JPH09270239A - 真空容器内電極の保持方法 - Google Patents
真空容器内電極の保持方法Info
- Publication number
- JPH09270239A JPH09270239A JP8079005A JP7900596A JPH09270239A JP H09270239 A JPH09270239 A JP H09270239A JP 8079005 A JP8079005 A JP 8079005A JP 7900596 A JP7900596 A JP 7900596A JP H09270239 A JPH09270239 A JP H09270239A
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- Japan
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- electrode
- vacuum container
- holding
- vacuum
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空容器内に電極を保持する電極保持材の帯
電による電界の乱れがなく、配線のチェックを容易に行
えるようにする。 【解決手段】 体積抵抗率ρが、１０-2Ωｍ＜ρ＜１０
-7Ωｍ、電極と真空容器間の電気抵抗が１Ω〜１０9 Ω
となるような電極保持材によって電極を真空容器内に保
持するようにしたことを特徴とする。
電による電界の乱れがなく、配線のチェックを容易に行
えるようにする。 【解決手段】 体積抵抗率ρが、１０-2Ωｍ＜ρ＜１０
-7Ωｍ、電極と真空容器間の電気抵抗が１Ω〜１０9 Ω
となるような電極保持材によって電極を真空容器内に保
持するようにしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は質量分析計等に使用
される真空容器内電極の保持方法に関する。
される真空容器内電極の保持方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、質量分析計などでレンズ等のイオ
ン光学的素子を構成する電極は、真空箱内にセラミック
等の体積抵抗率ρが１０10Ωｍより大きい絶縁物を用い
て保持されている。図１はこのような従来の電極の保持
方法を説明する図で、セラミック等の絶縁体からなる電
極保持材２で電極３を真空箱１内に保持している。電極
３へ通電するためのリード線５は、電流導入端子４にま
とめられて外部と接続されるようになっている。
ン光学的素子を構成する電極は、真空箱内にセラミック
等の体積抵抗率ρが１０10Ωｍより大きい絶縁物を用い
て保持されている。図１はこのような従来の電極の保持
方法を説明する図で、セラミック等の絶縁体からなる電
極保持材２で電極３を真空箱１内に保持している。電極
３へ通電するためのリード線５は、電流導入端子４にま
とめられて外部と接続されるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図１に示し
たような電極保持方法では、電極を保持するセラミック
等に荷電粒子が付着して帯電し、この電荷によって分析
用の電界が乱されることがある。そのため、セラミック
表面はできるかぎり光軸から遠ざける等の工夫を要する
場合がある。また、電極が完全に絶縁されているため
に、電気的配線が正しく行われていることを真空箱外部
から電気的に確認する方法が無く、多数の電極がある場
合、この確認作業は多大な時間を要してしまう。本発明
は上記課題を解決するためのもので、電極保持材の帯電
による電界の乱れがなく、配線のチェックを容易に行う
ことができる真空容器内電極の保持方法を提供すること
を目的とする。
たような電極保持方法では、電極を保持するセラミック
等に荷電粒子が付着して帯電し、この電荷によって分析
用の電界が乱されることがある。そのため、セラミック
表面はできるかぎり光軸から遠ざける等の工夫を要する
場合がある。また、電極が完全に絶縁されているため
に、電気的配線が正しく行われていることを真空箱外部
から電気的に確認する方法が無く、多数の電極がある場
合、この確認作業は多大な時間を要してしまう。本発明
は上記課題を解決するためのもので、電極保持材の帯電
による電界の乱れがなく、配線のチェックを容易に行う
ことができる真空容器内電極の保持方法を提供すること
を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、電極と真空容
器間の電気抵抗が１Ω〜１０9 Ωとなるように電極を真
空容器内に保持するようにしたことを特徴とし、これに
より、電極保持材の帯電による電界の乱れを防止すると
ともに、電極と真空容器間の配線チェックを容易に行う
ことが可能となる。
器間の電気抵抗が１Ω〜１０9 Ωとなるように電極を真
空容器内に保持するようにしたことを特徴とし、これに
より、電極保持材の帯電による電界の乱れを防止すると
ともに、電極と真空容器間の配線チェックを容易に行う
ことが可能となる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明は、図１に示した真空箱内に電極を
保持するものであり、電極保持部の材料に絶縁性のセラ
ミックではなく、導電性を有する材料を使用することを
特徴としている。このようにすると 電極保持材が導電性を有するため荷電粒子による帯電
の問題がない。 電極と真空箱間に測定可能な電気抵抗があるため、配
線のテストは、真空箱外部の電流等の端子と真空箱間の
電気抵抗を測定することで簡単に行える。 という利点がある。
て説明する。本発明は、図１に示した真空箱内に電極を
保持するものであり、電極保持部の材料に絶縁性のセラ
ミックではなく、導電性を有する材料を使用することを
特徴としている。このようにすると 電極保持材が導電性を有するため荷電粒子による帯電
の問題がない。 電極と真空箱間に測定可能な電気抵抗があるため、配
線のテストは、真空箱外部の電流等の端子と真空箱間の
電気抵抗を測定することで簡単に行える。 という利点がある。
【０００６】図２は本発明の電極保持方法を説明する図
である。図２に示すように、１ｃｍ×１ｃｍ×１ｃｍの
立方体からなる電極保持材４で電極３を保持することを
考える。電極保持材４の電気抵抗は、これを簡単に測定
するためには、Ｒ＝１０0 〜１０9 Ωの範囲が望まし
い。このとき材料の体積抵抗率ρは、 より、ρ＝１０-2Ωｍ〜１０7 Ωｍであればよい。通
常、金属の体積抵抗率ρは、ρ＜１０-10 Ωｍ、絶縁物
の体積抵抗率ρは、ρ＞１０9 Ωｍであるから、これら
の中間的な導電率を持つ材料が必要である。なお、電気
抵抗が小さいと、電極と真空容器の間に流れる電流が増
大し、発熱の問題が発生すると共に、大容量の電源も必
要になるので、実用的には、電極と真空容器間の電気抵
抗は、１０3 Ω〜１０9 Ωの範囲が好ましい。
である。図２に示すように、１ｃｍ×１ｃｍ×１ｃｍの
立方体からなる電極保持材４で電極３を保持することを
考える。電極保持材４の電気抵抗は、これを簡単に測定
するためには、Ｒ＝１０0 〜１０9 Ωの範囲が望まし
い。このとき材料の体積抵抗率ρは、 より、ρ＝１０-2Ωｍ〜１０7 Ωｍであればよい。通
常、金属の体積抵抗率ρは、ρ＜１０-10 Ωｍ、絶縁物
の体積抵抗率ρは、ρ＞１０9 Ωｍであるから、これら
の中間的な導電率を持つ材料が必要である。なお、電気
抵抗が小さいと、電極と真空容器の間に流れる電流が増
大し、発熱の問題が発生すると共に、大容量の電源も必
要になるので、実用的には、電極と真空容器間の電気抵
抗は、１０3 Ω〜１０9 Ωの範囲が好ましい。
【０００７】多数の電極が存在する場合は、各電極ごと
に保持材の抵抗値を変えておけば、電極ごとにチェック
することが可能である。
に保持材の抵抗値を変えておけば、電極ごとにチェック
することが可能である。
【０００８】なお、従来の絶縁物を用いる場合でも、真
空容器内において、別に抵抗体で電極と真空箱を結んで
おけば、配線テストを行うことができる。
空容器内において、別に抵抗体で電極と真空箱を結んで
おけば、配線テストを行うことができる。
【０００９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、電極保持
材を電気伝導性のある材料とすることにより、保持材の
帯電による電界の乱れがなくなるとともに、電極と真空
箱間の抵抗を測定することで配線のテストを容易に行う
ことが可能となる。
材を電気伝導性のある材料とすることにより、保持材の
帯電による電界の乱れがなくなるとともに、電極と真空
箱間の抵抗を測定することで配線のテストを容易に行う
ことが可能となる。
【図１】 従来の電極の保持方法を説明する図である。
【図２】 本発明の電極保持方法を説明する図である。
１…真空箱、２…電極保持材、３…電極、４…電流導入
端子、５…リード線、６…電極保持材。
端子、５…リード線、６…電極保持材。
Claims (3)
- 【請求項１】 電極保持材によって真空容器内に保持さ
れ、真空容器外部と電気的に接続されて荷電粒子に光学
的作用を与える電極の保持方法において、前記電極と真
空容器間の電気抵抗を１Ω〜１０9 Ωとしたことを特徴
とする真空容器内電極の保持方法。 - 【請求項２】 電極保持材によって真空容器内に保持さ
れ、真空容器外部と電気的に接続されて荷電粒子に光学
的作用を与える電極の保持方法において、前記電極保持
材は、体積抵抗率ρを、１０-2Ωｍ＜ρ＜１０-7Ωｍと
し、該電極保持材により前記電極と真空容器間の電気抵
抗を１Ω〜１０9 Ωとしたことを特徴とする請求項１記
載の真空容器内電極の保持方法。 - 【請求項３】 前記電極保持材として絶縁物を用いると
共に、前記電極と真空容器の間を抵抗体で接続すること
により前記電極と真空容器間の電気抵抗を１Ω〜１０9
Ωとしたことを特徴とする請求項１記載の真空容器内電
極の保持方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8079005A JPH09270239A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 真空容器内電極の保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8079005A JPH09270239A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 真空容器内電極の保持方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09270239A true JPH09270239A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=13677844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8079005A Withdrawn JPH09270239A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 真空容器内電極の保持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09270239A (ja) |
-
1996
- 1996-04-01 JP JP8079005A patent/JPH09270239A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |