JPH09286641A - 保持枠付き光透過部品の製造方法 - Google Patents
保持枠付き光透過部品の製造方法Info
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- JPH09286641A JPH09286641A JP10302596A JP10302596A JPH09286641A JP H09286641 A JPH09286641 A JP H09286641A JP 10302596 A JP10302596 A JP 10302596A JP 10302596 A JP10302596 A JP 10302596A JP H09286641 A JPH09286641 A JP H09286641A
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- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光透過部品の品質が向上する保持枠付き光透
過部品の製造方法を提供する。 【解決手段】 光透過部品を保持枠の所定の箇所に接合
する工程を有する保持枠付き光透過部品の製造方法にお
いて、光透過部品を保持枠に接合する工程に先立って、
前記光透過部品およびモニター基材に無反射コート処理
を施す工程、次いで、所定の雰囲気下での所定の加熱処
理により、前記無反射コート処理された光透過部品を保
持枠の所定の箇所に加熱接合するとともに、その加熱接
合処理の際、前記モニター基材に前記光透過部品の置か
れる雰囲気下で前記加熱処理を施す工程、次いで、前記
モニター基材の光透過率をモニターする工程とを有す
る。
過部品の製造方法を提供する。 【解決手段】 光透過部品を保持枠の所定の箇所に接合
する工程を有する保持枠付き光透過部品の製造方法にお
いて、光透過部品を保持枠に接合する工程に先立って、
前記光透過部品およびモニター基材に無反射コート処理
を施す工程、次いで、所定の雰囲気下での所定の加熱処
理により、前記無反射コート処理された光透過部品を保
持枠の所定の箇所に加熱接合するとともに、その加熱接
合処理の際、前記モニター基材に前記光透過部品の置か
れる雰囲気下で前記加熱処理を施す工程、次いで、前記
モニター基材の光透過率をモニターする工程とを有す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光工学分野で利用
される光透過部品を保持枠に接合した保持枠付き光透過
部品の製造方法に関し、特に、無反射コート処理を施し
たウィンドウやレンズなどの光透過部品を光モジュール
の保持枠などに接合する工程に関する。
される光透過部品を保持枠に接合した保持枠付き光透過
部品の製造方法に関し、特に、無反射コート処理を施し
たウィンドウやレンズなどの光透過部品を光モジュール
の保持枠などに接合する工程に関する。
【０００２】
【従来の技術】光モジュールを構成する部品として使用
される保持枠付き光透過部品は、例えば、金属製の保持
枠に、レンズやウィンドウなどの光透過部品を低融点ガ
ラスなどの接合材料で接合して形成されている。この保
持枠付き光透過部品は、光半導体素子を内蔵するキャン
と光ファイバ保持部材（フェルール）に溶接されて、光
モジュールを構成する。この保持枠付き光透過部品に
は、光透過部品が光を良く透過すること、保持枠が他部
品と接合しやすいこと、光透過部品が脱落しないように
保持枠に保持されていることなどが要求される。
される保持枠付き光透過部品は、例えば、金属製の保持
枠に、レンズやウィンドウなどの光透過部品を低融点ガ
ラスなどの接合材料で接合して形成されている。この保
持枠付き光透過部品は、光半導体素子を内蔵するキャン
と光ファイバ保持部材（フェルール）に溶接されて、光
モジュールを構成する。この保持枠付き光透過部品に
は、光透過部品が光を良く透過すること、保持枠が他部
品と接合しやすいこと、光透過部品が脱落しないように
保持枠に保持されていることなどが要求される。
【０００３】ところで、光モジュールのような光を透過
させる部位（レンズやウィンドウ）を有する部品では、
それを構成する光透過部品（レンズなど）に無反射コー
ト処理を施して、入射する光の反射率を低減させ、透過
率を向上させる手段が採られている。この無反射コート
処理は、具体的には、ＭｇＦ2 、ＳｉＯ、ＳｉＯ2 、Ｔ
ｉＯ、ＴｉＯ2 等を蒸着法などにより光透過部品の表面
にコーティングして、単層（厚さはÅ単位で、大体光の
波長の１／４程度）、２層あるいは３層以上の多層膜を
形成するものである。これらの光透過部品は、適切なコ
ーティングができるように、通常、組み立てられる前
に、チャンバー内で一度に多量のロットとして無反射コ
ート処理される。
させる部位（レンズやウィンドウ）を有する部品では、
それを構成する光透過部品（レンズなど）に無反射コー
ト処理を施して、入射する光の反射率を低減させ、透過
率を向上させる手段が採られている。この無反射コート
処理は、具体的には、ＭｇＦ2 、ＳｉＯ、ＳｉＯ2 、Ｔ
ｉＯ、ＴｉＯ2 等を蒸着法などにより光透過部品の表面
にコーティングして、単層（厚さはÅ単位で、大体光の
波長の１／４程度）、２層あるいは３層以上の多層膜を
形成するものである。これらの光透過部品は、適切なコ
ーティングができるように、通常、組み立てられる前
に、チャンバー内で一度に多量のロットとして無反射コ
ート処理される。
【０００４】これらの光透過部品は、１〜２ｍｍ程度と
小さかったり、レンズのように光を曲げる働きを有して
いたりするので、光透過部品そのものの光透過率または
反射率を測定することは極めて困難である。そこで、一
般には光透過部品と一緒にダミーとして、光透過部品と
同程度の光透過率を有するモニター平板を無反射コート
処理し、コーティング中にモニター平板の光透過率や反
射率をモニターしたり、コーティング後に光透過率や反
射率を測定して、光透過部品の光透過率や反射率として
いる。
小さかったり、レンズのように光を曲げる働きを有して
いたりするので、光透過部品そのものの光透過率または
反射率を測定することは極めて困難である。そこで、一
般には光透過部品と一緒にダミーとして、光透過部品と
同程度の光透過率を有するモニター平板を無反射コート
処理し、コーティング中にモニター平板の光透過率や反
射率をモニターしたり、コーティング後に光透過率や反
射率を測定して、光透過部品の光透過率や反射率として
いる。
【０００５】上述の無反射コート処理された光透過部品
は、以下の方法で光モジュールに組み立てられる。即
ち、先ず保持枠を機械加工などの手段及び適切な熱処
理、場合によってはめっき処理などを施して用意する。
また、接合材料を用意する。典型的な接合材料は低融点
ガラスである。低融点ガラスは、粉末を溶剤で溶かして
ペースト状にしたものや、それを仮焼成してプリフォー
ムにしたもの等がある。これらは、治具などにセットさ
れて、炉で加熱され、低融点ガラスが熔けて、光透過部
品が保持枠に固定される。
は、以下の方法で光モジュールに組み立てられる。即
ち、先ず保持枠を機械加工などの手段及び適切な熱処
理、場合によってはめっき処理などを施して用意する。
また、接合材料を用意する。典型的な接合材料は低融点
ガラスである。低融点ガラスは、粉末を溶剤で溶かして
ペースト状にしたものや、それを仮焼成してプリフォー
ムにしたもの等がある。これらは、治具などにセットさ
れて、炉で加熱され、低融点ガラスが熔けて、光透過部
品が保持枠に固定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような方法で無反射コート処理された光透過部品を保持
枠に接合する場合、加熱によって光透過部品の光透過率
が変化することがあるので、光透過率が変化したかどう
かを検査する必要がある。しかしながら、この光透過部
品は小さかったり、保持枠に接合されて複雑な形状にな
ってしまったり、レンズのように光を屈折させる機能を
もつ部品であったりするので、光透過部品の光透過率そ
のものを検査するということは困難であるという問題が
あった。この加熱による光透過部品の光透過率の変化
は、無反射コートの材質変化によって起こる。例えばＳ
ｉ−Ｏ化合物やＴｉ−Ｏ化合物の場合には、加熱時の雰
囲気の露点や残留酸素分圧が変化することによって、化
合物の組成すなわちＳｉ／Ｏ比やＴｉ／Ｏ比が変化す
る。この組成の変化にともなって、無反射コート材の屈
折率が変化してしまい、光透過部品材料との無反射の条
件がずれてしまうことがある。また例えばＭｇＦ2 の場
合には、加熱すると硬くなることが知られているが、加
熱すると微妙に屈折率が変化することがある。さらに、
加熱により、光透過部品材料と無反射コート材がわずか
に反応して屈折率が変化することもある．なお、このよ
うな屈折率の変化は発生する場合としない場合があり、
また、その変化の程度が大きい場合もあり、無視できる
ほど小さい場合もあるなど、要因は複雑に絡み合ってい
る。
ような方法で無反射コート処理された光透過部品を保持
枠に接合する場合、加熱によって光透過部品の光透過率
が変化することがあるので、光透過率が変化したかどう
かを検査する必要がある。しかしながら、この光透過部
品は小さかったり、保持枠に接合されて複雑な形状にな
ってしまったり、レンズのように光を屈折させる機能を
もつ部品であったりするので、光透過部品の光透過率そ
のものを検査するということは困難であるという問題が
あった。この加熱による光透過部品の光透過率の変化
は、無反射コートの材質変化によって起こる。例えばＳ
ｉ−Ｏ化合物やＴｉ−Ｏ化合物の場合には、加熱時の雰
囲気の露点や残留酸素分圧が変化することによって、化
合物の組成すなわちＳｉ／Ｏ比やＴｉ／Ｏ比が変化す
る。この組成の変化にともなって、無反射コート材の屈
折率が変化してしまい、光透過部品材料との無反射の条
件がずれてしまうことがある。また例えばＭｇＦ2 の場
合には、加熱すると硬くなることが知られているが、加
熱すると微妙に屈折率が変化することがある。さらに、
加熱により、光透過部品材料と無反射コート材がわずか
に反応して屈折率が変化することもある．なお、このよ
うな屈折率の変化は発生する場合としない場合があり、
また、その変化の程度が大きい場合もあり、無視できる
ほど小さい場合もあるなど、要因は複雑に絡み合ってい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決すべくなされたもので、光透過部品を保持枠の所定の
箇所に接合する工程を有する保持枠付き光透過部品の製
造方法において、光透過部品を保持枠に接合する工程に
先立って、前記光透過部品およびモニター基材に無反射
コート処理を施す工程、次いで、所定の雰囲気下での所
定の加熱処理により、前記無反射コート処理された光透
過部品を保持枠の所定の箇所に加熱接合するとともに、
その加熱接合処理の際、前記モニター基材に前記光透過
部品の置かれる雰囲気下で前記加熱処理を施す工程、次
いで、前記モニター基材の光透過率をモニターする工程
とを有することを特徴とするものである。ここで、モニ
ター基材とは、光透過部品と同程度の屈折率を有する材
質からなり、平板などの光透過率や反射率を測定しやす
い形状をしているものであり、光透過部品と同一の材質
からなることが望ましい。
決すべくなされたもので、光透過部品を保持枠の所定の
箇所に接合する工程を有する保持枠付き光透過部品の製
造方法において、光透過部品を保持枠に接合する工程に
先立って、前記光透過部品およびモニター基材に無反射
コート処理を施す工程、次いで、所定の雰囲気下での所
定の加熱処理により、前記無反射コート処理された光透
過部品を保持枠の所定の箇所に加熱接合するとともに、
その加熱接合処理の際、前記モニター基材に前記光透過
部品の置かれる雰囲気下で前記加熱処理を施す工程、次
いで、前記モニター基材の光透過率をモニターする工程
とを有することを特徴とするものである。ここで、モニ
ター基材とは、光透過部品と同程度の屈折率を有する材
質からなり、平板などの光透過率や反射率を測定しやす
い形状をしているものであり、光透過部品と同一の材質
からなることが望ましい。
【０００８】無反射コート処理を施され、保持枠に接合
された光透過部品は、接合工程の雰囲気や加熱条件の変
動により、その光透過率が変動する。そこで、上述のよ
うに、無反射コート処理を施されたモニター基材に光透
過部品を接合する際の雰囲気下での加熱処理を施すと、
このモニター基材の光透過率は、光透過部品の光透過率
の変動に対応して同様な変動をする。その上、このモニ
ター基材は光透過率や反射率を測定しやすい形状をして
いるので、このモニター基材の光透過率を測定すること
により、この光透過率をもって接合された光透過部品の
光透過率とすることができる。
された光透過部品は、接合工程の雰囲気や加熱条件の変
動により、その光透過率が変動する。そこで、上述のよ
うに、無反射コート処理を施されたモニター基材に光透
過部品を接合する際の雰囲気下での加熱処理を施すと、
このモニター基材の光透過率は、光透過部品の光透過率
の変動に対応して同様な変動をする。その上、このモニ
ター基材は光透過率や反射率を測定しやすい形状をして
いるので、このモニター基材の光透過率を測定すること
により、この光透過率をもって接合された光透過部品の
光透過率とすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。 （実施の形態１）図１（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本発
明にかかる保持枠付き光透過部品の製造方法の一実施の
形態により製作した無反射コート付き部品１１の平面図
および断面図である。本実施の形態においては、無反射
コートを必要とする光透過部品はレンズ１２である。図
１において、レンズホルダーである保持枠１３は、５０
％Ｎｉ−Ｆｅ材を旋盤で所望の寸法に加工した円筒状物
であり、水素雰囲気中で９００℃×１０分の焼鈍を行
い、Ｎｉめっきを施したものである。低融点ガラス１４
は、粉末をバインダーで固めて打ち抜き、ワッシャー状
にして仮焼成したプリフォームを溶かしたものである。
に説明する。 （実施の形態１）図１（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本発
明にかかる保持枠付き光透過部品の製造方法の一実施の
形態により製作した無反射コート付き部品１１の平面図
および断面図である。本実施の形態においては、無反射
コートを必要とする光透過部品はレンズ１２である。図
１において、レンズホルダーである保持枠１３は、５０
％Ｎｉ−Ｆｅ材を旋盤で所望の寸法に加工した円筒状物
であり、水素雰囲気中で９００℃×１０分の焼鈍を行
い、Ｎｉめっきを施したものである。低融点ガラス１４
は、粉末をバインダーで固めて打ち抜き、ワッシャー状
にして仮焼成したプリフォームを溶かしたものである。
【００１０】この無反射コート付き部品１１は、以下の
ようにして製作した。即ち、 １）レンズ１２を２５０個と、レンズ１２と同じ材質で
同じ厚さ１ｍｍのモニター平板１枚を用意し、これらを
同時に真空チェンバーにセットし、波長１５５０ｎｍで
光透過率が９９％以上になるように制御しつつ、ＭｇＦ
2 を約２００ｎｍ蒸着した。なお、レンズ１２とモニタ
ー平板に均一に蒸着されるように、これらをセットした
ホルダーを回転させながら蒸着した。 ２）レンズ１２とモニター平板を真空チェンバーから出
した後に、モニター平板の光透過率を分光光度計にて測
定したところ、光透過率は波長１５５０ｎｍにおいて９
９．７％であった。 ３）次に、図２に示すように、カーボン治具であるレン
ズホルダーガイド２４に保持枠１３をセットし、保持枠
１３にレンズ１２をピンセットでつまんで入れ、低融点
ガラス・プリフォームをレンズ１２の周囲にセットし
た。また、別工程で金属製ウエイト２０とカーボン製ウ
エイト２２を載せておいたウエイトガイド２１を、レン
ズホルダーガイド２４のガイドピン２３に沿ってゆっく
りと降ろし、レンズ１２に荷重をかけた。 ４）この状態で、ベルト式の炉に入れて、窒素雰囲気
（露点−４０℃）で４５０℃×１０分加熱し、低融点ガ
ラス・プリフォームを熔かして、レンズ１２と保持枠１
３が接合された無反射コート付き部品１１を得た。な
お、この加熱処理時に、レンズホルダーガイド２４とほ
ぼ同じサイズのカーボン台を用意してモニター平板をセ
ットし、レンズ１２を組み立てたレンズホルダーガイド
２４と一緒に炉に入れて、無反射コート付き部品１１と
同じ雰囲気で加熱処理した。
ようにして製作した。即ち、 １）レンズ１２を２５０個と、レンズ１２と同じ材質で
同じ厚さ１ｍｍのモニター平板１枚を用意し、これらを
同時に真空チェンバーにセットし、波長１５５０ｎｍで
光透過率が９９％以上になるように制御しつつ、ＭｇＦ
2 を約２００ｎｍ蒸着した。なお、レンズ１２とモニタ
ー平板に均一に蒸着されるように、これらをセットした
ホルダーを回転させながら蒸着した。 ２）レンズ１２とモニター平板を真空チェンバーから出
した後に、モニター平板の光透過率を分光光度計にて測
定したところ、光透過率は波長１５５０ｎｍにおいて９
９．７％であった。 ３）次に、図２に示すように、カーボン治具であるレン
ズホルダーガイド２４に保持枠１３をセットし、保持枠
１３にレンズ１２をピンセットでつまんで入れ、低融点
ガラス・プリフォームをレンズ１２の周囲にセットし
た。また、別工程で金属製ウエイト２０とカーボン製ウ
エイト２２を載せておいたウエイトガイド２１を、レン
ズホルダーガイド２４のガイドピン２３に沿ってゆっく
りと降ろし、レンズ１２に荷重をかけた。 ４）この状態で、ベルト式の炉に入れて、窒素雰囲気
（露点−４０℃）で４５０℃×１０分加熱し、低融点ガ
ラス・プリフォームを熔かして、レンズ１２と保持枠１
３が接合された無反射コート付き部品１１を得た。な
お、この加熱処理時に、レンズホルダーガイド２４とほ
ぼ同じサイズのカーボン台を用意してモニター平板をセ
ットし、レンズ１２を組み立てたレンズホルダーガイド
２４と一緒に炉に入れて、無反射コート付き部品１１と
同じ雰囲気で加熱処理した。
【００１１】上述の加熱処理でレンズ１２を２５０個と
モニター平板を１枚使用し、無反射コート付き部品１
１、２５０個を作製した。これら無反射コート付き部品
１１とモニター平板をベルト式の炉から出した後に、モ
ニター平板の光透過率を分光光度計にて測定したとこ
ろ、波長１５５０ｎｍにおいて光透過率は９９．６％で
あった。一方、無反射コート付き部品１１に組み込まれ
たレンズ１２、２５０個についても透過率を測定した
が、波長１５５０ｎｍにおいて透過率は平均９９．５％
であり、モニター平板の光透過率とほぼ一致した。
モニター平板を１枚使用し、無反射コート付き部品１
１、２５０個を作製した。これら無反射コート付き部品
１１とモニター平板をベルト式の炉から出した後に、モ
ニター平板の光透過率を分光光度計にて測定したとこ
ろ、波長１５５０ｎｍにおいて光透過率は９９．６％で
あった。一方、無反射コート付き部品１１に組み込まれ
たレンズ１２、２５０個についても透過率を測定した
が、波長１５５０ｎｍにおいて透過率は平均９９．５％
であり、モニター平板の光透過率とほぼ一致した。
【００１２】（実施の形態２）図３は本発明にかかる保
持枠付き光透過部品の製造方法の他の実施の形態により
製作した無反射コート付き部品３１の断面図である。本
実施の形態においては、無反射コートを必要とする光透
過部品はウィンドウ３２であり、無反射コート部品３１
はキャップである。保持枠３３はキャップリングであ
り、コバール材を旋盤で所望の寸法精度を有するように
加工し、水素雰囲気中で９００℃×１０分の焼鈍を行
い、Ｎｉめっきを施したものである。低融点ガラス３４
は、粉末をバインダーで固めて打ち抜き、ワッシャー状
にして仮焼成したプリフォームを溶かしたものである。
持枠付き光透過部品の製造方法の他の実施の形態により
製作した無反射コート付き部品３１の断面図である。本
実施の形態においては、無反射コートを必要とする光透
過部品はウィンドウ３２であり、無反射コート部品３１
はキャップである。保持枠３３はキャップリングであ
り、コバール材を旋盤で所望の寸法精度を有するように
加工し、水素雰囲気中で９００℃×１０分の焼鈍を行
い、Ｎｉめっきを施したものである。低融点ガラス３４
は、粉末をバインダーで固めて打ち抜き、ワッシャー状
にして仮焼成したプリフォームを溶かしたものである。
【００１３】この無反射コート付き部品３１は、以下の
ようにして製作した。即ち、 １）ウインドウ３２を２５０個とウインドウ３２と同じ
材質で厚さ０．３ｍｍのモニター平板１枚を用意し、こ
れらを同時に真空チェンバーにセットし、波長１５５０
ｎｍで透過率が９９．５％以上になるように制御しつ
つ、ＳｉＯ／ＴｉＯ・２層膜を蒸着した。なお、ウイン
ドウ３２とモニター平板に均一に蒸着されるように、こ
れらをセットしたホルダーを回転させながら蒸着した。 ２）ウインドウ３２とモニター平板を真空チェンバーか
ら出した後に、モニター平板の光透過率を分光光度計に
て測定したところ、光透過率は波長１５５０ｎｍにおい
て９９．８％であった。 ３）次に、図４に示すように、カーボン治具であるキャ
ップガイド４１に保持枠３３をセットし、保持枠３３に
低融点ガラス・プリフォームをピンセットでつまんで入
れ、ウインドウ３２をその上にセットした。また、別工
程で金属製ウエイト４２とカーボン製ウエイト４３を載
せておいたウエイトガイド４４を、キャップガイド４１
のガイドピン４５に沿ってゆっくりと降ろし、ウインド
ウ３２に荷重をかけた。 ４）この状態で、ベルト式の炉に入れて、窒素雰囲気で
加熱し、低融点ガラス・プリフォームを熔かして、ウイ
ンドウ３２と保持枠３３が接合された無反射コート付き
部品３１を得た。なお、この加熱処理時に、キャップガ
イド４１とほぼ同じサイズのカーボン台を用意してモニ
ター平板をセットし、ウインドウ３２を組み立てたキャ
ップガイド４１と一緒に炉に入れて、無反射コート付き
部品３１と同じ雰囲気で加熱処理した。
ようにして製作した。即ち、 １）ウインドウ３２を２５０個とウインドウ３２と同じ
材質で厚さ０．３ｍｍのモニター平板１枚を用意し、こ
れらを同時に真空チェンバーにセットし、波長１５５０
ｎｍで透過率が９９．５％以上になるように制御しつ
つ、ＳｉＯ／ＴｉＯ・２層膜を蒸着した。なお、ウイン
ドウ３２とモニター平板に均一に蒸着されるように、こ
れらをセットしたホルダーを回転させながら蒸着した。 ２）ウインドウ３２とモニター平板を真空チェンバーか
ら出した後に、モニター平板の光透過率を分光光度計に
て測定したところ、光透過率は波長１５５０ｎｍにおい
て９９．８％であった。 ３）次に、図４に示すように、カーボン治具であるキャ
ップガイド４１に保持枠３３をセットし、保持枠３３に
低融点ガラス・プリフォームをピンセットでつまんで入
れ、ウインドウ３２をその上にセットした。また、別工
程で金属製ウエイト４２とカーボン製ウエイト４３を載
せておいたウエイトガイド４４を、キャップガイド４１
のガイドピン４５に沿ってゆっくりと降ろし、ウインド
ウ３２に荷重をかけた。 ４）この状態で、ベルト式の炉に入れて、窒素雰囲気で
加熱し、低融点ガラス・プリフォームを熔かして、ウイ
ンドウ３２と保持枠３３が接合された無反射コート付き
部品３１を得た。なお、この加熱処理時に、キャップガ
イド４１とほぼ同じサイズのカーボン台を用意してモニ
ター平板をセットし、ウインドウ３２を組み立てたキャ
ップガイド４１と一緒に炉に入れて、無反射コート付き
部品３１と同じ雰囲気で加熱処理した。
【００１４】上述の加熱処理でウインドウ３２を２５０
個とモニター平板を１枚使用し、無反射コート付き部品
３１、２５０個を作製した。これら無反射コート付き部
品３１とモニター平板をベルト式の炉から出した後に、
モニター平板の光透過率を分光光度計にて測定したとこ
ろ、波長１５５０ｎｍにおいて光透過率は９９．７％で
あった。一方、無反射コート付き部品に組み込まれたウ
インドウ３２、２５０個についても光透過率を測定した
が、波長１５５０ｎｍにおいて光透過率は平均９９．８
％であり、モニター平板の光透過率とほぼ一致した。
個とモニター平板を１枚使用し、無反射コート付き部品
３１、２５０個を作製した。これら無反射コート付き部
品３１とモニター平板をベルト式の炉から出した後に、
モニター平板の光透過率を分光光度計にて測定したとこ
ろ、波長１５５０ｎｍにおいて光透過率は９９．７％で
あった。一方、無反射コート付き部品に組み込まれたウ
インドウ３２、２５０個についても光透過率を測定した
が、波長１５５０ｎｍにおいて光透過率は平均９９．８
％であり、モニター平板の光透過率とほぼ一致した。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
透過部品を保持枠の所定の箇所に接合する工程を有する
保持枠付き光透過部品の製造方法において、光透過部品
を保持枠に接合する工程に先立って、前記光透過部品お
よび該光透過部品と同じ材質からなるモニター基材に無
反射コート処理を施す工程、次いで、所定の雰囲気下で
の所定の加熱処理により、前記無反射コート処理された
光透過部品を保持枠の所定の箇所に加熱接合するととも
に、その加熱接合処理の際、前記モニター基材に前記光
透過部品の置かれる雰囲気下で前記加熱処理を施す工
程、次いで、前記モニター基材の光透過率をモニターす
る工程とを有するため、保持枠に接合後の光透過部品の
光透過率をモニターすることができるので、光透過部品
の品質が向上するという優れた効果がある。
透過部品を保持枠の所定の箇所に接合する工程を有する
保持枠付き光透過部品の製造方法において、光透過部品
を保持枠に接合する工程に先立って、前記光透過部品お
よび該光透過部品と同じ材質からなるモニター基材に無
反射コート処理を施す工程、次いで、所定の雰囲気下で
の所定の加熱処理により、前記無反射コート処理された
光透過部品を保持枠の所定の箇所に加熱接合するととも
に、その加熱接合処理の際、前記モニター基材に前記光
透過部品の置かれる雰囲気下で前記加熱処理を施す工
程、次いで、前記モニター基材の光透過率をモニターす
る工程とを有するため、保持枠に接合後の光透過部品の
光透過率をモニターすることができるので、光透過部品
の品質が向上するという優れた効果がある。
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本発明にかかる保
持枠付き光透過部品の製造方法の一実施の形態により製
作した無反射コート付き部品の平面図および断面図であ
る。
持枠付き光透過部品の製造方法の一実施の形態により製
作した無反射コート付き部品の平面図および断面図であ
る。
【図２】図１に示した無反射コート付き部品の加熱接合
工程の説明図である。
工程の説明図である。
【図３】本発明にかかる保持枠付き光透過部品の製造方
法の他の実施の形態により製作した無反射コート付き部
品の断面図である。
法の他の実施の形態により製作した無反射コート付き部
品の断面図である。
【図４】図４に示した無反射コート付き部品の加熱接合
工程の説明図である。
工程の説明図である。
１１、３１ 無反射コート付き部品 １２ レンズ １３、３３ 保持枠 １４、３４ 低融点ガラス ２０、４２ 金属製ウエイト ２１、４４ ウエイトガイド ２２、４３ カーボン製ウエイト ２３、４５ ガイドピン ２４ レンズホルダーガイド ３２ ウインドウ ４１ キャップガイド
Claims (3)
- 【請求項１】 光透過部品を保持枠の所定の箇所に接合
する工程を有する保持枠付き光透過部品の製造方法にお
いて、光透過部品を保持枠に接合する工程に先立って、
前記光透過部品およびモニター基材に無反射コート処理
を施す工程、次いで、所定の雰囲気下での所定の加熱処
理により、前記無反射コート処理された光透過部品を保
持枠の所定の箇所に加熱接合するとともに、その加熱接
合処理の際、前記モニター基材に前記光透過部品の置か
れる雰囲気下で前記加熱処理を施す工程、次いで、前記
モニター基材の光透過率をモニターする工程とを有する
ことを特徴とする保持枠付き光透過部品の製造方法。 - 【請求項２】 モニター基材の材質が、光透過部品の材
質と同じであることを特徴とする請求項１記載の保持枠
付き光透過部品の製造方法。 - 【請求項３】 無反射コート処理された光透過部品を光
モジュールの所定の箇所にガラス融着材を用いて加熱接
合することを特徴とする請求項１または２記載の保持枠
付き光透過部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10302596A JPH09286641A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 保持枠付き光透過部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10302596A JPH09286641A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 保持枠付き光透過部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09286641A true JPH09286641A (ja) | 1997-11-04 |
Family
ID=14343115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10302596A Pending JPH09286641A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 保持枠付き光透過部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09286641A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015001158A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 光学素子封止構造体とその製造方法、及び、レーザ点火装置 |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP10302596A patent/JPH09286641A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015001158A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 光学素子封止構造体とその製造方法、及び、レーザ点火装置 |
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