JPH09269351A - Circuit board continuity inspection device - Google Patents
Circuit board continuity inspection deviceInfo
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- JPH09269351A JPH09269351A JP8077991A JP7799196A JPH09269351A JP H09269351 A JPH09269351 A JP H09269351A JP 8077991 A JP8077991 A JP 8077991A JP 7799196 A JP7799196 A JP 7799196A JP H09269351 A JPH09269351 A JP H09269351A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、狭チップの回路基板の場合にも正
確かつ効率的に導通検査を行うことができる回路基板の
導通検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 一方の主面1aに電子部品と接続される
第1の端子部2が複数形成されるとともに、他方の主面
1bに第1の端子部2の各々に対応した第2の端子部3
が形成された回路基板1を検査対象とする。そして、上
記回路基板1の一方の主面1aと対向配置され、上記第
1の端子部2に対して一括して接離される導電性の弾性
部材18を有する第1の電極部17と、上記回路基板1
の他方の主面1bと対向配置され、上記第2の端子部3
の個々に対応した端子ピン13を有する第2の電極部1
2と、これら第1の電極部17と第2の電極部18間の
導通状態を検出する導通検査手段21とを備えた。
(57) Abstract: An object of the present invention is to provide a circuit board continuity inspection device capable of accurately and efficiently conducting a continuity inspection even in the case of a circuit board having a narrow chip. SOLUTION: A plurality of first terminal portions 2 connected to an electronic component are formed on one main surface 1a, and second terminals corresponding to each of the first terminal portions 2 are formed on the other main surface 1b. Part 3
The circuit board 1 on which is formed is an inspection target. Then, a first electrode portion 17 having a conductive elastic member 18 that is disposed so as to face one main surface 1a of the circuit board 1 and that is brought into contact with and separated from the first terminal portion 2 collectively, Circuit board 1
Of the second terminal portion 3 which is arranged to face the other main surface 1b of the
Second electrode part 1 having terminal pins 13 corresponding to each of the
2 and a continuity inspection means 21 for detecting a continuity state between the first electrode portion 17 and the second electrode portion 18.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、一方の主面に電子
部品と接続される第1の端子部が複数形成され、他方の
主面に第1の端子部の各々に対応した第2の端子部が形
成された回路基板の導通状態を検出する回路基板の検査
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention has a plurality of first terminal portions formed on one main surface to be connected to an electronic component, and a second main surface corresponding to each of the first terminal portions. The present invention relates to a circuit board inspection device that detects a conduction state of a circuit board on which a terminal portion is formed.
【0002】[0002]
【従来の技術】各種プリント配線板においては、表面実
装技術の急速な発展により、高密度実装が進められてい
る。そこで、ICパッケージの小型化等が進められてい
るものの、現在以上の高密度実装化は難しい。これに対
して、近年においては、ICチップをICパッケージか
ら出して直接プリント配線板に実装する、いわゆるベア
・チップ実装が検討されている。2. Description of the Related Art In various printed wiring boards, high-density mounting has been promoted due to rapid development of surface mounting technology. Thus, although the miniaturization of IC packages and the like are being promoted, it is difficult to achieve higher-density mounting than at present. On the other hand, in recent years, so-called bare chip mounting, in which an IC chip is taken out of an IC package and directly mounted on a printed wiring board, has been studied.
【0003】このベア・チップ実装を行う方法として
は、例えば、ボールグリッドアレイ(Ball Gri
d Array;以下、BGAと略称する。)や、チッ
プ・サイズ・パッケージ(Chip Size Pac
kage;以下CSPと略称する。)といった、回路基
板の裏側にアレイ状の狭ピッチの端子(球状のハンダ)
をもつ多ピンのものが使用される。なお、CSPとは、
BGAより端子チップ1.0mm以下の狭ピッチのもの
を言う。As a method of mounting this bare chip, for example, a ball grid array (Ball Gri) is used.
d Array; hereinafter abbreviated as BGA. ) And a chip size package (Chip Size Pac
cage; hereinafter abbreviated as CSP. ), Such as an array of narrow-pitch terminals (spherical solder) on the back side of the circuit board.
A multi-pin type with is used. The CSP is
BGA means a terminal chip with a narrow pitch of 1.0 mm or less.
【0004】これらBGA方式やCSP方式は、ICチ
ップのプリント基板対向面側に回路基板を配し、この回
路基板の一方の主面にICチップの端子部と接続される
第1の端子部が複数形成され、相対向する他方の主面に
第1の端子部の各々に対応した第2の端子部を形成して
おく。そして、上記第2の端子部上にはんだにより形成
される球状のはんだバンプを形成しておくとともに、プ
リント基板の配線回路パターンの電極パッド上にもはん
だバンプを形成しておき、これらはんだバンプを溶融固
化させるものである。In the BGA method and the CSP method, a circuit board is arranged on the surface of the IC chip facing the printed board, and a first terminal portion connected to the terminal portion of the IC chip is provided on one main surface of the circuit board. A plurality of second terminal portions corresponding to each of the first terminal portions are formed on the other main surface of the plurality of opposed and opposite main surfaces. Then, spherical solder bumps formed of solder are formed on the second terminal portion, and solder bumps are also formed on the electrode pads of the wiring circuit pattern of the printed circuit board. It is to be melted and solidified.
【0005】これらBGA方式やCSP方式において
は、ICチップの端子部を回路基板を介して外部に引き
出すことから、外部との接続端子の形成位置を比較的自
由に決定することが可能である。In the BGA method and the CSP method, since the terminal portion of the IC chip is pulled out to the outside through the circuit board, it is possible to relatively freely determine the formation position of the connection terminal with the outside.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、パッケージ
品の場合はウエハ上で解放/短絡などをいわゆるプロー
ブ検査し、チップに切断してパッケージに封止した後に
導通検査が繰り返されることが多い。そして、このパッ
ケージに封止した後の導通検査装置としては、以下に説
明するように種々のものが開発されているが、他方、上
記ベア・チップ実装の場合は、このような導通検査が行
われてはいない。By the way, in the case of a package product, a so-called probe test for release / short circuit on a wafer is often performed, and a continuity test is repeated after cutting into chips and sealing in a package. Various devices have been developed as a continuity inspection device after being sealed in this package, as described below. On the other hand, in the case of the bare chip mounting, such a continuity inspection device is performed. I have not been forgotten.
【0007】まず、パッケージ品の導通検査装置として
は、一対の針状のプローブ(ピンプローブ)をプリント
配線板の検査ポイントの1点1点に接触させることによ
り、電子部品の端子間の短絡や、断線を検査するものが
ある。First, as a continuity inspection device for packaged products, a pair of needle-shaped probes (pin probes) are brought into contact with each of the inspection points of the printed wiring board to short-circuit between terminals of electronic parts or , There is a thing to inspect for disconnection.
【0008】しかし、このような検査装置では、検査ス
ピードが遅く、プリント配線板の大量生産化が強く要求
あれる高い現今の導通検査には不向きである。そこで、
一対のピンプローブの動きを自動制御化して、スピード
を上げることが考えられるが、検査対象の回路基板の僅
かな傾き等により、一方の検査ポイントに正確に接触し
ても、他方の検査ポイントに正確に接触しないという相
対的位置決めが正確に行われない問題を有していた。However, such an inspection apparatus has a low inspection speed and is unsuitable for the current high-conductivity inspection in which mass production of printed wiring boards is strongly required. Therefore,
Although it is possible to increase the speed by automatically controlling the movement of the pair of pin probes, even if one of the inspection points is accurately contacted due to a slight inclination of the circuit board to be inspected, the other inspection point There has been a problem that relative positioning is not performed accurately because they do not contact accurately.
【0009】また、プリント基板の配線回路パターンの
ランド部に対応した位置にピンプローブを複数配列し
て、電子部品の端子間の短絡や断線を検査するものがあ
る。Further, there is a method in which a plurality of pin probes are arranged at positions corresponding to lands of a wiring circuit pattern on a printed circuit board to inspect for short circuit or disconnection between terminals of an electronic component.
【0010】しかし、この検査装置では、ピンプローブ
の配列の寸法上の制約により、端子チップが狭ピッチの
ものには適さないとされている。また、この検査装置で
はランド部上に打痕が生じるために、ベア・チップ実装
の場合には適用が困難とされている。しかも、ピンプロ
ーブの数が増えれば増える程、上記相対的位置決めの問
題は大きくなり、ベア・チップ実装の自動制御化にも影
響する。However, in this inspection apparatus, it is said that the terminal chips are not suitable for those having a narrow pitch because of the dimensional restrictions of the arrangement of the pin probes. In addition, since this inspection device has a dent on the land portion, it is difficult to apply it in the case of bare chip mounting. Moreover, as the number of pin probes increases, the above-mentioned problem of relative positioning becomes more serious, which also affects the automatic control of bare chip mounting.
【0011】さらに、同一のプリント基板に多数の配線
回路パターンがある半導体実装用基板では、約100m
m×100mm角の回路基板内には1万点近い検査ポイ
ントがあるために、上記いずれの装置とも、これら各検
査ポイント毎に正確な位置にピンプローブを接触させた
り、この多数のピンプローブに接続する信号ケーブルの
取りまわし、配線等において実用上の問題が多い。Further, in the case of a semiconductor mounting board having a large number of wiring circuit patterns on the same printed board, about 100 m
Since there are nearly 10,000 inspection points in a m × 100 mm square circuit board, in any of the above-mentioned devices, a pin probe is brought into contact with an accurate position for each of these inspection points, There are many practical problems in routing and wiring of signal cables to be connected.
【0012】以上のことから、半導体メーカは、ベア・
チップ実装の場合、パッケージ品と同等の信頼性を保証
してユーザに出荷することは難しかった。From the above, semiconductor manufacturers are
In the case of chip mounting, it was difficult to guarantee the same level of reliability as packaged products before shipping them to users.
【0013】そこで、本発明は、狭チップの回路基板の
場合にも正確かつ効率的に導通検査を行うことができる
回路基板の導通検査装置を提供することを課題とする。Therefore, it is an object of the present invention to provide a circuit board continuity inspection apparatus capable of accurately and efficiently conducting a continuity test even in the case of a circuit board having a narrow chip.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明のプリント配線板
の製造方法は、上述の課題を解決するために、一方の主
面に電子部品と接続される第1の端子部が複数形成され
るとともに、他方の主面に第1の端子部の各々に対応し
た第2の端子部が形成された回路基板を検査対象とし
て、上記回路基板の一方の主面と対向配置され、上記第
1の端子部に対して一括して接離される導電性の弾性部
材を有する第1の電極部と、上記回路基板の他方の主面
と対向配置され、上記第2の端子部の個々に対応すした
端子ピンを有する第2の電極部と、これら第1の電極部
と第2の電極部間の導通状態を検出する導通検査手段と
を備えたことを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a method of manufacturing a printed wiring board according to the present invention is provided with a plurality of first terminal portions connected to electronic parts on one main surface. At the same time, the circuit board having the second terminal portions corresponding to the respective first terminal portions formed on the other main surface is arranged as an inspection target so as to face one main surface of the circuit board, The first electrode portion having a conductive elastic member that is brought into contact with and separated from the terminal portion at a time and the other main surface of the circuit board are arranged so as to face each other and correspond to the individual second terminal portions. It is characterized in that it is provided with a second electrode portion having a terminal pin, and a continuity inspection means for detecting a conduction state between the first electrode portion and the second electrode portion.
【0015】また、前記回路基板と、少なくとも前記第
2の電極部とを相対移動し、回路基板に対して第2の電
極部を位置決めする位置決め手段が設けられていること
を特徴とする。Further, it is characterized in that a positioning means is provided for relatively moving the circuit board and at least the second electrode portion to position the second electrode portion with respect to the circuit board.
【0016】また、前記第1の電極部の導電性の弾性部
材が、複数の回路基板に対応した面積を有することを特
徴とする。Further, the conductive elastic member of the first electrode portion has an area corresponding to a plurality of circuit boards.
【0017】本発明の回路基板の導通検査装置は、一方
の主面に電子部品と接続される第1の端子部が複数形成
され、他方の主面に第1の端子部の各々に対応した第2
の端子部が形成された上記回路基板を検査対象として、
第2の電極部の端子ピンを上記回路基板の第2の端子部
の各々に接触させるとともに、第1の電極部を回路基板
の第1の端子部に一括して接触させるようにする。In the circuit board continuity inspection device of the present invention, a plurality of first terminal portions connected to electronic components are formed on one main surface, and the other main surface corresponds to each of the first terminal portions. Second
The above-mentioned circuit board on which the terminal part of
The terminal pin of the second electrode portion is brought into contact with each of the second terminal portions of the circuit board, and the first electrode portion is brought into contact with the first terminal portion of the circuit board all together.
【0018】このように接触させた状態において、上記
回路基板の第1の端子部と第2の端子部間に導通がとれ
ていないと、断線があることになる。そこで、この断線
箇所を導通検査手段により特定する。If there is no electrical connection between the first terminal portion and the second terminal portion of the circuit board in the above contact state, there will be a disconnection. Therefore, this disconnection point is specified by the continuity inspection means.
【0019】他方、第2の電極部を第2の端子部の各々
に接触させたままの状態で、第1の電極部を回路基板か
ら離間させる。この第2の電極部による接触状態では、
仮に、第2の電極部間で導通がとれているとすると、上
記回路基板に短絡部があることになる。そこで、この短
絡箇所を導通検査手段により特定する。On the other hand, the first electrode portion is separated from the circuit board with the second electrode portion kept in contact with each of the second terminal portions. In the contact state by the second electrode portion,
If the second electrode portions are electrically connected to each other, the circuit board has a short circuit portion. Therefore, this short-circuited portion is specified by the continuity inspection means.
【0020】そして、前記回路基板と少なくとも前記第
2の電極部とを相対移動し、回路基板に対して第2の電
極部を位置決めする位置決め手段が設けられていること
によって、効率的に回路基板の導通検査が行われるよう
になる。The circuit board and at least the second electrode portion are moved relative to each other, and the positioning means for positioning the second electrode portion with respect to the circuit board is provided, whereby the circuit board is efficiently provided. The continuity check will be performed.
【0021】また、第1の電極部の導電性の弾性部材が
複数の回路基板に対応した面積を有することにより、複
数の回路基板の導通検査を同時に行われるようになる。Further, since the conductive elastic member of the first electrode portion has the area corresponding to the plurality of circuit boards, the continuity test of the plurality of circuit boards can be simultaneously performed.
【0022】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態について図面を参照しながら詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【0023】本発明に係る回路基板の検査装置は、いわ
ゆるBGAやCSP等の回路基板の導通を検査するため
の装置である。本実施の形態では、以下、BGAより端
子チップ1.0mm以下の狭ピッチであるCSPのもの
で説明する。The circuit board inspection apparatus according to the present invention is an apparatus for inspecting the continuity of a circuit board such as a so-called BGA or CSP. In the present embodiment, a CSP having a narrower pitch of 1.0 mm or less than the terminal chips from the BGA will be described below.
【0024】まず、検査対象の回路基板は、図1に示す
ように、一方の主面1aに電子部品であるICチップと
接続される第1の端子部である電極パット2が複数形成
され、他方の主面1bに第1の端子部の各々に対応した
第2の端子部であるボールグリッド3が形成された回路
基板1である。この回路基板1は、上記回路基板1の電
極パット2と回路基板1のボールグリッド3の各々がス
ルーホール4を介して、いわゆる一対一に対応している
ものである。First, as shown in FIG. 1, a circuit board to be inspected has a plurality of electrode pads 2 which are first terminal portions connected to IC chips, which are electronic components, on one main surface 1a. The circuit board 1 has a ball grid 3 which is a second terminal portion corresponding to each of the first terminal portions formed on the other main surface 1b. In this circuit board 1, the electrode pads 2 of the circuit board 1 and the ball grids 3 of the circuit board 1 correspond to each other through the through holes 4 in a so-called one-to-one correspondence.
【0025】このCSP方式は、ICチップのプリント
基板対向面側に上記回路基板1を配し、ボールグリッド
3上にはんだにより形成される球状のはんだバンプを形
成しておくとともに、プリント基板の配線回路パターン
のパッド上にもはんだバンプを形成しておき、これらは
んだバンプを溶融固化させるものである。In the CSP method, the circuit board 1 is arranged on the side of the IC chip facing the printed board, and spherical solder bumps formed by solder are formed on the ball grid 3 and the wiring of the printed board is formed. Solder bumps are also formed on the pads of the circuit pattern, and these solder bumps are melted and solidified.
【0026】そして、検査対象とされる上記回路基板1
は、回路基板の導通検査装置により導通検査する場合に
は、図2に示すように、上記回路基板1が縦横に複数配
列された状態(以下、この複数の回路基板を符号「1
A」とする。)で導通検査されることになる。Then, the circuit board 1 to be inspected.
When conducting a continuity inspection by a circuit board continuity inspection device, as shown in FIG. 2, a plurality of circuit boards 1 are arranged vertically and horizontally (hereinafter, the plurality of circuit boards will be referred to as "1").
A ". ) Will be the continuity test.
【0027】なお、図1に示す回路基板1個の大きさ
は、約5〜10mm×5〜10mmであり、上記回路基
板1の背面側の各ボールグリッド3の間隔は0.5mm
の一定間隔である。そして、図2に示す複数の回路基板
1Aの大きさは、約100mm×100mmである。The size of one circuit board shown in FIG. 1 is about 5 to 10 mm × 5 to 10 mm, and the distance between the ball grids 3 on the back side of the circuit board 1 is 0.5 mm.
Is a constant interval. The size of the plurality of circuit boards 1A shown in FIG. 2 is about 100 mm × 100 mm.
【0028】そこで次に、本実施の形態の回路基板の導
通検査装置は、図3及び図4に示すように、上記複数の
回路基板1Aを所定位置に移動させて位置決めする位置
決め手段5と、上記複数の回路基板1Aを上下から挟み
込んで導通検出を行う検出ヘッド部11と、この検出ヘ
ッド部11に接続される導通検査手段21とから構成さ
れる導通検査装置10である。Then, as shown in FIGS. 3 and 4, the circuit board continuity inspection apparatus according to the present embodiment then comprises positioning means 5 for moving and positioning the plurality of circuit boards 1A at predetermined positions. A continuity inspection device 10 includes a detection head unit 11 that sandwiches the plurality of circuit boards 1A from above and below to detect continuity, and a continuity inspection unit 21 connected to the detection head unit 11.
【0029】まず、位置決め手段5は、複数の回路基板
1Aを支持する基台7と、この基台7上に設けられて複
数の回路基板1AをY方向(縦方向)に移動させるY方
向移動部材8と、複数の回路基板1AをX方向(横方
向)に移動させるX方向移動部材9と、これらY方向移
動部材8とX方向移動部材9をそれぞれX方向、Y方向
に移動させる駆動モータM1、M2と、回転板20等か
ら構成されている。First, the positioning means 5 is a base 7 for supporting a plurality of circuit boards 1A, and a Y-direction movement for moving the plurality of circuit boards 1A provided on the base 7 in the Y-direction (longitudinal direction). The member 8, the X-direction moving member 9 that moves the plurality of circuit boards 1A in the X-direction (lateral direction), and the drive motor that moves the Y-direction moving member 8 and the X-direction moving member 9 in the X-direction and the Y-direction, respectively. It is composed of M1 and M2, the rotary plate 20, and the like.
【0030】基台7の上部には、レール部材(図示せ
ず)を介してX方向移動部材9とY方向移動部材8が設
けられており、複数の回路基板1Aを移動可能に支持す
るとともに、その中央に検査ヘッド部11が配されてい
る。An X-direction moving member 9 and a Y-direction moving member 8 are provided above the base 7 via rail members (not shown), and movably support a plurality of circuit boards 1A. The inspection head unit 11 is arranged at the center of the inspection head unit 11.
【0031】上記Y方向移動部材8には、断面コ字状に
把持する把持部材8aが形成されており、上記複数の回
路基板1Aを把持して、Y方向に移動可能とされてい
る。また、Y方向移動部材8は、X方向移動部材9にY
方向移動部材8ごと連結されて、レール部材(図示せ
ず)を介してX方向(横方向)に移動させられるように
されている。The Y-direction moving member 8 is formed with a holding member 8a for holding in a U-shaped cross section, and is capable of moving in the Y-direction while holding the plurality of circuit boards 1A. In addition, the Y-direction moving member 8 has a Y-direction moving member 9
The direction moving member 8 is connected together and can be moved in the X direction (lateral direction) via a rail member (not shown).
【0032】また、具体的には図示しないが、上記基台
7には、複数の回路基板1Aに設けられた位置決め用マ
ークの位置を捕らえるCCDカメラと、これら位置決め
用マークとCCDカメラとによる位置決め位置を検出す
る位置決め検出装置が設けられている。そして、この位
置決め手段5は、これら各々図示する自動制御部に接続
されて、図6に示すフローチャートのように、自動制御
部のプログラムに従って位置決めを繰り返すこととな
る。Although not specifically shown, the base 7 is provided with a CCD camera for catching the positions of the positioning marks provided on the plurality of circuit boards 1A, and the positioning marks and the CCD camera perform positioning. A positioning detection device for detecting the position is provided. Then, the positioning means 5 is connected to each of the illustrated automatic control units, and repeats the positioning according to the program of the automatic control unit as shown in the flowchart of FIG.
【0033】なお、位置決め手段5に、Y方向移動部材
8とX方向移動部材9の他に上記複数の回路基板1Aを
Z方向(高さ方向)に移動させるZ方向移動部材を設け
ることは実施に応じ任意である。In addition to the Y-direction moving member 8 and the X-direction moving member 9, the positioning means 5 is provided with a Z-direction moving member for moving the plurality of circuit boards 1A in the Z direction (height direction). Is optional.
【0034】さらに、基台7の内部には、後述する下方
シリンダ16を回転させる回転板20が設けられてい
る。この回転板20は、下方シリンダ16を回転方向
(符号、θ)に回転させることにより、上記複数の回路
基板1のボールグリッド3の位置に対応して各々複数の
ピンプローブ13が設けられた第2の電極部12を正確
に接触させるものである。Further, inside the base 7, a rotary plate 20 for rotating a lower cylinder 16 described later is provided. The rotating plate 20 is provided with a plurality of pin probes 13 corresponding to the positions of the ball grids 3 of the plurality of circuit boards 1 by rotating the lower cylinder 16 in the rotating direction (reference numeral, θ). The two electrode portions 12 are brought into accurate contact with each other.
【0035】このような位置決め手段5は、CCDカメ
ラにより複数の回路基板1Aに設けられた位置決め用マ
ークを検出して、X,Y,θ方向に微調整し、位置決め
を繰り返す。この場合の繰り返し精度は、0.1mm以
下である。The positioning means 5 detects the positioning marks provided on the plurality of circuit boards 1A by the CCD camera, finely adjusts them in the X, Y and θ directions, and repeats the positioning. The repeatability in this case is 0.1 mm or less.
【0036】次に、検査ヘッド部11は、図4に示すよ
うに、上記複数の回路基板1Aを上下方向から挟み込ん
で複数の回路基板1Aの導通状態を検査するもので、回
路基板1の電極パッド2に対して一括して接離される第
1の電極部17と、回路基板1のボールグリッド3の個
々に対応した第2の電極部とから構成されている。Next, as shown in FIG. 4, the inspection head unit 11 is for sandwiching the plurality of circuit boards 1A from above and below and inspecting the conductive state of the plurality of circuit boards 1A. The pad 2 includes a first electrode portion 17 that is brought into contact with and separated from the pad 2 collectively, and a second electrode portion that corresponds to each of the ball grids 3 of the circuit board 1.
【0037】まず、第2の電極部12は、複数の回路基
板1Aの下方に配されるもので、複数のピンプローブ1
3と、各ピンプローブ13を複数の回路基板1Aのボー
ルグリッド3に対応した位置に配列させる固定部材15
と、この固定部材15を接離可能に昇降動させる下方シ
リンダ16とから構成されている。First, the second electrode portion 12 is arranged below the plurality of circuit boards 1A.
And a fixing member 15 for arranging the pin probes 13 at positions corresponding to the ball grids 3 of the plurality of circuit boards 1A.
And a lower cylinder 16 for vertically moving the fixing member 15 so that the fixing member 15 can be brought into contact with and separated from the fixed cylinder 15.
【0038】各ピンプローブ13は、本実施の形態で
は、複数の回路基板1Aのうちの1個の回路基板1のボ
ールグリッド3の数に対応した数が設けられており、か
つ、上述したように複数の回路基板1Aのボールグリッ
ド3に対応した位置に配列されている。すなわち、この
第2の電極部12は、上記当接固定部材15により、先
端側が束ねられるようにして回路基板1のボールグリッ
ド3に向けられるとともに、後端側がコネクタ14を介
して導通検査手段21に接続されている。なお、このよ
うに、多数のピンプローブ13が束ねられると、回路基
板1との対向する面が接触面13aの状態となる。In this embodiment, each pin probe 13 is provided in a number corresponding to the number of ball grids 3 on one circuit board 1 of the plurality of circuit boards 1A, and as described above. Are arranged at positions corresponding to the ball grids 3 of the plurality of circuit boards 1A. That is, the second electrode portion 12 is directed toward the ball grid 3 of the circuit board 1 so that the front end side is bundled by the contact fixing member 15 and the rear end side is connected to the continuity inspection means 21 via the connector 14. It is connected to the. When a large number of pin probes 13 are bundled in this way, the surface facing the circuit board 1 becomes the contact surface 13a.
【0039】一方、第1の電極部17は、複数の回路基
板1Aの上方に配されるもので、導電性の弾性部材18
と、この導電性の弾性部材18を接離可能に昇降動させ
る上方シリンダ19とを備えている。On the other hand, the first electrode portion 17 is disposed above the plurality of circuit boards 1A, and has a conductive elastic member 18.
And an upper cylinder 19 for moving the conductive elastic member 18 up and down so that the elastic member 18 can be contacted and separated.
【0040】導電性の弾性部材18は、複数の回路基板
1Aの電極パッド2に対して一括して接離可能となされ
た、いわゆる全ショート用の部材である。すなわち、導
電性の弾性部材18は、方向によって導通性がある方向
とない方向があるようなものではなく、全方向に対して
導通性があるものである。The conductive elastic member 18 is a so-called all-short-circuit member that can be collectively brought into contact with and separated from the electrode pads 2 of the plurality of circuit boards 1A. That is, the conductive elastic member 18 has conductivity in all directions, and does not have a direction in which conductivity is present or not depending on the direction.
【0041】ここで、この導電性の弾性部材18は、本
実施の形態においては、ニッケルメッキを施した微細繊
維を固めた導電性不織り布や、ニッケルを混合して成形
したゴム製のものが使用しているが、必ずしもこれらに
限定されるものではない。In this embodiment, the conductive elastic member 18 is made of a conductive non-woven cloth formed by hardening nickel-plated fine fibers or a rubber formed by mixing nickel. , But is not necessarily limited to these.
【0042】すなわち、導電性の弾性部材18は、回路
基板1の複数の電極パッド2に対して同時に確実に接触
させること、複数の電極パッド2を傷つけることがない
ようにすること、また、第2の電極部12とともに回路
基板1を挟み込んだ際に、当該回路基板1に強い圧力が
加わらないようにすることを目的に設けられている。ま
た、導電性の弾性部材18は、方向によって導通性があ
る方向とない方向があるようなものではなく、全方向に
対して導通性があるものである。したがって、これら目
的を達成できるものであれば、上記部材に限定されるも
のではない。That is, the conductive elastic member 18 surely makes contact with the plurality of electrode pads 2 of the circuit board 1 at the same time, prevents the plurality of electrode pads 2 from being damaged, and It is provided for the purpose of preventing a strong pressure from being applied to the circuit board 1 when the circuit board 1 is sandwiched together with the second electrode portion 12. In addition, the conductive elastic member 18 has conductivity in all directions, not a direction in which conductivity is present and a direction in which there is no conductivity depending on the direction. Therefore, the member is not limited to the above members as long as these objects can be achieved.
【0043】また、導電性の弾性部材18は、第2の電
極部12の接触面13aよりも広い接触面17aを有し
て形成されている。これは、この導電性の弾性部材18
が第2の電極部12とともに、複数の回路基板1Aを上
下方向から確実に挟み込んで複数の回路基板1Aの導通
状態を検査するためである。The conductive elastic member 18 is formed to have a contact surface 17a wider than the contact surface 13a of the second electrode portion 12. This is due to this conductive elastic member 18
This is for reliably sandwiching the plurality of circuit boards 1A together with the second electrode portion 12 from above and below and inspecting the conduction state of the plurality of circuit boards 1A.
【0044】このような構造の検査ヘッド部11は、B
GA方式や、CSP方式、或いは、回路基板1のボール
グリッド3の間隔に応じて、取り替えられるユニット式
のものとされている。すなわち、第2の電極部12と第
1の電極部17を上記各種の仕様態様に合わせて交換す
るとともに、自動制御部のプログラムを変換さえすれ
ば、各種類に対応可能とされている。The inspection head portion 11 having such a structure is
It is a GA type, a CSP type, or a unit type that can be replaced according to the distance between the ball grids 3 of the circuit board 1. That is, the second electrode unit 12 and the first electrode unit 17 can be adapted to each type as long as they are exchanged in accordance with the various specifications described above and the program of the automatic control unit is converted.
【0045】ところで、本実施の形態においては、上記
位置決め手段5により、複数の回路基板1Aを上記検査
ヘッド部11の位置に移動させるものである。これは、
複数の回路基板1Aを固定させた状態にして、上記検査
ヘッド部11を移動させることもできるわけであるが、
検査ヘッド部11を移動させることは、多数のピンプロ
ーブ13に接続する信号ケーブルの取りまわしや断線を
生じさせるおそれがある。そこで、複数の回路基板1A
の側を移動させるようにしている。ただし、第2の電極
部12と第1の電極部17を検査目的の回路基板1の位
置に移動させる移動手段を備えらることも可能であるこ
とは言うまでもない。By the way, in the present embodiment, the plurality of circuit boards 1A are moved to the position of the inspection head portion 11 by the positioning means 5. this is,
Although it is possible to move the inspection head unit 11 while fixing a plurality of circuit boards 1A,
Moving the inspection head unit 11 may cause routing and disconnection of the signal cables connected to the large number of pin probes 13. Therefore, a plurality of circuit boards 1A
I am trying to move the side of. However, it goes without saying that it is also possible to provide a moving means for moving the second electrode portion 12 and the first electrode portion 17 to the position of the circuit board 1 for inspection.
【0046】また、第1の電極部17が配される複数の
回路基板1Aの上方側には、前述した回転部材20が設
けられていないが、これは、第1の電極部17が広い接
触面17aを有して、回路基板1の電極パッド2に対し
て一括して接触することから、回転方向(θ)にずれが
生じても、このようなずれを吸収できるからである。Further, the above-mentioned rotating member 20 is not provided above the plurality of circuit boards 1A on which the first electrode portions 17 are arranged, but this is because the first electrode portions 17 have a wide contact. This is because the surface 17a is brought into contact with the electrode pads 2 of the circuit board 1 all at once, so that even if a deviation occurs in the rotation direction (θ), such deviation can be absorbed.
【0047】したがって、上記位置決め手段5のY方向
移動部材8とX方向移動部材9により、第2の電極部1
2と第1の電極部17が対向する所定位置に複数の回路
基板1Aを移動させた際に、複数の回路基板1Aのうち
の各回路基板1に対する位置に回転方向(θ)の誤差が
生じたとしても、この回転板20を回転させることによ
り、各回路基板1に対する正確な位置に第2の電極部1
2の方向性を調整することができる。Therefore, by the Y-direction moving member 8 and the X-direction moving member 9 of the positioning means 5, the second electrode portion 1 is
When the plurality of circuit boards 1A are moved to a predetermined position where 2 and the first electrode portion 17 face each other, an error in the rotation direction (θ) occurs in the position of each of the plurality of circuit boards 1A with respect to each circuit board 1. Even if the rotating plate 20 is rotated, the second electrode portion 1 can be accurately positioned with respect to each circuit board 1.
The directionality of 2 can be adjusted.
【0048】さらに、第2の電極部12の方を第1の電
極部17よりも早く回路基板1の各ボールグリッド3に
接触させることが好ましい。第1の電極部17は、複数
の回路基板1Aの電極パット2に一括して接触させるも
のであり、しかも、第2の電極部12の接触面13aよ
りも広い接触面17aを有していることから、上方シリ
ンダ19を駆動させて、この第1の電極部17を降下さ
せることにより、すべての電極パット2に一括して確実
に接触させることができるからである。Further, it is preferable that the second electrode portion 12 is brought into contact with each ball grid 3 of the circuit board 1 earlier than the first electrode portion 17. The first electrode portion 17 collectively contacts the electrode pads 2 of the plurality of circuit boards 1A, and has a contact surface 17a wider than the contact surface 13a of the second electrode portion 12. Therefore, by driving the upper cylinder 19 and lowering the first electrode portion 17, all the electrode pads 2 can be reliably brought into contact with all the electrode pads 2 collectively.
【0049】このように、複数の回路基板1Aを第2の
電極部12と第1の電極部17とよって上下方向から挟
み込むと、例えば、回路基板1が僅かな傾きをもってい
たとしても、正確な相対的位置決めがなされる。As described above, when the plurality of circuit boards 1A are sandwiched by the second electrode portion 12 and the first electrode portion 17 from above and below, even if the circuit board 1 has a slight inclination, for example, it is accurate. Relative positioning is performed.
【0050】次いで、本実施の形態の回路基板の導通検
査装置を使用して、実際に、検査対象となる回路基板の
導通状態を検査する場合について、図6のフローチャー
トを用いて説明する。Next, a case of actually inspecting the conduction state of the circuit board to be inspected by using the circuit board continuity inspection device of the present embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
【0051】まず、検査対象の複数の回路基板1Aを、
位置決め手段5の把持部材7aにより把持して、複数の
回路基板1Aを本実施の形態の導通検査装置10にセッ
トする(ステップ31)。First, a plurality of circuit boards 1A to be inspected are
The plurality of circuit boards 1A are set by the holding member 7a of the positioning means 5 in the continuity inspection device 10 of the present embodiment (step 31).
【0052】次に、位置決め手段5のY方向移動部材
8、X方向移動部材9及び回転板20を回転させて、検
査ヘッド部11の所定位置に上記複数の回路基板1Aを
移動させる(ステップ32)。このとき、複数の回路基
板1Aに設けられた位置決め用マークの位置をCCDカ
メラがこれを捕らえ、自動制御部で調節して位置決めを
繰り返す。Next, the Y-direction moving member 8, the X-direction moving member 9 and the rotary plate 20 of the positioning means 5 are rotated to move the plurality of circuit boards 1A to the predetermined position of the inspection head unit 11 (step 32). ). At this time, the CCD camera catches the positions of the positioning marks provided on the plurality of circuit boards 1A, and the positioning is repeated by adjusting them by the automatic control unit.
【0053】ここで、自動制御部は、回転板20とも接
続されているために、回転板20を回転させることによ
り、回路基板1のボールグリッド3の位置に対応して配
される複数のピンプローブからなる第2の電極部12に
対して正確に接触させることができる。Here, since the automatic control unit is also connected to the rotary plate 20, by rotating the rotary plate 20, a plurality of pins arranged corresponding to the positions of the ball grid 3 of the circuit board 1 are arranged. It is possible to make accurate contact with the second electrode portion 12 composed of a probe.
【0054】次いで、この第2の電極部12の複数のボ
ールグリッド3への接触とともに、第1の電極部17を
回路基板1の第1の端子部である電極パット2に一括し
て接触させる(ステップ33)。Next, the second electrode portion 12 is brought into contact with the plurality of ball grids 3 and the first electrode portion 17 is brought into contact with the electrode pad 2 which is the first terminal portion of the circuit board 1 all together. (Step 33).
【0055】そして、このように上下方向から挟み込ん
だ状態で、上記導通検査手段21により、目的とする回
路基板1の導通状態を検査する。すなわち、第1の電極
部の導電性の弾性部材18と第2の電極部12の複数の
ピンプローブ13が各々の回路基板1に接触した状態で
は、回路基板1の電極パット2とボールグリッド3間に
導通がとれていないと、この回路基板1に断線があるこ
とになる。そこで、この断線箇所を導通検査手段21に
より特定する。Then, in the state where the circuit board 1 is sandwiched in the vertical direction in this way, the conduction state of the target circuit board 1 is inspected by the conduction inspection means 21. That is, when the conductive elastic member 18 of the first electrode portion and the plurality of pin probes 13 of the second electrode portion 12 are in contact with each circuit board 1, the electrode pad 2 and the ball grid 3 of the circuit board 1 are in contact with each other. If there is no continuity between them, this circuit board 1 has a disconnection. Therefore, the disconnection point is specified by the continuity inspection means 21.
【0056】次いで、第2の電極部12をボールグリッ
ド3の各々に接触させたままの状態で、第1の電極部1
7を複数の回路基板1Aから離間させる(ステップ3
4)。この第2の電極部12のみが回路基板1の複数の
ピンプローブ12に接触した状態では、ピンプローブ1
2間で導通がとれていると、回路基板1に短絡部がある
ことになる。そこで、この短絡部を導通検査手段21に
より特定する。Next, with the second electrode portion 12 kept in contact with each of the ball grids 3, the first electrode portion 1
7 is separated from the plurality of circuit boards 1A (step 3
4). When only the second electrode portion 12 is in contact with the plurality of pin probes 12 on the circuit board 1, the pin probes 1
When the two are electrically connected, the circuit board 1 has a short-circuited portion. Therefore, the short circuit portion is identified by the continuity inspection means 21.
【0057】このようにして、目的とする回路基板1の
導通検査が済むと、複数の回路基板1Aの他の回路基板
1の導通検査を行うために、ステップ32の位置決め手
段5のY方向移動部材8、X方向移動部材9等の移動に
移る(ステップ35)。After the target circuit board 1 is tested for continuity in this way, the positioning means 5 is moved in the Y direction in step 32 in order to test the continuity of the other circuit boards 1 of the plurality of circuit boards 1A. The movement of the member 8 and the X-direction moving member 9 is started (step 35).
【0058】このような繰り返しによって、位置決め手
段5に支持された複数の回路基板1Aの各回路基板1の
すべての導通状態を検査して、検査が終了する(ステッ
プ36)。By repeating the above, all the conductive states of the respective circuit boards 1 of the plurality of circuit boards 1A supported by the positioning means 5 are inspected, and the inspection is completed (step 36).
【0059】なお、このような検査終了後は、ユーザ等
に出荷されるが、本実施の形態の回路基板の導通検査装
置により正確な導通検査が行われるために、品質保証が
なされたものが出荷されることとなる。After the completion of such inspection, the product is shipped to the user or the like. However, since the circuit board continuity inspection apparatus of the present embodiment performs an accurate continuity inspection, some products are guaranteed in quality. Will be shipped.
【0060】以上のように、本実施の形態は、回路基板
1に電極パッド2に一括して接離可能な第1の電極部1
7と回路基板1のボールグリッド3に接離可能な第2の
電極部12とにより、回路基板1を挟み込むものであ
る。したがって、第2の電極部12を回路基板1のボー
ルグリッド3に正確に接触させれば、第1の電極部17
は、いわゆる全ショート用の部材であるために、従来の
パッケージ品の場合の導通検査装置のような相対的位置
決めが問題となるようなことがなくなり、自動制御によ
っても各検査ポイントに正確に接触させることができ
る。As described above, in the present embodiment, the first electrode portion 1 which can be collectively brought into contact with and separated from the electrode pad 2 on the circuit board 1.
The circuit board 1 is sandwiched by 7 and the second electrode portion 12 which can be brought into contact with and separated from the ball grid 3 of the circuit board 1. Therefore, if the second electrode portion 12 is accurately brought into contact with the ball grid 3 of the circuit board 1, the first electrode portion 17
Since it is a so-called all-short-circuiting member, relative positioning does not pose a problem like the continuity inspection device in the case of conventional package products, and even automatic control accurately contacts each inspection point. Can be made.
【0061】次に、実施の形態の応用例について説明す
る。Next, an application example of the embodiment will be described.
【0062】この応用例は、図5に示すように、第1の
電極部30の導電性の弾性部材31が複数の回路基板1
Aのうち2個の回路基板1に対応した面積を有する。In this applied example, as shown in FIG. 5, the conductive elastic member 31 of the first electrode portion 30 is formed of a plurality of circuit boards 1.
It has an area corresponding to two circuit boards 1 of A.
【0063】他方、第2の電極部32は、ピンプローブ
33が2個の回路基板1のボールグリッド3の数に対応
した数が設けられており、かつ、複数の回路基板1Aの
ボールグリッド3に対応した位置に配列されている。そ
して、導電性の弾性部材31は、前述の実施の形態の場
合と同様、上記ピンプローブ33の接触面33aよりも
広い接触面31aを有している。On the other hand, the second electrode portion 32 is provided with a number of pin probes 33 corresponding to the number of the ball grids 3 of the two circuit boards 1 and the ball grids 3 of the plurality of circuit boards 1A. It is arranged in the position corresponding to. The conductive elastic member 31 has a contact surface 31a wider than the contact surface 33a of the pin probe 33, as in the case of the above-described embodiment.
【0064】したがって、第1の電極部30は、上記第
2の電極部32とともに、複数の回路基板1Aを上下方
向から挟み込んで、同時に2個の回路基板(1,1)の
導通状態を同時に検査することができる。Therefore, the first electrode portion 30 and the second electrode portion 32 sandwich a plurality of circuit boards 1A from above and below, and at the same time, the two circuit boards (1, 1) are electrically connected at the same time. Can be inspected.
【0065】なお、第2の電極部32と第1の電極部3
0とは、2個以上設け、同時に2個の以上の複数の回路
基板1A(1,1・・・)の導通状態を検査するように
しても良いことは言うまでもない。また、この実施の形
態も、位置決め手段5により複数の回路基板1Aを所定
位置に移動させて位置決めするものであっても良く、
又、第2の電極部32と第1の電極部30の側を移動さ
せる移動手段を設けるようにしても良い。The second electrode portion 32 and the first electrode portion 3
It is needless to say that 0 is provided so that two or more circuit boards 1A (1, 1 ...) Can be inspected for electrical continuity at the same time. Also, in this embodiment, the plurality of circuit boards 1A may be moved to a predetermined position and positioned by the positioning means 5,
Further, a moving means for moving the second electrode portion 32 and the first electrode portion 30 side may be provided.
【0066】[0066]
【発明の効果】本発明の回路基板の導通検査装置は、回
路基板の第1の端子部に対して一括して接離される導電
性の弾性部材を有する第1の電極部と、上記回路基板の
第2の端子部の個々に対応した端子ピンを有する第2の
電極部とが備えられているために、第2の電極部の端子
ピンを回路基板の第2の端子部の各々に正確に接触させ
るだけで、第1の電極部は回路基板の第1の端子部に対
して一括して接触させて導通検査が行われる。The circuit board continuity inspection apparatus of the present invention includes a first electrode portion having a conductive elastic member that is brought into contact with and separated from the first terminal portion of the circuit board at a time, and the circuit board. A second electrode portion having a terminal pin corresponding to each of the second terminal portions of the second terminal portion, the terminal pin of the second electrode portion is accurately attached to each of the second terminal portions of the circuit board. The first electrode portion is collectively brought into contact with the first terminal portion of the circuit board, and the continuity test is performed.
【0067】したがって、従来装置の場合のような相対
的位置決めが困難という問題が解消されるとともに、狭
ピッチの回路基板であっても正確かつ効率的に回路基板
の導通検査を行うことが可能である。Therefore, the problem that relative positioning is difficult as in the case of the conventional device is solved, and it is possible to accurately and efficiently conduct the continuity inspection of the circuit board even if the circuit board has a narrow pitch. is there.
【0068】また、本発明の回路基板の導通検査装置
は、同様な検査を行っている半導体、液晶向けの検査装
置に比べて、簡素な構造であるために、安価な製作が可
能であり、大幅に低コスト化が図られる。Further, since the circuit board continuity inspection apparatus of the present invention has a simple structure as compared with the inspection apparatus for semiconductors and liquid crystals that perform similar inspection, it can be manufactured at a low cost. Significant cost reduction can be achieved.
【図1】検査対象の回路基板を示す斜視図であり、
(a)は上面側から見た状態であり、(b)は底面側か
ら見た状態である。FIG. 1 is a perspective view showing a circuit board to be inspected,
(A) is a state viewed from the top side, and (b) is a state viewed from the bottom side.
【図2】上記回路基板を縦横に複数配列させ導通検査装
置にセットする状態の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a plurality of the circuit boards are vertically and horizontally arranged and set in a continuity inspection device.
【図3】本発明の一実施の形態の回路基板の導通検査装
置の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a circuit board continuity inspection device according to an embodiment of the present invention.
【図4】上記回路基板の導通検査装置の検査ヘッド部を
拡大して示す断面図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view showing an inspection head portion of the circuit board continuity inspection device.
【図5】上記検査ヘッド部の他の例を拡大して示す断面
図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing another example of the inspection head unit.
【図6】上記回路基板の導通検査装置の動作を示すフロ
ーチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing the operation of the circuit board continuity inspection device.
1 回路基板、1a 基板の一方の主面、1b 基板の
他方の主面、1A 複数の回路基板、2 第1の端子部
(電極パッド)、3 第2の端子部(ボールグリッ
ド)、5 位置決め手段、10 回路基板の導通検査装
置、11 検査ヘッド部、12,32 第2の電極部、
13a,33a 第2の電極部の接触面、17,30
第1の電極部、18,31 導電性の弾性部材、17
a,31a、導電性の弾性部材の接触面、21 導通検
査手段1 circuit board, 1a one main surface of the board, 1b other main surface of the board, 1A plural circuit boards, 2 first terminal parts (electrode pads), 3 second terminal parts (ball grid), 5 positioning Means, 10 circuit board continuity inspection device, 11 inspection head portion, 12, 32 second electrode portion,
13a, 33a Contact surface of second electrode part, 17, 30
First electrode part, 18, 31 Conductive elastic member, 17
a, 31a, contact surface of conductive elastic member, 21 continuity inspection means
Claims (3)
の端子部が複数形成されるとともに、他方の主面に第1
の端子部の各々に対応した第2の端子部が形成された回
路基板を検査対象として、 上記回路基板の一方の主面と対向配置され、上記第1の
端子部に対して一括して接離される導電性の弾性部材を
有する第1の電極部と、 上記回路基板の他方の主面と対向配置され、上記第2の
端子部の個々に対応した端子ピンを有する第2の電極部
と、 これら第1の電極部と第2の電極部間の導通状態を検出
する導通検査手段とを備えたことを特徴とする回路基板
の導通検査装置。1. A first surface connected to an electronic component on one main surface
A plurality of terminal portions are formed, and the first main surface is formed on the other main surface.
The circuit board on which the second terminal portion corresponding to each of the terminal portions is formed is arranged to face one of the main surfaces of the circuit board and contacts the first terminal portion collectively. A first electrode portion having a conductive elastic member that is separated from each other; and a second electrode portion that is arranged to face the other main surface of the circuit board and has terminal pins corresponding to each of the second terminal portions. A circuit board continuity inspecting device comprising: a continuity inspecting means for detecting an electrical continuity between the first electrode portion and the second electrode portion.
電極部とを相対移動し、回路基板に対して第2の電極部
を位置決めする位置決め手段が設けられていることを特
徴とする請求項1記載の回路基板の導通検査装置。2. A positioning means for moving the circuit board and at least the second electrode portion relative to each other to position the second electrode portion with respect to the circuit board. 1. The circuit board continuity inspection device according to 1.
が、複数の回路基板に対応した面積を有することを特徴
とする請求項1記載の回路基板の導通検査装置。3. The circuit board continuity inspection device according to claim 1, wherein the conductive elastic member of the first electrode portion has an area corresponding to a plurality of circuit boards.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8077991A JPH09269351A (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Circuit board continuity inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8077991A JPH09269351A (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Circuit board continuity inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09269351A true JPH09269351A (en) | 1997-10-14 |
Family
ID=13649302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8077991A Withdrawn JPH09269351A (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Circuit board continuity inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09269351A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1316255C (en) * | 2003-07-10 | 2007-05-16 | 宏达国际电子股份有限公司 | Electronic device test system |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP8077991A patent/JPH09269351A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1316255C (en) * | 2003-07-10 | 2007-05-16 | 宏达国际电子股份有限公司 | Electronic device test system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |