JPH09283894A - 混成集積回路装置およびその製造方法 - Google Patents
混成集積回路装置およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH09283894A JPH09283894A JP9544596A JP9544596A JPH09283894A JP H09283894 A JPH09283894 A JP H09283894A JP 9544596 A JP9544596 A JP 9544596A JP 9544596 A JP9544596 A JP 9544596A JP H09283894 A JPH09283894 A JP H09283894A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- resin
- hybrid integrated
- substrate
- circuit device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 52
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
Abstract
これを硬化させて混成集積回路装置とする際、樹脂量を
増大させると、基板周辺から側面に樹脂が流れ不具合が
生じていた。 【解決手段】 金属性の基板を打ち抜くと、打ち抜き面
周辺の角部11は、アールを有し、これと対向する面の
周辺角部12には、突起部ができる。更にはこの突起部
13の下には、破断面15が設けられている。従って打
ち抜き面と対向する面に、樹脂25を塗布すれば、突起
部13がある程度の量を保持し、且つ若干側面に流れて
も破断面15が梨地状を成すため流れを抑制する。
Description
関し、特に混成集積回路基板表面に樹脂を塗布して封止
した混成集積回路装置およびその製造方法に関するもの
である。
り、これは例えば特公昭61−55247号が詳しい。
つまり混成集積回路装置は、金属基板1と、この表面に
絶縁材料2が被覆され、この上に接着されたCuよりな
る導電パターン3,4と、この導電パターン3,4と電
気的に接続された半導体素子等の回路素子5と、この導
電パターンの一部であるパッド3と半田を介して固着さ
れた外部リード6と、この外部リード6と前記回路素子
5とを電気的に接続する金属細線7およびこれらをモー
ルドする樹脂8とを有している。
露出されているものである。
すると、樹脂8は、金型等を用いて決められた形にモー
ルドされているため、モールド装置が必要であったり、
ここでの工程が増加する等の問題があり、混成集積回路
装置のコストが未だ高い問題があった。そのため図2の
ような、構造で解決しようとした。つまりこの構造は、
基板1の裏面および側面を露出した状態にし、基板1の
表面(素子が実装される面)のみに樹脂8を塗布してあ
るので、塗布装置(ディスペンサー)のみで金型も必要
なく簡単な工程で安価な混成集積回路装置が実現できる
ものである。
より多くの回路素子8を実装するのが好ましく、基板1
の周辺ぎりぎりまで回路素子を実装する傾向にある。そ
のため、樹脂8も周辺まで塗布される。しかし硬化前の
樹脂は、ある程度の流動性を有するため、図2のように
基板1側面の下まで流れ出し、製品として好ましくない
ものが発生する問題があった。例えばこの樹脂を塗布
し、焼結工程に入るまで搬送治具に入れておくと、この
中で流れ出し、搬送治具についてしまったり、またベル
ト炉を採用する場合では、ベルト炉手前で樹脂が塗布さ
れ、焼結炉に入って焼結されるわけであるが、この搬送
工程で樹脂が流れ、ベルトと一緒に焼結されてしまった
りする不具合を生じていた。
面の周辺角部は、アールがあるため、このアール部に樹
脂が塗布される様な図2の構成では、樹脂の自重により
流れ出す事が判った。また打ち抜きにより生ずるせん断
面には、縦方向の筋が設けられこの筋に沿って流れてし
まう事も判った。
部品を、混成集積回路基板の打ち抜き面と対向する面に
設け、打ち抜きにより生ずる側面の破断面が、あたかも
梨地形状であるため、塗布される封止樹脂を、前記混成
集積回路基板の破断面で終結させて解決するものであ
る。
を参照しながら説明する。まず例えばプレスにより打ち
抜かれた金属性の混成集積回路基板10がある。この混
成集積回路基板10は、Al、CuやFe等が考えられ
る。これらの混成集積回路基板10は、紙面に対して下
側からプレスで上に打ち抜かれており、混成集積回路基
板10底面の周辺にある角部11は、アールを有してい
る。また混成集積回路基板10上面の周辺にある角部1
2は、実質全周辺に渡り突起部13が設けられ、混成集
積回路基板10の側面には、下側にせん断面14、上側
には破断面15が全周に渡り設けられている。
採用した場合、その表面は、陽極酸化により酸化物が形
成されてもよい。また混成集積回路基板10は、導電性
を有するため、この上に設けられる導電路との短絡を考
慮し全面に絶縁性樹脂16が被着されている。また導電
パターンは、例えばCuより成るもので、配線17、ラ
ンド18、ボンデイング用のパッド19、外部リード用
の固着パッド20等が設けられ、導電ランド18にはベ
アの半導体ICやトランジスタ等のチップ(半導体素
子)21が設けられる。また配線間はチップコンデン
サ、チップ抵抗および印刷抵抗等の回路素子22が半田
や銀ペースト等を介して電気的に接続されている。ここ
では、スクリーン印刷により形成されている印刷抵抗を
示している。更には前記チップ21と配線17を電気的
に接続するため、チップ上の電極とボンディング用のパ
ッド19との間には金属細線23が電気的に接続され、
外部リード用の固着パッド20には半田を介して外部リ
ード24が電気的に接続されている。
レキシブルシートに貼り合わされ、このフレキシブルシ
ートが混成集積回路基板に貼り合わされても良い。そし
て、混成集積回路基板10およびこの上に実装された実
装部品を封止するために、封止用の樹脂25が塗布さ
れ、硬化されている。この樹脂は、例えばエポキシ樹脂
で、中にはガラスフィラーが混入されている。ガラスフ
ィラーを入れることで、基板の熱膨張係数に近づき、ま
た強度を向上させることができ、またチクソ性を付加す
るものである。また樹脂は150000〜250000
cp、硬化剤が50000〜150000cpで、樹脂
対硬化剤の比をおよそ100:120にして、混練した
後のトータル粘度は、約120000cpに成った。硬
化は、まず125度3時間の熱処理が加えられ、更に1
50度3時間の熱処理を加えて成される。
打ち抜くことで発生する破断面15を活用する為に、打
ち抜き面と対向する面に配線等を設け、ここに樹脂25
を塗布することにある。まず打ち抜きにより生ずる突起
部13は、プレスの際に混成集積回路基板10周辺に形
成され、誇張して表現すれば基板周辺が上に持ち上げら
れ皿状を成している。従ってある程度の粘性を有する樹
脂25は、表面張力も手伝って側面に流れることなく有
る程度の量を塗布することができる。しかし図1のよう
に高さのある実装部品、例えば外部リード24、回路素
子21および金属細線23を全て覆うには、塗布する量
を増大しある程度の厚みを有さなければならない。する
とどうしても樹脂が大量に塗布されるため、樹脂25は
混成集積回路基板周辺の一領域から基板の側面に渡り流
れ出そうとする。これは、プレスの際に生ずる突起13
が混成集積回路基板10全周に渡り均一な高さで形成さ
れていれば良いが、不均一であり、高さの低い部分から
希に流れ出るのかも知れない。
る破断面15は、あたかも梨地形状を有するため、筋の
あるせん断面の摩擦係数よりも大きいので、硬化されて
いない樹脂25を、破断面15で止めることができる。
ここでせん断面にある筋は、凹みがあり、この凹みに樹
脂が触れると毛細管現象でより流れ出しが助長されると
も考えられる。
レス面では、せん断面と破断面が実質半分程度ずつ形成
される。この基板に上記の樹脂を塗布し、焼結したもの
を電子顕微鏡で観察してみた。図4は、その電子顕微鏡
写真をトレースしたもので、符号24が半田30を介し
て固着された外部リードで、符号25で示した範囲が破
断面である。つまり樹脂25は、矢印の方向に於いて上
から0.1ミリ程度下の破断面で終結している。
ち抜き面を上にしてあり、角部にアールが形成され、し
かもこのアール部分から下にはあたかも縦の筋を有する
せん断面が設けられてあるため、樹脂の自重でアール部
から流れ出し、筋を通って基板の下まで流れてしまう。
しかし本願は、打ち抜き面と対向する面を上にしている
ため、角部12は逆に突起部13が設けられる程度に上
に持ち上げられ、しかもこの突起部13の下には梨地状
の破断面15が設けられている。この突起部13は前述
したように皿状で樹脂を貯めておく性質を有し、それと
ともに破断面15は樹脂25の流れを抑制する働きを有
するため、一部の樹脂25は基板10表面で止まり、極
一部の樹脂は、殆ど目視でも判らない程度の長さ、下方
に流れて止まる。
ある面)と裏面に於いてエポキシがどの程度載せられる
か実験してみた。基板面積により当然エポキシの量は増
加するが、表と裏では、例えば基板面積が10平方セン
チメートルの時、約23パーセント程度破断面がある面
の方がより多く載せられることが判った。従って、焼結
前の塗布樹脂は、流れても破断面の極一部で止まった状
態であり、搬送治具に入れても搬送治具底部にまで流れ
ず焼結できる。またベルト炉に於いても、樹脂塗布後、
樹脂は破断面で止まりそのまま焼結炉にはいるため、樹
脂が基板裏面まで流れず焼結できる。
き面と対向する面に配線、これと電気的に接続する電子
部品を実装し、この実装面周囲に形成される突起部を利
用して、硬化前の塗布樹脂を基板表面にとどめておくこ
とができる。またこの突起部の下側に、基板の厚みの半
分程度まで形成される破断面が形成されてあるため、た
とえ樹脂が流れても、破断面が梨地状を有するために樹
脂の流れを抑制することができる。
突起部および破断面は樹脂の流れを抑制するため、塗布
された混成集積回路基板を焼結炉に投入しても、樹脂流
れの抑制した製品を製造することができる。従って、基
板裏面を露出させることができると共に簡単な方法で樹
脂を塗布することができるため、安価で放熱性の優れた
混成集積回路装置を実現できる。
断面図である。
ある。
明した図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 電子部品が実装されて所定の回路を有
し、少なくとも表面が絶縁性を有する金属性の混成集積
回路基板と、 この混成集積回路装置の回路と電気的に接続されたパッ
ドに固着された外部リードと、 前記外部リードの固着部、前記混成集積回路基板表面お
よび前記電子部品を封止する封止樹脂とを有する混成集
積回路装置に於いて、 前記電子部品は、前記混成集積回路基板の打ち抜き面と
対向する面に設けられ、前記対向する面に塗布される封
止樹脂は、前記混成集積回路基板の破断面で終結するこ
とを特徴とした混成集積回路装置。 - 【請求項2】 打ち抜き面を下にした混成集積回路基板
の上に配線、これと電気的に接続される実装部品を設
け、 この混成集積回路基板に設けられた実装部品を覆うよう
に樹脂を塗布し、前記打ち抜き面と対向する面と連続し
て設けられた破断面を活用して前記樹脂の流れを抑制し
ながら前記樹脂を硬化することを特徴した混成集積回路
装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09544596A JP3547902B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 混成集積回路装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09544596A JP3547902B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 混成集積回路装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283894A true JPH09283894A (ja) | 1997-10-31 |
| JP3547902B2 JP3547902B2 (ja) | 2004-07-28 |
Family
ID=14137897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09544596A Expired - Fee Related JP3547902B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 混成集積回路装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3547902B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014233799A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | 株式会社京写 | プリント配線板およびその製造方法 |
| JP2018098467A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | Jx金属株式会社 | 回路基板用金属板、回路基板、パワーモジュール、金属板成形品及び、回路基板の製造方法 |
-
1996
- 1996-04-17 JP JP09544596A patent/JP3547902B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014233799A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | 株式会社京写 | プリント配線板およびその製造方法 |
| JP2018098467A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | Jx金属株式会社 | 回路基板用金属板、回路基板、パワーモジュール、金属板成形品及び、回路基板の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3547902B2 (ja) | 2004-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3462979B2 (ja) | 半導体装置 | |
| US5455386A (en) | Chamfered electronic package component | |
| US20020025602A1 (en) | Microelectronic assembly with pre-disposed fill material and associated method of manufacture | |
| JP7206198B2 (ja) | 表面が粗化された粒子を有するパッケージングされた半導体デバイス | |
| CN110211940B (zh) | 用于改善半导体裸片拐角上的粘合剂圆角部的引线框 | |
| JPH063819B2 (ja) | 半導体装置の実装構造および実装方法 | |
| JP2004158753A (ja) | リードフレーム材及びその製造方法、並びに半導体装置及びその製造方法 | |
| US5548087A (en) | Molded plastic packaging of electronic devices | |
| JP4069574B2 (ja) | ディスプレイドライバモジュールおよびその製造方法 | |
| US20080142949A1 (en) | Semiconductor Assembly for Improved Device Warpage and Solder Ball Coplanarity | |
| JP2003017625A (ja) | インターポーザおよび半導体パッケージ | |
| CN103762200B (zh) | 芯片封装件及其封装方法 | |
| JP2000114295A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP3547902B2 (ja) | 混成集積回路装置およびその製造方法 | |
| JP3421591B2 (ja) | 混成集積回路装置の製造方法 | |
| US20080042255A1 (en) | Chip package structure and fabrication method thereof | |
| CN100533721C (zh) | 芯片封装结构及其制造方法 | |
| CN118507455A (zh) | 半导体封装件中的管芯板支座 | |
| KR20080074468A (ko) | 초음파를 이용한 반도체 칩의 표면실장방법 | |
| US20060199302A1 (en) | Semiconductor device and a manufacturing method of the same | |
| JP4573472B2 (ja) | 混成集積回路装置 | |
| JP2002373956A (ja) | 半導体装置 | |
| JP7676341B2 (ja) | 半導体装置 | |
| KR19980068172A (ko) | 볼 그리드 어레이 반도체 패키지의 구조 및 그 제조 방법 | |
| JP2572570B2 (ja) | ピンレスパッケージの実装方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20031224 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040127 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20040330 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040415 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090423 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090423 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100423 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110423 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120423 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130423 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |