JPH09286020A - スライシングマシンのブレード変位制御装置 - Google Patents
スライシングマシンのブレード変位制御装置Info
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- JPH09286020A JPH09286020A JP10022596A JP10022596A JPH09286020A JP H09286020 A JPH09286020 A JP H09286020A JP 10022596 A JP10022596 A JP 10022596A JP 10022596 A JP10022596 A JP 10022596A JP H09286020 A JPH09286020 A JP H09286020A
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- displacement
- piezoelectric element
- air pad
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ブレードの変位を広範囲で制御することができ
るスライシングマシンのブレード変位制御装置を提供す
る。 【解決手段】エアパッド２８を圧電素子４０を介してブ
レード１６の軸線方向に移動自在に設ける。圧電素子４
０は、印加電圧に応じて歪み、その歪によってエアパッ
ド２８をブレード１６の軸線に沿って移動させる。これ
により、エアパッド２８とブレード１６との間隔を調整
することができ、ブレード１６にかかるエア圧を制御す
ることができる。したがって、エアパッド２８から噴射
するエアのエア圧のみを可変させて制御する方式に比
べ、ブレード１６の変位をコントロールできる幅が拡大
する。
るスライシングマシンのブレード変位制御装置を提供す
る。 【解決手段】エアパッド２８を圧電素子４０を介してブ
レード１６の軸線方向に移動自在に設ける。圧電素子４
０は、印加電圧に応じて歪み、その歪によってエアパッ
ド２８をブレード１６の軸線に沿って移動させる。これ
により、エアパッド２８とブレード１６との間隔を調整
することができ、ブレード１６にかかるエア圧を制御す
ることができる。したがって、エアパッド２８から噴射
するエアのエア圧のみを可変させて制御する方式に比
べ、ブレード１６の変位をコントロールできる幅が拡大
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はスライシングマシン
のブレード変位制御装置に係り、特に半導体素子の素材
となるシリコン等のインゴットをウェーハに切断するス
ライシングマシンのブレード変位制御装置に関する。
のブレード変位制御装置に係り、特に半導体素子の素材
となるシリコン等のインゴットをウェーハに切断するス
ライシングマシンのブレード変位制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年のウェーハの大型化に伴い、スライ
シングマシンのブレードも大径化傾向にある。ここで問
題となるのが、切断中にブレードが変形してウェーハに
反りが生じるということである。このため、切断中のブ
レードの反りを防止するための対策が、種々なされてい
る。例えば、切断中に磁力発生手段で発生させた磁力に
よりブレードの変位をコントロールする方法や、エアパ
ッドから噴射したエアのエア圧によりブレードの変位を
コントロールする方法である。
シングマシンのブレードも大径化傾向にある。ここで問
題となるのが、切断中にブレードが変形してウェーハに
反りが生じるということである。このため、切断中のブ
レードの反りを防止するための対策が、種々なされてい
る。例えば、切断中に磁力発生手段で発生させた磁力に
よりブレードの変位をコントロールする方法や、エアパ
ッドから噴射したエアのエア圧によりブレードの変位を
コントロールする方法である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法では、発生できる磁力やエア圧に限界があるため、制
御できるブレードの変位量も自ずと制限されてしまうと
いう欠点がある。本発明はこのような事情に鑑みてなさ
れたもので、ブレードの変位を広範囲で制御することが
できるスライシングマシンのブレード変位制御装置を提
供することを目的とする。
法では、発生できる磁力やエア圧に限界があるため、制
御できるブレードの変位量も自ずと制限されてしまうと
いう欠点がある。本発明はこのような事情に鑑みてなさ
れたもので、ブレードの変位を広範囲で制御することが
できるスライシングマシンのブレード変位制御装置を提
供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、回転するブレ
ードの内周刃にインゴットを押し当てて、該インゴット
をウェーハに切断するスライシングマシンであって、前
記ブレードの軸線方向の変位をエアパッドから噴射する
エアのエア圧で制御するスライシングマシンのブレード
変位制御装置において、前記エアパッドを前記ブレード
の軸線方向に沿って駆動手段により移動させ、該エアパ
ッドとブレードとの間隔を可変させることにより、前記
ブレードの変位を制御することを特徴とする。
ードの内周刃にインゴットを押し当てて、該インゴット
をウェーハに切断するスライシングマシンであって、前
記ブレードの軸線方向の変位をエアパッドから噴射する
エアのエア圧で制御するスライシングマシンのブレード
変位制御装置において、前記エアパッドを前記ブレード
の軸線方向に沿って駆動手段により移動させ、該エアパ
ッドとブレードとの間隔を可変させることにより、前記
ブレードの変位を制御することを特徴とする。
【０００５】また、本発明は、回転するブレードの内周
刃にインゴットを押し当てて、該インゴットをウェーハ
に切断するスライシングマシンであって、前記ブレード
の軸線方向の変位をエアパッドから噴射するエアのエア
圧で制御するスライシングマシンのブレード変位制御装
置において、前記エアパッドに圧電素子を設け、該圧電
素子に誘起される電圧から前記ブレードの変位を検出
し、その検出値に基づいて前記エアパッドから噴射する
エアのエア圧を制御することを特徴とする。
刃にインゴットを押し当てて、該インゴットをウェーハ
に切断するスライシングマシンであって、前記ブレード
の軸線方向の変位をエアパッドから噴射するエアのエア
圧で制御するスライシングマシンのブレード変位制御装
置において、前記エアパッドに圧電素子を設け、該圧電
素子に誘起される電圧から前記ブレードの変位を検出
し、その検出値に基づいて前記エアパッドから噴射する
エアのエア圧を制御することを特徴とする。
【０００６】請求項１記載の発明によれば、エアパッド
は、ブレードに対して進退移動自在に設けられている。
これにより、ブレードとエアパッドとの間隔を可変する
ことができ、ブレードが受けるエア圧を可変することが
できる。したがって、エアパッドの噴射エア圧のみを可
変させて制御する方式に比べ、ブレードの変位をコント
ロールできる幅が拡大する。
は、ブレードに対して進退移動自在に設けられている。
これにより、ブレードとエアパッドとの間隔を可変する
ことができ、ブレードが受けるエア圧を可変することが
できる。したがって、エアパッドの噴射エア圧のみを可
変させて制御する方式に比べ、ブレードの変位をコント
ロールできる幅が拡大する。
【０００７】また、請求項３記載の発明によれば、エア
パッドに設けた圧電素子をブレードの変位を検出する検
出器として利用することにより、ブレードの変位状況を
常に監視でき、より正確な変位制御が可能になる。ま
た、ブレードの変位を検出するセンサを別途設ける必要
がなくなるので、インゴットの切断部近傍にエアパッド
を設置することができ、効果的な変位制御を行なうこと
ができる。
パッドに設けた圧電素子をブレードの変位を検出する検
出器として利用することにより、ブレードの変位状況を
常に監視でき、より正確な変位制御が可能になる。ま
た、ブレードの変位を検出するセンサを別途設ける必要
がなくなるので、インゴットの切断部近傍にエアパッド
を設置することができ、効果的な変位制御を行なうこと
ができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るスライシングマシンのブレード変位制御装置の実施の
形態について詳説する。図１は、本発明に係るブレード
変位制御装置が適用されたスライシングマシンの第１の
実施の形態の構成図である。
るスライシングマシンのブレード変位制御装置の実施の
形態について詳説する。図１は、本発明に係るブレード
変位制御装置が適用されたスライシングマシンの第１の
実施の形態の構成図である。
【０００９】同図に示すように、スピンドル１０の上端
部には、チャックボディ１２が連結されており、チャッ
クボディ１２は、スピンドル１０に連結されたモータ１
４に駆動されて回転する。前記チャックボディ１２の上
端内周部には、ドーナツ状に形成されたブレード１６が
張り上げられている。ブレード１６は、内周部にダイヤ
モンド砥粒を電着固定した内周刃１６Ａが形成されてお
り、インゴット１８は、この高速回転するブレード１６
の内周刃１６Ａに押し付けられて、ウェーハに切断され
る。
部には、チャックボディ１２が連結されており、チャッ
クボディ１２は、スピンドル１０に連結されたモータ１
４に駆動されて回転する。前記チャックボディ１２の上
端内周部には、ドーナツ状に形成されたブレード１６が
張り上げられている。ブレード１６は、内周部にダイヤ
モンド砥粒を電着固定した内周刃１６Ａが形成されてお
り、インゴット１８は、この高速回転するブレード１６
の内周刃１６Ａに押し付けられて、ウェーハに切断され
る。
【００１０】前記チャックボディ１２の上方には、イン
ゴット１８を支持するワーク支持台２０が設けられてい
る。ワーク支持台２０には、図中Ｘ−Ｘ方向に移動する
切断送り機構２２及び図中Ｚ−Ｚ方向に移動するワーク
割り出し機構２４が接続されており、前記インゴット１
８は、これら切断送り機構２２及びワーク割出し機構２
４に駆動されて、図中Ｘ−Ｘ方向及びＺ−Ｚ方向に移動
する。そして、図中Ｘ−Ｘ方向に移動することにより、
高速回転するブレード１６の内周刃１６Ａに押し付けら
れてウェーハに切断される。また、これら切断送り機構
２２及びワーク割出し機構２４は、制御装置２６で駆動
制御されており、該制御装置２６から出力される指令信
号に基づいて移動する。
ゴット１８を支持するワーク支持台２０が設けられてい
る。ワーク支持台２０には、図中Ｘ−Ｘ方向に移動する
切断送り機構２２及び図中Ｚ−Ｚ方向に移動するワーク
割り出し機構２４が接続されており、前記インゴット１
８は、これら切断送り機構２２及びワーク割出し機構２
４に駆動されて、図中Ｘ−Ｘ方向及びＺ−Ｚ方向に移動
する。そして、図中Ｘ−Ｘ方向に移動することにより、
高速回転するブレード１６の内周刃１６Ａに押し付けら
れてウェーハに切断される。また、これら切断送り機構
２２及びワーク割出し機構２４は、制御装置２６で駆動
制御されており、該制御装置２６から出力される指令信
号に基づいて移動する。
【００１１】前記ブレード１６の上方には、図２に示す
ように、１対のエアパッド２８、２８が所定の間隔をも
って配設されている。エアパッド２８、２８は、切断中
のインゴット１８の両側に位置するように配置され、そ
の近傍には、前記ブレード１６の軸方向の変位を検出す
るブレードセンサ３０、３０が配置されている。図３
は、前記エアパッド２８の支持部の構成を示す側面断面
図である。同図に示すように、前記エアパッド２８は、
シャフト３２と、そのシャフト３２の先端に設けられた
パッド３３とから構成されている。このエアパッド２８
は、ホルダー３４に保持されており、そのシャフト３２
の部分をホルダー３４に形成された孔３４Ａに嵌入され
て、固定ボルト３６で固定されている。
ように、１対のエアパッド２８、２８が所定の間隔をも
って配設されている。エアパッド２８、２８は、切断中
のインゴット１８の両側に位置するように配置され、そ
の近傍には、前記ブレード１６の軸方向の変位を検出す
るブレードセンサ３０、３０が配置されている。図３
は、前記エアパッド２８の支持部の構成を示す側面断面
図である。同図に示すように、前記エアパッド２８は、
シャフト３２と、そのシャフト３２の先端に設けられた
パッド３３とから構成されている。このエアパッド２８
は、ホルダー３４に保持されており、そのシャフト３２
の部分をホルダー３４に形成された孔３４Ａに嵌入され
て、固定ボルト３６で固定されている。
【００１２】また、前記シャフト３２の上端部には、ネ
ジ部３２Ａが形成されており、該ネジ部３２Ａは、前記
孔３４Ａの上部に回動自在に設けられたナット３８に螺
合されている。そして、このナット３８を回動させるこ
とにより、前記シャフト３２は、孔３４Ａに沿って摺動
し、これにより、ブレード１６とエアパッド２８との間
隔を調整することができる。
ジ部３２Ａが形成されており、該ネジ部３２Ａは、前記
孔３４Ａの上部に回動自在に設けられたナット３８に螺
合されている。そして、このナット３８を回動させるこ
とにより、前記シャフト３２は、孔３４Ａに沿って摺動
し、これにより、ブレード１６とエアパッド２８との間
隔を調整することができる。
【００１３】前記ホルダー３４の上端部図中右側には、
張出部３４Ｂが形成されており、該張出部３４Ｂは、圧
電素子４０を介して支持部材４２にボルト４４で結合さ
れている。ここで、前記ボルト４４は、先端部にのみネ
ジ部が形成されており、ネジ部は、前記支持部材４２に
のみ螺合されている。一方、前記張出部３４Ｂには、前
記ボルト４４のヘッド部が摺動する孔３４Ｃが穿設され
ており、これにより、前記エアパッド２８を含めたホル
ダー３４及び圧電素子４０は、ボルト４４に沿って上下
動することができる。
張出部３４Ｂが形成されており、該張出部３４Ｂは、圧
電素子４０を介して支持部材４２にボルト４４で結合さ
れている。ここで、前記ボルト４４は、先端部にのみネ
ジ部が形成されており、ネジ部は、前記支持部材４２に
のみ螺合されている。一方、前記張出部３４Ｂには、前
記ボルト４４のヘッド部が摺動する孔３４Ｃが穿設され
ており、これにより、前記エアパッド２８を含めたホル
ダー３４及び圧電素子４０は、ボルト４４に沿って上下
動することができる。
【００１４】また、前記孔３４Ｃ内には、スプリング４
６が収納されており、前記張出部３４Ｂ及び圧電素子４
０は、このスプリング４６に押圧されることにより、支
持部材４２に密着する。前記のごとく支持されたエアパ
ッド２８は、圧電素子４０に電圧を印加し、該圧電素子
４０を歪ませると、その歪に応じてブレード１６に対し
進退移動を行なう。すなわち、圧電素子４０に電圧を印
加し、該圧電素子４０を歪ませると、エアパッド２８を
保持したホルダー３４が、前記圧電素子４０の歪に押圧
される。この結果、ホルダー３４がスプリング４６の付
勢力に抗して上昇し、該ホルダー３４に保持されたエア
パッド２８がブレード１６に対して上昇する。逆に、圧
電素子４０に印加する電圧を減少させれば、圧電素子４
０に生じる歪は減少するので、この結果、エアパッド２
８がブレード１６に対して下降する。
６が収納されており、前記張出部３４Ｂ及び圧電素子４
０は、このスプリング４６に押圧されることにより、支
持部材４２に密着する。前記のごとく支持されたエアパ
ッド２８は、圧電素子４０に電圧を印加し、該圧電素子
４０を歪ませると、その歪に応じてブレード１６に対し
進退移動を行なう。すなわち、圧電素子４０に電圧を印
加し、該圧電素子４０を歪ませると、エアパッド２８を
保持したホルダー３４が、前記圧電素子４０の歪に押圧
される。この結果、ホルダー３４がスプリング４６の付
勢力に抗して上昇し、該ホルダー３４に保持されたエア
パッド２８がブレード１６に対して上昇する。逆に、圧
電素子４０に印加する電圧を減少させれば、圧電素子４
０に生じる歪は減少するので、この結果、エアパッド２
８がブレード１６に対して下降する。
【００１５】前記エアパッド２８から噴射する圧縮エア
は、図１に示すように、エア供給装置４８から供給さ
れ、該エア供給装置４８は、制御装置２６から出力され
る指令信号に基づいた圧力のエアをエアパッド２８に供
給する。また、同図に示すように、前記圧電素子４０に
印加される電圧は、電圧供給装置５０から供給され、該
電圧供給装置５０は、制御装置２６から出力される指令
信号に基づいた電圧を前記圧電素子４０に印加する。
は、図１に示すように、エア供給装置４８から供給さ
れ、該エア供給装置４８は、制御装置２６から出力され
る指令信号に基づいた圧力のエアをエアパッド２８に供
給する。また、同図に示すように、前記圧電素子４０に
印加される電圧は、電圧供給装置５０から供給され、該
電圧供給装置５０は、制御装置２６から出力される指令
信号に基づいた電圧を前記圧電素子４０に印加する。
【００１６】これらエア供給装置４８及び電圧供給装置
５０を制御する制御装置２６は、ブレードセンサ３０で
検出されたブレード１６の変位情報に基づいてエア供給
装置４８及び電圧供給装置５０を駆動制御する。前記の
ごとく構成された本発明に係るスライシングマシンのブ
レード変位制御装置の実施の形態の作用は、次の通りで
ある。
５０を制御する制御装置２６は、ブレードセンサ３０で
検出されたブレード１６の変位情報に基づいてエア供給
装置４８及び電圧供給装置５０を駆動制御する。前記の
ごとく構成された本発明に係るスライシングマシンのブ
レード変位制御装置の実施の形態の作用は、次の通りで
ある。
【００１７】まず、モータ１４を駆動して、ブレード１
６を高速回転させる。これと同時に、エア供給装置４８
から所定圧のエアがエアパッド２８に供給され、ブレー
ド１６に向けて噴射される。この結果、ブレード１６
は、所定量下方に変位し、この所定量下方に変位した状
態をブレード１６の切断基準位置として切断が開始され
る。すなわち、インゴット１８が、切断送り機構２２に
駆動されて高速回転するブレード１６の内周刃１６Ａに
向かって移動し、該内周刃１６Ａに押し付けられてウェ
ーハに切断される。
６を高速回転させる。これと同時に、エア供給装置４８
から所定圧のエアがエアパッド２８に供給され、ブレー
ド１６に向けて噴射される。この結果、ブレード１６
は、所定量下方に変位し、この所定量下方に変位した状
態をブレード１６の切断基準位置として切断が開始され
る。すなわち、インゴット１８が、切断送り機構２２に
駆動されて高速回転するブレード１６の内周刃１６Ａに
向かって移動し、該内周刃１６Ａに押し付けられてウェ
ーハに切断される。
【００１８】切断中、ブレード１６は、様々な要因、例
えば、切断抵抗の変化やチャックボディ１２内の気圧の
変化等により変位する。このブレード１６の変位は、常
時ブレードセンサ３０で検出されており、その検出値情
報が制御装置２６に出力される。制御装置２６は、この
ブレードセンサ３０から出力されるブレード１６の変位
情報に基づいてエア供給装置４８を駆動制御し、エアパ
ッド２８に供給するエアのエア圧を可変する。
えば、切断抵抗の変化やチャックボディ１２内の気圧の
変化等により変位する。このブレード１６の変位は、常
時ブレードセンサ３０で検出されており、その検出値情
報が制御装置２６に出力される。制御装置２６は、この
ブレードセンサ３０から出力されるブレード１６の変位
情報に基づいてエア供給装置４８を駆動制御し、エアパ
ッド２８に供給するエアのエア圧を可変する。
【００１９】例えば、ブレード１６が上方に変位した場
合は、ブレード１６の変位が零になるまでエアパッド２
８に供給するエア圧を増加し、逆に、下方に変位した場
合は、供給するエア圧を減少する。このように、ブレー
ド１６の変位状況を監視し、矯正することにより、ブレ
ード１６は、常に切断基準位置を維持した状態でインゴ
ット１８を切断することができる。
合は、ブレード１６の変位が零になるまでエアパッド２
８に供給するエア圧を増加し、逆に、下方に変位した場
合は、供給するエア圧を減少する。このように、ブレー
ド１６の変位状況を監視し、矯正することにより、ブレ
ード１６は、常に切断基準位置を維持した状態でインゴ
ット１８を切断することができる。
【００２０】しかしながら、前記エア供給装置４８から
供給できるエアには限界があり、この限界を越えた場合
は、制御不可能となる。そこで、エアの供給限界を越え
た場合、制御装置２６は、電圧供給装置５０を駆動し、
圧電素子４０に電圧を印加して、エアパッド２８をブレ
ード１６に対して進退移動させる。これにより、ブレー
ド１６とエアパッド２８との間隔が可変し、ブレード１
６が受けるエア圧が可変して、再びブレード１６の変位
制御が可能になる。
供給できるエアには限界があり、この限界を越えた場合
は、制御不可能となる。そこで、エアの供給限界を越え
た場合、制御装置２６は、電圧供給装置５０を駆動し、
圧電素子４０に電圧を印加して、エアパッド２８をブレ
ード１６に対して進退移動させる。これにより、ブレー
ド１６とエアパッド２８との間隔が可変し、ブレード１
６が受けるエア圧が可変して、再びブレード１６の変位
制御が可能になる。
【００２１】例えば、エア供給装置４８から供給できる
最大圧でエアを噴射したにもかかわらず、ブレード１６
が上方に変位している場合は、エアパッド２８をブレー
ド１６に向けて移動させて、その間隔を狭める。これに
より、ブレード１６が受けるエア圧が増加し、この結
果、ブレード１６が下方に変位して、その変位が矯正さ
れる。
最大圧でエアを噴射したにもかかわらず、ブレード１６
が上方に変位している場合は、エアパッド２８をブレー
ド１６に向けて移動させて、その間隔を狭める。これに
より、ブレード１６が受けるエア圧が増加し、この結
果、ブレード１６が下方に変位して、その変位が矯正さ
れる。
【００２２】このように、本実施の形態のスライシング
マシンのブレード変位制御装置によれば、エアパッド２
８から噴射するエア圧の調整によるブレード１６の変位
の制御に加え、ブレード１６とエアパッド２８との間隔
を変えることによるエア圧の制御でブレード１６の変位
の制御を行なうことができるため、広範囲に渡ったブレ
ード１６の変位制御を行なうことができる。これによ
り、平坦ウェーハの切断においては、ウェーハの切断精
度が向上し、また、反り切断（切断されるウェーハに規
定の反りを与えて切断する方式）においては、ウェーハ
の形状のコントロールを広範囲に行なうことができる。
マシンのブレード変位制御装置によれば、エアパッド２
８から噴射するエア圧の調整によるブレード１６の変位
の制御に加え、ブレード１６とエアパッド２８との間隔
を変えることによるエア圧の制御でブレード１６の変位
の制御を行なうことができるため、広範囲に渡ったブレ
ード１６の変位制御を行なうことができる。これによ
り、平坦ウェーハの切断においては、ウェーハの切断精
度が向上し、また、反り切断（切断されるウェーハに規
定の反りを与えて切断する方式）においては、ウェーハ
の形状のコントロールを広範囲に行なうことができる。
【００２３】また、エアパッド２８の移動に圧電素子４
０を利用することにより、コントロールの応答性が速く
なり、この結果、変位に迅速に対応した制御が可能にな
る。これにより、より高精度のウェーハの切断が可能に
なる。なお、この構成のブレード変位制御装置において
は、次のような制御方法も可能である。
０を利用することにより、コントロールの応答性が速く
なり、この結果、変位に迅速に対応した制御が可能にな
る。これにより、より高精度のウェーハの切断が可能に
なる。なお、この構成のブレード変位制御装置において
は、次のような制御方法も可能である。
【００２４】すなわち、エア供給装置４８からは、一定
圧のエアを供給し、エアパッド２８とブレード１６との
間隔を可変することにより、ブレード１６の変位を制御
する。例えば、ブレード１６が上方に変位した場合は、
圧電素子４０の印加電圧を増加させて下方に歪ませ、エ
アパッド２８を下降させる。これにより、ブレード１６
とエアパッド２８との間隔が狭まり、ブレード１６が受
けるエア圧が上昇し、ブレード１６が下降する。したが
って、ブレード１６の変位が零になるまで圧電素子４０
の印加電圧を増加させ、ブレード１６とエアパッド２８
との間隔を狭めてゆくことにより、変位は矯正される。
圧のエアを供給し、エアパッド２８とブレード１６との
間隔を可変することにより、ブレード１６の変位を制御
する。例えば、ブレード１６が上方に変位した場合は、
圧電素子４０の印加電圧を増加させて下方に歪ませ、エ
アパッド２８を下降させる。これにより、ブレード１６
とエアパッド２８との間隔が狭まり、ブレード１６が受
けるエア圧が上昇し、ブレード１６が下降する。したが
って、ブレード１６の変位が零になるまで圧電素子４０
の印加電圧を増加させ、ブレード１６とエアパッド２８
との間隔を狭めてゆくことにより、変位は矯正される。
【００２５】一方、ブレード１６が下方に変位した場合
は、圧電素子４０に印加電圧を減少させて上方に歪ま
せ、エアパッド２８を上昇させる。これにより、ブレー
ド１６とエアパッド２８との間隔が拡がり、ブレード１
６が受けるエア圧が減少し、ブレード１６が上昇する。
したがって、ブレード１６の変位が零になるまで圧電素
子４０の印加電圧を減少させ、ブレード１６とエアパッ
ド２８との間隔を拡げてゆくことにより、変位は矯正さ
れる。
は、圧電素子４０に印加電圧を減少させて上方に歪ま
せ、エアパッド２８を上昇させる。これにより、ブレー
ド１６とエアパッド２８との間隔が拡がり、ブレード１
６が受けるエア圧が減少し、ブレード１６が上昇する。
したがって、ブレード１６の変位が零になるまで圧電素
子４０の印加電圧を減少させ、ブレード１６とエアパッ
ド２８との間隔を拡げてゆくことにより、変位は矯正さ
れる。
【００２６】このエアパッド２８の上下動のみで、ブレ
ード１６の変位を制御する方法によれば、圧電素子４０
でエアパッド２８を移動させるため、前述したように、
コントロールの応答性が速くなり、ブレード１６の変位
に迅速に対応した制御が可能になる。また、エアパッド
２８に供給するエア圧の制御と、エアパッド２８の上下
動の制御を各々個別に行なうのではなく、両方を組み合
わせて制御を行なうことも可能である。
ード１６の変位を制御する方法によれば、圧電素子４０
でエアパッド２８を移動させるため、前述したように、
コントロールの応答性が速くなり、ブレード１６の変位
に迅速に対応した制御が可能になる。また、エアパッド
２８に供給するエア圧の制御と、エアパッド２８の上下
動の制御を各々個別に行なうのではなく、両方を組み合
わせて制御を行なうことも可能である。
【００２７】さらに、本実施の形態では、コントロール
の応答性を考慮して、エアパッド２８の上下動の駆動に
は、圧電素子４０を使用したが、これに代えてシリンダ
や、サーボモータ等でエアパッド２８を上下動させる構
成を採ってもよい。また、本実施の形態では、エアパッ
ド２８から噴射されるエア圧でブレード１６の変位を制
御する場合について説明したが、エアパッド２８に代え
て磁力発生手段から発生する磁力でブレード１６の変位
を制御する場合についても同様に適用することができ
る。すなわち、磁力発生手段もブレード１６との間隔が
狭まれば、より強い磁力をブレード１６に作用すること
ができ、逆に間隔が拡がれば、その作用は弱くなるの
で、同様の効果を得ることができる。
の応答性を考慮して、エアパッド２８の上下動の駆動に
は、圧電素子４０を使用したが、これに代えてシリンダ
や、サーボモータ等でエアパッド２８を上下動させる構
成を採ってもよい。また、本実施の形態では、エアパッ
ド２８から噴射されるエア圧でブレード１６の変位を制
御する場合について説明したが、エアパッド２８に代え
て磁力発生手段から発生する磁力でブレード１６の変位
を制御する場合についても同様に適用することができ
る。すなわち、磁力発生手段もブレード１６との間隔が
狭まれば、より強い磁力をブレード１６に作用すること
ができ、逆に間隔が拡がれば、その作用は弱くなるの
で、同様の効果を得ることができる。
【００２８】図４は、本発明に係るブレード変位制御装
置が適用されたスライシングマシンの第２の実施の形態
の構成図である。なお、前記第１の実施の形態のスライ
シングマシンと同一部材、同一装置には、同一符号を付
してその説明を省略する。前記第１の実施の形態では、
ブレード１６の変位は、ブレードセンサ３０で検出して
いた。第２の実施の形態では、このブレード１６の変位
を圧電素子４０を用いて検出する。
置が適用されたスライシングマシンの第２の実施の形態
の構成図である。なお、前記第１の実施の形態のスライ
シングマシンと同一部材、同一装置には、同一符号を付
してその説明を省略する。前記第１の実施の形態では、
ブレード１６の変位は、ブレードセンサ３０で検出して
いた。第２の実施の形態では、このブレード１６の変位
を圧電素子４０を用いて検出する。
【００２９】圧電素子４０は、前述したように、電圧を
印加すると、その印加電圧に応じた歪を生じる。その一
方で、応力を受けると、その受けた応力に応じた電圧を
誘起するという性質を有している。この応力を受けて電
圧を誘起するという圧電素子の性質を利用し、次のよう
にして、ブレード１６の変位を検出する。エアパッド２
８は、前記第１の実施の形態と同一の支持方式で支持す
る。すなわち、図３に示すように、圧電素子４０を介し
てブレード１６に対して垂直に進退移動自在に設ける。
印加すると、その印加電圧に応じた歪を生じる。その一
方で、応力を受けると、その受けた応力に応じた電圧を
誘起するという性質を有している。この応力を受けて電
圧を誘起するという圧電素子の性質を利用し、次のよう
にして、ブレード１６の変位を検出する。エアパッド２
８は、前記第１の実施の形態と同一の支持方式で支持す
る。すなわち、図３に示すように、圧電素子４０を介し
てブレード１６に対して垂直に進退移動自在に設ける。
【００３０】ここで、エアパッド２８にエア圧ＰO のエ
アを供給したとする。ブレード１６は、エアパッド２８
から噴射されたエアに押圧されて下側に変位するが、こ
のときのエアパッド２８とブレード１６との間隔をＧ、
エアパッド２８とブレード１６との間に生じている圧力
をＰ1 とすれば、ＧとＰ1 には、一定の関係が成り立
つ。
アを供給したとする。ブレード１６は、エアパッド２８
から噴射されたエアに押圧されて下側に変位するが、こ
のときのエアパッド２８とブレード１６との間隔をＧ、
エアパッド２８とブレード１６との間に生じている圧力
をＰ1 とすれば、ＧとＰ1 には、一定の関係が成り立
つ。
【００３１】すなわち、エアパッド２８に供給するエア
圧ＰO を増加すれば、エアパッド２８とブレード１６と
の間に生じている圧力Ｐ1 も増加し、これに応じてエア
パッド２８とブレード１６との間隔Ｇも拡がる。また、
ブレード１６が変位して、その間隔Ｇが変わった場合に
あっても、それに応じてエアパッド２８とブレード１６
との間に生じている圧力Ｐ1 も変化する。
圧ＰO を増加すれば、エアパッド２８とブレード１６と
の間に生じている圧力Ｐ1 も増加し、これに応じてエア
パッド２８とブレード１６との間隔Ｇも拡がる。また、
ブレード１６が変位して、その間隔Ｇが変わった場合に
あっても、それに応じてエアパッド２８とブレード１６
との間に生じている圧力Ｐ1 も変化する。
【００３２】一方、エアパッド２８とブレード１６との
間に生じている圧力Ｐ1 は、ブレード１６を下方に押圧
するとともに、その反力でエアパッド２８を上方に押圧
する。このエアパッド２８を押圧する力（＝Ｐ1 ）は、
ホルダー３４を介して圧電素子４０に伝達され、結果、
圧電素子４０にその押圧力（＝Ｐ1 ）に応じた電圧Ｖを
誘起させる。
間に生じている圧力Ｐ1 は、ブレード１６を下方に押圧
するとともに、その反力でエアパッド２８を上方に押圧
する。このエアパッド２８を押圧する力（＝Ｐ1 ）は、
ホルダー３４を介して圧電素子４０に伝達され、結果、
圧電素子４０にその押圧力（＝Ｐ1 ）に応じた電圧Ｖを
誘起させる。
【００３３】したがって、エアパッド２８とブレード１
６との間隔Ｇが変化した場合は、それに応じて圧電素子
４０に誘起される電圧Ｖも変化するので、この圧電素子
４０に誘起される電圧Ｖを検出すれば、エアパッド２８
とブレード１６との間隔Ｇが検出される。このエアパッ
ド２８とブレード１６との間隔Ｇと、圧電素子４０に誘
起される電圧Ｖとの相関データを各供給エア圧ＰO ごと
に採取しておくことにより、供給エア圧ＰO を変えた場
合であっても、その時の供給エア圧ＰO と圧電素子４０
に誘起される電圧Ｖを検出すれば、エアパッド２８とブ
レード１６との間隔Ｇが検出される。
６との間隔Ｇが変化した場合は、それに応じて圧電素子
４０に誘起される電圧Ｖも変化するので、この圧電素子
４０に誘起される電圧Ｖを検出すれば、エアパッド２８
とブレード１６との間隔Ｇが検出される。このエアパッ
ド２８とブレード１６との間隔Ｇと、圧電素子４０に誘
起される電圧Ｖとの相関データを各供給エア圧ＰO ごと
に採取しておくことにより、供給エア圧ＰO を変えた場
合であっても、その時の供給エア圧ＰO と圧電素子４０
に誘起される電圧Ｖを検出すれば、エアパッド２８とブ
レード１６との間隔Ｇが検出される。
【００３４】制御装置２６には、この各供給エア圧ＰO
ごとの間隔Ｇと電圧Ｖの相関データが、あらかじめ入力
されており、一方、圧電素子４０には、図４に示すよう
に、誘起される電圧Ｖを検出する電圧計５２が設けられ
ている。この電圧計５２で検出される圧電素子４０の誘
起電圧Ｖの検出値は、制御装置２６に出力され、制御装
置２６は、この電圧計５２の検出値に基づいてエア供給
装置４８を制御し、ブレード１６の変位を制御する。
ごとの間隔Ｇと電圧Ｖの相関データが、あらかじめ入力
されており、一方、圧電素子４０には、図４に示すよう
に、誘起される電圧Ｖを検出する電圧計５２が設けられ
ている。この電圧計５２で検出される圧電素子４０の誘
起電圧Ｖの検出値は、制御装置２６に出力され、制御装
置２６は、この電圧計５２の検出値に基づいてエア供給
装置４８を制御し、ブレード１６の変位を制御する。
【００３５】前記のごとく構成された本発明に係るスラ
イシングマシンのブレード変位装置の第２の実施の形態
の作用は次の通りである。前記第１の実施の形態と同様
に、まず、モータ１４を駆動して、ブレード１６を高速
回転させる。これと同時に、エア供給装置４８から所定
圧ＰO のエアがエアパッド２８に供給され、ブレード１
６に向けて噴射される。
イシングマシンのブレード変位装置の第２の実施の形態
の作用は次の通りである。前記第１の実施の形態と同様
に、まず、モータ１４を駆動して、ブレード１６を高速
回転させる。これと同時に、エア供給装置４８から所定
圧ＰO のエアがエアパッド２８に供給され、ブレード１
６に向けて噴射される。
【００３６】ブレード１６に向けてエアが噴射されるこ
とにより、ブレード１６は下方に向けて変位するので、
制御装置２６は、このときのブレード１６の変位を、エ
アパッド２８に供給するエア圧ＰO 及び電圧計５２で検
出される圧電素子４０の誘起電圧Ｖから算出する。そし
て、算出したのち、この所定量下側に変位した位置を切
断基準位置として切断を開始する。
とにより、ブレード１６は下方に向けて変位するので、
制御装置２６は、このときのブレード１６の変位を、エ
アパッド２８に供給するエア圧ＰO 及び電圧計５２で検
出される圧電素子４０の誘起電圧Ｖから算出する。そし
て、算出したのち、この所定量下側に変位した位置を切
断基準位置として切断を開始する。
【００３７】切断中、圧電素子４０の誘起電圧Ｖは、常
時電圧計５２で検出されており、その検出値情報は、常
に制御装置２６に出力される。制御装置２６は、この電
圧計５２に出力される圧電素子４０の誘起電圧Ｖ及びエ
アパッド２８の供給エア圧Ｐ O から切断基準位置からの
ブレード１６の変位を算出し、その算出結果に基づいて
エア供給装置４８を駆動制御する。
時電圧計５２で検出されており、その検出値情報は、常
に制御装置２６に出力される。制御装置２６は、この電
圧計５２に出力される圧電素子４０の誘起電圧Ｖ及びエ
アパッド２８の供給エア圧Ｐ O から切断基準位置からの
ブレード１６の変位を算出し、その算出結果に基づいて
エア供給装置４８を駆動制御する。
【００３８】例えば、ブレード１６が上方に変位した場
合は、エアパッド２８とブレード１６との間隔Ｇが狭ま
り、その間の圧力Ｐ1 が上昇する。したがって、圧電素
子４０に誘起される電圧Ｖも増加するので、この誘起電
圧Ｖとエアパッド２８の供給エア圧ＰO から切断基準位
置からのブレード１６の変位量を算出し、ブレード１６
の変位が零になるまでエアパッド２８に供給するエア圧
ＰO を増加する。
合は、エアパッド２８とブレード１６との間隔Ｇが狭ま
り、その間の圧力Ｐ1 が上昇する。したがって、圧電素
子４０に誘起される電圧Ｖも増加するので、この誘起電
圧Ｖとエアパッド２８の供給エア圧ＰO から切断基準位
置からのブレード１６の変位量を算出し、ブレード１６
の変位が零になるまでエアパッド２８に供給するエア圧
ＰO を増加する。
【００３９】なお、この変位矯正は、次のようにして行
なう。まず、エアパッド２８に供給するエア圧ＰO を１
段階上げ、そのときの圧電素子４０の誘起電圧Ｖを検出
して、ブレード１６の変位量を検出する。そして、ブレ
ード１６の変位が矯正されていなければ、さらにエアパ
ッド２８に供給するエア圧ＰO を１段階上げ、そのとき
の圧電素子４０の誘起電圧Ｖを検出して、ブレード１６
の変位量を検出する。この作業をブレード１６の変位が
矯正されるまで繰り返してゆき、矯正された時点で停止
する。これにより、変位が矯正される。
なう。まず、エアパッド２８に供給するエア圧ＰO を１
段階上げ、そのときの圧電素子４０の誘起電圧Ｖを検出
して、ブレード１６の変位量を検出する。そして、ブレ
ード１６の変位が矯正されていなければ、さらにエアパ
ッド２８に供給するエア圧ＰO を１段階上げ、そのとき
の圧電素子４０の誘起電圧Ｖを検出して、ブレード１６
の変位量を検出する。この作業をブレード１６の変位が
矯正されるまで繰り返してゆき、矯正された時点で停止
する。これにより、変位が矯正される。
【００４０】ブレード１６が下方に変位した場合は、逆
に、エアパッド２８とブレード１６との間隔Ｇは拡が
り、その間の圧力Ｐ1 が減少するので、圧電素子４０に
誘起される電圧Ｖも減少する。したがって、ブレード１
６が上方に変位した場合は、そのブレード１６の変位が
零になるまでエアパッド２８に供給するエア圧ＰO を減
少させる。これにより、ブレード１６の変位は、矯正さ
れる。
に、エアパッド２８とブレード１６との間隔Ｇは拡が
り、その間の圧力Ｐ1 が減少するので、圧電素子４０に
誘起される電圧Ｖも減少する。したがって、ブレード１
６が上方に変位した場合は、そのブレード１６の変位が
零になるまでエアパッド２８に供給するエア圧ＰO を減
少させる。これにより、ブレード１６の変位は、矯正さ
れる。
【００４１】このように、本実施の形態のブレード変位
制御装置によれば、ブレード１６は、常に切断基準状態
を維持してインゴット１８を切断することができ、高精
度のウェーハを切断することができる。また、ブレード
センサの設置を必要としないため、ブレード１６のイン
ゴット切断位置近傍にエアパッド２８を設置することが
でき、ブレード１６の変位制御を効果的に行なうことが
できる。
制御装置によれば、ブレード１６は、常に切断基準状態
を維持してインゴット１８を切断することができ、高精
度のウェーハを切断することができる。また、ブレード
センサの設置を必要としないため、ブレード１６のイン
ゴット切断位置近傍にエアパッド２８を設置することが
でき、ブレード１６の変位制御を効果的に行なうことが
できる。
【００４２】なお、本実施の形態では、圧電素子４０
は、専ら変位検出にのみ利用したが、前述した第１の実
施の形態のように電圧供給装置を接続し、エアパッド２
８の移動用に兼用してもよい。これにより、エアパッド
２８をインゴット切断位置近傍に設置することができる
という効果に加え、広範囲のブレード変位のコントロー
ル及びブレード１６の変位に迅速に対応した制御が可能
になる。
は、専ら変位検出にのみ利用したが、前述した第１の実
施の形態のように電圧供給装置を接続し、エアパッド２
８の移動用に兼用してもよい。これにより、エアパッド
２８をインゴット切断位置近傍に設置することができる
という効果に加え、広範囲のブレード変位のコントロー
ル及びブレード１６の変位に迅速に対応した制御が可能
になる。
【００４３】また、この場合、２つの圧電素子を利用し
て、一方を変位検出用、他方をエアパッド２８の移動用
に用いて、ブレード１６の変位を制御してもよい。ま
た、本実施の形態は、前記第１の実施の形態と同様に、
磁力発生手段から発生する磁力でブレード１６の変位を
制御する場合についても同様に適用することができる。
て、一方を変位検出用、他方をエアパッド２８の移動用
に用いて、ブレード１６の変位を制御してもよい。ま
た、本実施の形態は、前記第１の実施の形態と同様に、
磁力発生手段から発生する磁力でブレード１６の変位を
制御する場合についても同様に適用することができる。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ブレードとエアパッドとの間隔を可変することができ、
これにより、ブレードが受けるエア圧を可変することが
できる。したがって、エアパッドの噴射エア圧のみを可
変させて制御する方式に比べ、ブレードの変位をコント
ロールできる幅が拡大する。
ブレードとエアパッドとの間隔を可変することができ、
これにより、ブレードが受けるエア圧を可変することが
できる。したがって、エアパッドの噴射エア圧のみを可
変させて制御する方式に比べ、ブレードの変位をコント
ロールできる幅が拡大する。
【００４５】また、エアパッドに設けた圧電素子をブレ
ードの変位を検出する検出器として利用することによ
り、ブレードの変位状況を常に監視でき、より正確な変
位制御が可能になる。さらに、ブレードの変位を検出す
るセンサを別途設ける必要がなくなるので、インゴット
の切断部近傍にエアパッドを設置することができ、効果
的な変位制御を行なうことができる。
ードの変位を検出する検出器として利用することによ
り、ブレードの変位状況を常に監視でき、より正確な変
位制御が可能になる。さらに、ブレードの変位を検出す
るセンサを別途設ける必要がなくなるので、インゴット
の切断部近傍にエアパッドを設置することができ、効果
的な変位制御を行なうことができる。
【図１】本発明に係るブレード変位制御方法が適用され
たスライシングマシンの第１の実施の形態の構成図
たスライシングマシンの第１の実施の形態の構成図
【図２】本発明に係るブレード変位制御方法が適用され
たスライシングマシンの第１の実施の形態の要部を拡大
した平面図
たスライシングマシンの第１の実施の形態の要部を拡大
した平面図
【図３】エアパッドの支持部の構成をしめす側面断面図
【図４】本発明に係るブレード変位制御方法が適用され
たスライシングマシンの第２の実施の形態の構成図
たスライシングマシンの第２の実施の形態の構成図
１６…ブレード １６Ａ…内周刃 １８…インゴット ２６…制御装置 ２８…エアパッド ３０…ブレードセンサ ４０…圧電素子 ４８…エア供給装置 ５０…電圧供給装置 ５２…電圧計
Claims (5)
- 【請求項１】 回転するブレードの内周刃にインゴット
を押し当てて、該インゴットをウェーハに切断するスラ
イシングマシンであって、前記ブレードの軸線方向の変
位をエアパッドから噴射するエアのエア圧で制御するス
ライシングマシンのブレード変位制御装置において、 前記エアパッドを前記ブレードの軸線方向に沿って駆動
手段により移動させ、該エアパッドとブレードとの間隔
を可変させることにより、前記ブレードの変位を制御す
ることを特徴とするスライシングマシンのブレード変位
制御装置。 - 【請求項２】 前記駆動手段は、圧電素子から構成さ
れ、前記エアパッドは、該圧電素子に電圧を印加するこ
とにより生じる該圧電素子の歪で前記ブレードの軸線に
沿って移動することを特徴とする請求項１記載のスライ
シングマシンのブレード変位制御装置。 - 【請求項３】 回転するブレードの内周刃にインゴット
を押し当てて、該インゴットをウェーハに切断するスラ
イシングマシンであって、前記ブレードの軸線方向の変
位をエアパッドから噴射するエアのエア圧で制御するス
ライシングマシンのブレード変位制御装置において、 前記エアパッドに圧電素子を設け、該圧電素子に誘起さ
れる電圧から前記ブレードの変位を検出し、その検出値
に基づいて前記エアパッドから噴射するエアのエア圧を
制御することを特徴とするスライシングマシンのブレー
ド変位制御装置。 - 【請求項４】 前記エアパッドは、前記圧電素子に電圧
を印加することにより生じる該圧電素子の歪で前記ブレ
ードの軸線に沿って移動することを特徴とする請求項３
記載のスライシングマシンのブレード変位制御装置。 - 【請求項５】 前記エアパッドに代えて磁力発生手段か
らの磁力でブレードの軸線方向の変位を制御することを
特徴とする請求項１、２、３又は４記載のスライシング
マシンのブレード変位制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022596A JPH09286020A (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | スライシングマシンのブレード変位制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022596A JPH09286020A (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | スライシングマシンのブレード変位制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09286020A true JPH09286020A (ja) | 1997-11-04 |
Family
ID=14268353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10022596A Pending JPH09286020A (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | スライシングマシンのブレード変位制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09286020A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI482682B (ja) * | 2011-07-29 | 2015-05-01 |
-
1996
- 1996-04-22 JP JP10022596A patent/JPH09286020A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI482682B (ja) * | 2011-07-29 | 2015-05-01 |
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