JPH09274582A - 露光システム - Google Patents
露光システムInfo
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- JPH09274582A JPH09274582A JP8106207A JP10620796A JPH09274582A JP H09274582 A JPH09274582 A JP H09274582A JP 8106207 A JP8106207 A JP 8106207A JP 10620796 A JP10620796 A JP 10620796A JP H09274582 A JPH09274582 A JP H09274582A
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- JP
- Japan
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- remote
- machine
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Information Retrieval, Db Structures And Fs Structures Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 露光システムのネットワーク上に接続されて
いる他の装置内に保存されているデータファイルを使用
可能として、ファイル管理の簡略化を図る。 【解決手段】 複数の露光装置(12,14,20)のメモリ(12
M,14M,20M)及び管理用コンピュータ(10)のメモリ(10M)
に、データファイル(10F,12F,14F,20FA,20FB)が格納さ
れ、これらのうちの参照すべきファイルを指定して動作
モードが選択される。リモート限定モードの場合にはコ
ンピュータ側のデータファイルのみが使用され、リモー
ト優先モードの場合はコンピュータ側のデータファイル
が優先的に使用される。また、自号機限定モードの場合
には該当する露光装置のデータファイルのみが使用さ
れ、自号機優先モードの場合には該当する露光装置のデ
ータファイルが優先的に使用される。
いる他の装置内に保存されているデータファイルを使用
可能として、ファイル管理の簡略化を図る。 【解決手段】 複数の露光装置(12,14,20)のメモリ(12
M,14M,20M)及び管理用コンピュータ(10)のメモリ(10M)
に、データファイル(10F,12F,14F,20FA,20FB)が格納さ
れ、これらのうちの参照すべきファイルを指定して動作
モードが選択される。リモート限定モードの場合にはコ
ンピュータ側のデータファイルのみが使用され、リモー
ト優先モードの場合はコンピュータ側のデータファイル
が優先的に使用される。また、自号機限定モードの場合
には該当する露光装置のデータファイルのみが使用さ
れ、自号機優先モードの場合には該当する露光装置のデ
ータファイルが優先的に使用される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数の露光装置
の各露光動作を管理装置によって統括的に管理する露光
システムにかかり、更に具体的には、露光動作における
データファイルの参照手法の改良に関するものである。
の各露光動作を管理装置によって統括的に管理する露光
システムにかかり、更に具体的には、露光動作における
データファイルの参照手法の改良に関するものである。
【０００２】
【背景技術】従来の露光システムでは、それぞれの露光
装置内にデータファイル（あるいはデータファイル群）
を保存しており、その中から必要なデータ（もしくはデ
ータファイル）を選択して露光動作に使用している。そ
して、他の露光装置や管理装置内に保存されているデー
タファイルを使用するときは、オペレータがデータファ
イルのコピーを行っている。
装置内にデータファイル（あるいはデータファイル群）
を保存しており、その中から必要なデータ（もしくはデ
ータファイル）を選択して露光動作に使用している。そ
して、他の露光装置や管理装置内に保存されているデー
タファイルを使用するときは、オペレータがデータファ
イルのコピーを行っている。
【０００３】図７には、かかる従来システムの一例が示
されており、管理装置であるコンピュータ１００と、複
数の露光装置１０２，１０４，……，１１０がネットワ
ーク上に接続されている。コンピュータ１００や露光装
置１０２，……，１１０は記憶装置１００Ｍ，１０２
Ｍ，……，１１０Ｍを備えており、それらには、露光動
作で参照されるデータファイル１００Ｆ，１０２Ｆ，…
…，１１０Ｆがそれぞれ保存されている。例えば、露光
装置１１０では、自号機内のデータファイル１１０Ｆを
使用して自己の露光動作が実施される。
されており、管理装置であるコンピュータ１００と、複
数の露光装置１０２，１０４，……，１１０がネットワ
ーク上に接続されている。コンピュータ１００や露光装
置１０２，……，１１０は記憶装置１００Ｍ，１０２
Ｍ，……，１１０Ｍを備えており、それらには、露光動
作で参照されるデータファイル１００Ｆ，１０２Ｆ，…
…，１１０Ｆがそれぞれ保存されている。例えば、露光
装置１１０では、自号機内のデータファイル１１０Ｆを
使用して自己の露光動作が実施される。
【０００４】しかし、例えばコンピュータ１００の記憶
装置１００Ｍに保存されているデータファイル１００Ｆ
を露光装置１１０で使用するときは、矢印Ｆ１で示すよ
うに、オペレータがデータファイル１００Ｆを露光装置
１１０の記憶装置１１０Ｍにコピー（あるいは移動）す
る。露光装置１１０では、データファイル１００Ｆを使
用して露光動作が行われる。同様に、露光装置１０４の
記憶装置１０４Ｍに保存されているデータファイル１０
４Ｆを露光装置１１０で使用するときは、矢印Ｆ２で示
すように、オペレータがデータファイル１０４Ｆを露光
装置１１０の記憶装置１１０Ｍにコピー（あるいは移
動）する。露光装置１１０では、データファイル１０４
Ｆを使用して露光動作が行われる。
装置１００Ｍに保存されているデータファイル１００Ｆ
を露光装置１１０で使用するときは、矢印Ｆ１で示すよ
うに、オペレータがデータファイル１００Ｆを露光装置
１１０の記憶装置１１０Ｍにコピー（あるいは移動）す
る。露光装置１１０では、データファイル１００Ｆを使
用して露光動作が行われる。同様に、露光装置１０４の
記憶装置１０４Ｍに保存されているデータファイル１０
４Ｆを露光装置１１０で使用するときは、矢印Ｆ２で示
すように、オペレータがデータファイル１０４Ｆを露光
装置１１０の記憶装置１１０Ｍにコピー（あるいは移
動）する。露光装置１１０では、データファイル１０４
Ｆを使用して露光動作が行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような背景技術では、オペレータが不要になったデータ
ファイルを削除しないと、露光装置のメモリ内のデータ
ファイルの数が増加してしまうという不都合がある。ま
た、露光装置毎にデータファイルを管理するなど、ファ
イル管理に対するオペレータの負担が大きいという不都
合もある。
ような背景技術では、オペレータが不要になったデータ
ファイルを削除しないと、露光装置のメモリ内のデータ
ファイルの数が増加してしまうという不都合がある。ま
た、露光装置毎にデータファイルを管理するなど、ファ
イル管理に対するオペレータの負担が大きいという不都
合もある。
【０００６】本発明は、かかる点に着目したもので、露
光装置のメモリに保存するデータファイル数の増加を招
くことなく、ネットワーク上に接続されている他の装置
内に保存されているデータファイルを使用することがで
き、ファイル管理の簡略化を図ることができる露光シス
テムを提供することを、その目的とする。
光装置のメモリに保存するデータファイル数の増加を招
くことなく、ネットワーク上に接続されている他の装置
内に保存されているデータファイルを使用することがで
き、ファイル管理の簡略化を図ることができる露光シス
テムを提供することを、その目的とする。
【０００７】
【発明の開示】前記目的を達成するため、本発明では、
複数の露光装置(12,14,20)にそれぞれデータファイル(1
2F,14F,20FA,20FB)の格納用の自号機記憶手段(12M,14M,
20M)が設けられる。また、これらの露光装置の各露光動
作を統括的に管理する管理装置(10)には、前記露光装置
の露光動作で共通に参照されるデータファイル(10F)を
格納する共通記憶手段(10M)が設けられる。そして、前
記データファイルのうちの参照すべきファイルを指定し
て動作モード選択手段(10)により動作モードが選択され
る。
複数の露光装置(12,14,20)にそれぞれデータファイル(1
2F,14F,20FA,20FB)の格納用の自号機記憶手段(12M,14M,
20M)が設けられる。また、これらの露光装置の各露光動
作を統括的に管理する管理装置(10)には、前記露光装置
の露光動作で共通に参照されるデータファイル(10F)を
格納する共通記憶手段(10M)が設けられる。そして、前
記データファイルのうちの参照すべきファイルを指定し
て動作モード選択手段(10)により動作モードが選択され
る。
【０００８】リモート限定モードの場合には、前記共通
記憶手段のデータファイルのみが使用される。リモート
優先モードの場合には、前記いずれかの記憶手段のデー
タファイルのうち、共通記憶手段のデータファイルが優
先的に使用される。自号機限定モードの場合には、該当
する露光装置の自号機記憶手段のデータファイルのみが
使用される。自号機優先モードの場合には、前記いずれ
かの記憶手段のデータファイルのうち、該当する露光装
置の自号機記憶手段のデータファイルが優先的に使用さ
れる。
記憶手段のデータファイルのみが使用される。リモート
優先モードの場合には、前記いずれかの記憶手段のデー
タファイルのうち、共通記憶手段のデータファイルが優
先的に使用される。自号機限定モードの場合には、該当
する露光装置の自号機記憶手段のデータファイルのみが
使用される。自号機優先モードの場合には、前記いずれ
かの記憶手段のデータファイルのうち、該当する露光装
置の自号機記憶手段のデータファイルが優先的に使用さ
れる。
【０００９】他の発明によれば、前記リモート限定，リ
モート優先，自号機優先のいずれかの動作モードにおい
て、前記共通記憶手段に格納されたデータファイルが使
用されたときには、ファイルコピー手段(10)によってそ
のデータファイルが自号機記憶手段にコピーされ、露光
動作終了後にコピーしたデータファイルはファイル削除
手段(10)によって削除される。
モート優先，自号機優先のいずれかの動作モードにおい
て、前記共通記憶手段に格納されたデータファイルが使
用されたときには、ファイルコピー手段(10)によってそ
のデータファイルが自号機記憶手段にコピーされ、露光
動作終了後にコピーしたデータファイルはファイル削除
手段(10)によって削除される。
【００１０】更に他の発明によれば、使用すべきデータ
ファイルが存在しない場合には、告知手段(10)によって
相当する告知が行われる。
ファイルが存在しない場合には、告知手段(10)によって
相当する告知が行われる。
【００１１】主要な態様によれば、前記動作モード選択
手段によるデータファイルの指定は、該当する記憶手段
における該当するディレクトリ(DX,DY,DZ,DQ)をデフォ
ルトディレクトリとして指定する動作とともに行われ
る。
手段によるデータファイルの指定は、該当する記憶手段
における該当するディレクトリ(DX,DY,DZ,DQ)をデフォ
ルトディレクトリとして指定する動作とともに行われ
る。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、露光装置のメモリに保
存するデータファイル数の増加を招くことなく、モード
選択という簡便な操作でネットワーク上に接続されてい
る他の装置内に格納されているデータファイルを使用す
ることができる。また、データファイルの管理も簡略化
され、オペレータの負担が低減される。
存するデータファイル数の増加を招くことなく、モード
選択という簡便な操作でネットワーク上に接続されてい
る他の装置内に格納されているデータファイルを使用す
ることができる。また、データファイルの管理も簡略化
され、オペレータの負担が低減される。
【００１３】この発明の前記及び他の目的，特徴，利点
は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。
は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態につい
て、実施例を参照しながら詳細に説明する。この実施例
の露光システムは、図１に示すように、システム全体を
統括的に制御する主制御装置としてのコンピュータ１
０，マスクのパターンを感光基板上に露光するためのサ
ブユニットである複数の露光装置１２，１４，……，２
０を備えており、これらがネットワーク接続されてい
る。これらの各装置１０，１２，……，２０は、いずれ
も記憶装置１０Ｍ，１２Ｍ，……，２０Ｍを備えてい
る。
て、実施例を参照しながら詳細に説明する。この実施例
の露光システムは、図１に示すように、システム全体を
統括的に制御する主制御装置としてのコンピュータ１
０，マスクのパターンを感光基板上に露光するためのサ
ブユニットである複数の露光装置１２，１４，……，２
０を備えており、これらがネットワーク接続されてい
る。これらの各装置１０，１２，……，２０は、いずれ
も記憶装置１０Ｍ，１２Ｍ，……，２０Ｍを備えてい
る。
【００１５】そして、コンピュータ１０の記憶装置１０
Ｍには、各露光装置共通に使用可能な露光動作の条件が
データファイル１０Ｆの形式で格納されている。また、
各露光装置１２，１４，……，２０の記憶装置１２Ｍ，
１４Ｍ，……，２０Ｍには、露光装置毎の露光処理に応
じた動作条件が、データファイル１２Ｆ，１４Ｆ，…
…，２０ＦＡ，２０ＦＢの形式でそれぞれ格納されてい
る。
Ｍには、各露光装置共通に使用可能な露光動作の条件が
データファイル１０Ｆの形式で格納されている。また、
各露光装置１２，１４，……，２０の記憶装置１２Ｍ，
１４Ｍ，……，２０Ｍには、露光装置毎の露光処理に応
じた動作条件が、データファイル１２Ｆ，１４Ｆ，…
…，２０ＦＡ，２０ＦＢの形式でそれぞれ格納されてい
る。
【００１６】コンピュータ１０には、各記憶装置１２，
１４，……，２０の制御を行うためのコントロールパネ
ル３０が設けられており、これによって、（1）記憶装
置のデータファイルを呼び出して複数の露光装置の動作
条件の更新，訂正，あるいは新規条件の設定を行うため
の設定コマンドの入力，（2）この設定コマンドの動作
の指定，（3）前記設定コマンドを使って設定された特
定のデータファイルに基づいて、前記複数の露光装置の
各動作を実行させるための実行コマンドの入力などの必
要な制御指示を択一的に行うことができるように構成さ
れている。
１４，……，２０の制御を行うためのコントロールパネ
ル３０が設けられており、これによって、（1）記憶装
置のデータファイルを呼び出して複数の露光装置の動作
条件の更新，訂正，あるいは新規条件の設定を行うため
の設定コマンドの入力，（2）この設定コマンドの動作
の指定，（3）前記設定コマンドを使って設定された特
定のデータファイルに基づいて、前記複数の露光装置の
各動作を実行させるための実行コマンドの入力などの必
要な制御指示を択一的に行うことができるように構成さ
れている。
【００１７】次に、各記憶装置には、必要数のディレク
トリＤＡ，ＤＢ，……が設定されており、該当するディ
レクトリにデータファイルが格納されている。例えば、
記憶装置２０Ｍを一例として示すと、ディレクトリＤ
Ａ，ＤＢ，……，ＤＱがあり、ディレクトリＤＱにデー
タファイル２０ＦＡ，２０ＦＢがそれぞれ格納されてい
る。
トリＤＡ，ＤＢ，……が設定されており、該当するディ
レクトリにデータファイルが格納されている。例えば、
記憶装置２０Ｍを一例として示すと、ディレクトリＤ
Ａ，ＤＢ，……，ＤＱがあり、ディレクトリＤＱにデー
タファイル２０ＦＡ，２０ＦＢがそれぞれ格納されてい
る。
【００１８】次に、図２〜図６を参照して動作を順に説
明する。図２には全体の動作が示されており、各モード
における個々の動作は図３〜図６にそれぞれ示されてい
る。なお、以下の説明では、露光装置２０で使用される
データファイルの設定の場合を例として説明する。
明する。図２には全体の動作が示されており、各モード
における個々の動作は図３〜図６にそれぞれ示されてい
る。なお、以下の説明では、露光装置２０で使用される
データファイルの設定の場合を例として説明する。
【００１９】オペレータは、まず、管理用のコンピュー
タ１０のコントロールパネル３０によって、自号機，す
なわち露光装置２０で使用したいデータファイルが格納
されているメモリ２０Ｍ内のディレクトリを自号機デフ
ォルトディレクトリとして指定する（図２，ステップＳ
１０）。例えば、図１の例では、データファイル２０Ｆ
Ａ，２０ＦＢがディレクトリＤＱにあるので、ディレク
トリＤＱが露光装置２０の自号機デフォルトディレクト
リとして指定される。
タ１０のコントロールパネル３０によって、自号機，す
なわち露光装置２０で使用したいデータファイルが格納
されているメモリ２０Ｍ内のディレクトリを自号機デフ
ォルトディレクトリとして指定する（図２，ステップＳ
１０）。例えば、図１の例では、データファイル２０Ｆ
Ａ，２０ＦＢがディレクトリＤＱにあるので、ディレク
トリＤＱが露光装置２０の自号機デフォルトディレクト
リとして指定される。
【００２０】コンピュータ１０においても、同様に使用
したいデータファイルが格納されているメモリ１０Ｍ内
のディレクトリをリモートデフォルトディレクトリとし
て指定する（ステップＳ１０）。例えばディレクトリＤ
Ｘが指定される。更に、「自号機優先」「リモート優
先」「自号機限定」「リモート限定」のいずれかの動作
モードも指定する（ステップＳ１０）。更に、該当する
デフォルトディレクトリに複数のデータファイルが存在
するような場合は、それらのうちの使用したいデータフ
ァイルも指定する（ステップＳ１２）。例えば、露光装
置２０の自号機デフォルトディレクトリＤＱには、デー
タファイルが２０ＦＡ，２０ＦＢと２つ存在するので、
いずれか一方，例えばデータファイル２０ＦＡが指定さ
れる。
したいデータファイルが格納されているメモリ１０Ｍ内
のディレクトリをリモートデフォルトディレクトリとし
て指定する（ステップＳ１０）。例えばディレクトリＤ
Ｘが指定される。更に、「自号機優先」「リモート優
先」「自号機限定」「リモート限定」のいずれかの動作
モードも指定する（ステップＳ１０）。更に、該当する
デフォルトディレクトリに複数のデータファイルが存在
するような場合は、それらのうちの使用したいデータフ
ァイルも指定する（ステップＳ１２）。例えば、露光装
置２０の自号機デフォルトディレクトリＤＱには、デー
タファイルが２０ＦＡ，２０ＦＢと２つ存在するので、
いずれか一方，例えばデータファイル２０ＦＡが指定さ
れる。
【００２１】なお、限定の動作モードの場合には、いず
れか一つのデフォルトディレクトリを指定すればよい。
自号機限定モードの場合は露光装置側の自号機デフォル
トディレクトリのみを指定すればよいし、リモート優先
モードの場合はコンピュータ側のリモートデフォルトデ
ィレクトリのみを指定すればよい。
れか一つのデフォルトディレクトリを指定すればよい。
自号機限定モードの場合は露光装置側の自号機デフォル
トディレクトリのみを指定すればよいし、リモート優先
モードの場合はコンピュータ側のリモートデフォルトデ
ィレクトリのみを指定すればよい。
【００２２】次に、コンピュータ１０では、指定された
内容に応じて、まず動作モードが判断される（ステップ
Ｓ１４）。そして、この判断の結果に応じて、該当する
モードの動作が実行される（ステップＳ１６〜Ｓ２
２）。以下、順に説明する。
内容に応じて、まず動作モードが判断される（ステップ
Ｓ１４）。そして、この判断の結果に応じて、該当する
モードの動作が実行される（ステップＳ１６〜Ｓ２
２）。以下、順に説明する。
【００２３】（1）自号機優先モード（図３） この自号機優先モードでは、コンピュータ１０によっ
て、まず、自号機デフォルトディレクトリが検索され
る。そして、自号機デフォルトディレクトリにデータフ
ァイルが見つかったときは（ステップＳ３０のＹ）、そ
のファイルが使用される（ステップＳ３２）。
て、まず、自号機デフォルトディレクトリが検索され
る。そして、自号機デフォルトディレクトリにデータフ
ァイルが見つかったときは（ステップＳ３０のＹ）、そ
のファイルが使用される（ステップＳ３２）。
【００２４】しかし、自号機デフォルトディレクトリか
らデータファイルが発見されなかったときは（ステップ
Ｓ３０のＮ）、リモートデフォルトディレクトリが検索
される。そして、リモートデフォルトディレクトリにデ
ータファイルが見つかったときは（ステップＳ３４の
Ｙ）、コンピュータ１０によってそのデータファイルが
自号機，例えば露光装置２０のメモリ２０Ｍにコピーさ
れる（ステップＳ３６）。露光装置２０では、そのコピ
ーされたデータファイルを使用して露光動作が行われる
（ステップＳ３８）。そして、使用後、コピーされたデ
ータファイルがコンピュータ１０によって削除される
（ステップＳ４０）。
らデータファイルが発見されなかったときは（ステップ
Ｓ３０のＮ）、リモートデフォルトディレクトリが検索
される。そして、リモートデフォルトディレクトリにデ
ータファイルが見つかったときは（ステップＳ３４の
Ｙ）、コンピュータ１０によってそのデータファイルが
自号機，例えば露光装置２０のメモリ２０Ｍにコピーさ
れる（ステップＳ３６）。露光装置２０では、そのコピ
ーされたデータファイルを使用して露光動作が行われる
（ステップＳ３８）。そして、使用後、コピーされたデ
ータファイルがコンピュータ１０によって削除される
（ステップＳ４０）。
【００２５】なお、指定したデータファイルが自号機デ
フォルトディレクトリ及びリモートデフォルトディレク
トリのいずれにも発見されなかったときは（ステップＳ
３４のＮ）、コンピュータ１０によって警告メッセージ
が表示される（ステップＳ４２）。
フォルトディレクトリ及びリモートデフォルトディレク
トリのいずれにも発見されなかったときは（ステップＳ
３４のＮ）、コンピュータ１０によって警告メッセージ
が表示される（ステップＳ４２）。
【００２６】この自号機優先モードは、例えば、コンピ
ュータ１０のメモリ１０Ｍに各露光装置で共通に使用す
るデータファイル，頻繁に使用しないデータファイル，
あるいは各露光装置の記憶装置の容量が少なくて格納す
ることができないデータファイルなどが保存されてお
り、露光装置１２，１４，……，２０のメモリ１２Ｍ，
１４Ｍ，……，２０Ｍに各装置で頻繁に使用するデータ
ファイルがそれぞれ保存されているような場合に好適で
ある。
ュータ１０のメモリ１０Ｍに各露光装置で共通に使用す
るデータファイル，頻繁に使用しないデータファイル，
あるいは各露光装置の記憶装置の容量が少なくて格納す
ることができないデータファイルなどが保存されてお
り、露光装置１２，１４，……，２０のメモリ１２Ｍ，
１４Ｍ，……，２０Ｍに各装置で頻繁に使用するデータ
ファイルがそれぞれ保存されているような場合に好適で
ある。
【００２７】（2）リモート優先モード（図４） このリモート優先モードでは、コンピュータ１０によっ
て、まず、リモートデフォルトディレクトリが検索され
る。そして、リモートデフォルトディレクトリにデータ
ファイルが見つかったときは（ステップＳ５０のＹ）、
コンピュータ１０によってそのデータファイルが自号
機，例えば露光装置２０のメモリ２０Ｍにコピーされる
（ステップＳ５２）。露光装置２０では、そのコピーさ
れたデータファイルを使用して露光動作が行われる（ス
テップＳ５４）。そして、使用後、コピーされたデータ
ファイルがコンピュータ１０によって削除される（ステ
ップＳ５６）。
て、まず、リモートデフォルトディレクトリが検索され
る。そして、リモートデフォルトディレクトリにデータ
ファイルが見つかったときは（ステップＳ５０のＹ）、
コンピュータ１０によってそのデータファイルが自号
機，例えば露光装置２０のメモリ２０Ｍにコピーされる
（ステップＳ５２）。露光装置２０では、そのコピーさ
れたデータファイルを使用して露光動作が行われる（ス
テップＳ５４）。そして、使用後、コピーされたデータ
ファイルがコンピュータ１０によって削除される（ステ
ップＳ５６）。
【００２８】しかし、リモートデフォルトディレクトリ
からデータファイルが発見されなかったときは（ステッ
プＳ５０のＮ）、自号機デフォルトディレクトリが検索
される。そして、自号機デフォルトディレクトリにデー
タファイルが見つかったときは（ステップＳ５８の
Ｙ）、そのファイルが使用される（ステップＳ６０）。
からデータファイルが発見されなかったときは（ステッ
プＳ５０のＮ）、自号機デフォルトディレクトリが検索
される。そして、自号機デフォルトディレクトリにデー
タファイルが見つかったときは（ステップＳ５８の
Ｙ）、そのファイルが使用される（ステップＳ６０）。
【００２９】なお、指定したデータファイルが自号機デ
フォルトディレクトリ及びリモートデフォルトディレク
トリのいずれにも発見されなかったときは（ステップＳ
５８のＮ）、コンピュータ１０によって警告メッセージ
が表示される（ステップＳ６２）。
フォルトディレクトリ及びリモートデフォルトディレク
トリのいずれにも発見されなかったときは（ステップＳ
５８のＮ）、コンピュータ１０によって警告メッセージ
が表示される（ステップＳ６２）。
【００３０】このリモート優先モードは、各露光装置で
頻繁に使用されるデータファイルがコンピュータ１０の
メモリ１０Ｍに格納されているような場合に好適であ
る。 （3）自号機限定モード（図５）
頻繁に使用されるデータファイルがコンピュータ１０の
メモリ１０Ｍに格納されているような場合に好適であ
る。 （3）自号機限定モード（図５）
【００３１】この自号機限定モードでは、コンピュータ
１０によって、自号機デフォルトディレクトリが検索さ
れる。そして、自号機デフォルトディレクトリにデータ
ファイルが見つかったときは（ステップＳ７０のＹ）、
そのファイルが使用される（ステップＳ７２）。リモー
トデフォルトディレクトリは検索されない。そして、指
定したデータファイルが自号機デフォルトディレクトリ
から発見されなかったときは（ステップＳ７０のＮ）、
コンピュータ１０によって警告メッセージが表示される
（ステップＳ７４）。
１０によって、自号機デフォルトディレクトリが検索さ
れる。そして、自号機デフォルトディレクトリにデータ
ファイルが見つかったときは（ステップＳ７０のＹ）、
そのファイルが使用される（ステップＳ７２）。リモー
トデフォルトディレクトリは検索されない。そして、指
定したデータファイルが自号機デフォルトディレクトリ
から発見されなかったときは（ステップＳ７０のＮ）、
コンピュータ１０によって警告メッセージが表示される
（ステップＳ７４）。
【００３２】この自号機限定モードは、露光装置１２，
１４，……，２０のメモリ１２Ｍ，１４Ｍ，……，２０
Ｍに、各装置で頻繁に使用されるデータファイルがそれ
ぞれ保存されているような場合に好適である。
１４，……，２０のメモリ１２Ｍ，１４Ｍ，……，２０
Ｍに、各装置で頻繁に使用されるデータファイルがそれ
ぞれ保存されているような場合に好適である。
【００３３】（4）リモート限定モード（図６） このリモート限定モードでは、コンピュータ１０によっ
て、リモートデフォルトディレクトリが検索される。自
号機デフォルトディレクトリは検索されない。そして、
リモートデフォルトディレクトリにデータファイルが見
つかったときは（ステップＳ８０のＹ）、コンピュータ
１０によってそのデータファイルが自号機，例えば露光
装置２０のメモリ２０Ｍにコピーされる（ステップＳ８
２）。露光装置２０では、そのコピーされたデータファ
イルを使用して露光動作が行われる（ステップＳ８
４）。そして、使用後、コピーされたデータファイルが
コンピュータ１０によって削除される（ステップＳ８
６）。
て、リモートデフォルトディレクトリが検索される。自
号機デフォルトディレクトリは検索されない。そして、
リモートデフォルトディレクトリにデータファイルが見
つかったときは（ステップＳ８０のＹ）、コンピュータ
１０によってそのデータファイルが自号機，例えば露光
装置２０のメモリ２０Ｍにコピーされる（ステップＳ８
２）。露光装置２０では、そのコピーされたデータファ
イルを使用して露光動作が行われる（ステップＳ８
４）。そして、使用後、コピーされたデータファイルが
コンピュータ１０によって削除される（ステップＳ８
６）。
【００３４】他方、指定したデータファイルがリモート
デフォルトディレクトリから発見されなかったときは
（ステップＳ８０のＮ）、コンピュータ１０によって警
告メッセージが表示される（ステップＳ８８）。
デフォルトディレクトリから発見されなかったときは
（ステップＳ８０のＮ）、コンピュータ１０によって警
告メッセージが表示される（ステップＳ８８）。
【００３５】このリモート限定モードは、露光装置側に
使用するデータファイルを保存せず、コンピュータ１０
のメモリ１０Ｍに露光装置１２，１４，……，２０で使
用される全てのデータファイルを保存する場合に好適で
ある。
使用するデータファイルを保存せず、コンピュータ１０
のメモリ１０Ｍに露光装置１２，１４，……，２０で使
用される全てのデータファイルを保存する場合に好適で
ある。
【００３６】以上のように、本実施例によれば、 自号機優先モードの場合には、いずれかのデフォルト
ディレクトリのデータファイルのうち、該当する露光装
置の自号機記憶手段のデータファイルが優先的に使用さ
れる。 リモート優先モードの場合には、いずれかのデフォル
トディレクトリのデータファイルのうち、コンピュータ
側のデータファイルが優先的に使用される。 自号機限定モードの場合には、該当する露光装置の自
号機デフォルトディレクトリのデータファイルのみが使
用される。 リモート限定モードの場合には、コンピュータ側のデ
ータファイルのみが使用される。
ディレクトリのデータファイルのうち、該当する露光装
置の自号機記憶手段のデータファイルが優先的に使用さ
れる。 リモート優先モードの場合には、いずれかのデフォル
トディレクトリのデータファイルのうち、コンピュータ
側のデータファイルが優先的に使用される。 自号機限定モードの場合には、該当する露光装置の自
号機デフォルトディレクトリのデータファイルのみが使
用される。 リモート限定モードの場合には、コンピュータ側のデ
ータファイルのみが使用される。
【００３７】そして、コンピュータ側のデータファイル
が使用されるときは、データファイルがコンピュータ側
から露光装置側にコピーされるが、使用後コピーファイ
ルは削除される。
が使用されるときは、データファイルがコンピュータ側
から露光装置側にコピーされるが、使用後コピーファイ
ルは削除される。
【００３８】このため、本実施例によれば、露光装置の
メモリに保存するデータファイル数の増加を招くことな
く、モード選択という簡便な操作でネットワーク上に接
続されている他の装置内に格納されているデータファイ
ルを使用することができる。また、各露光装置が同一内
容のデータファイルを持つ必要がなくなるため、各露光
装置におけるメモリの空き領域に余裕が生ずる。従っ
て、メモリ容量を低減したり、他のファイルを格納する
などの利点が得られる。更に、１台のコンピュータに保
存されているデータファイルを全ての露光装置が使用す
る場合には、そのデータファイルの内容を変更するだけ
で全ての露光装置のデータファイルを変更したことにな
り、オペレータの作業時間を短縮することができる。
メモリに保存するデータファイル数の増加を招くことな
く、モード選択という簡便な操作でネットワーク上に接
続されている他の装置内に格納されているデータファイ
ルを使用することができる。また、各露光装置が同一内
容のデータファイルを持つ必要がなくなるため、各露光
装置におけるメモリの空き領域に余裕が生ずる。従っ
て、メモリ容量を低減したり、他のファイルを格納する
などの利点が得られる。更に、１台のコンピュータに保
存されているデータファイルを全ての露光装置が使用す
る場合には、そのデータファイルの内容を変更するだけ
で全ての露光装置のデータファイルを変更したことにな
り、オペレータの作業時間を短縮することができる。
【００３９】
【他の実施例】この発明には数多くの実施の形態があ
り、以上の開示に基づいて多様に改変することが可能で
ある。例えば、次のようなものも含まれる。 （1）前記実施例は、全てのデータファイルを１台のコ
ンピュータ上で管理しているような場合であるが、複数
の管理用装置をネットワークで露光装置に接続するよう
な場合にも適用可能である。この場合、データファイル
の保存，管理を複数のコンピュータで分散してよい。
り、以上の開示に基づいて多様に改変することが可能で
ある。例えば、次のようなものも含まれる。 （1）前記実施例は、全てのデータファイルを１台のコ
ンピュータ上で管理しているような場合であるが、複数
の管理用装置をネットワークで露光装置に接続するよう
な場合にも適用可能である。この場合、データファイル
の保存，管理を複数のコンピュータで分散してよい。
【００４０】（2）前記実施例では、リモート優先モー
ド又はリモート限定モードの場合に、管理用のコンピュ
ータのデフォルトディレクトリを使用したが、例えば、
自号機以外の他の露光装置のメモリのディレクトリをリ
モートデフォルトディレクトリとして指定することで、
他の露光装置のデータファイルを使用することも可能で
ある。 （3）前記実施例では、データファイルが最終的に発見
されないときに警告表示を行うこととしたが、警告の手
法としては光，音など適宜の手法でよい。
ド又はリモート限定モードの場合に、管理用のコンピュ
ータのデフォルトディレクトリを使用したが、例えば、
自号機以外の他の露光装置のメモリのディレクトリをリ
モートデフォルトディレクトリとして指定することで、
他の露光装置のデータファイルを使用することも可能で
ある。 （3）前記実施例では、データファイルが最終的に発見
されないときに警告表示を行うこととしたが、警告の手
法としては光，音など適宜の手法でよい。
【００４１】（4）前記実施例では、データファイルの
指定時にその格納ディレクトリも指定したが、ディレク
トリがないような場合，あるいはデータファイルが格納
されているディレクトリが予め決められているような場
合には、データファイルのみを指定すればよい。 （5）前記実施例では、管理用のコンピュータ側でディ
レクトリやファイルを指定することとしたが、もちろん
露光装置側で指定する構成としてもよい。 （6）前記実施例では、４つの動作モードを設けたが、
それらのモードを必ずしも全部備えなくてもよく、必要
に応じて選択してよい。
指定時にその格納ディレクトリも指定したが、ディレク
トリがないような場合，あるいはデータファイルが格納
されているディレクトリが予め決められているような場
合には、データファイルのみを指定すればよい。 （5）前記実施例では、管理用のコンピュータ側でディ
レクトリやファイルを指定することとしたが、もちろん
露光装置側で指定する構成としてもよい。 （6）前記実施例では、４つの動作モードを設けたが、
それらのモードを必ずしも全部備えなくてもよく、必要
に応じて選択してよい。
【図１】この発明の実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】データファイル指定動作を示す全体のフローチ
ャートである。
ャートである。
【図３】自号機優先モードの動作を示すフローチャート
である。
である。
【図４】リモート優先モードの動作を示すフローチャー
トである。
トである。
【図５】自号機限定モードの動作を示すフローチャート
である。
である。
【図６】リモート限定モードの動作を示すフローチャー
トである。
トである。
【図７】背景技術の構成を示すブロック図である。
１０…コンピュータ １２，１４，２０…露光装置 １２Ｍ，１４Ｍ，２０Ｍ…メモリ １０Ｆ，１２Ｆ，１４Ｆ，２０ＦＡ，２０ＦＢ…データ
ファイル ３０…コントロールパネル ＤＡ，ＤＢ，ＤＸ，ＤＹ，ＤＺ，ＤＱ……ディレクトリ
ファイル ３０…コントロールパネル ＤＡ，ＤＢ，ＤＸ，ＤＹ，ＤＺ，ＤＱ……ディレクトリ
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の露光装置；これらの露光装置の各
露光動作を統括的に管理する管理装置；前記各露光装置
にそれぞれ設けられており、露光動作で参照されるデー
タファイルが格納される自号機記憶手段；前記管理装置
に設けられており、前記露光装置の露光動作で共通に参
照されるデータファイルが格納される共通記憶手段；前
記データファイルのうちの参照すべきファイルを指定し
て動作モードを選択するための動作モード選択手段；を
備えており、 前記動作モード選択手段は、 前記共通記憶手段のデータファイルのみを参照するリモ
ート限定モード；前記いずれかの記憶手段のデータファ
イルのうち、共通記憶手段のデータファイルを優先的に
参照するリモート優先モード；該当する露光装置の自号
機記憶手段のデータファイルのみを参照する自号機限定
モード；前記いずれかの記憶手段のデータファイルのう
ち、該当する露光装置の自号機記憶手段のデータファイ
ルを優先的に参照する自号機優先モード；のいずれか一
つを選択することを特徴とする露光システム。 - 【請求項２】 前記リモート限定，リモート優先，自号
機優先のいずれかの動作モードにおいて前記共通記憶手
段に格納されたデータファイルが参照されたときに、そ
のデータファイルを自号機記憶手段にコピーするファイ
ルコピー手段；露光動作終了後にコピーしたデータファ
イルを削除するファイル削除手段；を備えたことを特徴
とする請求項１記載の露光システム。 - 【請求項３】 参照すべきデータファイルが存在しない
場合に、相当する告知を行う告知手段を備えたことを特
徴とする請求項１又は２記載の露光システム。 - 【請求項４】 前記動作モード選択手段によるデータフ
ァイルの指定は、該当する記憶手段における該当するデ
ィレクトリをデフォルトディレクトリとして指定する動
作とともに行うことを特徴とする請求項１，２又は３記
載の露光システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8106207A JPH09274582A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 露光システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8106207A JPH09274582A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 露光システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09274582A true JPH09274582A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=14427722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8106207A Withdrawn JPH09274582A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 露光システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09274582A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100455992B1 (ko) * | 2001-02-23 | 2004-11-15 | 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 | 반도체제조시스템 |
| JP2007103752A (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Nikon Corp | オブジェクトデータのデータ構造、情報処理方法、基板処理方法及び装置、表示方法、並びにプログラム |
| JP2007123608A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Nikon Corp | デバイス製造処理システム、露光装置及び露光方法、測定検査装置及び測定検査方法、並びにデバイス製造方法 |
| JP2009212409A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | 工程制御システム、工程実施装置の管理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム |
| JP2014026041A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Ulvac Japan Ltd | 露光装置及び露光方法 |
-
1996
- 1996-04-03 JP JP8106207A patent/JPH09274582A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100455992B1 (ko) * | 2001-02-23 | 2004-11-15 | 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 | 반도체제조시스템 |
| US6850854B2 (en) | 2001-02-23 | 2005-02-01 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor production system |
| US7526352B2 (en) | 2001-02-23 | 2009-04-28 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor production system |
| JP2007103752A (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Nikon Corp | オブジェクトデータのデータ構造、情報処理方法、基板処理方法及び装置、表示方法、並びにプログラム |
| JP2007123608A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Nikon Corp | デバイス製造処理システム、露光装置及び露光方法、測定検査装置及び測定検査方法、並びにデバイス製造方法 |
| JP2009212409A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Seiko Epson Corp | 工程制御システム、工程実施装置の管理方法、半導体装置の製造方法及びプログラム |
| JP2014026041A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Ulvac Japan Ltd | 露光装置及び露光方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20061011 |