JPH09285151A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH09285151A JPH09285151A JP8098258A JP9825896A JPH09285151A JP H09285151 A JPH09285151 A JP H09285151A JP 8098258 A JP8098258 A JP 8098258A JP 9825896 A JP9825896 A JP 9825896A JP H09285151 A JPH09285151 A JP H09285151A
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- Japan
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- vibration
- electrode
- ultrasonic motor
- drive
- piezoelectric body
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各種情報機器の動力源として使用される超音
波モータにおいて、この駆動源である圧電体の振動検出
をより正確に行うことを目的とする。 【解決手段】 超音波モータの駆動源である圧電体１上
にあって、その振動を検出する振動検出電極５からの取
出線と、圧電体１に駆動電圧を印加する駆動導線１１の
間に共通のグランド線１０を配し、駆動電圧が振動検出
信号に与える影響を抑制し、より正確な振動検出を行
う。
波モータにおいて、この駆動源である圧電体の振動検出
をより正確に行うことを目的とする。 【解決手段】 超音波モータの駆動源である圧電体１上
にあって、その振動を検出する振動検出電極５からの取
出線と、圧電体１に駆動電圧を印加する駆動導線１１の
間に共通のグランド線１０を配し、駆動電圧が振動検出
信号に与える影響を抑制し、より正確な振動検出を行
う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種情報機器に搭載
される超音波モータに関する。
される超音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、超音波モータの駆動源となる圧電
体に電圧を印可する手段に関して特開昭６２−２６０５
６７号公報に記載されたものが知られている。
体に電圧を印可する手段に関して特開昭６２−２６０５
６７号公報に記載されたものが知られている。
【０００３】図５は超音波モータの圧電体に電圧を印加
する手段を示しており、図５においてフレキＰ板２８上
に圧電体上の駆動電極及び振動検出電極との接続部２９
のパターンが形成されており取出部３０にて外部の駆動
回路との接続を行う。
する手段を示しており、図５においてフレキＰ板２８上
に圧電体上の駆動電極及び振動検出電極との接続部２９
のパターンが形成されており取出部３０にて外部の駆動
回路との接続を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この駆動電極に印加す
る正弦波状の駆動電圧は通常前記振動検出電極からの正
弦波状の振動検出信号に比べ２〜１０倍高い電圧である
ため、これらの電極から外部に電気的な導通を取出すた
めの導線が互いに隣接した場合、干渉しあって正確な振
動検出信号とはならないため、前記振動検出信号を用い
て制御をかけた場合に誤動作を引き起こす原因となる。
る正弦波状の駆動電圧は通常前記振動検出電極からの正
弦波状の振動検出信号に比べ２〜１０倍高い電圧である
ため、これらの電極から外部に電気的な導通を取出すた
めの導線が互いに隣接した場合、干渉しあって正確な振
動検出信号とはならないため、前記振動検出信号を用い
て制御をかけた場合に誤動作を引き起こす原因となる。
【０００５】また振動検出電極が複数個あり振動体の振
動の波形に対して位置がそれぞれずれているときは、各
々の振動検出信号に位相差があり、互いに干渉しあって
振動検出信号の正確さを欠く原因となる。
動の波形に対して位置がそれぞれずれているときは、各
々の振動検出信号に位相差があり、互いに干渉しあって
振動検出信号の正確さを欠く原因となる。
【０００６】また通常前記駆動電極と前記振動検出電極
は前記圧電体上で隣り合わせているため、前記のような
理由により前記振動検出電極の信号が前記駆動電圧に干
渉され正確な振動の情報とはならず、同様に複数の振動
検出電極が隣り合わせている圧電体においては、各々の
信号が干渉しあい正確な振動情報とはならない。
は前記圧電体上で隣り合わせているため、前記のような
理由により前記振動検出電極の信号が前記駆動電圧に干
渉され正確な振動の情報とはならず、同様に複数の振動
検出電極が隣り合わせている圧電体においては、各々の
信号が干渉しあい正確な振動情報とはならない。
【０００７】本発明はこのような超音波モータの駆動源
である振動体の振動検出信号の取出方法において、より
正確な振動検出を行うことを実現することを目的とす
る。
である振動体の振動検出信号の取出方法において、より
正確な振動検出を行うことを実現することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波モータの
電極取出方法において駆動電極取出の導線と振動検出電
極取出の導線の間及び、複数ある振動検出電極の取出導
線間に、共通のグランド取出の導線を配し互いの信号の
干渉を抑制し、より正確な振動検出を行うことを実現す
るものである。
電極取出方法において駆動電極取出の導線と振動検出電
極取出の導線の間及び、複数ある振動検出電極の取出導
線間に、共通のグランド取出の導線を配し互いの信号の
干渉を抑制し、より正確な振動検出を行うことを実現す
るものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明は、超音波モータの駆動源
である圧電体上の駆動電極からの取出導線と振動検出電
極からの取出導線の間に、前記圧電体の振動振幅を増幅
するため接着等により固着され、共通のグランドである
弾性体からのグランド取出の導線を挟み、前記駆動電極
に印加する駆動電圧が前記振動検出電極からの信号に与
える影響をグランド取出の導線で吸収し、より正確な振
動検出を行う作用を有する。
である圧電体上の駆動電極からの取出導線と振動検出電
極からの取出導線の間に、前記圧電体の振動振幅を増幅
するため接着等により固着され、共通のグランドである
弾性体からのグランド取出の導線を挟み、前記駆動電極
に印加する駆動電圧が前記振動検出電極からの信号に与
える影響をグランド取出の導線で吸収し、より正確な振
動検出を行う作用を有する。
【００１０】また、前記振動体の振動検出を行うための
振動検出電極を複数枚設けた超音波モータにおいて、各
々の振動検出電極からの取出導線の間に共通のグランド
である前記弾性体からの取出導線を配し、互いの振動検
出信号の干渉を抑制し、より正確な振動検出を行う作用
を有する。
振動検出電極を複数枚設けた超音波モータにおいて、各
々の振動検出電極からの取出導線の間に共通のグランド
である前記弾性体からの取出導線を配し、互いの振動検
出信号の干渉を抑制し、より正確な振動検出を行う作用
を有する。
【００１１】また、超音波モータの駆動源である圧電体
上の駆動電極と振動検出電極の間に駆動にも検出にも関
与しない電極を設け、共通のグランドである前記弾性体
に接続され、駆動電圧が振動検出電極からの信号に与え
る影響を抑制しより正確な振動情報を得る作用を有す
る。
上の駆動電極と振動検出電極の間に駆動にも検出にも関
与しない電極を設け、共通のグランドである前記弾性体
に接続され、駆動電圧が振動検出電極からの信号に与え
る影響を抑制しより正確な振動情報を得る作用を有す
る。
【００１２】さらに、圧電体上に設けられた振動検出電
極が複数枚隣接して配置されているときに、互いの振動
検出信号が干渉しないように各々の電極の間に駆動にも
検出にも関与しない電極を配し、この電極と共通のグラ
ンドである前記弾性体とを短絡し、より正確な振動情報
を得る作用を有する。
極が複数枚隣接して配置されているときに、互いの振動
検出信号が干渉しないように各々の電極の間に駆動にも
検出にも関与しない電極を配し、この電極と共通のグラ
ンドである前記弾性体とを短絡し、より正確な振動情報
を得る作用を有する。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図を用いて
説明する。
説明する。
【００１４】（実施例１）図１において、超音波モータ
の振動源となる圧電体１にその振動を増幅させるための
弾性体２を固着し振動体３を形成する。前記圧電体１上
には前記振動体３の表面に周方向３波の弾性進行波を発
生させるために、２枚の駆動電極４に互いに９０°位相
のずれた正弦波状の周波電圧をそれぞれ印加する。この
ように発生させた振動を電荷の移動量に変換する振動検
出電極５からの正弦波状の信号を用いて超音波モータの
振動速度制御を行う。このとき外部から電圧を印加する
ために前記圧電体１の振動振幅が小さい内周部付近にフ
レキＰ板６を配し、駆動電極接続部７を介して前記駆動
電極４、共通のグランドである前記弾性体２にグランド
接続部８、検出電極接続部９を介して前記検出電極５に
それぞれ半田付けもしくは導電性接着剤にて接続する。
駆動導線１１と検出導線１２の間に共通のグランド線１
０が位置するように電気的な取出を行い外部の駆動回路
に接続する。前記振動検出電極５の正弦波状の信号は前
記駆動電極４に印加する正弦波状の駆動電圧の１０〜２
分の１のピーク電圧であるため、駆動電圧が振動検出信
号に与える影響を前記グランド線にて吸収しより正確な
振動検出を行うことができる。
の振動源となる圧電体１にその振動を増幅させるための
弾性体２を固着し振動体３を形成する。前記圧電体１上
には前記振動体３の表面に周方向３波の弾性進行波を発
生させるために、２枚の駆動電極４に互いに９０°位相
のずれた正弦波状の周波電圧をそれぞれ印加する。この
ように発生させた振動を電荷の移動量に変換する振動検
出電極５からの正弦波状の信号を用いて超音波モータの
振動速度制御を行う。このとき外部から電圧を印加する
ために前記圧電体１の振動振幅が小さい内周部付近にフ
レキＰ板６を配し、駆動電極接続部７を介して前記駆動
電極４、共通のグランドである前記弾性体２にグランド
接続部８、検出電極接続部９を介して前記検出電極５に
それぞれ半田付けもしくは導電性接着剤にて接続する。
駆動導線１１と検出導線１２の間に共通のグランド線１
０が位置するように電気的な取出を行い外部の駆動回路
に接続する。前記振動検出電極５の正弦波状の信号は前
記駆動電極４に印加する正弦波状の駆動電圧の１０〜２
分の１のピーク電圧であるため、駆動電圧が振動検出信
号に与える影響を前記グランド線にて吸収しより正確な
振動検出を行うことができる。
【００１５】（実施例２）図２において、超音波モータ
の振動源である振動体３の振動を検出するために、前記
振動体３上に固着された圧電体１上に２枚の振動検出電
極１３を有する超音波モータにおいて、前記振動検出電
極１３からの各々の検出導線１７の間に、共通のグラン
ドである弾性体２からグランド接続部１４を介して取出
したグランド線１８を挟むように配し、互いの振動検出
信号どうしが与えあう影響を前記グランド線１８で吸収
させることでより正確な振動検出を行うことができる。
このとき実施の形態１に記載するように駆動導線１９と
前記検出導線１７の間にも前記グランド線１８を配する
ことは言うまでもない。
の振動源である振動体３の振動を検出するために、前記
振動体３上に固着された圧電体１上に２枚の振動検出電
極１３を有する超音波モータにおいて、前記振動検出電
極１３からの各々の検出導線１７の間に、共通のグラン
ドである弾性体２からグランド接続部１４を介して取出
したグランド線１８を挟むように配し、互いの振動検出
信号どうしが与えあう影響を前記グランド線１８で吸収
させることでより正確な振動検出を行うことができる。
このとき実施の形態１に記載するように駆動導線１９と
前記検出導線１７の間にも前記グランド線１８を配する
ことは言うまでもない。
【００１６】（実施例３）図３において、超音波モータ
の振動源となる圧電体１にその振動を増幅させるための
弾性体２を固着し振動体３を形成する。前記圧電体１上
には前記振動体３の表面に周方向３波の弾性進行波を発
生させるために、２枚の駆動電極４に互いに９０°位相
のずれた正弦波状の周波電圧をそれぞれ印加する。この
ように発生させた振動を電荷量変化に変換する振動検出
電極５からの正弦波状の信号を用いて超音波モータの振
動速度制御を行う。前記駆動電極４と前記振動検出電極
２１の間に駆動にも検出にも関与しない電極を形成し、
グランド線２２を介して共通のグランドである前記弾性
体２に接続する。このとき外部の駆動回路と電気的な導
通をとるためにフラットケーブル２３を前記圧電体１の
振動振幅の小さい内周部近傍に電極の順番に半田付けも
しくは導電性の接着剤にて接続する。こうすることで前
記駆動電極４と前記振動検出電極２０の間にグランド線
を配することとなり、前記駆動電極４に印加する正弦波
状の駆動電圧が前記駆動検出電極２０からの正弦波状の
振動検出信号に与える影響を抑制することができ、より
正確な振動検出を行うことができる。
の振動源となる圧電体１にその振動を増幅させるための
弾性体２を固着し振動体３を形成する。前記圧電体１上
には前記振動体３の表面に周方向３波の弾性進行波を発
生させるために、２枚の駆動電極４に互いに９０°位相
のずれた正弦波状の周波電圧をそれぞれ印加する。この
ように発生させた振動を電荷量変化に変換する振動検出
電極５からの正弦波状の信号を用いて超音波モータの振
動速度制御を行う。前記駆動電極４と前記振動検出電極
２１の間に駆動にも検出にも関与しない電極を形成し、
グランド線２２を介して共通のグランドである前記弾性
体２に接続する。このとき外部の駆動回路と電気的な導
通をとるためにフラットケーブル２３を前記圧電体１の
振動振幅の小さい内周部近傍に電極の順番に半田付けも
しくは導電性の接着剤にて接続する。こうすることで前
記駆動電極４と前記振動検出電極２０の間にグランド線
を配することとなり、前記駆動電極４に印加する正弦波
状の駆動電圧が前記駆動検出電極２０からの正弦波状の
振動検出信号に与える影響を抑制することができ、より
正確な振動検出を行うことができる。
【００１７】（実施例４）図４において、超音波モータ
の振動源である振動体３の振動を検出するため、前記振
動体上に固着された圧電体１上に２枚の振動検出電極２
５を有する超音波モータにおいて、前記２枚の振動検出
電極２５の間に駆動にも検出にも関与しないグランド電
極２４を形成する。第３の実施例に記載するように前記
圧電体１上の駆動電極４と前記振動検出電極２５の間に
も同様のグランド電極２４を配し、共通のグランドであ
る前記弾性体２にグランド線２６を介して接続する。こ
のとき外部の駆動回路と電気的な導通をとるためにフラ
ットケーブル２７を前記圧電体１の振動振幅の小さい内
周部に電極の順番に半田付けもしくは導電性接着剤にて
接続する。このことで前記２枚の振動検出電極２５の
間、前記駆動電極４と前記振動検出電極２５の間にグラ
ンドを配することとなり相互の正弦波状の振動検出信号
間に干渉しあう影響、正弦波状の駆動電圧が正弦波状の
振動検出信号に与える影響を抑制することができ、より
正確な振動検出を行うことができる。
の振動源である振動体３の振動を検出するため、前記振
動体上に固着された圧電体１上に２枚の振動検出電極２
５を有する超音波モータにおいて、前記２枚の振動検出
電極２５の間に駆動にも検出にも関与しないグランド電
極２４を形成する。第３の実施例に記載するように前記
圧電体１上の駆動電極４と前記振動検出電極２５の間に
も同様のグランド電極２４を配し、共通のグランドであ
る前記弾性体２にグランド線２６を介して接続する。こ
のとき外部の駆動回路と電気的な導通をとるためにフラ
ットケーブル２７を前記圧電体１の振動振幅の小さい内
周部に電極の順番に半田付けもしくは導電性接着剤にて
接続する。このことで前記２枚の振動検出電極２５の
間、前記駆動電極４と前記振動検出電極２５の間にグラ
ンドを配することとなり相互の正弦波状の振動検出信号
間に干渉しあう影響、正弦波状の駆動電圧が正弦波状の
振動検出信号に与える影響を抑制することができ、より
正確な振動検出を行うことができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、超音波モ
ータの駆動源である圧電体に外部と電気的な接続を行う
際により安定した正確な振動検出信号が得られ、それに
伴ってより正確な制御を行うことができる。
ータの駆動源である圧電体に外部と電気的な接続を行う
際により安定した正確な振動検出信号が得られ、それに
伴ってより正確な制御を行うことができる。
【図１】本発明の実施例を示す電極取出構造を示す斜視
図
図
【図２】本発明の第２の実施例を示す電極取出構造を示
す斜視図
す斜視図
【図３】本発明の第３の実施例を示す圧電体電極構造を
示す斜視図
示す斜視図
【図４】本発明の第４の実施例を示す圧電体電極構造を
示す斜視図
示す斜視図
【図５】超音波モータの圧電体に電圧を印加する手段を
示す図
示す図
１ 圧電体 ２ 弾性体 ３ 振動体 ４ 駆動電極 ５，１３，２０，２５ 振動検出電極 ６，１６，２８ フレキＰ板 ７ 駆動電極接続部 ８，１４ グランド接続部 ９，１５ 検出電極接続部 １０，１８，２２ グランド線 １１，１９ 駆動導線 １２，１７ 検出導線 ２１，２４，２６ グランド電極 ２３，２７ フラットケーブル ２９ 電極接続部 ３０ 取出部
Claims (4)
- 【請求項１】超音波モータの駆動源となる弾性進行波を
励振するのに外部から電界を加えるための駆動電極と、
その振動量を電荷の移動量に変換するための振動検出電
極を備えた圧電体に、その振動量を増幅するための弾性
体を接着等により固着した振動体を備えた超音波モータ
において、前記圧電体の駆動電極と振動検出電極からそ
れぞれ外部に電気的な導通をとるために用いる導線の間
に、共通のグランドである前記弾性体に接続された導線
を挟むことを特徴とした超音波モータ。 - 【請求項２】圧電体上にあって振動体の振動を検出する
ための振動検出電極を複数に分割した超音波モータにお
いて、各振動検出電極から各々外部に電気的な導通を取
出すために用いる導線の間に、共通のグランドである弾
性体に接続された導線を挟むことを特徴とした超音波モ
ータ。 - 【請求項３】超音波モータの駆動源となる弾性進行波を
励振するのに外部から電界を加えるための駆動電極と、
その振動量を電荷の移動量に変換するための振動検出電
極を備えた圧電体に、その振動量を増幅するための弾性
体を接着等によって固着した振動体を駆動源とする超音
波モータにおいて、前記圧電体の駆動電極と振動検出電
極の間に駆動にも検出にも関与しない電極を設け、この
電極と共通のグランドである前記弾性体とを短絡したこ
とを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項４】圧電体上にあって振動体の振動を検出する
振動検出電極を複数に分割した超音波モータにおいて、
各振動検出電極の間に駆動にも検出にも関与しない電極
を設け、この電極と共通のグランドである弾性体と短絡
させたことを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8098258A JPH09285151A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8098258A JPH09285151A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09285151A true JPH09285151A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14214937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8098258A Pending JPH09285151A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09285151A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017005794A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置 |
| JP2017005795A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置及び医用システム |
-
1996
- 1996-04-19 JP JP8098258A patent/JPH09285151A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017005794A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置 |
| JP2017005795A (ja) * | 2015-06-05 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置及び医用システム |
| US10363105B2 (en) | 2015-06-05 | 2019-07-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration actuator suitable for use in magnetic field environment and medical system |
| US10396270B2 (en) | 2015-06-05 | 2019-08-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration actuator that is easy in conduction inspection |
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