JPH09278408A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
- Publication number
- JPH09278408A JPH09278408A JP11844496A JP11844496A JPH09278408A JP H09278408 A JPH09278408 A JP H09278408A JP 11844496 A JP11844496 A JP 11844496A JP 11844496 A JP11844496 A JP 11844496A JP H09278408 A JPH09278408 A JP H09278408A
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- Japan
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- ozone
- discharge
- supply port
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- Pending
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトで安価でオゾン発生効率および冷
却効率の高いオゾン発生装置を提供する。 【解決手段】 供給口１１と排出口１２とを設けた容器
１と、容器１の中に設けられ、平板状の誘電体を挟んで
放電電極２３と対向電極２２とを設けたオゾン発生素子
２と、放電電極２３に高周波高電圧を印加する電源３と
を備えたオゾン発生装置において、供給口１１と排出口
１２は容器１の一方の側面に設けられ、オゾン発生素子
２は容器１を供給口１１と排出口１２との間に配置さ
れ、かつオゾン発生素子２の端部と容器１の他方の側面
１ｂとの間に空間Ｃを設けてあり、原料ガスが供給口１
１から空間Ｃを介して放電電極２３に供給されるように
してある。
却効率の高いオゾン発生装置を提供する。 【解決手段】 供給口１１と排出口１２とを設けた容器
１と、容器１の中に設けられ、平板状の誘電体を挟んで
放電電極２３と対向電極２２とを設けたオゾン発生素子
２と、放電電極２３に高周波高電圧を印加する電源３と
を備えたオゾン発生装置において、供給口１１と排出口
１２は容器１の一方の側面に設けられ、オゾン発生素子
２は容器１を供給口１１と排出口１２との間に配置さ
れ、かつオゾン発生素子２の端部と容器１の他方の側面
１ｂとの間に空間Ｃを設けてあり、原料ガスが供給口１
１から空間Ｃを介して放電電極２３に供給されるように
してある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、沿面放電によりオ
ゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
ゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、沿面放電式オゾン発生装置は、例
えば図２に示すように、耐オゾン性の高い材料からなる
容器１の中に、１個あるいは複数の放電電極を同一平面
状に配列したオゾン発生素子２を備え、さらにそのオゾ
ン発生素子２を同一平面状に並列に配列したものが開示
されている（例えば、特開平６−１８３７０２号公
報）。この場合、オゾン発生素子２は、平板状のセラミ
ックスからなる誘電体２１の中に平板状の対向電極２２
を埋め込み、誘電体２１の表面には平板状の放電電極２
３を配置し、電源３により放電電極２３に高周波高電圧
を印加するようにしてある。容器１の一方側には供給口
１１を設け、矢印で示すように、酸素分子を含有する原
料ガスを容器１内に供給するようにしてあり、他方側に
は排出口１２を設け、オゾン化ガスを排出するようにし
てある。放電電極２３に高周波高電圧を印加すると、放
電電極２３の端面から誘電体２１の沿面方向に放電が発
生する。原料ガス中の酸素分子が沿面放電領域内に存在
すると、その一部がオゾンになり、排出口１２から排出
される。また、例えば図３に示すように、容器１の中に
管状のオゾン発生素子２を形成したものが開示されてい
る（特開平６−２３４５０７号公報）。すなわち、一方
端が閉塞したガラス管からなる管状の誘電体２１の内壁
に放電電極２３を形成し、誘電体２１の外側に空隙を介
して対向電極２２を配置してある。対向電極２２の外側
には冷却のための冷却水ジャケット１３を設けてある。
この場合、矢印で示すように、管状の誘電体２１の開口
部から供給パイプ１４により閉塞部の方向に原料ガスを
供給し、原料ガスが閉塞部から開口部に回る途中で放電
電極２３による放電によりオゾン化されて、開口部から
誘電体２１の外側を通り、容器１外部に排出される。
えば図２に示すように、耐オゾン性の高い材料からなる
容器１の中に、１個あるいは複数の放電電極を同一平面
状に配列したオゾン発生素子２を備え、さらにそのオゾ
ン発生素子２を同一平面状に並列に配列したものが開示
されている（例えば、特開平６−１８３７０２号公
報）。この場合、オゾン発生素子２は、平板状のセラミ
ックスからなる誘電体２１の中に平板状の対向電極２２
を埋め込み、誘電体２１の表面には平板状の放電電極２
３を配置し、電源３により放電電極２３に高周波高電圧
を印加するようにしてある。容器１の一方側には供給口
１１を設け、矢印で示すように、酸素分子を含有する原
料ガスを容器１内に供給するようにしてあり、他方側に
は排出口１２を設け、オゾン化ガスを排出するようにし
てある。放電電極２３に高周波高電圧を印加すると、放
電電極２３の端面から誘電体２１の沿面方向に放電が発
生する。原料ガス中の酸素分子が沿面放電領域内に存在
すると、その一部がオゾンになり、排出口１２から排出
される。また、例えば図３に示すように、容器１の中に
管状のオゾン発生素子２を形成したものが開示されてい
る（特開平６−２３４５０７号公報）。すなわち、一方
端が閉塞したガラス管からなる管状の誘電体２１の内壁
に放電電極２３を形成し、誘電体２１の外側に空隙を介
して対向電極２２を配置してある。対向電極２２の外側
には冷却のための冷却水ジャケット１３を設けてある。
この場合、矢印で示すように、管状の誘電体２１の開口
部から供給パイプ１４により閉塞部の方向に原料ガスを
供給し、原料ガスが閉塞部から開口部に回る途中で放電
電極２３による放電によりオゾン化されて、開口部から
誘電体２１の外側を通り、容器１外部に排出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記前者の
従来技術では、オゾン発生素子が同一平面上に並列に配
列されているのため、原料ガスが供給口から各放電電極
の放電領域に拡散するとき、供給口から各放電電極まで
の距離が変わり、原料ガスの分布が不均一となり、オゾ
ン発生素子の放電面への原料ガスの供給が非効率的にな
るという問題があった。また、原料ガスは誘電体の一方
の面に接触して流れるだけであるので、冷却効率が悪
く、誘電体の温度上昇を招き、オゾン発生効率が低下す
るという問題があった。後者の従来技術では、オゾン発
生素子が管状であるため、容量を増やすためには直径を
大きくする必要があり、したがってオゾン発生素子自体
の体積が大きくなり、平板状のオゾン発生素子を備えた
オゾン発生装置より高価となるという問題があった。本
発明は、平板状のオゾン発生素子を使用し、原料ガスを
放電電極に対して均一に分布するようにして、コンパク
トで安価でオゾン発生効率および冷却効率の高いオゾン
発生装置を提供することを目的とするものである。
従来技術では、オゾン発生素子が同一平面上に並列に配
列されているのため、原料ガスが供給口から各放電電極
の放電領域に拡散するとき、供給口から各放電電極まで
の距離が変わり、原料ガスの分布が不均一となり、オゾ
ン発生素子の放電面への原料ガスの供給が非効率的にな
るという問題があった。また、原料ガスは誘電体の一方
の面に接触して流れるだけであるので、冷却効率が悪
く、誘電体の温度上昇を招き、オゾン発生効率が低下す
るという問題があった。後者の従来技術では、オゾン発
生素子が管状であるため、容量を増やすためには直径を
大きくする必要があり、したがってオゾン発生素子自体
の体積が大きくなり、平板状のオゾン発生素子を備えた
オゾン発生装置より高価となるという問題があった。本
発明は、平板状のオゾン発生素子を使用し、原料ガスを
放電電極に対して均一に分布するようにして、コンパク
トで安価でオゾン発生効率および冷却効率の高いオゾン
発生装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、供給口と排出口とを設けた容器と、前記
容器の中に設けられ、平板状の誘電体を挟んで放電電極
と対向電極とを設けたオゾン発生素子と、前記放電電極
に高周波高電圧を印加する電源とを備えたオゾン発生装
置において、前記供給口と前記排出口は前記容器の一方
の側面に設けられ、前記オゾン発生素子は前記容器を前
記供給口と前記排出口との間に配置され、かつ前記オゾ
ン発生素子の端部と前記容器の他方の側面との間に空間
を設けてあり、原料ガスが前記供給口から前記空間を介
して前記放電電極に供給されるようにしてあるものであ
る。また、前記対向電極は表面を覆う絶縁板が設けら
れ、前記絶縁板の表面に前記原料ガスの流れの沿って伸
びる冷却フィンを有するヒートシンクを設けてあるもの
である。また、前記冷却フィンは隣り合う冷却フィンと
の間のピッチが、前記供給口に近くなるほど小さくなる
ように配置されているものである。
め、本発明は、供給口と排出口とを設けた容器と、前記
容器の中に設けられ、平板状の誘電体を挟んで放電電極
と対向電極とを設けたオゾン発生素子と、前記放電電極
に高周波高電圧を印加する電源とを備えたオゾン発生装
置において、前記供給口と前記排出口は前記容器の一方
の側面に設けられ、前記オゾン発生素子は前記容器を前
記供給口と前記排出口との間に配置され、かつ前記オゾ
ン発生素子の端部と前記容器の他方の側面との間に空間
を設けてあり、原料ガスが前記供給口から前記空間を介
して前記放電電極に供給されるようにしてあるものであ
る。また、前記対向電極は表面を覆う絶縁板が設けら
れ、前記絶縁板の表面に前記原料ガスの流れの沿って伸
びる冷却フィンを有するヒートシンクを設けてあるもの
である。また、前記冷却フィンは隣り合う冷却フィンと
の間のピッチが、前記供給口に近くなるほど小さくなる
ように配置されているものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
ついて説明する。図１は本発明の実施例を示す（ａ）正
断面図，（ｂ）側断面図および（ｃ）下面を示す平断面
図である。図において、１は容器、１１は容器１の一方
側の側面１ａほぼ上半分の位置に設けた供給口で、酸素
分子を含有する原料ガスを容器１内に供給するようにし
てあり、１２は側面１ａのほぼ下半分の位置に設けた排
出口で、オゾン化ガスを排出するようにしてある。２は
容器１の中の中央に配置されたオゾン発生素子で、その
両面と容器１との間には空間Ａ，Ｂが形成されている。
２１は平板状のセラミックスからなる誘電体で、その一
方端が側面１ａの供給口１１と排出口１２に挟まれた位
置に固定され、他方端は容器１の他方の側面１ｂとの間
に空間Ｃをあけて対向している。２２は誘電体２１の表
面に設けられた平板状の対向電極、２３は誘電体２１の
対向電極２２を設けた側の反対側の表面に等間隔を置い
て並列に配置された複数の平板状の放電電極、２４は対
向電極を覆う絶縁板、３は放電電極２３に高周波高電圧
を印加する電源である。４は絶縁板２４の表面に設けら
れ、かつ端面が容器１に密着されたアルミニウムなどの
熱伝導率の高い材料からなるヒートシンクで、供給口１
１から側面１ｂに向かって原料ガスの流れに沿って伸び
る複数の冷却フィン４１を備えており、隣り合う冷却フ
ィン４１との間のピッチが、供給口１１に近くなるほど
小さくなるように配置されている。
ついて説明する。図１は本発明の実施例を示す（ａ）正
断面図，（ｂ）側断面図および（ｃ）下面を示す平断面
図である。図において、１は容器、１１は容器１の一方
側の側面１ａほぼ上半分の位置に設けた供給口で、酸素
分子を含有する原料ガスを容器１内に供給するようにし
てあり、１２は側面１ａのほぼ下半分の位置に設けた排
出口で、オゾン化ガスを排出するようにしてある。２は
容器１の中の中央に配置されたオゾン発生素子で、その
両面と容器１との間には空間Ａ，Ｂが形成されている。
２１は平板状のセラミックスからなる誘電体で、その一
方端が側面１ａの供給口１１と排出口１２に挟まれた位
置に固定され、他方端は容器１の他方の側面１ｂとの間
に空間Ｃをあけて対向している。２２は誘電体２１の表
面に設けられた平板状の対向電極、２３は誘電体２１の
対向電極２２を設けた側の反対側の表面に等間隔を置い
て並列に配置された複数の平板状の放電電極、２４は対
向電極を覆う絶縁板、３は放電電極２３に高周波高電圧
を印加する電源である。４は絶縁板２４の表面に設けら
れ、かつ端面が容器１に密着されたアルミニウムなどの
熱伝導率の高い材料からなるヒートシンクで、供給口１
１から側面１ｂに向かって原料ガスの流れに沿って伸び
る複数の冷却フィン４１を備えており、隣り合う冷却フ
ィン４１との間のピッチが、供給口１１に近くなるほど
小さくなるように配置されている。
【０００６】このような構成により、供給口１１から供
給された原料ガス２２は、ヒートシンク４の冷却フィン
４１の間の空間Ａを通り、オゾン発生素子２を冷却し
て、オゾン発生素子２の幅方向に拡散しながら空間Ｃで
反転して空間Ｂに入る。空間Ｂで原料ガスは放電電極２
３の表面を流れてオゾン化され、排出口１２から外部に
取り出される。このように、原料ガスは冷却フィンによ
って幅の狭い供給口１１からオゾン発生素子２の幅方向
に拡散し、放電電極２３のある誘電体２１の表面に流さ
れるので、原料ガスの分布が幅方向にほぼ均一となり、
オゾン発生素子の放電面への原料ガスの供給の効率が向
上する。また、誘電体２１は原料ガスが誘電体２１の幅
方向に拡散して冷却するので、誘電体２１の冷却効率が
向上する。
給された原料ガス２２は、ヒートシンク４の冷却フィン
４１の間の空間Ａを通り、オゾン発生素子２を冷却し
て、オゾン発生素子２の幅方向に拡散しながら空間Ｃで
反転して空間Ｂに入る。空間Ｂで原料ガスは放電電極２
３の表面を流れてオゾン化され、排出口１２から外部に
取り出される。このように、原料ガスは冷却フィンによ
って幅の狭い供給口１１からオゾン発生素子２の幅方向
に拡散し、放電電極２３のある誘電体２１の表面に流さ
れるので、原料ガスの分布が幅方向にほぼ均一となり、
オゾン発生素子の放電面への原料ガスの供給の効率が向
上する。また、誘電体２１は原料ガスが誘電体２１の幅
方向に拡散して冷却するので、誘電体２１の冷却効率が
向上する。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、容
器の中に設けた平板状のオゾン発生素子の一方の面から
他方の面に原料ガスが流れるように、原料ガスの供給口
と排出口を設け、オゾン発生素子の一方の面にヒートシ
ンクを配置し、ヒートシンクの冷却フィンによって原料
ガスが供給口からオゾン発生素子の幅方向に拡散するよ
うにして、放電電極の表面に流される原料ガスの分布が
幅方向にほぼ均一になるようにしてあるので、オゾン発
生効率を向上させるとともに、冷却効率を向上させるこ
とができるコンパクトなオゾン発生装置を提供できる効
果がある。
器の中に設けた平板状のオゾン発生素子の一方の面から
他方の面に原料ガスが流れるように、原料ガスの供給口
と排出口を設け、オゾン発生素子の一方の面にヒートシ
ンクを配置し、ヒートシンクの冷却フィンによって原料
ガスが供給口からオゾン発生素子の幅方向に拡散するよ
うにして、放電電極の表面に流される原料ガスの分布が
幅方向にほぼ均一になるようにしてあるので、オゾン発
生効率を向上させるとともに、冷却効率を向上させるこ
とができるコンパクトなオゾン発生装置を提供できる効
果がある。
【図１】 本発明の実施例を示す（ａ）正断面図、
（ｂ）側断面図および（ｃ）平断面図である。
（ｂ）側断面図および（ｃ）平断面図である。
【図２】 従来例を示す正断面図である。
【図３】 他の従来例を示す正断面図である。
１：容器、１ａ、１ｂ：側面、１１：供給口、１２：排
出口、２：オゾン発生素子、２１：誘電体、２２：対向
電極、２３：放電電極、３：電源、４：ヒートシンク、
４１：冷却フィン
出口、２：オゾン発生素子、２１：誘電体、２２：対向
電極、２３：放電電極、３：電源、４：ヒートシンク、
４１：冷却フィン
Claims (3)
- 【請求項１】 供給口と排出口とを設けた容器と、前記
容器の中に設けられ、平板状の誘電体を挟んで放電電極
と対向電極とを設けたオゾン発生素子と、前記放電電極
に高周波高電圧を印加する電源とを備えたオゾン発生装
置において、前記供給口と前記排出口は前記容器の一方
の側面に設けられ、前記オゾン発生素子は前記容器を前
記供給口と前記排出口との間に配置され、かつ前記オゾ
ン発生素子の端部と前記容器の他方の側面との間に空間
を設けてあり、原料ガスが前記供給口から前記空間を介
して前記放電電極に供給されるようにしてあることを特
徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項２】 前記対向電極は表面を覆う絶縁板が設け
られ、かつ前記絶縁板の表面に前記原料ガスの流れに沿
って伸びる冷却フィンを有するヒートシンクを設けられ
ている請求項１記載のオゾン発生装置。 - 【請求項３】 前記冷却フィンは隣り合う冷却フィンと
の間のピッチが、前記供給口に近くなるほど小さくなる
ように配置されている請求項２記載のオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11844496A JPH09278408A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11844496A JPH09278408A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09278408A true JPH09278408A (ja) | 1997-10-28 |
Family
ID=14736802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11844496A Pending JPH09278408A (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09278408A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007084403A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
-
1996
- 1996-04-15 JP JP11844496A patent/JPH09278408A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007084403A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置用放電セル |
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