２９に沿って、送信する。
下流側振動子９２で受信された信号は、入力端子３６を
介して、位相可変型受信機３５に入力される。３５から
の出力は、増幅回路３７で、マイコン３８で処理しやす
い程度に増幅される。マイコン３８では、送信側、受信
側の位相関係から、超音波の最適送信位相、受信位相を
演算し、決定する。その後、出力端子３４に下流側の振
動子９２を接続し、入力端子３６に上流側振動子９１を
接続し、前記とどうようにして、超音波の最適送信位
相、受信位相を決定する。それぞれの送受信条件は、マ
イコン３８に記憶され、その条件で、正確な流量計測を
実施する。なお、計測結果の流量値に大きな変化が認め
られないときは、そのままの条件で、流量計測を実施す
る。
【００３０】計測流量値に大きな変化が認められた場
合、再度流量計測前に、前記の最適送受信条件を求め、
新たな最適条件で、流量計測を実施する。なお、何度も
何度も繰り返し最適送受信条件を求め、前記マイコン３
８に、その都度、記憶しておくと、計測流量値に応じ
た、最適位相条件が簡単に求められる。
合、再度流量計測前に、前記の最適送受信条件を求め、
新たな最適条件で、流量計測を実施する。なお、何度も
何度も繰り返し最適送受信条件を求め、前記マイコン３
８に、その都度、記憶しておくと、計測流量値に応じ
た、最適位相条件が簡単に求められる。
【００３１】最適送受信条件を求める際、位相可変型受
信機の位相条件は、位相差零とすれば、やや受信感度は
低下するが、より簡単に最適条件が見つかる。
信機の位相条件は、位相差零とすれば、やや受信感度は
低下するが、より簡単に最適条件が見つかる。
【００３２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
超音波振動子及びこれを用いた超音波流量計によれば次
の効果が得られる。
超音波振動子及びこれを用いた超音波流量計によれば次
の効果が得られる。
【００３３】（１）複数個の振動部分からなり、それぞ
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差の
超音波を送信する機能を備えたので、送信する超音波の
指向性を制御することができる。
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差の
超音波を送信する機能を備えたので、送信する超音波の
指向性を制御することができる。
【００３４】（２）複数個の振動部分からなり、それぞ
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の電気的な
位相差で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信
する機能を備えたので、送信する超音波の指向性を電気
的に制御することができる。
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の電気的な
位相差で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信
する機能を備えたので、送信する超音波の指向性を電気
的に制御することができる。
【００３５】（３）複数個の振動部分からなり、それぞ
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の物理的な
位相差で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信
する機能を備えたので、送信する超音波の指向性を物理
的に制御することができる。
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の物理的な
位相差で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信
する機能を備えたので、送信する超音波の指向性を物理
的に制御することができる。
【００３６】（４）複数個の振動部分からなり、それぞ
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で
超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上
流と、下流とに対面させる構成なので、超音波振動子の
位置ずれが発生しても、指向性を制御することにより、
簡単に、位置合わせができ、調整が容易となる。従っ
て、超音波の受信感度が大きくとれ、誤動作の少ない流
量計となる。
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で
超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上
流と、下流とに対面させる構成なので、超音波振動子の
位置ずれが発生しても、指向性を制御することにより、
簡単に、位置合わせができ、調整が容易となる。従っ
て、超音波の受信感度が大きくとれ、誤動作の少ない流
量計となる。
【００３７】（５）複数個の振動部分からなり、それぞ
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で
超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上
流と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体の
流れの方向とを平行させてなる構成であるため、振動子
が流路の中央部に在っても、外部から、例えば、電気的
に指向性を制御できるため、振動子間の位置合わせが簡
単にでき、調整が容易となる。従って、超音波の受信感
度が大きくとれ、誤動作の少ない流量計となる。
れが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で
超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上
流と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体の
流れの方向とを平行させてなる構成であるため、振動子
が流路の中央部に在っても、外部から、例えば、電気的
に指向性を制御できるため、振動子間の位置合わせが簡
単にでき、調整が容易となる。従って、超音波の受信感
度が大きくとれ、誤動作の少ない流量計となる。
【００３８】（６）複数個の振動子部分からなり、それ
ぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差
で超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の
上流と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体
の流れの方向とを斜交させてなる構成であるから、送信
された超音波が、流体の流れによって流されても、指向
性を制御できるため、常に、最適な超音波受信感度とす
ることができ、誤動作の少ない流量計となる。
ぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差
で超音波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の
上流と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体
の流れの方向とを斜交させてなる構成であるから、送信
された超音波が、流体の流れによって流されても、指向
性を制御できるため、常に、最適な超音波受信感度とす
ることができ、誤動作の少ない流量計となる。
【００３９】（７）流れ方向に並んだ複数個の振動部分
からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波
長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振
動子を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波
の伝搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体
の流れの方向と斜交させてなる構成なので、送信された
超音波は、矩形流路の高さ方向に閉じこめられ、かつ、
流体の流れ方向には、指向性の制御により、超音波が収
束するため、超音波の受信感度が大きくなり、誤動作の
少ない流量計となる。
からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波
長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振
動子を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波
の伝搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体
の流れの方向と斜交させてなる構成なので、送信された
超音波は、矩形流路の高さ方向に閉じこめられ、かつ、
流体の流れ方向には、指向性の制御により、超音波が収
束するため、超音波の受信感度が大きくなり、誤動作の
少ない流量計となる。
【００４０】（８）流れ方向に並んだ複数個の振動部分
からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波
長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振
動子を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波
の伝搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体
の流れの方向と斜交させ、前記複数個の振動部分からな
る超音波振動子を、各振動部分を、二分の一波長以内の
位相差を順次変化させて駆動し、最大受信感度の得られ
た位相差で、複数個の振動部を駆動させて流体の流量を
計測してなる構成であるため、流体の流量にかかわら
ず、超音波の受信感度を常に、最適とすることができ、
誤動作の少ない流量計となる。
からなり、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波
長以内の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振
動子を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波
の伝搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体
の流れの方向と斜交させ、前記複数個の振動部分からな
る超音波振動子を、各振動部分を、二分の一波長以内の
位相差を順次変化させて駆動し、最大受信感度の得られ
た位相差で、複数個の振動部を駆動させて流体の流量を
計測してなる構成であるため、流体の流量にかかわら
ず、超音波の受信感度を常に、最適とすることができ、
誤動作の少ない流量計となる。
【図１】本発明の第１の実施例の超音波振動子の斜視図
【図２】本発明の第２の実施例の超音波振動子の斜視図
【図３】本発明の第３の実施例の超音波振動子の斜視図
【図４】本発明の超音波振動子を駆動する回路図
【図５】（ａ）本発明の第４の実施例の超音波振動子の
上面図 （ｂ）同振動子の正面図
上面図 （ｂ）同振動子の正面図
【図６】本発明の超音波振動子を駆動する別の回路図
【図７】本発明の第５の実施例の超音波流量計の断面図
【図８】本発明の第６の実施例の超音波流量計の断面図
【図９】本発明の第７の実施例の超音波流量計の断面図
【図１０】（ａ）本発明の第８の実施例の超音波流量計
の断面図 （ｂ）同流量計のＡーＡ’断面図
の断面図 （ｂ）同流量計のＡーＡ’断面図
【図１１】本発明の実施例の超音波流量計の駆動回路ブ
ロック図
ロック図
【図１２】従来の超音波流量計の断面図
５ 円柱状の超音波振動子 ６、７、８ 振動部分 ６ａ、７ａ、８ａ 電極 ６ｂ、７ｂ、８ｂ 電極 ９、１３、１７ 矩形状の超音波振動子 １４、１５、１６ 駆動電源
Claims (8)
- 【請求項１】複数個の振動部分からなり、それぞれが互
いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差の超音波
を送信してなる超音波振動子。 - 【請求項２】複数個の振動部分からなり、それぞれが互
いに独立に、かつ、二分の一波長以内の電気的な位相差
で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信してな
る超音波振動子。 - 【請求項３】複数個の振動部分からなり、それぞれが互
いに独立に、かつ、二分の一波長以内の物理的な位相差
で駆動され、それぞれ互いに独立に超音波を送信してな
る超音波振動子。 - 【請求項４】複数個の振動部分からなり、それぞれが互
いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で超音波
を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上流と、
下流とに対面させてなる超音波流量計。 - 【請求項５】複数個の振動部分からなり、それぞれが互
いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で超音波
を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上流と、
下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体の流れの
方向とを平行させてなる超音波流量計。 - 【請求項６】複数個の振動子部分からなり、それぞれが
互いに独立に、かつ、二分の一波長以内の位相差で超音
波を送受信できる一対の超音波振動子を、流路の上流
と、下流とに対面させ、超音波の伝搬方向と、流体の流
れの方向とを斜交させてなる超音波流量計。 - 【請求項７】流れ方向に並んだ複数個の振動部分からな
り、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内
の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振動子
を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波の伝
搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体の流
れの方向と斜交させてなる超音波流量計。 - 【請求項８】流れ方向に並んだ複数個の振動部分からな
り、それぞれが互いに独立に、かつ、二分の一波長以内
の位相差で超音波を送受信できる一対の超音波振動子
を、矩形流路の上流と、下流とに対面させ、超音波の伝
搬方向を矩形流路の長手方向に取るとともに、流体の流
れの方向と斜交させ、前記複数個の振動部分からなる超
音波振動子を、各振動部分を、二分の一波長以内の位相
差を順次変化させて駆動し、最大受信感度の得られた位
相差で、複数個の振動部を駆動させて流体の流量を計測
してなる超音波流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7177068A JPH0926342A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 超音波振動子及びこれを用いた超音波流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7177068A JPH0926342A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 超音波振動子及びこれを用いた超音波流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0926342A true JPH0926342A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=16024566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7177068A Pending JPH0926342A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | 超音波振動子及びこれを用いた超音波流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0926342A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 1995-07-13 JP JP7177068A patent/JPH0926342A/ja active Pending
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