JPH09286604A - 放電処理装置 - Google Patents
放電処理装置Info
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- JPH09286604A JPH09286604A JP9880396A JP9880396A JPH09286604A JP H09286604 A JPH09286604 A JP H09286604A JP 9880396 A JP9880396 A JP 9880396A JP 9880396 A JP9880396 A JP 9880396A JP H09286604 A JPH09286604 A JP H09286604A
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- Japan
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- dielectric
- discharge
- linear electrodes
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 誘電体表面の線状電極間の間隔Ｌ全域に沿面
放電を発生させて、オゾンガス発生効率を向上させる。 【解決手段】 誘電体７の表面に、一定間隔Ｌをおいて
複数の線状電極４，４が配置されている。誘電体７の背
面に背面電極３が設けられ、線状電極４，４と背面電極
３との間に、交流電源５から高電圧が印加される。線状
電極４，４間の間隔Ｌは、原料ガス密度をｎ、放電長を
ｄ、Ｌ＝ｎｄとしたとき、ｎｄ値が２．２×１０18ｃｍ
-2以下となるように定められている。このように間隔Ｌ
を定めることにより、誘電体７表面の線状電極４，４間
の間隔Ｌ全域に沿面放電が発生する。
放電を発生させて、オゾンガス発生効率を向上させる。 【解決手段】 誘電体７の表面に、一定間隔Ｌをおいて
複数の線状電極４，４が配置されている。誘電体７の背
面に背面電極３が設けられ、線状電極４，４と背面電極
３との間に、交流電源５から高電圧が印加される。線状
電極４，４間の間隔Ｌは、原料ガス密度をｎ、放電長を
ｄ、Ｌ＝ｎｄとしたとき、ｎｄ値が２．２×１０18ｃｍ
-2以下となるように定められている。このように間隔Ｌ
を定めることにより、誘電体７表面の線状電極４，４間
の間隔Ｌ全域に沿面放電が発生する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無声放電により空
気、酸素等のガスからオゾンを発生させるオゾン発生装
置等の放電処理装置に関する。
気、酸素等のガスからオゾンを発生させるオゾン発生装
置等の放電処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から上下水道の殺菌・消臭・脱色、
工業排水処理の脱臭・脱色、パルプ脱色、および医療機
器の殺菌を行うためオゾンが用いられる。オゾン発生装
置としては、複数の電極を有し、この複数の電極間で無
声放電を生じさせてオゾン原料ガスからオゾンを生成す
るものが知られている。
工業排水処理の脱臭・脱色、パルプ脱色、および医療機
器の殺菌を行うためオゾンが用いられる。オゾン発生装
置としては、複数の電極を有し、この複数の電極間で無
声放電を生じさせてオゾン原料ガスからオゾンを生成す
るものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン発生装置
は、上述のように複数の電極間で無声放電を生じさせ、
この無声放電によりオゾンを生成するものである。この
場合、従来から、大容量でかつ高効率のオゾン発生装置
が望まれていたが、まだその技術は開発されていないの
が実情である。
は、上述のように複数の電極間で無声放電を生じさせ、
この無声放電によりオゾンを生成するものである。この
場合、従来から、大容量でかつ高効率のオゾン発生装置
が望まれていたが、まだその技術は開発されていないの
が実情である。
【０００４】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、大容量でかつ高効率の放電処理装置を提供
することを目的とする。
ものであり、大容量でかつ高効率の放電処理装置を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、誘電体と、こ
の誘電体の表面に一定間隔をおいて配置された複数の線
状電極とを備え、誘電体表面に生じる無声放電により、
供給される原料ガスを処理する放電処理装置において、
線状電極間の間隔Ｌは、ｎ＝原料ガス密度、ｄ＝放電
長、Ｌ＝２ｄとしたとき、ｎｄ値が２．２×１０18ｃｍ
-2以下の条件を満たすよう定められていることを特徴と
する放電処理装置である。
の誘電体の表面に一定間隔をおいて配置された複数の線
状電極とを備え、誘電体表面に生じる無声放電により、
供給される原料ガスを処理する放電処理装置において、
線状電極間の間隔Ｌは、ｎ＝原料ガス密度、ｄ＝放電
長、Ｌ＝２ｄとしたとき、ｎｄ値が２．２×１０18ｃｍ
-2以下の条件を満たすよう定められていることを特徴と
する放電処理装置である。
【０００６】本発明によれば、線状電極間の間隔Ｌをｎ
ｄ値が２．２×１０18ｃｍ-2以下の条件を満たすよう定
めたことにより、誘電体表面の線状電極間の間隔Ｌ全域
に沿面放電を発生させることができる。
ｄ値が２．２×１０18ｃｍ-2以下の条件を満たすよう定
めたことにより、誘電体表面の線状電極間の間隔Ｌ全域
に沿面放電を発生させることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１乃至図３は本発明によ
るオゾン発生装置の一実施の形態を示す図である。
施の形態について説明する。図１乃至図３は本発明によ
るオゾン発生装置の一実施の形態を示す図である。
【０００８】図１および図２において、放電処理装置と
してのオゾン発生装置はガラスまたはセラミックからな
る誘電体７と、この誘電体７の裏面に設けられ導電性金
属からなる背面電極３と、誘電体７の表面に一定間隔Ｌ
をおいて配置された複数の線状電極４，４とを備えてい
る。このうち、背面電極３は基材として構成され、誘電
体７は基材としての背面電極３上にコートされている。
してのオゾン発生装置はガラスまたはセラミックからな
る誘電体７と、この誘電体７の裏面に設けられ導電性金
属からなる背面電極３と、誘電体７の表面に一定間隔Ｌ
をおいて配置された複数の線状電極４，４とを備えてい
る。このうち、背面電極３は基材として構成され、誘電
体７は基材としての背面電極３上にコートされている。
【０００９】また背面電極３の裏面側は、冷却水１０に
より冷却されている。さらに電極４，４と背面電極３間
には、高電圧を印加する交流電源５が接続されており、
また背面電極３は接地されている。また線状電極４，４
と背面電極３間に交流電源５から高電圧を印加すること
により、誘電体７表面に沿面放電６を生じさせることが
でき、この沿面放電６によってオゾン原料ガスからオゾ
ンが生成する。
より冷却されている。さらに電極４，４と背面電極３間
には、高電圧を印加する交流電源５が接続されており、
また背面電極３は接地されている。また線状電極４，４
と背面電極３間に交流電源５から高電圧を印加すること
により、誘電体７表面に沿面放電６を生じさせることが
でき、この沿面放電６によってオゾン原料ガスからオゾ
ンが生成する。
【００１０】線状電極４の間隔Ｌは、例えば１．８ｍｍ
以下に定められている。次に線状電極４の間隔Ｌについ
て、以下詳述する。
以下に定められている。次に線状電極４の間隔Ｌについ
て、以下詳述する。
【００１１】図２に示すように、線状電極４，４と背面
電極３との間に高電圧を印加すると、線状電極４から誘
電体７を介して背面電極３へ発生する電気力線に沿って
沿面放電６が発生する。この場合、線状電極４の間隔Ｌ
が前述のように１．８ｍｍ以下と極めて短くなっている
ので、間隔Ｌの全域に沿面放電を発生させることができ
る。
電極３との間に高電圧を印加すると、線状電極４から誘
電体７を介して背面電極３へ発生する電気力線に沿って
沿面放電６が発生する。この場合、線状電極４の間隔Ｌ
が前述のように１．８ｍｍ以下と極めて短くなっている
ので、間隔Ｌの全域に沿面放電を発生させることができ
る。
【００１２】図２において、線状電極４はその間隔Ｌの
半分のＬ／２の位置に設けられたＣ面について左右対象
となる。そのため、電気力線は必ずＣ面では真下の向き
となる。したがって、沿面放電６は線状電極４から発生
して、Ｃ面と誘電体７の接する位置で停止する。したが
って、このように線状電極４の間隔Ｌが１．８ｍｍ以下
と短い場合、電気力線に沿って発生する沿面放電６の放
電長ｄはおよそＬ／２となる。
半分のＬ／２の位置に設けられたＣ面について左右対象
となる。そのため、電気力線は必ずＣ面では真下の向き
となる。したがって、沿面放電６は線状電極４から発生
して、Ｃ面と誘電体７の接する位置で停止する。したが
って、このように線状電極４の間隔Ｌが１．８ｍｍ以下
と短い場合、電気力線に沿って発生する沿面放電６の放
電長ｄはおよそＬ／２となる。
【００１３】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００１４】線状金属４，４と背面電極３間に交流電源
５から高電圧を印加すると、誘電体７の表面に沿面放電
６が生じる。この際、誘電体７の表面に乾燥空気等から
なるオゾン原料ガスを供給することにより、オゾン原料
ガスからオゾンが生成される。
５から高電圧を印加すると、誘電体７の表面に沿面放電
６が生じる。この際、誘電体７の表面に乾燥空気等から
なるオゾン原料ガスを供給することにより、オゾン原料
ガスからオゾンが生成される。
【００１５】次に、図３により放電長ｄと、オゾン原料
ガスの密度ｎと、沿面放電６における電界Ｅと、電子の
平均エネルギー＜ｅ＞の関係を説明する。一般に、実効
的な放電開始電界Ｅは、放電長ｄとオゾン原料ガスの密
度ｎの積ｎｄにより決定される。また、電子の平均エネ
ルギー＜ｅ＞は実効的な放電開始電界Ｅを原料ガスの密
度ｎで割ったいわゆる換算電界Ｅ／ｎによって決定され
る。図３において、横軸に換算電界Ｅ／ｎを示し、電子
の平均エネルギー＜ｅ＞とｎｄ積を縦軸に示す。このこ
とにより、電子の平均エネルギー＜ｅ＞とｅｎ積の関係
を示すことができる。
ガスの密度ｎと、沿面放電６における電界Ｅと、電子の
平均エネルギー＜ｅ＞の関係を説明する。一般に、実効
的な放電開始電界Ｅは、放電長ｄとオゾン原料ガスの密
度ｎの積ｎｄにより決定される。また、電子の平均エネ
ルギー＜ｅ＞は実効的な放電開始電界Ｅを原料ガスの密
度ｎで割ったいわゆる換算電界Ｅ／ｎによって決定され
る。図３において、横軸に換算電界Ｅ／ｎを示し、電子
の平均エネルギー＜ｅ＞とｎｄ積を縦軸に示す。このこ
とにより、電子の平均エネルギー＜ｅ＞とｅｎ積の関係
を示すことができる。
【００１６】図３において、ｎｄ積を小さくしていく
と、ｎｄ＝２．２×１０18ｃｍ-2まで換算電界Ｅ／ｎは
あまり変化がない。しかしこれより小さい領域では、換
算電界Ｅ／ｎは急上昇する。この変曲点Ｘでは換算電界
Ｅ／ｎは略２３０Ｔｄとなり、これに対応する電子の平
均エネルギー＜ｅ＞は７ｅＶとなり、電子の平均エネル
ギーは高効率領域内に入る。
と、ｎｄ＝２．２×１０18ｃｍ-2まで換算電界Ｅ／ｎは
あまり変化がない。しかしこれより小さい領域では、換
算電界Ｅ／ｎは急上昇する。この変曲点Ｘでは換算電界
Ｅ／ｎは略２３０Ｔｄとなり、これに対応する電子の平
均エネルギー＜ｅ＞は７ｅＶとなり、電子の平均エネル
ギーは高効率領域内に入る。
【００１７】ところで酸素分子（Ｏ２）の原子（Ｏ）へ
の最小解離エネルギーは６．８ｅＶであり、これ以上の
エネルギーの電子のみが酸素分子の解離に寄与する。解
離した酸素原子（Ｏ）は他の酸素分子（Ｏ２）と結合し
てオゾン（Ｏ３）となる。前記の変曲点Ｘに対応する電
子の平均エネルギ＜ｅ＞＝７ｅＶは酸素分子の最小解離
エネルギー６．８ｅＶより高いため、変曲点Ｘ以上の換
算電界Ｅ／ｎを得られる条件とすれば、高いオゾン発生
効率と超高濃度のオゾン発生が可能になる。
の最小解離エネルギーは６．８ｅＶであり、これ以上の
エネルギーの電子のみが酸素分子の解離に寄与する。解
離した酸素原子（Ｏ）は他の酸素分子（Ｏ２）と結合し
てオゾン（Ｏ３）となる。前記の変曲点Ｘに対応する電
子の平均エネルギ＜ｅ＞＝７ｅＶは酸素分子の最小解離
エネルギー６．８ｅＶより高いため、変曲点Ｘ以上の換
算電界Ｅ／ｎを得られる条件とすれば、高いオゾン発生
効率と超高濃度のオゾン発生が可能になる。
【００１８】このような条件は、上述のように、ｎｄ積
が２．２×１０18ｃｍ-2以下の条件ということになる。
ところで大気圧で絶対温度が３００Ｋでのオゾン原料ガ
スの密度ｎを、例えば２４．５×１０18ｃｍ-3とする
と、放電長ｄはｎｄ積をｎで割った０．０９ｃｍ＝０．
９ｍｍ以下の領域となる。前述のように放電長ｄはおよ
そ線状の導電性電極４，４の間隔Ｌの半分であるＬ／２
に等しいから、間隔Ｌは放電長ｄ＝０．９ｍｍの２倍の
１．８ｍｍ以下とすることにより、高いオゾン発生効率
と超高濃度のオゾン発生が可能になる。
が２．２×１０18ｃｍ-2以下の条件ということになる。
ところで大気圧で絶対温度が３００Ｋでのオゾン原料ガ
スの密度ｎを、例えば２４．５×１０18ｃｍ-3とする
と、放電長ｄはｎｄ積をｎで割った０．０９ｃｍ＝０．
９ｍｍ以下の領域となる。前述のように放電長ｄはおよ
そ線状の導電性電極４，４の間隔Ｌの半分であるＬ／２
に等しいから、間隔Ｌは放電長ｄ＝０．９ｍｍの２倍の
１．８ｍｍ以下とすることにより、高いオゾン発生効率
と超高濃度のオゾン発生が可能になる。
【００１９】なお、本実施の形態では、オゾン発生の場
合について述べているが、他にも排煙処理等の高い電子
エネルギーを必要とするプラズマ反応装置にも適用が可
能である。
合について述べているが、他にも排煙処理等の高い電子
エネルギーを必要とするプラズマ反応装置にも適用が可
能である。
【００２０】ところで、沿面放電６は上述のように誘電
体７の表面近傍に発生するが、沿面放電６により発生す
る熱を効率良く除去するためには、誘電体７を冷却する
ことが、最も効率がよい冷却方法である。本実施の形態
ては、図１に示すように背面電極３の下面を冷却水１０
により冷却することにより、誘電体７を背面電極３を介
して冷却することができる。この場合、誘電体７はその
背面の導電性金属である背面電極３を基材として、この
上にコートされているため、たとえ誘電体７が破損して
も基材である背面電極３が存在するため、冷却の媒体で
ある水等が漏れ出す心配がなく、高い信頼性が得られ
る。したがって、冷却効率を高め、沿面放電６内でのガ
ス温度を低く抑えることができ、オゾンの熱分解を防止
することにより、オゾン発生効率を向上させることがで
き、かつ超高濃度のオゾンを得ることができる。
体７の表面近傍に発生するが、沿面放電６により発生す
る熱を効率良く除去するためには、誘電体７を冷却する
ことが、最も効率がよい冷却方法である。本実施の形態
ては、図１に示すように背面電極３の下面を冷却水１０
により冷却することにより、誘電体７を背面電極３を介
して冷却することができる。この場合、誘電体７はその
背面の導電性金属である背面電極３を基材として、この
上にコートされているため、たとえ誘電体７が破損して
も基材である背面電極３が存在するため、冷却の媒体で
ある水等が漏れ出す心配がなく、高い信頼性が得られ
る。したがって、冷却効率を高め、沿面放電６内でのガ
ス温度を低く抑えることができ、オゾンの熱分解を防止
することにより、オゾン発生効率を向上させることがで
き、かつ超高濃度のオゾンを得ることができる。
【００２１】次に図４により、本発明の変形例について
説明する。図４に示す変形例は、誘電体７および線状電
極４，４上に追加誘電体８を設けたものであり、他は図
１に示すオゾン発生装置と略同一である。図４におい
て、図１に示す実施の形態と同一部分には同一符号を符
して詳細な説明は省略する。
説明する。図４に示す変形例は、誘電体７および線状電
極４，４上に追加誘電体８を設けたものであり、他は図
１に示すオゾン発生装置と略同一である。図４におい
て、図１に示す実施の形態と同一部分には同一符号を符
して詳細な説明は省略する。
【００２２】すなわち図４に示すように、誘電体７と電
極４の上部に追加誘電体８がコートされている。線状電
極４上部に追加電体８をコートし、追加誘電体８内部に
線状電極４，４を埋め込んでおく。このとき線状電極４
と誘電体７と背面電極３との間に高電圧を印加して沿面
放電６を発生させると、線状電極４は沿面放電６に直
接、晒されないので、線状電極４の放電によるスパッタ
劣化又はオゾン酸化による変化がなく、長寿命と高い信
頼性を得られる。
極４の上部に追加誘電体８がコートされている。線状電
極４上部に追加電体８をコートし、追加誘電体８内部に
線状電極４，４を埋め込んでおく。このとき線状電極４
と誘電体７と背面電極３との間に高電圧を印加して沿面
放電６を発生させると、線状電極４は沿面放電６に直
接、晒されないので、線状電極４の放電によるスパッタ
劣化又はオゾン酸化による変化がなく、長寿命と高い信
頼性を得られる。
【００２３】次に図５により、本発明の更なる変形例に
ついて説明する。図５に示す変形例は、誘電体７の背面
から背面電極３を取除くとともに、各線状電極４，４内
に交流電源５から高電圧を印加し、更に誘電体７および
線状電極４，４上に追加誘電体８をコートしたものであ
り、他は図１に示すオゾン発生装置と略同一である。図
５において、図１に示す実施の形態と同一部分には同一
符号を符して詳細な説明は省略する。
ついて説明する。図５に示す変形例は、誘電体７の背面
から背面電極３を取除くとともに、各線状電極４，４内
に交流電源５から高電圧を印加し、更に誘電体７および
線状電極４，４上に追加誘電体８をコートしたものであ
り、他は図１に示すオゾン発生装置と略同一である。図
５において、図１に示す実施の形態と同一部分には同一
符号を符して詳細な説明は省略する。
【００２４】図５において、線状電極４，４間に高電圧
を印加すると、線状電極４，４間に沿面放電６が発生す
る。この場合、線状電極４，４は、追加誘電体８により
コートされているので、放電によるスパッタ劣化または
オゾン酸化による劣化が防止され、長寿命と高い信頼性
を得ることができる。
を印加すると、線状電極４，４間に沿面放電６が発生す
る。この場合、線状電極４，４は、追加誘電体８により
コートされているので、放電によるスパッタ劣化または
オゾン酸化による劣化が防止され、長寿命と高い信頼性
を得ることができる。
【００２５】次に図６により、本発明の更なる変形例に
ついて説明する。図６に示す変形例は、背面電極３の更
に背面側に背面誘電体１２を設けるとともに、誘電体
７、背面電極３および背面誘電体１２からなる積層体
４，３，１２を円筒状に形成したものであり、他は図１
に示すオゾン発生装置と略同一である。図６において図
１に示すオゾン発生装置と同一部分には同一符号を符し
て詳細な説明は省略する。
ついて説明する。図６に示す変形例は、背面電極３の更
に背面側に背面誘電体１２を設けるとともに、誘電体
７、背面電極３および背面誘電体１２からなる積層体
４，３，１２を円筒状に形成したものであり、他は図１
に示すオゾン発生装置と略同一である。図６において図
１に示すオゾン発生装置と同一部分には同一符号を符し
て詳細な説明は省略する。
【００２６】すなわち図６に示すように、オゾン発生装
置を構成する誘電体７、背面電極３および背面誘電体１
２からなる積層体７，３，１２は円筒状に形成されてい
る。交流電源５により線状電極４，４と背面電極３との
間に高電圧が印加されると、誘電体７表面に沿面放電６
が発生する。この場合、円筒状に形成された誘電体７内
にオゾン原料ガスが供給されると、沿面放電６によって
オゾン原料ガスからオゾンが生成する。
置を構成する誘電体７、背面電極３および背面誘電体１
２からなる積層体７，３，１２は円筒状に形成されてい
る。交流電源５により線状電極４，４と背面電極３との
間に高電圧が印加されると、誘電体７表面に沿面放電６
が発生する。この場合、円筒状に形成された誘電体７内
にオゾン原料ガスが供給されると、沿面放電６によって
オゾン原料ガスからオゾンが生成する。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
誘電体表面の線状電極間の間隔Ｌ全域に沿面放電を発生
させることができる。このように線状電極間の間隔Ｌ全
域に沿面放電を発生させることができるので、原料ガス
の処理効率を向上させることができる。
誘電体表面の線状電極間の間隔Ｌ全域に沿面放電を発生
させることができる。このように線状電極間の間隔Ｌ全
域に沿面放電を発生させることができるので、原料ガス
の処理効率を向上させることができる。
【図１】本発明による放電処理装置の一実施の形態を示
す図。
す図。
【図２】線状電極間の間隔を説明する図。
【図３】放電長と、オゾン原料ガスの密度と、電界と、
電子平均エネルギーとの関係を示す図。
電子平均エネルギーとの関係を示す図。
【図４】本発明による放電処理装置の変形例を示す図。
【図５】本発明による放電処理装置の変形例を示す図。
【図６】本発明による放電処理装置の変形例を示す図。
３ 背面電極 ５ 交流電源 ６ 沿面放電 ７ 誘電体 ８ 追加誘電体 １０ 冷却水 １２ 背面誘電体
フロントページの続き (72)発明者 石 井 彰 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 出 口 英 昭 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 沖 田 裕 二 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内
Claims (2)
- 【請求項１】誘電体と、 この誘電体の表面に一定間隔をおいて配置された複数の
線状電極とを備え、誘電体表面に生じる無声放電によ
り、供給される原料ガスを処理する放電処理装置におい
て、 線状電極間の間隔Ｌは、 ｎ＝原料ガス密度、 ｄ＝放電長、 Ｌ＝２ｄとしたとき、 ｎｄ値が２．２×１０18ｃｍ-2以下の条件を満たすよう
定められていることを特徴とする放電処理装置。 - 【請求項２】誘電体の背面に、更に背面電極を設けたこ
とを特徴とする請求項１記載の放電処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9880396A JPH09286604A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 放電処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9880396A JPH09286604A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 放電処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09286604A true JPH09286604A (ja) | 1997-11-04 |
Family
ID=14229512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9880396A Pending JPH09286604A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 放電処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09286604A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6284205B1 (en) | 1998-08-21 | 2001-09-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ozonizing unit ozone generator and ozone-processing system |
| CN103079330A (zh) * | 2013-02-01 | 2013-05-01 | 南京华科皓纳电气科技有限责任公司 | 低温等离子体发生器电极组件 |
| WO2017154337A1 (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | 株式会社村田製作所 | オゾン生成用素子およびオゾン生成装置 |
-
1996
- 1996-04-19 JP JP9880396A patent/JPH09286604A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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