JPH09283401A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 紫外線を射出する光源部と、前記光源部から射出された紫外線でレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルの像を感光性基板上に転写する投影系部と、装置の一部もしくは全部を収容するチャンバーとを備える露光装置において、任意の部位に湿度除去された気体を供給することを特徴とする露光装置。
2. 前記感光性基板雰囲気に湿度除去された気体を供給することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 感光性基板の存在を検知する手段を備え、感光性基板の有無に応じて湿度除去された気体の供給量を制御することを特徴とする請求項２記載の露光装置。
4. 前記感光性基板の周囲雰囲気の湿度を測定する手段を備えることを特徴とする請求項２又は３記載の露光装置。
5. 湿度除去された気体が供給される雰囲気中で前記感光性基板と接触する部材に静電気除去手段を設けたことを特徴とする請求項２、３又は４記載の露光装置。
6. 前記照明光学系雰囲気に湿度除去された気体を供給することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
7. ガス状不純物除去フィルターと湿度除去手段を備え、前記ガス状不純物除去フィルターを通した気体を前記湿度除去手段に通すことによって湿度除去された気体を得ることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の露光装置。
8. 前記気体は大気を湿度除去したものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の露光装置。
9. 外気から湿度を除去する湿度除去手段を有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
10. 前記外気の湿度をモニターする湿度測定手段と、
    前記湿度測定手段でモニターされた前記外気の湿度に応じて、前記湿度除去手段の湿度除去能力を制御する制御手段とを有することを特徴とする請求項９記載の露光装置。
11. 前記任意の部位は、前記感光性基板の移動経路であることを特徴とする請求項１０記載の露光装置。