JPH0926466A - 半導体試験装置のパターン発生回路 - Google Patents
半導体試験装置のパターン発生回路Info
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- JPH0926466A JPH0926466A JP7198135A JP19813595A JPH0926466A JP H0926466 A JPH0926466 A JP H0926466A JP 7198135 A JP7198135 A JP 7198135A JP 19813595 A JP19813595 A JP 19813595A JP H0926466 A JPH0926466 A JP H0926466A
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- signal
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/31813—Test pattern generators
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ハードウェアを変更することなく、各種のオ
プションPGを使用可能とするパターン発生器を実現す
る。 【構成】 オプションの回路として、CLK4に同期し
てINITCLK信号を発生し、各オプションPG及び
FIFO部31を初期化するオプションPGイニシャル
クロック制御部21を設け、クロック出力制御部26の
複数のクロック出力信号のうち1信号を入力とし、パタ
ーンデータ及びクロック信号を出力する複数のオプショ
ンPG27、28、29を設け、選択レジスタ24によ
って複数のオプションPGの出力信号のうち1つをマル
チプレクサ30によって選択してWDT(書き込みデー
タ)及びWCLK(書き込みクロック)として入力し、
RCLK制御部23の出力信号をRCLK(読み出しク
ロック)として入力し、オプションPGの出力信号とし
て論理回路13に出力するFIFO部31を設けて構成
している。
プションPGを使用可能とするパターン発生器を実現す
る。 【構成】 オプションの回路として、CLK4に同期し
てINITCLK信号を発生し、各オプションPG及び
FIFO部31を初期化するオプションPGイニシャル
クロック制御部21を設け、クロック出力制御部26の
複数のクロック出力信号のうち1信号を入力とし、パタ
ーンデータ及びクロック信号を出力する複数のオプショ
ンPG27、28、29を設け、選択レジスタ24によ
って複数のオプションPGの出力信号のうち1つをマル
チプレクサ30によって選択してWDT(書き込みデー
タ)及びWCLK(書き込みクロック)として入力し、
RCLK制御部23の出力信号をRCLK(読み出しク
ロック)として入力し、オプションPGの出力信号とし
て論理回路13に出力するFIFO部31を設けて構成
している。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体試験装置のパタ
ーン発生器に各種のオプションパターン発生器を追加す
るとき、ハードウェアの変更を必要としないで追加でき
るパターン発生回路に関するものである。
ーン発生器に各種のオプションパターン発生器を追加す
るとき、ハードウェアの変更を必要としないで追加でき
るパターン発生回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4に従来のパターン発生回路をオプシ
ョンパターン発生器を付加した場合として示す。この回
路は、CLK1、CLK2及びCLK3を発生するクロ
ック発生器50と、CLK1で動作するパイプライン段
数n1のメインPG(パターン発生器)10と、メイン
PG10の出力をCLK2で取り込むレジスタ11と、
レジスタ11の出力信号を遅延させる遅延回路A12
と、遅延回路A12の出力信号とオプションPGの出力
信号を論理和する論理回路13と、論理回路13の出力
をCLK3で取り込みPAT(パターン)信号を発生す
るレジスタ14とで主要部が構成され、オプションとし
て、CLK1で動作するパイプライン段数n2のオプシ
ョンPG−A51と、(n1−n2)個のパイプライン
段数を追加するためのシフトレジスタ52と、シフトレ
ジスタ52の出力をCLK2で取り込むレジスタ53
と、レジスタ53の出力信号を遅延させる遅延回路E5
4と、パイプラインを持たずCLK2で遅延動作する構
造のオプションPG−B55と、遅延回路E54の出力
信号とオプションPG−B55の出力信号とを選択レジ
スタ57の信号によって選択し論理回路13にオプショ
ンPGの出力信号として出力するマルチプレクサ56と
で構成している。
ョンパターン発生器を付加した場合として示す。この回
路は、CLK1、CLK2及びCLK3を発生するクロ
ック発生器50と、CLK1で動作するパイプライン段
数n1のメインPG(パターン発生器)10と、メイン
PG10の出力をCLK2で取り込むレジスタ11と、
レジスタ11の出力信号を遅延させる遅延回路A12
と、遅延回路A12の出力信号とオプションPGの出力
信号を論理和する論理回路13と、論理回路13の出力
をCLK3で取り込みPAT(パターン)信号を発生す
るレジスタ14とで主要部が構成され、オプションとし
て、CLK1で動作するパイプライン段数n2のオプシ
ョンPG−A51と、(n1−n2)個のパイプライン
段数を追加するためのシフトレジスタ52と、シフトレ
ジスタ52の出力をCLK2で取り込むレジスタ53
と、レジスタ53の出力信号を遅延させる遅延回路E5
4と、パイプラインを持たずCLK2で遅延動作する構
造のオプションPG−B55と、遅延回路E54の出力
信号とオプションPG−B55の出力信号とを選択レジ
スタ57の信号によって選択し論理回路13にオプショ
ンPGの出力信号として出力するマルチプレクサ56と
で構成している。
【0003】この場合、パイプライン段数n1のメイン
PG10は、(n1+1)個のクロックが入力されなけ
れば、最初のパターンを出力しない。そこに、n1より
少ないパイプライン段数n2のオプションPG−Aを接
続する場合、メインPGと同じクロックCLK1で動作
させるとすれば、(n1−n2)個のパイプライン段数
を追加する必要がある。また、パイプラインを持たず遅
延動作する構造のオプションPG−Bを接続する場合、
その遅延量dだけ、メインPG及びオプションPG−A
を遅延させる必要がある。
PG10は、(n1+1)個のクロックが入力されなけ
れば、最初のパターンを出力しない。そこに、n1より
少ないパイプライン段数n2のオプションPG−Aを接
続する場合、メインPGと同じクロックCLK1で動作
させるとすれば、(n1−n2)個のパイプライン段数
を追加する必要がある。また、パイプラインを持たず遅
延動作する構造のオプションPG−Bを接続する場合、
その遅延量dだけ、メインPG及びオプションPG−A
を遅延させる必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このように、ハードウ
ェア固有のパイプライン段数や遅延量で回路全体を構成
してしまうと、1)オプションPGの設計の自由度が小
さく、制限された回路になってしまう、2)新しいオプ
ションPGを接続するのにPG全体を再設計しなければ
ならない、という問題がある。本発明は、ハードウェア
を変更することなく、各種のオプションPGを使用可能
とするパターン発生器を実現することを目的としてい
る。
ェア固有のパイプライン段数や遅延量で回路全体を構成
してしまうと、1)オプションPGの設計の自由度が小
さく、制限された回路になってしまう、2)新しいオプ
ションPGを接続するのにPG全体を再設計しなければ
ならない、という問題がある。本発明は、ハードウェア
を変更することなく、各種のオプションPGを使用可能
とするパターン発生器を実現することを目的としてい
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のパターン発生回路においては次のように構
成している。つまり、CLK1、CLK2及びCLK3
を発生するクロック発生器20と、CLK1で動作する
パイプライン段数n1のメインPG10と、メインPG
10の出力をCLK2で取り込むレジスタ11と、レジ
スタ11の出力信号を遅延させる遅延回路A12と、遅
延回路A12の出力信号とオプションPGの出力信号を
論理和する論理回路13と、論理回路13の出力をCL
K3で取り込みPAT信号を発生するレジスタ14とで
主要部が構成されるパターン発生器において、オプショ
ンの回路として、クロック発生器20からのCLK4に
同期してINITCLK(イニシャルクロック)信号を
発生し、各オプションPG及びFIFO(First In Fir
st Out)部31を初期化するオプションPGイニシャル
クロック制御部21を設け、メインPG10から発生す
るイネーブル信号を遅延回路B33で遅延して入力し、
CLK2に同期したクロック出力信号を発生するオプシ
ョンPGクロック制御部22を設け、メインPG10か
ら発生するイネーブル信号を遅延回路B33及び遅延回
路C34で遅延して入力し、CLK3と同期してクロッ
ク発生器20から出力するCLK5に同期したクロック
出力信号を発生するRCLK(読み出しクロック)制御
部23を設け、オプションPGクロック制御部22のク
ロック出力信号とオプションPGイニシャルクロック制
御部21のINITCLK信号とを論理回路25で論理
和して入力し、選択レジスタ24によって複数のクロッ
ク出力のうちの1出力を選択して出力するクロック出力
制御部26を設け、クロック出力制御部26の複数のク
ロック出力信号のうち1信号を入力とし、パターンデー
タ及びクロック信号を出力する複数のオプションPG2
7、28、29を設け、選択レジスタ24によって複数
のオプションPGの出力信号のうち1つをマルチプレク
サ30によって選択してWDT(書き込みデータ)及び
WCLK(書き込みクロック)として入力し、オプショ
ンPGイニシャルクロック制御部21の出力信号INI
TCLKを遅延回路D35で遅延させた信号と、RCL
K制御部23の出力信号とを論理回路32で論理和し、
その出力をRCLK(読み出しクロック)として入力
し、オプションPGの出力信号として論理回路13に出
力するFIFO部31を設けている。
に、本発明のパターン発生回路においては次のように構
成している。つまり、CLK1、CLK2及びCLK3
を発生するクロック発生器20と、CLK1で動作する
パイプライン段数n1のメインPG10と、メインPG
10の出力をCLK2で取り込むレジスタ11と、レジ
スタ11の出力信号を遅延させる遅延回路A12と、遅
延回路A12の出力信号とオプションPGの出力信号を
論理和する論理回路13と、論理回路13の出力をCL
K3で取り込みPAT信号を発生するレジスタ14とで
主要部が構成されるパターン発生器において、オプショ
ンの回路として、クロック発生器20からのCLK4に
同期してINITCLK(イニシャルクロック)信号を
発生し、各オプションPG及びFIFO(First In Fir
st Out)部31を初期化するオプションPGイニシャル
クロック制御部21を設け、メインPG10から発生す
るイネーブル信号を遅延回路B33で遅延して入力し、
CLK2に同期したクロック出力信号を発生するオプシ
ョンPGクロック制御部22を設け、メインPG10か
ら発生するイネーブル信号を遅延回路B33及び遅延回
路C34で遅延して入力し、CLK3と同期してクロッ
ク発生器20から出力するCLK5に同期したクロック
出力信号を発生するRCLK(読み出しクロック)制御
部23を設け、オプションPGクロック制御部22のク
ロック出力信号とオプションPGイニシャルクロック制
御部21のINITCLK信号とを論理回路25で論理
和して入力し、選択レジスタ24によって複数のクロッ
ク出力のうちの1出力を選択して出力するクロック出力
制御部26を設け、クロック出力制御部26の複数のク
ロック出力信号のうち1信号を入力とし、パターンデー
タ及びクロック信号を出力する複数のオプションPG2
7、28、29を設け、選択レジスタ24によって複数
のオプションPGの出力信号のうち1つをマルチプレク
サ30によって選択してWDT(書き込みデータ)及び
WCLK(書き込みクロック)として入力し、オプショ
ンPGイニシャルクロック制御部21の出力信号INI
TCLKを遅延回路D35で遅延させた信号と、RCL
K制御部23の出力信号とを論理回路32で論理和し、
その出力をRCLK(読み出しクロック)として入力
し、オプションPGの出力信号として論理回路13に出
力するFIFO部31を設けている。
【0006】また、オプションPGイニシャルクロック
制御部21は、オプションPGを初期化するためにパイ
プライン段数を設定できるイニシャルクロックレジスタ
41を設け、オプションPGの動作可能周波数にINI
TCLK(イニシャルクロック)の周波数を合わせるた
め、クロック(CLK4)の分周比を設定する分周比レ
ジスタ42を設け、CLK4を入力とし、分周比レジス
タ42の設定に従って分周クロックを発生するクロック
分周回路43を設け、イニシャルクロックレジスタ41
の内容をLOADCMD信号で取り込み、クロック分周
回路43の出力である分周クロック信号でカウントする
カウンタ44を設け、カウンタ44の出力が0になった
ことを検出し、クロック分周回路43の出力である分周
クロック信号をINITCLK信号として出力制御する
カウンタ値≠0検出回路45を設けている。
制御部21は、オプションPGを初期化するためにパイ
プライン段数を設定できるイニシャルクロックレジスタ
41を設け、オプションPGの動作可能周波数にINI
TCLK(イニシャルクロック)の周波数を合わせるた
め、クロック(CLK4)の分周比を設定する分周比レ
ジスタ42を設け、CLK4を入力とし、分周比レジス
タ42の設定に従って分周クロックを発生するクロック
分周回路43を設け、イニシャルクロックレジスタ41
の内容をLOADCMD信号で取り込み、クロック分周
回路43の出力である分周クロック信号でカウントする
カウンタ44を設け、カウンタ44の出力が0になった
ことを検出し、クロック分周回路43の出力である分周
クロック信号をINITCLK信号として出力制御する
カウンタ値≠0検出回路45を設けている。
【0007】
【作用】上記のように構成されたパターン発生器におい
ては、オプションPGイニシャルクロック制御部21が
発生するINITCLK信号で、任意のパイプライン段
数をもったオプションPGとFIFO部31を初期化で
きる。また、パイプラインを持たない遅延時間dの範囲
内で遅延動作する構造のオプションPGについては、F
IFO部31で遅延時間を吸収できる。また、オプショ
ンPGのパターン発生数は、メインPG10のパターン
発生数p1の範囲内で、メインPG10から発生するイ
ネーブル信号で制御し発生させることができる。
ては、オプションPGイニシャルクロック制御部21が
発生するINITCLK信号で、任意のパイプライン段
数をもったオプションPGとFIFO部31を初期化で
きる。また、パイプラインを持たない遅延時間dの範囲
内で遅延動作する構造のオプションPGについては、F
IFO部31で遅延時間を吸収できる。また、オプショ
ンPGのパターン発生数は、メインPG10のパターン
発生数p1の範囲内で、メインPG10から発生するイ
ネーブル信号で制御し発生させることができる。
【0008】
【実施例】図1に本発明のパターン発生回路のブロック
図を示す。この回路は、CLK1、CLK2及びCLK
3を発生するクロック発生器20と、CLK1で動作す
るパイプライン段数n1のメインPG10と、メインP
G10の出力をCLK2で取り込むレジスタ11と、レ
ジスタ11の出力信号を遅延させる遅延回路A12と、
遅延回路A12の出力信号とオプションPGの出力信号
を論理和する論理回路13と、論理回路13の出力をC
LK3で取り込みPAT信号を発生するレジスタ14と
で主要部が構成されるパターン発生器において、オプシ
ョンの回路として、クロック発生器20からのCLK4
に同期してINITCLK(イニシャルクロック)信号
を発生し、各オプションPG及びFIFO(First In F
irst Out)部31を初期化するオプションPGイニシャ
ルクロック制御部21を設け、メインPG10から発生
するイネーブル信号を遅延回路B33で遅延して入力
し、CLK2に同期したクロック出力信号を発生するオ
プションPGクロック制御部22を設け、メインPG1
0から発生するイネーブル信号を遅延回路B33及び遅
延回路C34で遅延して入力し、CLK3と同期してク
ロック発生器20から出力するCLK5に同期したクロ
ック出力信号を発生するRCLK(読み出しクロック)
制御部23を設け、オプションPGクロック制御部22
のクロック出力信号とオプションPGイニシャルクロッ
ク制御部21のINITCLK信号とを論理回路25で
論理和して入力し、選択レジスタ24によって複数のク
ロック出力のうちの1出力を選択して出力するクロック
出力制御部26を設け、クロック出力制御部26の複数
のクロック出力信号のうち1信号を入力とし、パターン
データ及びクロック信号を出力する複数のオプションP
G27、28、29を設け、選択レジスタ24によって
複数のオプションPGの出力信号のうち1つをマルチプ
レクサ30によって選択してWDT(書き込みデータ)
及びWCLK(書き込みクロック)として入力し、オプ
ションPGイニシャルクロック制御部21の出力信号I
NITCLKを遅延回路D35で遅延させた信号と、R
CLK制御部23の出力信号とを論理回路32で論理和
し、その出力をRCLK(読み出しクロック)として入
力し、オプションPGの出力信号として論理回路13に
出力するFIFO部31を設ける。
図を示す。この回路は、CLK1、CLK2及びCLK
3を発生するクロック発生器20と、CLK1で動作す
るパイプライン段数n1のメインPG10と、メインP
G10の出力をCLK2で取り込むレジスタ11と、レ
ジスタ11の出力信号を遅延させる遅延回路A12と、
遅延回路A12の出力信号とオプションPGの出力信号
を論理和する論理回路13と、論理回路13の出力をC
LK3で取り込みPAT信号を発生するレジスタ14と
で主要部が構成されるパターン発生器において、オプシ
ョンの回路として、クロック発生器20からのCLK4
に同期してINITCLK(イニシャルクロック)信号
を発生し、各オプションPG及びFIFO(First In F
irst Out)部31を初期化するオプションPGイニシャ
ルクロック制御部21を設け、メインPG10から発生
するイネーブル信号を遅延回路B33で遅延して入力
し、CLK2に同期したクロック出力信号を発生するオ
プションPGクロック制御部22を設け、メインPG1
0から発生するイネーブル信号を遅延回路B33及び遅
延回路C34で遅延して入力し、CLK3と同期してク
ロック発生器20から出力するCLK5に同期したクロ
ック出力信号を発生するRCLK(読み出しクロック)
制御部23を設け、オプションPGクロック制御部22
のクロック出力信号とオプションPGイニシャルクロッ
ク制御部21のINITCLK信号とを論理回路25で
論理和して入力し、選択レジスタ24によって複数のク
ロック出力のうちの1出力を選択して出力するクロック
出力制御部26を設け、クロック出力制御部26の複数
のクロック出力信号のうち1信号を入力とし、パターン
データ及びクロック信号を出力する複数のオプションP
G27、28、29を設け、選択レジスタ24によって
複数のオプションPGの出力信号のうち1つをマルチプ
レクサ30によって選択してWDT(書き込みデータ)
及びWCLK(書き込みクロック)として入力し、オプ
ションPGイニシャルクロック制御部21の出力信号I
NITCLKを遅延回路D35で遅延させた信号と、R
CLK制御部23の出力信号とを論理回路32で論理和
し、その出力をRCLK(読み出しクロック)として入
力し、オプションPGの出力信号として論理回路13に
出力するFIFO部31を設ける。
【0009】また、図2に示すように、オプションPG
イニシャルクロック制御部21は、オプションPGを初
期化するためにパイプライン段数を設定できるイニシャ
ルクロックレジスタ41を設け、オプションPGの動作
可能周波数にINITCLK(イニシャルクロック)の
周波数を合わせるため、クロック(CLK4)の分周比
を設定する分周比レジスタ42を設け、CLK4を入力
とし、分周比レジスタ42の設定に従って分周クロック
を発生するクロック分周回路43を設け、イニシャルク
ロックレジスタ41の内容をLOADCMD信号で取り
込み、クロック分周回路43の出力である分周クロック
信号でカウントするカウンタ44を設け、カウンタ44
の出力が0になったことを検出し、クロック分周回路4
3の出力である分周クロック信号をINITCLK信号
として出力制御するカウンタ値≠0検出回路45を設け
ている。
イニシャルクロック制御部21は、オプションPGを初
期化するためにパイプライン段数を設定できるイニシャ
ルクロックレジスタ41を設け、オプションPGの動作
可能周波数にINITCLK(イニシャルクロック)の
周波数を合わせるため、クロック(CLK4)の分周比
を設定する分周比レジスタ42を設け、CLK4を入力
とし、分周比レジスタ42の設定に従って分周クロック
を発生するクロック分周回路43を設け、イニシャルク
ロックレジスタ41の内容をLOADCMD信号で取り
込み、クロック分周回路43の出力である分周クロック
信号でカウントするカウンタ44を設け、カウンタ44
の出力が0になったことを検出し、クロック分周回路4
3の出力である分周クロック信号をINITCLK信号
として出力制御するカウンタ値≠0検出回路45を設け
ている。
【0010】まず、メインPG10によるパターン発生
は、次のように行われる。つまり、図3のタイミングチ
ャートのCLK1、CLK2及びCLK3に示すよう
に、n1段のパイプラインを持つメインPG10を初期
化するためn1個のCLK1によりパイプラインを詰
め、続くCLK1で出力するメインPG10のパターン
データをCLK2でレジスタ11に取り込む。レジスタ
11の出力は、遅延回路A12及び論理回路13を経て
CLK2から遅延量dだけ遅延したCLK3でレジスタ
14に取り込み、結局、パターン発生器の出力としてp
1個のPAT(パターン)信号を発生する。
は、次のように行われる。つまり、図3のタイミングチ
ャートのCLK1、CLK2及びCLK3に示すよう
に、n1段のパイプラインを持つメインPG10を初期
化するためn1個のCLK1によりパイプラインを詰
め、続くCLK1で出力するメインPG10のパターン
データをCLK2でレジスタ11に取り込む。レジスタ
11の出力は、遅延回路A12及び論理回路13を経て
CLK2から遅延量dだけ遅延したCLK3でレジスタ
14に取り込み、結局、パターン発生器の出力としてp
1個のPAT(パターン)信号を発生する。
【0011】次に、オプションPGによるパターン発生
は、例えば、パイプライン段数がn2のオプションPG
−A27を動作させる場合、次のように行われる。つま
り、まず最初に、オプションPGイニシャルクロック制
御部21内のイニシャルクロックレジスタ41にパイプ
ライン段数n2を、分周比レジスタ42にオプションP
G−A27が動作可能な分周クロックが得られるような
値をそれぞれWCMD1及びWCMD2で書き込む。そ
して、イニシャルクロックレジスタ41の内容n2をL
OADCMD信号でカウンタ44に取り込んだ後、CL
K4を発生し、クロック分周回路43で分周された分周
クロックでカウンタ44の内容をカウントする。分周ク
ロックがn2個発生するまでカウンタ値≠0検出回路4
5が“1”を出力し、結局、n2個のINITCLK信
号を発生する。
は、例えば、パイプライン段数がn2のオプションPG
−A27を動作させる場合、次のように行われる。つま
り、まず最初に、オプションPGイニシャルクロック制
御部21内のイニシャルクロックレジスタ41にパイプ
ライン段数n2を、分周比レジスタ42にオプションP
G−A27が動作可能な分周クロックが得られるような
値をそれぞれWCMD1及びWCMD2で書き込む。そ
して、イニシャルクロックレジスタ41の内容n2をL
OADCMD信号でカウンタ44に取り込んだ後、CL
K4を発生し、クロック分周回路43で分周された分周
クロックでカウンタ44の内容をカウントする。分周ク
ロックがn2個発生するまでカウンタ値≠0検出回路4
5が“1”を出力し、結局、n2個のINITCLK信
号を発生する。
【0012】このとき、選択レジスタ24がクロック出
力制御部26のCLKA出力を選択し、n2個のCLK
Aが発生する。また、選択レジスタ24がマルチプレク
サ30のWCLKA及びDATAA出力を選択し、n2
個のWCLK及びWDTをFIFO部31に入力する。
また、INITCLKを遅延回路D35で遅延させて、
n2個のRCLKをFIFO部31に入力する。以上の
動作により、n2段のパイプラインを持つオプションP
G−A27を初期化するn2個のCLKAによりパイプ
ラインを詰め、続くCLKAで出力するオプションPG
−A27の出力DATAAが目的とするパターンデータ
の最初のデータとなる。つまり、オプションPG−A2
7と、FIFO部31がイニシャライズ(初期化)され
る。なお、オプションPGイニシャルクロック制御部2
1内の、イニシャルクロックレジスタ41及び分周比レ
ジスタ42は、オプションPGの選択が変わるごとに、
それに合った値を設定する。
力制御部26のCLKA出力を選択し、n2個のCLK
Aが発生する。また、選択レジスタ24がマルチプレク
サ30のWCLKA及びDATAA出力を選択し、n2
個のWCLK及びWDTをFIFO部31に入力する。
また、INITCLKを遅延回路D35で遅延させて、
n2個のRCLKをFIFO部31に入力する。以上の
動作により、n2段のパイプラインを持つオプションP
G−A27を初期化するn2個のCLKAによりパイプ
ラインを詰め、続くCLKAで出力するオプションPG
−A27の出力DATAAが目的とするパターンデータ
の最初のデータとなる。つまり、オプションPG−A2
7と、FIFO部31がイニシャライズ(初期化)され
る。なお、オプションPGイニシャルクロック制御部2
1内の、イニシャルクロックレジスタ41及び分周比レ
ジスタ42は、オプションPGの選択が変わるごとに、
それに合った値を設定する。
【0013】オプションPG−A27からのパターンデ
ータ出力は、メインPG10から出力されるイネーブル
信号によって制御される。イネーブル信号は、遅延回路
B33でCLK2の位相まで遅延させ、オプションPG
クロック制御部22に入力する。そして、イネーブル信
号BがオプションPGクロック制御部22に入力してい
る間、CLK2に同期したクロック信号が、オプション
PGのパターン発生数p2の数だけ出力される。クロッ
ク出力制御部26では、選択レジスタ24により選択さ
れたオプションPGのみが動作するように、選択された
クロック信号のみが出力される。この例においては、オ
プションPG−Aが選択されているためCLKAのみが
p2個出力される。CLKAは、オプションPG−A2
7を動作させ、WCLKA信号と共に、DATAA(パ
ターンデータ)を出力する。そして、パターンデータは
FIFO部31に書き込まれる。
ータ出力は、メインPG10から出力されるイネーブル
信号によって制御される。イネーブル信号は、遅延回路
B33でCLK2の位相まで遅延させ、オプションPG
クロック制御部22に入力する。そして、イネーブル信
号BがオプションPGクロック制御部22に入力してい
る間、CLK2に同期したクロック信号が、オプション
PGのパターン発生数p2の数だけ出力される。クロッ
ク出力制御部26では、選択レジスタ24により選択さ
れたオプションPGのみが動作するように、選択された
クロック信号のみが出力される。この例においては、オ
プションPG−Aが選択されているためCLKAのみが
p2個出力される。CLKAは、オプションPG−A2
7を動作させ、WCLKA信号と共に、DATAA(パ
ターンデータ)を出力する。そして、パターンデータは
FIFO部31に書き込まれる。
【0014】イネーブル信号は、遅延回路B33でCL
K2の位相まで遅延させ、更に、CLK3と同期して出
力されるCLK5の位相まで遅延回路C34で遅延さ
せ、RCLK制御部23に入力する。そして、イネーブ
ル信号CがRCLK制御部23に入力している間、CL
K5に同期したクロック信号が、オプションPGのパタ
ーン発生数p2の数だけ出力される。このクロック信号
は、FIFO部31に入力し、WCLK信号で書き込ま
れているパターンデータを出力する。パターンデータ
は、論理回路13に入力し論理和されてCLK3のタイ
ミングでレジスタ14に取り込まれ、PAT(パター
ン)信号を発生する。
K2の位相まで遅延させ、更に、CLK3と同期して出
力されるCLK5の位相まで遅延回路C34で遅延さ
せ、RCLK制御部23に入力する。そして、イネーブ
ル信号CがRCLK制御部23に入力している間、CL
K5に同期したクロック信号が、オプションPGのパタ
ーン発生数p2の数だけ出力される。このクロック信号
は、FIFO部31に入力し、WCLK信号で書き込ま
れているパターンデータを出力する。パターンデータ
は、論理回路13に入力し論理和されてCLK3のタイ
ミングでレジスタ14に取り込まれ、PAT(パター
ン)信号を発生する。
【0015】結局、オプションPGイニシャルクロック
制御部21が発生するINITCLK信号で、任意のパ
イプライン段数をもったオプションPGとFIFO部3
1を初期化できる。また、パイプラインを持たない遅延
時間dの範囲内で遅延動作する構造のオプションPGに
ついては、FIFO部31で遅延時間を吸収できる。ま
た、オプションPGのパターン発生数は、メインPG1
0のパターン発生数p1の範囲内で、メインPG10か
ら発生するイネーブル信号で制御し発生させることがで
きる。
制御部21が発生するINITCLK信号で、任意のパ
イプライン段数をもったオプションPGとFIFO部3
1を初期化できる。また、パイプラインを持たない遅延
時間dの範囲内で遅延動作する構造のオプションPGに
ついては、FIFO部31で遅延時間を吸収できる。ま
た、オプションPGのパターン発生数は、メインPG1
0のパターン発生数p1の範囲内で、メインPG10か
ら発生するイネーブル信号で制御し発生させることがで
きる。
【0016】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。つ
まり、オプションPGイニシャルクロック制御部21が
発生するINITCLK信号で、任意のパイプライン段
数をもったオプションPGとFIFO部31を初期化で
きる。また、パイプラインを持たない遅延時間dの範囲
内で遅延動作する構造のオプションPGについては、F
IFO部31で遅延時間を吸収できる。また、オプショ
ンPGのパターン発生数は、メインPG10のパターン
発生数p1の範囲内で、メインPG10から発生するイ
ネーブル信号で制御し発生させることができる。このた
め、オプションPGの設計の自由度が上がり、パターン
発生数や遅延量がメインPGの設定値を越えない限り、
オプションPGの接続のための設計のやり直しが無くな
る効果がある。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。つ
まり、オプションPGイニシャルクロック制御部21が
発生するINITCLK信号で、任意のパイプライン段
数をもったオプションPGとFIFO部31を初期化で
きる。また、パイプラインを持たない遅延時間dの範囲
内で遅延動作する構造のオプションPGについては、F
IFO部31で遅延時間を吸収できる。また、オプショ
ンPGのパターン発生数は、メインPG10のパターン
発生数p1の範囲内で、メインPG10から発生するイ
ネーブル信号で制御し発生させることができる。このた
め、オプションPGの設計の自由度が上がり、パターン
発生数や遅延量がメインPGの設定値を越えない限り、
オプションPGの接続のための設計のやり直しが無くな
る効果がある。
【図1】本発明のパターン発生器のブロック図である。
【図2】本発明のパターン発生器のオプションPGイニ
シャルクロック制御部のブロック図である。
シャルクロック制御部のブロック図である。
【図3】本発明のタイミング図の一例である。
【図4】従来のパターン発生器のブロック図である。
10 メインPG 11 レジスタ 12 遅延回路A 13 論理回路 14 レジスタ 20 クロック発生器 21 オプションPGイニシャルクロック制御部 22 オプションPGクロック制御部 23 RCLK制御部 24 選択レジスタ 25 論理回路 26 クロック出力制御部 27 オプションPG−A 28 オプションPG−B 29 オプションPG−C 30 マルチプレクサ 31 FIFO部 32 論理回路 33 遅延回路B 34 遅延回路C 35 遅延回路D 41 イニシャルクロックレジスタ 42 分周比レジスタ 43 クロック分周回路 44 カウンタ 45 カウンタ値≠0検出回路 50 クロック発生器 51 オプションPG−A 52 シフトレジスタ 53 レジスタ 54 遅延回路E 55 オプションPG−B 56 マルチプレクサ 57 選択レジスタ
Claims (2)
- 【請求項1】 CLK1、CLK2及びCLK3を発生
するクロック発生器(20)と、CLK1で動作するパ
イプライン段数n1のメインPG(10)と、メインP
G(10)の出力をCLK2で取り込むレジスタ(1
1)と、レジスタ(11)の出力信号を遅延させる遅延
回路A(12)と、遅延回路A(12)の出力信号とオ
プションPGの出力信号を論理和する論理回路(13)
と、論理回路(13)の出力をCLK3で取り込みPA
T信号を発生するレジスタ(14)とで主要部が構成さ
れるパターン発生器において、 オプションの回路として、クロック発生器(20)から
のCLK4に同期してINITCLK(イニシャルクロ
ック)信号を発生し、各オプションPG及びFIFO
(First In First Out)部(31)を初期化するオプシ
ョンPGイニシャルクロック制御部(21)を設け、 メインPG(10)から発生するイネーブル信号を遅延
回路B(33)で遅延して入力し、CLK2に同期した
クロック出力信号を発生するオプションPGクロック制
御部(22)を設け、 メインPG(10)から発生するイネーブル信号を遅延
回路B(33)及び遅延回路C(34)で遅延して入力
し、CLK3と同期してクロック発生器(20)から出
力するCLK5に同期したクロック出力信号を発生する
RCLK(読み出しクロック)制御部(23)を設け、 オプションPGクロック制御部(22)のクロック出力
信号とオプションPGイニシャルクロック制御部(2
1)のINITCLK信号とを論理回路(25)で論理
和して入力し、選択レジスタ(24)によって複数のク
ロック出力のうちの1出力を選択して出力するクロック
出力制御部(26)を設け、 クロック出力制御部(26)の複数のクロック出力信号
のうち1信号を入力とし、パターンデータ及びクロック
信号を出力する複数のオプションPG(27、28、2
9)を設け、 選択レジスタ(24)によって複数のオプションPGの
出力信号のうち1つをマルチプレクサ(30)によって
選択してWDT(書き込みデータ)及びWCLK(書き
込みクロック)として入力し、オプションPGイニシャ
ルクロック制御部(21)の出力信号INITCLKを
遅延回路D(35)で遅延させた信号と、RCLK制御
部(23)の出力信号とを論理回路(32)で論理和
し、その出力をRCLK(読み出しクロック)として入
力し、オプションPGの出力信号として論理回路(1
3)に出力するFIFO部(31)を設けた、 ことを特徴とする半導体試験装置のパターン発生回路。 - 【請求項2】 オプションPGイニシャルクロック制御
部(21)は、オプションPGを初期化するためにパイ
プライン段数を設定できるイニシャルクロックレジスタ
(41)を設け、 オプションPGの動作可能周波数にINITCLK(イ
ニシャルクロック)の周波数を合わせるため、クロック
(CLK4)の分周比を設定する分周比レジスタ(4
2)を設け、 CLK4を入力とし、分周比レジスタ(42)の設定に
従って分周クロックを発生するクロック分周回路(4
3)を設け、 イニシャルクロックレジスタ(41)の内容をLOAD
CMD信号で取り込み、クロック分周回路(43)の出
力である分周クロック信号でカウントするカウンタ(4
4)を設け、 カウンタ(44)の出力が0になったことを検出し、ク
ロック分周回路(43)の出力である分周クロック信号
をINITCLK信号として出力制御するカウンタ値≠
0検出回路(45)を設けた、 ことを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置のパタ
ーン発生回路。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7198135A JPH0926466A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 半導体試験装置のパターン発生回路 |
| US08/677,016 US5751738A (en) | 1995-07-11 | 1996-07-08 | Pattern generator cicuit for semiconductor test systerm |
| DE19627814A DE19627814A1 (de) | 1995-07-11 | 1996-07-10 | Mustergeneratorschaltung für Halbleiter-Prüfsystem |
| US08/986,469 US5852619A (en) | 1995-07-11 | 1997-12-08 | Pattern generator circuit for semiconductor test system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7198135A JPH0926466A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 半導体試験装置のパターン発生回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0926466A true JPH0926466A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=16386038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7198135A Withdrawn JPH0926466A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 半導体試験装置のパターン発生回路 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5751738A (ja) |
| JP (1) | JPH0926466A (ja) |
| DE (1) | DE19627814A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6457148B1 (en) | 1998-02-09 | 2002-09-24 | Advantest Corporation | Apparatus for testing semiconductor device |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6032275A (en) * | 1996-01-12 | 2000-02-29 | Advantest Corp. | Test pattern generator |
| WO1997025719A1 (fr) * | 1996-01-12 | 1997-07-17 | Advantest Corporation | Generateur de motif de controle |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5459846A (en) * | 1988-12-02 | 1995-10-17 | Hyatt; Gilbert P. | Computer architecture system having an imporved memory |
| WO1994003901A1 (en) * | 1992-08-10 | 1994-02-17 | Monolithic System Technology, Inc. | Fault-tolerant, high-speed bus system and bus interface for wafer-scale integration |
-
1995
- 1995-07-11 JP JP7198135A patent/JPH0926466A/ja not_active Withdrawn
-
1996
- 1996-07-08 US US08/677,016 patent/US5751738A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-10 DE DE19627814A patent/DE19627814A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-12-08 US US08/986,469 patent/US5852619A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6457148B1 (en) | 1998-02-09 | 2002-09-24 | Advantest Corporation | Apparatus for testing semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5751738A (en) | 1998-05-12 |
| DE19627814A1 (de) | 1997-01-16 |
| US5852619A (en) | 1998-12-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021001 |